JP2009300376A - 膜厚計測装置及び方法 - Google Patents
膜厚計測装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009300376A JP2009300376A JP2008158074A JP2008158074A JP2009300376A JP 2009300376 A JP2009300376 A JP 2009300376A JP 2008158074 A JP2008158074 A JP 2008158074A JP 2008158074 A JP2008158074 A JP 2008158074A JP 2009300376 A JP2009300376 A JP 2009300376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film thickness
- voltage
- capacitor
- piston ring
- cylinder liner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 47
- 239000003921 oil Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 23
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 20
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
【解決手段】エンジンSを構成するシリンダライナs1の壁面に検出電極1を面一に設け、該検出電極1とピストンリングp1との間隙に形成される計測対象コンデンサCxの静電容量を検出することにより上記間隙に形成された潤滑油の油膜厚さを計測する膜厚計測装置であって、計測対象コンデンサCxに直列接続されるコイルLと、該コイルLを介して計測対象コンデンサCxに充電電流を供給して充電時間を計測すると共に計測対象コンデンサCxに充電された電荷を放電させ、充電時間に基づいて潤滑油の油膜厚さを計測すると共にシリンダライナs1とピストンリングp1との金属接触を判定する信号処理手段とを具備する。
【選択図】図2
Description
図1は、本実施形態に係る膜厚計測装置の構成を示す図である。この膜厚計測装置は、エンジンSにおけるシリンダライナs1の内壁面(ピストン摺動面s2)とピストンPに設けられたピストンリングp1との間隙に形成される潤滑油の油膜厚さLを計測するものであり、静電容量センサ1、同軸ケーブル2、静電容量/電圧変換部3、ロータリエンコーダ4及び演算部5から構成されている。これら構成要素のうち、静電容量/電圧変換部3及び演算部5は、本実施形態における信号処理手段を構成している。なお、ピストンPは、ピストンロッドp2及びクランクシャフトKを介して往復動(上下動)自在にエンジンSに支持されている。
L=ε0・εr・S/Cc (1)
また、本膜厚計測装置によれば、接点Aにおける電圧Vcが電圧−Vresetからしきい値電圧Vthまで上昇するのに要する時間が現実的でない程に短いか否かを評価することにより、ピストンリングp1とシリンダライナs1とが金属接触しているか否かを識別することが可能である。
(1)上記実施形態では、異常時における接点Aにおける電圧Vcを評価するために、同軸ケーブル2のインダクタンスに起因するコイルLに発生する誘起電圧を利用したが、このようなコイルLに代えて集中定数素子であるコイルを静電容量センサ1と静電容量/電圧変換部3との間に挿入するようにしても良い。
(2)また、放電回路の構成や放電開始を設定する放電駆動回路の構成については、上記実施形態以外に種々の回路構成が考えられるので、必要に応じて適宜変更しても良い。
Claims (5)
- エンジンを構成するシリンダライナの壁面に検出電極を面一に設け、該検出電極とピストンリングとの間隙に形成される計測対象コンデンサの静電容量を検出することにより前記間隙に形成された潤滑油の油膜厚さを計測する膜厚計測装置であって、
前記計測対象コンデンサに直列接続される誘導性回路素子と、
該誘導性回路素子を介して前記計測対象コンデンサに充電電流を供給して充電時間を計測すると共に前記計測対象コンデンサに充電された電荷を放電させ、前記充電時間に基づいて前記潤滑油の油膜厚さを計測すると共にシリンダライナとピストンリングとの金属接触を判定する信号処理手段と
を具備することを特徴とする膜厚計測装置。 - 前記誘導性回路素子は、前記検出電極と前記信号処理手段とを接続する電線が分布定数として有するインダクタンスからなることを特徴とする請求項1記載の膜厚計測装置。
- 前記信号処理手段は、
所定の繰り返し周波数のクロック信号を出力するクロック発生回路と、
前記該誘導性回路素子を介して前記計測対象コンデンサに充電電流を供給する電流源と、
前記計測対象コンデンサに充電された電荷を放電させる放電回路と、
前記クロック信号及び前記電流源の出力端の電圧に基づいて前記放電回路を制御する放電制御部と、
前記クロック信号及び前記電流源の出力端の電圧に基づいて充電時間に相当する電圧信号を生成する時間/電圧変換部と、
該時間/電圧変換部から入力された電圧信号に基づいて前記潤滑油の油膜厚さを計測すると共に、シリンダライナとピストンリングとの金属接触を判定する演算部と
を備えることを特徴とする請求項1または2記載の膜厚計測装置。 - シリンダライナの壁面に検出電極を面一に設け、該検出電極とピストンリングとの間隙に形成される計測対象コンデンサの静電容量を検出することにより前記間隙に形成された潤滑油の油膜厚さを計測する方法であって、
前記計測対象コンデンサに誘導性回路素子を直列接続し、
該誘導性回路素子を介して前記計測対象コンデンサに充電電流を供給して充電時間を計測すると共に該前記計測対象コンデンサに充電された電荷を放電させ、前記充電時間に基づいて前記潤滑油の油膜厚さを計測すると共にシリンダライナとピストンリングとの金属接触を判定する
ことを特徴とする油膜厚さ計測方法。 - 前記誘導性回路素子として、前記検出電極への充電電流の供給及び前記検出電極からの放電電流の受入を行うための電線が分布定数として有するインダクタンスを利用することを特徴とする請求項1記載の膜厚計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008158074A JP5109825B2 (ja) | 2008-06-17 | 2008-06-17 | 膜厚計測装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008158074A JP5109825B2 (ja) | 2008-06-17 | 2008-06-17 | 膜厚計測装置及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009300376A true JP2009300376A (ja) | 2009-12-24 |
JP5109825B2 JP5109825B2 (ja) | 2012-12-26 |
Family
ID=41547423
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008158074A Active JP5109825B2 (ja) | 2008-06-17 | 2008-06-17 | 膜厚計測装置及び方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5109825B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117091489A (zh) * | 2023-10-16 | 2023-11-21 | 青禾晶元(天津)半导体材料有限公司 | 一种复合结构的顶膜厚度检测装置及检测方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6310202U (ja) * | 1986-07-05 | 1988-01-23 | ||
