JP2009289571A - Photoelectric conversion module - Google Patents

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conductive
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Kenji Tomita
賢時 冨田
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    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/542Dye sensitized solar cells

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dye-sensitized photoelectric conversion module to improve photoelectric conversion efficiency. <P>SOLUTION: The photoelectric conversion module 1 includes first and second photoelectric conversion elements having: a first conductive layer 7 in which a sensitized-dye carrying semiconductor layer 5 is formed; a second conductive layer 3 arranged opposed to the semiconductor layer 5; and a photoelectric converter 6 which contains an electrolyte, and is arranged between the first and second conductive layers. The first conductive layer 7 of the first photoelectric conversion element 1a and the second conductive layer 3 of the second photoelectric conversion element 1b are joined by a plurality of conductors 8; and the plurality of conductors 8 are arranged mutually separated via either photoelectric converter 6 of the first and second photoelectric conversion elements. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、光電変換効率の向上に寄与する光電変換モジュールに関するものである。   The present invention relates to a photoelectric conversion module that contributes to an improvement in photoelectric conversion efficiency.

近年、光電変換装置の一種である色素増感型太陽電池は、その製造に際して真空装置を必要としないことから、低コストで低環境負荷型の太陽電池であると考えられ、活発に研究開発が行われている。   In recent years, a dye-sensitized solar cell, which is a type of photoelectric conversion device, does not require a vacuum device for its production, and thus is considered to be a low-cost, low-environmental load-type solar cell. Has been done.

従来の色素増感型太陽電池としては、例えば半導体を設けた第1の基板と導電膜が形成された第2の基板の周縁部を電解液が外部に漏れないようにガラスフリットで封止したものがある。そして、このような色素増感型太陽電池を用いてなる太陽電池モジュールは、複数の色素増感型太陽電池を平面的に並べ、隣接する色素増感型太陽電池のガラスフリット間に配された金属ワイヤを用いて電気的に接続されて構成されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2001−185244号公報
As a conventional dye-sensitized solar cell, for example, the periphery of a first substrate provided with a semiconductor and a second substrate on which a conductive film is formed is sealed with glass frit so that the electrolyte does not leak outside. There is something. A solar cell module using such a dye-sensitized solar cell has a plurality of dye-sensitized solar cells arranged in a plane and disposed between the glass frits of adjacent dye-sensitized solar cells. It is configured to be electrically connected using a metal wire (see, for example, Patent Document 1).
JP 2001-185244 A

しかしながら、特許文献1に開示されたモジュール構造では、隣接する色素増感型太陽電池を隣り合う各ガラスフリット間に配置された金属ワイヤで接続されているため、ガラスフリットおよび金属ワイヤが配されている発電に寄与しない領域が大きくなり、色素増感型太陽電池の単位あたりの光電変換効率が小さくなっていた。そのため、このような色素増感型太陽電池を接続してなる光電変換モジュールでは、同様に、光電変換効率が低下していた。   However, in the module structure disclosed in Patent Document 1, since adjacent dye-sensitized solar cells are connected by metal wires arranged between adjacent glass frits, the glass frit and the metal wires are arranged. The area that does not contribute to power generation has increased, and the photoelectric conversion efficiency per unit of the dye-sensitized solar cell has decreased. Therefore, in the photoelectric conversion module formed by connecting such a dye-sensitized solar cell, the photoelectric conversion efficiency is similarly reduced.

本発明は上記従来の技術における問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、光電変換効率を向上させた色素増感型の光電変換モジュールを提供することである。   The present invention has been completed in view of the above problems in the prior art, and an object thereof is to provide a dye-sensitized photoelectric conversion module with improved photoelectric conversion efficiency.

本発明の光電変換モジュールは、増感色素が担持された半導体層が形成された第1の導電層と、前記半導体層に対向するように配置された第2の導電層と、電解質を含んでなり、前記第1および第2の導電層の間に配置された光電変換体と、を有する第1および第2の光電変換素子を備えてなる光電変換モジュールであって、前記第1の光電変換素子の前記第1の導電層および前記第2の光電変換素子の第2の導電層は、複数の導電体で接合されてなり、前記複数の導電体は、前記第1および第2の光電変換素子のいずれかの前記光電変換体を介して互いに離間するように配置されていることを特徴とする。   The photoelectric conversion module of the present invention includes a first conductive layer on which a semiconductor layer carrying a sensitizing dye is formed, a second conductive layer disposed so as to face the semiconductor layer, and an electrolyte. A photoelectric conversion module comprising first and second photoelectric conversion elements having a photoelectric conversion body disposed between the first and second conductive layers, wherein the first photoelectric conversion The first conductive layer of the element and the second conductive layer of the second photoelectric conversion element are joined by a plurality of conductors, and the plurality of conductors are the first and second photoelectric conversions. The element is disposed so as to be separated from each other through the photoelectric conversion body of any one of the elements.

さらに、本発明において、前記導電体は、アルミニウム、クロム、ニッケル、コバルト、モリブデン、銅、及びチタンの少なくとも1種の導電性粒子を含むことが好ましい。   Furthermore, in the present invention, it is preferable that the conductor includes at least one conductive particle of aluminum, chromium, nickel, cobalt, molybdenum, copper, and titanium.

また、本発明において、前記導電体は、前記第1および第2の導電層との接合部を除く部位に保護材が形成されていることが好ましい。   In the present invention, it is preferable that a protective material is formed on a portion of the conductor excluding a joint portion with the first and second conductive layers.

さらに、本発明において、前記保護材は、透光性を有するガラスで形成されていることが好ましい。   Furthermore, in the present invention, it is preferable that the protective material is formed of glass having translucency.

また、本発明では、前記第1の光電変換素子の光電変換体と前記第2の光電変換素子の光電変換体とを同時に封止する封止部材と、該封止部材内に配され、前記各光電変換体同士を分離する壁部と、をさらに有することが好ましい。   In the present invention, a sealing member that simultaneously seals the photoelectric conversion body of the first photoelectric conversion element and the photoelectric conversion body of the second photoelectric conversion element, and disposed in the sealing member, It is preferable to further include a wall portion that separates the photoelectric converters.

本発明の光電変換モジュールによれば、第1の光電変換素子の第1の導電層と第2の光電変換素子の第2の導電層とが複数の導電体で接合されてなり、前記複数の導電体が、前記第1および第2の光電変換素子のいずれかの前記光電変換体を介して互いに離間するように配置されていることにより、導電層と導電体との接触面積を小さくし、第1および第2の導電層と接する光電変換体の接触領域を大きくすることができる。その結果、本発明によれば、各光電変換素子の発電領域を大きくすることができるため、光電変換効率を向上させることができる。   According to the photoelectric conversion module of the present invention, the first conductive layer of the first photoelectric conversion element and the second conductive layer of the second photoelectric conversion element are joined by a plurality of conductors, By disposing the conductor so as to be separated from each other via the photoelectric conversion body of the first and second photoelectric conversion elements, the contact area between the conductive layer and the conductor is reduced, The contact area of the photoelectric conversion body in contact with the first and second conductive layers can be increased. As a result, according to the present invention, since the power generation area of each photoelectric conversion element can be increased, the photoelectric conversion efficiency can be improved.

また、本発明において、前記導電体を、アルミニウム、クロム、ニッケル、コバルト、モリブデン、銅、及びチタンの少なくとも1種の導電性粒子を含むようにすれば、ヨウ素を含むような電解質に対して耐腐食性を高めることができるため、導電体の電解質による腐食を低減することができる。   In the present invention, if the conductor contains at least one kind of conductive particles of aluminum, chromium, nickel, cobalt, molybdenum, copper, and titanium, it is resistant to an electrolyte containing iodine. Since the corrosivity can be increased, the corrosion of the conductor due to the electrolyte can be reduced.

また、本発明において、前記導電体の前記第1および第2の導電層との接合部を除く部位に保護材を形成すれば、電解質に対する耐腐食性を容易に高めることができる。   Moreover, in this invention, if a protective material is formed in the site | part except the junction part with the said 1st and 2nd conductive layer of the said conductor, the corrosion resistance with respect to electrolyte can be improved easily.

さらに、本発明において、前記保護材を、透光性を有するガラスで形成すれば、上述した耐腐食性に加え、保護材部分においても光が透過できるため、光電変換体の発電領域をより大きくすることができる。   Furthermore, in the present invention, if the protective material is formed of a light-transmitting glass, in addition to the above-described corrosion resistance, light can also be transmitted through the protective material portion. can do.

また、本発明において、前記第1の光電変換素子の光電変換体と前記第2の光電変換素子の光電変換体とを同時に封止する封止部材と、該封止部材内に配され、前記各光電変換体同士を分離する壁部と、をさらに有するような構成とすれば、光電変換体の外部への漏れを低減するとともに、外部からの水蒸気の侵入を阻止でき、また、光電変換体それぞれを隔離することで、高電位がかかることを防止することができる。   In the present invention, a sealing member that simultaneously seals the photoelectric conversion body of the first photoelectric conversion element and the photoelectric conversion body of the second photoelectric conversion element, and disposed in the sealing member, If the configuration further includes a wall portion that separates the photoelectric converters, it is possible to reduce leakage to the outside of the photoelectric converter and to prevent water vapor from entering from the outside. By isolating each other, it is possible to prevent a high potential from being applied.

本発明の光電変換モジュールに係る実施の形態を、図1および図2に基づき以下に詳細に説明する。各図において同一部材については、同一符号を付し説明を省略するものとする。また、図2は、光電変換モジュールの内部の様子がわかりやすいように表基板側および多孔質の半導体層は省いて描いている。   Embodiments according to the photoelectric conversion module of the present invention will be described below in detail with reference to FIGS. 1 and 2. In the drawings, the same members are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. FIG. 2 is drawn with the front substrate side and the porous semiconductor layer omitted so that the inside of the photoelectric conversion module can be easily understood.

図1は、本発明の一実施形態に係る光電変換モジュールを示す断面図である。図2は、本発明の一実施形態に係る光電変換モジュールを示す平面図である。なお、図1は、図2のX−Xにおける断面図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a photoelectric conversion module according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing a photoelectric conversion module according to an embodiment of the present invention. 1 is a cross-sectional view taken along line XX in FIG.

本発明の実施形態に係る光電変換モジュール1は、透光性基板2、該透光性基板2上に設けられた透明導電層等から成る第2の透光性導電層3(以下、単に第2の導電層ともいう)、非晶質シリコン層12、中間層13、触媒層14、対極側基板9、該対極側基板9上に設けられた、第2の透光性導電層3と対極になる第1の導電層7、該第1の導電層7上に形成された、増感色素(以下、色素ともいう)4を吸着(担持)した半導体層5、を有する。そして、光電変換モジュールでは、第2の透光性導電層3と第1の導電層7とが対向するように配置されており、第2の透光性導電層3と第1の導電層7との間に、電解質を含んでなる光電変換体6が配されるとともに、該光電変換体6を封止するように、透光性基板2及び対極側基板9の外周部に封止部材10が配置されている。   A photoelectric conversion module 1 according to an embodiment of the present invention includes a translucent substrate 2, a second translucent conductive layer 3 (hereinafter simply referred to as a first translucent conductive layer 3) including a transparent conductive layer provided on the translucent substrate 2. 2), the amorphous silicon layer 12, the intermediate layer 13, the catalyst layer 14, the counter electrode side substrate 9, the second translucent conductive layer 3 and the counter electrode provided on the counter electrode side substrate 9. A first conductive layer 7 to be formed, and a semiconductor layer 5 formed on the first conductive layer 7 and adsorbing (supporting) a sensitizing dye (hereinafter also referred to as a dye) 4. In the photoelectric conversion module, the second light-transmitting conductive layer 3 and the first conductive layer 7 are arranged to face each other, and the second light-transmitting conductive layer 3 and the first conductive layer 7 are disposed. Between the transparent substrate 2 and the counter electrode side substrate 9 so as to seal the photoelectric conversion body 6 and the sealing member 10 so as to seal the photoelectric conversion body 6. Is arranged.

