JP2009288656A - Color filter and method of manufacturing the same, and liquid crystal display device - Google Patents

Color filter and method of manufacturing the same, and liquid crystal display device Download PDF

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庸恭 山岸
Nobuhiro Kuroki
信宏 黒木
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter which suppresses irregular orientation of liquid crystals and improves contrast when the filter is used for a liquid crystal display device. <P>SOLUTION: The color filter includes a resin black matrix 12 as a lattice pattern on a substrate 10 for segmenting the substrate 10 into a plurality of pixels, and stripe color patterns 20R, 20G, 20B. The color patterns include, at least partially, a portion where each stripe line is continuously provided over a group of linearly arrayed pixels in a plurality of pixels; each line has a group of overlapping portions O<SB>X</SB>on a resin black matrix 12 in a direction orthogonal to the direction of the line and also has a group of overlapping portions O<SB>Y</SB>and pattern edges on the resin black matrix 12 in a direction parallel to the line direction; and in a single pixel in the pixel group, the height h<SB>Y</SB>from the color pattern surface to the color pattern surface in the overlapping portion O<SB>Y</SB>is lower by at least 0.1 μm than the height h<SB>X</SB>from the color pattern surface to the color pattern surface in the overlapping portion O<SB>X</SB>. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a color filter, a manufacturing method thereof, and a liquid crystal display device.

カラーフィルタは、液晶表示装置や固体撮像素子に不可欠な構成部品である。
例えば、液晶表示装置(液晶ディスプレイ;LCD)用カラーフィルタについては、液晶ディスプレイがTV用途として用いられるようになり、従来のノートパソコン、モニター用途のものに比し、より高品位な画質が求められている。また、大型TV生産のため基板サイズが拡大しており、歩留まりの向上やコスト削減の要求が大きくなっている。
The color filter is an essential component for liquid crystal display devices and solid-state imaging devices.
For example, for color filters for liquid crystal display devices (liquid crystal displays; LCDs), liquid crystal displays are used for TV applications, and higher image quality is required compared to conventional notebook computers and monitor applications. ing. In addition, the substrate size has been increased for the production of large-sized TVs, and the demand for improvement in yield and cost reduction has increased.

上記画質の向上に関し、カラーフィルタの製造の際に、ブラックマトリクスと着色画素との境界部分で着色パターンが盛り上がり、カラーフィルタが平坦とならないことが原因で画質の劣化が生ずることが問題となっていた(例えば、特許文献1参照)。前記境界部分の盛り上がりは、コントラスト低下や色ムラなどの問題を引き起こす場合がある。
このため、従来は、画素作製後、カラーフィルタの表面を研磨したり、画素上にオーバーコート層(以下、「OC層」と称することがある)を形成することで対応していた。しかし、研磨やOC層の形成を行うと、カラーフィルタの製造工程が増えてコストが高くなる。その上、研磨の場合には、カラーフィルタが傷つくなどの弊害が発生することもあり、研磨工程やOC層の形成工程を省略できる方法が求められていた。
Regarding the improvement of the image quality, when manufacturing a color filter, there is a problem that the color pattern rises at the boundary between the black matrix and the colored pixels and the color filter is not flattened, resulting in deterioration of the image quality. (For example, see Patent Document 1). The rise of the boundary portion may cause problems such as a decrease in contrast and color unevenness.
For this reason, conventionally, after the pixel is manufactured, the surface of the color filter is polished or an overcoat layer (hereinafter sometimes referred to as “OC layer”) is formed on the pixel. However, if polishing or formation of the OC layer is performed, the manufacturing process of the color filter increases and the cost increases. In addition, in the case of polishing, adverse effects such as damage to the color filter may occur, and a method capable of omitting the polishing step and the OC layer forming step has been demanded.

これに対し、ブラックマトリクスのテーパー角を小さくすることにより、前記境界部分の盛り上がりの問題を解決することが試みられている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
特許文献2では、さらに、インクジェット法によりブラックマトリクス枠内にのみ着色組成物を付与している。
特開平9−113721号公報 特開2003−161826号公報
On the other hand, attempts have been made to solve the problem of the rising of the boundary portion by reducing the taper angle of the black matrix (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
In Patent Document 2, a coloring composition is applied only in the black matrix frame by an ink jet method.
JP-A-9-113721 JP 2003-161826 A

しかし、特許文献1に記載の方法では、ブラックマトリクスに上記テーパー角を得るための工程が多く、ブラックマトリクス形成用の感光性濃色組成物を基板上に塗布乾燥後、さらにポジ型レジストを塗布し、該感光性濃色組成物とポジ型レジストとの現像速度比を調整するという手間のかかるものであった。また、テーパー角の調整だけでは着色パターンの盛り上がりの抑制効果が不十分であった。さらに、この技術は大型基板(例えば、基板サイズ1m×1m以上の大型基板)に対応したものではなかった。
一方、特許文献2では、インクジェット法により着色組成物を基板に付与して着色パターンを形成しているため、着色組成物の塗布・転写等により着色パターンを形成する場合に生ずるブラックマトリクスと着色パターンとが重なるオーバーラップ部(重なり部)での、着色パターンの盛り上がりを抑制するには適さない。むしろ、ブラックマトリクスと着色画素との境界部分で、ブラックマトリクスが着色画素よりも高くなって段差が生じ、カラーフィルタが平坦とならず、同様の画質劣化の問題が生じる場合がある。
However, in the method described in Patent Document 1, there are many steps for obtaining the taper angle in the black matrix, and after applying and drying the photosensitive dark color composition for forming the black matrix on the substrate, a positive resist is further applied. However, it takes time and effort to adjust the development speed ratio between the photosensitive dark color composition and the positive resist. In addition, only the adjustment of the taper angle is insufficient in suppressing the rise of the colored pattern. Furthermore, this technique is not compatible with large substrates (for example, large substrates having a substrate size of 1 m × 1 m or more).
On the other hand, in Patent Document 2, a colored composition is applied to a substrate by an ink jet method to form a colored pattern. Therefore, a black matrix and a colored pattern that are generated when the colored pattern is formed by applying or transferring the colored composition. It is not suitable for suppressing the swell of the colored pattern in the overlapping part (overlapping part). Rather, at the boundary between the black matrix and the colored pixel, the black matrix is higher than the colored pixel, resulting in a step, the color filter is not flat, and the same image quality degradation problem may occur.

本発明は上記に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
即ち、本発明は、液晶表示装置に用いた際、液晶の配向乱れを抑制し、コントラストを向上できるカラーフィルタ、該カラーフィルタを、研磨やオーバーコート層設置などの工程を追加することなく、低コストかつ平易な方法で製造できるカラーフィルタの製造方法、並びに高いコントラストを有する液晶表示装置を提供することを目的とする。
This invention is made | formed in view of the above, and makes it a subject to achieve the following objectives.
That is, the present invention, when used in a liquid crystal display device, suppresses the alignment disorder of the liquid crystal and improves the contrast, and the color filter can be reduced without adding a process such as polishing or setting an overcoat layer. An object of the present invention is to provide a color filter manufacturing method that can be manufactured by a simple and cost-effective method, and a liquid crystal display device having high contrast.

前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
<1> 基板上に、膜厚0.5μm〜2.0μmの格子状パターンである樹脂ブラックマトリクスと、膜厚1.0μm〜3.0μmのストライプ状パターンである着色パターンと、を少なくとも有し、前記樹脂ブラックマトリクスは、前記基板上を複数の画素に区画し、前記着色パターンの少なくとも一部は、各列が直線状に配列された画素群上及び該画素群における画素間の樹脂ブラックマトリクス上に渡って連続的に設けられるとともに、各列が該列の方向と直交する方向の樹脂ブラックマトリクス上に重なり部Oの群を有し、かつ、前記列の方向と平行な方向の樹脂ブラックマトリクス上に重なり部Oの群及び1対のパターンエッジを有し、前記直線状に配列された画素群のうちの1つの画素についてみたときに、該画素内の着色パターン表面に対する該画素に隣接する重なり部Oの高さhが、該画素内の着色パターン表面に対する該画素に隣接する重なり部Oの高さhに対し、0.1μm以上低いことを特徴とするカラーフィルタである。
Specific means for achieving the above object are as follows.
<1> On the substrate, at least a resin black matrix that is a lattice pattern with a film thickness of 0.5 μm to 2.0 μm and a colored pattern that is a stripe pattern with a film thickness of 1.0 μm to 3.0 μm are included. The resin black matrix divides the substrate into a plurality of pixels, and at least a part of the coloring pattern is a resin black matrix on a pixel group in which each column is linearly arranged and between the pixels in the pixel group. together are continuously provided over the top, each column has a group of overlapping portion O X on the direction of the resin black matrix which is perpendicular to the direction of said column, and a direction parallel to the direction of resin in the column has a group and a pair of pattern edge of the overlapping portion O Y on the black matrix, when tried with the one pixel of the pixel group arranged in the straight line, coloring path of the pixel Motonai The height h Y of the overlapping portion O Y which is adjacent to the pixel for over down surface with respect to the height h X of the overlap portion O X adjacent to the pixel for color pattern surface of the pixel Motonai, lower than 0.1μm It is a color filter characterized by this.

<2> 前記重なり部Oの、前記列の方向と直交する方向についての長さが、2μm以上10μm以下であることを特徴とする<1>に記載のカラーフィルタである。
<3> 前記着色パターンの端部の断面形状は、矩形又はテーパー長10μm以下のテーパー形であることを特徴とする<1>又は<2>に記載のカラーフィルタである。
<4> 前記樹脂ブラックマトリクスの端部の断面形状は、矩形又はテーパー長10μm以下のテーパー形であることを特徴とする<1>〜<3>のいずれか1つに記載のカラーフィルタである。
Of <2> the overlapping portion O Y, the length in the direction perpendicular to the direction of the row, a color filter according to <1>, wherein the at 2μm or more 10μm or less.
<3> The color filter according to <1> or <2>, wherein a cross-sectional shape of an end portion of the coloring pattern is a rectangle or a tapered shape having a taper length of 10 μm or less.
<4> The color filter according to any one of <1> to <3>, wherein a cross-sectional shape of an end portion of the resin black matrix is a rectangle or a tapered shape having a taper length of 10 μm or less. .

<5> <1>〜<4>のいずれか1つに記載のカラーフィルタを製造する方法であって、基板上に、格子状パターンである樹脂ブラックマトリクスを形成する樹脂ブラックマトリクス形成工程と、前記樹脂ブラックマトリクスが形成された基板上に、感光性着色組成物を用いて感光性着色組成物層を形成し、形成された感光性着色組成物層をパターン露光し、パターン露光された感光性着色組成物層を現像して着色パターンを形成する着色パターン形成工程と、を有するカラーフィルタの製造方法である。 <5> A method for producing the color filter according to any one of <1> to <4>, wherein a resin black matrix forming step of forming a resin black matrix that is a lattice pattern on a substrate; On the substrate on which the resin black matrix is formed, a photosensitive coloring composition layer is formed using the photosensitive coloring composition, the formed photosensitive coloring composition layer is subjected to pattern exposure, and the pattern-exposed photosensitive property is exposed. And a colored pattern forming step of forming a colored pattern by developing the colored composition layer.

<6> 前記感光性着色組成物層は、前記樹脂ブラックマトリクスが形成された基板上に、感光性着色組成物を塗布し、プリベークして形成し、前記プリベーク後の感光性着色組成物層を前記樹脂ブラックマトリクスのパターンエッジに垂直かつ基板に垂直な面で切ったときの断面において、前記感光性着色組成物層表面のうち、基板から最も離れた点Rに対し基板法線方向について0.1μm基板に近い点Sは、基板表面に平行な方向についての位置が、該点Sに最も近い前記パターンエッジの位置を基準として樹脂ブラックマトリクス形成領域側を負、樹脂ブラックマトリクス非形成領域側を正としたとき、−2μm〜+10μmの範囲内であることを特徴とする<5>に記載のカラーフィルタの製造方法である。 <6> The photosensitive coloring composition layer is formed by applying a photosensitive coloring composition on a substrate on which the resin black matrix is formed, prebaking, and forming the photosensitive coloring composition layer after the prebaking. In the cross section taken along a plane perpendicular to the pattern edge of the resin black matrix and perpendicular to the substrate, the surface of the photosensitive coloring composition layer is 0. The point S close to the 1 μm substrate has a position in the direction parallel to the substrate surface negative with respect to the resin black matrix forming region side and the resin black matrix non-forming region side with respect to the position of the pattern edge closest to the point S. When it is positive, the color filter manufacturing method according to <5>, wherein the color filter is in a range of −2 μm to +10 μm.

<7> <1>〜<4>のいずれか1つに記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置である。 <7> A liquid crystal display device comprising the color filter according to any one of <1> to <4>.

本発明によれば、液晶表示装置に用いた際、液晶の配向乱れを抑制し、コントラストを向上できるカラーフィルタ、該カラーフィルタを低コストかつ平易な方法で製造できるカラーフィルタの製造方法、及び高いコントラストを有する液晶表示装置を提供することができる。   According to the present invention, when used in a liquid crystal display device, a color filter capable of suppressing the alignment disorder of the liquid crystal and improving the contrast, a color filter manufacturing method capable of manufacturing the color filter by a low-cost and simple method, and a high A liquid crystal display device having contrast can be provided.

以下、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法、本発明における着色パターンの材料である感光性着色組成物、本発明における樹脂ブラックマトリクスの材料である感光性濃色組成物、並びに本発明の液晶表示装置について説明する。   Hereinafter, the color filter of the present invention and the production method thereof, the photosensitive coloring composition which is the material of the colored pattern in the present invention, the photosensitive dark color composition which is the material of the resin black matrix in the present invention, and the liquid crystal display of the present invention The apparatus will be described.

≪カラーフィルタ≫
本発明のカラーフィルタは、基板上に、膜厚0.5μm〜2.0μmの格子状パターンである樹脂ブラックマトリクスと、膜厚1.0μm〜3.0μmのストライプ状パターンである着色パターンと、を少なくとも有し、前記樹脂ブラックマトリクスは、前記基板上を複数の画素に区画し、前記着色パターンの少なくとも一部は、着色パターンの各列が直線状に配列された画素群上及び該画素群における画素間の樹脂ブラックマトリクス上に渡って連続的に設けられるとともに、各列が該列の方向と直交する方向の樹脂ブラックマトリクス上に重なり部Oの群を有し、かつ、前記列の方向と平行な方向の樹脂ブラックマトリクス上に重なり部Oの群及び1対のパターンエッジを有し、前記直線状に配列された画素群のうちの1つの画素についてみたときに、該画素内の着色パターン表面に対する該画素に隣接する重なり部Oの高さhが、該画素内の着色パターン表面に対する該画素に隣接する重なり部Oの高さhに対し、0.1μm以上低いことを特徴とする。
≪Color filter≫
The color filter of the present invention has, on the substrate, a resin black matrix that is a lattice pattern with a film thickness of 0.5 μm to 2.0 μm, a colored pattern that is a stripe pattern with a film thickness of 1.0 μm to 3.0 μm, And the resin black matrix partitions the substrate into a plurality of pixels, and at least a part of the coloring pattern is on the pixel group in which each column of the coloring pattern is arranged in a straight line and the pixel group. have together provided continuously over the resin black matrix between pixels, a group of overlapping portion O X on the direction of the resin black matrix in which each row is orthogonal to the direction of said column in, and the column It has a direction and a group and a pair of pattern edge of the overlapping portion O Y over in a direction parallel to the resin black matrix, one pixel of the pixel group arranged in the straight line Nitsu When was Itemi, the height h Y of the overlapping portion O Y which is adjacent to the pixel for color pattern surface of the pixel Motonai is, the height h of the overlapping portion O X adjacent to the pixel for color pattern surface of the pixel Motonai It is characterized by being 0.1 μm or more lower than X.

一般に、着色パターンがブラックマトリクス上に重なり部を有する構造のカラーフィルタにおいては、該重なり部分における段差が高い場合、該カラーフィルタを液晶表示装置に用いた際に、液晶の配向の乱れが悪化し、コントラストが低下する。
特に、着色パターンがストライプ状パターンである場合は、着色パターンの段差の中でも、前記ストライプに平行な1対のパターンエッジ付近(例えば、四角形の画素における4辺中、着色パターンのパターンエッジに平行な2辺の部分)の影響が大きい。
そこで、カラーフィルタを上記本発明の構成とすることにより、前記1対のパターンエッジに近接する重なり部Oと画素との境界部分における着色パターンの段差を小さくすることができる。このため、本発明のカラーフィルタを液晶表示装置に用いることにより、液晶の配向乱れを抑制することができ、コントラストを向上できる。
さらに、上記本発明のカラーフィルタは、研磨やオーバーコート層設置などの工程を設けず、低コストかつ平易な方法で製造できる。本発明のカラーフィルタの製造方法については後述する。
In general, in a color filter having a structure in which a colored pattern has an overlapping portion on a black matrix, when the level difference in the overlapping portion is high, disorder of the alignment of liquid crystal deteriorates when the color filter is used in a liquid crystal display device. , The contrast decreases.
In particular, when the colored pattern is a stripe pattern, among the steps of the colored pattern, near a pair of pattern edges parallel to the stripe (for example, among the four sides of a square pixel, parallel to the pattern edge of the colored pattern). The influence of the two sides) is large.
Therefore, by adopting the color filter according to the configuration of the present invention, it is possible to reduce the step of the colored pattern at the boundary portion between the overlapping portion OY and the pixel adjacent to the pair of pattern edges. For this reason, by using the color filter of the present invention for a liquid crystal display device, the alignment disorder of the liquid crystal can be suppressed and the contrast can be improved.
Furthermore, the color filter of the present invention can be produced by a low-cost and simple method without providing steps such as polishing and overcoat layer installation. The method for producing the color filter of the present invention will be described later.

