JP2009291690A - Method of cleaning release film and method of recycling base film and release film - Google Patents

Method of cleaning release film and method of recycling base film and release film Download PDF

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直美 吉池
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of cleaning a release film which can be easily performed at a low cost, as well as is best-suited for recycling a release film. <P>SOLUTION: This method of cleaning the release film having a base film and a release layer formed on the base film, comprises a cleaning process to clean a foreign substance deposited on the surface of a release layer with a cleaning fluid containing an organic solvent, and a solvent removing process to remove the cleaning fluid deposited on the surface of the release layer. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は剥離フィルムの洗浄方法、並びに基材フィルム及び剥離フィルムのリサイクル方法に関する。   The present invention relates to a peeling film cleaning method, and a substrate film and a peeling film recycling method.

積層セラミックコンデンサの製造プロセスとして、剥離フィルム上に形成された誘電体グリーンシートを用い、剥離フィルムを剥がして誘電体グリーンシートを積層する方法が知られている。   As a manufacturing process of a multilayer ceramic capacitor, a method of using a dielectric green sheet formed on a release film and peeling the release film to laminate the dielectric green sheet is known.

このような製造プロセスに用いる剥離フィルムとしては、所望の強度と剥離性とを併せ持つように基材フィルムと当該基材フィルム上にシリコーン樹脂で形成された剥離層とを有するのが一般的である。通常、誘電体グリーンシートから剥離された剥離フィルムには、誘電体グリーンシートと密着していた剥離層の表面上に少量の誘電体残渣が付着している。   The release film used in such a manufacturing process generally has a base film and a release layer formed of a silicone resin on the base film so as to have both desired strength and peelability. . Usually, a small amount of dielectric residue adheres to the release film peeled off from the dielectric green sheet on the surface of the release layer that is in close contact with the dielectric green sheet.

資源の有効利用の観点から、剥離フィルムや基材フィルムのリサイクルが検討されている。リサイクルにあたっては、剥離フィルムに付着した誘電体残渣や不純物を除去することが必要となる。   From the viewpoint of effective use of resources, recycling of release films and substrate films has been studied. In recycling, it is necessary to remove dielectric residues and impurities attached to the release film.

リサイクル方法として、例えば、剥離フィルムを細かく裁断して洗浄し、基材フィルムを構成する樹脂を溶融させた後、樹脂原料を用いて基材フィルムを再生する方法や、剥離フィルムに易溶解性樹脂層を設けることにより、シリコーン樹脂などで構成される表面機能層と基材フィルムとの分離を容易にする技術が提案されている(例えば特許文献1)。
特開2004−169005号公報
Recycling methods include, for example, a method of finely cutting and cleaning the release film, melting the resin constituting the base film, and then regenerating the base film using a resin raw material, or an easily soluble resin in the release film A technique for facilitating separation of a surface functional layer composed of a silicone resin or the like and a base film by providing a layer has been proposed (for example, Patent Document 1).
JP 2004-169005 A

しかしながら、上述の方法では、基材フィルム上に易溶解性樹脂層を別途設ける必要があること、また、基材フィルムを溶融させることが必要であることから、工程が複雑になり、剥離フィルムや基材フィルムのリサイクルに時間とコストがかかってしまうという問題があった。   However, in the above-described method, it is necessary to separately provide an easily soluble resin layer on the base film, and since it is necessary to melt the base film, the process becomes complicated, and the release film or There has been a problem that it takes time and cost to recycle the base film.

そこで、本発明者らは、剥離フィルムを容易にリサイクルする方法を確立するため、基材フィルムを溶融させずに、使用済みの剥離フィルムを洗浄してリサイクルすることを試みたところ、以下に説明する通り、満足のいく結果が得られなかった。   Therefore, in order to establish a method for easily recycling the release film, the present inventors tried to wash and recycle the used release film without melting the base film, and explained below. As we did, we were not satisfied with the results.

誘電体グリーンシートまたは電極グリーンシートから剥離された剥離フィルムの剥離層には、誘電体残渣や電極材料残渣などの異物が付着している。このような剥離フィルムを洗浄液に浸漬した後、取り出すと、剥離層の表面上に洗浄液の液滴が付着している部分が発生する。そこで、そのまま洗浄液を乾燥させると、剥離フィルムの表面張力が低いので、液滴の径が小さくなりながら蒸発する。洗浄液中には、洗浄液に由来する微量の不純物や、洗浄液中に誘電体残渣や電極材料に由来する不純物が存在する。このため、剥離フィルムの表面に付着した洗浄液をそのまま乾燥させると、蒸発量に応じて、その中央に収縮されるようにして液滴の径が小さくなって不純物が濃縮され、最終的に異物が点状(当初あった液滴の中央近辺)に残存してしまう。このような方法で洗浄した剥離フィルムに誘電体スラリーを塗布した場合、点状に残存する異物によって誘電体層にピンホールが形成されてしまうことがわかった。   Foreign substances such as dielectric residues and electrode material residues adhere to the release layer of the release film released from the dielectric green sheet or the electrode green sheet. When such a release film is immersed in the cleaning liquid and then taken out, a portion where the cleaning liquid droplets adhere to the surface of the release layer is generated. Therefore, when the cleaning liquid is dried as it is, the surface tension of the release film is low, and thus the liquid droplets are evaporated while the droplet diameter is reduced. In the cleaning liquid, there are a small amount of impurities derived from the cleaning liquid, and impurities derived from dielectric residues and electrode materials in the cleaning liquid. For this reason, when the cleaning liquid adhering to the surface of the release film is dried as it is, the diameter of the droplets is reduced so as to be contracted to the center according to the evaporation amount, the impurities are concentrated, and finally the foreign matter is removed. It remains in the form of dots (near the center of the original droplet). It has been found that when a dielectric slurry is applied to a release film cleaned by such a method, pinholes are formed in the dielectric layer by foreign matters remaining in the form of dots.

剥離フィルムをリサイクルするための別の洗浄方法として、超高純度の洗浄液を大量に使用して剥離フィルムの表面に付着した誘電体残渣を除去する方法が挙げられる。しかし、この方法は、単価の高い洗浄液を大量に使用することとなるため、コストの増加に繋がるし、資源の有効利用の観点からも好ましくない。   As another cleaning method for recycling the release film, there is a method of removing a dielectric residue adhered to the surface of the release film using a large amount of ultra-high purity cleaning liquid. However, this method uses a large amount of a cleaning liquid having a high unit price, which leads to an increase in cost and is not preferable from the viewpoint of effective use of resources.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、低コストで容易に実施可能であり、リサイクルに適した剥離フィルムの洗浄方法を提供することを目的とする。また、低コストで容易に実施可能な剥離フィルム及び基材フィルムのリサイクル方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a method for cleaning a release film that can be easily implemented at low cost and is suitable for recycling. Moreover, it aims at providing the recycling method of the peeling film and base film which can be implemented easily at low cost.

上記目的を達成するため、本発明では、基材フィルムと、基材フィルム上に形成された剥離層と、を有する剥離フィルムの洗浄方法であって、剥離層の表面に付着した異物を、有機溶剤を含む洗浄液で洗浄する洗浄工程と、剥離層の表面に付着した洗浄液を除去する溶剤除去工程と、を有する剥離フィルムの洗浄方法を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention provides a cleaning method for a release film having a base film and a release layer formed on the base film, wherein the foreign matter adhering to the surface of the release layer is organically treated. There is provided a cleaning method for a release film having a cleaning step of cleaning with a cleaning liquid containing a solvent and a solvent removing step of removing a cleaning liquid adhering to the surface of the release layer.

本発明の剥離フィルムの洗浄方法によれば、剥離層に異物が付着した剥離フィルムを低コストで容易に洗浄することができる。この洗浄方法によって洗浄された剥離フィルムは、表面に付着する異物の量が十分に低減されているため、誘電体グリーンシート形成用の剥離フィルムとして再利用した場合に、誘電体グリーンシートのピンホールの発生を十分に抑制することができる。したがって、本発明の洗浄方法は、剥離フィルムのリサイクル用の洗浄方法に適している。   According to the method for cleaning a release film of the present invention, it is possible to easily clean a release film having a foreign substance attached to the release layer at a low cost. The release film cleaned by this cleaning method has a sufficiently reduced amount of foreign matter adhering to the surface. Therefore, when reused as a release film for forming a dielectric green sheet, the pinhole of the dielectric green sheet Can be sufficiently suppressed. Therefore, the cleaning method of the present invention is suitable as a cleaning method for recycling the release film.

本発明の剥離フィルムの洗浄方法は、溶剤除去工程において、剥離層の表面に付着した洗浄液にガスを吹き付けることによって洗浄液を除去することが好ましい。これによって、一層低コストで容易に剥離フィルムを洗浄することができる。   In the method for cleaning a release film of the present invention, in the solvent removal step, it is preferable to remove the cleaning solution by blowing a gas to the cleaning solution attached to the surface of the release layer. As a result, the release film can be easily washed at a lower cost.

本発明の剥離フィルムの洗浄方法は、溶剤除去工程において、剥離層の表面に付着した洗浄液を繊維で吸収して除去することが好ましい。これによって、より確実に剥離フィルムの剥離層の表面に付着した溶剤を除去することができ、誘電体グリーンシート形成用の剥離フィルムとして再利用した場合に、誘電体グリーンシートのピンホールの発生を一層十分に抑制することができる。   In the method for cleaning a release film of the present invention, it is preferable that the cleaning liquid adhering to the surface of the release layer is absorbed and removed by fibers in the solvent removal step. As a result, the solvent attached to the surface of the release layer of the release film can be removed more reliably, and when it is reused as a release film for forming the dielectric green sheet, pinholes in the dielectric green sheet are generated. It can suppress more fully.

