JP2009507383A - レーザロッド用光学マウント - Google Patents

レーザロッド用光学マウント Download PDF

Info

Publication number
JP2009507383A
JP2009507383A JP2008529418A JP2008529418A JP2009507383A JP 2009507383 A JP2009507383 A JP 2009507383A JP 2008529418 A JP2008529418 A JP 2008529418A JP 2008529418 A JP2008529418 A JP 2008529418A JP 2009507383 A JP2009507383 A JP 2009507383A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
optical
base
optical element
contact block
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2008529418A
Other languages
English (en)
Inventor
フェクリストフ、ドミトリ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ellex Medical Pty Ltd
Original Assignee
Ellex Medical Pty Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from AU2005904907A external-priority patent/AU2005904907A0/en
Application filed by Ellex Medical Pty Ltd filed Critical Ellex Medical Pty Ltd
Publication of JP2009507383A publication Critical patent/JP2009507383A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/04Arrangements for thermal management
    • H01S3/042Arrangements for thermal management for solid state lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/025Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/04Arrangements for thermal management
    • H01S3/0405Conductive cooling, e.g. by heat sinks or thermo-electric elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/0602Crystal lasers or glass lasers
    • H01S3/0606Crystal lasers or glass lasers with polygonal cross-section, e.g. slab, prism

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

2個以上の接触ブロックを付勢して、光学素子の2つの面と光学素子を支持するベースとに接触させた、レーザロッド等の光学素子を保持するための光学マウント。光学マウントは、光学素子との良好な熱接触を維持して温度勾配を最小限に抑える。