本発明において、着色パターンや樹脂ブラックマトリクス等のパターンの位置関係は、特に断り(「断面において」等の断り)がない限り、基板法線方向パターン形成面側からみた位置関係を表す。
本発明において、着色パターンや樹脂ブラックマトリクス等のパターンの「膜厚」及び「高さ」は、基板法線方向についての厚み及び高さを表す。
本発明において、着色パターンや樹脂ブラックマトリクス等のパターンの「断面」とは、基板に垂直かつパターンエッジに垂直な平面で、パターンを切ったときの切断面をいう。
本発明において、「パターンエッジ」とは、基板法線方向パターン形成面側からみたときの、パターンと該パターンが形成された下地(例えば、基板や樹脂ブラックマトリクス)との境界線をいう。
例えば、図1(a)において着色パターン20R、20G、20Bのパターンエッジは、実線の直線で示した線であり、図2(a)において樹脂ブラックマトリクス12のパターンエッジは実線の直線で示した線である。
In the present invention, the positional relationship of the pattern such as the colored pattern and the resin black matrix represents the positional relationship as viewed from the substrate normal direction pattern forming surface side unless otherwise specified (in the section, etc.).
In the present invention, “film thickness” and “height” of a pattern such as a colored pattern or a resin black matrix represent the thickness and height in the normal direction of the substrate.
In the present invention, the “cross section” of a pattern such as a colored pattern or a resin black matrix is a plane perpendicular to the substrate and perpendicular to the pattern edge and cut when the pattern is cut.
In the present invention, the “pattern edge” refers to a boundary line between a pattern and a base on which the pattern is formed (for example, a substrate or a resin black matrix) when viewed from the substrate normal direction pattern forming surface side.
For example, in FIG. 1A, the pattern edges of the colored patterns 20R, 20G, and 20B are lines indicated by solid lines, and in FIG. 2A, the pattern edge of the resin black matrix 12 is indicated by a solid line. Is a line.

また、本発明においてパターン上端とは、該パターン端部断面において、パターン表面のうち、基板法線方向について基板から最も離れた点であって、基板表面に平行な方向について該パターン中央から最も離れた点をさす(例えば、後述する図3〜図6中のパターン上端T)。
また、パターン下端とは、該パターン端部断面において、パターン表面のうち下地に接する点をいう(例えば、後述する図3〜図6中のパターン下端E1)。
なお、パターン端部の断面がテーパー形である場合は、基板の法線方向パターン形成面側からみたときのパターンエッジは、パターン端部断面における下端に一致する(図1(c)において着色パターン20Gのパターンエッジはパターン下端E1及びパターン下端E2である)。
In the present invention, the upper end of the pattern is the point farthest from the substrate in the substrate normal direction in the pattern end cross section, and the furthest away from the center of the pattern in the direction parallel to the substrate surface. (For example, the pattern upper end T in FIGS. 3 to 6 described later).
Further, the pattern lower end means a point in contact with the ground on the pattern surface in the pattern end section (for example, pattern lower end E1 in FIGS. 3 to 6 described later).
When the cross section of the pattern end is tapered, the pattern edge when viewed from the normal pattern forming surface side of the substrate coincides with the lower end of the cross section of the pattern end (the colored pattern in FIG. 1C). The pattern edges of 20G are the pattern lower end E1 and the pattern lower end E2.

また、本発明においては、基板法線方向パターン形成面側からみたときの、着色パターンの各列と平行な方向(例えば、図1中矢印Y)を、「Y方向」、「列(方向)」、又は「縦方向」ということがある。また、基板法線方向着色パターン形成面側からみたときの、着色パターンの各列と直交する方向(例えば、図1中矢印X)を、「X方向」、「行(方向)」、又は「横方向」ということがある。   In the present invention, the direction (for example, arrow Y in FIG. 1) parallel to each column of the colored pattern when viewed from the substrate normal direction pattern forming surface side is referred to as “Y direction”, “column (direction)”. Or “longitudinal direction”. Further, when viewed from the substrate normal direction colored pattern forming surface side, a direction (for example, an arrow X in FIG. 1) orthogonal to each column of the colored pattern is expressed as “X direction”, “row (direction)”, or “ Sometimes referred to as “lateral direction”.

以下、本発明のカラーフィルタの一例を、図1及び図2を参照して説明する。但し、本発明は以下の一例に限定されるものではない。
図1(a)は、本発明の一例に係るカラーフィルタ100の平面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A線断面図であり、図1(c)は、図1(a)のB−B線断面図である。
図2(a)は、図1(a)のカラーフィルタ100を作製する途中の段階において、基板上に樹脂ブラックマトリクスのみが形成された樹脂ブラックマトリクス付き基板110の平面図である。図2(b)は、図2(a)のA−A線断面図であり、図2(c)は、図2(a)のB−B線断面図である。
Hereinafter, an example of the color filter of the present invention will be described with reference to FIGS. However, the present invention is not limited to the following example.
1A is a plan view of a color filter 100 according to an example of the present invention, FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1A, and FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
FIG. 2A is a plan view of a substrate 110 with a resin black matrix in which only the resin black matrix is formed on the substrate in the middle of manufacturing the color filter 100 of FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 2A, and FIG. 2C is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 2A.

図1(a)〜(c)に示すように、カラーフィルタ100においては、基板10上に、格子状パターンである樹脂ブラックマトリクス12と、ストライプ状パターンである着色パターン(赤色パターン20R、緑色パターン20G、及び青色パターン20B)と、が設けられている。ここで、樹脂ブラックマトリクス12の膜厚は0.5μm〜2.0μmであり、赤色パターン20R、緑色パターン20G、及び青色パターン20Bの膜厚は、それぞれ1.0μm〜3.0μmである。   As shown in FIGS. 1A to 1C, in the color filter 100, a resin black matrix 12 that is a lattice pattern and a colored pattern that is a stripe pattern (red pattern 20R, green pattern) are formed on a substrate 10. 20G and blue pattern 20B). Here, the film thickness of the resin black matrix 12 is 0.5 μm to 2.0 μm, and the film thicknesses of the red pattern 20R, the green pattern 20G, and the blue pattern 20B are 1.0 μm to 3.0 μm, respectively.

前記樹脂ブラックマトリクス12は、前記基板10上を複数の画素(図1(a)中のカラーフィルタ100における点線部、図2(a)中の樹脂ブラックマトリクス付き基板110における画素14)に区画する格子状パターンとなっている。即ち、前記樹脂ブラックマトリクス12は、画素14である開口部を複数有する格子状パターンとなっている。
ここで、格子状パターンのパターン領域としては、X方向(横方向)のストライプ状パターン(以下、「横ストライプ」ともいう)とY方向(縦方向)のストライプ状パターン(以下、「縦ストライプ」ともいう)との合成領域を含む領域となっていれば特に限定はない。
図1(a)及び図2(a)の樹脂ブラックマトリクス12では、前記合成領域に加え、X方向のストライプ状パターン及びY方向のストライプ状パターンに隣接し、かつ、画素14の一角に相当する位置に、画素14の内側に向かって張り出したTFT遮光用パターン13が備えられている。このため、画素14の形状は、長方形の1つの角が凹んだ形状となっている。
ここで、TFT遮光用パターン13は、カラーフィルタ100の対向基板として設けられるアクティブマトリクス基板中のTFT(薄膜トランジスタ)を遮光するための遮光用パターンである。但し、TFT遮光用パターン13はデバイス設計によっては省略可能であり、その結果、画素の形状が長方形となっていてもよい。
The resin black matrix 12 divides the substrate 10 into a plurality of pixels (dotted line portions in the color filter 100 in FIG. 1A, pixels 14 in the substrate 110 with the resin black matrix in FIG. 2A). It is a lattice pattern. That is, the resin black matrix 12 has a lattice pattern having a plurality of openings which are pixels 14.
Here, the pattern area of the lattice pattern includes a stripe pattern in the X direction (horizontal direction) (hereinafter also referred to as “horizontal stripe”) and a stripe pattern in the Y direction (vertical direction) (hereinafter referred to as “vertical stripe”). There is no particular limitation as long as it is a region including a composite region.
In the resin black matrix 12 of FIG. 1A and FIG. 2A, in addition to the composite region, the resin black matrix 12 is adjacent to the stripe pattern in the X direction and the stripe pattern in the Y direction and corresponds to one corner of the pixel 14. At a position, a TFT light-shielding pattern 13 protruding toward the inside of the pixel 14 is provided. For this reason, the shape of the pixel 14 is a shape in which one corner of a rectangle is recessed.
Here, the TFT light shielding pattern 13 is a light shielding pattern for shielding light from a TFT (thin film transistor) in an active matrix substrate provided as a counter substrate of the color filter 100. However, the TFT light shielding pattern 13 may be omitted depending on the device design, and as a result, the pixel shape may be rectangular.

また、図1(a)〜(c)において、前記着色パターンのうち1列(例えば、緑色パターン20G)についてみると、前記複数の画素のうち直線状に配列された画素群上及び該画素群における画素間の樹脂ブラックマトリクス上に渡って連続的に設けられている。ここで、「〜に渡って連続的に設けられている」とは、パターンエッジを有さず一つのパターンとして設けられている状態を指す。   Further, in FIGS. 1A to 1C, when one column (for example, the green pattern 20G) of the colored patterns is viewed, the pixel group and the pixel group arranged in a straight line among the plurality of pixels. Are continuously provided on the resin black matrix between the pixels. Here, “provided continuously over” refers to a state in which the pattern edge is not provided and is provided as one pattern.

また、図1(a)に示すように、緑色パターン20Gは、緑色パターン20Gの方向(Y方向)に対して直交する方向(X方向)の樹脂ブラックマトリクス上に(即ち、横ストライプ上に)重なり部Oの群を、前記列の方向に対して平行な方向(Y方向)の樹脂ブラックマトリクス上に(即ち、縦ストライプ上に)重なり部Oの群及び1対のパターンエッジを、それぞれ有している。
即ち、前記緑色パターン20Gは、前記画素14全面を覆ったうえで、さらに、樹脂ブラックマトリクス12上に重なり部O及び重なり部Oを有し、かつ、樹脂ブラックマトリクス上に1対のパターンエッジ(パターン下端E1及びパターン下端E2)を有するようにパターニングされている。
カラーフィルタ100においては、前記緑色パターン20G以外の他の列についても同様の構成となっている。
Further, as shown in FIG. 1A, the green pattern 20G is formed on the resin black matrix in the direction (X direction) orthogonal to the direction (Y direction) of the green pattern 20G (that is, on the horizontal stripe). the group of overlapping portion O X, on the resin black matrix in a direction parallel to the direction of the row (Y direction) (i.e., on the vertical stripes) groups and a pair of pattern edge of the overlapping portion O Y, Each has.
That is, the green pattern 20G is, after covering the pixel 14 over the entire surface, and further includes an overlapping portion O X and the overlapped portion O Y over the resin black matrix 12, and a pair on the resin black matrix pattern Patterning is performed to have edges (pattern lower end E1 and pattern lower end E2).
The color filter 100 has the same configuration for the other columns than the green pattern 20G.

図1(a)のカラーフィルタ100では、緑色パターン20Gのうちの点線部(図2(a)中の画素14に対応する部分)が緑色画素となり、赤色パターン20Rのうちの点線部(図2(a)中の画素14に対応する部分)が赤色画素となり、青色パターン20Bのうちの点線部(図2(a)中の画素14に対応する部分)が青色画素となる。
また、該カラーフィルタ100では、図1(a)に示すように、画素の長手方向と、着色パターン20R、20G、20Bのストライプの方向とが、平行となるような配置となっている。
In the color filter 100 of FIG. 1A, the dotted line portion (the portion corresponding to the pixel 14 in FIG. 2A) of the green pattern 20G becomes a green pixel, and the dotted line portion (FIG. 2) of the red pattern 20R. A portion corresponding to the pixel 14 in (a) is a red pixel, and a dotted line portion (portion corresponding to the pixel 14 in FIG. 2A) of the blue pattern 20B is a blue pixel.
In the color filter 100, as shown in FIG. 1A, the longitudinal direction of the pixels and the stripe direction of the colored patterns 20R, 20G, and 20B are arranged in parallel.

図1(b)は、X方向の樹脂ブラックマトリクス1行(即ち、1つの重なり部O)を含む断面図である。
図1(b)に示すように、樹脂ブラックマトリクス12は、パターン両端部が後述するテーパー形となっており、パターン中央部における上面(基板に接する面に対し反対側の面。以下同じ)が基板表面に平行となっている。
一方、緑色パターン20Gは、画素上から樹脂ブラックマトリクス12上に渡って連続的に(パターンエッジを有さずに)設けられている。
また、樹脂ブラックマトリクス12上(即ち、重なり部O)における緑色パターン20Gの表面は、画素内における緑色パターン20Gの表面からみて高さhで盛り上がっている。詳しくは、画素内の緑色パターン20Gの表面、及び、重なり部Oの緑色パターン20Gの表面の一部は、いずれも基板表面に平行となっているが、前者に対し後者は、基板法線方向について高さhだけ基板から離れている。
FIG. 1B is a cross-sectional view including one row of the resin black matrix in the X direction (that is, one overlapping portion O X ).
As shown in FIG. 1B, the resin black matrix 12 has a taper shape at both ends of the pattern, which will be described later. It is parallel to the substrate surface.
On the other hand, the green pattern 20G is provided continuously (without a pattern edge) from the pixel to the resin black matrix 12.
Further, the surface of the green pattern 20G on the resin black matrix 12 (that is, the overlapping portion O X ) is raised at a height h X when viewed from the surface of the green pattern 20G in the pixel. Specifically, the green pattern 20G of the surface of the pixel, and, some of the green pattern 20G of the surface of the overlapped portion O X, both are parallel to the substrate surface, while the latter to the former, the substrate normal It is separated by from the substrate height h X for direction.

図1(c)は、Y方向の樹脂ブラックマトリクス2列及び緑色パターン20Gの1列を含む断面図である。
図1(c)において、2つの樹脂ブラックマトリクス12は、いずれもパターン両端部がテーパー形となっており、パターン中央部における上面が基板表面に平行となっている。
緑色パターン20Gは、中央部が画素上に位置し、両端部が樹脂ブラックマトリクス12上(即ち、重なり部O)に位置するように設けられている。さらに、緑色パターン20Gの一端におけるパターン下端E1が、図1(c)中右側の樹脂ブラックマトリクス12上に位置し、緑色パターン20Gの他端におけるパターン下端E2が図1(c)中左側の樹脂ブラックマトリクス12上に位置している。
画素内の緑色パターン20Gの表面は、画素内では基板表面に平行となっているが、樹脂ブラックマトリクス12上(即ち、重なり部O)では曲面状となっている。
さらに、樹脂ブラックマトリクス12上(即ち、重なり部O)における緑色パターン20G表面は、画素内における緑色パターン20G表面からみて高さhで盛り上がっている。詳しくは、画素内の緑色パターン20G表面に対し、重なり部Oの緑色パターン20G表面の最高点(基板から最も離れた点をいう。以下同じ。)が、基板法線方向について高さhだけ基板から離れている。
FIG. 1C is a cross-sectional view including two columns of the resin black matrix in the Y direction and one column of the green pattern 20G.
In FIG. 1C, the two resin black matrices 12 are both tapered at both ends of the pattern, and the upper surface at the center of the pattern is parallel to the substrate surface.
The green pattern 20G is provided so that the center portion is located on the pixel and both end portions are located on the resin black matrix 12 (that is, the overlapping portion O Y ). Further, the lower end E1 of the pattern at one end of the green pattern 20G is positioned on the resin black matrix 12 on the right side in FIG. 1C, and the lower end E2 of the pattern at the other end of the green pattern 20G is the resin on the left side in FIG. Located on the black matrix 12.
The surface of the green pattern 20G in the pixel is parallel to the substrate surface in the pixel, but is curved on the resin black matrix 12 (that is, the overlapping portion O Y ).
Further, the surface of the green pattern 20G on the resin black matrix 12 (that is, the overlapping portion O Y ) is raised at a height h Y when viewed from the surface of the green pattern 20G in the pixel. Specifically, with respect to the green pattern 20G surface within the pixel, the highest point of the green pattern 20G surface of the overlapping portion O Y (refer to a point farthest from the substrate. Hereinafter the same.) Is, the height h Y about the substrate normal direction Just away from the substrate.

本発明においては、画素群中の1つの画素内についてみたときに、該画素内の着色パターン表面に対する該画素に隣接する重なり部Oの高さhが、該画素内の着色パターン表面に対する該画素に隣接する重なり部Oの高さhに対し、0.1μm以上低いことが必要である。
即ち、hとhとの間には、下記式1の関係が成り立っている。ここで、h及びhはいずれも0μm以上である。
In the present invention, when viewed in one pixel in the pixel group, the height h Y of the overlapping portion O Y adjacent to the pixel with respect to the colored pattern surface in the pixel is equal to the colored pattern surface in the pixel. It is necessary that the height h X of the overlapping portion O X adjacent to the pixel is lower by 0.1 μm or more.
That is, between the h X and h Y is made up the relationship of the following equation 1. Here, both h X and h Y are 0 μm or more.

−h≦−0.1μm … 式1 h Y −h X ≦ −0.1 μm Formula 1

とhとが前記式1の関係を満たすことにより、重なり部Oに隣接する着色パターンの段差が低減されるので、カラーフィルタ100を液晶表示装置に用いた際、液晶の配向乱れを抑制することができ、コントラストを向上できる。 By the h X and h Y satisfy the relationship of formula 1, the step of coloring pattern adjacent to the overlapping portion O Y is reduced, when using the color filter 100 on the liquid crystal display device, alignment of the liquid crystal disturbance And the contrast can be improved.