本発明の剥離フィルムの洗浄方法は、洗浄工程の前に、剥離層の表面と粘着ロールとを接触させて、表面に付着した異物の一部を除去する粘着工程を有することが好ましい。これによって、溶剤除去工程の前に、剥離層の表面に付着している誘電体をある程度除去することができるため、洗浄後における剥離層表面の異物の量を一層十分に低減することができる。   It is preferable that the cleaning method for a release film of the present invention includes an adhesive step in which the surface of the release layer and the adhesive roll are brought into contact with each other to remove a part of the foreign matter attached to the surface before the cleaning step. Accordingly, since the dielectric adhered to the surface of the release layer can be removed to some extent before the solvent removal step, the amount of foreign matter on the surface of the release layer after cleaning can be further sufficiently reduced.

本発明はまた、上記洗浄方法で洗浄した剥離フィルムをリサイクルする剥離フィルムのリサイクル方法を提供する。   This invention also provides the recycling method of the peeling film which recycles the peeling film wash | cleaned with the said washing | cleaning method.

本発明はまた、基材フィルムと、基材フィルム上に形成された剥離層と、を有する剥離フィルムの洗浄方法であって、剥離層に異物を有する剥離フィルムを、アルカリ性物質とアルコールとを含む溶液に接触させた後、有機溶剤と接触させて、剥離層を基材フィルムから除去する除去工程を有する剥離フィルムの洗浄方法を提供する。   The present invention is also a method for cleaning a release film having a base film and a release layer formed on the base film, wherein the release film having a foreign substance in the release layer includes an alkaline substance and alcohol. Provided is a peeling film cleaning method having a removing step of removing a release layer from a base film by contacting with a solution and then contacting with an organic solvent.

上記洗浄方法によれば、剥離層の表面や内部に異物を有する剥離フィルムを、容易に洗浄することができる。この理由としては、次の要因が挙げられる。まず、アルカリ性物質とアルコールとを含む溶液に剥離層を接触させることによって、剥離層を構成するシリコーン樹脂のシロキサン結合等を切断することができる。そして、結合の切断によって低分子化したシリコーン樹脂等を有機溶剤等に接触させることによって、基材フィルムから剥離層を容易に除去することができる。   According to the cleaning method, a release film having foreign matter on the surface or inside of the release layer can be easily cleaned. The reason for this is as follows. First, by bringing the release layer into contact with a solution containing an alkaline substance and alcohol, the siloxane bond or the like of the silicone resin constituting the release layer can be cut. And a peeling layer can be easily removed from a base film by making the silicone resin etc. which became low molecular weight by cutting | disconnection of a bond contact an organic solvent.

本発明では、除去工程の前に剥離層にコロナ処理を施す工程を有しており、除去工程で剥離フィルムを接触させる溶液が水を含有することが好ましい。これによって、剥離層の表面を親水性にすることができ、除去工程において水を含有する溶液を用いても、アルカリ性物質の剥離層への浸透を容易にすることができる。水を含有する溶液には、アルカリ性物質を容易に溶解させることができるため、一層円滑にシロキサン結合等の切断を行うことが可能となる。   In this invention, it has the process of giving a corona treatment to a peeling layer before a removal process, and it is preferable that the solution which contacts a peeling film at a removal process contains water. Thus, the surface of the release layer can be made hydrophilic, and the penetration of the alkaline substance into the release layer can be facilitated even if a solution containing water is used in the removal step. Since the alkaline substance can be easily dissolved in the solution containing water, the siloxane bond or the like can be cut more smoothly.

また、本発明では、上述の洗浄方法によって、剥離層が除去された基材フィルムの一面上に剥離層を形成する剥離層形成工程を有する剥離フィルムのリサイクル方法を提供する。このリサイクル方法によれば、表面の異物が十分に除去され、誘電体グリーンシートを剥離層上に形成した場合にピンホールの発生が十分に抑制可能な剥離フィルムを再生することができる。   Moreover, in this invention, the recycling method of the peeling film which has a peeling layer formation process which forms a peeling layer on one surface of the base film from which the peeling layer was removed by the above-mentioned washing | cleaning method is provided. According to this recycling method, it is possible to regenerate a release film in which foreign matter on the surface is sufficiently removed and the generation of pinholes can be sufficiently suppressed when a dielectric green sheet is formed on the release layer.

また、本発明では、一面上に剥離層が形成され、該剥離層上に異物が付着している基材フィルムを、アルカリ性物質とアルコールとを含む溶液に接触させた後、有機溶剤と接触させて、異物及び剥離層を基材フィルムから除去する除去工程を有する基材フィルムのリサイクル方法を提供する。これによって、低コストで容易に基材フィルムをリサイクルすることが可能となる。   Further, in the present invention, a base film having a release layer formed on one surface and foreign matter attached on the release layer is contacted with a solution containing an alkaline substance and alcohol, and then contacted with an organic solvent. And providing a recycling method of the base film having a removing step of removing the foreign matter and the release layer from the base film. This makes it possible to easily recycle the base film at a low cost.

本発明によれば、低コストで容易に実施可能であり、リサイクルに適した剥離フィルムの洗浄方法を提供することができる。また、低コストで容易に実施可能な剥離フィルム及び基材フィルムのリサイクル方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a method for cleaning a release film that can be easily implemented at low cost and is suitable for recycling. Moreover, the recycling method of the peeling film and base film which can be implemented easily at low cost can be provided.

以下、場合により図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、図面の説明において、同一又は同等の要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。   In the following, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings as the case may be. In the description of the drawings, the same reference numerals are used for the same or equivalent elements, and duplicate descriptions are omitted.

(第1実施形態)
図1は、本発明の洗浄方法に用いられる剥離フィルムの一例を模式的に示す側面図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a side view schematically showing an example of a release film used in the cleaning method of the present invention.

剥離フィルム10は、基材フィルム12と該基材フィルム12の一面上に形成された剥離層14とを有する。また、剥離層14の表面上には異物16が付着している。まず、基材フィルム12及び剥離層14について以下に説明する。   The release film 10 includes a base film 12 and a release layer 14 formed on one surface of the base film 12. In addition, foreign matter 16 is attached on the surface of the release layer 14. First, the base film 12 and the release layer 14 will be described below.

基材フィルム12としては、例えばポリエステルフィルムが挙げられる。特に透明性が要求される用途には、透明性の高いポリエステルフィルムを用いることが好ましく、二軸延伸ポリエステルフィルムが特に好ましい。また、遮光性が要求される用途には無機顔料を配合したポリエステルフィルムを用いることが好ましく、TiO、SiO等のような顔料を配合した二軸延伸ポリエステルフィルムが特に好ましい。 Examples of the base film 12 include a polyester film. For applications requiring transparency, it is preferable to use a polyester film having high transparency, and a biaxially stretched polyester film is particularly preferable. Further, in applications where shielding is required, preferably a polyester film obtained by blending an inorganic pigment, TiO 2, biaxially oriented polyester film such pigment was compounded as SiO 2 or the like is particularly preferred.

ポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分とからなる結晶性の線状飽和ポリエステルであることが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート等を例示することができる。   The polyester constituting the polyester film is preferably a crystalline linear saturated polyester comprising an aromatic dibasic acid component and a diol component. For example, polyethylene terephthalate (PET), polypropylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene- Examples include 2,6-naphthalate.

本実施形態におけるポリエステルフィルムは、従来から知られている方法で製造することができる。例えば、二軸延伸ポリエステルフィルムは、ポリエステルを乾燥後、押出機にて溶融し、ダイ(例えばT−ダイ、I−ダイ等)から回転冷却ドラム上に押出し、急冷して未延伸フィルムとし、次いでこの未延伸フィルムを二軸方向に延伸し、必要に応じて熱固定することにより製造することができる。   The polyester film in the present embodiment can be produced by a conventionally known method. For example, the biaxially stretched polyester film is obtained by drying the polyester, melting it in an extruder, extruding it from a die (for example, T-die, I-die, etc.) onto a rotating cooling drum, quenching it into an unstretched film, This unstretched film can be produced by stretching in a biaxial direction and heat-setting as required.

基材フィルム12の厚みは特に制限されるものではないが、5〜250μmが好ましい。これによって、誘電体グリーンシートからの剥離性と機械的強度とを両立させることができる。   Although the thickness in particular of the base film 12 is not restrict | limited, 5-250 micrometers is preferable. This makes it possible to achieve both the peelability from the dielectric green sheet and the mechanical strength.

剥離層14は、シリコーン樹脂(シリコーン硬化物)を含有することが好ましい。これによって、剥離性に優れた剥離層14とすることができ、誘電体グリーンシートを除去した後に剥離層14の表面10a上に残存する誘電体残渣の量を低減することができる。   It is preferable that the peeling layer 14 contains a silicone resin (silicone cured product). Thus, the release layer 14 having excellent peelability can be obtained, and the amount of dielectric residue remaining on the surface 10a of the release layer 14 after the dielectric green sheet is removed can be reduced.