JPH0743329A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-02-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ピストンリング、シリンダライナ間潤滑モニタ |
JPH07195188A (ja) * | 1993-11-26 | 1995-08-01 | Precitec Gmbh | レーザビームによる工作物加工方法 |
JPH10141908A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-29 | Mitsutoyo Corp | 導通式タッチシグナルプローブの接触検出回路 |
JP2004208800A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | 近接検出装置およびx線撮影装置 |
JP2005054773A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Waertsilae Schweiz Ag | 往復動ピストン式燃焼機関の潤滑方法及び潤滑装置 |
JP2007107947A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 膜厚計測装置及び方法 |
-
2008
- 2008-06-17 JP JP2008158074A patent/JP5109825B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6310202U (ja) * | 1986-07-05 | 1988-01-23 | ||
JPH0743329A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-02-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ピストンリング、シリンダライナ間潤滑モニタ |
JPH07195188A (ja) * | 1993-11-26 | 1995-08-01 | Precitec Gmbh | レーザビームによる工作物加工方法 |
JPH10141908A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-29 | Mitsutoyo Corp | 導通式タッチシグナルプローブの接触検出回路 |
JP2004208800A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | 近接検出装置およびx線撮影装置 |
JP2005054773A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Waertsilae Schweiz Ag | 往復動ピストン式燃焼機関の潤滑方法及び潤滑装置 |
JP2007107947A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 膜厚計測装置及び方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117091489A (zh) * | 2023-10-16 | 2023-11-21 | 青禾晶元(天津)半导体材料有限公司 | 一种复合结构的顶膜厚度检测装置及检测方法 |
CN117091489B (zh) * | 2023-10-16 | 2023-12-22 | 青禾晶元(天津)半导体材料有限公司 | 一种复合结构的顶膜厚度检测装置及检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5109825B2 (ja) | 2012-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4736693B2 (ja) | 膜厚計測装置及び方法 | |
JP4750439B2 (ja) | 誘導近接センサ | |
JPH0325969B2 (ja) | ||
US8093913B2 (en) | Film thickness measurement device and method | |
US20130197831A1 (en) | Fluid flow rate measuring device and water meter | |
JP2010272296A (ja) | 開閉装置又は電磁操作装置の状態把握装置 | |
US10162038B2 (en) | Method of interfacing a LC sensor and related system | |
JP5109825B2 (ja) | 膜厚計測装置及び方法 | |
US6708569B2 (en) | Method of operating an electromagnetic flowmeter | |
JP2016128653A (ja) | 内燃機関のリーク検出装置 | |
JP2009270873A (ja) | 油膜厚さ計測装置および方法 | |
US11545893B2 (en) | Electronic circuit and electronic apparatus to output ringing voltage | |
US9382852B2 (en) | Control device for internal combustion engine having cylinder resting mechanism | |
SE508753C2 (sv) | Förfarande och anordning för att identifiera vilken förbränningskammare hos en förbränningsmotor som befinner sig i kompressionstakt samt förfarande för att starta en förbränningsmotor | |
WO2002025294A1 (en) | Method and apparatus for measuring liquid dielectric behavior | |
JP2010025782A (ja) | 液位センサ | |
US9291510B2 (en) | Measuring apparatus | |
JP6862877B2 (ja) | 電池残量計測回路、電子機器および電池残量計測方法 | |
KR20120081134A (ko) | 진동형 구동 장치 및 진동형 구동 장치의 제어 방법 | |
CA2630129C (en) | Film thickness measurement device and method | |
Astigarraga et al. | Online indirect measurement of ESR and capacity for PHM of capacitors | |
JP2005098235A (ja) | 容量放電点火装置 | |
JP5163947B2 (ja) | 油膜厚さ計測装置および方法 | |
CN112986691A (zh) | 感测电路及使用具有反相器的感测电路计算电容值的方法 | |
RU2659179C1 (ru) | Установка для определения коэффициента трения |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110426 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120911 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120924 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5109825 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |