JP2009512836A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、ある一点だけではなく、対象物に沿ったパスのデジタル化を含む表面プロービング方法によって対象物の幾何学的寸法を決定するための装置に関する。おおよそ自由度6(6DOF)における連接によって、ユーザはプローブに対して対象物を移動させたり、新しいスタイラスを調整したりする必要性がないまま、対象物の表面をよりよくアクセスすることが可能となる。本装置は、新しい形の並列運動学的構造を用いて、通常の必要および複雑さを伴わずに空間データを計測することを可能とする。さらに本装置は、新しいリンケージを用いて、通常このような低予算で可能であるよりも高い精度および再現性を確保する。
以前にも増して三次元CADツールを用いる製品の設計者は、例えば定規あるいはデジタルキャリパーゲージなどの単軸装置を用いて測定するのが極めて困難である曲線を含むパーツを製作している。
座標測定機(CMM)は、三次元対象物の測定技術において一般的なツールである。CMMは、3DOFにおいてデカルト的に連接し、タッチトリガープローブの助けを借りて単一点のデータを収集するガントリー機構または6DOFアームのように連接し、固定プローブ点あるいはレーザスキャナのデータを収集する極機構のいずれかを使用する傾向がある。
前者のデカルト式機械は、長年に亘って洗練されて価値工学化されたが、部品技術(高感度プローブ、大理石ベッド、空気ベアリング、精密リニアエンコーダ、極めて剛性の高い骨組み等)が高価であるため、その製造はずっと高価である。極式機械は、各自由度がシリーズチェーンとして付与されるため誤差が累積され、また全体剛性および精度が6つ全てのリンケージおよびエンコーダにおける誤差の合計であるため、精密に設計することが困難である。また、長いレバーの終端においてミクロン精度を保つラジアルエンコーダは、極めて高価である。
固有の構造および精度要因は、エントリーレベルの費用が10kポンドを越え、多くの場合には、複雑な専門のソフトウェアであって、その資本コストが高いだけではなく、正しく使用するためにかなりの訓練を有するようなものによって制御される機械をもたらすことになる。
多軸計測に対する要求は、急激に伸びることが予想されているが、今まではその価格が手頃でありながら小規模あるいは任意のユーザが容易に使用できるようなツールが存在しなかった。本発明の目的は、機械を安価で製作することが可能であり、機械が工業条件下における使用時に頑強であり、新しいソフトウェアパラダイムによって機械の使用が迅速且つ簡単であるようにすることによって、この隙間市場を埋めることにある。
本発明の目的は、並列運動学的構造を有効に使用し、安価である計測機を得ることにある。
本発明の別の目的は、極めて再現可能であり、ヒステリシスのない、製作費が安価な多軸リンケージを得ることにある。
本発明の別の目的は、剛性を有し、三角形の断面を有するカーボンファイバ製の支柱に対して取り付けられた長さエンコーダを用いることによって、耐熱性を有し、正確な変位測定を可能にすることにある。
本発明の別の目的は、対象物とスタイラスの先端との間において安定的且つ予想可能な接触圧を促進するハンドルを用いることによって、測定精度を向上することにある。
本発明の別の目的は、機械的ソリューションを頑強且つコンパクトな形でパッケージすることにより、ユーザにとって便利であるように機械的ソリューションのデスクトップ上での操作を可能にし、特別なクリーンルームや空調条件を必要としないようにすることにある。
本発明の別の目的は、ソフトウェアが分かりやすく、すぐに使用できるインターフェイスを提供し、さらにソフトウェアが輪郭トポグラフィおよび表面粗さのような部分からより多くの利用可能なデータを抽出することにある。
本発明において、請求項1に記載の座標計測機が提供されている。好ましい実施例は、従属請求項において記載されている。
本発明は、以下の構成要素上の局面に分類することが可能である。すなわち、運動学、リンケージ、支柱、エンコーダノード、ハンドル、パッケージングおよび制御システムの局面である。これらの構成要素上の局面について、以下にそれぞれ詳述する。
運動学:
並列リンク機構は、協働する複数のリンケージの移動に依存して機能することによって位置を決定するのに対して、シリアルリンク機構においては各リンケージが個別に作動する。
並列リンク機構は、協働する複数のリンケージの移動に依存して機能することによって位置を決定するのに対して、シリアルリンク機構においては各リンケージが個別に作動する。
典型的な多軸パラレル構造は、ヘキサポッドとして知られる多関節式の8面体であって、6つの支柱の長さが6DOFの機械のエンドエフェクタの位置を一義的に定義づける。目標とする端位置(end position)が与えられると、必要な支柱の長さが容易に演算され得る(逆運動学的変換)のに対し、6つの支柱の長さが与えられた場合、端位置の演算(順運動学的変換)は、より煩雑であって、一般的には集約的な反復法を処理することによってのみ解くことが可能である。ヘキサポッドも全ての6DOFを完全に拘束するが、計測機では、スタイラスの軸周りの回転を演算する必要がない。計測機においては、5つの軸のみが必要であるため、6つ目の軸は、実質的に無駄である。
本発明では、5つのノードと2つのリンケージとの間において機能する、5つの支柱を有する「ペンタポッド」構造を用いる。支柱のうち3本は、リンケージのうち1つ目では3つに分岐したジョイント(例えば三脚など)において交わり、残りの2つの支柱は、2つ目のリンケージにおいて2つに分岐したジョイント(例えば”V”など)において交わるように構成されている。第1および第2のリンケージは、スタイラスが取り付けられているハンドルによって間隔をおいて設けられている。したがって、ハンドルは、2つのリンケージ(各端部に1つ)によって支持されており、一方のリンケージが3つの支柱からなる三脚の頂点をなし、他方のリンケージが別の三脚の頂点をなしつつ、最初の頂点を自身の三脚の基礎のうち1つとして使用する。5つの支柱の長さは、スタイラスの空間位置を一義的に定義し、ハンドル軸の周りの不要な回転は、リンケージによって抑制される。
このような運動学は、特に、プローブされる点の位置を演算するのに必要な順変換ははるかに容易に解くことが可能であり、プローブされる点はリアルタイムで容易に演算され得るようになる。
リンケージ:
ペンタポッド式運動学上の難しい局面は、複数の支柱の関節のための統合された1つの点つまり1つの共有される点をハンドルの端部においても維持することが好ましいという点にある。
ペンタポッド式運動学上の難しい局面は、複数の支柱の関節のための統合された1つの点つまり1つの共有される点をハンドルの端部においても維持することが好ましいという点にある。
