JP2009507656A - マイクロシステムの製造方法、当該マイクロシステム、当該マクロシステムを有するホイルの積層体、当該マイクロシステムを有するエレクトロニクス素子、及び該エレクトロニクス素子の使用 - Google Patents
マイクロシステムの製造方法、当該マイクロシステム、当該マクロシステムを有するホイルの積層体、当該マイクロシステムを有するエレクトロニクス素子、及び該エレクトロニクス素子の使用 Download PDFInfo
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Abstract
Description
ラマドス(Ramadoss)他、IEEE Transactions on Advanced Packaging誌、第26巻、2003年、pp.248-254 ウド・クライン(Udo Klein)、MSTニュース、第2巻、2001年、pp.40-41
少なくとも2層の絶縁性の柔らかいホイルの組を供する工程であって、それぞれのホイルは実質的に同一のホイル材料を有し、導体層は少なくとも1層のホイルの少なくとも1面上に存在し、かつ前記導体層は電極又は導線としての使用に適している、工程;
電極又は導線を形成するように導体層をパターニングする工程;
マイクロシステムの空間が形成されるように少なくとも1層のホイルをパターニングする工程;
複数のホイルの組を積層することによってマイクロシステムを形成する工程;及び
複数のホイルを接合工程であって、2つの隣接するホイルが互いに接するときに、2つの隣接するホイルのホイル材料間に存在する少なくとも1層の導体層が除去される位置で、その複数のホイルは結合して1つになる、工程;
を有する。
導体層及びホイルをそのままにする工程;
ホイルが曝露されるように導体層を除去する工程;
導体層及びホイルの一部を除去することで、ホイルを薄い状態で残す工程;及び
空間が形成されるように導体層及びホイルを完全に除去する工程;
である。
ホイルと導体層の両方が除去されない領域、
(たとえば隣接ホイルと接続するように)導体層のみが除去される領域、
(たとえばホイルの柔軟性を制御するように)導体層だけではなくホイルの一部も除去される領域、及び
(たとえば空間が形成されるように)ホイルと導体層の両方が除去される領域、
である。
当該マイクロシステムの設計は、その単純さゆえに魅力的である。この設計の主要な利点は、膜の表面積が背面板の表面積と同じでさえあれば良いことである。このことは、傾斜を形成する異方性エッチングが必要とされるシリコン技術のマイクロシステムとは対照的である(たとえば前記エッチングがKOH水溶液によって<100>シリコンウエハについて行われる場合、前記傾斜は54.7°である)。シリコン技術における係る水溶液は、たとえば非特許文献2のような他の刊行物から既知である。
-漏れが起こりにくいようにホイルが十分に結合すること、
-μTAS素子の裏側に液体が残らないようにホイルを疎水性にすることで、シリコン技術における従来のμTAS素子には必要であった疎水性コーティングが不要となること、及び
-素子が生体親和性を有すること、
である。
導体層をホイルの少なくとも1面(両面でも可能であり、場合によっては両面の方が好ましい)に付与する工程;
ホイルを前処理する前処理工程;
ホイルを積層することでマイクロシステムを形成する形成工程;
複数のホイルを結合する結合工程;及び
複数のホイルからなる積層体からマイクロシステムを分離する分離工程;
である。
導体層及びホイルをそのままにする工程;
ホイルが曝露されるように導体層を除去する工程;
導体層及びホイルの一部を除去することでホイルを薄い状態で残す工程;及び
空間が形成されるように導体層及びホイルを完全に除去する工程;
である。
一のホイルのホイル材料が他のホイルのホイル材料と直接接触することで強い結合が形成される場合;
一のホイルのホイル材料が他のホイルの導体層と直接接触することで弱い結合が形成される場合;
一のホイルの導体層が他のホイルの導体層と直接接触することで結合が形成されない場合;
である。
携帯電話及びPDA用のMEMSマイクロホン;
化学分析システムで用いられるマイクロポンプ及び流体処理;並びに
タイヤ内の圧力センサ;
