JP2009502540A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. スクリーン研磨材の表面積を画定する外辺部を有する第１の主要表面、第２の主要表面、前記第１の主要表面から前記第２の主要表面に延伸する複数の開口部、及び裏材の前記第１の主要表面の少なくとも一部に固定された研磨層、を有する目の粗いメッシュ裏材を含むスクリーン研磨材であって、前記研磨層が複数の研磨粒子及び少なくとも一つのバインダーを含むスクリーン研磨材、及び
   前記目の粗いメッシュ裏材の前記第２の主要表面と係合するポリマー網目であって、前記ポリマー網目が第１の方向に延伸する第１の複数の糸、第２の方向に延伸する第２の複数の糸、及び前記第２の複数の糸の少なくとも一部から突出する複数のフックを含み、前記第１及び第２の複数の糸が互いに貼付し合って前記ポリマー網目の中に複数の開口部を形成するポリマー網目、
   を含む研磨物品であって、
   前記ポリマー網目の前記開口部が前記スクリーン研磨材の前記開口部と協働して粒子の流れが前記研磨物品を通過することを可能にする、研磨物品。
2. 前記第１及び第２の糸が、一体である、請求項１に記載の研磨物品。
3. 前記ポリマー網目の前記開口部が、前記スクリーン研磨表面積の７０〜９０パーセントの範囲である累積開口面積を形成する、請求項１に記載の研磨物品。