このようなリンケージのうちいずれか一方は、2つの支柱とハンドル軸とが上記共有される点の周りにおいて自由に関節動作を実施することを容認する必要がある。このような場合、この一対の支柱は、ハンドルに対して3DOFを必要とするが、互いに対しては1DOFのみを必要とする(ハサミ動作)。このような構造は、「3ジョイント」と称される。
他方のリンケージは、第1の支柱の全ての自由度だけではなく、第3の支柱をも支持するが、第3の支柱は上記共有される点の周りにおいてハンドルとの間で1DOFのピボット連結を有する。この第3の支柱は、ハンドルが自身の軸の周りにおける自由な回転をしないようにハンドルを有効に抑制する。このような構造は、「4ジョイント」と称される。
これらリンケージは、演算変換において必要であるように、正確なパラメータ較正のために極めて安定的な共有される点を有する必要がある。リンケージにおいてバックラッシュ(ガタ)があってはならない。さらにリンケージの設計は、寄生摩擦トルクも最小限に抑えるものでなくてはならないのは、寄生摩擦トルクが機構に対して応力を導入し、機構の精度あるいは機構のスムーズ且つ不偏である関節動作を脅かす可能性があるからである。
本発明の実施例によると、小磁石のアレイが設けられ、(共通のピボット軸を共有してハサミのように作動する)2つの支柱アームをノードボールの一方側において引き合わせる。この構造によって必要なプレロードが実施されながらも余計な摩擦を招かない。プレロードは、ソケットがわずかに磨耗してからでも維持される。
支柱の他端は、機械の骨組みによって拘束されるリンケージによって個別に支持される。これら5つのリンケージは、概念的に玉継ぎ手と類似しており、ボールは十分大きいので、支柱の延伸を計測し、ボールの中心を通る軸方向動作を支持するエンコーダモジュールを維持することが可能である。また、これらのリンケージの寄生トルクが低いことも重要であるが、この場合はより困難となる。なぜならば、リンケージがより大きな直径を有するので、全ての回転の接線速度が大きくなり、拘束力がより大きくなるからである。
単にスライディング式接合部分を有するだけではなく、好ましい実施例において、ノードが3つの小型の循環式ボール移動ユニットによって支持されていてもよい。ここでもプリロードのために磁石を採用して、エンコーダを3つのボール移動ユニットに対して収容する強磁性ノードの球体シェルを保持することも可能である。
本実施例の主要な利点は、回転摩擦しかないため、球体ノードが3DOFにおいて自由に回転可能であるという点にある。この構造は、3脚式のスツールのように運動学的に純粋であり、優れた再現性を有して位置的な曖昧性がない。磁石は、通常はノードを基準位置へプリロードするために採用される、別のベアリングポイントアレイの代わりとなり、その際にこれら磁石は、さらなる摩擦を生じさせたり磨耗の要因となったりすることがない。
支柱:
支柱は、ベースとなるノードの中心を通ることが好ましく、この中心において支柱の範囲の定められた長さが測定される。この方法が他の方法に比して好ましいのは、伸縮式ソリューションとは異なり、(ベースとなるノードとハンドルとの間における)最大および最小有効長さの間に大きな比率が存在する可能性があるからである。このような場合であっても、支柱は依然として簡単で剛性を有する。
支柱は、ベースとなるノードの中心を通ることが好ましく、この中心において支柱の範囲の定められた長さが測定される。この方法が他の方法に比して好ましいのは、伸縮式ソリューションとは異なり、(ベースとなるノードとハンドルとの間における)最大および最小有効長さの間に大きな比率が存在する可能性があるからである。このような場合であっても、支柱は依然として簡単で剛性を有する。
ノードにおけるエンコーダは、支柱に取り付けられたトラックを読み取り、その際に(ラジアル式ソリューションにおいて固有であるベアリングの逃げおよび真直度の問題のような)機械的誤差に対して過度にさらされない。支柱におけるわずかな屈折度が、測定長さを著しく変えて精度を劣化させることはない。本実施例において、トラックは、繰り返しパターンが設けられた柔軟なプリント基板であって、非コンプライアント接着剤(エポキシなど)を用いて支柱に接着されていることが好ましい。トラックは、ハードトップ表面を有し、このハードトップ表面によってエッチングされた銅によって生じたトポグラフィを埋め、ハードトップ表面が歪曲することなく、ノードローラの圧力に耐えることが可能である。
支柱は、プルトルード式カーボンファイバからなり、中空の三角形の断面を有することによって外部平面を有し、エンコーダトラックと2つのローラトラックとを支持することが可能である。カーボンの著しい利点は、ほぼニュートラルな熱膨張係数と低質量における優れた剛性とにある。
エンコーダノード:
本アプリケーションにおいて採用可能であるリニアエンコーダの種類は多様であるが、低価格と頑強性を鑑みた場合、好ましい実施例においてはデジタルキャリパーゲージにおいて採用されるものと同様の容量式ソリューションが使用され、このソリューションが最もふさわしいと判断されたのは、非接触型であり、汚れの心配がなく、頑強であって安価であるためである。著しくアップグレードされた従来の容量式エンコーダを使用して、2ミクロンの解像度と200Hzのサンプリングレートとを提供することが可能である。
本アプリケーションにおいて採用可能であるリニアエンコーダの種類は多様であるが、低価格と頑強性を鑑みた場合、好ましい実施例においてはデジタルキャリパーゲージにおいて採用されるものと同様の容量式ソリューションが使用され、このソリューションが最もふさわしいと判断されたのは、非接触型であり、汚れの心配がなく、頑強であって安価であるためである。著しくアップグレードされた従来の容量式エンコーダを使用して、2ミクロンの解像度と200Hzのサンプリングレートとを提供することが可能である。
しかしながら、容量式エンコーダは、読み取り回路とエンコーダトラックとの間におけるオフセットにおける変動によってかなり影響を受けやすい。したがって、機械的設計は、このパラメータを制御する際に最適化する必要がある。その結果、支柱が読み取り機に対して固定されるローラに対してプリロードされているため、エンコーダの読み取り回路をトラックに対して固定的な変位に維持することが好ましい。
また別の目的として、ノードに対する全てのその他の支柱の移動を支柱自身の軸に抑制することがある。このような抑制は、隣接する側面に設けられた、ローラを備えるランナーを設け、三角形の支柱の2つの上面に沿って回転させることによって得られる。このランナーは、支柱と読み取りヘッドのオフセットを定義するローラとの接触を保つためのプリロードを付与することが好ましい。さらにこのランナーは、支持されることによって軸に対して垂直な動作や軸の周りのスキューを防止すべきである。あらゆるその他の点において、好ましくはランナーが一義的に定着することができて、ランナーのローラが支柱に対して完全に接触させる必要がある。好ましい実施例において、1枚の板バネが全ての必要な自由と抑制とを提供する。