また、図1において、光電変換モジュール1は、透光性基板2及び対極側基板9の内側において、面方向に、第1の導電層7、非晶質シリコン層12、中間層13、光電変換体6、多孔質の半導体層5及び第2の導電層3より成る光電変換素子を2つ備えている(第1の光学変換素子1aおよび第2の光学変換素子1b)。なお、図1は、光電変換モジュール1の一部を示すものであり、対になっている光学変換素子が複数接続してあるものも、本発明に含まれる。   In FIG. 1, the photoelectric conversion module 1 includes a first conductive layer 7, an amorphous silicon layer 12, an intermediate layer 13, a photoelectric conversion in the plane direction inside the translucent substrate 2 and the counter electrode side substrate 9. Two photoelectric conversion elements each including the body 6, the porous semiconductor layer 5 and the second conductive layer 3 are provided (first optical conversion element 1a and second optical conversion element 1b). FIG. 1 shows a part of the photoelectric conversion module 1, and a structure in which a plurality of paired optical conversion elements are connected is also included in the present invention.

さらに、光電変換モジュール1では、図1および図2に示すように、第1の光電変換素子1aの第2の透光性導電層3と第2の光電変換素子1bの第1の導電層7とが複数の導電体8で接合されてなり、この複数の導電体8が光電変換体6の一部を介して互いに離間するように配置されている。そのため、光電変換モジュール1では、導電層と導電体8との接触面積を小さくし、第1および第2の導電層と接する光電変換体6の接触領域を大きくすることができる。その結果、本発明によれば、各光電変換素子1a、1bの発電領域を大きくすることができるため、光電変換効率を向上させることができる。   Further, in the photoelectric conversion module 1, as shown in FIGS. 1 and 2, the second light-transmissive conductive layer 3 of the first photoelectric conversion element 1a and the first conductive layer 7 of the second photoelectric conversion element 1b are used. Are joined by a plurality of conductors 8, and the plurality of conductors 8 are arranged so as to be separated from each other through a part of the photoelectric conversion body 6. Therefore, in the photoelectric conversion module 1, the contact area between the conductive layer and the conductor 8 can be reduced, and the contact area of the photoelectric converter 6 in contact with the first and second conductive layers can be increased. As a result, according to the present invention, the power generation area of each of the photoelectric conversion elements 1a and 1b can be increased, so that the photoelectric conversion efficiency can be improved.

また、光電変換モジュール1において、導電体8は、第1および第2の導電層との接合部を除く部位に保護材15が形成されており、さらに、光電変換素子1aと光電変換素子1bとが壁部16で分離されている。   Moreover, in the photoelectric conversion module 1, the conductor 8 is formed with a protective material 15 at a portion excluding the junction with the first and second conductive layers, and further, the photoelectric conversion element 1a and the photoelectric conversion element 1b Are separated by a wall 16.

次に、光電変換モジュール1の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the photoelectric conversion module 1 will be described.

まず、透光性基板2上に第2の透光性導電層3、非晶質シリコン層12、中間層13がこの順で一体的に積層された積層体を形成する。第2の透光性導電層3、非晶質シリコン層12、および中間層13は、例えば熱CVD法、プラズマCVD法、スパッタ法などで形成される。次に、対極側基板9上に、例えばスパッタ法により、第1の導電層7を形成する。次いで、多孔質の半導体層5を焼結させた後、半導体層5に色素4を吸着させ、第1の光電変換素子1aの第2の透光性導電層3と第2の光電変換素子1bの第1の導電層7を、複数の導電体8を介して電気的に接続する。次いで、透光性基板2と対極側基板9の周縁部を樹脂やガラス等から成る封止部材10で接合して封止し、導電体8の周囲に保護材15形成する。最後に、封止部材10等に形成された貫通孔11から光電変換体の一部となる電解質の溶液を注入して多孔質の半導体層5に浸透させることによって、光電変換モジュールが製造される。   First, a laminated body in which the second translucent conductive layer 3, the amorphous silicon layer 12, and the intermediate layer 13 are integrally laminated in this order on the translucent substrate 2 is formed. The second light-transmissive conductive layer 3, the amorphous silicon layer 12, and the intermediate layer 13 are formed by, for example, a thermal CVD method, a plasma CVD method, a sputtering method, or the like. Next, the first conductive layer 7 is formed on the counter electrode side substrate 9 by sputtering, for example. Next, after the porous semiconductor layer 5 is sintered, the dye 4 is adsorbed on the semiconductor layer 5, and the second light-transmissive conductive layer 3 and the second photoelectric conversion element 1 b of the first photoelectric conversion element 1 a. The first conductive layer 7 is electrically connected through a plurality of conductors 8. Next, the peripheral portions of the translucent substrate 2 and the counter electrode side substrate 9 are joined and sealed with a sealing member 10 made of resin, glass, or the like, and a protective material 15 is formed around the conductor 8. Finally, a photoelectric conversion module is manufactured by injecting an electrolyte solution that becomes a part of the photoelectric conversion body from the through-hole 11 formed in the sealing member 10 and the like and infiltrating the porous semiconductor layer 5. .

次に、上述した光電変換モジュール1を構成する各要素について詳細に説明する。   Next, each element which comprises the photoelectric conversion module 1 mentioned above is demonstrated in detail.

<透光性基板>
透光性基板2は、第2の透光性導電層3を支持する機能を有している。透光性基板2の材料としては、例えば白板ガラス、ソーダガラス、硼珪酸ガラス等のガラス、セラミックス等の無機材料、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、アクリル、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリイミド等の樹脂材料、有機無機ハイブリッド材料等がよい。具体的に、透光性基板2を厚み0.7mmの白板ガラスで構成する場合は、400〜1100nmの波長範囲で92%以上の光透過率であることが好ましい。また、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)で構成された透光性基板2は、可視光で約90%程度の光透過率であり、好適な光透過率としては少なくとも可視光の波長範囲で90%以上の光透過率を有するものであればよい。
<Translucent substrate>
The translucent substrate 2 has a function of supporting the second translucent conductive layer 3. Examples of the material of the translucent substrate 2 include glass such as white plate glass, soda glass, borosilicate glass, inorganic materials such as ceramics, polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), acrylic, polyethylene naphthalate (PEN), A resin material such as polyimide or an organic-inorganic hybrid material is preferable. Specifically, when the translucent substrate 2 is made of white plate glass having a thickness of 0.7 mm, the light transmittance is preferably 92% or more in a wavelength range of 400 to 1100 nm. The translucent substrate 2 made of polyethylene terephthalate (PET) or polycarbonate (PC) has a light transmittance of about 90% for visible light, and a suitable light transmittance is at least the wavelength range of visible light. It is sufficient if it has a light transmittance of 90% or more.

<第2の導電層>
第2の導電層3としては、弗素や金属をドープした金属酸化物の透明導電層が利用できる。この中で熱CVD法により形成したフッ素ドープの二酸化スズ膜(SnO:F膜)は、耐熱性という観点で好適である。また、低温成長のスパッタリング法や低温スプレー熱分解法で形成したスズドープ酸化インジウム膜(ITO膜)や不純物ドープの酸化インジウム膜(In膜)は、低抵抗を得ることができるという観点で好適である。また、溶液成長法で形成した不純物ドープの酸化亜鉛膜(ZnO膜)であれば、高価な設備を用いることなく形成することができるという観点で好適である。なお、第1の導電層7としては、上述した材料を種々の組合せで積層して用いてもよい。また、第1の導電層7を透明導電層とする場合には、Ti層、ITO層、Ti層を順次積層したものとすれば、密着性と耐食性を高めた積層膜とすることができる。このような透明導電層の厚みは、高い導電性と高い光透過性を維持するという点で0.001〜10μm、好ましくは0.05〜2.0μmがよい。
<Second conductive layer>
As the second conductive layer 3, a transparent conductive layer of metal oxide doped with fluorine or metal can be used. Among these, a fluorine-doped tin dioxide film (SnO 2 : F film) formed by a thermal CVD method is suitable from the viewpoint of heat resistance. In addition, a tin-doped indium oxide film (ITO film) or an impurity-doped indium oxide film (In 2 O 3 film) formed by a low-temperature growth sputtering method or a low-temperature spray pyrolysis method can achieve low resistance. Is preferred. Further, an impurity-doped zinc oxide film (ZnO film) formed by a solution growth method is preferable from the viewpoint that it can be formed without using expensive equipment. Note that the first conductive layer 7 may be formed by stacking the above-described materials in various combinations. Further, when the first conductive layer 7 is a transparent conductive layer, a laminated film with improved adhesion and corrosion resistance can be obtained by sequentially laminating a Ti layer, an ITO layer, and a Ti layer. The thickness of such a transparent conductive layer is 0.001 to 10 [mu] m, preferably 0.05 to 2.0 [mu] m from the viewpoint of maintaining high conductivity and high light transmittance.

また、透明導電層の他の成膜法として、真空蒸着法、イオンプレーティング法、ディップコート法、ゾルゲル法等がある。これらの膜成長によって、透明導電層の表面に入射光の波長オーダーの凹凸を形成するとよく、光閉じ込め効果を付与できる。   Other film forming methods for the transparent conductive layer include a vacuum deposition method, an ion plating method, a dip coating method, and a sol-gel method. By these film growths, it is preferable to form irregularities in the wavelength order of incident light on the surface of the transparent conductive layer, and a light confinement effect can be imparted.

また、第2の導電層3は、金、パラジウム、チタン、アルミニウム、ステンレススチール、銀、銅、ニッケル等から成る薄膜で形成される場合、例えば真空蒸着法やスパッタリング法で形成できる。さらに、第2の導電層7は、上述したような金属層上に、光電変換体6の電解質による腐食防止のためにSnO:F層等の透明導電層(不純物ドープの金属酸化物層)等を金属から成る透光性基板2上に形成してもよい。 Further, when the second conductive layer 3 is formed of a thin film made of gold, palladium, titanium, aluminum, stainless steel, silver, copper, nickel or the like, it can be formed by, for example, a vacuum evaporation method or a sputtering method. Further, the second conductive layer 7 is a transparent conductive layer (impurity-doped metal oxide layer) such as a SnO 2 : F layer on the metal layer as described above for preventing corrosion due to the electrolyte of the photoelectric conversion body 6. Or the like may be formed on the translucent substrate 2 made of metal.

<非晶質シリコン層>
非晶質シリコン層12は、薄膜型非晶質シリコン半導体層等の薄膜光電変換体層で形成されるのが好適である。より具体的には、第2の導電層3上に形成された第1導電型非晶質シリコン半導体層と、第1導電型非晶質シリコン半導体層上に形成された真性型非晶質シリコン半導体層と、真性型非晶質シリコン半導体層上に形成された第2導電型非晶質シリコン半導体層とから成る。この場合、非晶質シリコン層12のバンドギャップが1.8eVとなり、非晶質シリコン層30が波長650nm以上の長波長光を吸収しないため、長波長光を透過させることができ、色素増感型光電変換体との積層構造(タンデム構造)に適したものとなる。
<Amorphous silicon layer>
The amorphous silicon layer 12 is preferably formed of a thin film photoelectric conversion layer such as a thin film type amorphous silicon semiconductor layer. More specifically, a first conductive type amorphous silicon semiconductor layer formed on the second conductive layer 3 and an intrinsic type amorphous silicon formed on the first conductive type amorphous silicon semiconductor layer. The semiconductor layer includes a semiconductor layer and a second conductivity type amorphous silicon semiconductor layer formed on the intrinsic type amorphous silicon semiconductor layer. In this case, the band gap of the amorphous silicon layer 12 is 1.8 eV, and since the amorphous silicon layer 30 does not absorb long wavelength light having a wavelength of 650 nm or more, it can transmit long wavelength light, and dye sensitization. It becomes suitable for the laminated structure (tandem structure) with the type photoelectric converter.

