KR20240018385A - Apparatus for removing attachment, method for removing attachment, method for recycling sheet member and method for manufacturing electronic component - Google Patents

Apparatus for removing attachment, method for removing attachment, method for recycling sheet member and method for manufacturing electronic component Download PDF

Info

Publication number
KR20240018385A
KR20240018385A KR1020230099407A KR20230099407A KR20240018385A KR 20240018385 A KR20240018385 A KR 20240018385A KR 1020230099407 A KR1020230099407 A KR 1020230099407A KR 20230099407 A KR20230099407 A KR 20230099407A KR 20240018385 A KR20240018385 A KR 20240018385A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sheet member
air
attachment
sheet
air nozzle
Prior art date
Application number
KR1020230099407A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
토시유키 호리타니
켄사쿠 카와모토
Original Assignee
가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 filed Critical 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Publication of KR20240018385A publication Critical patent/KR20240018385A/en

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B08B5/023Cleaning travelling work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B08B5/023Cleaning travelling work
    • B08B5/026Cleaning moving webs
    • B08B1/20
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/007Fume suction nozzles arranged on a closed or semi-closed surface, e.g. on a circular, ring-shaped or rectangular surface adjacent the area where fumes are produced
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/04Cleaning by suction, with or without auxiliary action
    • B08B5/043Cleaning travelling work
    • B08B5/046Cleaning moving webs
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B2205/00Details of machines or methods for cleaning by the use of gas or air flow

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Separation, Recovery Or Treatment Of Waste Materials Containing Plastics (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

안전하면서 용이하게 부착물을 제거 가능한 부착물 제거 장치를 제공한다. 본 발명의 부착물 제거 장치(1)는 장척상의 시트 부재(100)를 공급하는 공급 기구(120)와, 공급 기구(120)에 의해 공급된 시트 부재(100)를 권취하는 권취 기구(130)와, 공급 기구(120)에 의해 공급되어 권취 기구(130)에 의해 권취될 때까지 사이에 시트 부재(100)를 이면 측으로부터 가압하여 시트 부재(100)의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하는 가압 부재(140)와, 폴딩된 시트 부재(100)의 표면 측을 향해, 시트 부재(100)의 반송방향 하류 측으로부터, 시트 부재(100)의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에 에어를 분사하는 광역 에어 노즐(150)과, 시트 부재(100)의 폭방향의 한쪽과 다른 쪽 각각에 대하여 에어를 분사하는 부분 에어 노즐(160)과, 시트 부재(100)로부터 박리된 부착물을 집진하는 집진 기구(180)를 포함한다. Provided is an attachment removal device that can safely and easily remove attachments. The deposit removal device 1 of the present invention includes a supply mechanism 120 for supplying a long sheet member 100, a winding mechanism 130 for winding the sheet member 100 supplied by the supply mechanism 120, and , a pressing member that presses the sheet member 100 from the back side until it is supplied by the supply mechanism 120 and wound up by the winding mechanism 130, and folds the sheet member 100 so that the surface side becomes convex. (140) and toward the surface side of the folded sheet member 100, air is sprayed from the downstream side in the conveyance direction of the sheet member 100 to an area spanning from one side of the width direction of the sheet member 100 to the other side. A wide-area air nozzle 150, a partial air nozzle 160 that sprays air to one side and the other in the width direction of the sheet member 100, and a dust collection mechanism that collects deposits peeled off from the sheet member 100. Includes (180).

Description

부착물 제거 장치, 부착물 제거 방법, 시트 부재의 재활용 방법 및 전자부품의 제조 방법{APPARATUS FOR REMOVING ATTACHMENT, METHOD FOR REMOVING ATTACHMENT, METHOD FOR RECYCLING SHEET MEMBER AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC COMPONENT}Attachment removal device, attachment removal method, sheet member recycling method, and electronic component manufacturing method {APPARATUS FOR REMOVING ATTACHMENT, METHOD FOR REMOVING ATTACHMENT, METHOD FOR RECYCLING SHEET MEMBER AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC COMPONENT}

본 발명은 부착물 제거 장치, 부착물 제거 방법, 시트 부재의 재활용 방법 및 전자부품의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a deposit removal device, a deposit removal method, a recycling method of a sheet member, and a manufacturing method of electronic components.

전자부품으로서 예를 들면 적층 세라믹 콘덴서에서는 세라믹 그린시트가 복수개 적층된다. 여기서, 세라믹 그린시트는 핸들링성을 향상시키기 위해, 페트 필름과 같은 시트 부재로 배접하여 이용되고 있다. As an electronic component, for example, in a multilayer ceramic capacitor, a plurality of ceramic green sheets are stacked. Here, the ceramic green sheet is used by backing it with a sheet member such as a PET film to improve handling properties.

최근, 환경자원 대책으로서 자재의 재이용 등이 요구되고 있고, 이와 같은 시트 부재는 시트 부재 상의 부착물이 제거된 후 원료 수준까지 되돌려져, 펠릿화되어서 재이용된다. 종래, 이와 같은 시트 부재 상의 부착물을 제거하는 방법으로서, 시트 부재를 유기 용제로 세정하는 방법이 이용되고 있다(특허문헌 1 참조). Recently, there has been a demand for material reuse as an environmental resource measure, and such sheet members are returned to the raw material level after the adhesion on the sheet members is removed, pelletized, and reused. Conventionally, as a method of removing such deposits on a sheet member, a method of cleaning the sheet member with an organic solvent has been used (see Patent Document 1).

일본 공개특허공보 특개2009-291690호Japanese Patent Publication No. 2009-291690

그러나, 시트 부재를 유기 용제로 세정하는 경우, 세정에 사용한 유기 용제를 그대로 폐기하면 환경에 악영향을 줄 가능성이 있기 때문에, 유기 용제의 정화 작업이 필요하다. 그 때문에, 손이 많이 가고, 또한 정화를 위한 대량의 물 등이 필요하여, 환경 친화적이라고는 할 수 없다. However, when cleaning a sheet member with an organic solvent, the organic solvent used for cleaning may have a negative impact on the environment if discarded as is, so purification of the organic solvent is necessary. Therefore, it requires a lot of work and requires a large amount of water for purification, so it cannot be said to be environmentally friendly.

본 발명은 안전하면서 용이하게 부착물을 제거 가능한 부착물 제거 장치, 부착물 제거 방법을 제공함과 함께, 효율적인 시트 부재의 재활용 방법 및 전자부품의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. The purpose of the present invention is to provide a attachment removal device and method for removing attachments that can safely and easily remove attachments, as well as an efficient recycling method for sheet members and a method for manufacturing electronic components.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은 장척상(長尺狀)의 시트 부재를 공급하는 공급 기구와, 상기 공급 기구에 의해 공급된 상기 시트 부재를 권취(卷取)하는 권취 기구와, 상기 공급 기구에 의해 공급되어 상기 권취 기구에 의해 권취될 때까지 사이에, 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하는 가압 부재와, 폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터, 상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에 에어를 분사하는 광역 에어 노즐과, 상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여 에어를 분사하는 부분 에어 노즐과, 상기 시트 부재로부터 박리된 부착물을 집진하는 집진 기구를 포함하는 시트 부재로부터의 부착물 제거 장치를 제공한다. In order to solve the above problem, the present invention includes a supply mechanism for supplying a long sheet member, a winding mechanism for winding the sheet member supplied by the supply mechanism, and the supply mechanism. a pressing member that presses the sheet member from the back side and folds it so that the surface side of the sheet member becomes convex while being supplied by and wound up by the winding mechanism, and the surface side of the folded sheet member a wide-area air nozzle that sprays air from a downstream side of the conveyance direction of the sheet member to an area extending from one side of the width direction of the sheet member to the other side of the sheet member; A device for removing deposits from a sheet member is provided, including partial air nozzles that spray air to each of the sheets, and a dust collection mechanism that collects deposits peeled off from the sheet member.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은 표면에 부착물이 부착되어 있는 장척상의 시트 부재를 공급하고, 공급된 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압 부재에 의해 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하고, 폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터, 상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에, 광역 에어 노즐에 의해 에어를 분사함과 함께, 상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여, 부분 에어 노즐에 의해 에어를 분사함으로써 상기 시트 부재로부터 상기 부착물을 박리시키고, 상기 시트 부재로부터 박리한 상기 부착물을 집진하고, 상기 부착물이 박리된 상기 시트 부재를 권취하는 시트 부재로부터의 부착물 제거 방법을 제공한다. In addition, in order to solve the above problem, the present invention supplies a long sheet member with an attachment attached to the surface, and presses the supplied sheet member from the back side with a pressing member so that the surface side of the sheet member is convex. The folded sheet member is folded, and air is sprayed by a wide-area air nozzle toward the surface side of the folded sheet member, from the downstream side of the sheet member in the conveyance direction, to an area extending from one side of the width direction of the sheet member to the other side. In addition, the deposit is peeled off from the sheet member by blowing air from a partial air nozzle to each of the one side and the other side in the width direction of the sheet member, and the deposit peeled off from the sheet member is collected. and provides a method of removing attachments from a sheet member by winding up the sheet member from which the attachments have been peeled off.

또한, 본 발명은 표면에 부착물이 부착되어 있는 장척상의 시트 부재를 공급하고, 공급된 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압 부재에 의해 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하고, 폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터, 상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에, 광역 에어 노즐에 의해 에어를 분사함과 함께, 상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여, 부분 에어 노즐에 의해 에어를 분사함으로써 상기 시트 부재로부터 상기 부착물을 박리시키고, 상기 시트 부재로부터 박리한 상기 부착물을 집진하고, 상기 부착물이 박리된 상기 시트 부재를 권취하고, 상기 부착물이 제거된 상기 시트 부재를 분쇄하여 펠릿을 형성하는 시트 부재의 재활용 방법을 제공한다. In addition, the present invention supplies a long sheet member with an attachment attached to the surface, presses the supplied sheet member from the back side with a pressing member, folds the sheet member so that the front side of the sheet member becomes convex, and folds the sheet member. Air is sprayed by a wide-area air nozzle toward the surface side of the sheet member, from the downstream side in the conveyance direction of the sheet member, to an area spanning from one side of the width direction of the sheet member to the other, and For each of the one side and the other side in the width direction, air is blown by a partial air nozzle to peel off the deposit from the sheet member, collect the deposit peeled from the sheet member, and peel the deposit. It provides a method of recycling a sheet member, which includes winding the sheet member and pulverizing the sheet member from which the attachment has been removed to form pellets.

추가로, 본 발명은 표면에 부착물이 부착되어 있는 장척상의 시트 부재를 공급하고, 공급된 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압 부재에 의해 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하고, 폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터, 상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에, 광역 에어 노즐에 의해 에어를 분사함과 함께, 상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여, 부분 에어 노즐에 의해 에어를 분사함으로써 상기 시트 부재로부터 상기 부착물을 박리시키고, 상기 시트 부재로부터 박리한 상기 부착물을 집진하고, 상기 부착물이 박리된 상기 시트 부재를 권취하고, 상기 부착물이 제거된 상기 시트 부재를 분쇄하여 펠릿을 형성하고, 상기 펠릿을 이용하여 장척상의 시트 부재를 재생하고, 재생된 상기 시트 부재 상에 세라믹 그린시트를 형성하고, 상기 세라믹 그린시트를 이용하여 전자부품을 제조하는 전자부품의 제조 방법을 제공한다. Additionally, the present invention supplies a long sheet member with an attachment attached to the surface, folds the supplied sheet member by pressing it from the back side with a pressing member so that the front side of the sheet member becomes convex, and folds the sheet member. Air is sprayed by a wide-area air nozzle toward the surface side of the sheet member, from the downstream side in the conveyance direction of the sheet member, to an area spanning from one side of the width direction of the sheet member to the other side, To each of the one side and the other side in the width direction of the member, air is blown by a partial air nozzle to peel off the deposit from the sheet member, collect the deposit peeled off from the sheet member, and remove the deposit. The peeled sheet member is wound, the sheet member from which the attachment has been removed is pulverized to form a pellet, the pellet is used to regenerate a long sheet member, and a ceramic green sheet is formed on the regenerated sheet member. and provides a method of manufacturing electronic components using the ceramic green sheet.