ハンドル:
従来のCMMにおいて、交換式のスタイラスは、小さなプリロード力によって極めて再現可能な定着位置に保持される。スタイラスの先端が構えられた場合、スタイラスは傾斜あるいは内側に移動することによって自身が取り付けられている台から変位し、この動作によってスイッチを作動させる。このスイッチは、スイッチが変位されるや否や信号を生成するように設計されており、変位時の機械の位置が記録される。スタイラスのオーバートラベルに準拠することが可能であるが、一旦変位されるとスタイラスの先端位置は不確実なものとなるため、この種のプローブは、ポイントデータのみを出力することが可能である。
従来のCMMにおいて、交換式のスタイラスは、小さなプリロード力によって極めて再現可能な定着位置に保持される。スタイラスの先端が構えられた場合、スタイラスは傾斜あるいは内側に移動することによって自身が取り付けられている台から変位し、この動作によってスイッチを作動させる。このスイッチは、スイッチが変位されるや否や信号を生成するように設計されており、変位時の機械の位置が記録される。スタイラスのオーバートラベルに準拠することが可能であるが、一旦変位されるとスタイラスの先端位置は不確実なものとなるため、この種のプローブは、ポイントデータのみを出力することが可能である。
特に極式6DOF種などのその他のCMMにおいては、スタイラスにスイッチが取り付けられていない。ユーザは、単に先端を、測定する表面に対して保持してボタンを(指あるいは足で)押圧する。スタイラスの先端は、ユーザが付与する接触力の制御を実施することは不可能であるため、極めて剛性の高いものでなくてはならない。
この場合において、スタイラスの先端は、従来のプローブのように傾斜するものではなく、「極性」プローブのように固定されている―しかしながら、ユーザが保持してスタイラスを動かすためのハンドルケーシングは、計測すべき対象物に対して構えた場合、ハンドル軸に対してプリロードされたバネに対しておよそ3DOF(2軸の傾斜および内側変位)において傾斜することが可能である。ハンドルケーシングは、スイッチとして機能し、スイッチがスタイラスの先端を変位させた場合、位置の読み取りが実施される。ハンドルが傾斜した場合であっても正確なスタイラスの位置は既知であり続けるため、変位が開始する正確な瞬間が重要ではない。したがって、このソリューションは、ずっとシンプルでより頑強なソリューションである。
利点は、スタイラスの先端が常に既知である位置に保持されるため、データを個々のサンプルポイントを取得するだけではなく、連続的にパスに沿って「流す」ことが可能であることにある。より多くのデータを取得すればするほど、正確な成形品の形状寸法を演算することが可能となる。
好ましい実施例において、ハンドルの変位は、比例センサによって測定され、スタイラスのプリロードの度合いを各データポイントと関連付けることが可能となる。プリロード値と先端接触ベクトル(これは計測形状の推論時における1回目のパスの後に処理されたものである。)とが既知である場合、スタイラスにおける曲げによって導入された位置誤差を補償つまり補正することが可能となる。
本実施例において、ハンドルの傾斜プリロードを生じさせるバネは、ユーザによってバネ自体が極めて柔らかいバネから完全に剛体であるバネへと調整され得る。調整値は、別の比例センサによって読み取られ、スタイラスの先端の長さが既知である場合には、グラム重量荷重と同等と見なすことが可能である。(前述のように)曲げ誤差補償を演算する場合、この値がバネ定数として用いられる。
ハンドルは、自身の軸の周りを自由に回転可能とされており(スタイラスの先端を除く)、これによって困難なアクセス条件下において人間工学を高めることが可能である。またハンドルは、4つの位置を持つ、指によって操作されるボタンを特徴とし得る。前に押されると、システムはハンドルが傾斜するのを待機し、ハンドルが傾斜されるとシステムはストリーム位置データを出力する。ボタンが後ろに押されると、システムはハンドルが傾斜されるたびに単一ポイントデータのみを出力する。ボタンが下方に押されると、システムは「マウス」のボタンを押す時と同様の「クリック」を登録し、アプリケーションソフトウェアを制御する。この構造によって、ハンドルがマウスであるかのようにして装置はソフトウェアを直接制御することが可能となるが、さらにあらゆるモデルグラフィックスをも同時に5自由度において位置づけることが可能となる。この構造は、ハンドルを離してマウスを掴む必要があるよりも便利且つ迅速に使用することができる。
パッケージング:
ノードは、互いに対して固定的且つ安定的な位置に保持されなければならない。ノードは、トラス骨組みであって、カーボンファイバチューブからなり、ノード支持成形体あるいは骨組みのベースを構成するように結合されたものによって連結されていることが好ましい。この構造は、主に力を張力あるいは圧縮力へと分解させ、ノードの位置を崩す可能性がある曲げモーメントを避ける。
ノードは、互いに対して固定的且つ安定的な位置に保持されなければならない。ノードは、トラス骨組みであって、カーボンファイバチューブからなり、ノード支持成形体あるいは骨組みのベースを構成するように結合されたものによって連結されていることが好ましい。この構造は、主に力を張力あるいは圧縮力へと分解させ、ノードの位置を崩す可能性がある曲げモーメントを避ける。
ノード自体は、エラストマー製のカバーを用いて球体ベアリング機構を汚れの進入から隔離する。この構造が重要なのは、装置が自身のリンケージにおいて磁石を使用しているため、ある種の作業場環境において金属粒子を引きつける可能性があるからである。ハンドルの両端における3ジョイントおよび4ジョイントも同様に保護されている。
より手軽に誤差補償を構築してスタイラスを置換した後の位置要因を修正するために、公知である配置基準ポイントをベースの前部に取り付け、スタイラスの先端が届くようにすることが好ましい。この基準ポイントは、円錐形の容器状であって、その内部にスタイラスの端部におけるボールを配置することが可能である。このボールの直径が既知である場合、容器内におけるこのボールの中心も既知となる。この中心は、5つの支柱長さから推論される演算された中心と比較される。いかなる不一致がある場合も、新しいスタイラスの先端と関連付けられる角度あるいは長さにおけるオフセットを示しているため、その後補償することが可能となる。
ベースは、システム制御電子回路のためのスペースを有することが好ましく、差し込まれた輪郭カット薄板をウェイトとして使用することが可能である。この場合、ベース成形体の両側面においてハッチカバーが(ミシンが内蔵されたツールボックスを備えるように)備品を収容するのに使用可能である格納スペースを隠すことができる。