Description

本発明は、光学マウントに関するものであり、より詳細には、レーザロッドを保持するためのマウントに関するものである。
レーザロッドのような光学素子は、急速に変化し極めて変動しやすい熱環境であることが多い環境で動作する。熱変化は、熱光学的および熱機械的な位置ずれを引き起こす可能性がある。熱によって誘起される位置ずれを低減し、かつ熱応力の発生を回避するために光学素子を正しい動作温度に維持する一方で、安定した機械的位置を維持することが重要である。
熱安定性の重要さを示す具体例は、レーザロッドの光学励起に基づく固体レーザシステムである。レーザロッドは、特定の波長での特徴的な光学遷移を有する。レーザ発振効率、レーザロッド内でのレンズ作用、および放出される輻射のビーム品質に影響する幾つかの要因があることがよく知られている。例えば、熱誘起レンズ作用および複屈折は、Nd:YAGレーザでは知られた問題である。
レーザロッドがポンプ源からのエネルギーで励起されているときに、エネルギーの一部は熱に転換されるが、かかる熱は、熱光学的位置ずれおよび熱機械的応力を回避するためにレーザロッドから均一に取り除かなければならない。これを成し遂げるためには、光学素子の全表面から効率的なヒートシンクまでの熱伝導率が、良好かつ均一である必要がある。しかしながら、光学素子はマウントにクランプ留めされるため、機械的応力を誘起することなく望まれる熱移動特性を達成するマウントを設計することは、困難であることが判明している。さらに、エネルギー励起中の大きな熱変動によるロッドの膨張および収縮によって、存在する機械的応力は強められ、熱負荷が無ければ存在しない熱応力が誘起される。
熱負荷を放散するための光学素子の取り付けに関する従来の解決方法には、対応する「V」字型ブロック対を使用してかかる対の間にレーザロッドを挟むというものが含まれる。この方法の例が、特許文献1に記載されている。熱は、「V」字型ブロックの一方または両方から取り出される。「V」字型ブロック対を使用する別の例は、特許文献2に見られる。この例ではバネを使用して保持部品(上側「V」字型ブロック)を適所に維持し、熱膨張が生じた際の光学素子の破損リスクを低減する。この設計の主要な欠点は、ホルダ(下側「V」字型ブロック)から保持部品を押しのけるに足る熱膨張が生じた場合、保持部品からホルダへの熱移動が一方または両方の側面で失われ、その結果、熱安定性が不十分になることである。
従来技術の装置は、必要とされるレベルの熱安定性を維持することができない。
従来のレーザロッド用ホルダを図1に示す。レーザロッド1は、下側「V」字型ブロック2と上側「V」字型ブロック3との間に保持される。「V」字型ブロック対は、レーザロッドの全ての側面に確実に接触するように押し付けられて1つになる。レーザロッドからの熱は、矢印で示すようにブロックに伝導される。下側ヒートシンク4および上側ヒートシンク5が過剰な熱を吸収し、温度制御を行う。通常、ヒートシンク4および5はペルチェチップ素子または水冷コイルである。
図1の従来技術の装置は、2個の温度制御装置を必要とし、それによってコストが増す。温度制御装置は、ブロック間へのシステム的な熱差の導入を避けるために十分に対応したものでなければならない。ロッドの全長に沿って全ての面で良好な接触を維持すべき場合には、高い機械的公差も必要となる。
別の従来技術の取り付けブロックを図2に示す。この設計は図1の設計に類似するが、コストを削減するために単一の下側ヒートシンク4のみを使用する。ブロックの一方から他方へ熱を伝導するために、「V」字型ブロック間にインジウム箔6が配置される。熱の流れは矢印で示される。この設計はコストを削減し、ヒートシンク間に生じ得る差の問題を解消するが、ロッドの全長にわたる全ての面で良好な接触を保ち、また、上側および下側ブロックに隣接する面とも良好な接触を保つためには、非常に高い機械的公差が必要となる。この結果、通常は、上側ブロック3の上面と、ヒートシンク4に隣接する下側ブロック2の底面との間に、温度勾配が生じる。加えて、図1および図2に示した設計では、エネルギー励起中に生成された熱によりロッドが膨張および収縮しているときに、一定しない機械的応力および熱伝導率が導入される。特許文献2には、本願の図2に類似した設計が開示されており、この設計ではバネを使用することにより、上側「V」字型ブロック3を適所に保持し、熱膨張が生じた際の光学素子の破損リスクを低減する。この設計の主要な欠点は、下側「V」字型ブロック2から保持部品を押しのけるに足る熱膨張が生じた場合に、上側「V」字型ブロック3から下側「V」字型ブロック2への熱移動が一方または両方の側面で失われ、その結果、熱安定性が不十分になることである。
米国特許第6754418号明細書 米国特許出願公開第2004/0165625号明細書
本発明の目的は、光学素子用の熱的に安定したマウントを提供することである。