真性型非晶質シリコン半導体層が非晶質である場合は、第1導電型非晶質シリコン半導体層と第2導電型非晶質シリコン半導体層の少なくとも一方が、微結晶を有するもの、または水素化アモルファスシリコン合金系の層であってもよい。例えば、光入射側の第1導電型非晶質シリコン半導体層は、水素化アモルファスシリコンカーバイドから成るものが、透光性を高めることができ、光の損失が少ないため、より好ましい。   When the intrinsic type amorphous silicon semiconductor layer is amorphous, at least one of the first conductive type amorphous silicon semiconductor layer and the second conductive type amorphous silicon semiconductor layer has microcrystals, or It may be a hydrogenated amorphous silicon alloy-based layer. For example, the first conductivity type amorphous silicon semiconductor layer on the light incident side is more preferably made of hydrogenated amorphous silicon carbide because it can improve the light-transmitting property and reduce the loss of light.

また、第1導電型非晶質シリコン半導体層、真性型非晶質シリコン半導体層、第2導電型非晶質シリコン半導体層は、化学気相成長法によりそれぞれの製膜条件で連続堆積することができる。   Further, the first conductive type amorphous silicon semiconductor layer, the intrinsic type amorphous silicon semiconductor layer, and the second conductive type amorphous silicon semiconductor layer are continuously deposited under the respective film forming conditions by chemical vapor deposition. Can do.

例えば、第1導電型非晶質シリコン半導体層がp型a−Si:H(Hドープアモルファスシリコン)層であり、成膜する場合、原料ガスとしてSiH4ガス、H2ガス、B26ガス(H2で500ppmに希釈したもの)を用い、これらのガスの流量をそれぞれ最適化する。また、p型a−Si:H層の厚みは50Å〜200Åの範囲がよく、より好適には80Å〜120Åがよい。50Åより薄いと、非晶質シリコン層12に内部電界が形成できず、200Åより厚いと、光損失が増える。 For example, the first conductivity type amorphous silicon semiconductor layer is a p-type a-Si: H (H-doped amorphous silicon) layer, and in the case of film formation, SiH 4 gas, H 2 gas, B 2 H 6 are used as source gases. Gases (those diluted to 500 ppm with H 2 ) are used, and the flow rates of these gases are optimized. The thickness of the p-type a-Si: H layer is preferably in the range of 50 to 200 mm, more preferably 80 to 120 mm. If the thickness is less than 50 mm, an internal electric field cannot be formed in the amorphous silicon layer 12, and if the thickness is more than 200 mm, the optical loss increases.

また、例えば、真性型非晶質シリコン半導体層がi型a−Si:H層で成膜する場合は、原料ガスとしてSiH4ガス、H2ガスを用い、これらのガスの流量を最適化する。i型a−Si:H層の厚みは500Å〜10000Å(0.05μm〜1μm)の範囲がよく、より好適には2000Å〜8000Å(0.2μm〜0.8μm)がよい。2000Åより薄いと、充分な光電流が得られず、8000Åより厚いと、後側の色素増感型の光電変換体6に光を透過させることが難しくなる。 Further, for example, when the intrinsic type amorphous silicon semiconductor layer is formed as an i-type a-Si: H layer, SiH 4 gas and H 2 gas are used as source gases, and the flow rates of these gases are optimized. . The thickness of the i-type a-Si: H layer is preferably in the range of 500 to 10000 (0.05 μm to 1 μm), more preferably 2000 to 8000 (0.2 μm to 0.8 μm). If the thickness is less than 2000 mm, sufficient photocurrent cannot be obtained. If the thickness is more than 8000 mm, it is difficult to transmit light to the dye-sensitized photoelectric conversion body 6 on the rear side.

また、例えば、第2導電型非晶質シリコン半導体層がn型a−Si:H層で成膜する場合は、原料ガスとしてSiH4ガス、H2ガス、PH3ガス(H2で1000ppmに希釈したもの)を用い、これらのガスの流量をそれぞれ最適化する。n型a−Si:H層の厚みは50Å〜200Åの範囲がよく、より好適には80Å〜120Åがよい。50Åより薄いと、非晶質シリコン層12に内部電界が形成できず、200Åより厚いと、光損失が増える。 Further, for example, when the second conductive type amorphous silicon semiconductor layer is formed as an n-type a-Si: H layer, SiH 4 gas, H 2 gas, PH 3 gas (H 2 to 1000 ppm) is used as a source gas. The flow rate of these gases is optimized respectively. The thickness of the n-type a-Si: H layer is preferably in the range of 50 to 200 mm, more preferably 80 to 120 mm. If the thickness is less than 50 mm, an internal electric field cannot be formed in the amorphous silicon layer 12, and if the thickness is more than 200 mm, the optical loss increases.

第1導電型非晶質シリコン半導体層、真性型非晶質シリコン半導体層、第2導電型非晶質シリコン半導体層を形成する際の透光性基板2の温度は、何れの層の場合にも150℃〜300℃の範囲がよく、より好適には180℃〜240℃がよい。   The temperature of the translucent substrate 2 when forming the first conductive type amorphous silicon semiconductor layer, the intrinsic type amorphous silicon semiconductor layer, and the second conductive type amorphous silicon semiconductor layer is the temperature of any layer. Is preferably in the range of 150 ° C to 300 ° C, more preferably 180 ° C to 240 ° C.

一方、非晶質シリコン太陽電池と色素増感太陽電池のタンデムに限らず、非晶質シリコンカーバイド層、非晶質窒化シリコン層を設けるだけもよい。非晶質シリコンカーバイド層、非晶質窒化シリコン層のバンドギャップは、2.2eVであるので、薄膜でも紫外光は充分に吸収され、色素増感光電変換素子に紫外光が入射するのを抑制することができる。   On the other hand, not only the tandem of an amorphous silicon solar cell and a dye-sensitized solar cell, but also an amorphous silicon carbide layer and an amorphous silicon nitride layer may be provided. Since the band gap of the amorphous silicon carbide layer and the amorphous silicon nitride layer is 2.2 eV, the ultraviolet light is sufficiently absorbed even in the thin film, and the ultraviolet light is prevented from entering the dye-sensitized photoelectric conversion element. can do.

<中間層>
中間層13は、非晶質シリコン層12上に形成される。中間層13は、酸化インジウム層、酸化錫層及び酸化インジウム錫(ITO)層、Nbドープ酸化チタン層のうちの少なくとも1層を含むものがよく、より具体的にはITO層、酸化錫層等から成り、CVD法、スパッタリング法、スプレー法等によって形成される。また、ITO層、酸化錫層等の上に有機導電層等を積層したものであっても良い。
<Intermediate layer>
The intermediate layer 13 is formed on the amorphous silicon layer 12. The intermediate layer 13 may include at least one of an indium oxide layer, a tin oxide layer, an indium tin oxide (ITO) layer, and an Nb-doped titanium oxide layer, and more specifically, an ITO layer, a tin oxide layer, and the like. And formed by a CVD method, a sputtering method, a spray method or the like. Further, an organic conductive layer or the like may be laminated on an ITO layer, a tin oxide layer, or the like.

中間層13の厚みは、0.05〜0.15μm程度であり、好ましくは、0.08〜0.12μmがよい。0.05μm未満では、中間層13による光透過率向上のピークが非晶質シリコン層12で吸収される光の波長に近くになるため、色素増感型光電変換体側へ透過する700nm以上の長波長光の透過率を増大させる効果が小さくなる。また、0.15μmを超えると、中間層13による透過率向上のピークが、色素14で吸収される光の波長900nm程度を超えるため、色素増感型光電変換素子の発電に有効な波長域の光を増大させる効果が小さくなる。なお、中間層13の上記の厚みの範囲は、非晶質シリコン層12の屈折率が3.5程度、ITO等から成る中間層13の屈折率が1.9程度の場合に、特に有効である。   The intermediate layer 13 has a thickness of about 0.05 to 0.15 μm, preferably 0.08 to 0.12 μm. If the thickness is less than 0.05 μm, the peak of light transmittance improvement by the intermediate layer 13 is close to the wavelength of light absorbed by the amorphous silicon layer 12, so that the length of 700 nm or more that transmits to the dye-sensitized photoelectric converter side The effect of increasing the transmittance of wavelength light is reduced. Further, if it exceeds 0.15 μm, the peak of transmittance improvement by the intermediate layer 13 exceeds the wavelength of about 900 nm of the light absorbed by the dye 14, so that the wavelength region effective for power generation of the dye-sensitized photoelectric conversion element is exceeded. The effect of increasing light is reduced. The range of the thickness of the intermediate layer 13 is particularly effective when the refractive index of the amorphous silicon layer 12 is about 3.5 and the refractive index of the intermediate layer 13 made of ITO or the like is about 1.9. is there.

<触媒層>
触媒層14は、中間層13上に複数の島状に形成されるが、その厚みは0.5〜20nm程度がよい。0.5nm未満では、島状の触媒層14同士の間の距離が離れすぎて、触媒効果が得られにくくなる。20nmを超えると、透過光量が低下するとともに、非晶質シリコン層12の全面がPt等から成る触媒層(金属層)14で被覆されるため、電解質と非晶質シリコン層12との短絡を回避する効果が低減される場合がある。触媒層14は、スパッタリング法等によって形成されるが、複数の島状に形成するには、上記のように、極めて薄い厚みに形成するにとどめるという操作を行って実現することができる。
<Catalyst layer>
The catalyst layer 14 is formed in a plurality of islands on the intermediate layer 13, and the thickness is preferably about 0.5 to 20 nm. If the thickness is less than 0.5 nm, the distance between the island-shaped catalyst layers 14 is too large, and it becomes difficult to obtain a catalytic effect. When the thickness exceeds 20 nm, the amount of transmitted light decreases and the entire surface of the amorphous silicon layer 12 is covered with a catalyst layer (metal layer) 14 made of Pt or the like, so that a short circuit between the electrolyte and the amorphous silicon layer 12 is prevented. The effect to avoid may be reduced. The catalyst layer 14 is formed by a sputtering method or the like. However, in order to form a plurality of islands, it can be realized by performing an operation of forming an extremely thin thickness as described above.

触媒層14は、白金、パラジウム、ロジウム、カーボンまたはポリチオフェンから成ることが好ましい。上述した材料で構成された触媒層14は、電解質と非晶質シリコン層12との電荷のやり取りをより容易にすることができ、過電圧(光電変換装置の駆動の初期に印加する電圧)をより小さくすることができる。また、中間層13が導電性を有することから、色素増感光電変換素子と同じセル内に非晶質シリコン層12を組み込んでも、電解質内で余分な電界が発生して触媒層14が剥離等を起こすことを抑制することができる。その結果、このような形態によれば、触媒層14の信頼性を高くして、色素増感光電変換素子と同じセル内に非晶質シリコン層12を組み込むことができる。   The catalyst layer 14 is preferably made of platinum, palladium, rhodium, carbon or polythiophene. The catalyst layer 14 made of the above-described material can facilitate the exchange of charges between the electrolyte and the amorphous silicon layer 12, and can further increase the overvoltage (voltage applied at the initial stage of driving the photoelectric conversion device). Can be small. Further, since the intermediate layer 13 has conductivity, even if the amorphous silicon layer 12 is incorporated in the same cell as the dye-sensitized photoelectric conversion element, an extra electric field is generated in the electrolyte, and the catalyst layer 14 is peeled off. Can be suppressed. As a result, according to such an embodiment, the reliability of the catalyst layer 14 can be increased, and the amorphous silicon layer 12 can be incorporated in the same cell as the dye-sensitized photoelectric conversion element.