その他の付属品を設けてもよい。測定時に曲線のある対象物を安定した位置に保持するための便利な補助として、プレートであって、隆起した特性を持つアレイを有し、その中に曲線形が位置されるものがある。この概念の最も簡単な実施例としては、ピラミッド型特性を有するx,yアレイを備えるワッフルプレートのようなものがある。
ペンタポッド構造自体は、多くの別途費用を必要とすることなく、寸法を拡大する役割を果たす。従来の機械において、負荷時の梁において同一の最大偏差を保つために、梁の剛性は、梁の長さの三乗において増加する必要がある。増加させることは、高価である。ペンタポッドにおいて、データの精度が最適なのは、機械の骨組みと支柱とが正三角形に近い輪郭を描く場合である。機械を拡大し、精度を落とさずにより大きな稼動範囲を可能にするためには、骨組みのノード間の距離を支柱の長さにおける増加に比例するように増加させることによって三角形の縦横比を保つべきである。この構造は、安価であり、その他の構造はそのまま保つことが可能である。
制御システム:
前述のとおり、ペンタポッド運動学の優れた特性によって、端位置がデカルト座標システムへと極めて迅速に順変換されるが、迅速な順変換は、機械のノードとスタイラスとのオフセットが正確に分かっているかどうかに依存する。機械のノードとスタイラスとのオフセットを正確に知るには、例えば複製技術などを用いてノードを固定的な基準位置に固着する精度の高い製造や、ノード位置のポストアセンブリ測定、あるいは既知である対象物を参照しつつ正確なノード位置を推論するなどの方法が可能である。
前述のとおり、ペンタポッド運動学の優れた特性によって、端位置がデカルト座標システムへと極めて迅速に順変換されるが、迅速な順変換は、機械のノードとスタイラスとのオフセットが正確に分かっているかどうかに依存する。機械のノードとスタイラスとのオフセットを正確に知るには、例えば複製技術などを用いてノードを固定的な基準位置に固着する精度の高い製造や、ノード位置のポストアセンブリ測定、あるいは既知である対象物を参照しつつ正確なノード位置を推論するなどの方法が可能である。
最も簡単な既知である対象物は、スタイラスの誤差補償との関連において前述した、円錐状の容器を用いる実施例における固定点である。先端が固定位置に保持された状態でハンドルが操作されると、全ての較正値が正しい場合、ソフトウェアはハンドル角度に関わらず、一定の固定点を報告する。較正値において誤差がある場合には、演算された先端位置が軌跡上を移動するように見えるので、誤差があることが自ずと明らかになる。この軌跡の形状と寸法は、その軌跡を生じさせる誤差を指し示し、この軌跡の形状と寸法とを分析することによって個々の較正誤差値を決定し、よってこれら誤差の補償を行うことが可能となる。この技術によって、基準点となる容器が機械の可能範囲の限度に沿って移動されて、複数の実験が実施される場合、改善された解決法がもたらされる。
支柱は、プリント基板エンコーダトラックのパターンアレイにおいてピッチ誤差を含む可能性がある。このようなピッチ誤差は、安定しているため、特定された場合、支柱と精確な絶対変位変換器とを比較し、決定されたピッチ誤差値を各支柱に関連付けられる参照テーブルに保存することによってピッチ誤差を補償することが可能である。この方法によって、個々の軸の絶対精度が最適のエンコーダの絶対精度に近づくことが可能となり、絶対精度に近づけるために費用が増大する可能性も厳しい操作状況の必要性もない。
全ての局面において本発明が明確に理解されるために、以下に添付図面を参照しつつ例示的な実施例について詳述する。
図1aおよび図1bはそれぞれ、本発明の好ましい実施例における装置の側面および前面からの立面図を示す。
ノードを支持する支柱の骨組みは、4面体のように構成されており、1つのノード101が4面体の頂点に、その他のノード対が前底部における頂点に設けられる。後部の頂点および前下部における頂点が、6つの支柱109によってベース成形体(以下、ベース)110に対して8面体のように連結される。
そして5つの支柱102がノード101を通って三脚形状に連結され、この三脚の頂点は、4ジョイント105に設けられ、この点を新しいベースポイントとして利用して別の三脚形状を形成し、この三脚の頂点は、3ジョイント106に設けられ、ハンドル103によって分離されている。ハンドル103は、下方に延伸し、交換可能なスタイラス先端104を備え、ハンドルの端部には硬いボールを備えることが好ましい。
エラストマー製のカバー108がノードの骨組みをノードの両側において支柱の回り継ぎ手に対して連結しており、混入物の侵入を防止している。付属物を収容するための仕切りをベース110内に設けてもよい。
ベース110の前部には、延長部111が設けられ、下向き円錐状の容器を固定且つ既知である位置に支持し、その位置においてスタイラスの端部が円錐状の容器に届いてスタイラスが交換された後、スタイラスの較正を実施して誤差を補償する。
図2は、別の実施例における同様の骨組み構造の等角図を示すが、この構造においては支柱が延伸されてずっと大きな―この場合は2×2×2つまり8倍の―可動範囲を可能としつつ、同じ三角形の縦横比とこれによって位置精度を保持する。その他の支柱長さを用いることも可能であるが、位置精度を保持するためには同じ三角形の縦横比を保持することが好ましい。
図3は、4ジョイントの実施例を示す。3ジョイントは、頂点の旋回する支柱アーム302が不要となるという点を除いて同様である。ハンドルシャフト311にはボール301が取り付けられている。ボールの上部は、切り取られており、支柱アーム302がボールの中心を通る直交軸306の周りを回動することを可能とする。さらに2本の支柱アーム303,304は、円形端部を有し、ボールの直径に一致する、ボール状の環状ソケットを囲む。これら支柱アームが小さな夾角を形成することが可能であるように、これらアームは、ハサミの中心同様、いずれも部分305において切り取られている。
薄い強磁性鋼リング307が各支柱アーム303,304に挿入されている。支柱アーム304には、小さな薄い磁石308のアレイ(好ましくはネオジム鉄ボロンタイプのもの)がリング307に取り付けられている。2つの支柱アーム303,304がボール301の周りで接合された場合、これら支柱アームが一周する際に環状ソケットが接触するのを防止し、一方のリングにおける磁石が他方の支柱アームにおけるリングに接触することができない。しかしながら、それらはお互いを引きつけ合い、こうすることによって環状ソケットとボール301との間におけるプリロードされた接触を保持しながら摩擦の不利益を生じさせることがない。別の実施例において、磁石308を支持する鋼製のリング307が省略され、相応のより大きな磁石(磁気回路のメリットなくして作動するもの)が直接支柱アームの成形体に埋め込まれる。