본 발명에 따르면, 안전하면서 용이하게 부착물을 제거 가능한 부착물 제거 장치, 부착물 제거 방법을 제공함과 함께, 효율적인 시트 부재의 재활용 방법 및 전자부품의 제조 방법을 제공할 수 있다. According to the present invention, it is possible to provide a attachment removal device and a attachment removal method that can safely and easily remove attachments, as well as an efficient recycling method of sheet members and a manufacturing method of electronic components.

도 1은 제1 실시형태의 부착물 제거 장치(1)를 나타내는 도면이다.
도 2는 부착물 제거 장치(1)에 의해 부착물(101)이 제거되는 시트 부재(100)를 나타내는 도면이다.
도 3은 시트 부재(100)를 이용하여 제작된 적층 세라믹 콘덴서(300)를 나타내는 도면이다.
도 4는 시트 박리 장치(200)의 일례의 개략도이다.
도 5는 박리 롤(202)이 박리 영역(A2)으로부터 퇴피한 상태를 나타낸 시트 박리 장치(200)의 일부를 나타내는 도면이다.
도 6은 마더 블록 적층체(210)를 나타내는 도면이다.
도 7은 제1 실시형태의 부착물 제거 장치(1)의 부착물 제거부(110)를 설명하는 도면이다.
도 8은 제1 실시형태의 부착물 제거 장치(1)에서의, 광역 에어 노즐(150)과 부분 에어 노즐(160)의 위치를 설명하는 도면이다.
도 9는 제2 실시형태의 부착물 제거 장치(2)를 나타내는 도면이다.
도 10은 제2 실시형태의 가압날 부재(20) 선단의 칼날 끝(刃先, cutting edge)(21)의 사시도이다.
도 11은 제2 실시형태의 가압날 부재(20)의 시트 부재(100)에 대한 위치를 설명하는 도면이다.
도 12는 시트 부재(100) 상의 전체 면에 부착물(101)이 부착된 상태에서 제2 실시형태의 가압날 부재(20)가 부착물(101)을 박리하는 상태를 설명하는 도면이다.
Fig. 1 is a diagram showing a deposit removal device 1 according to the first embodiment.
FIG. 2 is a diagram showing the sheet member 100 from which the attachment 101 is removed by the attachment removal device 1.
FIG. 3 is a diagram showing a multilayer ceramic condenser 300 manufactured using the sheet member 100.
Figure 4 is a schematic diagram of an example of a sheet peeling device 200.
FIG. 5 is a diagram showing a part of the sheet peeling device 200 in which the peeling roll 202 is retracted from the peeling area A2.
FIG. 6 is a diagram showing the mother block stack 210.
FIG. 7 is a diagram illustrating the deposit removal unit 110 of the deposit removal device 1 of the first embodiment.
FIG. 8 is a diagram explaining the positions of the wide-area air nozzle 150 and the partial air nozzle 160 in the deposit removal device 1 of the first embodiment.
Fig. 9 is a diagram showing the deposit removal device 2 of the second embodiment.
Fig. 10 is a perspective view of the cutting edge 21 at the tip of the pressing blade member 20 in the second embodiment.
FIG. 11 is a diagram illustrating the position of the pressing blade member 20 with respect to the sheet member 100 of the second embodiment.
FIG. 12 is a diagram illustrating a state in which the pressure blade member 20 of the second embodiment peels off the attachment 101 while the attachment 101 is attached to the entire surface of the sheet member 100.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 부착물 제거 장치(1) 및 부착물 제거 방법에 대해 설명한다. 도 1은 부착물 제거 장치(1)를 나타내는 도면이며, 도 2는 실시형태의 부착물 제거 장치(1)에 의해 부착물(101)이 제거되는 시트 부재(100)를 나타내는 도면이다. Hereinafter, the deposit removal device 1 and the deposit removal method according to an embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a diagram showing the deposit removal device 1, and FIG. 2 is a diagram showing the sheet member 100 from which the deposit 101 is removed by the deposit removal device 1 of the embodiment.

(시트 부재(100)) (Sheet member (100))

시트 부재(100)는 장척상이고, 예를 들면, PET(폴리에틸렌테레프탈레이트) 등의 수지제이며, 표면에 형성된 박리층(도시하지 않음) 상에 부착물(101)이 부착되어 있다. 시트 부재(100)의 폭은 예를 들면 180㎜ 이상 330㎜ 이하이며, 시트 부재(100)의 두께는 예를 들면 0.5㎛ 이상 20㎛ 이하이다. The sheet member 100 is elongated and is made of a resin such as PET (polyethylene terephthalate), and an attachment 101 is attached to a peeling layer (not shown) formed on the surface. The width of the sheet member 100 is, for example, 180 mm or more and 330 mm or less, and the thickness of the sheet member 100 is, for example, 0.5 μm or more and 20 μm or less.

(부착물(101)) (Attachment (101))

부착물(101)은 예를 들면 세라믹 그린시트의 잔여물이며, 사다리 형상으로 부착되어 있다. 즉, 부착물(101)은 장척상의 시트 부재(100)의 폭방향(W)의 양측에, 서로의 사이에 일정한 폭방향 거리를 유지하면서, 길이방향(L)으로 연장되는 2개의 길이방향 부착물(101a)과, 2개의 길이방향 부착물(101a)의 사이를, 길이방향(L)에서 일정한 간격으로 폭방향(W)으로 연장되는 복수개의 폭방향 부착물(101b)을 가진다. The attachment 101 is, for example, the remains of a ceramic green sheet, and is attached in a ladder shape. That is, the attachment 101 consists of two longitudinal attachments ( 101a) and a plurality of width direction attachments 101b extending between the two longitudinal attachments 101a in the width direction (W) at regular intervals in the longitudinal direction (L).

이와 같이, 시트 부재(100)에 대하여 부착물(101)이 사다리 형상으로 부착되어 있는 이유에 대해 설명한다. 시트 부재(100)는 적층 세라믹 콘덴서(300) 등의 적층형 전자부품을 제조하는 중간 공정에서 이용되는 것이다. 도 3은 시트 부재(100)를 이용하여 제작된 적층 세라믹 콘덴서(300)를 나타내는 도면이다. 적층 세라믹 콘덴서(300)는 이하와 같이 제조된다. In this way, the reason why the attachment 101 is attached to the sheet member 100 in a ladder shape will be explained. The sheet member 100 is used in an intermediate process for manufacturing multilayer electronic components such as the multilayer ceramic condenser 300. FIG. 3 is a diagram showing a multilayer ceramic condenser 300 manufactured using the sheet member 100. The multilayer ceramic condenser 300 is manufactured as follows.

(a)우선, 장척상의 예를 들면 PET제 시트 부재(100)의 표면에 박리층(도시하지 않음)이 마련되고, 이 박리층이 마련된 시트 부재(100)의 표면에 유전체 세라믹 분말, 바인더 및 용제 등을 포함하는 세라믹 그린시트가 되는 슬러리가 시트 형상으로 도포된다. (a) First, a peeling layer (not shown) is provided on the surface of a long, for example, PET sheet member 100, and dielectric ceramic powder, a binder, and A slurry that becomes a ceramic green sheet containing a solvent, etc. is applied in a sheet shape.

(b)이어서, 시트 부재(100)에 시트 형상으로 도포된 세라믹 그린시트의 표면에 전극 패턴이 인쇄된다. (b) Next, an electrode pattern is printed on the surface of the ceramic green sheet applied in a sheet shape to the sheet member 100.

(c)그리고 전극 패턴이 인쇄된 세라믹 그린시트가 직사각형으로 절단되고, 시트 박리 장치(200)를 이용하여 시트 부재(100)로부터 박리된다. (c) Then, the ceramic green sheet on which the electrode pattern is printed is cut into a rectangle and peeled from the sheet member 100 using the sheet peeling device 200.

도 4는 시트 박리 장치(200)의 일례의 개략도이다. 시트 박리 장치(200)는 반송 롤(201)과 박리 롤(202)과 커팅 날(203)과 절단 스테이지(204)와 박리 헤드(205)와 적층 스테이지(206)를 포함한다. 커팅 날(203) 및 절단 스테이지(204)는 반송 롤(201)과 박리 롤(202) 사이를 반송하는 시트 부재(100)가 통과하는 절단 영역(A1)에 배치되고, 박리 헤드(205) 및 적층 스테이지(206)는 절단 영역(A1)보다도 반송방향(H) 하류의 박리 영역(A2)에 배치되어 있다. Figure 4 is a schematic diagram of an example of a sheet peeling device 200. The sheet peeling device 200 includes a conveyance roll 201, a peeling roll 202, a cutting blade 203, a cutting stage 204, a peeling head 205, and a lamination stage 206. The cutting blade 203 and the cutting stage 204 are disposed in the cutting area A1 through which the sheet member 100 conveyed between the conveying roll 201 and the peeling roll 202 passes, and the peeling head 205 and The lamination stage 206 is arranged in the peeling area A2 downstream in the conveyance direction H from the cutting area A1.

전극 패턴이 인쇄된 세라믹 그린시트를 표면에 유지하는 시트 부재(100)는 반송 롤(201)에 의해 절단 영역(A1)의 절단 스테이지(204) 상에 반송된다. 따라서, 커팅 날(203)이 하강하고, 시트 부재(100) 상의 전극 패턴이 인쇄된 세라믹 그린시트가 직사각형으로 절단된다. 한편, 세라믹 그린시트만을 시트 부재(100)로부터 잘라내는 것은 어렵기 때문에, 시트 부재(100)의 일부를 세라믹 그린시트째로 커팅 날(203)로 커팅해도 된다. The sheet member 100 holding the ceramic green sheet on which the electrode pattern is printed on the surface is conveyed by the conveyance roll 201 on the cutting stage 204 in the cutting area A1. Accordingly, the cutting blade 203 descends, and the ceramic green sheet on which the electrode pattern on the sheet member 100 is printed is cut into a rectangular shape. On the other hand, since it is difficult to cut only the ceramic green sheet from the sheet member 100, a part of the sheet member 100 may be cut with the cutting blade 203 using the ceramic green sheet as a whole.

이어서, 시트 부재(100)는 절단 영역(A1)으로부터 박리 영역(A2)으로 반송된다. 박리 영역(A2)에서 박리 헤드(205)가 하강하고, 직사각형으로 절단된, 전극 패턴이 인쇄된 세라믹 그린시트(101c)가 박리 헤드(205)에서 흡인된다. 직사각형으로 절단된 세라믹 그린시트(101c)가 흡인되어서 시트 부재(100)로부터 박리되면, 시트 부재(100) 상에는 도 2에서 나타낸 바와 같은 사다리 형상의 세라믹 그린시트의 잔여물이 부착물(101)로서 남는다. 이것이 시트 부재(100)에 대하여 사다리 형상으로 부착물(101)이 부착되어 있는 이유이다. Next, the sheet member 100 is conveyed from the cutting area A1 to the peeling area A2. The peeling head 205 descends in the peeling area A2, and the ceramic green sheet 101c, cut into a rectangle and printed with an electrode pattern, is sucked from the peeling head 205. When the ceramic green sheet 101c cut into a rectangular shape is sucked and peeled off from the sheet member 100, the residue of the ladder-shaped ceramic green sheet as shown in FIG. 2 remains as an attachment 101 on the sheet member 100. . This is the reason why the attachment 101 is attached to the sheet member 100 in a ladder shape.