基材フィルム12の一面上に剥離層14を形成する剥離層形成工程について以下に説明する。剥離層14形成のために使用し得る剥離剤液としては、硬化型シリコーン樹脂を含有する塗液を用いることができる。剥離層14は、硬化型シリコーン樹脂を含有する塗液を塗布した後、乾燥、硬化させることで形成することができる。   The peeling layer formation process which forms the peeling layer 14 on one surface of the base film 12 is demonstrated below. As the release agent liquid that can be used for forming the release layer 14, a coating liquid containing a curable silicone resin can be used. The release layer 14 can be formed by applying a coating liquid containing a curable silicone resin, followed by drying and curing.

硬化型シリコーン樹脂は、特に限定されるものではなく、例えば、縮合反応型、付加反応型、紫外線硬化型、電子線硬化型などいずれのものでも用いることができる。具体例を挙げると、信越化学工業社製のKS−774、KS−775、KS−778、KS−779H、KS−856、X−62−2422、X−62−2461、KNS−305、KNS−3000、X−62−1256、ダウ・コーニング・アジア社製のDKQ3−202、DKQ3−203、DKQ3−204、DKQ3−205、DKQ3−210、東芝シリコーン社製のYSR−3022、TPR−6700、TPR−6720、TPR−6721等、東レ・ダウコーニング・シリコーン社製のSD7223、SD7226、SD7229、SRX−210等が挙げられる。   The curable silicone resin is not particularly limited, and for example, any of a condensation reaction type, an addition reaction type, an ultraviolet curable type, an electron beam curable type, and the like can be used. Specific examples include KS-774, KS-775, KS-778, KS-779H, KS-856, X-62-2422, X-62-2461, KNS-305, KNS- manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 3000, X-62-1256, DKQ3-202, DKQ3-203, DKQ3-204, DKQ3-205, DKQ3-210, manufactured by Dow Corning Asia, YSR-3022, TPR-6700, TPR-6700, manufactured by Toshiba Silicone -6720, TPR-6721, etc., SD7223, SD7226, SD7229, SRX-210 manufactured by Toray Dow Corning Silicone.

硬化型シリコーン樹脂塗料をコーティングする方法としては、リバースロールコート法、グラビアロールコート法、エアーナイフコート法等、公知の方法を採用することができる。   As a method for coating the curable silicone resin paint, known methods such as a reverse roll coating method, a gravure roll coating method, and an air knife coating method can be employed.

塗布された硬化型シリコーン樹脂塗料は、例えば、熱により乾燥、硬化させることにより硬化皮膜を形成することができる。その場合、50〜180℃、好ましくは80〜160℃の範囲の温度で5秒以上、好ましくは10秒以上の時間で加熱処理することにより、硬化皮膜を形成することが好ましい。紫外線硬化型、電子線硬化型の場合は、シリコーン樹脂塗料を塗布した後、それぞれ紫外線、電子線を塗布面に照射して塗膜を硬化させる。   The applied curable silicone resin paint can form a cured film by, for example, drying and curing with heat. In that case, it is preferable to form a cured film by performing heat treatment at a temperature in the range of 50 to 180 ° C., preferably 80 to 160 ° C. for 5 seconds or longer, preferably 10 seconds or longer. In the case of the ultraviolet curable type and the electron beam curable type, after the silicone resin paint is applied, the coating surface is cured by irradiating the application surface with ultraviolet rays and an electron beam, respectively.

硬化型シリコーン樹脂の塗布厚みとしては0.01〜25g/m、さらには0.05〜20g/mの範囲が好ましい。 The coating thickness of the curable silicone resin is preferably 0.01 to 25 g / m 2 , more preferably 0.05 to 20 g / m 2 .

剥離層14の厚みは0.03〜5μm、さらには0.05〜3μmの範囲が好ましい。剥離層14の厚みが0.05μm未満の場合、剥離層の剥離性能が低下する傾向がある。一方、剥離層14の厚みが3μmを超える場合、塗液の硬化が不十分となる傾向があり、剥離性能が経時的に変化することがある。   The thickness of the release layer 14 is preferably 0.03 to 5 μm, and more preferably 0.05 to 3 μm. When the thickness of the release layer 14 is less than 0.05 μm, the release performance of the release layer tends to decrease. On the other hand, when the thickness of the release layer 14 exceeds 3 μm, the curing of the coating liquid tends to be insufficient, and the release performance may change over time.

このようにして得られた剥離フィルム10の剥離層14側の表面10a上に、セラミック粉、有機バインダ、可塑剤、溶剤等を含むセラミック塗料をドクターブレード法等で塗布して、誘電体グリーンシートを形成することができる。また、剥離フィルム10の表面10a上には、パラジウム、銀、ニッケル等を含有する電極ペーストをスクリーン印刷することによって、電極パターンを形成することができる。誘電体グリーンシートや電極パターンを剥離フィルム10から剥離すると、通常、剥離フィルム10の剥離層14の表面10a上には異物16が付着する。   A ceramic coating containing ceramic powder, an organic binder, a plasticizer, a solvent, etc. is applied to the surface 10a on the release layer 14 side of the release film 10 thus obtained by a doctor blade method or the like, and a dielectric green sheet Can be formed. Moreover, an electrode pattern can be formed on the surface 10a of the release film 10 by screen printing an electrode paste containing palladium, silver, nickel or the like. When the dielectric green sheet or the electrode pattern is peeled from the release film 10, the foreign matter 16 usually adheres to the surface 10 a of the release layer 14 of the release film 10.

異物16としては、誘電体及び電極材料の残渣や、埃等が挙げられる。誘電体の残渣は、剥離フィルム10の表面10a上に形成されていた誘電体グリーンシートに由来するものであり、その成分は誘電体グリーンシートと同等である。   Examples of the foreign material 16 include a residue of dielectric material and electrode material, dust, and the like. The dielectric residue is derived from the dielectric green sheet formed on the surface 10a of the release film 10, and its component is equivalent to that of the dielectric green sheet.

電極材料の残渣は、上述の誘電体グリーンシート上に、スクリーン印刷により形成されていたパラジウム、銀、ニッケル等の電極成分に由来するものである。その他に、異物16としては、空気中の埃などが挙げられる。   The electrode material residue is derived from electrode components such as palladium, silver, and nickel that have been formed on the above-described dielectric green sheet by screen printing. In addition, examples of the foreign material 16 include dust in the air.

図2は、本発明の剥離フィルムの洗浄方法に係る第1実施形態を示す工程図である。   FIG. 2 is a process diagram showing the first embodiment according to the method for cleaning a release film of the present invention.

本実施形態の剥離フィルム10の洗浄方法は、剥離フィルム10の表面10a上に付着した異物を、有機溶剤を含む洗浄液で除去する洗浄工程と、剥離フィルム10の表面10a上の洗浄液に空気を吹き付けることによって洗浄液を除去する溶剤除去工程とを有する。   The method for cleaning the release film 10 of the present embodiment includes a cleaning process for removing foreign matter adhering to the surface 10a of the release film 10 with a cleaning liquid containing an organic solvent, and blowing air to the cleaning liquid on the surface 10a of the release film 10. And a solvent removal step of removing the cleaning liquid.

洗浄工程では、表面10aに異物が付着した剥離フィルム10を、洗浄槽20内に貯留された洗浄液中に浸漬する。これによって、誘電体や電極材料の残渣が膨潤して剥離フィルム10の表面10aと残渣との界面に応力が発生して、誘電体残渣が剥離フィルム10の表面10aから除去される。また、表面10aに付着した埃は、剥離フィルムを洗浄液中に浸漬することによって容易に除去される。   In the cleaning process, the release film 10 with the foreign matter adhering to the surface 10a is immersed in the cleaning liquid stored in the cleaning tank 20. As a result, the residue of the dielectric or electrode material swells and stress is generated at the interface between the surface 10a of the release film 10 and the residue, and the dielectric residue is removed from the surface 10a of the release film 10. Moreover, the dust adhering to the surface 10a is easily removed by immersing the release film in the cleaning liquid.

洗浄液に含まれる有機溶剤は、誘電体や電極材料の残渣を膨潤、溶解させるものであれば特に制限されない。有機溶剤としては、例えば、アルコール類、ケトン類等が挙げられる。より具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトンなどが挙げられる。例示した有機溶剤の1種を単独で、または2種以上を組み合わせて用いることができる。   The organic solvent contained in the cleaning liquid is not particularly limited as long as it swells and dissolves the residue of the dielectric and electrode material. Examples of the organic solvent include alcohols and ketones. More specifically, methanol, ethanol, propanol, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, methyl ethyl ketone and the like can be mentioned. One of the exemplified organic solvents can be used alone or in combination of two or more.

剥離フィルム10を洗浄液に浸漬している間に、洗浄液に周波数10〜100kHz程度の超音波振動を加えてもよい。これによって、一層確実に剥離フィルム10の表面10aから誘電体残渣を除去することができる。また、洗浄液は室温で用いてもよく、洗浄液の沸点以下の温度に加熱してもよい。   While the release film 10 is immersed in the cleaning liquid, ultrasonic vibration having a frequency of about 10 to 100 kHz may be applied to the cleaning liquid. As a result, the dielectric residue can be more reliably removed from the surface 10a of the release film 10. The cleaning liquid may be used at room temperature or heated to a temperature below the boiling point of the cleaning liquid.