各アーム303,304は、環状溝309を有し、エラストマー製のカバーの一端を保持することができる。カバーの他端は、支柱アーム302に取り付けられたリング310の上に、あるいは同様にハンドルシャフト311に取り付けられる。カバーを旋回可能なリング310に取り付ける利点は、こうすることによって部品が連接する際に、カバーがよりよくカバーの変位応力を逃すことができる点にある。
図4aおよび図4bは、好ましい実施例によるエンコーダノードを示す側面立面図および等角断面図である。
シェル501は、ボール表面の周りを十分に包むことによって、ボール移動ユニットが連接の限界においても常にシェルに対して接し、決してノードハウジング502へと回動しないようにする。ノードハウジング502は、好ましくはプラスティック製である。本実施例において、ハウジングは、シェルへにはめ込まれてもよい。
別の部分であるローラキャリア503が4つのローラを支持するシャフトを保持する。2つのローラ507a,507bが一方側において示されており、別の2つのローラが垂直対称な鏡像を形成しているため、これらローラは、支柱510の隣接する上面に積載される。ノードハウジングにおける支柱のための下部拘束部を形成するシャフトおよびローラ508a,508bとともに、これら支柱は、軸方向における動作以外の全ての動作が完全に拘束される。下部のローラは、支柱の面の全幅に亘って対となって作動し、支柱が自身の軸の周りを防止する効果をより高める。
回路基板/容量アレイセンサ509は、ノードハウジングに対して調整可能に保持され、支柱が設置された場合に、支柱の下面においてエンコーダトラックのフレキシブル回路基板に対する最適な分離距離が設定可能とされる。
ローラキャリア503は、その動作を拘束することによって、支柱の動作が拘束されるようにすべきである。しかしながら、ローラキャリアは、支柱をプリロード下において保持することによって、支柱における真直度不足などの微細な製造誤差を許容することができるようにすべきである。このような構造は、板バネ506を用いて実施され得るが、この板バネは、ノードハウジングの背部において折り返され、最初に、2つのボールによって形成される支点によって変位される。これらのボールは、ハウジングにおける孔に位置しており、その後バネ506の孔505に収容される。ハウジングにおける孔は、位置決めネジによって支持され得、これによって支点の高さを調整することが可能である。さらに2つの孔が板バネ506の端部504付近に設けられて、さらに2つのボールがローラキャリア503内に収容される。板バネ506は、折り返し部に向かう部分の終端近くにおいて分離されており、バネがより容易に左右へと個々に折り曲げられるようにし、よって支柱がノードを通って回動する際の支柱における製造誤差を許容する。この構造は、板バネ506をノードハウジングに対して一義的に保持し、ローラキャリア503を板バネ506に対して一義的に保持する。
カバーを保持する旋回リング511がフェルトパッドシール512に挿入されている場合の側面図が示されている。
図5aは、好ましい実施例によるハンドル600の一側面を切り欠いた図を示す。図5bは、図5aのハンドル600の一部を通る概略図を示す。
ハンドルシャフト601は、一方の端部においてボールを保持して4ジョイントあるいは3ジョイントにおける回転軸として作用する。ハンドルケースは、3つの部分602からなり、保持しやすい三葉形の直交断面を形成することが好ましい。ハンドル600は、ハンドルの後端部において、部分的なボールソケットによって保持されており、このボールソケットは、後方にプリロードされた場合にハンドルに対する回転軸を形成しながらもプリロードに対してハンドルが前進することも可能にする。ハンドルケース602に対して固着されているのはリング603であり、リングに押圧するのは円錐形のチルトリング604である。チルトリング604は、固定力を付与してハンドル600をハンドルのプリロードバネ力限界まで集中させる。
ハンドル600が傾斜されると、ハンドル600は後進することができないため、チルトリング604が前方に(図5bに示されるように位置605へ)円筒形のスライダ606に対して傾斜することになり、これによってスライダがプリロードバネ612を変位して圧縮させる。発生する傾斜軸に関係なく、スライダ606は同様に変位する。ハンドル600が前方に変位されると、円錐形のチルトリング604およびスライダ606は、前方に変位される。したがって、前方への軸方向変位あるいは傾斜のすべての組み合わせが容認される。チルトリング604は、チルトリングを(計測される対象物に対してスタイラスの端部におけるボールを押圧することによって)傾斜させるために必要な力が、ハンドル600の軸方向変位と同等の負荷をスタイラスのボール先端に対して生じさせるように設計されている。
好ましい実施例において、スライダ606の移動が比例式ホールセンサによって測定されるが、このセンサは、スライダ606に取り付けられている一対の小磁石611の移動を検知する。
ケースの背面には、ユーザが回転することができるノブ609が設けられている。このノブは、チューブに連結されており、このチューブはシャフトの周りを巡り、プリロードアジャスタ607へのねじ山へと係止する。ノブ609が回転されると、プリロードアジャスタ607を共に回転させることができないのは、プリロードアジャスタ607がハンドルシャフト601を通ってスライダ606のスロットへと延伸するピン608によって拘束されているからである。その他のキー溝を基本とした拘束システムを用いてもよい。結果的にノブが軸方向に移動せざるを得ず、移動する際にノブがプリロードバネ612を圧縮するか開放する。このような軸方向変位もまた、比例式ホールセンサを用いて測定することが可能である。
ノブ609をねじ山部分と連結するためのチューブは、製造上の利便性を鑑みて分割613されていてもよく、このような場合、チューブはシャフトよりも大きな内径を有するものからシャフトに一致する内径を有するものとなり、チューブの接合部分においてネジ状の機械的支持を設けることが可能である。この構造の目的は、ボタンおよび比例式ホールセンサからの配線コイルが、回動するハンドルケース602から非回転式のハンドルシャフト601まで延伸し、再びハンドルシャフト601から、配線コイルがハンドルシャフト601および4ジョイントの背部を通り、ハンドル600外へと出て支柱の中心まで延伸するための経路をたどることを可能にすることにある。
ハンドルケース602は、好ましくはハンドルシャフト601の周りを軸方向に自由に回動可能であることによって、ユーザがハンドルケースの人間工学上における半径方向変位を保つことが可能となり、人差し指とケースの前面に取り付けられた4位置ボタンとの接触を保持することが可能となる。