<対極側基板>
対極側基板9は、半導層5が形成された第1の導電層7および光電変換体6を支持する機能をする。対極側基板9の材質は特に限定されるものではないが、電解質への耐腐食性に優れた材料を選択すると好適である。このような対極側基板9の材料としては、例えば白板ガラス、ソーダガラス、硼珪酸ガラス等のガラス、セラミックス等の無機材料、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、アクリル樹脂、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリイミド等の樹脂材料、有機無機ハイブリッド材料等がよい。また、対極側基板9の表裏で電気的接続を確保するために、対極側基板9の周囲にチタン、ステンレススチール、アルミニウム、銀、銅、ニッケル等からなる導電層を被覆するとよい。
<Counter electrode substrate>
The counter electrode side substrate 9 functions to support the first conductive layer 7 and the photoelectric conversion body 6 on which the semiconductor layer 5 is formed. The material of the counter electrode side substrate 9 is not particularly limited, but it is preferable to select a material having excellent corrosion resistance to the electrolyte. Examples of the material for the counter electrode side substrate 9 include glass such as white plate glass, soda glass, borosilicate glass, inorganic materials such as ceramics, polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), acrylic resin, polyethylene naphthalate ( PEN), a resin material such as polyimide, and an organic-inorganic hybrid material are preferable. In order to secure electrical connection between the front and back surfaces of the counter electrode side substrate 9, a conductive layer made of titanium, stainless steel, aluminum, silver, copper, nickel, or the like may be coated around the counter electrode side substrate 9.

また、対極側基板9が透光性を有するものであれば、対極側基板9側から入射される光も光電変換に寄与することができるようになるため、光電変換効率向上という観点で好適である。このような透光性を有する対極側基板9としては、少なくとも可視光の波長範囲において高い光透過性を有するものが好ましく、より好適な光透過率としては少なくとも可視光の波長範囲で90%以上の光透過率を有するものがよい。具体的に、例えば厚み0.7mmの白板ガラスの基板の場合は、400〜1100nmの波長範囲で92%以上の光透過率であり、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)の基板の場合、可視光で約90%程度の光透過率を有するため好適である。   Further, if the counter electrode side substrate 9 has translucency, light incident from the counter electrode side substrate 9 side can also contribute to photoelectric conversion, which is preferable from the viewpoint of improving photoelectric conversion efficiency. is there. As the counter electrode side substrate 9 having such translucency, those having high light transmissivity at least in the wavelength range of visible light are preferable, and more preferable light transmissivity is at least 90% or more in the wavelength range of visible light. Those having a light transmittance of Specifically, for example, in the case of a white glass substrate having a thickness of 0.7 mm, the light transmittance is 92% or more in the wavelength range of 400 to 1100 nm, and in the case of a substrate of polyethylene terephthalate (PET) or polycarbonate (PC), It is suitable because it has a light transmittance of about 90% in visible light.

さらに、対極側基板9は、光電変換モジュール1内に充分な量の電解質を有する光電変換体6を保持する機能も備えているため、その厚みは機械的強度及びコストの点で0.5〜50mm、好ましくは1〜20mmがよい。   Further, since the counter electrode side substrate 9 also has a function of holding the photoelectric conversion body 6 having a sufficient amount of electrolyte in the photoelectric conversion module 1, the thickness thereof is 0.5 to 0.5 in terms of mechanical strength and cost. The thickness is 50 mm, preferably 1 to 20 mm.

<第1の導電層>
第1の導電層7は、半導体層5および光電変換体6で発電された電流を取り出す機能を有し、対極側基板9上に形成される。
<First conductive layer>
The first conductive layer 7 has a function of extracting a current generated by the semiconductor layer 5 and the photoelectric conversion body 6, and is formed on the counter electrode side substrate 9.

第1の導電層7としては、触媒機能を有する白金、カーボン等の極薄膜がよい。他に、金(Au)、パラジウム(Pd)、アルミニウム(Al)等の極薄膜を電析したものが挙げられる。また、これらの材料の微粒子等から成る多孔質膜、例えばカーボン微粒子の多孔質膜等が、第2の導電層3の表面積が増え、気孔部に電解質の溶液を含有させることができ、変換効率を高めることができる。触媒層は薄くて済むので、透光性とすることもできる。   The first conductive layer 7 is preferably a very thin film such as platinum or carbon having a catalytic function. In addition, an electrodeposited ultrathin film such as gold (Au), palladium (Pd), and aluminum (Al) can be used. In addition, a porous film made of fine particles of these materials, for example, a porous film of carbon fine particles can increase the surface area of the second conductive layer 3 and can contain an electrolyte solution in the pores, thereby converting the conversion efficiency. Can be increased. Since the catalyst layer can be thin, it can also be made translucent.

また、第1の導電層7は、非透光性、透光性に限られることなく、用途に応じて種々の形態を利用できる。非透光性の導電層の材料としては、チタン、ステンレススチール、アルミニウム、銀、銅、金、ニッケル、モリブデン等がよい。また、カーボンや金属の微粒子や微細線を含浸させた樹脂、導電性樹脂等でもよい。光反射性が高い非透光性の導電層の材料としては、アルミニウム、銀、銅、ニッケル、チタン、ステンレススチール等の光沢のある金属薄膜を単独で形成したもの、あるいは電解質による腐食防止のために不純物ドープの金属酸化物から成る膜を光沢のある金属薄膜上に被覆したものがよい。また他の導電膜として、Ti層、Al層、Ti層を順次積層し、密着性や耐食性や光反射性を高めた多層積層体等からなるのがよい。これらの導電膜は、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法、電解析出法等で形成できる。   Moreover, the 1st conductive layer 7 can utilize various forms according to a use, without being restricted to non-light-transmitting property and translucency. As a material for the non-light-transmitting conductive layer, titanium, stainless steel, aluminum, silver, copper, gold, nickel, molybdenum, or the like is preferable. Further, a resin or conductive resin impregnated with fine particles or fine wires of carbon or metal may be used. Non-translucent conductive layer material with high light reflectivity is made of a single metallic thin film such as aluminum, silver, copper, nickel, titanium, stainless steel, or to prevent corrosion caused by electrolytes. Further, a film made of a metal oxide doped with impurities is preferably coated on a glossy metal thin film. In addition, as another conductive film, a Ti layer, an Al layer, and a Ti layer are sequentially stacked, and it is preferable that the conductive film is formed of a multilayer stacked body that has improved adhesion, corrosion resistance, and light reflectivity. These conductive films can be formed by a vacuum deposition method, an ion plating method, a sputtering method, an electrolytic deposition method, or the like.

透光性を有する導電層としては、低温膜成長法のスパッタリング法や低温スプレー熱分解法で形成した、スズドープ酸化インジウム膜(ITO膜)、不純物ドープの酸化インジウム膜(In膜)、不純物ドープの酸化スズ膜(SnO膜)、不純物ドープの酸化亜鉛膜(ZnO膜)等がよい。また、熱CVD法で形成したフッ素ドープの二酸化スズ膜(SnO:F膜)等は低コストでよい。また、Ti層、ITO層、Ti層を順次積層した密着性を高めた積層体でもよい。他には、簡便な溶液成長法で形成した不純物ドープの酸化亜鉛膜(ZnO膜)等でもよい。 As the light-transmitting conductive layer, a tin-doped indium oxide film (ITO film), an impurity-doped indium oxide film (In 2 O 3 film), formed by a sputtering method of a low-temperature film growth method or a low-temperature spray pyrolysis method, An impurity-doped tin oxide film (SnO 2 film), an impurity-doped zinc oxide film (ZnO film), or the like is preferable. Further, a fluorine-doped tin dioxide film (SnO 2 : F film) or the like formed by a thermal CVD method may be inexpensive. Moreover, the laminated body which improved the adhesiveness which laminated | stacked Ti layer, ITO layer, and Ti layer one by one may be sufficient. In addition, an impurity-doped zinc oxide film (ZnO film) formed by a simple solution growth method may be used.

これらの膜の他の成膜法として、真空蒸着法、イオンプレーティング法、ディップコート法、ゾルゲル法等がある。これらの成膜法によって入射光の波長オーダーの表面凹凸を導電層に形成すると光閉じ込め効果を付与できる。また、真空蒸着法やスパッタリング法等で形成した透光性を有するAu、Pd、Al等の薄い金属膜でもよい。透光性を有する導電層の厚みは、高い導電性と高い光透過性を確保するという観点で、0.001〜10μmがよい。   As other film forming methods of these films, there are a vacuum deposition method, an ion plating method, a dip coating method, a sol-gel method, and the like. By forming surface irregularities in the wavelength order of incident light on the conductive layer by these film forming methods, a light confinement effect can be imparted. Further, a thin metal film such as Au, Pd, or Al having translucency formed by a vacuum deposition method or a sputtering method may be used. The thickness of the light-transmitting conductive layer is preferably 0.001 to 10 μm from the viewpoint of ensuring high conductivity and high light transmittance.

ここで、第2の導電層3及び対極側基板9が透光性を有する場合、光電変換モジュール1の主面のどちらの面からでも光を入射させることができるので、両主面側から光を入射させて変換効率を高めることができる。   Here, when the second conductive layer 3 and the counter electrode side substrate 9 have translucency, light can be incident from either side of the main surface of the photoelectric conversion module 1, so that light can be incident from both main surface sides. Can increase the conversion efficiency.

<半導体層>
半導体層5は、図1に示すように、第1の導電層7上に形成されており、多孔質で構成されている。このような多孔質の半導体層5の材料や組成としては、酸化チタン(TiO)が最適であり、他の材料としては、チタン(Ti)、亜鉛(Zn)、スズ(Sn)、ニオブ(Nb)、インジウム(In)、イットリウム(Y)、ランタン(La)、ジルコニウム(Zr)、タンタル(Ta)、ハフニウム(Hf)、ストロンチウム(Sr)、バリウム(Ba)、カルシウム(Ca)、バナジウム(V)、タングステン(W)等の金属元素の少なくとも1種以上の金属酸化物半導体がよく、また窒素(N)、炭素(C)、弗素(F)、硫黄(S)、塩素(Cl)、リン(P)等の非金属元素の1種以上を含有していてもよい。酸化チタン等はいずれも電子エネルギーバンドギャップが可視光のエネルギーより大きい2〜5eVの範囲にあり、好ましい。また、多孔質の半導体層5は、電子エネルギー準位においてその伝導帯が色素4の伝導帯よりも低いn型半導体がよい。
<Semiconductor layer>
As shown in FIG. 1, the semiconductor layer 5 is formed on the first conductive layer 7 and is porous. As the material and composition of the porous semiconductor layer 5, titanium oxide (TiO 2 ) is optimal, and as other materials, titanium (Ti), zinc (Zn), tin (Sn), niobium ( Nb), indium (In), yttrium (Y), lanthanum (La), zirconium (Zr), tantalum (Ta), hafnium (Hf), strontium (Sr), barium (Ba), calcium (Ca), vanadium ( V), a metal oxide semiconductor of at least one of metal elements such as tungsten (W), and nitrogen (N), carbon (C), fluorine (F), sulfur (S), chlorine (Cl), One or more kinds of nonmetallic elements such as phosphorus (P) may be contained. Titanium oxide or the like is preferable because it has an electron energy band gap in the range of 2 to 5 eV, which is larger than the energy of visible light. The porous semiconductor layer 5 is preferably an n-type semiconductor whose conduction band is lower than that of the dye 4 in the electron energy level.