(d)직사각형으로 절단된 세라믹 그린시트(101c)가 박리 헤드(205)에서 흡인되면, 박리 롤(202)이 박리 영역(A2)으로부터 퇴피한다. 도 5는 박리 롤(202)이 박리 영역(A2)으로부터 퇴피한 상태를 나타낸 시트 박리 장치(200)의 일부를 나타내는 도면이다. (d) When the ceramic green sheet 101c cut into a rectangular shape is sucked by the peeling head 205, the peeling roll 202 retreats from the peeling area A2. FIG. 5 is a diagram showing a part of the sheet peeling device 200 in which the peeling roll 202 is retracted from the peeling area A2.

직사각형으로 절단된 세라믹 그린시트(101c)는 적층 스테이지(206) 상에 적층된다. 도 6은 직사각형으로 절단된 세라믹 그린시트(101c)가 반복 적층됨으로써 형성된 마더 블록 적층체(210)를 나타내는 도면이다. 소정 매수의 세라믹 그린시트(101c)가 적층되어 형성된 마더 블록 적층체(210)는 소정의 크기로 절단되어, 복수개의 적층체 칩(220)이 얻어진다. 그 후, 적층체 칩(220)의 외표면에 외부전극(310)이 형성되고, 도 3에 나타내는 바와 같은 적층 세라믹 콘덴서(300)가 제조된다. 한편, 전극 패턴이 인쇄되어 있지 않은 세라믹 그린시트로 적층체(210)를 끼우도록 적층해도 된다. Ceramic green sheets 101c cut into rectangles are stacked on the stacking stage 206. FIG. 6 is a diagram showing a mother block laminate 210 formed by repeatedly stacking ceramic green sheets 101c cut into rectangular shapes. The mother block laminate 210 formed by stacking a predetermined number of ceramic green sheets 101c is cut to a predetermined size to obtain a plurality of laminate chips 220. Afterwards, the external electrode 310 is formed on the outer surface of the multilayer chip 220, and the multilayer ceramic capacitor 300 as shown in FIG. 3 is manufactured. Meanwhile, the laminate 210 may be laminated with ceramic green sheets on which no electrode pattern is printed.

한편, 세라믹 그린시트가 사다리 형상으로 부착물(101)로서 남은 시트 부재(100)는 부착물(101)이 제거된 후 분쇄되어 시트 부재(100)의 원료가 되는 PET의 펠릿이 형성된다. 펠릿은 시트 부재(100)로서 재생되고, 상술한 (a) 이후의 공정이 반복된다. Meanwhile, the sheet member 100 in which the ceramic green sheet remains as an attachment 101 in a ladder shape is pulverized after the attachment 101 is removed to form PET pellets that serve as the raw material for the sheet member 100. The pellets are recycled as sheet member 100, and the process from (a) described above is repeated.

(부착물 제거 장치(1)) (Attachment removal device (1))

다음으로, 시트 부재(100)로부터 부착물(101)을 제거하는 실시형태에 따른 부착물 제거 장치(1) 및 부착물 제거 방법에 대해 설명한다. 도 1로 되돌아가, 부착물 제거 장치(1)는 부착물 제거부(110)와 집진 기구(180)를 포함한다. Next, the attachment removal device 1 and the attachment removal method according to the embodiment for removing the attachment 101 from the sheet member 100 will be described. Returning to Figure 1, the deposit removal device 1 includes a deposit removal unit 110 and a dust collection mechanism 180.

(부착물 제거부(110)) (Attachment removal unit 110)

도 7은 부착물 제거부(110)를 설명하는 도면이다. 부착물 제거부(110)는 시트 부재(100)를 공급하는 공급 기구(120)와, 공급 기구(120)에 의해 공급된 시트 부재(100)를 권취하는 권취 기구(130)와, 공급 기구(120)에 의해 공급되어 권취 기구(130)에 의해 권취될 때까지 사이에 시트 부재(100)를 이면 측으로부터 가압하여, 시트 부재(100)의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하는 가압 부재(140)와, 가압 부재(140)가 배치되어 있는 위치보다도, 시트 부재(100)의 반송방향(H) 하류 측에서 시트 부재(100)의 표면 측을 향해, 시트 부재(100)의 폭방향(W)에 걸쳐 에어를 분사하는 광역 에어 노즐(150)과, 시트 부재(100)의 폭방향(W)의 양측 각각에 대하여 에어를 분사하는 부분 에어 노즐(160)을 포함한다. Figure 7 is a diagram explaining the attachment removal unit 110. The attachment removal unit 110 includes a supply mechanism 120 for supplying the sheet member 100, a winding mechanism 130 for winding the sheet member 100 supplied by the supply mechanism 120, and a supply mechanism 120. ) and a pressing member 140 that presses the sheet member 100 from the back side until it is wound by the winding mechanism 130 and folds the sheet member 100 so that the surface side becomes convex; , from the downstream side of the conveyance direction (H) of the sheet member 100 toward the surface side of the sheet member 100 and in the width direction (W) of the sheet member 100 rather than the position where the pressing member 140 is disposed. It includes a wide-area air nozzle 150 that sprays air across the sheet member 100, and a partial air nozzle 160 that sprays air on both sides of the sheet member 100 in the width direction (W).

부착물 제거부(110)는 추가로 가압 부재(140)보다도 시트 부재(100)의 반송방향(H) 상류 측에서 시트 부재(100)의 이면 측에 에어를 분사하는 이면 측 에어 노즐(170)을 포함한다. The attachment removal unit 110 additionally includes a back side air nozzle 170 that sprays air onto the back side of the sheet member 100 from the upstream side of the conveyance direction (H) of the sheet member 100 rather than the pressing member 140. Includes.

또한, 부착물 제거부(110)는 가압 부재(140)보다도 반송방향(H) 하류 측에 이오나이저(191) 및 제거 센서(192)를 포함한다. 이오나이저(191)는 이면 측 에어 노즐(170), 가압 부재(140), 광역 에어 노즐(150) 및 부분 에어 노즐(160)에 의해 제거된 부착물(101)이 에어에 의해 날려 올라가서 시트 부재(100)에 재부착되는 것을 방지한다. 제거 센서(192)는 예를 들면 투과형 레이저 센서나 파이버 센서 등이며, 제거된 부착물(101)의 제거율을 측정한다. Additionally, the deposit removal unit 110 includes an ionizer 191 and a removal sensor 192 on the downstream side of the pressing member 140 in the conveyance direction (H). The ionizer 191 causes the attachment 101 removed by the back side air nozzle 170, the pressing member 140, the wide-area air nozzle 150, and the partial air nozzle 160 to be blown up by air and to the sheet member ( 100) to prevent reattachment. The removal sensor 192 is, for example, a transmissive laser sensor or a fiber sensor, and measures the removal rate of the removed deposit 101.

(공급 기구(120)) (Supply mechanism 120)

공급 기구(120)는 공급 롤(121)을 포함하고, 공급 롤(121)의 중심축에는 시트 부재(100)에 장력을 부여하기 위한 브레이크(123)가 장착되어 있다. 공급 롤(121)에는 상술한 부착물(101)이 사다리 형상으로 부착되어 있는 장척상의 시트 부재(100)가 감겨 있다. 시트 부재(100)는 이에 한정되지 않지만 실시형태에서 부착물(101)이 부착되어 있는 표면이 내경 측을 향하게 하여 공급 롤(121)에 감기고, 이 표면이 아래를 향하도록 공급된다. The supply mechanism 120 includes a supply roll 121, and a brake 123 for applying tension to the sheet member 100 is mounted on the central axis of the supply roll 121. A long sheet member 100 to which the above-described attachment 101 is attached in a ladder shape is wound around the supply roll 121. Although the sheet member 100 is not limited to this, in the embodiment, the surface to which the attachment 101 is attached is wound around the supply roll 121 with the inner diameter side facing, and is supplied with this surface facing downward.

(권취 기구(130)) (Winding mechanism 130)

권취 기구(130)는 권취 롤(131)을 포함하고, 권취 롤(131)의 중심축은 도시하지 않은 권취 모터에 연결되어 있다. 권취 모터가 회전하여 권취 롤(131)이 회전하고, 시트 부재(100)가 브레이크(123)에 저항하여 권취됨으로써, 시트 부재(100)는 일정한 장력이면서 일정한 반송 속도로 반송된다. 실시형태에서 시트 부재(100)의 반송 속도는 100m/min 이상 250m/min 이하이다. The winding mechanism 130 includes a winding roll 131, and the central axis of the winding roll 131 is connected to a winding motor (not shown). The take-up motor rotates to rotate the take-up roll 131 and the sheet member 100 is taken up against the brake 123, so that the sheet member 100 is conveyed at a constant conveyance speed while maintaining constant tension. In the embodiment, the conveyance speed of the sheet member 100 is 100 m/min or more and 250 m/min or less.

한편, 부착물 제거부(110)는 추가로 2개의 보조 롤(122)과 보조 롤(132)을 포함한다. 공급 롤(121)로부터 공급된 시트 부재(100)는 부착물(101)이 부착된 표면이 아래를 향하게 하여, 보조 롤(122)과 보조 롤(132)에 의해 가이드되어 반송되고, 권취 기구(130)의 권취 롤(131)에 권취된다. Meanwhile, the attachment removal unit 110 additionally includes two auxiliary rolls 122 and 132. The sheet member 100 supplied from the supply roll 121 is guided and conveyed by the auxiliary roll 122 and the auxiliary roll 132 with the surface to which the attachment 101 is attached facing downward, and is conveyed by the winding mechanism 130 ) is wound on the winding roll 131.

(가압 부재(140)) (Pressure member 140)

가압 부재(140)는 실시형태에서는 선단이 뾰족한 가압 블레이드이다. 가압 부재(140)는 보조 롤(122)과 보조 롤(132) 사이에 배치되고, 시트 부재(100)의 이면 측으로부터 시트 부재(100)에 프레싱된다. 실시형태에서 시트 부재(100)의 표면은 아래를 향하므로, 가압 부재(140)는 시트 부재(100)를 위에서 아래로 가압한다. In the embodiment, the pressing member 140 is a pressing blade with a sharp tip. The pressing member 140 is disposed between the auxiliary roll 122 and the auxiliary roll 132 and is pressed against the sheet member 100 from the back side of the sheet member 100. In the embodiment, the surface of the sheet member 100 faces downward, so the pressing member 140 presses the sheet member 100 from top to bottom.

가압 부재(140)가 시트 부재(100)에 이면 측으로부터 프레싱되면, 시트 부재(100)는 유연성이 있으므로 가압 부재(140)의 선단 형상에 추종하여 폴딩된다. 한편, 시트 부재(100)에 부착되어 있는 부착물(101)은 실시형태에서는 세라믹 그린시트이며, 가압 부재(140)의 선단 형상과 동일하게 폴딩되기는 어렵다. 그리고 시트 부재(100)의 표면에는 이형제가 도포되어 있으므로, 부착물(101)과 시트 부재(100) 사이에 극간이 생기고, 부착물(101)이 시트 부재(100)로부터 박리되어 하방으로 낙하한다. 이렇게 하여 시트 부재(100)로부터 부착물(101)이 분리된다. When the pressing member 140 is pressed against the sheet member 100 from the back side, the sheet member 100 is flexible and thus folds to follow the shape of the tip of the pressing member 140. On the other hand, the attachment 101 attached to the sheet member 100 is a ceramic green sheet in the embodiment, and it is difficult to fold it to the same shape as the tip of the pressing member 140. Since a release agent is applied to the surface of the sheet member 100, a gap is created between the attachment 101 and the sheet member 100, and the attachment 101 is peeled off from the sheet member 100 and falls downward. In this way, the attachment 101 is separated from the sheet member 100.