発明について上記において特定の実施例に基づいて詳述したものの、これら実施例があらゆる面において例示的であり、添付の特許請求項の精神および範囲から逸脱することなく、変更および変形が可能であることは理解され得る。
Claims (18)
- ハンドルに堅固に接続された測定点先端の絶対位置を決定する座標測定機であって、
2つに分岐した第1のリンケージと、
3つに分岐した第2のリンケージと、
上記第1のリンケージの2つに分岐したジョイントにおいて交わるように配置された第1及び第2の支柱と、
上記第2のリンケージの3つに分岐したジョイントにおいて交わるように配置された第3、第4及び第5の支柱と
を備え、
上記第1及び第2のリンケージは上記ハンドルによって連結されており、
第1、第2、第3、第4、及び第5ノードを支持する骨組みをさらに備え、各ノードは上記第1、第2、第3、第4、及び第5の支柱のうちの対応する1つにスライド可能に係止しており、また、各ノードは、当該ノードに対する対応する支柱の変位を測定するための手段を備えていることを特徴とする座標測定機。 - 5つの軸の周りにおいて対象物の座標を測定するように配置された、請求項1に記載の座標測定機。
- 上記第1および第2の支柱は、上記第1のリンケージに対して回転可能に係止されており、
上記第3、第4および第5の支柱は、上記第2のリンケージに対して回転可能に係止されている、請求項2に記載の座標測定機。 - 上記第1および第2の支柱は、共通軸の周りにおいて上記第1のリンケージに対して回動可能に係止されているため、互いに相対的な回転が可能であり、
上記第1のリンケージは、第1のボールと第1のソケットからなる第1の玉継ぎ手を備え、この第1の玉継ぎ手は、上記第1および第2の支柱に対して回転可能に係止されて、上記第1のボールの周りを3自由度において上記第1および第2の支柱と共に回動可能である、請求項1に記載の座標測定機。 - 上記第3および第4の支柱は、共通軸の周りにおいて上記第2のリンケージに対して回動可能に係止されているため、互いに相対的な回転が可能であり、
上記第2のリンケージは、上記第2のボールと第2のソケットからなる第2の玉継ぎ手を備え、この第2の玉継ぎ手は、上記第3および第4の支柱に対して回転可能に係止されて、上記第2のボールの周りを3自由度において上記第3および第4の支柱と共に回動可能であり、
上記第5の支柱は、少なくとも1つの軸における上記第2のボールの中心における回転軸に対して回動可能に係止されている、請求項4に記載の座標測定機。 - 上記ハンドルは、長細い部材であって、上記第1および第2のリンケージを介してハンドルの主軸の周りを回動する部材を備える、請求項1〜5のうちいずれか1項に記載の座標測定機。
- 上記ハンドルに連結されたスタイラスを備える、請求項1〜6のうちいずれか1項に記載の座標測定機。
- 上記スタイラスは、上記測定点先端を備える、請求項7に記載の座標測定機。
- 上記ハンドルは、上記第1および第2のリンケージのうちいずれか一方を超えて延伸し、交換可能なスタイラスであって、既知である直径を有する球体先端を備え、対象物を調べるのに適したスタイラスを備える、請求項1〜6のうちいずれか1項に記載の座標測定機。
- 上記ハンドルは、該ハンドルの主軸の周りをあらゆる方向に傾斜して主軸に沿って変位することが可能であり、
上記ハンドルは、上記測定点先端に対して固定的に連結されており、
上記測定点先端は、球体であり、
上記主軸に沿った上記ハンドルの変位が位置計測処理を始動させる、請求項1〜7のうちいずれか1項に記載の座標測定機。 - 上記ハンドルは、該ハンドルに対してプリロードされた傾斜力を付与するための付勢手段を備える、請求項10に記載の座標測定機。
- 上記付勢手段は、バネ部材を備え、
上記プリロードされた傾斜力は、上記バネ部材に対して連結された1つ以上の位置決めネジを用いて外部より変更されるようにする、請求項11に記載の座標測定機。 - 上記ハンドルの変位を比例的に測定するホールセンサを備える、請求項11または12に記載の座標測定機。
- 上記ハンドルは、上記第1および第2の玉継ぎ手の周りを傾斜し、軸方向に位置を変えることが可能であり、
このような変位は、チルトリングによって実施されて全ての変位ベクトルを内部部材の軸方向変位へと還元し、スイッチを作動させ、測定することが可能である、請求項4に記載の座標測定機。 - 上記第1および第2の支柱は、それぞれが、上記第1の玉継ぎ手の上記第1のボールと互いとを係止するための環状のリングを備え、
これらのリングの一つは、これらのリングを互いに引きつけあうための磁石手段を備える、請求項4に記載の座標測定機。 - 上記第3および第4の支柱は、それぞれが、上記第2の玉継ぎ手のボールと互いとを係止するための環状のリングを備え、
これらのリングの一つは、これらのリングを互いに引きつけあうための磁石手段を備える、請求項5に記載の座標測定機。 - 各ノードは、該ノードを通過する対応する支柱の動作を軸方向動作のみに制限するための手段をそれぞれ備える、請求項4に記載の座標測定機。
- 上記第1から第5の支柱はそれぞれ、3つの平面を有する三角形の断面形状を有する長細い部分を備え、
各支柱の上記3つの平面のうち1つは、直線型エンコーダトラックを保持する、
請求項1〜17のうちいずれか1項に記載の座標測定機。
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DE102006031580A1 (de) | 2006-07-03 | 2008-01-17 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Verfahren und Vorrichtung zum dreidimensionalen Erfassen eines Raumbereichs |
WO2008064276A2 (en) | 2006-11-20 | 2008-05-29 | Hexagon Metrology Ab | Coordinate measurement machine with improved joint |
US9551575B2 (en) | 2009-03-25 | 2017-01-24 | Faro Technologies, Inc. | Laser scanner having a multi-color light source and real-time color receiver |
DE102009015920B4 (de) | 2009-03-25 | 2014-11-20 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
DE102009057101A1 (de) | 2009-11-20 | 2011-05-26 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US9113023B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-08-18 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with spectroscopic energy detector |
US9529083B2 (en) | 2009-11-20 | 2016-12-27 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with enhanced spectroscopic energy detector |
US9210288B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-12-08 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with dichroic beam splitters to capture a variety of signals |
US9607239B2 (en) | 2010-01-20 | 2017-03-28 | Faro Technologies, Inc. | Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations |
US9163922B2 (en) | 2010-01-20 | 2015-10-20 | Faro Technologies, Inc. | Coordinate measurement machine with distance meter and camera to determine dimensions within camera images |
US8276286B2 (en) | 2010-01-20 | 2012-10-02 | Faro Technologies, Inc. | Display for coordinate measuring machine |
US9879976B2 (en) | 2010-01-20 | 2018-01-30 | Faro Technologies, Inc. | Articulated arm coordinate measurement machine that uses a 2D camera to determine 3D coordinates of smoothly continuous edge features |
US9628775B2 (en) | 2010-01-20 | 2017-04-18 | Faro Technologies, Inc. | Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations |
GB2478280A (en) * | 2010-03-01 | 2011-09-07 | Makex Ltd | Five axis coordinate measuring machine |
DE102010020925B4 (de) | 2010-05-10 | 2014-02-27 | Faro Technologies, Inc. | Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US9168654B2 (en) | 2010-11-16 | 2015-10-27 | Faro Technologies, Inc. | Coordinate measuring machines with dual layer arm |
DE102012100609A1 (de) | 2012-01-25 | 2013-07-25 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US8997362B2 (en) | 2012-07-17 | 2015-04-07 | Faro Technologies, Inc. | Portable articulated arm coordinate measuring machine with optical communications bus |
WO2014029448A1 (en) * | 2012-08-24 | 2014-02-27 | Abb Technology Ltd | Calibration tool for a delta robot |
DE102012109481A1 (de) | 2012-10-05 | 2014-04-10 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US10067231B2 (en) | 2012-10-05 | 2018-09-04 | Faro Technologies, Inc. | Registration calculation of three-dimensional scanner data performed between scans based on measurements by two-dimensional scanner |
US9513107B2 (en) | 2012-10-05 | 2016-12-06 | Faro Technologies, Inc. | Registration calculation between three-dimensional (3D) scans based on two-dimensional (2D) scan data from a 3D scanner |
CN103267461B (zh) * | 2013-06-09 | 2015-08-12 | 南京晨光集团有限责任公司 | 用于测量空间物体重复定位精度的方法 |
DE102015122844A1 (de) | 2015-12-27 | 2017-06-29 | Faro Technologies, Inc. | 3D-Messvorrichtung mit Batteriepack |
EP3440426B1 (en) * | 2016-04-08 | 2021-06-30 | Renishaw PLC | Coordinate positioning machine |
US20190056210A1 (en) * | 2017-08-16 | 2019-02-21 | Agathon AG, Maschinenfabrik | Measuring device |