また、半導体層5を酸化チタンで形成する場合は、以下のようにして形成される。まず、TiOのアナターゼ粉末にアセチルアセトンを添加した後、脱イオン水とともに混練し、界面活性剤で安定化させた酸化チタンのペーストを作製する。作製したペーストをドクターブレード法やバーコート法等で基板2上の第1の導電層7上に一定速度で塗布し、大気中で300〜600℃、好適には400〜500℃で、10〜60分、好適には20〜40分加熱処理することにより、多孔質の半導体層5を形成する。この手法は簡便であり、好ましい。 Moreover, when forming the semiconductor layer 5 with a titanium oxide, it forms as follows. First, acetylacetone is added to TiO 2 anatase powder, and then kneaded with deionized water to prepare a titanium oxide paste stabilized with a surfactant. The prepared paste is applied at a constant speed onto the first conductive layer 7 on the substrate 2 by a doctor blade method, a bar coating method, or the like, and is 300 to 600 ° C., preferably 400 to 500 ° C. in the atmosphere. The porous semiconductor layer 5 is formed by heat treatment for 60 minutes, preferably 20 to 40 minutes. This method is simple and preferable.

多孔質の半導体層5の低温成長法としては、電析法、泳動電着法、水熱合成法等がよく、電子輸送特性を良くするための後処理としては、マイクロ波処理、CVD法によるプラズマ処理や熱触媒処理等、UV照射処理等がよい。低温成長法による多孔質の半導体層5としては、電析法による多孔質ZnO層、泳動電着法による多孔質TiO層等からなるものがよい。 As a low-temperature growth method for the porous semiconductor layer 5, an electrodeposition method, an electrophoretic electrodeposition method, a hydrothermal synthesis method, etc. are preferable. A UV treatment such as plasma treatment or thermal catalyst treatment is preferable. The porous semiconductor layer 5 formed by the low temperature growth method is preferably composed of a porous ZnO layer formed by the electrodeposition method, a porous TiO 2 layer formed by the electrophoretic electrodeposition method, and the like.

また、半導体層5の多孔質体の表面に、TiCl処理、即ちTiCl溶液に10時間浸漬し、水洗し、450℃で30分間焼成する処理を施すとよく、電子電導性がよくなって変換効率が高まる。 Further, the surface of the porous body of the semiconductor layer 5 may be treated with TiCl 4 , that is, immersed in a TiCl 4 solution for 10 hours, washed with water, and baked at 450 ° C. for 30 minutes to improve electronic conductivity. Conversion efficiency increases.

半導体層5としては、内部に微細な空孔(空孔径が好ましくは10〜40nm程度のものであり、22nmのときに変換効率がピークを示す)を多数有する多孔質のn型酸化物半導体層等であるのがよい。半導体層5は、粒状体、または針状体、チューブ状体、柱状体等の線状体、またはこれら種々の線状体が集合してなるものであって、多孔質体であることにより、色素4を吸着する表面積が増え、変換効率を高めることができる。半導体層5は、空孔率が20〜80%、より好適には40〜60%である多孔質体であるのがよい。多孔質化により光作用極層としての表面積を1000倍以上に高めることができ、光吸収と光電変換と電子伝導を効率よく行うことができる。   As the semiconductor layer 5, a porous n-type oxide semiconductor layer having a large number of fine pores (having a pore diameter of preferably about 10 to 40 nm and showing a peak conversion efficiency at 22 nm) inside And so on. The semiconductor layer 5 is a granular body, or a linear body such as a needle-shaped body, a tube-shaped body, a columnar body, or a collection of these various linear bodies, and is a porous body. The surface area for adsorbing the dye 4 is increased, and the conversion efficiency can be increased. The semiconductor layer 5 may be a porous body having a porosity of 20 to 80%, more preferably 40 to 60%. The surface area as the light working electrode layer can be increased 1000 times or more by making it porous, and light absorption, photoelectric conversion, and electronic conduction can be performed efficiently.

なお、半導体層5の空孔率は、ガス吸着測定装置を用いて窒素ガス吸着法によって試料の等温吸着曲線を求め、BJH(Barrett-Joyner-Halenda)法、CI(Chemical Ionization)法、DH(Dollimore-Heal)法等によって空孔容積を求め、これと試料の粒子密度から得ることができる。   The porosity of the semiconductor layer 5 is determined by obtaining an isothermal adsorption curve of a sample by a nitrogen gas adsorption method using a gas adsorption measuring device, and using a BJH (Barrett-Joyner-Halenda) method, a CI (Chemical Ionization) method, a DH ( The pore volume can be obtained by the Dollimore-Heal) method and the like and obtained from the particle density of the sample.

半導体層5の形状は、その表面積が大きくなりかつ電気抵抗が小さい形状がよく、例えば微細粒子もしくは微細線状体からなるのがよい。その平均粒径もしくは平均線径は5〜500nmであるのがよく、より好適には10〜200nmがよい。ここで、平均粒径もしくは平均線径の5〜500nmにおける下限値は、これ未満になると材料の微細化ができず、上限値は、これを超えると接合面積が小さくなり光電流が著しく小さくなることによる。   The shape of the semiconductor layer 5 is preferably a shape having a large surface area and a small electric resistance, and is preferably composed of fine particles or fine linear bodies, for example. The average particle diameter or average wire diameter is preferably 5 to 500 nm, and more preferably 10 to 200 nm. Here, if the lower limit of the average particle diameter or the average wire diameter of 5 to 500 nm is less than this, the material cannot be miniaturized, and if the upper limit exceeds this, the junction area is reduced and the photocurrent is significantly reduced. It depends.

このように、半導体層5を多孔質体とすれば、これに色素4を吸着させて成る色素増感型光電変換体としての表面が凹凸状となり、光閉じ込め効果をもたらして、変換効率をより高めることができる。   As described above, if the semiconductor layer 5 is a porous body, the surface of the dye-sensitized photoelectric conversion body formed by adsorbing the dye 4 on the semiconductor layer 5 becomes uneven, thereby bringing about a light confinement effect and further improving the conversion efficiency. Can be increased.

また、半導体層5の厚みは0.1〜50μmがよく、より好適には1〜20μmがよい。ここで、0.1〜50μmにおける下限値は、これより厚みが小さくなると光電変換作用が著しく小さくなって実用に適さず、上限値は、これを超えて厚みが厚くなると光が透過しなくなって光が入射しなくなることによる。   The thickness of the semiconductor layer 5 is preferably 0.1 to 50 μm, and more preferably 1 to 20 μm. Here, the lower limit value at 0.1 to 50 μm is not suitable for practical use when the thickness is smaller than this, and the upper limit value is not suitable for practical use. This is because light is not incident.

また、半導体層5と透光性基板2との間に、n型酸化物半導体の極薄の緻密層を挿入するとよく、逆電流が抑制できるので変換効率が高まる。   In addition, an ultrathin dense layer of an n-type oxide semiconductor may be inserted between the semiconductor layer 5 and the light-transmitting substrate 2, and the reverse current can be suppressed, so that the conversion efficiency is increased.

また、多孔質の半導体層5は、酸化物半導体微粒子の焼結体から成るとともに、酸化物半導体微粒子の平均粒径が基板2側より厚み方向に漸次大きくなっていることが好ましく、例えば半導体層5が酸化物半導体微粒子の平均粒径が異なる2層の積層体からなるものとするのがよい。具体的には、基板2側に平均粒径が小さい酸化物半導体微粒子を用い、第2の導電層3側に平均粒径が大きい酸化物半導体微粒子(散乱粒子)を用いることで、平均粒径が大きい第2の導電層3側の多孔質の半導体層5によって光散乱と光反射による光閉じ込め効果が生じ、変換効率を高めることができる。   The porous semiconductor layer 5 is preferably composed of a sintered body of oxide semiconductor fine particles, and the average particle diameter of the oxide semiconductor fine particles is preferably gradually increased in the thickness direction from the substrate 2 side. 5 is preferably composed of a two-layer laminate having different average particle diameters of the oxide semiconductor fine particles. Specifically, the oxide semiconductor fine particles having a small average particle diameter are used on the substrate 2 side, and the oxide semiconductor fine particles (scattering particles) having a large average particle diameter are used on the second conductive layer 3 side. The porous semiconductor layer 5 on the side of the second conductive layer 3 having a large thickness produces a light confinement effect due to light scattering and light reflection, and the conversion efficiency can be increased.

より具体的には、平均粒径が小さい酸化物半導体微粒子として、平均粒径が約20nmのものを100wt%(重量%)使用し、平均粒径が大きい酸化物半導体微粒子として、平均粒径が約20nmのものを70wt%及び平均粒径が約180nmのものを30wt%混合して使用すればよい。これらの重量比、平均粒径、それぞれの膜厚を変えることで、最適な光閉じ込め効果が得られる。また、積層数を2層から複数層に増やしたり、これらの境界が生じないように塗布形成したりすることにより、平均粒径を第1の導電層7側から厚み方向に漸次大きくなるように形成することができる。   More specifically, as oxide semiconductor fine particles having a small average particle diameter, 100 wt% (wt%) having an average particle diameter of about 20 nm is used, and as the oxide semiconductor fine particles having a large average particle diameter, the average particle diameter is What is necessary is just to use 70 wt% of about 20 nm and 30 wt% of those having an average particle diameter of about 180 nm. By changing these weight ratios, average particle diameters, and respective film thicknesses, an optimum light confinement effect can be obtained. In addition, by increasing the number of layers from two layers to a plurality of layers, or by coating and forming such that these boundaries do not occur, the average particle size gradually increases in the thickness direction from the first conductive layer 7 side. Can be formed.

<封止部材>
封止部材10は、光電変換体6の一部を構成する電解質の溶液が外部に漏れるのを防ぐ、機械的強度を補強する等の機能を有する。
<Sealing member>
The sealing member 10 has functions such as preventing the electrolyte solution constituting a part of the photoelectric conversion body 6 from leaking to the outside and reinforcing the mechanical strength.

封止部材10の材料としては、ガラス、カーボンを主成分とするガラスフリット等が封止性及び耐候性に優れている。具体的に、封止部材10の材料としては、例えばガラス(Bi、ZnO、B、SiO、MgO等を含む)、あるいはカーボンを混入したガラスフリット(Bi、ZnO、B、SiO、PbO、ZnO、Al、MgO等を含む)等である。上述したカーボンを含有するガラスフリットは、カーボン粒子としてガラス材に混入させればよく、その含有量は0.1〜20重量%がよい。 As a material of the sealing member 10, glass, glass frit mainly composed of carbon, etc. are excellent in sealing performance and weather resistance. Specifically, as the material of the sealing member 10, for example, glass (including Bi 2 O 3 , ZnO, B 2 O 3 , SiO 2 , MgO, etc.) or glass frit mixed with carbon (Bi 2 O 3 , ZnO, B 2 O 3 , SiO 2 , PbO, ZnO, Al 2 O 3 , MgO, etc.). The glass frit containing carbon described above may be mixed into the glass material as carbon particles, and the content thereof is preferably 0.1 to 20% by weight.

封止部材10の厚みは10μm〜100μm、好ましくは30μm〜60μmがよい。また、遮熱性、耐熱性、低汚染性、抗菌性、防かび性、意匠性、耐疵付性・耐摩耗性、帯電防止性、遠赤外線放射性、耐酸性、耐食性、環境対応性等を封止部材10に付与することにより、信頼性や商品性をより高めることができる。   The thickness of the sealing member 10 is 10 μm to 100 μm, preferably 30 μm to 60 μm. It also seals heat shield, heat resistance, low contamination, antibacterial, antifungal, design, brazing and abrasion resistance, antistatic, far infrared radiation, acid resistance, corrosion resistance, environmental compatibility, etc. By giving to the stop member 10, reliability and commercial property can be improved more.