溶剤除去工程では、図2に示すように、剥離フィルム10を洗浄槽20から上方向(図2中、矢印C方向)に取り出しながら、剥離フィルム10の表面10aに付着する洗浄液22に空気を吹き付けて洗浄液22を除去する。空気の吹き付け方向に特に制限はないが、下方向(図2中、矢印A方向)に向けて吹き付けることが好ましい。これによって、風圧の作用と重力の作用によって、液滴状の洗浄液22を一層円滑に下方に移動させて剥離フィルム10から除去することができる。また、除去された洗浄液22は洗浄槽20に戻ることとなるので、洗浄液22の消費量を抑制することができる。   In the solvent removal step, as shown in FIG. 2, air is blown to the cleaning liquid 22 adhering to the surface 10a of the release film 10 while taking the release film 10 upward from the cleaning tank 20 (in the direction of arrow C in FIG. 2). To remove the cleaning liquid 22. Although there is no restriction | limiting in particular in the blowing direction of air, It is preferable to blow toward the downward direction (arrow A direction in FIG. 2). Accordingly, the droplet-like cleaning liquid 22 can be moved downward more smoothly and removed from the release film 10 by the action of wind pressure and the action of gravity. Further, since the removed cleaning liquid 22 returns to the cleaning tank 20, the consumption of the cleaning liquid 22 can be suppressed.

液滴状の洗浄液22に吹き付けるガスは空気に限定されるものではなく、例えば、窒素ガス、二酸化炭素ガスなどの不活性ガスや、酸素ガスなどを用いてもよい。また、ガスの供給源としては通常の市販の送風機を用いることができる。このような送風機を用いて、例えば、風速5〜50m/sでガスを剥離フィルム10の表面10aに付着する液滴状の洗浄液22に吹き付けて、洗浄液22を除去することができる。   The gas sprayed onto the droplet-like cleaning liquid 22 is not limited to air, and for example, an inert gas such as nitrogen gas or carbon dioxide gas, oxygen gas, or the like may be used. Moreover, a normal commercially available blower can be used as the gas supply source. Using such a blower, for example, the cleaning liquid 22 can be removed by spraying a gas onto the droplet-shaped cleaning liquid 22 attached to the surface 10a of the release film 10 at a wind speed of 5 to 50 m / s.

本実施形態の剥離フィルム10の洗浄方法によれば、ガスを吹き付けることによって液滴状の洗浄液22を剥離フィルム10から十分に除去することができる。したがって、洗浄後の剥離フィルム10の剥離層上に再び誘電体グリーンシート形成した場合に、ピンホールの発生を十分に抑制することができる。このため、誘電体グリーンシート積層用の剥離フィルムのリサイクル用の洗浄方法として特に好適である。   According to the cleaning method for the release film 10 of the present embodiment, the droplet-like cleaning liquid 22 can be sufficiently removed from the release film 10 by spraying gas. Therefore, when a dielectric green sheet is formed again on the release layer of the release film 10 after washing, the generation of pinholes can be sufficiently suppressed. For this reason, it is particularly suitable as a cleaning method for recycling the release film for laminating dielectric green sheets.

(第2実施形態)
図3は、本発明の剥離フィルムの洗浄方法に係る第2実施形態を示す工程図である。本実施形態では、上記第1実施形態と同様にして、洗浄工程を行う。その後、以下の通り溶剤除去工程を行う。
(Second Embodiment)
FIG. 3 is a process diagram showing a second embodiment according to the method for cleaning a release film of the present invention. In the present embodiment, the cleaning process is performed in the same manner as in the first embodiment. Then, a solvent removal process is performed as follows.

本実施形態の溶剤除去工程では、洗浄槽20から取り出した剥離フィルム10の表面10a上に付着した液滴状の洗浄液22を、剥離フィルム10の側面から洗浄液22に空気を吹き付けることによって、水平方向(図3中、矢印A方向)に移動させて除去する。   In the solvent removal process of the present embodiment, the droplet-shaped cleaning liquid 22 attached on the surface 10a of the release film 10 taken out from the cleaning tank 20 is blown into the horizontal direction by blowing air from the side surface of the release film 10 to the cleaning liquid 22. It is removed by moving in the direction of arrow A in FIG.

剥離フィルム10の剥離層は、通常、表面張力が低いため、上述のように空気を水平方向に吹き付けることによっても、洗浄液22を十分に除去することができる。なお、剥離フィルム10の風下側の側面が下側になるように剥離フィルム10を傾ければ、重力の作用と空気の風圧との相乗効果によって、洗浄液22を一層十分に除去することができる   Since the release layer of the release film 10 usually has a low surface tension, the cleaning liquid 22 can be sufficiently removed by blowing air in the horizontal direction as described above. If the release film 10 is tilted so that the leeward side surface of the release film 10 is on the lower side, the cleaning liquid 22 can be more sufficiently removed by the synergistic effect of the action of gravity and the wind pressure of air.

(第3実施形態)
図4は、本発明の剥離フィルムの洗浄方法に係る第3実施形態を示す工程図である。剥離フィルム10は全体として、ローラー30から繰り出され、ローラー38で巻き取られることによって、矢印D方向に移動して連続的に洗浄される。
(Third embodiment)
FIG. 4 is a process diagram showing a third embodiment according to the method for cleaning a release film of the present invention. As a whole, the release film 10 is unwound from the roller 30 and taken up by the roller 38, thereby moving in the direction of arrow D and continuously washed.

本実施形態の剥離フィルム10の洗浄方法は、剥離フィルム10の表面上に付着した異物を、有機溶剤を含む洗浄液で除去する洗浄工程と、剥離フィルム10の表面上の洗浄液に空気を吹き付けることによって洗浄液を除去する第1溶剤除去工程と、剥離フィルム10の表面上の洗浄液を繊維で吸着して除去する第2溶剤除去工程と、剥離フィルム10を乾燥する乾燥工程とを有する。   The method for cleaning the release film 10 of the present embodiment includes a cleaning process for removing foreign matter adhering to the surface of the release film 10 with a cleaning liquid containing an organic solvent, and blowing air to the cleaning liquid on the surface of the release film 10. It has the 1st solvent removal process which removes a washing | cleaning liquid, the 2nd solvent removal process which adsorbs and removes the washing | cleaning liquid on the surface of the peeling film 10 with a fiber, and the drying process which dries the peeling film 10. FIG.

洗浄工程では、ローラー30から異物16が表面に付着した剥離フィルム10が繰り出されて、洗浄槽20内の洗浄液中に浸漬される。ここで、所定時間、剥離フィルム10は洗浄液中に浸漬されて、剥離フィルム10に付着していた誘電体などの異物16の大部分が除去される。   In the cleaning step, the release film 10 with the foreign matter 16 attached to the surface is drawn out from the roller 30 and immersed in the cleaning liquid in the cleaning tank 20. Here, the release film 10 is immersed in the cleaning liquid for a predetermined time, and most of the foreign matter 16 such as a dielectric adhered to the release film 10 is removed.

洗浄液に含まれる有機溶剤は、誘電体残渣を膨潤、溶解させるものであれば特に制限されない。有機溶剤としては、例えば、アルコール類、ケトン類等が挙げられる。より具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトンなどが挙げられる。例示した有機溶剤の1種を単独で、または2種以上を組み合わせて用いることができる。   The organic solvent contained in the cleaning liquid is not particularly limited as long as it swells and dissolves the dielectric residue. Examples of the organic solvent include alcohols and ketones. More specifically, methanol, ethanol, propanol, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, methyl ethyl ketone and the like can be mentioned. One of the exemplified organic solvents can be used alone or in combination of two or more.

第1溶剤除去工程では、ローラー32を通過した剥離フィルム10を洗浄槽20から引き上げて、剥離フィルム10の表面に付着している液滴状の洗浄液を、ガスを吹きつけることによって排除する。ガスは、送風機24から剥離フィルム10に向けて吹き付けられる。ガスの吹き付け方向は、上記第1実施形態または第2実施形態と同様とすることができる。   In the first solvent removal step, the release film 10 that has passed through the roller 32 is pulled up from the cleaning tank 20, and the droplet-like cleaning liquid adhering to the surface of the release film 10 is removed by blowing gas. The gas is blown from the blower 24 toward the release film 10. The gas blowing direction can be the same as in the first embodiment or the second embodiment.

第2溶剤除去工程では、ローラー33を通過した剥離フィルム10を、繊維26と接触させる。繊維26によって、剥離フィルム10の表面上に残存する洗浄液が拭き取られる。繊維26としては、洗浄液の吸収性に優れる材料を用いることができ、例えば不織布を用いることができる。   In the second solvent removal step, the release film 10 that has passed through the roller 33 is brought into contact with the fibers 26. The cleaning liquid remaining on the surface of the release film 10 is wiped off by the fibers 26. As the fiber 26, a material having excellent cleaning liquid absorbability can be used. For example, a nonwoven fabric can be used.

本実施形態では、剥離フィルム10を挟むようにして、一対の繊維26を剥離フィルム10の上方と下方とからそれぞれ押し当てている。これによって、剥離フィルム10の表面に残存する洗浄液を一層確実に吸収除去することができる。   In the present embodiment, the pair of fibers 26 are pressed from above and below the release film 10 so as to sandwich the release film 10. Thereby, the cleaning liquid remaining on the surface of the release film 10 can be more reliably absorbed and removed.