가압 부재(140)의 선단 반경(R)은 1㎜보다 크면 부착물(101)과 시트 부재(100)의 폴딩 정도에 차가 생기기 어려워져, 시트 부재(100)로부터 부착물(101)을 박리하는 것이 어려워진다. 또한, 0.1㎜보다 작으면 시트 부재(100)가 커팅 날(203)에 의해 생긴 칼집으로부터 파단되는 등 손상될 가능성이 있다. 따라서, 가압 부재(140)의 선단 반경(R)은 1㎜ 이하이며, 0.1㎜ 이상 0.5㎜ 이하가 바람직하다. If the tip radius (R) of the pressing member 140 is greater than 1 mm, it becomes difficult to create a difference in the degree of folding of the attachment 101 and the sheet member 100, making it difficult to peel the attachment 101 from the sheet member 100. Lose. Additionally, if it is smaller than 0.1 mm, there is a possibility that the sheet member 100 may be damaged, such as being broken from the sheath created by the cutting blade 203. Therefore, the tip radius (R) of the pressing member 140 is 1 mm or less, and is preferably 0.1 mm or more and 0.5 mm or less.

가압 부재(140)에 의해 표면 측이 볼록해지도록 가압된 시트 부재(100)는 폴딩 각도(θ1)로 폴딩된다. 폴딩 각도(θ1)는 90°보다 크면 부착물(101)과 시트 부재(100)의 폴딩 정도에 차가 생기기 어려워져, 시트 부재(100)로부터 부착물(101)을 박리하는 것이 어려워진다. 따라서, 폴딩 각도(θ1)는 90° 이하이며, 30° 이상 70° 이하가 바람직하고, 30° 이상 60° 이하가 더 바람직하다. The sheet member 100 pressed by the pressing member 140 so that the surface side becomes convex is folded at the folding angle θ1. If the folding angle θ1 is greater than 90°, it becomes difficult for there to be a difference in the degree of folding of the attachment 101 and the sheet member 100, making it difficult to peel the attachment 101 from the sheet member 100. Therefore, the folding angle θ1 is 90° or less, preferably 30° or more and 70° or less, and more preferably 30° or more and 60° or less.

(광역 에어 노즐(150)) (Wide area air nozzle (150))

상술한 바와 같이 부착물(101)은 사다리 형상으로 형성되어 있다. 부착물(101) 중 폭방향 부착물(101b)은 길이방향(L)의 길이가 짧으므로, 가압 부재(140)로 가압되었을 때에도 균열이 생기기 어려워, 박리의 계기가 형성되기 어렵다. 따라서, 실시형태의 부착물 제거 장치(1)는 폭방향 부착물(101b)을 박리하기 쉽게 하기 위해 광역 에어 노즐(150)을 포함한다. As described above, the attachment 101 is formed in a ladder shape. Among the attachments 101, the width direction attachment 101b has a short length in the longitudinal direction L, and therefore cracks are unlikely to occur even when pressed by the pressing member 140, making it difficult to form a trigger for peeling. Accordingly, the deposit removal device 1 of the embodiment includes a wide-area air nozzle 150 to facilitate peeling off the width direction deposit 101b.

도 8은 광역 에어 노즐(150)과 부분 에어 노즐(160)의 위치를 설명하는 도면이며, 도 7에 나타낸 부착물 제거 장치(1)를 아래에서 위를 향해 본 도면이다. 광역 에어 노즐(150)은 시트 부재(100)의 폭방향(W)에 걸쳐 일정한 간격으로 배치된 복수개의 분출구(151)를 가진다. FIG. 8 is a view explaining the positions of the wide-area air nozzle 150 and the partial air nozzle 160, and is a view of the deposit removal device 1 shown in FIG. 7 viewed from bottom to top. The wide-area air nozzle 150 has a plurality of jet nozzles 151 arranged at regular intervals along the width direction (W) of the sheet member 100.

광역 에어 노즐(150)은 가압 부재(140)가 배치되어 있는 위치보다도 시트 부재(100)의 반송방향(H) 하류 측에 배치되어 있다. 광역 에어 노즐(150)의 분출구(151)는 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이 가압 부재(140)로부터 반송방향(H)에서 거리(L1)만큼 떨어진 위치이며, 도 7에 나타내는 바와 같이 시트 부재(100)로부터 거리(T1)만큼 떨어진 위치에 배치되어 있다. L1은 5㎜ 이상 30㎜ 이하, T1은 3㎜ 이상 20㎜ 이하가 바람직하다. The wide-area air nozzle 150 is disposed on the downstream side of the sheet member 100 in the conveyance direction H rather than the position where the pressing member 140 is disposed. As shown in FIGS. 7 and 8, the jet port 151 of the wide-area air nozzle 150 is located at a distance L1 from the pressing member 140 in the conveyance direction H, and as shown in FIG. 7, the seat member It is placed at a distance T1 from (100). L1 is preferably 5 mm or more and 30 mm or less, and T1 is preferably 3 mm or more and 20 mm or less.

에어는 광역 에어 노즐(150)의 분출구(151)로부터 시트 부재(100)의 가압 부재(140)에 의해 폴딩되어 있는 위치를 향해 분사된다. 광역 에어 노즐(150)로부터 분사되는 에어의 유량은 200L/min 이상 400L/min 이하가 바람직하다. Air is sprayed from the outlet 151 of the wide-area air nozzle 150 toward the position where the sheet member 100 is folded by the pressing member 140. The flow rate of air sprayed from the wide-area air nozzle 150 is preferably 200 L/min or more and 400 L/min or less.

광역 에어 노즐(150)은 폭방향(W)의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸쳐, 적어도 사다리 형상의 부착물(101)이 부착되어 있는 영역 전역에 걸쳐 에어를 분사한다. 광역 에어 노즐(150)은 사다리 형상의 부착물(101)이 부착되어 있는 영역보다도 폭방향(W)에서 넓은 영역으로 에어를 분사하는 것이 바람직하다. The wide-area air nozzle 150 sprays air from one side of the width direction W to the other, at least over the entire area where the ladder-shaped attachment 101 is attached. It is preferable that the wide-area air nozzle 150 sprays air to a wider area in the width direction (W) than the area where the ladder-shaped attachment 101 is attached.

(부분 에어 노즐(160)) (Partial air nozzle (160))

이와 같이, 부착물(101)은 가압 부재(140), 및 광역 에어 노즐(150)에 의해 제거되지만, 사다리 형상으로 부착되어 있는 것 중 길이방향(L)으로 연장되는 2개의 길이방향 부착물(101a)에 대해서는 양이 많으므로, 추가로 남는 경우가 있다. In this way, the attachment 101 is removed by the pressing member 140 and the wide-area air nozzle 150, but two longitudinal attachments 101a extending in the longitudinal direction (L) among those attached in a ladder shape Since there is a large amount, additional items may remain.

따라서, 실시형태의 부착물 제거 장치(1)는 추가로 부분 에어 노즐(160)을 포함한다. 부분 에어 노즐(160)은 시트 부재(100)의 폭방향(W)의 한쪽을 향해 에어를 분사하는 부분 에어 노즐(160a)과, 시트 부재(100)의 폭방향(W)의 다른 쪽을 향해 에어를 분사하는 부분 에어 노즐(160b) 2개가 마련되고, 각각 분출구(161)를 가진다. 2개의 분출구(161) 사이의 폭은 60㎜ 이상 150㎜ 이하가 바람직하다. 부분 에어 노즐(160a)과 부분 에어 노즐(160b)은 각각 시트 부재(100)의 15% 이상 25% 이하의 길이의 영역에 대하여 에어를 분사한다. Accordingly, the deposit removal device 1 of the embodiment additionally includes a partial air nozzle 160 . The partial air nozzle 160 is a partial air nozzle 160a that sprays air toward one side of the width direction W of the sheet member 100, and a partial air nozzle 160a that sprays air toward the other side of the width direction W of the sheet member 100. Two partial air nozzles (160b) for spraying air are provided, and each has an outlet (161). The width between the two jets 161 is preferably 60 mm or more and 150 mm or less. The partial air nozzle 160a and partial air nozzle 160b spray air to an area of 15% or more and 25% or less of the length of the sheet member 100, respectively.

부분 에어 노즐(160)은 광역 에어 노즐(150)과 마찬가지로, 가압 부재(140)가 배치되어 있는 위치보다도 시트 부재(100)의 반송방향(H) 하류 측에 배치되어 있다. 부분 에어 노즐(160)의 분출구(151)도 가압 부재(140)에 대하여 반송방향(H)에서 거리(L1)만큼, 시트 부재(100)에 대하여 거리(T1)만큼 떨어진 위치에 배치되어 있다. L1은 5㎜ 이상 30㎜ 이하, T1은 3㎜ 이상 20㎜ 이하가 바람직하다. 또한, 부분 에어 노즐(160)의 분출구(161)로부터 에어는 시트 부재(100)의 가압 부재(140)에 의해 폴딩되어 있는 위치를 향해 분사된다. 부분 에어 노즐(160)로부터 분사되는 에어의 유량은 광역 에어 노즐(150)과 마찬가지로 200L/min 이상 400L/min 이하가 바람직하다. Like the wide-area air nozzle 150, the partial air nozzle 160 is disposed downstream in the conveyance direction H of the sheet member 100 from the position where the pressing member 140 is disposed. The jet port 151 of the partial air nozzle 160 is also arranged at a position apart from the pressing member 140 by a distance L1 in the conveyance direction H and at a position away from the sheet member 100 by a distance T1. L1 is preferably 5 mm or more and 30 mm or less, and T1 is preferably 3 mm or more and 20 mm or less. Additionally, air is sprayed from the blowout port 161 of the partial air nozzle 160 toward the position where the sheet member 100 is folded by the pressing member 140. The flow rate of air sprayed from the partial air nozzle 160 is preferably 200 L/min or more and 400 L/min or less, similar to the wide area air nozzle 150.

(이면 측 에어 노즐(170)) (Back side air nozzle (170))

또한, 공급 롤(121) 상에서의 시트 부재(100)의 시밍(seaming)에 의해, 박리제가 도포되어 있지 않은 시트 부재(100) 이면에 부착물(101)이 바인더를 포함하기 때문에 전사(轉寫)되는 경우가 있다. 특히, 종이관에 가까운 감김 시작 부분의 30㎜ 정도에서 전사의 발생이 현저해진다. 부착물(101)이 전사된 채로 시트 부재(100)가 반송되면, 전사된 부착물(101)이 가압 부재(140) 부분에서 긁혀 나와 퇴적하여, 가압 부재(140)에 의한 가압에 지장을 초래하는 경우가 있다. In addition, by seaming of the sheet member 100 on the supply roll 121, the attachment 101, including the binder, is transferred to the back side of the sheet member 100 to which the release agent is not applied. There are cases where it happens. In particular, the occurrence of transfer becomes noticeable at about 30 mm from the beginning of the winding close to the paper tube. If the sheet member 100 is conveyed with the attachment 101 transferred, the transferred attachment 101 is scraped off and deposited on the pressing member 140, thereby interfering with the pressing by the pressing member 140. There is.

따라서, 실시형태의 부착물 제거 장치(1)는 시트 부재(100)의 이면 측에 에어를 분사하여 전사한 부착물(101)을 날려버리는 이면 측 에어 노즐(170)을 추가로 포함한다. 이면 측 에어 노즐(170)은 나선 형상으로 에어를 분출하는 예를 들면 파타건이 바람직하다. Accordingly, the deposit removal device 1 of the embodiment further includes a back side air nozzle 170 that sprays air on the back side of the sheet member 100 to blow away the transferred deposit 101. The back side air nozzle 170 is preferably, for example, a pata gun that ejects air in a spiral shape.

이면 측 에어 노즐(170)은 시트 부재(100)의 반송방향(H)에서 가압 부재(140)보다도 상류 측에 배치되어 있다. 실시형태에서 이면 측 에어 노즐(170)은 시트 부재(100)의 공급 롤(121)의 원 둘레를 따른 궤도로부터 직선 궤도로 변하는 변곡점 근방에 에어를 분사하도록 배치되어 있다. The back side air nozzle 170 is arranged upstream of the pressing member 140 in the conveyance direction H of the sheet member 100. In the embodiment, the back side air nozzle 170 is arranged to spray air near the inflection point where the supply roll 121 of the sheet member 100 changes from a circular orbit around the circumference to a straight orbit.

또한, 이면 측 에어 노즐(170)과 시트 부재(100)에서의 에어가 분사되는 위치 사이의 거리는 공급 롤(121)로부터 시트 부재가 공급됨에 따라, 지름이 작아진다. 그러나, 도시하지 않은 구동부에 의해, 공급 롤(121)에 감겨 있는 시트 부재(100)의 양에 관계 없이 에어의 분출 위치와 시트 부재(100)에서의 에어가 분사되는 위치 사이의 거리가 일정해지도록, 이동이 가능하게 되어 있다. 따라서, 항상 일정한 풍속 및 풍량으로 시트 부재(100)에 대하여 공기를 분사할 수 있다. Additionally, the distance between the rear air nozzle 170 and the position on the sheet member 100 where air is sprayed becomes smaller as the sheet member is supplied from the supply roll 121. However, due to the driving unit (not shown), the distance between the air blowing position and the air blowing position on the sheet member 100 is constant regardless of the amount of sheet member 100 wound around the supply roll 121. So that it can be moved. Therefore, air can always be sprayed onto the sheet member 100 at constant wind speed and wind volume.

이면 측 에어 노즐(170)은 실시형태에서는 에어압 0.5㎫, 에어량 110L/min이며, 부착물(101)의 제거 속도는 200m/min 상당이다. In the embodiment, the back side air nozzle 170 has an air pressure of 0.5 MPa and an air volume of 110 L/min, and the removal speed of the deposit 101 is equivalent to 200 m/min.

실제로 1.7㎛, 3.4㎛, 3.35㎛의 미립자를 사용하여 실험을 실시한 결과, 이면 측 에어 노즐(170)과 시트 부재(100)의 거리가 50㎜인 경우, 1.7㎛, 3.4㎛, 3.35㎛의 부착물을 제거 가능했다. 이면 측 에어 노즐(170)과 시트 부재(100)의 거리가 100㎜인 경우, 마찬가지로 1.7㎛, 3.4㎛, 3.35㎛의 부착물을 제거 가능했다. 이면 측 에어 노즐(170)과 시트 부재(100)의 거리가 150㎜인 경우, 3.4㎛, 3.35㎛의 부착물을 제거 가능했지만 1.7㎛는 제거할 수 없었다. 이면 측 에어 노즐(170)과 시트 부재(100)의 거리가 200㎜인 경우, 1.7㎛, 3.4㎛, 3.35㎛ 어느 것도 제거할 수 없었다. 따라서, 이면 측 에어 노즐(170)과 시트 부재(100)의 거리는 50㎜ 이상 100㎜ 이하가 바람직하다. As a result of actually conducting an experiment using fine particles of 1.7㎛, 3.4㎛, and 3.35㎛, when the distance between the rear air nozzle 170 and the sheet member 100 is 50㎜, deposits of 1.7㎛, 3.4㎛, and 3.35㎛ were observed. It was possible to remove . When the distance between the rear air nozzle 170 and the sheet member 100 was 100 mm, it was possible to similarly remove deposits of 1.7 μm, 3.4 μm, and 3.35 μm. When the distance between the rear air nozzle 170 and the sheet member 100 was 150 mm, adhesion of 3.4 μm and 3.35 μm could be removed, but 1.7 μm could not be removed. When the distance between the rear air nozzle 170 and the sheet member 100 was 200 mm, none of 1.7 μm, 3.4 μm, and 3.35 μm could be removed. Therefore, the distance between the rear air nozzle 170 and the sheet member 100 is preferably 50 mm or more and 100 mm or less.

(집진 기구(180)) (Dust collection device (180))

집진 기구(180)는 부착물 제거부(110)의 하방에 배치된 흡인 후드(181)와, 흡인 후드(181)와 연결된 SUS 드럼(182)과, SUS 드럼(182)을 통해 흡인 후드(181) 내를 흡인하는 진공 장치(183)를 포함한다. 시트 부재(100)로부터 박리된 부착물(101)은 흡인 후드(181) 내로 낙하하고, 진공 장치(183)에 의해 흡인되어 SUS 드럼(182) 내에 모인다. The dust collection mechanism 180 includes a suction hood 181 disposed below the attachment removal unit 110, a SUS drum 182 connected to the suction hood 181, and a suction hood 181 through the SUS drum 182. It includes a vacuum device 183 that suctions the inside. The adherent material 101 peeled off from the sheet member 100 falls into the suction hood 181, is sucked in by the vacuum device 183, and is collected in the SUS drum 182.

제1 실시형태의 부착물 제거 장치(1)를 이용한 부착물 제거 방법에 따르면, 공급 롤(121)로부터 공급된 시트 부재(100)는 부착물(101)이 부착된 표면이 아래를 향하게 하여, 보조 롤(122)과 보조 롤(132)에 의해 가이드되어 반송되고, 권취 기구(130)의 권취 롤(131)에 권취된다. According to the attachment removal method using the attachment removal device 1 of the first embodiment, the sheet member 100 supplied from the supply roll 121 is placed with the surface to which the attachment 101 is attached facing downward, and the auxiliary roll ( 122) and the auxiliary roll 132, it is guided and conveyed, and is wound on the winding roll 131 of the winding mechanism 130.

가압 부재(140)가 시트 부재(100)에 이면 측으로부터 프레싱되면, 시트 부재(100)는 얇으므로 가압 부재(140)의 선단 형상에 추종하여 폴딩된다. 한편, 시트 부재(100)에 부착되어 있는 부착물(101)은 실시형태에서는 세라믹 그린시트이며 시트 부재(100)보다 두께가 있어, 가압 부재(140)의 선단 형상과 동일하게는 폴딩되기 어렵다. 따라서, 시트 부재(100)와 부착물(101) 사이에 극간이 생기고, 부착물(101)이 시트 부재(100)로부터 박리되어 하방으로 낙하한다. 이렇게 하여 시트 부재(100)로부터 부착물(101)이 분리된다. When the pressing member 140 is pressed against the sheet member 100 from the back side, the sheet member 100 is thin and is folded to follow the shape of the tip of the pressing member 140. On the other hand, the attachment 101 attached to the sheet member 100 is a ceramic green sheet in the embodiment and is thicker than the sheet member 100, so it is difficult to fold it to the same shape as the tip of the pressing member 140. Accordingly, a gap is created between the sheet member 100 and the attachment 101, and the attachment 101 is separated from the sheet member 100 and falls downward. In this way, the attachment 101 is separated from the sheet member 100.

이 때, 부착물(101) 중 폭방향 부착물(101b)은 가압 부재(140)로 밀렸을 때에도 균열이 생기기 어렵고, 박리의 계기가 형성되기 어렵다. 그러나, 실시형태의 부착물 제거 장치(1)는 광역 에어 노즐(150)을 포함하고, 폭방향 부착물(101b)에 에어가 분사되므로, 폭방향 부착물(101b)에 균열을 생기게 하기 쉽게 할 수 있어, 부착물(101)의 제거 효율이 향상된다. At this time, even when the width direction attachment 101b of the attachments 101 is pushed by the pressing member 140, cracks are unlikely to occur, and it is difficult to form a trigger for peeling. However, the deposit removal device 1 of the embodiment includes a wide-area air nozzle 150, and air is sprayed onto the width direction deposit 101b, so that it is easy to cause cracks in the width direction deposit 101b. The removal efficiency of the deposit 101 is improved.

또한, 광역 에어 노즐(150)은 폭방향(W)에서 넓은 영역으로 에어를 분사하므로, 시트 부재(100)가 구불구불해도 부착물(101) 전체에 남김없이 공기를 분사할 수 있다. In addition, the wide-area air nozzle 150 sprays air over a wide area in the width direction (W), so air can be sprayed all over the attachment 101 even if the sheet member 100 is curved.

또한, 사다리 형상으로 부착되어 있는 것 중, 길이방향(L)으로 연장되는 2개의 길이방향 부착물(101a)에 대하여는 추가로 부분 에어 노즐(160)에 의해 에어가 분사되므로, 길이방향 부착물(101a)도 보다 효과적으로 제거할 수 있다. In addition, among those attached in a ladder shape, air is additionally sprayed by the partial air nozzle 160 for the two longitudinal attachments 101a extending in the longitudinal direction (L), so that the longitudinal attachments 101a can also be removed more effectively.

또한, 실시형태에 따르면, 시트 부재(100)의 이면 측에 에어를 분사하는 이면 측 에어 노즐(170)이 마련되어 있으므로, 박리제가 도포되어 있지 않은 시트 부재(100) 이면에 전사된 부착물(101)을 날려버릴 수 있다. 따라서, 부착물(101)이 가압 부재(140) 부분에서 퇴적되지 않는다. In addition, according to the embodiment, since the back side air nozzle 170 is provided to spray air on the back side of the sheet member 100, the attachment 101 transferred to the back side of the sheet member 100 to which the release agent is not applied. can blow away Accordingly, the attachment 101 is not deposited on the pressing member 140 portion.

그리고 부착물 제거 장치(1)에 의해 부착물(101)이 제거된 시트 부재(100)를 분쇄하여 PET의 펠릿을 형성하고, 펠릿을 시트 부재(100)로서 재생함으로써, 시트 부재(100)의 재활용 방법을 제공할 수 있다. Then, the sheet member 100 from which the attachment 101 has been removed by the attachment removal device 1 is pulverized to form PET pellets, and the pellets are recycled as the sheet member 100, thereby recycling the sheet member 100. can be provided.

또한, 이와 같이 재생된 시트 부재(100) 상에 세라믹 그린시트가 되는 슬러리가 시트 형상으로 도포된다. 이어서, 시트 부재(100)의 세라믹 그린시트가 시트 형상으로 도포된 표면에 전극 패턴을 인쇄한다. 그리고 전극 패턴이 인쇄된 세라믹 그린시트를 직사각형으로 절단하고, 시트 부재(100)로부터 시트 박리 장치(200)를 이용하여 박리한다. 박리한 세라믹 그린시트(101c)를 적층하여 마더 블록 적층체(210)를 형성한다. 마더 블록 적층체(210)를 소정의 크기로 절단하여 복수개의 적층체 칩(220)을 얻는다. 그 후, 적층체 칩(220)을 소성하고 외표면에 외부전극(310)을 형성함으로써, 전자부품으로서의 적층 세라믹 콘덴서(300)를 제조하는 제조 방법을 제공할 수 있다. Additionally, a slurry that becomes a ceramic green sheet is applied in a sheet shape on the recycled sheet member 100. Next, an electrode pattern is printed on the surface of the sheet member 100 where the ceramic green sheet is applied in a sheet shape. Then, the ceramic green sheet on which the electrode pattern is printed is cut into a rectangle and peeled from the sheet member 100 using the sheet peeling device 200. The mother block laminate 210 is formed by stacking the peeled ceramic green sheets 101c. The mother block stack 210 is cut to a predetermined size to obtain a plurality of stack chips 220. Thereafter, the multilayer chip 220 is fired and the external electrode 310 is formed on the outer surface, thereby providing a manufacturing method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 300 as an electronic component.