本発明においては、特に、図1に示すカラーフィルタ100のように、画素の長手方向と着色パターンの1列の方向とが平行である場合、画素外周において重なり部OのY方向成分の占める割合が多くなるため、より効果的に液晶の配向乱れを抑制し、より効果的にコントラストを向上できる。
以上の観点より、画素の形状は、Y方向を長手方向とする長方形又は略長方形(例えば、長方形の少なくとも1つの角が凹んだ形状)であることが好ましく、その中でも、長手方向(Y方向)と幅方向(X方向)との比〔長手方向/幅方向〕が、120/100以上の長方形又は略長方形であることが好ましい。
In the present invention, in particular, as a color filter 100 shown in FIG. 1, if the direction of a row in the longitudinal direction and the colored pattern of pixels are parallel, occupied by Y direction component of the overlapping portion O Y in the pixel periphery Since the ratio increases, the alignment disorder of the liquid crystal can be suppressed more effectively, and the contrast can be improved more effectively.
From the above viewpoint, the shape of the pixel is preferably a rectangle or a substantially rectangular shape (for example, a shape in which at least one corner of the rectangle is recessed) whose longitudinal direction is the Y direction, and among them, the longitudinal direction (Y direction) It is preferable that the ratio [longitudinal direction / width direction] of the width direction (X direction) is a rectangle of 120/100 or more or a substantially rectangular shape.

以上、図1〜図2を用い、本発明のカラーフィルタの一例について説明したが、本発明におけるカラーフィルタは前記一例に限定されることはない。
例えば、カラーフィルタ100では、着色パターンの色が3色となっているが、着色パターンの色は単色であっても、2色であっても、4色以上であってもよい。
また、着色パターンの1列及び1画素について、緑色パターン及び緑色画素を例として説明したが、その他の色のパターン(例えば、赤色パターン、青色パターン、赤色画素、青色画素、等)が上記緑色パターン及び緑色画素の形状となっていてもよい。
さらに、カラーフィルタ中の着色パターンの全部において上記緑色パターン20Gのような形状となっている必要はなく、着色パターンの一部において、該一部中の各列が上記緑色パターン20Gのような形状となっていればよい。
なお、視感度の高い色(赤、緑、青画素から構成される場合には緑画素)の画素で本形状となっていればコントラスト改善効果が高い。
The example of the color filter of the present invention has been described above with reference to FIGS. 1 to 2, but the color filter in the present invention is not limited to the above example.
For example, in the color filter 100, the color of the color pattern is three, but the color of the color pattern may be a single color, two colors, or four or more colors.
In addition, although one column and one pixel of the coloring pattern have been described by taking the green pattern and the green pixel as an example, other color patterns (for example, a red pattern, a blue pattern, a red pixel, a blue pixel, etc.) And may have a green pixel shape.
Further, it is not necessary that all the colored patterns in the color filter have the shape like the green pattern 20G. In some of the colored patterns, each row in the part has a shape like the green pattern 20G. It only has to be.
It should be noted that the effect of improving the contrast is high if the pixel has a high visibility (green pixel in the case of a pixel composed of red, green, and blue pixels) and has this shape.

以下、着色パターン、樹脂ブラックマトリクス、基板、その他について説明する。   Hereinafter, the coloring pattern, the resin black matrix, the substrate, and others will be described.

<着色パターン>
本発明のカラーフィルタは、ストライプ状パターンである着色パターンを有して構成される。前記着色パターンは、例えば、後述の感光性着色組成物を用いて好適に形成できる。
<Coloring pattern>
The color filter of the present invention has a colored pattern which is a stripe pattern. The said coloring pattern can be suitably formed using the below-mentioned photosensitive coloring composition, for example.

着色パターンの膜厚は、1.0μm〜3.0μmであることが必要である。
ここにいう「着色パターンの膜厚」は、画素内における着色パターンの厚みを指す。
該膜厚が1.0μm未満であるとブラックマトリクスと重なる画素周辺部での段差が急峻となり光り抜けが生じ、表示むらとなる傾向がある。また、該膜厚が3.0μmを超えると大面積での色層の膜厚均一性が悪化する傾向がある。
更に、重なり部Oの高さhを低減し、前記式1の関係をより効果的に成立させる観点等からは、着色パターンの膜厚は1.5〜2.5μmであることが好ましい。
The film thickness of the colored pattern needs to be 1.0 μm to 3.0 μm.
Here, the “film thickness of the coloring pattern” refers to the thickness of the coloring pattern in the pixel.
When the film thickness is less than 1.0 μm, the step at the periphery of the pixel that overlaps with the black matrix is steep and light is lost, which tends to cause display unevenness. Further, when the film thickness exceeds 3.0 μm, the film thickness uniformity of the color layer in a large area tends to deteriorate.
Furthermore, to reduce the height h Y of the overlapping portion O Y, wherein Formula 1 and more from effectively standpoint to establish such a relationship, it is preferable that the thickness of the colored pattern is 1.5~2.5μm .

(重なり部)
図3に、図1(c)の重なり部O付近を拡大した様子を示す。
図3に示すように、緑色パターン20Gは、樹脂ブラックマトリクス12上に前記X方向についての長さLの重なり部Oを有している。緑色パターン20Gの表面は、画素内では基板表面に平行であるが、重なり部Oにおいて曲線状に盛り上がり、基板から最も離れた点であるパターン上端Tを通って下降して(基板に近づいて)いき、パターン下端E1で樹脂ブラックマトリクス12表面と接している。
(Overlapping part)
Figure 3 shows a state of the enlarged vicinity of the overlapping portion O Y of FIG. 1 (c).
As shown in FIG. 3, the green pattern 20G has an overlapping portion O Y of length L o of the X-direction on the resin black matrix 12. Green pattern 20G of the surface, although in a pixel is parallel to the substrate surface, the overlapping portion O Y raised curved in, descends through the pattern upper T is the point furthest away from the substrate (approaching substrate ) The pattern lower end E1 is in contact with the surface of the resin black matrix 12.

本発明において、重なり部Oの長さLは、該重なり部Oにおいて着色パターンのパターンエッジと樹脂ブラックマトリクスのパターンエッジとのX方向についての距離として求められる。特に、図3に示すように、着色パターン端部の断面形状および樹脂ブラックマトリクス端部の断面形状がいずれもテーパー形である場合は、該重なり部Oにおいて着色パターンのパターン下端E1と樹脂ブラックマトリクスのパターン下端とのX方向についての距離として求められる。
重なり部OのX方向についての長さLは特に限定はないが、高さhを低減し、前記式1の関係をより効果的に成立させる観点等からは、2μm以上10μm以下であることが好ましく、2μm以上8μm以下であることがより好ましい。
In the present invention, the length L o of the overlapping portion O Y is determined as the distance in the X direction between the pattern edge and the resin black matrix pattern edge of the color pattern in the above polymerization becomes part O Y. In particular, as shown in FIG. 3, when the cross-sectional shape of the cross-sectional shape and the resin black matrix end portion of the colored pattern end are both tapered shape, the pattern bottom E1 color pattern in the above polymerization becomes part O Y and resin black It is determined as the distance in the X direction from the lower end of the matrix pattern.
The length L o in the X direction of the overlapping portion O Y is not particularly limited. However, from the viewpoint of reducing the height h Y and more effectively establishing the relationship of Formula 1, the length L o is 2 μm or more and 10 μm or less. It is preferable that it is 2 μm or more and 8 μm or less.

本発明における「画素内の着色パターン表面に対する重なり部Oの高さh」は、画素内の着色パターン表面からみた重なり部Oにおける着色パターン表面の最高点の基板法線方向の高さを意味する。「画素内の着色パターン表面に対する重なり部Oの高さh」についても同様である。
例えば、図3に示すように、重なり部O中にパターン上端Tが含まれる場合には、前記高さhは、画素内の着色パターン表面から着色パターン上端Tまでの高さである。
なお、本発明においては、画素内の着色パターン表面から該画素に隣接する重なり部Oの高さhを「ツノ高さ」ということがある。
本発明における高さh(ツノ高さ)には特に限定はないが、液晶の配向乱れをより効果的に抑制し、コントラストをより効果的に向上する観点からは、0.6μm以下であることが好ましく、0.5μm以下であることがより好ましい。
The “height h Y of the overlapping portion O Y with respect to the colored pattern surface in the pixel” in the present invention is the height in the substrate normal direction of the highest point of the colored pattern surface in the overlapping portion O Y as viewed from the colored pattern surface in the pixel. Means. The same applies to the “height h X of the overlapping portion O X with respect to the surface of the colored pattern in the pixel”.
For example, as shown in FIG. 3, if it contains a pattern upper T in the overlapping portion O Y, the height h Y is the height from the colored patterned surface in the pixel to the color pattern upper T.
In the present invention, the height h Y of the overlapping portion O Y which is adjacent to the pixel from a colored patterned surface in the pixel may be referred to as "horn height".
The height h Y (horn height) in the present invention is not particularly limited, but is 0.6 μm or less from the viewpoint of more effectively suppressing the disorder of alignment of the liquid crystal and improving the contrast more effectively. Is preferably 0.5 μm or less.

(パターン端部の断面形状)
また、本発明のカラーフィルタにおいて、着色パターンのパターン端部の断面形状については特に限定はなく、矩形、テーパー形、アンダーカット形、等、どのような形状であってもよいが、高さhを低減し、前記式1の関係をより効果的に成立させる観点等からは、矩形又はテーパー形であることが好ましい。
さらに、着色パターン端部断面は、矩形又はテーパー長10μm以下のテーパー形であることがより好ましく、テーパー長10μm以下のテーパー形であることがさらに好ましく、テーパー長1μm以上5μm以下のテーパー形状であることが特に好ましい。
以下、「テーパー形」、「テーパー長」、「矩形」、及び「アンダーカット形」について説明する。
(Cross sectional shape of pattern edge)
In the color filter of the present invention, the cross-sectional shape of the pattern end of the colored pattern is not particularly limited, and may be any shape such as a rectangle, a taper shape, an undercut shape, etc., but the height h From the viewpoint of reducing Y and more effectively establishing the relationship of Formula 1, it is preferably rectangular or tapered.
Further, the colored pattern end section is more preferably rectangular or a taper shape with a taper length of 10 μm or less, more preferably a taper shape with a taper length of 10 μm or less, and a taper shape with a taper length of 1 μm or more and 5 μm or less. It is particularly preferred.
Hereinafter, “taper shape”, “taper length”, “rectangle”, and “undercut shape” will be described.

〜テーパー形〜
本発明においてパターン端部断面について「テーパー形」とは、順テーパー形ともいわれる形状であり、具体的には、パターン端部断面において、以下2つの条件をいずれも満たすような形状をいう。
~ Tapered type ~
In the present invention, the “tapered shape” of the pattern end section is a shape called a forward taper shape, and specifically, a shape that satisfies both of the following two conditions in the pattern end section.

(条件1) パターン端部断面において、パターン上端からみてパターン下端が、基板表面と平行な方向について該パターンの外側(該パターン中央から離れた側)に位置すること。
(条件2) パターン端部断面において、パターン表面に相当する線のうちパターン上端とパターン下端との中間部分の全てが、基板表面と平行な方向について、パターン上端からパターン下端までの間に位置すること。
(Condition 1) In the cross section of the pattern end, the pattern lower end is located on the outer side of the pattern (side away from the pattern center) in the direction parallel to the substrate surface when viewed from the upper end of the pattern.
(Condition 2) In the cross section of the pattern end, all of the intermediate portion between the pattern upper end and the pattern lower end of the line corresponding to the pattern surface is located between the pattern upper end and the pattern lower end in the direction parallel to the substrate surface. thing.

本発明においては、図3中の緑色パターン20G端部の断面形状はテーパー形に含まれる。緑色パターン端部の断面形状がテーパー形であるその他の例を図4及び図5に示す。
なお、パターン端部の断面形状がテーパー形である場合には、基板法線方向パターン形成面側からみたパターンエッジは、パターン断面におけるパターン下端に相当する。
In the present invention, the cross-sectional shape of the end portion of the green pattern 20G in FIG. 3 is included in the taper shape. Other examples in which the cross-sectional shape of the green pattern end is tapered are shown in FIGS.
When the cross-sectional shape of the pattern end is a taper shape, the pattern edge viewed from the substrate normal direction pattern forming surface side corresponds to the lower end of the pattern in the pattern cross section.

本発明において、パターン端部の断面形状がテーパー形である場合、パターン上端とパターン下端との基板表面に平行な方向についての距離をテーパー長という。
例えば、図3〜図5に示すように、緑色パターン20G、22G、24Gでは、テーパー長Lは、パターン上端Tとパターン下端E1との基板表面に平行な方向についての距離である。
テーパー長の好ましい範囲については前述のとおりである。
なお、図3〜図5では、テーパー長Lが重なり部Oの長さLよりも短くなっているが、本発明はこの関係に限定されず、テーパー長Lが重なり部Oの長さLよりも長くなっていてもよい。
In the present invention, when the cross-sectional shape of the pattern end is a taper shape, the distance between the pattern upper end and the pattern lower end in the direction parallel to the substrate surface is referred to as a taper length.
For example, as shown in FIGS. 3 to 5, the green pattern 20G, 22G, the 24G, taper length L c is the distance in the direction parallel to the substrate surface with the pattern upper T and the pattern bottom E1.
The preferable range of the taper length is as described above.
In FIGS. 3-5, but is shorter than the length L o of the taper length L c is overlapped portion O Y, the present invention is not limited to this relationship, a taper length L c is overlapped portion O Y It may be longer than the length Lo .

〜矩形〜
本発明においてパターン端部断面について「矩形」とは、図6に示す緑色パターン26Gのように、パターン上端T、パターン下端E1、及び、パターン表面に相当する線のうちパターン上端Tとパターン下端E1との中間部分が、基板表面と平行な方向について重なる位置にある形状をいう。
パターン端部の断面形状が矩形である場合には、基板法線方向パターン形成面側からみたパターンエッジは、パターン断面におけるパターン上端およびパターン下端に相当する。
~ Rectangle ~
In the present invention, the “rectangular shape” with respect to the cross section of the pattern end means the pattern upper end T, the pattern lower end E1, and the pattern upper end T and the pattern lower end E1 among the lines corresponding to the pattern surface, as in the green pattern 26G shown in FIG. And the intermediate portion is in a position overlapping in the direction parallel to the substrate surface.
When the cross-sectional shape of the pattern end is a rectangle, the pattern edge viewed from the substrate normal direction pattern forming surface side corresponds to the pattern upper end and pattern lower end in the pattern cross section.

〜アンダーカット形〜
本発明においてパターン端部断面について「アンダーカット形」とは、逆テーパー形ともいわれる形状であり、上記テーパー形にも矩形にも含まれない形状をいう。例えば、パターン端部断面において、ひさし状に突き出した部分を有する形状等が挙げられる。
~ Undercut type ~
In the present invention, the “undercut shape” for the pattern end cross section is a shape that is also referred to as an inverted taper shape, and refers to a shape that is not included in the taper shape or the rectangle. For example, the shape etc. which have the part protruded in the shape of an eaves in the cross section of a pattern edge part are mentioned.

図7〜図9に、緑色パターン端部断面が「アンダーカット形」である例を示す。
図7中の緑色パターン28Gは、パターン端部断面において、パターン上端Tからみてパターン下端E1が、基板表面と平行な方向について該パターンの中央側に位置しており、前述の「条件1」を満たしていない。
図8及び図9中の緑色パターン30G及び緑色パターン32Gは、パターン上端Tからみてパターン下端E1が、基板表面と平行な方向について該パターンの外側に位置しており、前述の「条件1」は満たしている。しかしながら、パターン表面に相当する線のうちパターン上端Tとパターン下端E1との中間部分のうちの一部が、基板表面と平行な方向について、パターン上端からパターン下端までの間から外れており、前述の「条件2」を満たしていない。
FIG. 7 to FIG. 9 show examples in which the green pattern end section has an “undercut shape”.
The green pattern 28G in FIG. 7 has a pattern end cross section in which the pattern lower end E1 as viewed from the pattern upper end T is located on the center side of the pattern in the direction parallel to the substrate surface. not filled.
The green pattern 30G and the green pattern 32G in FIGS. 8 and 9 are such that the pattern lower end E1 is located outside the pattern in the direction parallel to the substrate surface when viewed from the pattern upper end T. Satisfies. However, a part of the intermediate portion between the pattern upper end T and the pattern lower end E1 among the lines corresponding to the pattern surface is deviated from the pattern upper end to the pattern lower end in the direction parallel to the substrate surface. “Condition 2” is not satisfied.

なお、パターン端部の断面形状がアンダーカット形であり、前述の条件1のみを満たしている場合には、基板法線方向パターン形成面側からみたパターンエッジは、パターン断面におけるパターン下端に相当する。また、前述の条件1のみを満たしていない場合(即ち、前述の条件2のみを満たしている場合)には、基板法線方向パターン形成面側からみたパターンエッジは、パターン断面におけるパターン上端に相当する。   When the cross-sectional shape of the pattern edge is an undercut shape and satisfies only the above-described condition 1, the pattern edge viewed from the substrate normal direction pattern forming surface side corresponds to the lower end of the pattern in the pattern cross-section. . When only the above condition 1 is not satisfied (that is, when only the above condition 2 is satisfied), the pattern edge viewed from the substrate normal direction pattern forming surface side corresponds to the upper end of the pattern in the pattern section. To do.

(色膜厚比)
本発明においては、前記高さhをより効果的に低減する観点からは、下記式2で表される「色膜厚比」が重要となることがある。
(Color film thickness ratio)
In the present invention, said from the viewpoint of more effectively reducing the height h Y, there may be a "color film thickness ratio" as represented by the following formula 2 is important.

色膜厚比(%)=(重なり部Oにおける着色パターンの厚み/画素内における着色パターンの厚み)×100 … 式2 Color film thickness ratio (%) = (thickness of the colored pattern in the thickness / pixel color pattern in the overlap portion O Y) × 100 ... Formula 2

式2において、重なり部Oにおける着色パターンの厚みは、着色パターン下端E1から重なり部Oにおける着色パターン表面の最高点までの基板法線方向についての距離である。
特に、図3に示すように、重なり部Oに着色パターン上端Tが含まれる場合には、着色パターン下端E1から着色パターン上端Tまでの基板法線方向についての距離である。
前記高さhをより効果的に低減する観点からは、色膜厚比は30%〜100%が好ましく、50%〜90%がより好ましい。
In Equation 2, the thickness of the colored pattern in the overlap portion O Y, the distance of the substrate normal direction to the highest point of the colored patterned surface in the overlap portion O Y from color pattern bottom E1.
In particular, as shown in FIG. 3, when including the overlapping portion O Y in the colored pattern upper T is the distance of the substrate normal direction from the colored pattern lower end E1 to the colored pattern upper T.
Wherein from the viewpoint of reducing the height h Y more effectively, color film thickness ratio is preferably 30% to 100%, more preferably 50% to 90%.

<樹脂ブラックマトリクス>
本発明のカラーフィルタは、格子状パターンである樹脂ブラックマトリクスを有して構成される。
本発明において「樹脂ブラックマトリクス」とは、樹脂を含む材質からなるブラックマトリクスを指す。前記樹脂ブラックマトリクスは、例えば、後述の感光性濃色組成物を用いて好適に形成される。
<Resin black matrix>
The color filter of the present invention has a resin black matrix that is a lattice pattern.
In the present invention, “resin black matrix” refers to a black matrix made of a material containing resin. The resin black matrix is suitably formed using, for example, a photosensitive dark color composition described later.

本発明における樹脂ブラックマトリクスの光学濃度(OD値)には特に限定はないが、2.0以上8.0以下とすることが好ましく、3.0以上さらに好ましくは4.0以上6.0以下とすることがより好ましい。光学濃度が2.0以上であると、コントラスト低下抑制等表示装置の表示品位の低下を抑制することができる。
なお、ここで言う光学濃度とは、ISO Visual透過光学濃度をいう。ISO Visual透過光学濃度の測定に用いることができる測定器としては、例えば、サカタインクスエンジニアリング株式会社のX−Rite 361T(V)を挙げることができる。
The optical density (OD value) of the resin black matrix in the present invention is not particularly limited, but is preferably 2.0 or more and 8.0 or less, more preferably 3.0 or more, and still more preferably 4.0 or more and 6.0 or less. More preferably. When the optical density is 2.0 or more, deterioration of display quality of the display device such as suppression of reduction of contrast can be suppressed.
The optical density referred to here is the ISO Visual transmission optical density. An example of a measuring instrument that can be used to measure the ISO Visual transmission optical density is X-Rite 361T (V) manufactured by Sakata Inx Engineering Co., Ltd.

本発明における樹脂ブラックマトリクスの線幅としては、5〜30μmであることが、高開口率化による明度確保の観点から好ましい。   The line width of the resin black matrix in the present invention is preferably 5 to 30 μm from the viewpoint of ensuring brightness by increasing the aperture ratio.

樹脂ブラックマトリクスの膜厚は、前述の通り、0.5μm〜2.0μmであることが必要である。
該膜厚が0.5μm未満であるとOD値を高くすることが難しく、遮光性が悪化する傾向がある。また、該膜厚が2.0μmを超えると色層を積層したときの色層表面の傾きが急峻となり、液晶の配向不良による光抜けが生じる傾向がある。
更に、着色パターンの前記重なり部Oの高さhを低減し、前記式1の関係をより効果的に成立させる観点等からは、樹脂ブラックマトリクスの膜厚は0.8〜1.5μmであることが好ましい。
The film thickness of the resin black matrix needs to be 0.5 μm to 2.0 μm as described above.
If the film thickness is less than 0.5 μm, it is difficult to increase the OD value, and the light shielding property tends to deteriorate. On the other hand, when the film thickness exceeds 2.0 μm, the color layer surface has a steep inclination when the color layers are laminated, and light leakage due to poor alignment of the liquid crystal tends to occur.
Furthermore, to reduce the height h Y of the overlapped portion O Y color pattern, the formula 1 and more from effectively standpoint to establish such a relationship, the thickness of the resin black matrix 0.8~1.5μm It is preferable that

また、本発明のカラーフィルタにおいて、樹脂ブラックマトリクスのパターン端部の断面形状については特に限定はなく、矩形、テーパー形(例えば、図1〜図9における樹脂ブラックマトリクス12端部の断面形状)、アンダーカット形、等、どのような形状であってもよいが、高さhを低減し、前記式1の関係をより効果的に成立させる観点等からは、矩形又はテーパー形であることが好ましい。
樹脂ブラックマトリクスのパターン端部の断面形状(矩形、テーパー形、アンダーカット形)及びテーパー長の定義については、着色パターンの場合と同様である。
図1〜図9においては、樹脂ブラックマトリクス12のパターン端部におけるテーパー長をLで示している。
Further, in the color filter of the present invention, the cross-sectional shape of the pattern end portion of the resin black matrix is not particularly limited, and is rectangular, tapered (for example, the cross-sectional shape of the resin black matrix 12 end portion in FIGS. 1 to 9), undercut shape, etc., what may be a shape, but reduces the height h Y, wherein formula 1 and more from effectively standpoint to establish such a relationship, be rectangular or tapered shape preferable.
The definition of the cross-sectional shape (rectangular shape, taper shape, undercut shape) and taper length of the pattern end portion of the resin black matrix is the same as in the case of the colored pattern.
In FIGS. 1-9 show a taper length at the pattern end portion of the resin black matrix 12 in L B.

また、高さhを低減し、前記式1の関係をより効果的に成立させる観点等からは、樹脂ブラックマトリクスの端部断面は、矩形又はテーパー長10μm以下のテーパー形であることがより好ましく、テーパー長10μm以下のテーパー形であることがさらに好ましく、テーパー長2μm以上8μm以下のテーパー形であることが特に好ましい。 In addition, from the viewpoint of reducing the height h Y and more effectively establishing the relationship of Formula 1, the end cross section of the resin black matrix is more preferably rectangular or tapered with a taper length of 10 μm or less. A taper shape with a taper length of 10 μm or less is more preferable, and a taper shape with a taper length of 2 μm or more and 8 μm or less is particularly preferable.

<基板>
本発明における基板としては、例えば、液晶表示素子等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等が挙げられる。さらに、プラスチック基板も可能である。中でも無アルカリガラスが耐薬品性や耐熱性の観点から好ましい。これらの基板は、まず、各画素を隔離するように格子状などにブラックマトリクスを形成し、格子の空いた部分(以下、「開口部」又は「画素」ともいう)に着色画素が形成される。
また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。基板は大型(おおむね1辺1m以上)である方が、本発明の効果をより奏する点で好ましい。
<Board>
As the substrate in the present invention, for example, non-alkali glass, soda glass, Pyrex (registered trademark) glass, quartz glass, and those obtained by attaching a transparent conductive film to these, solid-state imaging devices, etc. Examples of the photoelectric conversion element substrate used include a silicon substrate. Furthermore, a plastic substrate is also possible. Among these, alkali-free glass is preferable from the viewpoint of chemical resistance and heat resistance. In these substrates, first, a black matrix is formed in a lattice shape so as to isolate each pixel, and colored pixels are formed in a portion where the lattice is vacant (hereinafter also referred to as “opening” or “pixel”). .
Further, if necessary, an undercoat layer may be provided on these substrates in order to improve adhesion with an upper layer, prevent diffusion of substances, or planarize the substrate surface. It is preferable that the substrate is large (generally 1 m or more per side) in that the effects of the present invention are further exhibited.

<その他>
本発明のカラーフィルタは上述した要素(樹脂ブラックマトリクス、着色パターン、及び、基板)以外にも、透明電極膜(例えば、ITO膜等)、柱状スペーサ、配向制御用突起パターン等の公知の要素を有して構成されていてもよい。
また、前記カラーフィルタにおける着色パターン(着色画素)の色は、前述のとおり、3色以上であることがより好ましい。中でも、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色であることが特に好ましい。
また、本発明のカラーフィルタは、テレビ、パーソナルコンピューター、産業用や医療用等のモニター、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなど、種々の用途の表示装置に適用できる。
<Others>
In addition to the above-described elements (resin black matrix, coloring pattern, and substrate), the color filter of the present invention includes known elements such as transparent electrode films (for example, ITO films), columnar spacers, alignment control projection patterns, It may be configured.
Further, as described above, the color of the colored pattern (colored pixel) in the color filter is more preferably three or more colors. Especially, it is especially preferable that it is three colors of R (red), G (green), and B (blue).
The color filter of the present invention is applied to display devices for various uses such as televisions, personal computers, industrial and medical monitors, liquid crystal projectors, game machines, mobile terminals such as mobile phones, digital cameras, and car navigation systems. it can.

≪カラーフィルタの製造方法≫
本発明のカラーフィルタを製造する方法としては特に限定はないが、以下に説明する本発明のカラーフィルタの製造方法が好適である。
即ち、本発明のカラーフィルタの製造方法は、上述の本発明のカラーフィルタを製造する方法であって、基板上に、格子状パターンである樹脂ブラックマトリクスを形成する樹脂ブラックマトリクス形成工程と、前記樹脂ブラックマトリクスが形成された基板上に、感光性着色組成物を用いて感光性着色組成物層を形成する感光性着色組成物層形成工程と、形成された感光性着色組成物層をパターン露光する露光工程と、パターン露光された感光性着色組成物層を現像して着色パターンを形成する現像工程と、を有して構成される。
≪Color filter manufacturing method≫
Although there is no limitation in particular as a method of manufacturing the color filter of this invention, the manufacturing method of the color filter of this invention demonstrated below is suitable.
That is, the color filter manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing the above-described color filter of the present invention, wherein a resin black matrix forming step of forming a resin black matrix that is a lattice pattern on a substrate; A photosensitive coloring composition layer forming step of forming a photosensitive coloring composition layer using a photosensitive coloring composition on a substrate on which a resin black matrix is formed, and pattern exposure of the formed photosensitive coloring composition layer And a developing step of developing the pattern-exposed photosensitive coloring composition layer to form a colored pattern.

<樹脂ブラックマトリクス形成工程>
前記樹脂ブラックマトリクス形成工程は、基板上に樹脂ブラックマトリクスを形成する工程である。
前記ブラックマトリクス形成工程は、少なくとも、感光性濃色組成物を用いて感光性濃色組成物層を基板上に形成する感光性濃色組成物層形成工程と、前記感光性濃色組成物層を露光する露光工程と、前記露光後の前記感光性濃色組成物層を現像してブラックマトリクスパターンを形成する現像工程と、を有して構成されることが好ましい。
樹脂ブラックマトリクス形成工程は上記各工程に加え、必要に応じて、ベーク工程(プリベーク工程、ポストベーク工程)等、その他の工程を設けてもよい。
なお、以下の説明では、「樹脂ブラックマトリクス」を単に「ブラックマトリクス」ということがある。
<Resin black matrix formation process>
The resin black matrix forming step is a step of forming a resin black matrix on the substrate.
The black matrix forming step includes at least a photosensitive dark color composition layer forming step of forming a photosensitive dark color composition layer on a substrate using the photosensitive dark color composition, and the photosensitive dark color composition layer. It is preferable to have an exposure process for exposing the film and a development process for developing the photosensitive dark color composition layer after the exposure to form a black matrix pattern.
In addition to the above steps, the resin black matrix forming step may be provided with other steps such as a baking step (a pre-bake step or a post-bake step) as necessary.
In the following description, “resin black matrix” may be simply referred to as “black matrix”.

−感光性濃色組成物層形成工程−
本工程では、感光性濃色組成物を用いて感光性濃色組成物層を基板上に形成する。基板については前述のとおりである。
-Photosensitive dark color composition layer forming step-
In this step, a photosensitive dark color composition layer is formed on the substrate using the photosensitive dark color composition. The substrate is as described above.

基板上に感光性濃色組成物層を形成する方法としては、例えば、基板上へ感光性濃色組成物を塗布等により付与する方法がある。
基板上への感光性濃色組成物の付与方法としては、スリット塗布(以下、「スリットコート(法)」ともいう)、インクジェット法、回転塗布(以下、「スピン塗布(法)」や「スピンコート(法)」ともいう)、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の付与方法を適用することができる。中でもスリット塗布が精度と速さの観点で好ましい。これら塗布を行う前に紫外線や各種洗浄液で基板を洗浄することが、塗布性向上の観点から好ましい。
また、予め仮支持体上に上記付与方法によって付与して形成した塗膜を、基板上に転写する方法を適用することもできる。
転写方法に関しては特開2006−23696号公報の段落番号[0023]、[0036]〜[0051]や、特開2006−47592号公報の段落番号[0096]〜[0108]に記載の作製方法を本発明においても好適に用いることができる。
転写に用いるラミネータとしては、WO2006−4225のFig.24に記載の大型二丁貼ラミネータや国際出願番号JP2007/069132号公報に記載のラミネータを好適に用いることができる。これらのラミネータを用いることで高い生産性を得ることができる。
As a method of forming the photosensitive dark color composition layer on the substrate, for example, there is a method of applying the photosensitive dark color composition on the substrate by coating or the like.
Examples of the method for applying the photosensitive dark color composition on the substrate include slit coating (hereinafter also referred to as “slit coating (method)”), ink jet method, spin coating (hereinafter referred to as “spin coating (method)” and “spin”. Various application methods such as coating (method) ”, cast coating, roll coating, and screen printing can be applied. Of these, slit coating is preferred from the viewpoints of accuracy and speed. Before performing these coatings, it is preferable to clean the substrate with ultraviolet rays or various cleaning liquids from the viewpoint of improving coating properties.
Moreover, the method of transferring the coating film previously formed on the temporary support by the above application method onto the substrate can also be applied.
Regarding the transfer method, the production methods described in JP-A-2006-23696, paragraph numbers [0023] and [0036] to [0051] and JP-A-2006-47592, paragraphs [0096] to [0108] are used. It can be suitably used in the present invention.
As a laminator used for transcription, FIG. A laminator described in No. 24 or a laminator described in International Application No. JP2007 / 069312 can be suitably used. High productivity can be obtained by using these laminators.

感光性濃色組成物を基板上に付与する際の厚み(例えば、塗布厚)は、形成するブラックマトリクスの厚みの設計値により、適宜調整されるが、一般的には、0.5〜2.0μmが好ましく、0.8〜1.5μmであることがより好ましい。   The thickness (for example, coating thickness) when the photosensitive dark color composition is applied onto the substrate is appropriately adjusted depending on the design value of the thickness of the black matrix to be formed. 0.0 μm is preferable, and 0.8 to 1.5 μm is more preferable.

−露光工程−
露光工程では、前記感光性濃色組成物層形成工程において形成された感光性濃色組成物層を、所定のマスクパターンを介して露光し、パターニング(ネガ型の場合は、光照射された塗布膜部分だけを硬化)する。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。照射量は5〜500mJ/cmが好ましく、10〜300mJ/cmがより好ましく、10〜200mJ/cmが最も好ましい。
露光機は、プロキシミティ方式の露光機でも、ミラープロジェクション方式でも、また、ステッパー方式でも使用可能である。
-Exposure process-
In the exposure step, the photosensitive dark color composition layer formed in the photosensitive dark color composition layer forming step is exposed through a predetermined mask pattern, and patterned (in the case of a negative type, a light-irradiated coating). Only the film part is cured). As radiation that can be used for exposure, ultraviolet rays such as g-line, h-line, and i-line are particularly preferably used. Irradiation dose is preferably 5~500mJ / cm 2, more preferably 10 to 300 mJ / cm 2, and most preferably 10~200mJ / cm 2.
The exposure machine can be a proximity type exposure machine, a mirror projection system, or a stepper system.

−現像工程−
次いで、アルカリ現像処理を行うことにより、例えば、感光性濃色組成物がネガ型の場合には、上記露光における光未照射部分を、アルカリ水溶液に溶出させ、光硬化した部分だけを残すことができる。
現像液としては、有機アルカリ現像液や無機アルカリ現像液又はその混合液が使用される。
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5、4、0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)する。
-Development process-
Next, by performing an alkali development treatment, for example, when the photosensitive dark color composition is a negative type, the non-light-irradiated part in the exposure may be eluted in an alkaline aqueous solution, leaving only the photocured part. it can.
As the developer, an organic alkali developer, an inorganic alkali developer or a mixture thereof is used.
Examples of the alkali agent used in the developer include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium bicarbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxy. And organic alkaline compounds such as tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5,4,0] -7-undecene, and the concentration of these alkaline agents is 0.001 to 0.001. An alkaline aqueous solution diluted with pure water so as to be 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass, is preferably used as the developer. In the case where a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed (rinsed) with pure water after development.