である。
ホイル厚さが垂直方向の分解能を決定すること;
基本材料としてのホイルは制御可能でなければならず、ロール上に供給されることが好ましいこと;
ホイルをメタライズすることが可能であること;
好適にはレーザーによって、メタライズされたホイルを前処理することが可能であること;
好適には熱及び圧力を用いることによって、ホイルは積層後に結合可能であること;
材料は“低温”(<300℃)で融解可能であること;並びに
ホイル積層体は、積層及び結合後、当該マイクロシステムに求められる特性を有すること;
である。
Claims (53)
- 空間が供されたマイクロシステムの製造方法であって:
少なくとも2層の絶縁性の柔らかいホイルからなる1組のホイルを供する工程であって、前記ホイルの各々は実質的に同一の厚さを有し、前記ホイルの少なくとも1層の少なくとも1面上には導体層が存在し、かつ前記導体層は電極又は導線としての使用に適している、提供工程;
前記導体層をパターニングすることで電極又は導線を形成する導体層パターニング工程;
前記ホイルの少なくとも1層をパターニングすることによって、当該マイクロシステムの空間となる開口部を形成するホイルパターニング工程;
前記1組のホイルを積層することによって当該マイクロシステムを形成する積層工程;及び
複数の前記ホイルを接合する工程であって、前記ホイルのうちの2つの隣接するホイルが互いに接する際に、前記2つの隣接するホイルのホイル材料間に存在する少なくとも1層の前記導体層が除去される位置で前記複数のホイルが結合することで接合する、接合工程;
を有する方法。 - 各々が同一の厚さを有する複数のホイルからなる1組のホイルが供される、ことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも3層の絶縁性の柔らかいホイルが供される、ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。
- 当該マイクロシステム内の少なくとも1層のホイルから可動素子が形成され、
前記可動素子は、少なくとも一面で当該マイクロシステムに取り付けられ、
前記可動素子は、可動質量、可動バルブ、及び可動膜を含む群から選ばれ、かつ
前記可動素子は、前記空間の1つの側に存在する、
ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。 - 当該マイクロシステムにはセンサが供され、
該センサは、前記空間内のある量を測定するため、前記空間付近に存在するホイル上の導体層中に形成される、
ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。 - 製造される当該マイクロシステムがMEMS素子を有する、ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。
- 製造される当該マイクロシステムが、MEMSキャパシタマイクロホン、MEMS圧力センサ、MEMS加速度計を含む群から選ばれるマイクロシステムである、ことを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 製造される当該マイクロシステムがマイクロ流体素子を有する、ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。
- 製造される当該マイクロシステムが、マイクロバルブ、マイクロポンプ、及びμTAS素子を含む群から選ばれるマイクロシステムである、ことを特徴とする、請求項7に記載の方法。
- 前記導体層又はホイルパターニング工程が、マスクを併用するか否かに関わらず、レーザーの手段によって実行される、ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。
- 前記導体層又はホイルパターニング工程が:
前記導体層及びホイルをそのままにする工程;
前記ホイルが曝露されるように前記導体層を除去する工程;
前記導体層及びホイルの一部を除去することで、前記ホイルを薄い状態で残す工程;及び
前記空間が形成されるように前記導体層及びホイルを完全に除去する工程;
から選ばれた工程を用いることによって実行される、