(제2 실시형태) (Second Embodiment)

도 9는 제2 실시형태의 부착물 제거 장치(2)를 설명하는 도면이다. 부착물 제거 장치(2)는 제1 실시형태의 부착물 제거 장치(1)와 달리 가압 부재 및 에어 노즐은 마련되어 있지 않고, 가압날 부재(20)가 배치되어 있다. 그 밖의 부분에 대해서는 제1 실시형태와 마찬가지이므로, 동일한 부분에는 제1 실시형태와 동일한 부호를 붙이고, 설명을 생략한다. Fig. 9 is a diagram explaining the deposit removal device 2 of the second embodiment. Unlike the deposit removal device 1 of the first embodiment, the deposit removal device 2 is not provided with a pressing member and an air nozzle, and a pressing blade member 20 is disposed. Since other parts are the same as those in the first embodiment, the same parts are given the same reference numerals as those in the first embodiment, and description is omitted.

(가압날 부재(20)) (Pressure blade member (20))

가압날 부재(20)는 칼날 축(A)을 따라 연장되고, 칼날 축(A)과 직교하는 절단면 형상에서 만곡된 칼날 끝(21)을 가진다. 도 10은 가압날 부재(20) 선단의 칼날 끝(21)의 사시도이다. 칼날 끝(21)의 만곡 형상은 예를 들면 원호(圓弧) 형상 또는 타원호 형상이다. The pressing blade member 20 extends along the blade axis A and has a blade tip 21 curved in a cutting surface shape perpendicular to the blade axis A. Figure 10 is a perspective view of the blade tip 21 at the tip of the pressing blade member 20. The curved shape of the blade tip 21 is, for example, a circular arc shape or an elliptical arc shape.

도 11은 가압날 부재(20)의 시트 부재(100)에 대한 위치를 설명하는 도면이다. 도시하는 바와 같이, 가압날 부재(20)는 시트 부재(100)의 폭방향(W)으로 복수개 늘어서서 배치되어 있다. 또한, 폭방향(W)으로 늘어서서 복수개 배치된 가압날 부재(20)의 열은 반송방향(H)의 다른 복수개의 위치에 각각 배치되어 있다. 가압날 부재(20)의 열은 반송방향(H) 상류 측으로부터 하류 측을 향해 반송방향의 위치(H1)에 배치된 전열(20A)과, 반송방향의 위치(H2)에 배치된 후열(20B)의 상이한 2군데에 배치되어 있다. FIG. 11 is a view explaining the position of the pressing blade member 20 with respect to the sheet member 100. As shown, a plurality of press blade members 20 are arranged in a row in the width direction W of the sheet member 100. Additionally, a plurality of rows of press blade members 20 arranged in a row in the width direction W are each arranged at a plurality of different positions in the conveyance direction H. The row of press blade members 20 consists of a front row 20A arranged at a position H1 in the transport direction from the upstream side to the downstream side in the transport direction H, and a rear row 20B arranged at a position H2 in the transport direction. ) are placed in two different locations.

또한, 칼날 축(A)은 도 9에 나타내는 바와 같이 시트 부재(100)에 대하여 접촉 각도(θ2)로 기울어진 상태로 배치되어 있다. 접촉 각도(θ2)는 10° 이상 20° 이하가 바람직하다. Additionally, the blade axis A is disposed inclined at a contact angle θ2 with respect to the sheet member 100, as shown in FIG. 9 . The contact angle (θ2) is preferably 10° or more and 20° or less.

전열(20A)에서의 서로 이웃하는 가압날 부재(20) 사이의 폭방향(W)에서의 위치의 반송방향(H) 하류 측에 폭방향(W)의 중심이 오도록 후열(20B)의 가압날 부재(20)가 배치되어 있다. 그리고 폭방향(W)에서의 전열(20A)의 가압날 부재(20)가 시트 부재(100)를 가압하는 영역과, 후열(20B)의 가압날 부재(20)가 시트 부재(100)를 가압하는 영역은 일부 중복되어 있다. 즉, 전열(20A)의 가압날 부재(20)의 칼날 끝(21)과 후열(20B)의 가압날 부재(20)의 칼날 끝(21)은 폭방향(W)에서 일부 중복된 시트 부재(100)의 영역을 가압한다. The pressure blades of the rear row 20B are positioned so that the center of the width direction (W) is on the downstream side of the conveyance direction (H) of the position in the width direction (W) between the adjacent pressure blade members 20 in the front row (20A). A member 20 is disposed. And, in the width direction W, the area where the pressing blade members 20 of the front row 20A press the sheet member 100, and the area where the pressing blade members 20 of the rear row 20B press the sheet member 100. Some areas overlap. That is, the blade tip 21 of the pressure blade member 20 of the front row 20A and the blade tip 21 of the pressure blade member 20 of the rear row 20B are partially overlapping sheet members in the width direction W ( Pressurize the area of 100).

또한, 칼날 축(A)은 시트 부재(100)의 반송방향(H)에 대하여, 도 11에 나타내는 바와 같이 각도(α)로, 약간 비스듬히 배치되어 있다. In addition, the blade axis A is slightly inclined at an angle α with respect to the conveyance direction H of the sheet member 100, as shown in FIG. 11 .

제2 실시형태의 부착물 제거 장치(2)를 이용한 부착물 제거 방법에 따르면, 공급 롤(121)로부터 공급된 시트 부재(100)는 부착물(101)이 부착된 표면이 아래를 향하게 하여, 보조 롤(122)과 보조 롤(132)에 의해 가이드되어 반송되고, 권취 기구(130)의 권취 롤(131)에 권취된다. According to the attachment removal method using the attachment removal device 2 of the second embodiment, the sheet member 100 supplied from the supply roll 121 is placed with the surface to which the attachment 101 is attached facing downward, and the auxiliary roll ( 122) and the auxiliary roll 132, it is guided and conveyed, and is wound on the winding roll 131 of the winding mechanism 130.

가압날 부재(20)는 시트 부재(100)가 공급 기구(120)의 공급 롤(121)로부터 공급되어 권취 기구(130)의 권취 롤(131)에 의해 권취될 때까지 사이의 반송 중에 칼날 축(A)이 시트 부재(100)의 반송방향(H)을 따르면서 시트 부재(100)에 대하여 수직방향으로 각도(θ2)만큼 기울어진 상태에서 칼날 끝(21)으로 시트 부재(100)의 표면을 가압한다. The pressing blade member 20 is moved along the blade axis during conveyance between the sheet member 100 being supplied from the supply roll 121 of the supply mechanism 120 and being wound by the take-up roll 131 of the take-up mechanism 130. (A) follows the conveyance direction H of the sheet member 100 and is inclined at an angle θ2 in the vertical direction with respect to the sheet member 100, and cuts the surface of the sheet member 100 with the blade tip 21. Pressurize.

시트 부재(100)에는 소정의 장력이 가해져 있고, 커팅 날(203)이 프레싱됨으로써 시트 부재(100)는 커팅 날(203)의 형상을 따라 만곡된다. 그리고 시트 부재(100)의 부착물(101)은 가압날 부재(20)의 칼날 끝(21)에 의해 긁혀서 박리된다. A predetermined tension is applied to the sheet member 100, and the cutting blade 203 is pressed, thereby causing the sheet member 100 to curve along the shape of the cutting blade 203. Then, the attachment 101 of the sheet member 100 is scraped and peeled off by the blade tip 21 of the pressing blade member 20.

이 때, 칼날 끝(21)으로 시트 부재(100)를 가압하면, 시트 부재(100)가 칼날 끝(21)의 만곡 형상에 추종하여 만곡되므로, 칼날 끝(21)이 시트 부재(100)에 파고들어, 부착물(101)을 효율적으로 박리시킬 수 있다. 또한, 칼날 끝(21)이 만곡되어 있으므로, 직선 칼날에 비해 시트 부재(100)를 파손하기 어렵다. At this time, when the sheet member 100 is pressed with the blade tip 21, the sheet member 100 is curved to follow the curved shape of the blade tip 21, so the blade tip 21 is pressed against the sheet member 100. By digging in, the attachment 101 can be peeled off efficiently. Additionally, since the blade tip 21 is curved, it is difficult to damage the sheet member 100 compared to a straight blade.

이 때, 예를 들면 폭방향 부착물(101b) 중의 전열(20A)에서 폭방향(W)으로 늘어서는 가압날 부재(20)와 가압날 부재(20) 사이를 통과하는 것은, 전열(20A)의 가압날 부재(20)에 의해 충분히 긁히지 않고 남아버리는 경우가 있다. At this time, for example, what passes between the pressure blade members 20 and the pressure blade members 20 lined up in the width direction (W) in the front row 20A of the width direction attachment 101b is the front row 20A. There are cases where the pressure blade member 20 is not sufficiently scraped and remains.

그러나, 전열(20A)에서의 서로 이웃하는 가압날 부재(20) 사이의 폭방향(W) 위치의 반송방향(H) 하류 측에 후열(20B)의 가압날 부재(20)가 배치되어 있다. 따라서, 폭방향 부착물(101b) 중의, 전열(20A)에서 폭방향(W)으로 늘어서는 가압날 부재(20)와 가압날 부재(20) 사이를 통과하여 긁히지 않고 남아버린 것은 후열(20B)의 가압날 부재(20)에 의해 긁힌다. 따라서 부착물(101)을 충분히 제거할 수 있다. However, the pressure blade members 20 of the rear row 20B are arranged on the downstream side in the conveyance direction H in the width direction W between adjacent pressure blade members 20 in the front row 20A. Therefore, among the width direction attachments 101b, those remaining without being scratched after passing between the pressure blade members 20 and the pressure blade members 20 lined up in the width direction W in the front row 20A are those of the rear row 20B. It is scratched by the pressure blade member (20). Therefore, the attachment 101 can be sufficiently removed.

시트 부재(100)와 가압날 부재(20)의 칼날 끝(21)의 접촉 각도(θ2)가 20°보다 크면, 부착물(101)을 매끄럽게 박리하는 것이 어렵고, 칼날 끝(21)이 부착물(101)에 걸림으로써 칼날 끝(21)이 파손될 가능성이 있다. 또한, 10°보다 작으면, 가압날 부재(20)의 칼날 끝(21) 이외의 부분이 시트 부재(100)에 접촉하여 시트 부재(100)의 반송을 방해할 가능성이 있다. 그러나, 실시형태의 칼날 축(A)은 시트 부재(100)에 대하여 10° 이상 20° 이하의 접촉 각도(θ2)로 기울어진 상태로 배치되어 있으므로, 이와 같은 경우가 없다. If the contact angle θ2 between the sheet member 100 and the blade tip 21 of the pressure blade member 20 is greater than 20°, it is difficult to smoothly peel off the attachment 101, and the blade tip 21 is not attached to the attachment 101. ), there is a possibility that the tip of the blade (21) may be damaged. Additionally, if it is less than 10°, there is a possibility that parts other than the blade tip 21 of the pressing blade member 20 may contact the sheet member 100, thereby interfering with conveyance of the sheet member 100. However, since the blade axis A of the embodiment is disposed inclined at a contact angle θ2 of 10° or more and 20° or less with respect to the sheet member 100, this is not the case.

칼날 축(A)은 시트 부재(100)의 반송방향(H)에 대하여, 도 11에 나타내는 근소한 각도(α)로, 약간 비스듬히 배치되어 있다. 따라서 절단흔을 계기로 한 시트 부재(100)의 파손이 방지된다. The blade axis A is arranged slightly obliquely at a slight angle α shown in FIG. 11 with respect to the conveyance direction H of the sheet member 100. Therefore, damage to the sheet member 100 caused by cut marks is prevented.