以下の説明から、さらなる目的が明らかになる。
唯一の形態でも実際に最も広範な形態でもある必要はないが、一形態では、本発明は、光学素子の2つの面に密着して該光学素子を受容する形状を有するベースと、前記ベースおよび前記光学素子と接触する形状を有する2個以上の接触ブロックと、前記接触ブロックを前記光学素子および前記ベースに接触させるように付勢するために配置された1つ以上の付勢手段とを備える光学マウントに存在する。
好適には光学素子は矩形をなし、ベースは、該ベースに光学素子の2つの面が接触するように、光学素子の隅角部を受容するために適した隅角部形状を有する「V」字型ブロックである。接触ブロックは好ましくは、少なくとも1つの面が光学素子の1つの面に接触し、かつ、1つの面がベースに接触するように、対応する形状を有する面を備える。
付勢手段は好適には、接触ブロックに対して作用し、接触ブロックを光学素子およびベースに向かって押し付けるバネである。
好ましい形態では、ベースにボルト留めされ、かつ接触ブロックの周囲に延在するが該接触ブロックから離間したクランプ部材が存在する。この形態では、付勢手段はクランプ部材と接触ブロックとの間に配置されたバネである。
光学素子は、好ましくはレーザロッドである。
接触ブロックの面と光学素子の面との間、接触ブロックとベースとの間には、熱移動材料を用いることができる。
接触ブロックおよびベースは、好適には、銅またはアルミニウムのような熱伝導率の優れた材料から作られる。
バネは、良好な熱接触を維持するに足る力を接触ブロックに対して付与するが、僅かな移動は許容することにより熱作用を補正する。
この設計の重要な特徴は、両方の接触ブロックが独立して移動することができるが、それでもなお、レーザロッドおよびベースの両方との間に十分な接触を保ち、従って十分かつ均一な熱移動を維持することができる点にある。
本発明の好ましい実施形態の理解を助けるために、図面を参照して説明する。
本発明の異なる実施形態の説明にあたり、共通の符号は、同様の特徴を説明するために使用される。
熱安定性を向上させた光学マウントを図3に示す。レーザロッド11は、隣接ヒートシンク14を有する下側「V」字型ブロック12(ベース)上に支持される。「V」字型ブロック12の「V」字形状は、レーザロッド11の面と「V」字型ブロック12の表面との間の良好な接触を保証するために入念に機械加工される。くさび13a、13bの形態をとる接触ブロック対は、レーザロッド11の1つの面と「V」字型ブロックの隣接する面とに接して支持されるような形状を有する。くさびおよび「V」字型ブロックを介したレーザロッドからヒートシンクへの熱伝導を矢印で示す。
機械的応力の誘起を避けるために、くさび間には小空隙17が維持される。くさびは、良好な熱伝導を達成するために、レーザロッドに対して堅固に保持される。
図3の原理に従って組み立てたレーザロッドホルダの断面図を図4に示し、分解図を図5に示す。レーザロッド11が、比較的大きな「V」字型ブロックベース12の隅角部に配置される。接触ブロックくさび13a、13bは、バネ18によって、レーザロッドおよび「V」字型ブロックに対して保持される。各くさびにつき1個のバネがある。バネは各々、各くさびに形成されたカップ18aと、クランプ19のソケット18bとに収まる。クランプ19は、ボルト20によって「V」字型ブロック12に取り付けられる。
クランプ19、くさび13および「V」字型ブロック12は、同一の材料から形成され、したがって同一の熱特性を有する。バネ18は良好な熱接触を維持するに足る力をくさび13に対して付与するが、僅かな移動は許容することにより熱作用を補正する。
この設計の重要な特徴は、両方のくさび13aおよび13bが独立して移動することができ、それでもなお、レーザロッド11と下側「V」字型ブロック12の両方との間に十分な接触を保ち、したがって十分かつ均一な熱移動を維持することができる点である。
本願発明の発明者は、図4および図5に示したレーザロッドホルダが、従来技術で知られているものよりも優れた性能を有し、可変のエネルギー励起条件下で均一かつ安定した熱伝導を提供する一方で、正確な機械的位置を提供することを見出した。
本発明の光学マウントは、熱伝導率の優れた任意の材料から製造することができる。本願発明の発明者は、銅およびアルミニウムが共に適していること、並びに、熱伝導率を改善するために、レーザロッド表面と「V」字型ブロックおよび接触ブロックの金属表面との間に、インジウム箔21または熱移動化合物を配置することができることを見出した。
本願明細書全体を通じて目的は、代替特徴の特定の組み合わせに限定することなく、本発明を説明することにあった。
従来技術の光学マウントの概略図。 別の従来技術の光学マウントの概略図。 熱安定性を向上させた光学マウントの概略図。 図3の光学マウントに基づくレーザロッドホルダの断面図。 図4のレーザロッドホルダの分解図。