<壁部>
壁部16は、光電変換モジュール1内において、隣り合う光電変換素子1aおよび光電変換素子1bの光電変換体6同士を分離する機能を有する。この壁部16の材質としては、例えばエポキシ樹脂、酢酸ビニル樹脂、オレフィン樹脂等の樹脂材料、またはガラス材料を用いることができる。また、この壁部16は、隣り合う光電変換素子1aおよび光電変換素子1bとの間に1つだけあればよいため、光電変換素子の発電領域を過度に狭くすることなく、光電変換素子の光電変換体同士を分離することができる。
<Wall>
The wall portion 16 has a function of separating the photoelectric conversion bodies 6 of the adjacent photoelectric conversion elements 1 a and 1 b in the photoelectric conversion module 1. As the material of the wall portion 16, for example, a resin material such as an epoxy resin, a vinyl acetate resin, an olefin resin, or a glass material can be used. Moreover, since there is only one wall portion 16 between the adjacent photoelectric conversion element 1a and the photoelectric conversion element 1b, the photoelectric conversion element of the photoelectric conversion element can be obtained without excessively narrowing the power generation region of the photoelectric conversion element. The converters can be separated from each other.

<導電体>
導電体8は、第1の光電変換素子1aの第1の導電層7と第2の光電変換素子1bの第2の導電層3とを電気的に接続する機能を有する。
<Conductor>
The conductor 8 has a function of electrically connecting the first conductive layer 7 of the first photoelectric conversion element 1a and the second conductive layer 3 of the second photoelectric conversion element 1b.

導電体8の形状は、例えば柱状で構成され、円柱状、角柱状等であればよい。このような導電体8は、例えばスクリーン印刷法やディスペンサー法等によって形成される。   The shape of the conductor 8 is, for example, a columnar shape, and may be a columnar shape, a prismatic shape, or the like. Such a conductor 8 is formed by, for example, a screen printing method or a dispenser method.

導電体8の材料としては、例えばチタン、ステンレススチール、アルミニウム、銀、銅、金、ニッケル、コバルト、モリブデン等のヨウ素を含有した電解質に対する耐腐食性を有する金属、カーボン等の有機導電体が好適である。また、導電体8は、樹脂材料や二酸化珪素等の絶縁体の表面にヨウ素を含有した電解質に対する耐腐食性を有し、かつ導電性を有するチタン層、ステンレススチール層、および金属酸化物層等を被覆したもので形成してもよい。また、上述した金属の材料となる金属粒子の平均粒径は0.5〜15μmが好ましく、0.5μm未満では、導電性付与への寄与が小さくなり、15μmを超えると、導電体8となる導電性粒子を含むペーストの望ましいパターン精度が低下する場合がある。導電体8の幅(円柱状の場合は直径)は、100μm〜2mmが好ましく、発電領域を過度に小さくすることなく、かつ製造工程上も優れている。   As a material of the conductor 8, for example, an organic conductor such as titanium, stainless steel, aluminum, silver, copper, gold, nickel, cobalt, metal having corrosion resistance to an electrolyte containing iodine, molybdenum, or the like, or carbon is preferable. It is. Further, the conductor 8 has corrosion resistance against an electrolyte containing iodine on the surface of an insulator such as a resin material or silicon dioxide, and has conductivity, such as a titanium layer, a stainless steel layer, and a metal oxide layer. You may form with what coat | covered. Moreover, the average particle diameter of the metal particle used as the metal material described above is preferably 0.5 to 15 μm. If the average particle diameter is less than 0.5 μm, the contribution to conductivity is reduced. The desired pattern accuracy of the paste containing conductive particles may be reduced. The width of the conductor 8 (diameter in the case of a cylindrical shape) is preferably 100 μm to 2 mm, and is excellent in the manufacturing process without excessively reducing the power generation region.

一方で、導電体8は、上述したような金属材料にガラスフリット(低融点ガラス)を含有させれば、導電体8の焼結性を高めることができるため、製造工程の簡易化という観点から好適である。このようなガラスフリットを含有した導電体8は、ガラスフリットの含有量を5〜30質量%とすれば、導電体8の印刷工程のパターンを形成が容易になるとともに、焼結性を高めることができる。上記のようなガラスフリットとしては、ホウケイ酸鉛系ガラス、酸化チタン等を用いることができる。   On the other hand, if the conductor 8 contains glass frit (low melting point glass) in the metal material as described above, the sinterability of the conductor 8 can be improved, so that the manufacturing process can be simplified. Is preferred. When the content of the glass frit is 5 to 30% by mass, the conductor 8 containing such a glass frit can easily form a pattern for the printing process of the conductor 8 and improve the sinterability. Can do. As the glass frit as described above, lead borosilicate glass, titanium oxide or the like can be used.

本発明では、第1の光電変換素子1aの第1の導電層7と隣接する第2の光電変換素子1bの第2の導電層3とが、互いに離隔した複数個の導電体8によって接続されていることから、複数個の導電体8の間の間隔を通して隣接する光電変換素子のほぼ全体にわたって光電変換体6がいきわたるような構成とすることができる。そのため、導電体8は、光電変換体6を介して配置されることとなる。このような観点からは、導電体8間の隙間は、200μm程度以上であることがよい。また、第1の導電層7や第2の導電層3を電流が流れることによる抵抗損を低減する点では、導電体8間の隙間は5mm程度以下であることがよい。   In the present invention, the first conductive layer 7 of the first photoelectric conversion element 1a and the second conductive layer 3 of the adjacent second photoelectric conversion element 1b are connected by a plurality of conductors 8 spaced apart from each other. Therefore, it is possible to adopt a configuration in which the photoelectric conversion body 6 is spread over almost the whole of the adjacent photoelectric conversion elements through the interval between the plurality of conductors 8. For this reason, the conductor 8 is arranged via the photoelectric converter 6. From such a viewpoint, the gap between the conductors 8 is preferably about 200 μm or more. In addition, the gap between the conductors 8 is preferably about 5 mm or less in terms of reducing resistance loss due to current flowing through the first conductive layer 7 and the second conductive layer 3.

また、図2に示すように、光電変換モジュール1では、第1及び第2の導電層3、7の接続に要する導電体8の面積(平面視における占有面積)が小さくなるため、光電変換モジュールへの入射光を有効利用することができ、光電変換特性を向上させることができる。このような観点からは、導電体8の横断面における断面積(平面視における占有面積に相当する)は1個あたり1mm程度(上限値)以下がよい。また、強度的に安定な柱状を形成する点で、導電体8の横断面における断面積は1個あたり0.01mm程度(下限値)以上がよい。 In addition, as shown in FIG. 2, in the photoelectric conversion module 1, the area (occupied area in plan view) of the conductor 8 required for connecting the first and second conductive layers 3 and 7 is reduced. Incident light can be effectively used, and photoelectric conversion characteristics can be improved. From such a viewpoint, the cross-sectional area (corresponding to the occupied area in a plan view) in the cross section of the conductor 8 is preferably about 1 mm 2 (upper limit) or less per piece. Moreover, the cross-sectional area in the cross section of the conductor 8 is good about 0.01 mm < 2 > (lower limit) or more per piece at the point which forms the column shape stable in strength.

また、光電変換モジュール1では、導電体8を複数個設けることにより、第1及び第2の導電層3、7を安定に接続することができるとともに、接続点が複数個となることにより、一個の導電体8が劣化しても導通特性の大幅な低下を抑制することができるため、光電変換モジュールの信頼性を高めることができる。   In the photoelectric conversion module 1, the first and second conductive layers 3 and 7 can be stably connected by providing a plurality of conductors 8, and a plurality of connection points can be provided. Even if the conductor 8 is deteriorated, a significant decrease in conduction characteristics can be suppressed, so that the reliability of the photoelectric conversion module can be improved.

<保護材>
保護材15は、導電体8を光電変換体6が有する電解質から保護する機能を有する。この保護材15は、光電変換体9と接触する導電体8の周囲に被覆されていればよいため、発電領域の狭小化を低減することができる。保護材15は、電解質に対する耐腐食性を有するものであればよく、例えばガラスを好適に用いることができる。このようなガラスとしては、例えばBi、ZnO、B、SiO、MgO等を含むものがよい。また、保護材15は、封止部材10がガラスから成る場合、同じガラス成分で構成すれば、封止部材10と同時にレーザ光の照射によって焼成することができるため、製造工程の簡素化という観点から好適である。また、保護材15の厚みは、100〜300μmがよく、100μm未満では、導電体8がその形成パターンの精度の点で電解質に露出することがあり、300μmを超えると、受光面積が低減し易くなる。
<Protective material>
The protective material 15 has a function of protecting the conductor 8 from the electrolyte of the photoelectric converter 6. Since this protective material 15 should just be coat | covered around the conductor 8 which contacts the photoelectric conversion body 9, narrowing of an electric power generation area | region can be reduced. The protective material 15 should just have the corrosion resistance with respect to electrolyte, for example, can use glass suitably. Such glasses, for example, Bi 2 O 3, ZnO, B 2 O 3, good those containing SiO 2, MgO and the like. Moreover, since the protective material 15 can be baked by laser beam irradiation simultaneously with the sealing member 10 if the sealing member 10 is made of glass, if the sealing member 10 is made of glass, the manufacturing process can be simplified. To preferred. Further, the thickness of the protective material 15 is preferably 100 to 300 μm. If the thickness is less than 100 μm, the conductor 8 may be exposed to the electrolyte in terms of the accuracy of the formation pattern, and if it exceeds 300 μm, the light receiving area is easily reduced. Become.

さらに、保護材15は、透光性を有する材料(ガラス)で構成すれば、保護材15内を光が透過することができるため、光電変換効率を高めるという観点から好適である。   Furthermore, if the protective material 15 is made of a light-transmitting material (glass), light can be transmitted through the protective material 15, which is preferable from the viewpoint of increasing the photoelectric conversion efficiency.

<色素>
色素4としては、例えば、ルテニウム−トリス、ルテニウム−ビス、オスミウム−トリス、オスミウム−ビス型の遷移金属錯体、多核錯体、またはルテニウム−シス−ジアクア−ビピリジル錯体、またはフタロシアニンやポルフィリン、多環芳香族化合物、ローダミンB等のキサンテン系色素であることが好ましい。
<Dye>
Examples of the dye 4 include ruthenium-tris, ruthenium-bis, osmium-tris, osmium-bis type transition metal complexes, polynuclear complexes, or ruthenium-cis-diaqua-bipyridyl complexes, or phthalocyanines, porphyrins, and polycyclic aromatics. A xanthene dye such as a compound or rhodamine B is preferable.

多孔質の半導体層5に色素4を吸着させるためには、色素4に少なくとも1個以上のカルボキシル基、スルホニル基、ヒドロキサム酸基、アルコキシ基、アリール基、ホスホリル基を置換基として有することが有効である。ここで、置換基は色素4自体を多孔質の半導体層5に強固に化学吸着させることができ、励起状態の色素4から多孔質の半導体層5へ容易に電荷移動できるものであればよい。   In order to adsorb the dye 4 to the porous semiconductor layer 5, it is effective that the dye 4 has at least one carboxyl group, sulfonyl group, hydroxamic acid group, alkoxy group, aryl group, phosphoryl group as a substituent. It is. Here, the substituent may be any as long as it can strongly chemisorb the dye 4 itself to the porous semiconductor layer 5 and can easily transfer charges from the excited dye 4 to the porous semiconductor layer 5.

多孔質の半導体層5に色素4を吸着させる方法としては、例えば基板2上に形成された多孔質の半導体層5を、色素4を溶解した溶液に浸漬する方法が挙げられる。   Examples of the method for adsorbing the dye 4 to the porous semiconductor layer 5 include a method of immersing the porous semiconductor layer 5 formed on the substrate 2 in a solution in which the dye 4 is dissolved.

本発明の光電変換モジュール1を製造する工程中において、多孔質の半導体層5に色素4を吸着させる。色素4を溶解させる溶液の溶媒は、エタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、ジエチルエーテル等のエーテル類、アセトニトリル等の窒素化合物等を1種または2種以上混合したものが挙げられる。溶液中の色素4の濃度は5×10−5〜2×10−3mol/l(l(リットル):1000cm)程度が好ましい。 In the process of manufacturing the photoelectric conversion module 1 of the present invention, the dye 4 is adsorbed to the porous semiconductor layer 5. Examples of the solvent of the solution for dissolving the dye 4 include a mixture of one or more alcohols such as ethanol, ketones such as acetone, ethers such as diethyl ether, nitrogen compounds such as acetonitrile, and the like. The concentration of the dye 4 in the solution is preferably about 5 × 10 −5 to 2 × 10 −3 mol / l (l (liter): 1000 cm 3 ).

