JP2009291784A - マイクロ波プラズマの誘起(initiating)方法及びこの方法を使用して化学分子を選択的に分解するためのシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロ波電源と、この結合手段内にある絶縁管16を通って流れる流体混合物特にはガス混合物とを結合させる手段を具備し、結合手段はマイクロ波エネルギーの一部を流体混合物へと伝播させてそこにプラズマを発生させ、それにより流体分子の化学結合を破断させることを可能とし、まずアルゴンが管内へと注入され、次に高圧放電がアルゴンの注入の導入位置の近傍に位置した電極23を使用して放電を点火させるのに十分なマイクロ波出力によって発生させられ、次にアルゴンがプラズマ放電を維持するように処理されるべき流体混合物の注入で徐々に置換される。
【選択図】図1
Description
−真空生成段階の排除と、
−存在する水分の影響がないことと、
−窒素プラズマよりも(ガスの温度、即ち、電子を除いたガスの重粒子の平均エネルギー分布の点で)冷たいプラズマであるアルゴンプラズマが発生し、それにより、ガスが低流量でのみ流れて壁との熱交換が助長されるこの移行段階中において、熱応力があまり大きくないことと、
−より低い出力(典型的には、700W)でのプラズマの誘起と、
−経済的観点から、これが真空ポンプの排除を意味していること、及び、アルゴンが、半導体製作ユニット、フラットスクリーン製造ユニット、光ファイバプラントなどにおいて広く利用可能なガスであることを前提として、アルゴン消費量が1分間に亘って約2l/分であることと
が挙げられ得る。
−流体及び/又はガスを注入する手段と、
−流体及び/又はガスを受け取る絶縁管と、
−マイクロ波発生器と、
−絶縁管内にプラズマを発生させるために、マイクロ波出力を流体及び/又はガスと結合させる手段と、
−プラズマを点火させる手段と、
−プラズマを誘起するために、流体及び/又はガスを注入する手段に少なくとも一時的に接続されるアルゴンソースと
を具備している。
図3は、プラズマ内で処理されるべきガスを注入し、それにより効果的な渦を発生させる注入ヘッド9の或る実施形態を示している。他の図と同様に、同じ部材には、同じ参照番号を付している。この注入ヘッド9は、処理されるべきガスを導入する導入口11を有しており、これらガスは、その後、導入口11と同軸の流路80を介して、断面図で示された、末梢流路である連続した部分81、82、83及び84へと通され、この連続流路は、中実中心部分85を取り巻いている(中心の柱85の周りの螺旋階段のような構造)。この中実中心部分85は、好ましくは、導体材料から作られており、プラズマを点火して絶縁管16内に発生させる電極として働く下部円錐部分86で終端している。軸85から突き出ている中実部分87、88、89、90及び91は、軸85の周りを渦巻状に取り巻いて、ガスの通路を規定している中実部分である。中心部分85の上方にある上部92は、この中心部分を固定し且つOリングシール94によって気密を確実にする可動部93内に収容されている。好ましくは、図3に示しているように、ガスを導き且つそれに対して管16において渦の効果を及ぼす流路81、82などは、水平方向に対して、25°乃至35°、より好ましくは約30°傾いた軸を有しているであろう。
アルゴンを用いて図1のシステムがどのように始動されるかの一例を、以下に説明する。それは、2つの工程を含んでいる。
プラズマを誘起するために、循環路を、Arのみを用い、標準状態、即ち273K及び101325Paで測定した、2リットル毎分(Sl/分)乃至15Sl/分の流量でパージしなければならない。望まれるならば、40Sl/分までの範囲にあるアルゴン流量が使用されても良いし、もちろん、高出力が使用されてよい。まず、700Wのマイクロ波出力がかけられ、続いて、図1に示したように放電管の端部に位置した円錐電極に接続した高Qコイルを使用して、低周波(例えば、25Hz)高電圧(例えば、10kV)の励起が行われる。電磁波と、アルゴンと、高電圧励起によって発生する電子との結合は、プラズマを結合の位置において点火させることと、それを管全体に広げることとを可能にする。
窒素をこのシステムに導入する前に、マイクロ波出力を1300Wまで増加させ、窒素が添加されるときにプラズマが消えるのを防ぐ。次に、マイクロ波出力を高めることによって、窒素が徐々に注入され(最初は2Sl/分乃至5Sl/分)、それにより、2000Wでは少なくとも20Sl/分の窒素流量を得て、その後、このシステムの低速定常状態(ガス状の排出物を放出しているプロセスチャンバがないとき)に対応する少なくとも2500Wでは、35Slの窒素流量を得る。誘起のこの段階では、アルゴン流量は中断され得る。次に、このシステムの標準稼動モードに従って出力を調節することによって、公称流量の処理されるべきガス(多くとも95%の窒素から成る)が入れられ得る。
Claims (8)
- 流体混合物、例えばガス混合物を、プラズマを用いて処理するためのプラズマ処理システム(A)を始動させる方法であって、前記システムは、結合手段(7、8)であって、マイクロ波電源(1)と前記結合手段内にある絶縁管を通って流れる流体混合物、特にはガス混合物とを結合させる手段を具備し、前記結合手段は、マイクロ波エネルギーの一部を前記流体混合物へと伝播させて、そこにプラズマを発生させ、それにより、流体分子の少なくとも或る化学結合を破断させることを可能とし、前記絶縁管(16)内でプラズマ放電を点火させるために、まず、アルゴンが前記管内へと注入され、次に、高圧放電が、前記アルゴンの注入の導入位置(11)の近傍に位置した電極(23)を使用して、前記放電を点火させるのに十分なマイクロ波出力で発生させられ、次に、前記アルゴンの注入が、プラズマ放電を維持するように、処理されるべき前記流体混合物の注入で徐々に置換されることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法であって、前記流体混合物へと結合される前記マイクロ波出力は、前記プラズマの点火中、0.5kW以上であることを特徴とする方法。
- 請求項1又は2記載の方法であって、前記管(16)への前記アルゴンの注入は、大気圧又は大気圧に近い圧力で行われることを特徴とする方法。
- 請求項1乃至3の何れか1項記載の方法であって、前記流体混合物、特にはガス混合物の前記注入は、大気圧又は大気圧に近い圧力で行われることを特徴とする方法。
- 請求項1乃至4の何れか1項記載の方法であって、前記アルゴンを前記流体混合物で徐々に置換することは、少なくとも1分間に亘って行われることを特徴とする方法。
- 請求項1乃至5の何れか1項記載の方法であって、追加の不活性ガス、特には窒素及び/又はアルゴンが、前記流体混合物の注入への補足物として注入されることを特徴とする方法。
- 請求項1乃至5の何れか1項記載の方法であって、前記流体混合物及び/又は追加の不活性ガスは、渦の形態で注入されることを特徴とする方法。
- プラズマ処理システムであって、
−流体及び/又はガスを注入する手段と、
−前記流体及び/又は前記ガスを受け取る絶縁管と、
−マイクロ波発生器と、
−前記絶縁管内にプラズマを発生させるために、マイクロ波出力を前記流体及び/又は前記ガスと結合させる手段と、
−前記プラズマを点火させる手段と、
−前記プラズマを誘起するために前記流体及び/又は前記ガスを注入する前記手段に少なくとも一時的に接続されるアルゴンソースと
を具備したことを特徴とするシステム。
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