Claims (14)

  1. 光学素子の2つの面に密接するように該光学素子を受容する形状を有するベースと、
    前記ベースおよび前記光学素子に接触する形状を有する2個以上の接触ブロックと、
    前記接触ブロックを前記光学素子および前記ベースと接触させるように付勢するために配置された1つ以上の付勢手段と
    を含む光学マウント。
  2. 前記光学素子が矩形であり、前記ベースが、前記光学素子の2つの面がベースと接触するように該光学素子の隅角部を受容するために適した隅角部形状を有する「V」字型ブロックである、請求項1に記載の光学マウント。
  3. 前記接触ブロックは、少なくとも1つの面が前記光学素子の1つの面と接触し、かつ、1つの面が前記ベースと接触するように、対応する形状を有する面を備える、請求項1に記載の光学マウント。
  4. 前記付勢手段が、前記接触ブロックに対して作用し、該接触ブロックを前記光学素子および前記ベースに向かって押すバネである、請求項1に記載の光学マウント。
  5. 前記ベースにボルト留めされ、かつ前記接触ブロックの周囲に延在するが該接触ブロックから離間したクランプ部材をさらに含む、請求項1に記載の光学マウント。
  6. 前記付勢手段は、前記クランプ部材と前記接触ブロックとの間に配置されたバネである、請求項5に記載の光学マウント。
  7. 前記光学素子がレーザロッドである、請求項1に記載の光学マウント。
  8. 前記接触ブロックの面と前記光学素子との間で熱移動を可能にする材料をさらに含む、請求項1に記載の光学マウント。
  9. 前記接触ブロックと前記ベースとの間で熱移動を可能にする材料をさらに含む、請求項1に記載の光学マウント。
  10. 前記接触ブロックおよび前記ベースが、熱伝導率の優れた材料から形成される、請求項1に記載の光学マウント。
  11. 前記接触ブロックおよび前記ベースが銅またはアルミニウムから形成される、請求項10に記載の光学マウント。
  12. 前記バネは、良好な熱接触を維持するに足る力を前記接触ブロックに対して付与するが、僅かな移動は許容することにより熱作用を補正する、請求項1に記載の光学マウント。
  13. 両方の接触ブロックが独立して移動することができる一方で、前記光学素子および前記ベースとの十分な接触を維持することができる、請求項1に記載の光学マウント。
  14. 2個の接触ブロックを有し、これら接触ブロックの間に空隙を有する、請求項1に記載の光学マウント。
JP2008529418A 2005-09-07 2006-09-05 レーザロッド用光学マウント Withdrawn JP2009507383A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AU2005904907A AU2005904907A0 (en) 2005-09-07 Optical mount
PCT/AU2006/001300 WO2007028201A1 (en) 2005-09-07 2006-09-05 Optical mount for laser rod

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009507383A true JP2009507383A (ja) 2009-02-19

Family

ID=37835305

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008529418A Withdrawn JP2009507383A (ja) 2005-09-07 2006-09-05 レーザロッド用光学マウント

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7643230B2 (ja)
EP (1) EP1922788A4 (ja)
JP (1) JP2009507383A (ja)
CA (1) CA2621629A1 (ja)
WO (1) WO2007028201A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013016678A (ja) * 2011-07-05 2013-01-24 Nippon Soken Inc 固体レーザの固定方法とこれを用いたレーザ点火装置
KR102124077B1 (ko) * 2019-01-07 2020-06-17 주식회사 한화 고체 레이저용 이득 매질 조립체의 조립 방법
JP7461159B2 (ja) 2020-02-21 2024-04-03 浜松ホトニクス株式会社 プリズムロッドホルダ、レーザモジュール、レーザ加工装置及び保持構造

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010228404A (ja) * 2009-03-30 2010-10-14 Fuji Xerox Co Ltd 光学部品の保持構造、及びこれを用いた光走査装置、画像形成装置
JP5338788B2 (ja) * 2010-11-10 2013-11-13 船井電機株式会社 レーザホルダ、及び、それを備えた光ピックアップ
US9362716B2 (en) * 2014-09-19 2016-06-07 Ipg Photonics Corporation Crystal mount for laser application
EP3389577B1 (en) 2015-12-14 2022-11-23 Ellex Medical PTY Ltd Pattern laser
CN105428969B (zh) * 2015-12-30 2018-07-31 北京国科世纪激光技术有限公司 一种可微调二维角度的晶体座组装置
CN108594395B (zh) * 2018-06-07 2024-01-19 国家电网公司 二氧化碳激光变焦瞄准系统
CN109217082A (zh) * 2018-09-21 2019-01-15 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种激光晶体热沉

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63158578A (ja) * 1986-12-23 1988-07-01 Ricoh Co Ltd 光学素子のズレ防止装置
US5166943A (en) * 1991-06-14 1992-11-24 Amoco Corporation Single domain stabilization in ferroelectric crystals
JPH07307507A (ja) * 1994-05-13 1995-11-21 Oyo Koden Kenkiyuushitsu:Kk 固体レーザ
EP0847114A1 (en) * 1996-12-03 1998-06-10 Miyachi Technos Corporation Solid-state laser apparatus
SE9901470L (sv) * 1999-04-23 2000-10-24 Iof Ab Optisk anordning
US6361177B2 (en) * 1999-11-02 2002-03-26 Fujitsu Denso Ltd. Optical device fixing device
US6366596B1 (en) * 2000-01-21 2002-04-02 Photonics Industries International, Inc. High power laser
US6603614B2 (en) * 2001-01-26 2003-08-05 Corning Precision Lens, Inc. Lens assembly having automatic thermal focus adjustment
JP2002341220A (ja) * 2001-05-14 2002-11-27 Olympus Optical Co Ltd 光学機器
JP3928545B2 (ja) * 2002-11-08 2007-06-13 ブラザー工業株式会社 光学部材保持手段、およびそれを備えた光走査装置、画像形成装置
JP2004253733A (ja) 2003-02-21 2004-09-09 Topcon Corp 半導体レーザ装置及び半導体レーザ装置のレーザ結晶保持方法
JP4262525B2 (ja) * 2003-05-30 2009-05-13 株式会社キーエンス 光学結晶ホルダ、固体レーザ装置、及び光学結晶の固定方法
US7170919B2 (en) * 2003-06-23 2007-01-30 Northrop Grumman Corporation Diode-pumped solid-state laser gain module
JP2006186230A (ja) * 2004-12-28 2006-07-13 Osaka Univ 光増幅モジュール、光増幅器およびレーザ発振器

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013016678A (ja) * 2011-07-05 2013-01-24 Nippon Soken Inc 固体レーザの固定方法とこれを用いたレーザ点火装置
KR102124077B1 (ko) * 2019-01-07 2020-06-17 주식회사 한화 고체 레이저용 이득 매질 조립체의 조립 방법
JP7461159B2 (ja) 2020-02-21 2024-04-03 浜松ホトニクス株式会社 プリズムロッドホルダ、レーザモジュール、レーザ加工装置及び保持構造

Also Published As

Publication number Publication date
CA2621629A1 (en) 2007-03-15
EP1922788A1 (en) 2008-05-21
US7643230B2 (en) 2010-01-05
WO2007028201A1 (en) 2007-03-15
EP1922788A4 (en) 2011-04-13
US20080247431A1 (en) 2008-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009507383A (ja) レーザロッド用光学マウント
US20090199389A1 (en) Low stress optics mount using thermally conductive liquid metal or gel
JP5980802B2 (ja) レーザゲインモジュールおよびそのようなモジュールを製造する方法
US6385220B1 (en) Laser clamping assembly and method
JP2011522407A (ja) 少なくとも一つの半導体素子、特に、レーザ素子または発光ダイオード素子を有する熱伝達デバイス、およびその組立方法
CN101505029B (zh) 激光器及其散热装置
JP2004253733A (ja) 半導体レーザ装置及び半導体レーザ装置のレーザ結晶保持方法
US6301277B1 (en) Solid state laser master oscillator gain module
US6130902A (en) Solid state laser chip
US20120257647A1 (en) Cooling apparatus for optically pumped semiconductor laser
JP2004363129A (ja) 光学結晶ホルダ、固体レーザ装置、及び光学結晶の固定方法固体レーザ結晶位置決め構造とその方法
KR20110006850U (ko) 열교환기 방열핀 접합용 지그
JP5439688B2 (ja) 光ポンピング構造
AU2006289656B2 (en) Optical mount for laser rod
CN101960680A (zh) 光模块
US5781573A (en) High power solid state laser and method of increasing power using same
JP2008021879A (ja) 端面励起微細ロッド型レーザ利得モジュール
CN102544994A (zh) 热沉装置
US20200266599A1 (en) Dynamic, thermally-adaptive cuboid crystal mount for end-pumped conductively cooled solid state laser applications
US20230411921A1 (en) Coefficient of thermal expansion matched mounting technique for high power laser
KR101745462B1 (ko) 용이한 정렬고정 구조를 갖는 레이저 공진기 모듈
KR100993790B1 (ko) 초소형 고출력 마이크로칩 레이저 패키징용 서브마운트
RU2592057C1 (ru) Универсальный излучатель твердотельного лазера
LU101456B1 (en) A method and a device for heat removal from a flat NIR-MIR laser mirror
KR102332955B1 (ko) 레이저 펌프 챔버 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090820

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20110407

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20110407