도 12는 시트 부재(100) 상의 전체 면에 부착물(101)이 부착된 상태에서 가압날 부재(20)가 부착물(101)을 박리하는 상태를 설명하는 도면이다. 제2 실시형태의 부착물 제거 장치(2)에 따르면, 사다리 형상의 부착물(101)뿐만 아니라, 도 12에 나타내는 바와 같은 시트 부재(100)의 전체 면에 부착된 부착물(101)도 효과적으로 제거할 수 있다. FIG. 12 is a diagram illustrating a state in which the pressure blade member 20 peels off the attachment 101 while the attachment 101 is attached to the entire surface of the sheet member 100. According to the deposit removal device 2 of the second embodiment, not only the ladder-shaped deposit 101 but also the deposit 101 attached to the entire surface of the sheet member 100 as shown in FIG. 12 can be effectively removed. there is.

그리고 부착물 제거 장치(2)에 의해 부착물(101)이 제거된 시트 부재(100)를 분쇄하여 PET의 펠릿을 형성하고, 펠릿을 시트 부재(100)로서 재생함으로써, 시트 부재(100)의 재활용 방법을 제공할 수 있다. Then, the sheet member 100 from which the attachment 101 has been removed by the attachment removal device 2 is pulverized to form PET pellets, and the pellets are recycled as the sheet member 100, thereby recycling the sheet member 100. can be provided.

또한, 이와 같이 재생된 시트 부재(100) 상에 세라믹 그린시트가 되는 슬러리가 시트 형상으로 도포된다. 이어서, 시트 부재(100)의 세라믹 그린시트가 시트 형상으로 도포된 표면에 전극 패턴을 인쇄한다. 그리고 전극 패턴이 인쇄된 세라믹 그린시트를 직사각형으로 절단하고, 시트 부재(100)로부터 시트 박리 장치(200)를 이용하여 박리한다. 박리한 세라믹 그린시트(101c)를 적층하여 마더 블록 적층체(210)를 형성한다. 마더 블록 적층체(210)를 소정의 크기로 절단하여 복수개의 적층체 칩(220)을 얻는다. 그 후, 적층체 칩(220)의 외표면에 외부전극(310)을 형성함으로써, 전자부품으로서의 적층 세라믹 콘덴서(300)를 제조하는 제조 방법을 제공할 수 있다. Additionally, a slurry that becomes a ceramic green sheet is applied in a sheet shape on the recycled sheet member 100. Next, an electrode pattern is printed on the surface of the sheet member 100 where the ceramic green sheet is applied in a sheet shape. Then, the ceramic green sheet on which the electrode pattern is printed is cut into a rectangle and peeled from the sheet member 100 using the sheet peeling device 200. The mother block laminate 210 is formed by stacking the peeled ceramic green sheets 101c. The mother block stack 210 is cut to a predetermined size to obtain a plurality of stack chips 220. Thereafter, by forming the external electrode 310 on the outer surface of the multilayer chip 220, a manufacturing method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 300 as an electronic component can be provided.

이상, 본 발명의 알맞은 실시형태에 대해 설명했는데, 본 발명은 이하의 조합을 포함한다. Preferred embodiments of the present invention have been described above, but the present invention includes the following combinations.

<1> 장척상의 시트 부재를 공급하는 공급 기구와, 상기 공급 기구에 의해 공급된 상기 시트 부재를 권취하는 권취 기구와, 상기 공급 기구에 의해 공급되어 상기 권취 기구에 의해 권취될 때까지 사이에 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하는 가압 부재와, 폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터, 상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에 에어를 분사하는 광역 에어 노즐과, 상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여 에어를 분사하는 부분 에어 노즐과, 상기 시트 부재로부터 박리된 부착물을 집진하는 집진 기구를 포함하는 시트 부재로부터의 부착물 제거 장치. <1> Between a supply mechanism for supplying a long sheet member, a winding mechanism for winding the sheet member supplied by the supply mechanism, and the supply mechanism until it is wound by the winding mechanism. a pressing member that presses the sheet member from the rear side and folds the sheet member so that the front surface side of the sheet member becomes convex; a wide-area air nozzle that blows air to an area extending from one side of the width direction to the other side; a partial air nozzle that blows air to each of the one side and the other side of the width direction of the sheet member; and the separation from the sheet member. A device for removing deposits from a sheet member, including a dust collection mechanism for collecting deposits.

<2> 제1항에 있어서,<2> In clause 1,

상기 부분 에어 노즐은 상기 한쪽 측과 상기 다른 쪽의 2개 마련되고, 각각이 상기 시트 부재의 폭에 대하여 15% 이상 25% 이하의 길이의 영역에 대하여 에어를 분사하는, 부착물 제거 장치. The deposit removal device is provided with two partial air nozzles, one on one side and the other, and each of the partial air nozzles sprays air to an area having a length of 15% or more and 25% or less of the width of the sheet member.

<3> 제1항 또는 제2항에 있어서,<3> In paragraph 1 or 2,

상기 가압 부재보다도 상기 시트 부재의 반송방향 상류 측에서 상기 시트 부재의 상기 이면 측에 에어를 분사하는 이면 측 에어 노즐을 포함하는, 부착물 제거 장치. A deposit removal device comprising a backside air nozzle that sprays air onto the backside of the sheet member from an upstream side of the press member in the conveyance direction of the sheet member.

<4> 제3항에 있어서,<4> In clause 3,

상기 공급 기구는 상기 시트 부재가 감긴 공급 롤을 포함하고, 상기 공급 롤에 감겨 있는 상기 시트 부재의 양에 관계 없이, 상기 이면 측 에어 노즐은 상기 에어의 분출 위치와, 상기 이면 측 에어 노즐에 의해 에어가 분사되는 상기 시트 부재 사이의 거리가 일정해지도록 상기 분출 위치가 가변인, 부착물 제거 장치. The supply mechanism includes a supply roll on which the sheet member is wound, and regardless of the amount of the sheet member wound around the supply roll, the back side air nozzle is configured to provide air by the blowing position of the air and the back side air nozzle. A deposit removal device wherein the blowing position is variable so that the distance between the sheet members through which air is blown is constant.

<5> 제3항 또는 제4항에 있어서,<5> In paragraph 3 or 4,

상기 이면 측 에어 노즐로부터 상기 에어는 나선 형상으로 분사되는, 부착물 제거 장치. A deposit removal device wherein the air is sprayed in a spiral shape from the back side air nozzle.

또한, 시트 박리 장치(200)와 부착물 제거부(110)가 동일한 설비에 일체로 되어 얹어져 있어도 된다. Additionally, the sheet peeling device 200 and the adhesion removal unit 110 may be installed integrally in the same equipment.

<6> 표면에 부착물이 부착되어 있는 장척상의 시트 부재를 공급하고, 공급된 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압 부재에 의해 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하고, 폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터, 상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에, 광역 에어 노즐에 의해 에어를 분사함과 함께, 상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여, 부분 에어 노즐에 의해 에어를 분사함으로써 상기 시트 부재로부터 상기 부착물을 박리시키고, 상기 시트 부재로부터 박리한 상기 부착물을 집진하고, 상기 부착물이 박리된 상기 시트 부재를 권취하는, 시트 부재로부터의 부착물 제거 방법. <6> Supplying a long sheet member with an attachment attached to the surface, pressing the supplied sheet member from the back side with a pressing member, folding the sheet member so that the front side of the sheet member becomes convex, and folding the folded sheet. Air is sprayed by a wide-area air nozzle from the downstream side of the conveyance direction of the sheet member toward the surface side of the member to an area extending from one side of the width direction of the sheet member to the other, and the To each of the one side and the other side in the width direction, air is blown by a partial air nozzle to peel off the deposit from the sheet member, collect the deposit peeled from the sheet member, and collect the deposit from which the deposit has been peeled. A method of removing deposits from a sheet member, comprising winding up the sheet member.

<7> 표면에 부착물이 부착되어 있는 장척상의 시트 부재를 공급하고, 공급된 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압 부재에 의해 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하고, 폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터, 상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에, 광역 에어 노즐에 의해 에어를 분사함과 함께, 상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여, 부분 에어 노즐에 의해 에어를 분사함으로써 상기 시트 부재로부터 상기 부착물을 박리시키고, 상기 시트 부재로부터 박리한 상기 부착물을 집진하고, 상기 부착물이 박리된 상기 시트 부재를 권취하고, 상기 부착물이 제거된 상기 시트 부재를 분쇄하여 펠릿을 형성하는, 시트 부재의 재활용 방법. <7> Supplying a long sheet member with attachments on the surface, pressing the supplied sheet member from the back side with a pressing member, folding the sheet member so that the front side of the sheet member becomes convex, and folding the folded sheet. Air is sprayed by a wide-area air nozzle from the downstream side of the conveyance direction of the sheet member toward the surface side of the member to an area extending from one side of the width direction of the sheet member to the other, and the To each of the one side and the other side in the width direction, air is blown by a partial air nozzle to peel off the deposit from the sheet member, collect the deposit peeled from the sheet member, and collect the deposit from which the deposit has been peeled. A method of recycling a sheet member, comprising: winding up a sheet member and pulverizing the sheet member from which the attachment has been removed to form pellets.

<8> 표면에 부착물이 부착되어 있는 장척상의 시트 부재를 공급하고, 공급된 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압 부재에 의해 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하고, 폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터, 상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에, 광역 에어 노즐에 의해 에어를 분사함과 함께, 상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여, 부분 에어 노즐에 의해 에어를 분사함으로써 상기 시트 부재로부터 상기 부착물을 박리시키고, 상기 시트 부재로부터 박리한 상기 부착물을 집진하고, 상기 부착물이 박리된 상기 시트 부재를 권취하고, 상기 부착물이 제거된 상기 시트 부재를 분쇄하여 펠릿을 형성하고, 상기 펠릿을 이용하여 장척상의 시트 부재를 재생하고, 재생된 상기 시트 부재 상에 세라믹 그린시트를 형성하고, 상기 세라믹 그린시트를 이용하여 전자부품을 제조하는, 전자부품의 제조 방법. <8> Supplying a long sheet member with attachments on the surface, pressing the supplied sheet member from the back side with a pressing member, folding the sheet member so that the front side of the sheet member becomes convex, and folding the folded sheet. Air is sprayed by a wide-area air nozzle from the downstream side of the conveyance direction of the sheet member toward the surface side of the member to an area extending from one side of the width direction of the sheet member to the other, and the To each of the one side and the other side in the width direction, air is blown by a partial air nozzle to peel off the deposit from the sheet member, collect the deposit peeled from the sheet member, and collect the deposit from which the deposit has been peeled. Winding up a sheet member, pulverizing the sheet member from which the attachment has been removed to form a pellet, using the pellet to regenerate a long sheet member, and forming a ceramic green sheet on the regenerated sheet member, A method of manufacturing electronic components using ceramic green sheets.