本発明においては、本現像工程後であって、後述のベーク工程の前において、前記感光性濃色組成物層内の上部端に対して下部端が−3.0〜+3.0μmに位置するようにブラックマトリクスパターンを形成することが好ましい。
ここで、「感光性濃色組成物層内の上部端に対して下部端が−3.0〜+3.0μmに位置する」とは、形成されたブラックマトリクスパターンを該パターンのパターンエッジに垂直かつ基板表面に垂直な面で切ったときの該パターンの一端部の断面において、以下の状態であることを指す。
即ち、基板表面と平行な方向についてのブラックマトリクスパターンの下部端の位置が、該パターンの上部端を基準として、該パターン中央側を負、該パターン外側(前記中央部から離れた側)を正としたとき、−3.0〜+3.0μmの範囲内にあることを指す。
例えば、前述の「条件1」を満たす場合に正の値となる。
感光性濃色組成物層又はブラックマトリクスパターンの「上部」「下部」の定義については後述する。
ブラックマトリクスパターンの断面形状、特に端部の断面形状は、露光、現像、および後述のプリベークの各条件により制御することができる。そこで、まず、現像工程後のブラックマトリクスパターン端部の断面形状について詳細に説明する。
In the present invention, the lower end is located at −3.0 to +3.0 μm with respect to the upper end in the photosensitive dark color composition layer after the main development step and before the baking step described later. Thus, it is preferable to form a black matrix pattern.
Here, “the lower end is located at −3.0 to +3.0 μm with respect to the upper end in the photosensitive dark color composition layer” means that the formed black matrix pattern is perpendicular to the pattern edge of the pattern. And in the cross section of the one end part of this pattern when it cut | disconnects in a surface perpendicular | vertical to a substrate surface, it points out being the following states.
That is, the position of the lower end of the black matrix pattern in the direction parallel to the substrate surface is negative on the center side of the pattern and positive on the outer side of the pattern (side away from the center) with respect to the upper end of the pattern. It means that it exists in the range of -3.0- + 3.0 micrometers.
For example, a positive value is obtained when the above-mentioned “condition 1” is satisfied.
The definitions of “upper part” and “lower part” of the photosensitive dark color composition layer or black matrix pattern will be described later.
The cross-sectional shape of the black matrix pattern, particularly the cross-sectional shape of the end portion, can be controlled by the conditions of exposure, development, and pre-baking described later. First, the cross-sectional shape of the end portion of the black matrix pattern after the development process will be described in detail.

ブラックマトリクスの形成工程において、露光後の感光性濃色組成物層を現像するときに、感光性濃色組成物層の表面(基板に接しない面をいう;以下、ブラックマトリクスについても同様に称する)、及び該表面より厚み(感光性濃色組成物層の基板の法線方向における長さ)に対し3分の1以内の層内部(以下、「感光性濃色組成物層上部」と称する。ブラックマトリクスについても同様にブラックマトリクスの表面より厚みに対し3分の1以内を「ブラックマトリクス上部」と称する。)の現像の進行と、感光性濃色組成物層の裏面(基板に接する面をいう;以下、ブラックマトリクスについても同様に「ブラックマトリクスの裏面」と称する)、及び該裏面より感光性濃色組成物層の厚みに対し3分の2以内の層内部(以下、「感光性濃色組成物層下部」と称する。ブラックマトリクスについては「ブラックマトリクス下部」ともいう。)の現像の進行と、が同等の場合には、感光性濃色組成物層の断面形状は、例えば、図10に示すようにほぼ垂直な形状(矩形に近い形状)となっている。   In the black matrix forming step, when developing the photosensitive dark color composition layer after exposure, the surface of the photosensitive dark color composition layer (refers to the surface not in contact with the substrate; hereinafter, the black matrix is also referred to similarly). ), And the inside of the layer within 1/3 of the thickness (the length of the photosensitive dark color composition layer in the normal direction of the substrate) (hereinafter referred to as “the upper part of the photosensitive dark color composition layer”). Similarly, with respect to the black matrix, within one-third of the thickness of the surface of the black matrix is referred to as “black matrix upper portion” development, and the back surface of the photosensitive dark color composition layer (surface in contact with the substrate). Hereinafter, the black matrix is also referred to as “the back side of the black matrix”, and the inner part of the layer within 2/3 of the thickness of the photosensitive dark color composition layer from the back side (hereinafter “photosensitive”). When the development of the black matrix is also referred to as “black matrix lower part”), the cross-sectional shape of the photosensitive dark color composition layer is, for example, As shown in FIG. 10, it has a substantially vertical shape (a shape close to a rectangle).

これに対し、感光性濃色組成物層の表面及び感光性濃色組成物層上部の現像に比べて、感光性濃色組成物層の裏面及び感光性濃色組成物の現像に過不足が生じることがある。現像が過多の場合には、感光性濃色組成物層下部は、えぐれた状態となり、感光性濃色組成物層(ブラックマトリクス)が形成された基板を、ブラックマトリクスの幅方向に切断した場合、感光性濃色組成物層の断面形状は、例えば、図11に示すようにアンダーカット形(逆テーパー形)となる。一方、現像が不足の場合には感光性濃色組成物層下部は、出っ張った状態となり、感光性濃色組成物層(ブラックマトリクス)が形成された基板を、ブラックマトリクスの幅方向に切断した場合、感光性濃色組成物層の断面形状は、例えば、図12に示すようにテーパー形(順テーパー形)となっている。   On the other hand, compared with the development of the surface of the photosensitive dark color composition layer and the upper part of the photosensitive dark color composition layer, there is an excess or deficiency in the development of the back surface of the photosensitive dark color composition layer and the photosensitive dark color composition. May occur. When the development is excessive, the lower part of the photosensitive dark color composition layer is in a vacant state, and the substrate on which the photosensitive dark color composition layer (black matrix) is formed is cut in the width direction of the black matrix. The cross-sectional shape of the photosensitive dark color composition layer is, for example, an undercut shape (reverse taper shape) as shown in FIG. On the other hand, when the development is insufficient, the lower part of the photosensitive dark color composition layer protrudes, and the substrate on which the photosensitive dark color composition layer (black matrix) is formed is cut in the width direction of the black matrix. In this case, the cross-sectional shape of the photosensitive dark color composition layer is, for example, a tapered shape (forward tapered shape) as shown in FIG.

なお、本現像工程後であって、後述のベーク工程の前において、図11に示すような逆テーパーが大きい場合には、現像工程において上部の出っ張り部が欠けやすく、ブラックマトリクスの平面形状の欠陥を生じやすいために、逆テーパーの大きさは3μm以下すなわち、感光性濃色組成物層内の上部端に対して下部端が−3.0〜0μmに位置することが望ましい。また、図12に示すような順テーパーが大きい場合には、現像不足により、感光性濃色組成物層を除去すべき部分に残渣残りが生じやすいために、順テーパーの大きさは3μm以下すなわち感光性濃色組成物層内の上部端に対して下部端が0〜3.0μmに位置することが望ましい。したがって、最も望ましい形状は、前記図10に示すような感光性濃色組成物層の端部がほぼ垂直な形状である。現像後に、前記のように、ほぼ垂直な形状となり、その後のポストベーク時に熱ダレして、円弧状の断面形状となるのが好ましい。
実際には工程のばらつきなどで多少の変動があり、現像後の感光性濃色組成物層の形状が、上部端に対して下部端が−3.0〜+3.0μmに位置する断面形状であれば問題なく、さらに上部端に対して下部端が−2.0〜+2.0μmに位置する断面形状が望ましい。
If the reverse taper as shown in FIG. 11 is large after the main development step and before the baking step described later, the upper protruding portion is likely to be missing in the development step, and the black matrix has a planar shape defect. Therefore, the reverse taper is preferably 3 μm or less, that is, the lower end is located at −3.0 to 0 μm with respect to the upper end in the photosensitive dark color composition layer. In addition, when the forward taper is large as shown in FIG. 12, the residue is likely to be left in the portion where the photosensitive dark color composition layer is to be removed due to insufficient development, and therefore the forward taper is 3 μm or less. It is desirable that the lower end is located at 0 to 3.0 μm with respect to the upper end in the photosensitive dark color composition layer. Therefore, the most desirable shape is a shape in which the end portion of the photosensitive dark color composition layer is substantially vertical as shown in FIG. After the development, as described above, it is preferable that the shape becomes a substantially vertical shape, and heat is sagged during the subsequent post-baking to have an arcuate cross-sectional shape.
Actually, there is some variation due to process variations, etc., and the shape of the photosensitive dark color composition layer after development is a cross-sectional shape in which the lower end is located at −3.0 to +3.0 μm with respect to the upper end. If there is no problem, a cross-sectional shape in which the lower end is located at −2.0 to +2.0 μm with respect to the upper end is desirable.

本現像工程後であって、後述のベーク工程の前において、前記感光性濃色組成物層端を図10のような垂直な断面形状にするためには、現像条件を適切に調整することが重要であり、現像の条件を変化させることで、断面形状を調整することができる。概念的には通常良く用いられている現像条件よりもやや強い条件で現像を行うほど逆テーパーとなり、逆にやや弱い条件で現像を行うほど順テーパーとなる。
より強い条件とは、より高い温度、より長い時間、より多い流量、より高いシャワー圧などであり、逆により弱い条件とは、より低い温度、より短い時間、より少ない流量、より低いシャワー圧などでありなどが挙げられるが、中でも温度と時間の調整は特に重要である。
In order to make the end of the photosensitive dark color composition layer perpendicular to the shape shown in FIG. 10 after the main development step and before the baking step described later, the development conditions can be adjusted appropriately. It is important, and the cross-sectional shape can be adjusted by changing the development conditions. Conceptually, the reverse taper is obtained when the development is performed under a slightly stronger condition than the commonly used development conditions, and the forward taper is obtained when the development is performed under a slightly weaker condition.
Stronger conditions are higher temperature, longer time, higher flow rate, higher shower pressure, etc. Conversely, weaker conditions are lower temperature, shorter time, lower flow rate, lower shower pressure, etc. Among them, adjustment of temperature and time is particularly important.

具体的には、精度よく断面形状を調整できる点から、現像温度としては20〜35℃が好ましく、20〜30℃がより好ましい。現像時間は、20〜120秒が好ましく、30〜70秒がより好ましい。
これらのうち、現像温度と現像時間の好ましい組み合わせとしては、例えば、温度23℃では40〜70秒であり、温度25℃では30〜60秒であることが挙げられる。
また、シャワー圧は、ブラックマトリクスの欠けを防止できる点から、0.01〜0.5MPaが好ましく、0.05〜0.3MPaが好ましく、0.1〜0.3MPaが好ましい。
Specifically, the development temperature is preferably 20 to 35 ° C., more preferably 20 to 30 ° C., from the viewpoint that the cross-sectional shape can be adjusted with high accuracy. The development time is preferably 20 to 120 seconds, and more preferably 30 to 70 seconds.
Among these, a preferable combination of the development temperature and the development time is, for example, 40 to 70 seconds at a temperature of 23 ° C. and 30 to 60 seconds at a temperature of 25 ° C.
The shower pressure is preferably from 0.01 to 0.5 MPa, preferably from 0.05 to 0.3 MPa, and preferably from 0.1 to 0.3 MPa from the viewpoint of preventing the black matrix from being chipped.

また、断面形状をより細かく調整するためには、ブラックマトリクス形成工程に、後述するプリベーク工程を追加することが好ましい。   Moreover, in order to adjust the cross-sectional shape more finely, it is preferable to add a pre-bake process described later to the black matrix forming process.

−ベーク工程−
次いで、ブラックマトリクスパターンに、ベーク処理(ポストベーク)という加熱処理を施す。ベークは、感光性濃色組成物の硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常150〜260℃の熱硬化処理を行う。
ベーク温度は、150〜260℃が好ましく、180〜260℃がより好ましく、200〜240℃が最も好ましい。ベーク時間は、10〜150分が好ましく、20〜120分がより好ましく、30〜90分がもっとも好ましい。
本現像工程後に前記感光性濃色組成物層端が図10のような垂直な断面形状に近い物に対し、上記条件範囲でベークすることで、断面形状が図14に示すように円弧に近い形状に調整することができる。これは、現像後の感光性濃色組成物をベーク処理により加熱することで、感光性濃色組成物が完全に硬化する前に、一旦、粘度が低い状態になることでエッジ部が表面張力により丸められ、その後硬化することによって、上記のような形状が形成される。
-Bake process-
Next, the black matrix pattern is subjected to a heat treatment called baking (post-baking). Bake is a heat treatment after development for complete curing of the photosensitive dark color composition, and usually a heat curing treatment at 150 to 260 ° C. is performed.
The baking temperature is preferably 150 to 260 ° C, more preferably 180 to 260 ° C, and most preferably 200 to 240 ° C. The baking time is preferably 10 to 150 minutes, more preferably 20 to 120 minutes, and most preferably 30 to 90 minutes.
By baking the photosensitive dark color composition layer end having a vertical cross-sectional shape close to that shown in FIG. 10 in the above condition range after the main development step, the cross-sectional shape is close to an arc as shown in FIG. The shape can be adjusted. This is because the photosensitive dark color composition after development is heated by baking, and before the photosensitive dark color composition is completely cured, the viscosity is once lowered so that the edge portion has surface tension. The shape as described above is formed by being rounded and then cured.

この現像後の加熱によるエッジの丸まり易さ(以降、「熱ダレ」と称する場合がある。)は、感光性濃色組成物の組成およびプリベークや露光、現像条件によっても変化する。一般的に、感光性濃色組成物の組成比は、後述するバインダーポリマーに比べて遮光剤の濃度が低いほど熱ダレし易く、遮光剤の濃度が高いほど熱ダレし難くなる。たとえば、ベーク後膜厚が1.4μmの時に、OD(ブラックマトリクスの光学濃度)が4.1となる遮光剤濃度が好適に使用できる。これに比べ、ベーク後膜厚が1.0μmで、ODが4.1となる遮光剤濃度では、熱ダレがおきにくい。   The ease of rounding of the edge due to heating after development (hereinafter sometimes referred to as “thermal sag”) also varies depending on the composition of the photosensitive dark color composition, prebaking, exposure, and development conditions. In general, the composition ratio of the photosensitive dark color composition is more likely to cause heat sagging as the concentration of the light shielding agent is lower than that of the binder polymer described later, and more difficult to heat sagging as the concentration of the light shielding agent is higher. For example, when the post-baking film thickness is 1.4 μm, a light-shielding agent concentration at which OD (optical density of the black matrix) is 4.1 can be suitably used. Compared with this, when the film thickness after baking is 1.0 μm and the shading agent concentration is OD 4.1, it is difficult for heat sagging to occur.

また、熱ダレを生じさせる別の手段として、モノマーの組成を工夫することが挙げられる。たとえば、特開2004−163917号公報に記載のように、モノマーとして、3官能以上のモノマーと、2官能モノマーを混合して用いると、好適に使用できるる。
また、プリベーク温度や時間が低く短いほど熱ダレし易く、高くおよび長いほど熱ダレし難くなり、露光強度が弱いほど熱ダレし易く、強いほど熱ダレし難くなり、現像条件は弱いほど熱ダレし易く、強いほど熱ダレし難くなる傾向にある。また、ポストベーク温度はやや低く長時間かける方が熱ダレし易く、温度は高く短時間かける方が熱ダレし難くなる傾向にある。
Another means for causing thermal sag is to devise the monomer composition. For example, as described in JP-A No. 2004-163917, it is possible to suitably use a monomer by mixing a trifunctional or higher functional monomer and a bifunctional monomer.
In addition, as the pre-bake temperature and time are shorter and shorter, heat sag is easier, and as the length is higher and longer, heat sag is harder. It is easy to do, and there is a tendency that the stronger it is, the more difficult it is to sag. In addition, the post-baking temperature is slightly low and it tends to sag when it is applied for a long time, and the temperature is high and it tends to be difficult to sag when it is applied for a short time.

図13に、ベーク後のブラックマトリクスの断面形状の一例を示す。
図13では、平坦なブラックマトリクス表面から円弧が開始する点(即ち、ブラックマトリクス上端)をP点とし、ブラックマトリクスの最も端(即ち、ブラックマトリクス下端)をQ点とした。
P点からQ点の基板表面に平行な方向についての距離が、前述の「テーパー長」である。テーパー長の好ましい範囲は前述のとおりである。
FIG. 13 shows an example of the cross-sectional shape of the black matrix after baking.
In FIG. 13, the point where the arc starts from the flat black matrix surface (that is, the upper end of the black matrix) is P point, and the end of the black matrix (that is, the lower end of the black matrix) is Q point.
The distance in the direction parallel to the substrate surface from point P to point Q is the aforementioned “taper length”. A preferable range of the taper length is as described above.

図14に、前記図13のブラックマトリクスが形成された基板上に着色画素を形成した場合の断面図を示す。このように、ブラックマトリクスと着色画素とのオーバーラップ部の盛り上がり(即ち、前記高さh)を抑制することができる。 FIG. 14 is a cross-sectional view when colored pixels are formed on a substrate on which the black matrix of FIG. 13 is formed. As described above, the swell of the overlap portion between the black matrix and the colored pixel (that is, the height h Y ) can be suppressed.

ベーク処理は、現像後の感光性濃色組成物層を、上条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。   The baking process is carried out continuously or batchwise by using a heating means such as a hot plate, a convection oven (hot air circulation dryer) or a high-frequency heater so that the photosensitive dark color composition layer after development is in the above condition. It can be done with a formula.

−その他の工程−
本発明におけるブラックマトリクス形成工程には、さらに、前記感光性濃色組成物層形成工程の後であって前記露光工程の前に、プリベーク工程を加えてもよいし、前記現像工程後であって前記ベーク(ポストベーク)工程前に、必要により、形成されたブラックマトリクスを露光により硬化する工程を含んでいてもよい。
-Other processes-
In the black matrix forming step in the present invention, a pre-baking step may be added after the photosensitive dark color composition layer forming step and before the exposing step, or after the developing step. Before the baking (post-baking) step, a step of curing the formed black matrix by exposure may be included if necessary.

(プリベーク工程)
上述したように、ブラックマトリクスの現像後の断面形状を調整するためには、ブラックマトリクス形成工程における露光・現像の条件を調整することのほか、プリベーク条件を適切に調整することが好ましい。本発明におけるブラックマトリクス形成工程においては、通常良く用いられているプリベーク条件よりも、低温で行うと逆テーパーになり、高温で行うと順テーパーになる傾向がある。
具体的には、ホットプレートによりプリベークを行う場合、プリベーク温度は、65〜120℃が好ましい。65℃以上とすることで、現像工程中に感光性濃色組成物層が剥れることを防止することができ、120℃以下とすることで、感光性濃色組成物層下部の現像が進行する状態にすることができる。より好ましくは、70〜100℃であり、75〜90℃が最も好ましい。また、プリベーク時間は、50〜300秒が好ましく、90〜200秒がより好ましく、100〜180秒がもっとも好ましい。上記条件範囲でプリベークを行うことで、感光性濃色組成物層の現像後の断面形状が調整しやすくなる。
なお、プリベークは、オーブンで行うこともでき、その場合も適宜上記と同等のプリベーク条件を設定することで、現像後の断面形状を調整することができる。
(Pre-baking process)
As described above, in order to adjust the cross-sectional shape after development of the black matrix, it is preferable to appropriately adjust the pre-bake conditions in addition to adjusting the exposure and development conditions in the black matrix formation step. In the black matrix forming step of the present invention, the taper tends to be reverse tapered when performed at a low temperature and forward tapered when performed at a high temperature, compared to pre-baking conditions that are usually used.
Specifically, when prebaking with a hot plate, the prebaking temperature is preferably 65 to 120 ° C. By setting the temperature to 65 ° C. or higher, it is possible to prevent the photosensitive dark color composition layer from being peeled off during the development process. By setting the temperature to 120 ° C. or lower, development of the lower portion of the photosensitive dark color composition layer proceeds. It can be in a state to do. More preferably, it is 70-100 degreeC, and 75-90 degreeC is the most preferable. The pre-bake time is preferably 50 to 300 seconds, more preferably 90 to 200 seconds, and most preferably 100 to 180 seconds. By performing pre-baking in the above condition range, the cross-sectional shape after development of the photosensitive dark color composition layer can be easily adjusted.
In addition, prebaking can also be performed in an oven, and also in this case, the cross-sectional shape after development can be adjusted by appropriately setting prebaking conditions equivalent to those described above.

<着色パターン形成工程>
本発明における着色パターン形成工程は、少なくとも、前記樹脂ブラックマトリクスが形成された基板上に、感光性着色組成物を用いて感光性着色組成物層を形成し(感光性着色組成物層形成工程)、形成された感光性着色組成物層をパターン露光し(着色層露光工程)、パターン露光された感光性着色組成物層を現像し(着色層現像工程)、ストライプ状パターンである着色パターンを形成する工程である。
更に、着色パターン端部の断面形状をテーパー形状に形成する観点からは、前記現像工程後にベークする(ベーク工程)ことにより着色パターンを形成することが好ましい。
<Coloring pattern formation process>
In the colored pattern forming step in the present invention, at least a photosensitive colored composition layer is formed on the substrate on which the resin black matrix is formed using a photosensitive colored composition (photosensitive colored composition layer forming step). Then, the formed photosensitive coloring composition layer is subjected to pattern exposure (coloring layer exposure step), and the pattern-exposed photosensitive coloring composition layer is developed (coloring layer development step) to form a colored pattern which is a stripe pattern. It is a process to do.
Furthermore, from the viewpoint of forming the cross-sectional shape of the end portion of the colored pattern into a tapered shape, it is preferable to form the colored pattern by baking after the developing step (baking step).

−感光性着色組成物層形成工程−
感光性着色組成物層形成工程では、樹脂ブラックマトリクスが形成されている基板上に、感光性着色組成物を用いて感光性着色組成物層を形成する。
樹脂ブラックマトリクスが形成された基板上に感光性着色組成物層を形成する方法としては、基板上に感光性濃色組成物層を形成する方法と同様の方法、すなわち、塗布方法または転写方法を用いることができる。
中でもスリットコーターなどでブラックマトリクスが形成された基板前面に感光性着色組成物を塗布する方法が、本発明の効果をよく奏することができる点で好ましい。
感光性着色組成物層の層厚は、充分な色再現領域を得、且つ充分なパネルの輝度を得るために、1.0〜3.0μmの範囲であることが好ましく、1.5〜2.5μmの範囲であることがより好ましい。
-Photosensitive coloring composition layer formation process-
In the photosensitive coloring composition layer forming step, the photosensitive coloring composition layer is formed using the photosensitive coloring composition on the substrate on which the resin black matrix is formed.
As a method for forming the photosensitive coloring composition layer on the substrate on which the resin black matrix is formed, the same method as the method for forming the photosensitive dark color composition layer on the substrate, that is, a coating method or a transfer method is used. Can be used.
Among them, the method of applying the photosensitive coloring composition to the front surface of the substrate on which the black matrix is formed with a slit coater or the like is preferable because the effects of the present invention can be exhibited well.
The layer thickness of the photosensitive coloring composition layer is preferably in the range of 1.0 to 3.0 μm, in order to obtain a sufficient color reproduction region and a sufficient panel luminance. More preferably, it is in the range of 5 μm.

−着色層露光工程−
着色層露光工程では、前記感光性着色組成物層を露光する。
感光性着色組成物層の露光処理は、感光性濃色組成物層の露光工程と同様にして行うことができる。複数色の着色パターンを形成するときは、各色の所定のマスクパターンを介して、各色ごとに露光し、光照射された各色の感光性着色組成物層をパターニング(ネガ型の場合は、硬化)することができる。
-Colored layer exposure process-
In the colored layer exposure step, the photosensitive colored composition layer is exposed.
The exposure treatment of the photosensitive coloring composition layer can be performed in the same manner as the exposure step of the photosensitive dark color composition layer. When forming a colored pattern of multiple colors, each color is exposed through a predetermined mask pattern of each color, and the photosensitive colored composition layer of each color irradiated with light is patterned (in the case of a negative type, cured). can do.

−プリベーク工程−
着色パターン形成工程においても、感光性着色組成物層形成工程の後であって着色層露光工程の前に、感光性着色組成物を乾燥させるために、感光性着色組成物層をプリベークする工程(着色層プリベーク工程)を設けることが好ましい。
感光性着色組成物層のプリベーク温度は、60〜140℃が好ましく、80〜120℃がより好ましい。プリベーク時間は、30〜300秒が好ましく、80〜200秒がより好ましい。
-Pre-baking process-
Also in the colored pattern forming step, after the photosensitive colored composition layer forming step and before the colored layer exposing step, a step of pre-baking the photosensitive colored composition layer in order to dry the photosensitive colored composition ( It is preferable to provide a colored layer prebaking step).
60-140 degreeC is preferable and, as for the prebaking temperature of the photosensitive coloring composition layer, 80-120 degreeC is more preferable. The pre-bake time is preferably 30 to 300 seconds, more preferably 80 to 200 seconds.

更に、前記高さhを低減し、前記式1の関係をより効果的に成立させる観点等からは、プリベーク後の感光性着色組成物層の表面の形状が重要となることがある。
例えば、図15に示すように、前記プリベーク後の感光性着色組成物層40を前記樹脂ブラックマトリクス12のパターンエッジに垂直かつ基板10に垂直な面で切ったときの断面において、前記感光性着色組成物層表面42のうち、基板10から最も離れた点Rに対し基板法線方向について0.1μm基板に近い点Sの位置が重要となることがある。
例えば、該点Sの基板表面に平行な方向についての位置は、該点Sに最も近い樹脂ブラックマトリクスのパターンエッジEの位置を基準(0(ゼロ))として樹脂ブラックマトリクス形成領域側を負(−)、樹脂ブラックマトリクス非形成領域側を正(+)としたとき、−2μm〜+10μmの範囲内であることが好ましい。
このような形状は、例えば、樹脂ブラックマトリクスのテーパー長を10μm以下(より好ましくは1μm以上5μm以下)とすることで好適に得ることができる。
Further, from the viewpoint of reducing the height h Y and more effectively establishing the relationship of the formula 1, the shape of the surface of the photosensitive coloring composition layer after pre-baking may be important.
For example, as shown in FIG. 15, in the cross section when the pre-baked photosensitive coloring composition layer 40 is cut along a plane perpendicular to the pattern edge of the resin black matrix 12 and perpendicular to the substrate 10, the photosensitive coloring composition layer 40. Of the composition layer surface 42, the position of the point S close to the 0.1 μm substrate in the substrate normal direction with respect to the point R farthest from the substrate 10 may be important.
For example, the position in the direction parallel to the substrate surface of the point S is negative the resin black matrix forming region side position of the pattern edge E B nearest the resin black matrix in the point S as a reference (0) (−), When the resin black matrix non-formation region side is positive (+), it is preferably in the range of −2 μm to +10 μm.
Such a shape can be suitably obtained, for example, by setting the taper length of the resin black matrix to 10 μm or less (more preferably from 1 μm to 5 μm).

−着色層露光工程−
着色層露光工程では、前記感光性着色組成物層を露光する。
感光性着色組成物層の露光処理は、感光性濃色組成物層の露光工程と同様にして行うことができる。複数色の着色パターンを形成するときは、各色の所定のマスクパターンを介して、各色ごとに露光し、光照射された各色の感光性着色組成物層をパターニング(ネガ型の場合は、硬化)することができる。
-Colored layer exposure process-
In the colored layer exposure step, the photosensitive colored composition layer is exposed.
The exposure treatment of the photosensitive coloring composition layer can be performed in the same manner as the exposure step of the photosensitive dark color composition layer. When forming a colored pattern of multiple colors, each color is exposed through a predetermined mask pattern of each color, and the photosensitive colored composition layer of each color irradiated with light is patterned (in the case of a negative type, cured). can do.

−着色層現像工程−
着色層現像工程では、露光後の前記感光性着色組成物層を現像する。
露光後の感光性着色組成物層の現像処理は、感光性濃色組成物層の現像工程の説明において記載した操作と同様の操作をすることができ、前記現像工程において説明した現像液を好適に用いることができる。
現像条件としては、ブラックマトリクスと着色画素とのオーバーラップ部に生じるオーバーラップ部の距離とツノの高さを調整するために、前記感光性濃色組成物層の現像工程の説明において記載した現像条件にて感光性着色組成物層を現像することが好ましい。
-Colored layer development process-
In the colored layer developing step, the photosensitive colored composition layer after exposure is developed.
The development processing of the photosensitive coloring composition layer after the exposure can be performed in the same manner as described in the description of the development process of the photosensitive dark composition layer, and the developer described in the development process is preferable. Can be used.
As the development conditions, the development described in the description of the development process of the photosensitive dark color composition layer in order to adjust the distance of the overlap portion and the height of the horn generated in the overlap portion between the black matrix and the colored pixel. It is preferable to develop the photosensitive coloring composition layer under conditions.

−着色層ベーク工程−
着色層ベーク工程では、現像された前記感光性着色組成物層をベークする。
現像後の感光性着色組成物層をベークする方法は、前述の感光性濃色組成物層をベークするベーク工程と同様の方法を用いることができる。
-Colored layer baking process-
In the colored layer baking step, the developed photosensitive colored composition layer is baked.
The method for baking the photosensitive coloring composition layer after development can be the same method as the baking step for baking the photosensitive dark color composition layer described above.

なお、RGB3色相等、複数色相の着色パターンを形成するときは、感光性着色組成物層の形成、露光、現像、及びベークのサイクルを、所望の色相数だけ繰り返してもよいし、色相ごとに感光性着色組成物層の形成、露光、及び現像を行ってから、最後に全色相分まとめてベークを行ってもよい。これにより、ブラックマトリクスと所望の色相よりなる着色画素を備えたカラーフィルタが作製される。
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法に用いられる感光性着色組成物、及び感光性濃色組成物について説明する。
When forming a colored pattern of a plurality of hues such as RGB three hues, the formation of the photosensitive coloring composition layer, exposure, development, and baking may be repeated as many times as desired, or for each hue. After the formation, exposure, and development of the photosensitive coloring composition layer, all the hues may be finally baked. As a result, a color filter including a colored pixel having a black matrix and a desired hue is manufactured.
Next, the photosensitive coloring composition used for the manufacturing method of the color filter of this invention and the photosensitive dark color composition are demonstrated.

≪感光性着色組成物≫
本発明のカラーフィルタの着色パターン形成用として用いられる感光性着色組成物は、感放射線性組成物(例えば、ネガ型の場合には、光により硬化する感放射線性組成物)であり、(A−1)着色剤、(B)バインダーポリマー、(C−1)重合性化合物、(D)光重合開始剤、及び、(E)溶剤、を含有することが好ましく、所望により、さらに、高分子分散剤や界面活性剤などのその他の添加物を含んでいてもよい。
≪Photosensitive coloring composition≫
The photosensitive coloring composition used for forming the coloring pattern of the color filter of the present invention is a radiation-sensitive composition (for example, in the case of a negative type, a radiation-sensitive composition that is cured by light), and (A -1) It preferably contains a colorant, (B) a binder polymer, (C-1) a polymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a solvent. Other additives such as a dispersant and a surfactant may be included.

−(A−1)着色剤−
着色剤は、染料・顔料系を適宜選択することができ、着色剤として使用される顔料は、無機顔料であっても、有機顔料であってもよいが、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、なるべく粒子サイズの小さいものの使用が好ましい。平均粒子サイズは、10〜100nmであることが好ましく、さらに好ましくは、10〜50nmの範囲である。本発明に用いられる感光性着色組成物においては、後述する高分子分散剤を用いることで、着色剤のサイズが小さい場合であっても、顔料分散性、分散安定性が良好となるため、膜厚が薄くても色純度に優れる着色画素を形成しうる。
-(A-1) Colorant-
As the colorant, a dye / pigment system can be appropriately selected. The pigment used as the colorant may be an inorganic pigment or an organic pigment, but preferably has a high transmittance. In view of the above, it is preferable to use one having a particle size as small as possible. The average particle size is preferably 10 to 100 nm, more preferably 10 to 50 nm. In the photosensitive coloring composition used in the present invention, by using a polymer dispersing agent described later, even when the size of the coloring agent is small, the pigment dispersibility and dispersion stability are improved. Even if the thickness is small, a colored pixel having excellent color purity can be formed.

着色パターン(着色画素)形成用の着色剤として用いうる無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で表される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物等を挙げることができる。   Examples of the inorganic pigment that can be used as a colorant for forming a colored pattern (colored pixel) include metal compounds represented by metal oxides, metal complex salts, and the like. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium And metal oxides such as lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, and antimony, and composite oxides of the above metals.

また、有機顔料としては、例えば、
C.I.ピグメント イエロー 11、 24、 31、 53、 83、 93、 99、 108、 109、 110、138、 139、 147、 150、 151、 154、 155、 167、 180、 185、 199; C.I.ピグメント オレンジ 36、 38、 43、 71; C.I.ピグメント レッド 81、 105、 122、 149、 150、 155、 171、 175、 176、 177、209、 220、224、 242、 254、 255、 264、 270;
C.I.ピグメント バイオレット 19、 23、 32、 37、39; C.I.ピグメント ブルー 1、 2、 15、 15:1、 15:3、 15:6、 16、 22、 60、 66;
C.I.ピグメント グリーン 7、 36、 37;
C.I.ピグメント ブラウン 25、 28;
C.I.ピグメント ブラック 1
等を挙げることができる。
Moreover, as an organic pigment, for example,
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199; I. Pigment orange 36, 38, 43, 71; C.I. I. Pigment Red 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177, 209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C. I. Pigment violet 19, 23, 32, 37, 39; C.I. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
C. I. Pigment green 7, 36, 37;
C. I. Pigment brown 25, 28;
C. I. Pigment Black 1
Etc.

本発明においては特に限定されるものではないが、下記の顔料がより好ましい。
C.I.ピグメント イエロー 11、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185;
C.I.ピグメント オレンジ 36、71;
C.I.ピグメント レッド 122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264;
C.I.ピグメント バイオレット 19、23、37;
C.I.ピグメント ブルー 15:1、15:3、15:6、16、22、60、66;
C.I.ピグメント グリーン 7、36、37;
Although it does not specifically limit in this invention, The following pigment is more preferable.
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185;
C. I. Pigment orange 36, 71;
C. I. Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264;
C. I. Pigment violet 19, 23, 37;
C. I. Pigment Blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
C. I. Pigment green 7, 36, 37;

これら有機顔料は、単独若しくは、色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。組合せの具体例を以下に示す。
例えば、赤色(R)用の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独又はそれらの少なくとも一種と、ビスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料又はペリレン系赤色顔料との混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメントイエロー139との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、十分な色純度を得ること、及びNTSC目標色相からのずれを抑制する観点から、100:5〜100:50が好ましい。特に、前記質量比としては、100:10〜100:30の範囲が最適である。なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
These organic pigments can be used alone or in various combinations in order to increase color purity. Specific examples of combinations are shown below.
For example, as red (R) pigments, anthraquinone pigments, perylene pigments, diketopyrrolopyrrole pigments alone or at least one of them, bisazo yellow pigments, isoindoline yellow pigments, quinophthalone yellow pigments or perylenes A mixture with a red pigment can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment red 177, and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224, and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment red 254, and C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 139 is preferred. The mass ratio of the red pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 50 from the viewpoint of obtaining sufficient color purity and suppressing deviation from the NTSC target hue. In particular, the mass ratio is optimally in the range of 100: 10 to 100: 30. In addition, in the case of the combination of red pigments, it can adjust according to chromaticity.

また、緑色(G)用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又は、これとビスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、C.I.ピグメントグリーン7、36、37とC.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー180又はC.I.ピグメントイエロー185との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、十分な色純度を得ること、及びNTSC目標色相からのずれを抑制する観点から、100:5〜100:150が好ましい。質量比としては100:30〜100:120の範囲が特に好ましい。   In addition, as the green (G) pigment, a halogenated phthalocyanine pigment is used alone, or a mixture thereof with a bisazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment or an isoindoline yellow pigment is used. be able to. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37 and C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred. The mass ratio of the green pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 150 from the viewpoint of obtaining sufficient color purity and suppressing deviation from the NTSC target hue. The mass ratio is particularly preferably in the range of 100: 30 to 100: 120.

青色(B)用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えば、C.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:50が好ましく、より好ましくは100:5〜100:30である。   As the blue (B) pigment, a phthalocyanine pigment can be used alone, or a mixture of this with a dioxazine purple pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred. The mass ratio of the blue pigment and the purple pigment is preferably 100: 0 to 100: 50, more preferably 100: 5 to 100: 30.

本発明に用いられる感光性着色組成物層中における(A−1)着色剤(顔料)の含有量としては、該組成物の全固形分(質量)に対して、25〜75質量%が好ましく、32〜70質量%がより好ましい。(A−1)着色剤(顔料)の含有量が前記範囲内であると、色濃度が充分で優れた色特性を確保するのに有効である。   The content of (A-1) the colorant (pigment) in the photosensitive coloring composition layer used in the present invention is preferably 25 to 75% by mass with respect to the total solid content (mass) of the composition. 32 to 70% by mass is more preferable. (A-1) When the content of the colorant (pigment) is within the above range, the color density is sufficient and it is effective to ensure excellent color characteristics.

−(B)バインダーポリマー−
本発明の前記感光性着色組成物は、皮膜特性向上、現像特性付与などの目的で、バインダーポリマーを含有することが好ましい。バインダーポリマーとして下記のアルカリ可溶性樹脂を用いることができる。
本発明で使用するアルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子(好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基(例えばカルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、ヒドロキシル基など)を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
-(B) Binder polymer-
The photosensitive coloring composition of the present invention preferably contains a binder polymer for the purpose of improving film properties and imparting development properties. The following alkali-soluble resins can be used as the binder polymer.
The alkali-soluble resin used in the present invention is a linear organic polymer, and at least one molecule in a molecule (preferably a molecule having an acrylic copolymer or a styrene copolymer as a main chain). It can be appropriately selected from alkali-soluble resins having a group that promotes alkali solubility (for example, carboxyl group, phosphoric acid group, sulfonic acid group, hydroxyl group, etc.).

上記アルカリ可溶性樹脂としてより好ましいものは、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報、特開昭59−71048号公報の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等のアクリル系共重合体のものが挙げられる。
酸価としては、10〜200mgKOH/g、好ましくは30〜180mgKOH/g、更に好ましくは50〜150mgKOH/gの範囲のものが好ましい。
More preferable as the alkali-soluble resin are polymers having a carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, JP-B-54-25957. Methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, croton as described in JP-A Nos. 59-53836 and 59-71048. Acrylic polymers such as acid copolymers, maleic acid copolymers, partially esterified maleic acid copolymers, acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain, and polymers having a hydroxyl group with an acid anhydride added The thing of a copolymer is mentioned.
The acid value is preferably in the range of 10 to 200 mgKOH / g, preferably 30 to 180 mgKOH / g, and more preferably 50 to 150 mgKOH / g.

アルカリ可溶性樹脂の具体的な構成単位については、特に(メタ)アクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が好適である。前記(メタ)アクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、アルキル(メタ)アクリレート、アリール(メタ)アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。ここで、アルキル基及びアリール基の水素原子は、置換基で置換されていてもよい。
前記アルキル(メタ)アクリレート及びアリール(メタ)アクリレートとしては、CH=C(R)(COOR) 〔ここで、Rは水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、Rは炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜12のアラルキル基を表す。〕具体的にはメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、トリル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート(アルキルは炭素数1〜8のアルキル基)、ヒドロキシグリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等を挙げることができる。
As a specific structural unit of the alkali-soluble resin, a copolymer of (meth) acrylic acid and another monomer copolymerizable therewith is particularly suitable. Examples of other monomers copolymerizable with the (meth) acrylic acid include alkyl (meth) acrylates, aryl (meth) acrylates, and vinyl compounds. Here, the hydrogen atom of the alkyl group and the aryl group may be substituted with a substituent.
Examples of the alkyl (meth) acrylates and aryl (meth) acrylate, CH 2 = C (R 1 ) (COOR 3) [wherein, R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group of 1 to 5 carbon atoms, R 3 Represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an aralkyl group having 6 to 12 carbon atoms. Specifically, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) ) Acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, tolyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, hydroxyalkyl (meth) acrylate (alkyl is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms) ), Hydroxyglycidyl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate and the like.

また、分子側鎖にポリアルキレンオキサイド鎖を有する樹脂も好ましいものである。前記ポリアルキレンオキサイド鎖としては ポリエチレンオキシド鎖、ポリプロピレンオキシド鎖、ポリテトラメチレングリコール鎖あるいはこれらの併用も可能であり、末端は水素原子あるいは直鎖もしくは分岐のアルキル基である。
ポリエチレンオキシド鎖、ポリプロピレンオキシド鎖の繰り返し単位は1〜20が好ましく、2〜12がより好ましい。これらの側鎖にポリアルキレンオキサイド鎖を有するアクリル系共重合体は、例えばポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリ(エチレングリコール−プロピレングリコール)モノ(メタ)アクリレートなどおよびこれらの末端OH基をアルキル封鎖した化合物、例えばメトキシポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、エトキシポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、メトキシポリ(エチレングリコール−プロピレングリコール)モノ(メタ)アクリレートなどを共重合成分とするアクリル系共重合体である。
A resin having a polyalkylene oxide chain in the molecular side chain is also preferable. The polyalkylene oxide chain may be a polyethylene oxide chain, a polypropylene oxide chain, a polytetramethylene glycol chain, or a combination thereof, and the terminal is a hydrogen atom or a linear or branched alkyl group.
1-20 are preferable and, as for the repeating unit of a polyethylene oxide chain and a polypropylene oxide chain, 2-12 are more preferable. Acrylic copolymers having a polyalkylene oxide chain in these side chains include, for example, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, poly (ethylene glycol-propylene glycol) mono (meth) acrylate, and the like. These OH group alkyl-blocked compounds such as methoxypolyethylene glycol mono (meth) acrylate, ethoxypolypropylene glycol mono (meth) acrylate, methoxypoly (ethylene glycol-propylene glycol) mono (meth) acrylate and the like are used as copolymerization components. An acrylic copolymer.

前記ビニル化合物としては、CH=CR 〔ここで、Rは水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、Rは炭素数6〜10の芳香族炭化水素環を表す。〕具体的には、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、アクリロニトリル、ビニルアセテート、N−ビニルピロリドン、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等を挙げることができる。
共重合可能な他の単量体は、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中では特に、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体やベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/他のモノマーからなる多元共重合体が好適である。
As the vinyl compound, CH 2 = CR 1 R 2 [wherein R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and R 2 represents an aromatic hydrocarbon ring having 6 to 10 carbon atoms. . Specific examples include styrene, α-methylstyrene, vinyl toluene, acrylonitrile, vinyl acetate, N-vinyl pyrrolidone, polystyrene macromonomer, polymethyl methacrylate macromonomer, and the like.
Other monomers that can be copolymerized can be used singly or in combination of two or more. Among these, benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymers and multi-component copolymers composed of benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / other monomers are preferable.

前記アルカリ可溶性樹脂は、既に述べたように、10〜200mgKOH/gの範囲の酸価を有することが好ましい。酸価が200以下であれば、アルカリに対する溶解性が大きくなりすぎず、現像適正範囲(現像ラチチュード)が狭くなることを防止することができる。一方、10以上であれば、アルカリに対する溶解性が小さくなり難いので、現像時間の長時間化を防止することができる。
また、前記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量Mw(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)は、感光性着色組成物を塗布等の工程上使用しやすい粘度範囲を実現するために、また膜強度を確保するために、2,000〜100,000であることが好ましく、より好ましくは3,000〜50,000である。
As described above, the alkali-soluble resin preferably has an acid value in the range of 10 to 200 mgKOH / g. When the acid value is 200 or less, the solubility in alkali is not excessively increased, and the appropriate development range (development latitude) can be prevented from being narrowed. On the other hand, if it is 10 or more, the solubility in alkali is unlikely to be reduced, so that the development time can be prevented from being prolonged.
In addition, the weight average molecular weight Mw (polystyrene conversion value measured by GPC method) of the alkali-soluble resin is used in order to realize a viscosity range in which the photosensitive coloring composition can be easily used in the process such as coating, and the film strength is also increased. In order to ensure, it is preferable that it is 2,000-100,000, More preferably, it is 3,000-50,000.

また、本発明における感光性着色組成物の架橋効率を向上させるために、重合性基をアルカリ可溶性樹脂に有した樹脂を単独もしくは重合性基を有しないアルカリ可溶性樹脂と併用してもよく、アリール基、(メタ)アクリル基、アリールオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等が有用である。重合性二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂は、アルカリ現像液での現像が可能であって、さらに光硬化性と熱硬化性を備えたものである。これら重合性基を含有するポリマーの例を以下に示すが、1分子中に、COOH基、OH基等のアルカリ可溶性基と炭素−炭素間不飽和結合とを含むものであれば下記に限定されない。   In order to improve the crosslinking efficiency of the photosensitive coloring composition in the present invention, a resin having a polymerizable group in an alkali-soluble resin may be used alone or in combination with an alkali-soluble resin having no polymerizable group. A polymer containing a group, a (meth) acryl group, an aryloxyalkyl group or the like in the side chain is useful. The alkali-soluble resin having a polymerizable double bond can be developed with an alkali developer, and is further provided with photocurability and thermosetting. Examples of polymers containing these polymerizable groups are shown below, but are not limited to the following as long as each molecule contains an alkali-soluble group such as a COOH group and an OH group and a carbon-carbon unsaturated bond. .

(1)予めイソシアネート基とOH基を反応させ、未反応のイソシアネート基を1つ残し、かつ(メタ)アクリロイル基を少なくとも1つ含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、(2)カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基及び重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、
(3)酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、
(4)OH基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する2塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂。
上記のうち、特に(1)及び(2)の樹脂が好ましい。
(1) Urethane modification obtained by reacting an isocyanate group and an OH group in advance, leaving one unreacted isocyanate group and reacting at least one (meth) acryloyl group with an acrylic resin containing a carboxyl group A polymerizable double bond-containing acrylic resin, (2) an unsaturated group-containing acrylic resin obtained by a reaction between an acrylic resin containing a carboxyl group and a compound having both an epoxy group and a polymerizable double bond in the molecule,
(3) Acid pendant type epoxy acrylate resin,
(4) A polymerizable double bond-containing acrylic resin obtained by reacting an acrylic resin containing an OH group with a dibasic acid anhydride having a polymerizable double bond.
Among the above, the resins (1) and (2) are particularly preferable.

具体例として、OH基を有する例えば2−ヒドロキシエチルアクリレートと、COOH基を含有する例えばメタクリル酸と、これらと共重合可能なアクリル系若しくはビニル系化合物等のモノマーとの共重合体に、OH基に対し反応性を有するエポキシ環と炭素間不飽和結合基を有する化合物(例えばグリシジルアクリレートなどの化合物)を反応させて得られる化合物、等を使用できる。OH基との反応ではエポキシ環のほかに酸無水物、イソシアネート基、アクリロイル基を有する化合物も使用できる。
また、特開平6−102669号公報、特開平6−1938号公報に記載のエポキシ環を有する化合物にアクリル酸のような不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物に、飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる反応物も使用できる。
As a specific example, a copolymer of an OH group such as 2-hydroxyethyl acrylate, a COOH group such as methacrylic acid, and a monomer such as an acrylic or vinyl compound copolymerizable with these, an OH group A compound obtained by reacting an epoxy ring having reactivity with a compound having a carbon-carbon unsaturated bond group (for example, a compound such as glycidyl acrylate) can be used. In the reaction with the OH group, a compound having an acid anhydride, an isocyanate group, or an acryloyl group in addition to the epoxy ring can be used.
Further, a compound obtained by reacting an unsaturated carboxylic acid such as acrylic acid with a compound having an epoxy ring described in JP-A-6-102669 and JP-A-6-1938 is saturated or unsaturated polybasic. A reaction product obtained by reacting an acid anhydride can also be used.

COOH基のようなアルカリ可溶化基と炭素間不飽和基とを併せ持つ化合物として、例えば、ダイヤナールNRシリーズ(三菱レイヨン(株)製);Photomer 6173(COOH基含有Polyurethane acrylic oligomer、Diamond Shamrock Co.Ltd.,製);ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業(株)製);サイクロマーPシリーズ、プラクセルCF200シリーズ(いずれもダイセル化学工業(株)製);Ebecryl3800(ダイセルユーシービー(株)製)、などが挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂の添加量としては、感光性着色組成物層の全固形分中、3〜30質量%の範囲であることが好ましく、5〜20質量%がより好ましい。
Examples of compounds having both an alkali solubilizing group such as a COOH group and an intercarbon unsaturated group include, for example, Dynar NR series (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.); Ltd .; Biscort R-264, KS resist 106 (both manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.); Cyclomer P series, Plaxel CF200 series (both manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.); Ebecryl 3800 (Daicel) And UCB Co., Ltd.).
As addition amount of alkali-soluble resin, it is preferable that it is the range of 3-30 mass% in the total solid of a photosensitive coloring composition layer, and 5-20 mass% is more preferable.

感光性着色組成物の調製時にはバインダーポリマーとして、上記アルカリ可溶性樹脂に加え、さらに下記のエポキシ樹脂も添加することが好ましい。エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型、クレゾールノボラック型、ビフェニル型、脂環式エポキシ化合物などのエポキシ環を分子中に2個以上有する化合物が挙げられる。
例えば、ビスフェノールA型としては、エポトートYD−115、YD−118T、YD−127、YD−128、YD−134、YD−8125、YD−7011R、ZX−1059、YDF−8170、YDF−170など(以上、東都化成(株)製)、デナコールEX−1101、EX−1102、EX−1103など(以上、ナガセ化成(株)製)、プラクセルGL−61、GL−62、G101、G102(以上、ダイセル化学工業(株)製)などが挙げられ、その他にも、これらと類似のビスフェノールF型、ビスフェノールS型エポキシ樹脂も使用可能なものとして挙げることができる。
In preparing the photosensitive coloring composition, it is preferable to add the following epoxy resin as a binder polymer in addition to the alkali-soluble resin. Examples of the epoxy resin include compounds having two or more epoxy rings in the molecule, such as bisphenol A type, cresol novolac type, biphenyl type, and alicyclic epoxy compound.
For example, as bisphenol A type, Epototo YD-115, YD-118T, YD-127, YD-128, YD-134, YD-8125, YD-7011R, ZX-1059, YDF-8170, YDF-170 and the like ( As described above, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), Denacol EX-1101, EX-1102, EX-1103, etc. (above, manufactured by Nagase Kasei Co., Ltd.), Plaxel GL-61, GL-62, G101, G102 (above, Daicel) In addition, bisphenol F type and bisphenol S type epoxy resins similar to these can also be used.

また、Ebecryl 3700、3701、600(以上、ダイセルユーシービー(株)製)などのエポキシアクリレートも使用可能である。クレゾールノボラック型としては、エポトートYDPN−638、YDPN−701、YDPN−702、YDPN−703、YDPN−704など(以上、東都化成(株)製)、デナコールEM−125など(以上ナガセ化成製)、ビフェニル型としては3,5,3’,5’−テトラメチル−4,4’−ジグリシジルビフェニルなど、脂環式エポキシ化合物としては、セロキサイド2021、2081、2083、2085、エポリードGT−301、GT−302、GT−401、GT−403、EHPE−3150(以上、ダイセル化学工業(株)製)、サントートST−3000、ST−4000、ST−5080、ST−5100など(以上、東都化成(株)製)、Epiclon430、同673、同695、同850S、同4032(以上、大日本インキ化学工業(株)製)などを挙げることができる。また1,1,2,2−テトラキス(p−グリシジルオキシフェニル)エタン、トリス(p−グリシジルオキシフェニル)メタン、トリグリシジルトリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、o−フタル酸ジグリシジルエステル、テレフタル酸ジグリシジルエステル、他にアミン型エポキシ樹脂であるエポトートYH−434、YH−434L、ビスフェノールA型エポキシ樹脂の骨格中にダイマー酸を変性したグリシジルエステル等も使用できる。   Epoxy acrylates such as Ebecryl 3700, 3701, and 600 (manufactured by Daicel UC Corporation) can also be used. Examples of the cresol novolak type include Epototo YDPN-638, YDPN-701, YDPN-702, YDPN-703, YDPN-704, etc. (above, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), Denacol EM-125, etc. The biphenyl type is 3,5,3 ′, 5′-tetramethyl-4,4′-diglycidylbiphenyl, and the alicyclic epoxy compounds are Celoxide 2021, 2081, 2083, 2085, Epolide GT-301, GT -302, GT-401, GT-403, EHPE-3150 (above, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), Santo Tote ST-3000, ST-4000, ST-5080, ST-5100, etc. (above, Toto Kasei Co., Ltd.) ), Epiclon 430, 673, 695, 850S, 4 32 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals Inc.) and the like. 1,1,2,2-tetrakis (p-glycidyloxyphenyl) ethane, tris (p-glycidyloxyphenyl) methane, triglycidyltris (hydroxyethyl) isocyanurate, o-phthalic acid diglycidyl ester, terephthalic acid diester In addition, glycidyl esters such as Epototo YH-434 and YH-434L, which are amine-type epoxy resins, and glycidyl esters obtained by modifying dimer acid in the skeleton of bisphenol A-type epoxy resins can also be used.