乾燥工程では、ローラー34を通過した剥離フィルム10を、乾燥機52に導入して残存する洗浄液を蒸発させる。これによって、残渣の付着量が一層十分に低減された再生剥離フィルムを得ることができる。このような剥離フィルムは、例えば、ローラー38によってロール状に巻かれてリサイクルされる。   In the drying step, the release film 10 that has passed through the roller 34 is introduced into the dryer 52 to evaporate the remaining cleaning liquid. As a result, it is possible to obtain a recycled release film in which the amount of residue attached is further sufficiently reduced. Such a release film is rolled by a roller 38 and recycled, for example.

なお、本実施形態では、第1溶剤除去工程と第2溶剤除去工程の2つの溶剤除去工程を有していたが、どちらか一方のみとしてもよい。また、洗浄工程の前に、粘着層を有する粘着ロールを用い、該粘着層と剥離フィルムの剥離層とを接触させることによって剥離フィルムの剥離層の表面上に付着した異物を除去する粘着除去工程を有していてもよい。粘着除去工程を有することによって、最終的に得られる剥離フィルムの異物を一層確実に低減することができる。粘着ロールとしては、市販のものを用いることができる。   In the present embodiment, the two solvent removal steps, the first solvent removal step and the second solvent removal step, are provided, but only one of them may be used. Moreover, the adhesion removal process which removes the foreign material adhering on the surface of the peeling layer of a peeling film by making this adhesion layer and the peeling layer of a peeling film contact before using the adhesion roll which has an adhesion layer You may have. By having the adhesion removing step, foreign substances in the finally obtained release film can be more reliably reduced. A commercially available roll can be used as the adhesive roll.

(第4実施形態)
本実施形態の剥離フィルムの洗浄方法は、剥離層に異物を有する剥離フィルムを、アルカリ性物質をアルコールに溶解させて得られる分解液に浸漬した後、当該剥離フィルムを有機溶剤と接触させて、剥離層を基材フィルムから除去する除去工程を有する。以下、詳細について説明する。
(Fourth embodiment)
The method for cleaning a release film of the present embodiment is a method in which a release film having foreign matters in a release layer is immersed in a decomposition solution obtained by dissolving an alkaline substance in alcohol, and then the release film is contacted with an organic solvent to release the release film. A removal step of removing the layer from the substrate film. Details will be described below.

分解液としては、アルコール、又はアルコールと水との混合液に、アルカリ性物質を溶解させた溶液を用いることができる。このような分解液と剥離フィルムとを接触させると剥離フィルム10(図1)の剥離層14を構成するシリコーン樹脂の一部が分解する。すなわち、分子量の大きなシリコーン樹脂の結合の一部を切断することにより、シリコーン樹脂の分子量を小さくすることができる。また、剥離フィルム10を分解液に浸漬することによって、異物も除去することができる。   As the decomposition solution, a solution in which an alkaline substance is dissolved in alcohol or a mixed solution of alcohol and water can be used. When such a decomposition solution is brought into contact with the release film, a part of the silicone resin constituting the release layer 14 of the release film 10 (FIG. 1) is decomposed. That is, the molecular weight of the silicone resin can be reduced by cutting part of the bond of the silicone resin having a large molecular weight. Moreover, a foreign material can also be removed by immersing the peeling film 10 in a decomposition solution.

アルカリ性物質としては、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等が挙げられ、これらのうち、水酸化カリウムが好適である。分解液におけるアルカリ性物質の含有量は、0.1〜10mol/lであることが好ましく、0.2〜2mol/lであることがより好ましい。該含有量が高すぎる場合、基材フィルム12がダメージを受けやすくなる傾向があり、該含有量が低すぎる場合、シリコーン樹脂の分解に長時間を所要する傾向がある。   Examples of the alkaline substance include lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide and the like. Among these, potassium hydroxide is preferable. The content of the alkaline substance in the decomposition solution is preferably 0.1 to 10 mol / l, and more preferably 0.2 to 2 mol / l. When the content is too high, the base film 12 tends to be damaged, and when the content is too low, the silicone resin tends to take a long time to decompose.

分解液に用いる混合液は、アルコールと水との混合液であることが好ましい。水を含有する混合液を用いることによって、アルカリ性物質を容易に溶解させることが可能となり、除去工程を円滑に行うことができる。   The mixed solution used for the decomposition solution is preferably a mixed solution of alcohol and water. By using a mixed solution containing water, the alkaline substance can be easily dissolved, and the removal step can be performed smoothly.

アルコールとしては、アルコール単体でアルカリ性物質を溶解できるか、水と混合することでアルカリ性物質を溶解できるものを用いることができる。このようなアルコールのうち、メタノール、エタノール、プロパノール等が好ましく、メタノール、エタノールのような低級アルコールがより好ましく、メタノールがさらに好ましい。   As alcohol, what can melt | dissolve an alkaline substance by alcohol simple substance, or can dissolve an alkaline substance by mixing with water can be used. Of these alcohols, methanol, ethanol, propanol and the like are preferable, lower alcohols such as methanol and ethanol are more preferable, and methanol is more preferable.

アルコールと水との混合液を用いる場合、混合液全体に対するアルコールの割合は、30質量%以上であることが好ましく、40質量%以上であることがより好ましく、50質量%以上であることがさらに好ましい。アルコールの割合が30質量%未満の場合、シリコーン樹脂が水分をはじく性質を有していることから、シリコーン樹脂の分解が進行し難くなる傾向がある。アルコールの含有量を50質量%以上とすれば、シリコーン樹脂への浸透性を一層向上させることができ、シリコーン樹脂の分解を効率的に進行させることが可能となる。   In the case of using a mixed liquid of alcohol and water, the ratio of the alcohol to the whole mixed liquid is preferably 30% by mass or more, more preferably 40% by mass or more, and further preferably 50% by mass or more. preferable. When the proportion of alcohol is less than 30% by mass, the silicone resin has a property of repelling moisture, so that the decomposition of the silicone resin tends to hardly proceed. If the alcohol content is 50% by mass or more, the permeability to the silicone resin can be further improved, and the decomposition of the silicone resin can proceed efficiently.

分解液の温度は、例えば40℃以上、沸点以下に加熱することも好ましい。これによって、シリコーン樹脂の分解が促進され、除去工程を短縮することができる。剥離フィルム10の分解液中への浸漬時間は特に限定されず、例えば30秒間〜30分間とすることができる。   It is also preferable that the temperature of the decomposition liquid is heated to, for example, 40 ° C. or higher and the boiling point or lower. Thereby, the decomposition of the silicone resin is promoted, and the removal process can be shortened. The immersion time of the release film 10 in the decomposition solution is not particularly limited, and can be, for example, 30 seconds to 30 minutes.

上述の通り、剥離フィルム10を分解液中に浸漬した後、剥離フィルム10を取り出して有機溶剤中に浸漬する。分解液中への浸漬によって、剥離層14のシリコーン樹脂は分解されて分子量が小さくなっているため、剥離フィルム10を有機溶剤中に浸漬すると、剥離層14は溶解、膨潤して基材フィルム12から容易に剥離する。なお、分解液に浸漬せずに、剥離フィルム10を直接有機溶剤に浸漬しても、剥離層14を基材フィルム12から剥離することができない。   As described above, after the release film 10 is immersed in the decomposition solution, the release film 10 is taken out and immersed in an organic solvent. Since the silicone resin of the release layer 14 is decomposed and the molecular weight is reduced by immersion in the decomposition solution, when the release film 10 is immersed in an organic solvent, the release layer 14 dissolves and swells, and the base film 12 Easy to peel off. Even if the release film 10 is directly immersed in an organic solvent without being immersed in the decomposition solution, the release layer 14 cannot be released from the base film 12.

有機溶剤としては、トルエン、キシレン、ベンゼン、n−ヘキサン、n−ヘプタン、シクロヘキサン、ジメチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ヘキシルエーテル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、エチルアセテート、ブチルアセテート、アミルアセテート等を用いることができる。これらのうち、剥離層14を一層容易に剥離させる観点から、トルエンが好ましい。   As the organic solvent, toluene, xylene, benzene, n-hexane, n-heptane, cyclohexane, dimethyl ether, diisopropyl ether, hexyl ether, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, butyl acetate, amyl acetate, and the like can be used. Of these, toluene is preferable from the viewpoint of more easily peeling the release layer 14.

剥離フィルム10を浸漬する有機溶剤の温度は室温でもよいが、40〜60℃に加熱することも好ましい。これによって、剥離層14の膨潤が一層円滑に進行し、除去工程を短縮することができる。剥離フィルム10の有機溶剤中への浸漬時間は特に限定されず、例えば30秒間〜30分間とすることができる。また、有機溶剤に超音波振動を加えることが好ましい。これによって、剥離層14を基材フィルム12から一層容易に剥離させることができる。   The temperature of the organic solvent in which the release film 10 is immersed may be room temperature, but is preferably heated to 40 to 60 ° C. Thereby, the swelling of the release layer 14 proceeds more smoothly, and the removal process can be shortened. The immersion time of the release film 10 in the organic solvent is not particularly limited, and can be, for example, 30 seconds to 30 minutes. Moreover, it is preferable to apply ultrasonic vibration to the organic solvent. Thereby, the peeling layer 14 can be peeled from the base film 12 more easily.