GB2568459B (en) * | 2017-10-13 | 2020-03-18 | Renishaw Plc | Coordinate positioning machine |
GB2582972B (en) | 2019-04-12 | 2021-07-14 | Renishaw Plc | Coordinate positioning machine |
CN112428255B (zh) * | 2020-11-13 | 2022-12-27 | 重庆邮电大学 | 一种具有双驱动约束支链的五自由度并联加工机器人 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1234454A (ja) * | 1967-06-22 | 1971-06-03 | ||
JPS5745407A (en) * | 1980-09-02 | 1982-03-15 | Kosaka Kenkyusho:Kk | Three dimensional coordinate measuring device |
US4407625A (en) * | 1981-05-15 | 1983-10-04 | Westinghouse Electric Corp. | Multi-arm robot |
FR2587690A1 (fr) * | 1985-09-25 | 1987-03-27 | Cerma | Actionneur electrique lineaire roto-resistant a tige de section polygonale guidee par des galets pour supporter les efforts dus a des charges radiales deportees par rapport a l'axe de la tige |
US4776749A (en) * | 1986-03-25 | 1988-10-11 | Northrop Corporation | Robotic device |
DE3623614A1 (de) * | 1986-07-12 | 1988-01-14 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmessgeraet mit einem tastkopf vom schaltenden typ |
JPH01248002A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-03 | Amada Co Ltd | 三次元測定器 |
GB2289002B (en) * | 1991-04-05 | 1996-01-17 | Geodetic Technology Internatio | Mechanical manipulator |
US5401128A (en) * | 1991-08-26 | 1995-03-28 | Ingersoll Milling Machine Company | Octahedral machine with a hexapodal triangular servostrut section |
DE4238139C2 (de) * | 1992-11-12 | 2002-10-24 | Zeiss Carl | Koordinatenmeßgerät |
US5402582A (en) * | 1993-02-23 | 1995-04-04 | Faro Technologies Inc. | Three dimensional coordinate measuring apparatus |
JP3013958B2 (ja) * | 1993-05-06 | 2000-02-28 | 聖士郎 宗平 | 可搬式多関節3次元測定器 |
DE19534535C2 (de) | 1995-09-18 | 2000-05-31 | Leitz Mestechnik Gmbh | Koordinatenmeßmaschine |
US5797191A (en) * | 1996-09-25 | 1998-08-25 | University Of Florida | Parallel kinematic structure for spatial positioning devices and method of initializing same |
JP2918505B2 (ja) * | 1996-12-02 | 1999-07-12 | 株式会社エイ・ティ・アール知能映像通信研究所 | 3次元形状計測装置 |
CH692055A5 (de) * | 1997-05-01 | 2002-01-15 | Mikron S A Agno | Hydrostatisches Gelenk. |
GB9724453D0 (en) * | 1997-11-20 | 1998-01-14 | Renishaw Plc | Measuring or positioning machine |
JP3443030B2 (ja) * | 1999-03-31 | 2003-09-02 | オークマ株式会社 | 測定装置 |
US6497548B1 (en) * | 1999-08-05 | 2002-12-24 | Shambhu Nath Roy | Parallel kinematics mechanism with a concentric sperical joint |
US20040013509A1 (en) * | 1999-08-05 | 2004-01-22 | Roy Shambhu Nath | Parallel kinematics mechanism with a concentric spherical joint |
GB0026357D0 (en) | 2000-10-27 | 2000-12-13 | Makex Ltd | Improvements in parallel link machine design |
EP1364338A2 (en) * | 2000-10-27 | 2003-11-26 | Makex Limited | Haptic input device |
DE10153854C1 (de) | 2001-11-02 | 2003-06-12 | Fraunhofer Ges Forschung | Bewegungs- und/oder Positioniervorrichtung |
DE10301985A1 (de) | 2003-01-15 | 2004-07-29 | Carl Zeiss | Stativsystem zum Positionieren und Halten eines Mikroskops |
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