θ1: 폴딩 각도 θ2: 접촉 각도
A: 칼날 축 1, 2: 부착물 제거 장치
2: 부착물 제거 장치 20: 가압날 부재
20A: 전열 20B: 후열
21: 칼날 끝 100: 시트 부재
101: 부착물 101a: 길이방향 부착물
101b: 폭방향 부착물 101c: 세라믹 그린시트
110: 부착물 제거부 120: 공급 기구
121: 공급 롤 122: 브레이크
122: 보조 롤 130: 권취 기구
131: 권취 롤 132: 보조 롤
140: 가압 부재 150: 광역 에어 노즐
151: 분출구 160, 160a, 160b: 부분 에어 노즐
161: 분출구 170: 이면 측 에어 노즐
180: 집진 기구 200: 시트 박리 장치
300: 적층 세라믹 콘덴서
θ1: Folding angle θ2: Contact angle
A: Blade axis 1, 2: Attachment removal device
2: Attachment removal device 20: Pressure blade member
20A: Front row 20B: Back row
21: Blade tip 100: Sheet member
101: Attachment 101a: Longitudinal attachment
101b: Width direction attachment 101c: Ceramic green sheet
110: Attachment removal unit 120: Supply mechanism
121: supply roll 122: brake
122: Auxiliary roll 130: Winding mechanism
131: winding roll 132: auxiliary roll
140: Pressure member 150: Wide area air nozzle
151: outlet 160, 160a, 160b: partial air nozzle
161: outlet 170: back side air nozzle
180: Dust collection device 200: Sheet peeling device
300: Multilayer ceramic condenser

Claims (8)

장척상(長尺狀)의 시트 부재를 공급하는 공급 기구와,
상기 공급 기구에 의해 공급된 상기 시트 부재를 권취(卷取)하는 권취 기구와,
상기 공급 기구에 의해 공급되어 상기 권취 기구에 의해 권취될 때까지 사이에 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하는 가압 부재와,
폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터,
상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에 에어를 분사하는 광역 에어 노즐과,
상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여 에어를 분사하는 부분 에어 노즐과,
상기 시트 부재로부터 박리된 부착물을 집진하는 집진 기구를 포함하는 시트 부재로부터의 부착물 제거 장치.
A supply mechanism for supplying a long sheet member,
a winding mechanism for winding up the sheet member supplied by the supply mechanism;
a pressing member that presses the sheet member from the back side until it is supplied by the supply mechanism and wound up by the winding mechanism, and folds the sheet member so that the front surface side of the sheet member becomes convex;
From the downstream side of the conveyance direction of the sheet member, toward the surface side of the folded sheet member,
a wide-area air nozzle that sprays air to an area extending from one side of the width direction of the sheet member to the other side;
a partial air nozzle that sprays air to each of the one side and the other side of the sheet member in the width direction;
A device for removing deposits from a sheet member, comprising a dust collection mechanism for collecting deposits peeled off from the sheet member.
제1항에 있어서,
상기 부분 에어 노즐은 상기 한쪽 측과 상기 다른 쪽에 2개가 마련되고, 각각이 상기 시트 부재의 폭에 대하여 15% 이상 25% 이하의 길이의 영역에 대하여 에어를 분사하는, 부착물 제거 장치.
According to paragraph 1,
Two partial air nozzles are provided on one side and two on the other side, and each of the partial air nozzles sprays air to an area having a length of 15% or more and 25% or less of the width of the sheet member.
제1항에 있어서,
상기 가압 부재보다도 상기 시트 부재의 반송방향 상류 측에서,
상기 시트 부재의 상기 이면 측에 에어를 분사하는 이면 측 에어 노즐을 포함하는, 부착물 제거 장치.
According to paragraph 1,
On the upstream side of the conveyance direction of the sheet member rather than the pressing member,
A deposit removal device comprising a back side air nozzle that sprays air on the back side of the sheet member.
제3항에 있어서,
상기 공급 기구는 상기 시트 부재가 감긴 공급 롤을 포함하고, 상기 공급 롤에 감긴 상기 시트 부재의 양에 관계 없이,
상기 이면 측 에어 노즐은 상기 에어의 분출 위치와, 상기 이면 측 에어 노즐에 의해 에어가 분사되는 상기 시트 부재 사이의 거리가 일정해지도록 상기 분출 위치가 가변인, 부착물 제거 장치.
According to paragraph 3,
The supply mechanism includes a supply roll on which the sheet member is wound, regardless of the amount of the sheet member wound on the supply roll,
A deposit removal device wherein the back side air nozzle has a variable blowing position so that the distance between the air blowing position and the sheet member from which air is blown by the back side air nozzle is constant.
제3항에 있어서,
상기 이면 측 에어 노즐로부터 상기 에어는 나선 형상으로 분사되는, 부착물 제거 장치.
According to paragraph 3,
A deposit removal device wherein the air is sprayed in a spiral shape from the back side air nozzle.
표면에 부착물이 부착된 장척상(長尺狀)의 시트 부재를 공급하고,
공급된 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압 부재에 의해 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하고,
폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터,
상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에, 광역 에어 노즐에 의해 에어를 분사함과 함께,
상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여, 부분 에어 노즐에 의해 에어를 분사함으로써 상기 시트 부재로부터 상기 부착물을 박리시키고,
상기 시트 부재로부터 박리한 상기 부착물을 집진하고,
상기 부착물이 박리된 상기 시트 부재를 권취(卷取)하는, 시트 부재로부터의 부착물 제거 방법.
Supplying a long sheet member with an attachment attached to the surface,
The supplied sheet member is pressed from the back side by a pressing member and folded so that the front surface of the sheet member becomes convex;
From the downstream side of the conveyance direction of the sheet member, toward the surface side of the folded sheet member,
Air is sprayed by a wide-area air nozzle to an area extending from one side of the width direction of the sheet member to the other side,
The attachment is peeled off from the sheet member by blowing air from a partial air nozzle to each of the one side and the other side of the sheet member in the width direction,
Collecting the deposits peeled off from the sheet member,
A method of removing a deposit from a sheet member, comprising winding up the sheet member from which the deposit has been peeled off.
표면에 부착물이 부착된 장척상(長尺狀)의 시트 부재를 공급하고,
공급된 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압 부재에 의해 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하고,
폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터,
상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에, 광역 에어 노즐에 의해 에어를 분사함과 함께,
상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여, 부분 에어 노즐에 의해 에어를 분사함으로써 상기 시트 부재로부터 상기 부착물을 박리시키고,
상기 시트 부재로부터 박리한 상기 부착물을 집진하고,
상기 부착물이 박리된 상기 시트 부재를 권취(卷取)하고,
상기 부착물이 제거된 상기 시트 부재를 분쇄하여 펠릿을 형성하는, 시트 부재의 재활용 방법.
Supplying long sheet members with attachments on the surface,
The supplied sheet member is pressed from the back side by a pressing member and folded so that the front surface of the sheet member becomes convex;
From the downstream side of the conveyance direction of the sheet member, toward the surface side of the folded sheet member,
Air is sprayed by a wide-area air nozzle to an area extending from one side of the width direction of the sheet member to the other side,
The attachment is peeled off from the sheet member by blowing air from a partial air nozzle to each of the one side and the other side of the sheet member in the width direction,
Collecting the deposits peeled off from the sheet member,
Winding up the sheet member from which the attachment has been peeled,
A method of recycling a sheet member, wherein the sheet member from which the attachment has been removed is pulverized to form pellets.
표면에 부착물이 부착된 장척상(長尺狀)의 시트 부재를 공급하고,
공급된 상기 시트 부재를 이면 측으로부터 가압 부재에 의해 가압하여 상기 시트 부재의 표면 측이 볼록해지도록 폴딩하고,
폴딩된 상기 시트 부재의 상기 표면 측을 향해, 상기 시트 부재의 반송방향 하류 측으로부터,
상기 시트 부재의 폭방향의 한쪽으로부터 다른 쪽에 걸치는 영역에, 광역 에어 노즐에 의해 에어를 분사함과 함께,
상기 시트 부재의 상기 폭방향의 상기 한쪽과 상기 다른 쪽 각각에 대하여, 부분 에어 노즐에 의해 에어를 분사함으로써 상기 시트 부재로부터 상기 부착물을 박리시키고,
상기 시트 부재로부터 박리한 상기 부착물을 집진하고,
상기 부착물이 박리된 상기 시트 부재를 권취(卷取)하고,
상기 부착물이 제거된 상기 시트 부재를 분쇄하여 펠릿을 형성하고,
상기 펠릿을 이용하여 장척상의 시트 부재를 재생하고,
재생된 상기 시트 부재 상에 세라믹 그린시트를 형성하고,
상기 세라믹 그린시트를 이용하여 전자부품을 제조하는, 전자부품의 제조 방법.
Supplying a long sheet member with an attachment attached to the surface,
The supplied sheet member is pressed from the back side by a pressing member and folded so that the front surface of the sheet member becomes convex;
From the downstream side of the conveyance direction of the sheet member, toward the surface side of the folded sheet member,
Air is sprayed by a wide-area air nozzle to an area extending from one side of the width direction of the sheet member to the other side,
The attachment is peeled off from the sheet member by blowing air from a partial air nozzle to each of the one side and the other side of the sheet member in the width direction,
Collecting the deposits peeled off from the sheet member,
Winding up the sheet member from which the attachment has been peeled,
The sheet member from which the attachment has been removed is pulverized to form pellets,
Regenerating long sheet members using the pellets,
Forming a ceramic green sheet on the recycled sheet member,
A method of manufacturing electronic components using the ceramic green sheet.
KR1020230099407A 2022-08-02 2023-07-31 Apparatus for removing attachment, method for removing attachment, method for recycling sheet member and method for manufacturing electronic component KR20240018385A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022123538A JP2024020961A (en) 2022-08-02 2022-08-02 Deposit removal device, deposit removal method, sheet member recycling method, and electronic component manufacturing method
JPJP-P-2022-123538 2022-08-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20240018385A true KR20240018385A (en) 2024-02-13

Family

ID=89671424

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020230099407A KR20240018385A (en) 2022-08-02 2023-07-31 Apparatus for removing attachment, method for removing attachment, method for recycling sheet member and method for manufacturing electronic component

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2024020961A (en)
KR (1) KR20240018385A (en)
CN (1) CN117483333A (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009291690A (en) 2008-06-03 2009-12-17 Tdk Corp Method of cleaning release film and method of recycling base film and release film

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009291690A (en) 2008-06-03 2009-12-17 Tdk Corp Method of cleaning release film and method of recycling base film and release film

Also Published As

Publication number Publication date
JP2024020961A (en) 2024-02-15
CN117483333A (en) 2024-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101741632B1 (en) Apparatus and method for stripping of protective film
US8556063B2 (en) Dry ice belt cleaning system for laser cutting device
KR101653222B1 (en) Blasting method and apparatus having abrasive recovery system, processing method of thin-film solar cell panel, and thin-film solar cell panel processed by the method
CN102216032B (en) Apparatus for recovering abrasives, apparatus for blasting process comprising apparatus for recovering abrasives and method of blasting process
US9080728B2 (en) Wiping device, ink-jet device, and wiping method
KR20240018385A (en) Apparatus for removing attachment, method for removing attachment, method for recycling sheet member and method for manufacturing electronic component
KR20240018383A (en) Apparatus for removing attachment, method for removing attachment, method for recycling sheet member and method for manufacturing electronic component
KR20240018384A (en) Apparatus for removing attachment, method for removing attachment, method for recycling sheet member and method for manufacturing electronic component
JP2013123748A (en) Laser machining device and laser machining method
JPH05269452A (en) Dust removing apparatus for sheet-like item
JP4154585B2 (en) Liquid mist removal device and liquid mist removal method
JP5545940B2 (en) Dust collection device, dust collection method, and cutting machine having the device
JP2006026752A (en) Paper dust removing device
CN102650054A (en) Method for removing burrs of copper-clad plate
JP2010221076A (en) Device for removing foreign matter, method of removing foreign matter and sheet-like material
JP2006213026A (en) Head maintenance device
JP6354347B2 (en) Image forming apparatus and separating member
CN110712434A (en) Conveyor belt device and image recording system
JP2018134829A (en) Recording device
CN202192123U (en) Rust removal mechanism and roll type straightening machine with same
JP2023114526A (en) Coating peeling device and coating peeling method from film with coating
JP2008030930A (en) Inkjet recording device
JPH08167410A (en) Manufacture of electrode sheet of battery
TWM482155U (en) Wind film device
JP2001179741A (en) Method and apparatus for peeling coating material on sheet