有機溶剤の浸漬は、例えば2つの洗浄槽を準備して、まず、第1の洗浄槽に剥離フィルムを浸漬し、所定時間経過後に剥離フィルムを引き上げて、その後、該剥離フィルムを第2の洗浄槽に浸漬してもよい。第2の洗浄槽に貯留された有機溶剤のシリコーン成分の含有量は、第1の洗浄槽に貯留された有機溶剤のシリコーン成分の含有量よりも十分に小さいため、シリコーン樹脂に由来するシリコーン成分の付着が一層少ない基材フィルムを得ることができる。   For example, two washing tanks are prepared for the immersion of the organic solvent. First, the release film is immersed in the first cleaning tank, and the release film is pulled up after a predetermined time, and then the release film is subjected to the second cleaning. You may immerse in a tank. Since the content of the silicone component of the organic solvent stored in the second cleaning tank is sufficiently smaller than the content of the silicone component of the organic solvent stored in the first cleaning tank, the silicone component derived from the silicone resin It is possible to obtain a base film having much less adhesion.

なお、残渣が付着した剥離フィルムを分離液に浸漬する前に、剥離フィルムの剥離層表面にコロナ処理を施してもよい。このようにコロナ処理を施す工程を設けることによって、剥離フィルムの剥離層表面を親水性にすることができる。これによって、親水性の分解液が剥離層内部に一層浸透し易くなり、除去工程に所要する時間を一層短縮することが可能となる。   In addition, you may give a corona treatment to the peeling layer surface of a peeling film, before immersing the peeling film to which the residue adhered in the separation liquid. Thus, by providing the process which performs a corona treatment, the peeling layer surface of a peeling film can be made hydrophilic. This makes it easier for the hydrophilic decomposition solution to penetrate into the release layer, and the time required for the removal step can be further shortened.

剥離フィルムを有機溶媒中に所定時間浸漬した後、有機溶媒中から取り出すことによって、剥離層の残存量が十分に低減された基材フィルム12を得ることができる。これによって、基材フィルム12をリサイクルすることができる。このような基材フィルム12は、誘電体残渣などの異物の付着量が十分に低減されていることから、基材フィルム12上に剥離層を形成する上述の剥離層形成工程を行うことによって、例えば誘電体グリーンシート積層用の剥離フィルムとしてリサイクルすることができる。このため、本実施形態の方法は、誘電体グリーンシート積層用の剥離フィルムのリサイクル方法として特に好適な剥離層の除去方法であるともいえるし、基材フィルムのリサイクル方法であるともいえる。上記方法で洗浄されてリサイクルされた剥離フィルムを用いて形成される誘電体グリーンシートは、ピンホールの発生が十分に抑制されている。また、リサイクルされる基材フィルムの損傷は十分に抑制されており、耐久性にも優れている。   After immersing the release film in an organic solvent for a predetermined time and then taking it out of the organic solvent, the base film 12 in which the remaining amount of the release layer is sufficiently reduced can be obtained. Thereby, the base film 12 can be recycled. Since such a base film 12 has a sufficiently reduced amount of foreign matters such as dielectric residues, by performing the above-described release layer forming step of forming a release layer on the base film 12, For example, it can be recycled as a release film for laminating dielectric green sheets. For this reason, it can be said that the method of this embodiment is a removal method of a peeling layer especially suitable as a recycling method of the peeling film for dielectric material green sheet lamination | stacking, and can also be said to be a recycling method of a base film. In the dielectric green sheet formed using the release film cleaned and recycled by the above method, the generation of pinholes is sufficiently suppressed. In addition, damage to the recycled base film is sufficiently suppressed, and the durability is excellent.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment.

以下、実施例及び比較例に基づき本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated further more concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to a following example at all.

(実施例1)
<剥離フィルムの作製>
ビニル基を有するメチルビニルポリシロキサンとメチルハイドロジェンシランの混合溶液に白金触媒を加えて付加反応させる熱硬化タイプのシリコーン樹脂溶液を、トルエンで希釈して固形分濃度3質量%に調整した後、乾燥後の塗膜厚が0.1μmとなるようにバーコーターにて38μm厚の2軸延伸ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(基材フィルム)に塗布し、加熱温度110℃で40秒間、乾燥及び硬化反応させて、基材フィルム上にシリコーン樹脂層(剥離層)が形成された剥離フィルムを得た。
(Example 1)
<Preparation of release film>
After adjusting the thermosetting type silicone resin solution to be added and reacted by adding a platinum catalyst to a mixed solution of methyl vinyl polysiloxane having vinyl group and methyl hydrogen silane with toluene, the solid content concentration is adjusted to 3% by mass. It is applied to a 38 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate (PET) film (base film) with a bar coater so that the coating thickness after drying is 0.1 μm, and dried and cured at a heating temperature of 110 ° C. for 40 seconds. It was made to react and the peeling film in which the silicone resin layer (peeling layer) was formed on the base film was obtained.

<誘電体グリーンシートの作製>
BaTiO系セラミック粉末、有機バインダとしてポリビニルブチラール(PVB)、及び溶媒としてメタノールを準備した。次に、該セラミック粉末100質量部に対して、10質量部の有機バインダと、150質量部の溶媒とを、ボールミルで混練してスラリー化することによって誘電体ペーストを得た。この誘電体ペーストは、誘電体原料(セラミック粉体)と有機ビヒクルとを混練して得られる有機溶剤系ペーストで構成される。
<Production of dielectric green sheet>
BaTiO 3 system ceramic powder, polyvinyl butyral (PVB) as an organic binder, and methanol as a solvent were prepared. Next, 10 parts by weight of an organic binder and 150 parts by weight of a solvent were kneaded with a ball mill to form a dielectric paste with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder. This dielectric paste is composed of an organic solvent-based paste obtained by kneading a dielectric material (ceramic powder) and an organic vehicle.

上述の通り作製した剥離フィルムのシリコーン樹脂層上に、上記誘電体ペーストをドクターブレード法によって所定厚みで塗布して乾燥し、剥離フィルム上に厚み1μmの誘電体グリーンシートを形成した。   On the silicone resin layer of the release film produced as described above, the dielectric paste was applied at a predetermined thickness by the doctor blade method and dried to form a dielectric green sheet having a thickness of 1 μm on the release film.

<導電体ペーストの作製>
まず、導電性粉末として平均粒径が0.2μmのNi粒子、及び上記有機ビヒクルを準備した。次に、導電性粉末100質量部に対して、30〜70質量部の有機ビヒクルを添加し、ボールミルで混練し、スラリー化して導電性ペーストを得た。
<Preparation of conductor paste>
First, Ni particles having an average particle size of 0.2 μm as the conductive powder and the organic vehicle were prepared. Next, 30 to 70 parts by mass of an organic vehicle was added to 100 parts by mass of the conductive powder, kneaded with a ball mill, and slurried to obtain a conductive paste.

作製した導電性ペーストを、剥離フィルム上に形成された誘電体グリーンシート上に塗布して電極パターンを作製した。   The produced conductive paste was applied onto a dielectric green sheet formed on a release film to produce an electrode pattern.

電極パターンが形成された誘電体グリーンシートを剥離フィルムから剥離して、剥離層の表面上に誘電体の残渣が付着した剥離フィルムを得た。当該剥離フィルムを、シクロヘキサノン(洗浄液)を有する洗浄槽に1分間浸漬した。浸漬後、剥離フィルムを洗浄槽より取り出して、剥離フィルムの側面から空気を吹き付けて剥離フィルムの表面に付着するシクロヘキサノンを除去した。除去後、誘電体が剥離フィルムの剥離層の表面上にないことを目視にて確認した。その後、赤外線加熱ヒーターを用いて剥離フィルムを加熱し、剥離層が形成された面とは反対側のPETフィルムの面のシクロヘキサノンを乾燥させた。   The dielectric green sheet on which the electrode pattern was formed was peeled from the release film to obtain a release film in which a dielectric residue adhered to the surface of the release layer. The release film was immersed in a cleaning tank having cyclohexanone (cleaning liquid) for 1 minute. After immersion, the release film was taken out from the washing tank, and air was blown from the side surface of the release film to remove cyclohexanone adhering to the surface of the release film. After removal, it was visually confirmed that there was no dielectric on the surface of the release layer of the release film. Thereafter, the release film was heated using an infrared heater, and the cyclohexanone on the surface of the PET film opposite to the surface on which the release layer was formed was dried.

乾燥後、洗浄した剥離フィルムの剥離層上に、上述の誘電体スラリーをドクターブレード法によって所定厚みで塗布して乾燥し、厚みが1μmの誘電体グリーンシートを形成した。当該誘電体グリーンシートには、ピンホールが発生しなかった。   After drying, on the release layer of the washed release film, the above-mentioned dielectric slurry was applied at a predetermined thickness by the doctor blade method and dried to form a dielectric green sheet having a thickness of 1 μm. No pinhole was generated in the dielectric green sheet.