多孔質の半導体層5に色素4を吸着させる際、溶液及び雰囲気の温度の条件は特に限定するものではなく、例えば、大気圧下もしくは真空中、室温もしくは基板2加熱の条件が挙げられる。色素4の吸着にかける時間は色素4及び溶液の種類、溶液の濃度、色素溶液の循環量等により適宜調整することができる。これにより、色素4を多孔質の半導体層5に吸着させることができる。   When adsorbing the dye 4 to the porous semiconductor layer 5, the conditions of the temperature of the solution and the atmosphere are not particularly limited, and examples thereof include conditions of atmospheric pressure or in vacuum, room temperature, or heating of the substrate 2. The time required for adsorption of the dye 4 can be appropriately adjusted depending on the kind of the dye 4 and the solution, the concentration of the solution, the circulation amount of the dye solution, and the like. Thereby, the dye 4 can be adsorbed to the porous semiconductor layer 5.

<光電変換体>
光電変換体6は、外部から入射される光を電気に変換する機能を有し、電解質を備えている。電解質は、固定電解質、液状電解質、およびゲル状電解質を用いることができる。固定電解質としては、ポリマー電解質、ポリチオフェン・ポリピロール、ポリフェニレンビニレン等の導電性ポリマー、またはフラーレン誘導体、ペンタセン誘導体、ペリレン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体等の有機系固定電解質を使用できる。
<Photoelectric converter>
The photoelectric conversion body 6 has a function of converting light incident from the outside into electricity, and includes an electrolyte. As the electrolyte, a fixed electrolyte, a liquid electrolyte, and a gel electrolyte can be used. As the fixed electrolyte, a polymer electrolyte, a conductive polymer such as polythiophene / polypyrrole or polyphenylene vinylene, or an organic fixed electrolyte such as a fullerene derivative, a pentacene derivative, a perylene derivative, or a triphenyldiamine derivative can be used.

また、液状電解質およびゲル状電解質としては、第4級アンモニウム塩やLi塩等を溶媒に溶かしたものを用いる。具体的に、電解質溶液の組成としては、例えば炭酸エチレン、アセトニトリルまたはメトキシプロピオニトリル等に、ヨウ化テトラプロピルアンモニウム、ヨウ化リチウム、ヨウ素等を混合し調製したものを用いることができる。   Further, as the liquid electrolyte and the gel electrolyte, those in which a quaternary ammonium salt, a Li salt, or the like is dissolved in a solvent are used. Specifically, as the composition of the electrolyte solution, for example, a solution prepared by mixing tetrapropylammonium iodide, lithium iodide, iodine or the like with ethylene carbonate, acetonitrile, methoxypropionitrile, or the like can be used.

電解質の厚みは0.01〜500μm程度がよい。0.1μm未満では、正極側(非晶質シリコン層12側)と対極側(色素増感型光電変換素子側)が接してショートするおそれがある。500μmを超えると、抵抗成分である電解質の増加による光電変換効率の低下を招き易く、また、電解質が液状電解質である場合、液体部分の増量による封止の不具合が生じ易い。   The thickness of the electrolyte is preferably about 0.01 to 500 μm. If the thickness is less than 0.1 μm, the positive electrode side (amorphous silicon layer 12 side) and the counter electrode side (dye-sensitized photoelectric conversion element side) may come into contact with each other to cause a short circuit. When the thickness exceeds 500 μm, the photoelectric conversion efficiency is likely to decrease due to an increase in the electrolyte as a resistance component, and when the electrolyte is a liquid electrolyte, a sealing failure due to an increase in the liquid portion is likely to occur.

なお、本発明では、第1の導電層7、色素4を吸着した多孔質の半導体層5、光電変換体6及び第2の導電層3から構成される光電変換素子を厚み方向に1素子分設けたものに限らず、厚み方向に複数素子分積層した構成としてもよい。さらに、本発明の光電変換モジュール1の用途は太陽電池に限定されるものではなく、光電変換機能を有するものであれば適用でき、各種受光素子や光センサ等にも適用可能である。なお、本実施の形態では、非晶質シリコン太陽電池および色素増感太陽電池を備えたタンデム型で詳述しているが、本発明ではこの例に限ったことではない。   In the present invention, the photoelectric conversion element composed of the first conductive layer 7, the porous semiconductor layer 5 adsorbing the dye 4, the photoelectric conversion body 6, and the second conductive layer 3 is divided into one element in the thickness direction. It is good also as a structure which laminated | stacked not only what was provided but multiple elements in the thickness direction. Furthermore, the use of the photoelectric conversion module 1 of the present invention is not limited to a solar cell, but can be applied as long as it has a photoelectric conversion function, and can be applied to various light receiving elements, optical sensors, and the like. In this embodiment, the tandem type including an amorphous silicon solar cell and a dye-sensitized solar cell is described in detail, but the present invention is not limited to this example.

本発明の光電変換モジュールの実施例について、以下に説明する。   Examples of the photoelectric conversion module of the present invention will be described below.

まず、透光性基板2として、その一主面に第2の導電層3としてのシート抵抗が5Ω/□(スクエア)のスズドープ酸化インジウム(ITO)から成る厚み0.2μmの第2の導電層3が形成されたガラス基板(縦5cm×横5cm×厚み2mm)を用いた。ITO上にNbドープ酸化チタン膜を0.05μm形成した。   First, as a translucent substrate 2, a second conductive layer having a thickness of 0.2 μm made of tin-doped indium oxide (ITO) having a sheet resistance of 5Ω / □ (square) as a second conductive layer 3 on one main surface thereof. 3 was used (length 5 cm × width 5 cm × thickness 2 mm). A 0.05 μm thick Nb-doped titanium oxide film was formed on the ITO.

次に、第2の導電層3上にレジストを塗布してエッチングすることにより、短冊状の第2の導電層3の領域が4個並ぶようにパターニングした。4個の短冊状の領域は、外部電極を兼ねる一端のものが縦4cm×横1.5cmの大きさであり、他の3個が縦4cm×横1cmの大きさである。また、領域間の間隔は3mmとした。これにより、直列接続された4個の光電変換素子が平面内において配列されるようにした。   Next, by applying a resist on the second conductive layer 3 and etching, patterning was performed so that four regions of the strip-shaped second conductive layer 3 were arranged. Of the four strip-shaped regions, one end also serving as an external electrode has a size of 4 cm in length × 1.5 cm in width, and the other three have a size of 4 cm in length × 1 cm in width. The interval between the regions was 3 mm. Thereby, four photoelectric conversion elements connected in series were arranged in a plane.

プラズマCVD装置を用いて、透光性基板2の第2の導電層3上に、第1導電型非晶質シリコン半導体層としてのp型a−Si:H層、真性型非晶質シリコン半導体層としてのi型a−Si:H層、第2導電型非晶質シリコン半導体層としてのn型a−Si:H層を、順次連続して真空中で堆積させた。   Using a plasma CVD apparatus, a p-type a-Si: H layer as the first conductive type amorphous silicon semiconductor layer, an intrinsic type amorphous silicon semiconductor on the second conductive layer 3 of the translucent substrate 2. An i-type a-Si: H layer as a layer and an n-type a-Si: H layer as a second conductivity type amorphous silicon semiconductor layer were successively deposited in a vacuum.

p型a−Si:H層を形成するための原料ガスとして、SiH4ガス、B26ガス(H2で希釈したもの)を用い、これらのガスの流量をそれぞれ2.7sccm、9sccmとし、100Å(0.01μm)の厚みで堆積させた。 SiH 4 gas and B 2 H 6 gas (diluted with H 2 ) are used as source gases for forming the p-type a-Si: H layer, and the flow rates of these gases are set to 2.7 sccm and 9 sccm, respectively. , And a thickness of 100 mm (0.01 μm).

次に、i型a−Si:H層を形成するための原料ガスとして、SiH4ガス、H2ガスを用い、これらのガスの流量をそれぞれ5sccm、20sccmとし、6000Å(0.6μm)の厚みで堆積させた。 Next, SiH 4 gas and H 2 gas are used as source gases for forming the i-type a-Si: H layer, and the flow rates of these gases are 5 sccm and 20 sccm, respectively, and the thickness is 6000 mm (0.6 μm). It was deposited with.

次に、n型a−Si:H層を形成するための原料ガスとして、SiH4ガス、H2ガス、PH3ガス(H2で希釈したもの)を用い、これらのガスの流量をそれぞれ2.7sccm、37sccm、2.8sccmとして、200Å(0.02μm)の厚みで堆積させた。 Next, SiH 4 gas, H 2 gas, and PH 3 gas (diluted with H 2 ) are used as source gases for forming the n-type a-Si: H layer, and the flow rates of these gases are 2 respectively. It was deposited at a thickness of 200 cm (0.02 μm) as 0.7 sccm, 37 sccm, and 2.8 sccm.

なお、ガラス基板の温度は、p型a−Si:H層、i型a−Si:H層、n型a−Si:H層のいずれの形成の場合にも200℃とした。   Note that the temperature of the glass substrate was 200 ° C. in any of the formation of the p-type a-Si: H layer, the i-type a-Si: H layer, and the n-type a-Si: H layer.

以上より、厚み0.63μm、屈折率3.5である、p型a−Si:H層、i型a−Si:H層、n型a−Si:H層から成る非晶質シリコン層12を形成した。   As described above, the amorphous silicon layer 12 composed of a p-type a-Si: H layer, an i-type a-Si: H layer, and an n-type a-Si: H layer having a thickness of 0.63 μm and a refractive index of 3.5. Formed.

次に、中間層13として、屈折率1.9のITO層を100nmの厚みで形成した。この上に、スパッタリング装置及びPtターゲットを用いて、触媒層14としての白金層を、厚み5nmで形成した。このとき、Pt層は薄いため高抵抗となっており、別途ガラス基板上に同様にして形成したPt層のシート抵抗は測定できなかった。   Next, an ITO layer having a refractive index of 1.9 was formed as the intermediate layer 13 with a thickness of 100 nm. On this, the platinum layer as the catalyst layer 14 was formed with thickness 5nm using the sputtering device and the Pt target. At this time, since the Pt layer was thin, the resistance was high, and the sheet resistance of the Pt layer separately formed on the glass substrate in the same manner could not be measured.

次に、対極側基板9上に、第1の導電層3としてフッ素ドープ酸化スズ膜を1μm形成したガラス基板(縦5cm×横5cm×厚み2mm)を用いた。第2の導電層7上に形成された短冊状パターンと組み合わせて直列に構成するように第1の導電層3をパターニングした。   Next, a glass substrate (length 5 cm × width 5 cm × thickness 2 mm) in which a fluorine-doped tin oxide film of 1 μm was formed as the first conductive layer 3 on the counter electrode side substrate 9 was used. The first conductive layer 3 was patterned so as to be configured in series in combination with the strip-shaped pattern formed on the second conductive layer 7.

次に、第1の導電層7の各領域上に二酸化チタンから成る多孔質の半導体層5を形成した。この多孔質の半導体層5は以下のようにして形成した。まず、TiOのアナターゼ粉末(平均粒径20nm)にアセチルアセトンを添加した後、脱イオン水とともに混練し、界面活性剤で安定化させた酸化チタンのペーストを作製した。作製したペーストをドクターブレード法で第1の導電層7の各領域上に一定速度で塗布し、大気中450℃で30分間焼成した。 Next, a porous semiconductor layer 5 made of titanium dioxide was formed on each region of the first conductive layer 7. This porous semiconductor layer 5 was formed as follows. First, acetylacetone was added to a TiO 2 anatase powder (average particle size 20 nm), and then kneaded with deionized water to prepare a titanium oxide paste stabilized with a surfactant. The prepared paste was applied onto each region of the first conductive layer 7 at a constant speed by a doctor blade method, and baked at 450 ° C. for 30 minutes in the atmosphere.