ことを特徴とする、請求項10に記載の方法。 - 前記積層工程が、第1リール上で少なくとも1つのホイルを巻き取ることによって行われる、ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。
- 当該方法は、前記ホイルが第2リール又はロールからは巻き取られずに、前記第1リール上で巻き取られる、ことを特徴とする、請求項12に記載の方法。
- 前記導体層及びホイルパターニング工程が、前記第1リール上又は該第1リール付近、前記第1リールと前記第2リールの間、及び前記第2リール上又は該第2リール付近、のうちから選ばれる少なくとも1つの場所で行われる、ことを特徴とする、請求項13に記載の方法。
- 前記接合工程が、高温にて前記の積層されたホイルに圧力を加えることによって実行され、
前記圧力は前記ホイルに垂直な方向に加えられる、
ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。 - 構造体中において前記空間と隣接する前記ホイルに必要とされる圧力が、前記空間を高圧にすることによって得られる、ことを特徴とする、請求項15に記載の方法。
- 前記ホイルからなる積層体中に開口部が形成されることで、当該マイクロシステムの一の側から導体層へのアクセスが供され、
前記導体層は当該マイクロシステムの電極と接続する、
ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。 - 当該マイクロシステムが、前記ホイルが1つになった後に前記積層体から分離する、ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。
- 前記導体層の材料が、アルミニウム、プラチナ、銀、金、銅、インジウムスズ酸化物、及び磁性材料を含む群から選ばれる、ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。
- 前記ホイル材料が、ポリフェニルサルファイド(PPS)及びポリエチレンテレフタラート(PET)を含む群から選ばれる、ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。
- 用いられる前記ホイルの厚さが1μmから5μmである、ことを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1項に記載の方法。
- 一の層が他の層上に積層される少なくとも2層の絶縁性の柔らかいホイルからなる1組のホイルで構築されるマイクロシステムであって、
前記ホイルの各々は実質的に同一のホイル材料を有し、
少なくとも1層の前記ホイルには、電極として備えられるパターニングされた導体層が供され、かつ
少なくとも1層の前記ホイルには空間が供される、
マイクロシステム。 - 前記ホイルの各々が同一の厚さを有することを特徴とする、請求項22に記載のマイクロシステム。
- 少なくとも3層の絶縁性の柔らかいホイルを有することを特徴とする、請求項22又は23に記載のマイクロシステム。
- 可動素子を有するマイクロシステムであって、
前記可動素子は少なくとも1層のホイルを有し、
前記可動素子は少なくとも1面で当該マイクロシステムに取り付けられ、
前記可動素子は、可動質量、可動バルブ及び可動膜を含む群から選ばれ、かつ
前記可動素子は、前記空間の一の側に存在する、
ことを特徴とする、請求項22から24のうちのいずれか1項に記載のマイクロシステム。 - センサを有するマイクロシステムであって、
前記センサは、前記空間内のある量を測定するため、前記空間付近に存在するホイル上の導体層中に実装される、
ことを特徴とする、請求項22から25のうちのいずれか1項に記載のマイクロシステム。 - MEMSキャパシタマイクロホンを有することを特徴とする、請求項25に記載のマイクロシステム。
- 複数のホイルの組が少なくとも3層のホイルを有し、
当該マイクロシステム内には空間が存在し、
前記空間の第1側には音波を受ける膜として備えられた第1ホイルが供され、
前記空間の第2側には背面板として備えられた第2ホイルが供され、
前記第2ホイルは、自由空間への圧力波の通路となる開口部を有し、