(実施例2)
実施例1と同様にして剥離層の表面上に誘電体の残渣が付着した剥離フィルムを得た。当該剥離フィルムを、メチルエチルケトンを有する洗浄槽に1分間浸漬させた。浸漬後、剥離フィルムを洗浄槽より取り出して、洗浄槽の液面から50cmの高さの場所に設置された不織布が巻かれたロールと、剥離フィルムの剥離層とを接触させた。このように、剥離層表面に付着したメチルエチルケトンを不織布に吸収させることによって、剥離層上の洗浄液を除去した。除去後、誘電体が剥離フィルムの剥離層の表面上にないことを目視にて確認した。その後、室温で剥離フィルムを乾燥させた。
(Example 2)
In the same manner as in Example 1, a release film having a dielectric residue adhered on the surface of the release layer was obtained. The release film was immersed in a washing tank having methyl ethyl ketone for 1 minute. After the immersion, the release film was taken out from the washing tank, and the roll on which the nonwoven fabric placed at a height of 50 cm from the liquid level of the washing tank was wound was brought into contact with the release layer of the release film. Thus, the washing | cleaning liquid on a peeling layer was removed by making the nonwoven fabric absorb the methyl ethyl ketone adhering to the peeling layer surface. After removal, it was visually confirmed that there was no dielectric on the surface of the release layer of the release film. Thereafter, the release film was dried at room temperature.

乾燥後、洗浄した剥離フィルムの剥離層上に、実施例1と同様にして誘電体スラリーを塗布して乾燥し、厚みが1μmの誘電体グリーンシートを形成した。当該誘電体グリーンシートには、ピンホールが発生しなかった。   After drying, a dielectric slurry was applied and dried on the release layer of the washed release film in the same manner as in Example 1 to form a dielectric green sheet having a thickness of 1 μm. No pinhole was generated in the dielectric green sheet.

(比較例1)
実施例1と同様にして剥離層の表面上に誘電体の残渣が付着した剥離フィルムを得た。当該剥離フィルムを、シクロヘキサノン(洗浄液)を有する洗浄槽に1分間浸漬した。浸漬後、剥離フィルムを洗浄槽より取り出して、空気を吹き付けずにそのまま赤外線加熱ヒーターを用いて剥離フィルムを加熱し、剥離層が形成された面とは反対側のPETフィルムの面のシクロヘキサノンを乾燥させた。
(Comparative Example 1)
In the same manner as in Example 1, a release film having a dielectric residue adhered on the surface of the release layer was obtained. The release film was immersed in a cleaning tank having cyclohexanone (cleaning liquid) for 1 minute. After soaking, remove the release film from the washing tank, heat the release film directly using an infrared heater without blowing air, and dry the cyclohexanone on the side of the PET film opposite to the side where the release layer is formed. I let you.

乾燥後、洗浄した剥離フィルムの剥離層上に、実施例1と同様にして誘電体スラリーを塗布して乾燥し、厚みが1μmの誘電体グリーンシートを形成した。当該誘電体グリーンシートには、ピンホールが発生していた。   After drying, a dielectric slurry was applied and dried on the release layer of the washed release film in the same manner as in Example 1 to form a dielectric green sheet having a thickness of 1 μm. Pinholes were generated in the dielectric green sheet.

(比較例2)
実施例1と同様にして剥離層の表面上に誘電体の残渣が付着した剥離フィルムを得た。当該剥離フィルムを、メチルエチルケトンを有する洗浄槽に1分間浸漬させた。浸漬後、そのまま剥離フィルムを室温で乾燥させた。
(Comparative Example 2)
In the same manner as in Example 1, a release film having a dielectric residue adhered on the surface of the release layer was obtained. The release film was immersed in a washing tank having methyl ethyl ketone for 1 minute. After immersion, the release film was dried as it was at room temperature.

乾燥後、洗浄した剥離フィルムの剥離層上に、実施例1と同様にして誘電体スラリーを塗布して乾燥し、厚みが1μmの誘電体グリーンシートを形成した。当該誘電体グリーンシートには、ピンホールが発生していた。   After drying, a dielectric slurry was applied and dried on the release layer of the washed release film in the same manner as in Example 1 to form a dielectric green sheet having a thickness of 1 μm. Pinholes were generated in the dielectric green sheet.

(実施例3)
実施例1と同様にして剥離層の表面上に誘電体の残渣が付着した剥離フィルムを得た。当該剥離フィルムを、エタノール100質量部に対して、純水100質量部及び水酸化カリウム5質量部を混合して得られた分解液(60℃)中に、1分間浸漬した。浸漬後、剥離フィルムを分解液中から取り出して純水で当該フィルムを洗浄して分解液を洗い流した。
(Example 3)
In the same manner as in Example 1, a release film having a dielectric residue adhered on the surface of the release layer was obtained. The release film was immersed for 1 minute in a decomposition solution (60 ° C.) obtained by mixing 100 parts by mass of pure water and 5 parts by mass of potassium hydroxide with respect to 100 parts by mass of ethanol. After immersion, the release film was taken out of the decomposition solution, washed with pure water, and the decomposition solution was washed away.

この時点で、剥離フィルムは、剥離層を有していた。しかしながら、剥離層の表面にマジックインクを塗布したところ、マジックインクははじかれず、はじき性が消失していることが確認された。   At this point, the release film had a release layer. However, when the magic ink was applied to the surface of the release layer, it was confirmed that the magic ink was not repelled and the repellency was lost.

その後、剥離フィルムを室温のトルエン中に1分間浸漬し、剥離フィルムをトルエン中から取り出して室温で乾燥した。   Thereafter, the release film was immersed in toluene at room temperature for 1 minute, and the release film was taken out from toluene and dried at room temperature.

剥離フィルムから剥離層及び異物が十分に除去されて、PETフィルムのみになっていることが確認された。このPETフィルム上に、実施例1と同様にしてシリコーン樹脂溶液を塗布してシリコーン樹脂層(剥離層)を形成し、剥離フィルムを得た。   It was confirmed that the release layer and foreign matters were sufficiently removed from the release film, and only the PET film was formed. On this PET film, a silicone resin solution was applied in the same manner as in Example 1 to form a silicone resin layer (release layer), and a release film was obtained.

この剥離フィルムの剥離層上に、実施例1と同様にして誘電体スラリーを塗布して乾燥し、厚みが1μmの誘電体グリーンシートを形成した。当該誘電体グリーンシートには、ピンホールが発生しなかった。   On the release layer of this release film, a dielectric slurry was applied and dried in the same manner as in Example 1 to form a dielectric green sheet having a thickness of 1 μm. No pinhole was generated in the dielectric green sheet.

(実施例4)
実施例1と同様にして剥離層の表面上に誘電体の残渣が付着した剥離フィルムを得た。当該剥離フィルムを、エタノール100質量部に対して、純水100質量部及び水酸化カリウム20質量部を混合して得られた分解液(約25℃)中に、1分間浸漬した。浸漬後、剥離フィルムを分解液中から取り出して純水で当該フィルムを洗浄し分解液を洗い流した。
Example 4
In the same manner as in Example 1, a release film having a dielectric residue adhered on the surface of the release layer was obtained. The release film was immersed in a decomposition solution (about 25 ° C.) obtained by mixing 100 parts by mass of ethanol with 100 parts by mass of pure water and 20 parts by mass of potassium hydroxide for 1 minute. After immersion, the release film was taken out from the decomposition solution, washed with pure water, and the decomposition solution was washed away.

この時点で、剥離フィルムは、剥離層を有していた。しかしながら、剥離層の表面にマジックインクを塗布したところ、マジックインクははじかれず、はじき性が消失していることが確認された。   At this point, the release film had a release layer. However, when the magic ink was applied to the surface of the release layer, it was confirmed that the magic ink was not repelled and the repellency was lost.

その後、剥離フィルムを室温のキシレン中に1分間浸漬し、剥離フィルムをキシレン中から取り出して室温で乾燥した。   Thereafter, the release film was immersed in xylene at room temperature for 1 minute, and the release film was taken out from xylene and dried at room temperature.

剥離フィルムから剥離層及び異物が十分に除去されて、PETフィルムのみになっていることが確認された。このPETフィルムに、実施例1と同様にしてシリコーン樹脂溶液を塗布してシリコーン樹脂層(剥離層)を形成し、剥離フィルムを得た。   It was confirmed that the release layer and foreign matters were sufficiently removed from the release film, and only the PET film was formed. A silicone resin solution was applied to this PET film in the same manner as in Example 1 to form a silicone resin layer (release layer), and a release film was obtained.

この剥離フィルムの剥離層上に、実施例1と同様にして誘電体スラリーを塗布して乾燥し、厚みが1μmの誘電体グリーンシートを形成した。当該誘電体グリーンシートには、ピンホールが発生しなかった。   On the release layer of this release film, a dielectric slurry was applied and dried in the same manner as in Example 1 to form a dielectric green sheet having a thickness of 1 μm. No pinhole was generated in the dielectric green sheet.

(実施例5)
実施例1と同様にして剥離層の表面上に誘電体の残渣が付着した剥離フィルムを得た。当該剥離フィルムの剥離層表面にコロナ処理(電流量5A)を施した。コロナ処理後の剥離層表面の純水の接触角は86°であり、処理前(接触角109°)に比べて親水性になっていることが確認された。
(Example 5)
In the same manner as in Example 1, a release film having a dielectric residue adhered on the surface of the release layer was obtained. The release layer surface of the release film was subjected to corona treatment (current amount 5A). The contact angle of pure water on the surface of the release layer after the corona treatment was 86 °, and it was confirmed that the contact angle was more hydrophilic than that before the treatment (contact angle 109 °).

コロナ処理をした剥離フィルムを、エタノール100質量部に対して、純水100質量部及び水酸化カリウム10質量部を混合して得られた常温(約25℃)の分解液中に、1分間浸漬した。浸漬後、剥離フィルムを分解液中から取り出して純水で当該剥離フィルムを洗浄して分解液を洗い流した。   The release film subjected to corona treatment is immersed for 1 minute in a normal temperature (about 25 ° C.) decomposition solution obtained by mixing 100 parts by mass of ethanol with 100 parts by mass of pure water and 10 parts by mass of potassium hydroxide. did. After immersion, the release film was taken out from the decomposition solution, and the release film was washed with pure water to wash away the decomposition solution.