次に、導体体8を形成するためのペーストとして、モリブデン粒子を主成分とし、ガラスフリット(ガラス成分:ホウケイ酸鉛系ガラス、酸化チタン等)、エポキシ樹脂バインダー及び酢酸ブチル溶媒を混合した導電性ペーストを用い、第1の導電層7と第2の導電層3を接続するために、対極側基板9の一主面上における第1の導電層3の端部であって、第1の導電層7と第2の導電層3が平面視で重なる部位に、導電性ペーストを平面視で円形状に複数個並べて形成した。   Next, as a paste for forming the conductor body 8, the conductive material is mainly composed of molybdenum particles, mixed with glass frit (glass components: lead borosilicate glass, titanium oxide, etc.), epoxy resin binder and butyl acetate solvent. In order to connect the first conductive layer 7 and the second conductive layer 3 by using a paste, the end portion of the first conductive layer 3 on one main surface of the counter electrode side substrate 9, A plurality of conductive pastes were formed side by side in a circular shape in plan view in a region where the layer 7 and the second conductive layer 3 overlap in plan view.

なお、導電性ペーストにおいて、モリブデン粒子の含有量は90重量%、ガラスフリットの含有量は3重量%、エポキシ樹脂バインダーの含有量は3重量%、酢酸ブチル溶媒の含有量は4重量%であった。また、モリブデン粒子の平均粒径は2μmとした。   In the conductive paste, the molybdenum particle content was 90% by weight, the glass frit content was 3% by weight, the epoxy resin binder content was 3% by weight, and the butyl acetate solvent content was 4% by weight. It was. The average particle diameter of the molybdenum particles was 2 μm.

次に、ガラス成分としてBi、ZnO、B、SiO及びMgOを含み、さらにカーボン粒子、エポキシ樹脂バインダー、酢酸ブチル溶媒から成る封止部材10となるガラスペーストを、ディスペンサーにより対極側基板9の周縁部に塗布するとともに導電体8を覆うように塗布した。ガラスペーストにおいて、ガラス成分の含有量は86重量%、カーボン粒子の含有量は7重量%、エポキシ樹脂バインダーの含有量は3重量%、酢酸ブチル溶媒の含有量は4重量%であった。また、カーボン粒子の平均粒径は4μmとした。 Next, a glass paste which contains Bi 2 O 3 , ZnO, B 2 O 3 , SiO 2 and MgO as glass components, and further becomes a sealing member 10 made of carbon particles, an epoxy resin binder, and a butyl acetate solvent is dispensed by a dispenser. It apply | coated to the peripheral part of the counter electrode side board | substrate 9, and it applied so that the conductor 8 might be covered. In the glass paste, the glass component content was 86% by weight, the carbon particle content was 7% by weight, the epoxy resin binder content was 3% by weight, and the butyl acetate solvent content was 4% by weight. The average particle size of the carbon particles was 4 μm.

また、このとき、封止部材10の一部に貫通孔11を形成するために、塗布したガラスペースト層の2か所にディスペンサー法によって、四角形の開口の大きさが約50×500μmの貫通孔を形成した。   At this time, in order to form the through-hole 11 in a part of the sealing member 10, a through-hole having a square opening size of about 50 × 500 μm is applied to two places of the applied glass paste layer by a dispenser method. Formed.

壁部16にはデュポン社のアドフィージブル樹脂を用い、200℃で硬化させて、分離壁とした。   The wall 16 was made of DuPont's admissible resin and cured at 200 ° C. to form a separation wall.

第1の導電層7と第2の導電層3とが対向するように透光性基板2と対極側基板9を対向させて配置し、炭酸ガスレーザ光を導電性ペースト層及びガラスペースト層に照射して、導体体8の焼成とともに封止部材10による封止を行った。   The translucent substrate 2 and the counter electrode side substrate 9 are arranged facing each other so that the first conductive layer 7 and the second conductive layer 3 face each other, and the conductive paste layer and the glass paste layer are irradiated with carbon dioxide laser light. Then, the conductor 8 was fired and sealed with the sealing member 10.

次に、チュービングポンプを用いて貫通孔11を通して色素4溶液を光電変換モジュール1内に注入し、室温で毎分5mlの流量で色素4溶液を光電変換モジュール1内に5時間循環させ、多孔質の半導体層5に色素4を吸着させた。色素4溶液(色素4含有量が0.3mモル/l)は、色素4(ソラロニクス・エスエー社製「N719」)を溶媒のアセトニトリルとt−ブタノール(容積比で1:1)に溶解したものを用いた。   Next, the dye 4 solution is injected into the photoelectric conversion module 1 through the through-hole 11 using a tubing pump, and the dye 4 solution is circulated in the photoelectric conversion module 1 for 5 hours at a flow rate of 5 ml per minute at room temperature. The dye 4 was adsorbed on the semiconductor layer 5. Dye 4 solution (Dye 4 content is 0.3 mmol / l) is prepared by dissolving Dye 4 (Solaronics SA “N719”) in solvent acetonitrile and t-butanol (1: 1 by volume). Was used.

次に、貫通孔11を通して電解質の溶液を多孔質の半導体層5に浸透させた。本実施例では、電解質として、液体電解質である沃素(I)と沃化リチウム(LiI)とアセトニトリル溶液とを調製して用いた。 Next, the electrolyte solution was infiltrated into the porous semiconductor layer 5 through the through hole 11. In this example, iodine (I 2 ), lithium iodide (LiI), and an acetonitrile solution, which are liquid electrolytes, were prepared and used as the electrolyte.

次に、オレフィン系樹脂から成るシートを、貫通孔11を外部から塞ぐように被せ、加熱して貫通孔封止部を形成した。   Next, the sheet | seat which consists of olefin resin was covered so that the through-hole 11 might be plugged from the outside, and it heated and formed the through-hole sealing part.

こうして得られた光電変換モジュール1の光電変換特性を評価したところ、AM1.5、100mW/cmで変換効率7.0%を示した。この光電変換モジュール1を暗中85℃の環境下で高温放置試験を行ったところ、100時間経過後も試験前の75%を超える光電変換効率を維持した。 When the photoelectric conversion characteristics of the photoelectric conversion module 1 obtained in this way were evaluated, the conversion efficiency was 7.0% at AM 1.5 and 100 mW / cm 2 . When this photoelectric conversion module 1 was subjected to a high temperature standing test in the dark at 85 ° C., the photoelectric conversion efficiency exceeding 75% before the test was maintained even after 100 hours.

以上のように、本実施例の光電変換モジュール1は、高い変換効率が得られ、さらに高い耐久性を示すことを確認できた。   As described above, it was confirmed that the photoelectric conversion module 1 of the present example has high conversion efficiency and exhibits higher durability.

本発明の光電変換モジュールについて実施の形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment about the photoelectric conversion module of this invention. 本発明の光電変換モジュールについて実施の形態の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of embodiment about the photoelectric conversion module of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1:光電変換モジュール
1a、1b:光電変換素子
2:透光性基板
3:第2の導電層
4:増感色素
5:半導体層
6:光電変換体
7:第1の導電層
8:導電体
9:対極側基板
10:封止部材
11:貫通孔
12:非晶質シリコン層
13:中間層
14:触媒層
15:保護材
16:壁部
1: Photoelectric conversion module 1a, 1b: Photoelectric conversion element 2: Translucent substrate 3: Second conductive layer 4: Sensitizing dye 5: Semiconductor layer
6: photoelectric conversion body 7: first conductive layer 8: conductor 9: counter electrode side substrate 10: sealing member 11: through hole 12: amorphous silicon layer 13: intermediate layer 14: catalyst layer 15: protective material 16 : Wall

Claims (5)

増感色素が担持された半導体層が形成された第1の導電層と、前記半導体層に対向するように配置された第2の導電層と、電解質を含んでなり、前記第1および第2の導電層の間に配置された光電変換体と、を有する第1および第2の光電変換素子を備えてなる光電変換モジュールであって、
前記第1の光電変換素子の前記第1の導電層および前記第2の光電変換素子の第2の導電層は、複数の導電体で接合されてなり、
前記複数の導電体は、前記第1および第2の光電変換素子のいずれかの前記光電変換体を介して互いに離間するように配置されていることを特徴とする光電変換モジュール。
A first conductive layer on which a semiconductor layer carrying a sensitizing dye is formed; a second conductive layer disposed so as to face the semiconductor layer; and an electrolyte. A photoelectric conversion module comprising a first and a second photoelectric conversion element having a photoelectric conversion body disposed between the conductive layers,
The first conductive layer of the first photoelectric conversion element and the second conductive layer of the second photoelectric conversion element are joined by a plurality of conductors,
The photoelectric conversion module, wherein the plurality of conductors are arranged so as to be separated from each other via the photoelectric conversion body of any of the first and second photoelectric conversion elements.
前記導電体は、アルミニウム、クロム、ニッケル、コバルト、モリブデン、銅、及びチタンの少なくとも1種の導電性粒子を含むことを特徴とする請求項1記載の光電変換モジュール。   2. The photoelectric conversion module according to claim 1, wherein the conductor includes at least one kind of conductive particles of aluminum, chromium, nickel, cobalt, molybdenum, copper, and titanium. 前記導電体は、前記第1および第2の導電層との接合部を除く部位に保護材が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光電変換モジュール。   2. The photoelectric conversion module according to claim 1, wherein a protective material is formed on a portion of the conductor excluding a joint portion with the first and second conductive layers. 前記保護材は、透光性を有するガラスで形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光電変換モジュール。   The said protective material is formed with the glass which has translucency, The photoelectric conversion module in any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 前記第1の光電変換素子の光電変換体と前記第2の光電変換素子の光電変換体とを同時に封止する封止部材と、該封止部材内に配され、前記各光電変換体同士を分離する壁部と、をさらに有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光電変換モジュール。   A sealing member that simultaneously seals the photoelectric conversion body of the first photoelectric conversion element and the photoelectric conversion body of the second photoelectric conversion element; and disposed within the sealing member; The photoelectric conversion module according to claim 1, further comprising a wall portion to be separated.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102163504A (en) * 2010-01-19 2011-08-24 三星Sdi株式会社 Photoelectric conversion module
WO2012033049A1 (en) * 2010-09-06 2012-03-15 シャープ株式会社 Dye-sensitized solar cell and dye-sensitized solar cell module
JP2013200958A (en) * 2012-03-23 2013-10-03 Nippon Steel & Sumikin Chemical Co Ltd Solar battery
KR20140023251A (en) * 2010-10-04 2014-02-26 다이파워 Vertical electrical connection of photoelectrochemical cells
DE102012206331B4 (en) 2011-11-30 2024-03-14 Hyundai Motor Company Dye-sensitized solar cell module and method for producing the same

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102163504A (en) * 2010-01-19 2011-08-24 三星Sdi株式会社 Photoelectric conversion module
WO2012033049A1 (en) * 2010-09-06 2012-03-15 シャープ株式会社 Dye-sensitized solar cell and dye-sensitized solar cell module
KR20140023251A (en) * 2010-10-04 2014-02-26 다이파워 Vertical electrical connection of photoelectrochemical cells
KR101896728B1 (en) * 2010-10-04 2018-09-07 페르마스틸리사 에스.피.에이. Vertical electrical connection of photoelectrochemical cells
DE102012206331B4 (en) 2011-11-30 2024-03-14 Hyundai Motor Company Dye-sensitized solar cell module and method for producing the same
JP2013200958A (en) * 2012-03-23 2013-10-03 Nippon Steel & Sumikin Chemical Co Ltd Solar battery

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