前記空間は、前記ホイルに対して垂直な方向で測定して、少なくとも1層分のホイルの厚さを有し、
当該マイクロシステムは、前記膜及び背面板にも導体層が供されることを特徴とし、
前記層は、当該マイクロシステムと電気的に接続するための領域となる、
ことを特徴とする、請求項27に記載のマイクロシステム。 - 前記膜又は背面板であるホイルには、2つの面上に導体層が供される、ことを特徴とする、請求項28に記載のマイクロシステム。
- 前記膜であるホイルは、端部領域での厚さが他の領域での厚さよりも薄い、ことを特徴とする、請求項28又は29に記載のマイクロシステム。
- MEMS圧力センサを有することを特徴とする、請求項25に記載のマイクロシステム。
- 前記組が少なくとも3層のホイルを有し、
当該マイクロシステム内には第1空間が存在し、
前記第1空間の第1側には、第1電極として機能する導体層を有する可動膜が供され、
前記可動膜は、前記第1側と接する面とは反対の面で、測定される圧力が拡がる他の空間と隣接するように設けられ、
前記第1空間の第2側には、ホイル上の導体層中に実装される第2電極が供され、
前記第1及び第2電極は、ホイルに平行な面上に与えられるときに重なることにより前記第1及び第2電極は1つになって、前記第1空間と前記他の空間との間の圧力差に依存するキャパシタンスを形成することで膜を偏向させ、
当該マイクロシステムは、前記第1空間が、前記ホイルに対して垂直な方向で測定して、少なくとも1層分のホイルの厚さを有することを特徴とし、
当該マイクロシステムはさらに、前記電極の導体層が当該マイクロシステムと電気的に接続するための領域となる、
ことを特徴とする、請求項31に記載のマイクロシステム。 - MEMS加速度計を有することを特徴とする、請求項25に記載のマイクロシステム。
- 前記組が少なくとも3層のホイルを有し、
当該マイクロシステム内には少なくとも1層分の厚さを有する空間が存在し、
前記空間の第1側には可動質量上に存在する第1電極が供され、
前記質量は少なくとも1層のホイルを有する積層体で構成され、
かつ前記質量は弾性接続によって当該マイクロシステムと接続し、
前記空間の反対側には第2電極が存在し、
前記第1電極及び第2電極は前記ホイルの導体層中に実装され、
前記第1及び第2電極は、前記ホイルに平行な面上に与えられるときに重なることにより前記第1及び第2電極は1つになって、前記可動質量に作用する加速力に依存するキャパシタンスを形成し、
前記加速力は当該マイクロシステムに対する前記質量の相対運動、ひいては前記第1電極と第2電極との間の空間の厚さ変化に影響を及ぼし、
当該マイクロシステムはさらに、前記電極の導体層が当該マイクロシステムと電気的に接続するための領域となる、
ことを特徴とする、請求項23に記載のマイクロシステム。 - マイクロバルブを有することを特徴とする、請求項25に記載のマイクロシステム。
- 複数のホイルの組が少なくとも4層のホイルを有し、
当該マイクロシステム内には注入口及び排出口を有する空間が存在し、
少なくとも前記排出口は当該マイクロバルブに取り付けられた可動バルブによって閉じられ、
前記バルブは第1電極を画定する導体層が供されているホイルを有し、
前記空間の第1側には第2電極が供され、前記第1側の反対側には第3電極が供され、
前記第2電極と第3電極の両方は、ホイル上の導体層中に実装され、
前記電極の全ては、前記ホイルに平行な面上に与えられるときに重なることにより前記第2及び第3電極は、前記可動バルブを容量的に駆動するのに用いられ、
当該マイクロシステムはさらに、前記空間が、ホイルに対して垂直な方向に測定して、少なくとも1層分のホイルの厚さを有することを特徴とし、
当該マイクロシステムはさらに、前記電極の導体層が当該マイクロシステムと電気的に接続するための領域となる、
ことを特徴とする、請求項35に記載のマイクロシステム。 - マイクロポンプを有することを特徴とする、請求項25に記載のマイクロシステム。
- 前記組が少なくとも6層のホイルを有し、
当該マイクロシステム内には注入口及び排出口を有する第1空間が存在し、
前記注入口及び排出口は、当該マイクロバルブに取り付けられたホイルを有する可動バルブによって閉じられ、
前記第1空間の第1側には第1電極を画定する導体層を有する可動膜が供され、