この時点で、剥離フィルムは、剥離層を有していた。しかしながら、剥離層の表面にマジックインクを塗布したところ、マジックインクははじかれず、はじき性が消失していることが確認された。   At this point, the release film had a release layer. However, when the magic ink was applied to the surface of the release layer, it was confirmed that the magic ink was not repelled and the repellency was lost.

その後、剥離フィルムを室温のメチルエチルケトン中に1分間浸漬した。その後、剥離フィルムをメチルエチルケトン中から取り出して室温で乾燥させた。   Thereafter, the release film was immersed in methyl ethyl ketone at room temperature for 1 minute. Thereafter, the release film was taken out of methyl ethyl ketone and dried at room temperature.

剥離フィルムから、剥離層が完全に除去されて、PETフィルムのみになっていることが確認された。このPETフィルムに、実施例1と同様にしてシリコーン樹脂溶液を塗布してシリコーン樹脂層(剥離層)を形成し、剥離フィルムを得た。   From the release film, it was confirmed that the release layer was completely removed and only the PET film was formed. A silicone resin solution was applied to this PET film in the same manner as in Example 1 to form a silicone resin layer (release layer), and a release film was obtained.

この剥離フィルムの剥離層上に、実施例1と同様にして誘電体スラリーを塗布して乾燥し、厚みが1μmの誘電体グリーンシートを形成した。当該誘電体グリーンシートには、ピンホールが発生しなかった。   On the release layer of this release film, a dielectric slurry was applied and dried in the same manner as in Example 1 to form a dielectric green sheet having a thickness of 1 μm. No pinhole was generated in the dielectric green sheet.

(比較例3)
実施例1と同様にして剥離層の表面上に誘電体の残渣が付着した剥離フィルムを得た。当該剥離フィルムを、室温のトルエン中に2分間浸漬した。その後、剥離フィルムをトルエン中から取り出して室温で乾燥した。
(Comparative Example 3)
In the same manner as in Example 1, a release film having a dielectric residue adhered on the surface of the release layer was obtained. The release film was immersed in toluene at room temperature for 2 minutes. Thereafter, the release film was taken out from toluene and dried at room temperature.

上述の処理を施しても、剥離フィルムから剥離層は除去できず、PETフィルムと剥離層とは密着していた。   Even when the above treatment was performed, the release layer could not be removed from the release film, and the PET film and the release layer were in close contact.

(比較例4)
実施例1と同様にして剥離層の表面上に誘電体の残渣が付着した剥離フィルムを得た。当該剥離フィルムを、純水200質量部に対して水酸化カリウム5質量部を混合して得られた分解液(60℃)中に、1分間浸漬した。浸漬後、剥離フィルムを分解液中から取り出して、純水で当該剥離フィルムを洗浄して分解液を洗い流した。
(Comparative Example 4)
In the same manner as in Example 1, a release film having a dielectric residue adhered on the surface of the release layer was obtained. The release film was immersed for 1 minute in a decomposition solution (60 ° C.) obtained by mixing 5 parts by mass of potassium hydroxide with 200 parts by mass of pure water. After immersion, the release film was taken out from the decomposition solution, and the release film was washed with pure water to wash away the decomposition solution.

この時点で、剥離フィルムは、剥離層を有していた。剥離層の表面にマジックインクを塗布したところ、マジックインクがはじかれたため、はじき性を有していることが確認された。   At this point, the release film had a release layer. When the magic ink was applied to the surface of the release layer, it was confirmed that the magic ink was repelled because it was repelled.

その後、剥離フィルムを室温のトルエン中に1分間浸漬し、剥離フィルムをトルエン中から取り出して室温で乾燥させた。   Thereafter, the release film was immersed in toluene at room temperature for 1 minute, and the release film was taken out from toluene and dried at room temperature.

上述の処理を施しても、剥離フィルムから剥離層は除去できず、PETフィルムと剥離層とは密着していた。   Even when the above treatment was performed, the release layer could not be removed from the release film, and the PET film and the release layer were in close contact.

本発明の洗浄方法に用いられる剥離フィルムの一例を模式的に示す側面図である。It is a side view which shows typically an example of the peeling film used for the washing | cleaning method of this invention. 本発明の剥離フィルムの洗浄方法に係る第1実施形態を示す工程図である。It is process drawing which shows 1st Embodiment which concerns on the cleaning method of the peeling film of this invention. 本発明の剥離フィルムの洗浄方法に係る第2実施形態を示す工程図である。It is process drawing which shows 2nd Embodiment which concerns on the cleaning method of the peeling film of this invention. 本発明の剥離フィルムの洗浄方法に係る第3実施形態を示す工程図である。It is process drawing which shows 3rd Embodiment which concerns on the cleaning method of the peeling film of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10…剥離フィルム、10a…表面、12…基材フィルム、14…剥離層、16…異物、20…洗浄槽、24…送風機、26…繊維、52…乾燥機。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Release film, 10a ... Surface, 12 ... Base film, 14 ... Release layer, 16 ... Foreign material, 20 ... Cleaning tank, 24 ... Blower, 26 ... Fiber, 52 ... Dryer.

Claims (9)

基材フィルムと、前記基材フィルム上に形成された剥離層と、を有する剥離フィルムの洗浄方法であって、
前記剥離層の表面に付着した異物を、有機溶剤を含む洗浄液で洗浄する洗浄工程と、
前記剥離層の表面に付着した前記洗浄液を除去する溶剤除去工程と、を有する剥離フィルムの洗浄方法。
A method for cleaning a release film comprising a base film, and a release layer formed on the base film,
A cleaning step of cleaning the foreign matter attached to the surface of the release layer with a cleaning liquid containing an organic solvent,
A solvent removal step of removing the cleaning liquid adhering to the surface of the release layer.
前記溶剤除去工程は、前記剥離層の前記表面に付着した前記洗浄液にガスを吹き付けることによって前記洗浄液を除去する請求項1記載の剥離フィルムの洗浄方法。   The said solvent removal process is a cleaning method of the peeling film of Claim 1 which removes the said washing | cleaning liquid by spraying gas on the said washing | cleaning liquid adhering to the said surface of the said peeling layer. 前記溶剤除去工程は、前記剥離層の前記表面に付着した前記洗浄液を繊維で吸収して除去する請求項1記載の剥離フィルムの洗浄方法。   The method for cleaning a release film according to claim 1, wherein the solvent removing step absorbs and removes the cleaning liquid adhering to the surface of the release layer with a fiber. 前記洗浄工程の前に、前記剥離層の前記表面と粘着ロールとを接触させて、前記表面に付着した前記異物の一部を除去する工程を有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の剥離フィルムの洗浄方法。   4. The method according to claim 1, further comprising a step of removing a part of the foreign matter attached to the surface by bringing the surface of the release layer into contact with an adhesive roll before the cleaning step. Method for cleaning the release film. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の洗浄方法で洗浄した前記剥離フィルムをリサイクルする剥離フィルムのリサイクル方法。   The recycling method of the peeling film which recycles the said peeling film wash | cleaned with the washing | cleaning method as described in any one of Claims 1-4. 基材フィルムと、前記基材フィルム上に形成された剥離層と、を有する剥離フィルムの洗浄方法であって、
前記剥離層に異物を有する前記剥離フィルムを、アルカリ性物質とアルコールとを含む溶液に接触させた後、有機溶剤と接触させて、前記剥離層を前記基材フィルムから除去する除去工程を有する剥離フィルムの洗浄方法。
A method for cleaning a release film comprising a base film, and a release layer formed on the base film,
The peeling film which has the removal process which makes the said peeling film which contacts the organic solvent after making the said peeling film which has a foreign material in the said peeling layer contact the solution containing an alkaline substance, and removing the said peeling layer from the said base film. Cleaning method.
前記除去工程の前に前記剥離層にコロナ処理を施す工程を有しており、前記除去工程で前記剥離フィルムを接触させる前記溶液が水を含有する請求項6記載の剥離フィルムの洗浄方法。   The cleaning method for a release film according to claim 6, further comprising a step of subjecting the release layer to corona treatment before the removal step, wherein the solution that contacts the release film in the removal step contains water. 請求項6又は7記載の洗浄方法によって、前記剥離層が除去された前記基材フィルムの一面上に剥離層を形成する剥離層形成工程を有する剥離フィルムのリサイクル方法。   The recycling method of a peeling film which has a peeling layer formation process which forms a peeling layer on one surface of the said base film from which the said peeling layer was removed by the washing | cleaning method of Claim 6 or 7. 一面上に剥離層が形成され、該剥離層の表面上に異物が付着している基材フィルムを、アルカリ性物質とアルコールとを含む溶液に接触させた後、有機溶剤と接触させて、前記異物及び前記剥離層を前記基材フィルムから除去する除去工程を有する基材フィルムのリサイクル方法。   A substrate film having a release layer formed on one surface and foreign matter adhering to the surface of the release layer is brought into contact with a solution containing an alkaline substance and alcohol, and then brought into contact with an organic solvent, whereby the foreign matter And the recycling method of the base film which has the removal process which removes the said peeling layer from the said base film.
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