前記可動膜は前記第1側に対向する側で第2空間と隣接するように設けられ、
第1側に対向する側に対向する前記第2空間の側には、第2電極として機能する導体層を有するホイルが供され、
前記第1及び第2電極は、前記ホイルに平行な面上に与えられるときに重なることにより前記第2電極は、前記可動膜を容量的に駆動するのに用いられ、
当該マイクロシステムはさらに、前記2つの空間が、ホイルに対して垂直な方向で測定して、少なくとも1層分のホイルの厚さを有することを特徴とし、
当該マイクロシステムはさらに、前記電極の導体層が当該マイクロシステムと電気的に接続するための領域となる、
ことを特徴とする、請求項37に記載のマイクロシステム。 - 前記第1空間の第2側のホイル上に他の導体層がさらに供されるマイクロシステムであって、
前記導体層は第3電極を画定し、
前記第1及び第3電極は、前記ホイルに平行な面上に与えられるときに重なることにより前記第3電極は、前記可動ホイルを容量的に駆動するのにも用いられ、
当該マイクロシステムはさらに、前記第3電極の導体層が当該マイクロシステムと電気的に接続するための領域となる、
ことを特徴とする、請求項37に記載のマイクロシステム。 - μTAS素子を有することを特徴とする、請求項26に記載のマイクロシステム。
- 前記組が少なくとも3層のホイルを有し、
当該マイクロシステム内には、気体又は液体の流路である注入口及び排出口を有するチャネルが存在し、
前記チャネルは、前記ホイルに対して垂直な方向で測定して、少なくとも1層分のホイルの厚さを有し、
前記チャネルの一方には、センサ又はアクチュエータが供される、
ことを特徴とする、請求項40に記載のマイクロシステム。 - 前記センサ又はアクチュエータが、前記チャネルに隣接する前記ホイルの導体層内に形成される、ことを特徴とする、請求項41に記載のマイクロシステム。
- フローセンサを有することを特徴とする、請求項42に記載のマイクロシステム。
- 伝導性センサを有することを特徴とする、請求項42に記載のマイクロシステム。
- 他のセンサ又はアクチュエータを有するマイクロシステムであって、
前記他のセンサ又はアクチュエータが前記チャネルの対向する面に隣接する前記ホイルの導体層中に存在する、
ことを特徴とする、請求項42から44のうちのいずれか1項に記載のマイクロシステム。 - 前記導体層の材料が、アルミニウム、プラチナ、銀、金、銅、インジウムスズ酸化物、及び磁性材料を有する群から選ばれる金属を有することを特徴とする、請求項22から45のうちのいずれか1項に記載のマイクロシステム。
- 前記ホイルの材料が、ポリフェニルサルファイド(PPS)及びポリエチレンテレフタラート(PET)を有する群から選ばれる物質を有することを特徴とする、請求項22から46のうちのいずれか1項に記載のマイクロシステム。
- 前記ホイルが1μmから5μmの厚さを有することを特徴とする、請求項22から47のうちのいずれか1項に記載のマイクロシステム。
- 請求項27から34のうちのいずれか1項に記載のマイクロシステムを有する絶縁性の柔らかいホイルからなる積層体。
- 請求項27から34のうちのいずれか1項に記載のマイクロシステムを有するエレクトロニクス素子。
- 前記エレクトロニクス素子が、当該マイクロシステムからの信号を読み取り、又は駆動するための集積回路をさらに有する、ことを特徴とする、請求項50に記載のエレクトロニクス素子。
- 凹部が供されるマイクロシステムであって、
前記凹部内に前記集積回路が設けられることにより、当該マイクロシステムは前記集積回路パッケージの一部を形成し、
前記集積回路は当該マイクロシステムと接続する、
ことを特徴とする、請求項51に記載のエレクトロニクス素子。 - 請求項50から52のうちのいずれか1項に記載のエレクトロニクス素子の使用であって、
当該マイクロシステムは、マイクロシステムが音を記録するMEMSキャパシタマイクロホンを有し、
前記MEMSキャパシタマイクロホンは電極に電圧Xを供給し、かつ
前記電圧Xは集積回路によって読み取られる、
ことを特徴とするエレクトロニクス素子の使用。
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