この中で好ましいのは「分子量/エポキシ環の数」が100以上であり、より好ましいものは130〜500である。「分子量/エポキシ環の数」が小さいと硬化性が高く、硬化時の収縮が大きく、また大きすぎると硬化性が不足し、信頼性に欠けたり、平坦性が悪くなる。
具体的な好ましい化合物としては、エポトートYD−115、118T、127、YDF−170、YDPN−638、YDPN−701、プラクセルGL−61、GL−62、3,5,3’,5’−テトラメチル−4,4’ジグリシジルビフェニル、セロキサイド2021、2081、エポリードGT−302、GT−403、EHPE−3150などが挙げられる。
Among these, “molecular weight / number of epoxy rings” is preferably 100 or more, and more preferably 130 to 500. If the “molecular weight / number of epoxy rings” is small, the curability is high, and the shrinkage during curing is large.
Specific preferred compounds include Epototo YD-115, 118T, 127, YDF-170, YDPN-638, YDPN-701, Plaxel GL-61, GL-62, 3,5,3 ', 5'-tetramethyl. -4,4 'diglycidyl biphenyl, celoxide 2021, 2081, epolide GT-302, GT-403, EHPE-3150, etc. are mentioned.

−(C−1)重合性化合物−
本発明に用いられる感光性着色組成物は、(C−1)重合性化合物を含有することが好ましい。
本発明に用いることができる重合性化合物は、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応生成物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応生成物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
-(C-1) polymerizable compound-
The photosensitive coloring composition used in the present invention preferably contains (C-1) a polymerizable compound.
The polymerizable compound that can be used in the present invention is an addition polymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond, and is a compound having at least one terminal ethylenically unsaturated bond, preferably two or more. To be elected. Such a compound group is widely known in the industrial field, and can be used without any particular limitation in the present invention. These have chemical forms such as monomers, prepolymers, i.e. dimers, trimers and oligomers, or mixtures thereof and copolymers thereof. Examples of monomers and copolymers thereof include unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.), and esters and amides thereof. In this case, an ester of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyhydric alcohol compound, or an amide of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound is used. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxyl group, amino group or mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, and a monofunctional or A dehydration condensation reaction product with a polyfunctional carboxylic acid is also preferably used. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having an electrophilic substituent such as an epoxy group or an epoxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol, a halogen group or In addition, a substitution reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a leaving substituent such as a tosyloxy group and a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol is also suitable. As another example, it is also possible to use a group of compounds substituted with unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like instead of the unsaturated carboxylic acid.

脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸EO変性トリアクリレート等がある。   Specific examples of the monomer of an ester of an aliphatic polyhydric alcohol compound and an unsaturated carboxylic acid include acrylic acid esters such as ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, and tetramethylene glycol. Diacrylate, propylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate , Tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate , Pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester acrylate oligomer, isocyanuric acid There are EO-modified triacrylate and the like.

メタクリル酸エステルとしては、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔p−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔p−(メタクリルオキシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタン等がある。   Methacrylic acid esters include tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate, Hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p- (3-methacryloxy- 2-hydroxypro ) Phenyl] dimethyl methane, bis - [p- (methacryloxyethoxy) phenyl] dimethyl methane.

イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。   Itaconic acid esters include ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate And sorbitol tetritaconate. Examples of crotonic acid esters include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, and sorbitol tetradicrotonate. Examples of isocrotonic acid esters include ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, and sorbitol tetraisocrotonate. Examples of maleic acid esters include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramaleate.

その他のエステルの例として、例えば、特公昭51−47334号公報、特開昭57−196231号公報に記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭59−5240号公報、特開昭59−5241号公報、特開平2−226149号公報に記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平1−165613号公報に記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。   Examples of other esters include aliphatic alcohol esters described in JP-B-51-47334 and JP-A-57-196231, JP-A-59-5240, JP-A-59- Those having an aromatic skeleton described in Japanese Patent No. 5241 and JP-A-2-226149, those containing an amino group described in JP-A-1-165613, and the like are also preferably used. Furthermore, the ester monomers described above can also be used as a mixture.

また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭54−21726号公報に記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。   Specific examples of amide monomers of aliphatic polyvalent amine compounds and unsaturated carboxylic acids include methylene bis-acrylamide, methylene bis-methacrylamide, 1,6-hexamethylene bis-acrylamide, 1,6-hexamethylene bis. -Methacrylamide, diethylenetriamine trisacrylamide, xylylene bisacrylamide, xylylene bismethacrylamide and the like. Examples of other preferable amide monomers include those having a cyclohexylene structure described in JP-B No. 54-21726.

また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭48−41708号公報中に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式(V)で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。   In addition, urethane-based addition polymerizable compounds produced by using an addition reaction of isocyanate and hydroxyl group are also suitable, and specific examples thereof include, for example, one molecule described in JP-B-48-41708. A vinyl urethane containing two or more polymerizable vinyl groups in one molecule obtained by adding a vinyl monomer containing a hydroxyl group represented by the following general formula (V) to a polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups. Compounds and the like.

CH=C(R)COOCHCH(R)OH (V)
(ただし、R及びRは、各々独立に、H又はCHを示す。)
CH 2 = C (R 4) COOCH 2 CH (R 5) OH (V)
(However, R 4 and R 5 each independently represent H or CH 3. )

また、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報に記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、特開平1−105238号公報に記載される分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。   Also, urethane acrylates such as those described in JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, JP-B-2-16765, JP-B-58-49860, JP-B-56- Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in JP 17654, JP-B 62-39417, and JP-B 62-39418 are also suitable. Furthermore, by using addition polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238. Can obtain a photopolymerizable composition having an excellent photosensitive speed.

その他の例としては、特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報、特公昭52−30490号公報の各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭46−43946号公報、特公平1−40337号公報、特公平1−40336号公報に記載の特定の不飽和化合物や、特開平2−25493号公報に記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭61−22048号公報に記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に日本接着協会誌vol.20、No.7、300〜308ページ(1984年)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。   Other examples include polyester acrylates, epoxy resins and (meth) described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490. Mention may be made of polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates reacted with acrylic acid. Further, specific unsaturated compounds described in JP-B-46-43946, JP-B-1-40337, JP-B-1-40336, and vinylphosphonic acid-based compounds described in JP-A-2-25493. Etc. can also be mentioned. In some cases, a structure containing a perfluoroalkyl group described in JP-A-61-22048 is preferably used. Furthermore, Journal of Japan Adhesion Association vol. 20, no. 7, pages 300 to 308 (1984), which are introduced as photocurable monomers and oligomers, can also be used.

これらの重合性化合物について、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、最終的な感材の性能設計にあわせて任意に設定できる。例えば、次のような観点から選択される。
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、着色画像部すなわち、感光性着色組成物層の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。硬化感度の観点から、(メタ)アクリル酸エステル構造を2個以上含有する化合物を用いることが好ましく、3個以上含有する化合物を用いることがより好ましく、4個以上含有する化合物を用いることが最も好ましい。また、硬化感度、および、未露光部の現像性の観点では、EO変性体を含有することが好ましい。また、硬化感度、および、露光部強度の観点ではウレタン結合を含有することが好ましい。
また、感光性着色組成物層中の他の成分(例えばバインダーポリマー、開始剤、着色剤(顔料、染料等)との相溶性、分散性に対しても、付加重合化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板との密着性を向上せしめる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
About these polymerizable compounds, the details of usage such as the structure, single use or combination, addition amount, etc. can be arbitrarily set according to the performance design of the final photosensitive material. For example, it is selected from the following viewpoints.
From the viewpoint of sensitivity, a structure having a large unsaturated group content per molecule is preferable, and in many cases, a bifunctional or higher functionality is preferable. Further, in order to increase the strength of the colored image portion, that is, the photosensitive coloring composition layer, those having three or more functionalities are preferable, and further, different functional numbers and different polymerizable groups (for example, acrylic ester, methacrylic ester, A method of adjusting both sensitivity and strength by using a styrene compound or a vinyl ether compound) is also effective. From the viewpoint of curing sensitivity, it is preferable to use a compound containing two or more (meth) acrylic acid ester structures, more preferably a compound containing three or more, and most preferably a compound containing four or more. preferable. Moreover, it is preferable to contain an EO modified body from a viewpoint of hardening sensitivity and the developability of an unexposed part. Moreover, it is preferable to contain a urethane bond from a viewpoint of hardening sensitivity and exposure part intensity | strength.
In addition, for the compatibility and dispersibility with other components (for example, binder polymer, initiator, colorant (pigment, dye, etc.) in the photosensitive coloring composition layer, the selection and use method of the addition polymerization compound is as follows. For example, compatibility may be improved by using a low-purity compound or using two or more compounds in combination, and selecting a specific structure for the purpose of improving adhesion to the substrate. There is also a possibility.

以上の観点より、ビスフェノールAジアクリレート、ビスフェノールAジアクリレートEO変性体、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが好ましいものとして挙げられ、また、市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、DPHA(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)が好ましい。   From the above viewpoints, bisphenol A diacrylate, modified bisphenol A diacrylate EO, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate Acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxy D (I) Isocyanurate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified product, dipentaerythritol hexaacrylate EO modified product, etc. are mentioned as preferable ones. Also, as commercially available products, urethane oligomer UAS-10, UAB-140 (Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.) Manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, and AI-600 (manufactured by Kyoeisha) are preferred.

なかでも、ビスフェノールAジアクリレートEO変性体、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが、市販品としては、DPHA(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)がより好ましい。   Among them, bisphenol A diacrylate EO modified product, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified product, Dipentaerythritol hexaacrylate EO modified products such as DPHA (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600 (Kyoeisha) Manufactured) is more preferable.

(C−1)重合性化合物の含有量は、本発明の感光性着色性組成物層中の全固形分中、5〜55質量%であることが好ましく、10〜50質量%であることがより好ましく、15〜45質量%であることが更に好ましい。   (C-1) The content of the polymerizable compound is preferably 5 to 55% by mass and preferably 10 to 50% by mass in the total solid content in the photosensitive coloring composition layer of the present invention. More preferably, it is 15-45 mass%.

−(D)光重合開始剤−
本発明の感光性着色性組成物は、(D)光重合開始剤を含有することが好ましい。
前記光重合開始剤は、光により分解し、前記(C−1)重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であり、波長300〜500nmの領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、前記光重合開始剤は、単独で、又は2種以上を併用して用いることができる。
-(D) Photopolymerization initiator-
The photosensitive coloring composition of the present invention preferably contains (D) a photopolymerization initiator.
The photopolymerization initiator is a compound that is decomposed by light and starts and accelerates the polymerization of the polymerizable compound (C-1), and preferably has an absorption in a wavelength region of 300 to 500 nm. Moreover, the said photoinitiator can be used individually or in combination of 2 or more types.

前記光重合開始剤としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オキシムエステル化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物が挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator include organic halogenated compounds, oxydiazole compounds, carbonyl compounds, ketal compounds, benzoin compounds, acridine compounds, organic peroxide compounds, azo compounds, coumarin compounds, azide compounds, metallocene compounds, hexa Examples thereof include arylbiimidazole compounds, organic boric acid compounds, disulfonic acid compounds, oxime ester compounds, onium salt compounds, and acylphosphine (oxide) compounds.

有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、若林等、「Bull Chem.Soc
Japan」42、2924(1969)、米国特許第3,905,815号明細書、特公昭46−4605号公報、特開昭48−36281号公報、特開昭55−32070号公報、特開昭60−239736号公報、特開昭61−169835号公報、特開昭61−169837号公報、特開昭62−58241号公報、特開昭62−212401号公報、特開昭63−70243号公報、特開昭63−298339号公報、M.P.Hutt“Journal of Heterocyclic Chemistry”1(No3),(1970)」筆に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、s−トリアジン化合物が挙げられる。
Specific examples of organic halogenated compounds include Wakabayashi et al., “Bull Chem. Soc.
Japan 42, 2924 (1969), U.S. Pat. No. 3,905,815, JP-B 46-4605, JP-A 48-36281, JP-A 55-3070, JP JP 60-239736, JP 61-169835, JP 61-169837, JP 62-58241, JP 62-212401, JP 63-70243 JP, 63-298339, M .; P. Hutt “Journal of Heterocyclic Chemistry” 1 (No 3), (1970) ”, and the oxazole compound and s-triazine compound substituted with a trihalomethyl group.

s−トリアジン化合物として、より好適には、すくなくとも一つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がs−トリアジン環に結合したs−トリアジン誘導体、具体的には、例えば、2,4,6−トリス(モノクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2―n−プロピル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(α,α,β−トリクロロエチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3,4−エポキシフェニル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔1−(p−メトキシフェニル)−2,4−ブタジエニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−スチリル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−i−プロピルオキシスチリル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−ナトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ベンジルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N,N−(ジエトキシカルボニルアミノ)−フェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジブロモメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メトキシ−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。   As the s-triazine compound, more preferably, an s-triazine derivative in which at least one mono-, di-, or trihalogen-substituted methyl group is bonded to the s-triazine ring, specifically, for example, 2,4,6- Tris (monochloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-n-propyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (α, α, β-trichloroethyl) -4,6-bis (trichloro Methyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloro) Methyl) -s-triazine, 2- (3,4-epoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- [1- (p-methoxyphenyl) -2,4-butadienyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-styryl-4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (pi-propyloxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-natoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) s-triazine, 2-phenylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN) , N- (diethoxycarbonylamino) -phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dibromomethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (Tribromomethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methoxy-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, etc. It is done.

オキシジアゾール化合物としては、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(シアノスチリル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(ナフト−1−イル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(4−スチリル)スチリル−1,3,4−オキソジアゾールなどが挙げられる。   Examples of the oxydiazole compound include 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxodiazole, 2-trichloromethyl-5- (cyanostyryl) -1,3,4-oxodiazole, 2- Examples include trichloromethyl-5- (naphth-1-yl) -1,3,4-oxodiazole, 2-trichloromethyl-5- (4-styryl) styryl-1,3,4-oxodiazole, and the like. .

カルボニル化合物としては、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドトキシ−2−メチルフェニルプロパノン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチル−1−(4’−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2,4,6トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキシド、1,1,1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。   Examples of the carbonyl compound include benzophenone, Michler ketone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, 2-carboxybenzophenone and other benzophenone derivatives, 2,2-dimethoxy-2 -Phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenylketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanone, 1-hydroxy-1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-hydroxy -1- (p-dodecylphenyl) ketone, 2-methyl-1- (4 ′-(methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-mol Forinophenyl) -butanone-1,2,4,6 trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 1,1,1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) ketone, 2-benzyl-2-dimethylamino-4 -Acetophenone derivatives such as morpholinobyrophenone, thioxanthone derivatives such as thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, Examples thereof include benzoic acid ester derivatives such as ethyl p-dimethylaminobenzoate and ethyl p-diethylaminobenzoate.

ケタール化合物としては、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。   Examples of the ketal compound include benzyl dimethyl ketal and benzyl-β-methoxyethyl ethyl acetal.

ベンゾイン化合物としてはm−ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルo−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。   Examples of the benzoin compound include m-benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin methyl ether, methyl o-benzoylbenzoate and the like.

アクリジン化合物としては、9−フェニルアクリジン、9−ピリジルアクリジン、9−ピラジニルアクリジン、1,2−ジ(9−アクリジニル)エタン、1,3−ジ(9−アクリジニル)プロパン、1,4−ジ(9−アクリジニル)ブタン、1,5−ジ(9−アクリジニル)ペンタン、1,6−ジ(9−アクリジニル)ヘキサン、1,7−ジ(9−アクリジニル)ヘプタン、1,8−ジ(9−アクリジニル)オクタン、1,9−ジ(9−アクリジニル)ノナン、1,10−ジ(9−アクリジニル)デカン、1,11−ジ(9−アクリジニル)ウンデカン、1,12−ジ(9−アクリジニル)ドデカン等のジ(9−アクリジニル)アルカン、などを挙げることができる。   Examples of the acridine compound include 9-phenylacridine, 9-pyridylacridine, 9-pyrazinylacridine, 1,2-di (9-acridinyl) ethane, 1,3-di (9-acridinyl) propane, 1,4- Di (9-acridinyl) butane, 1,5-di (9-acridinyl) pentane, 1,6-di (9-acridinyl) hexane, 1,7-di (9-acridinyl) heptane, 1,8-di ( 9-acridinyl) octane, 1,9-di (9-acridinyl) nonane, 1,10-di (9-acridinyl) decane, 1,11-di (9-acridinyl) undecane, 1,12-di (9- Acridinyl) dodecane and other di (9-acridinyl) alkanes.

有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、1,1−ビス(tert−ブチルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(tert−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2−ビス(tert−ブチルパーオキシ)ブタン、tert−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジハイドロパーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、tert−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(tert−ブチルパーオキシ)ヘキサン、2,5−オキサノイルパーオキサイド、過酸化琥珀酸、過酸化ベンゾイル、2,4−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ(3−メチル−3−メトキシブチル)パーオキシジカーボネート、tert−ブチルパーオキシアセテート、tert−ブチルパーオキシピバレート、tert−ブチルパーオキシネオデカノエート、tert−ブチルパーオキシオクタノエート、tert−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、3,3’,4,4’−テトラ−(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ−(t−ヘキシルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ−(p−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、カルボニルジ(t−ブチルパーオキシ二水素二フタレート)、カルボニルジ(t−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート)等が挙げられる。   Examples of the organic peroxide compound include trimethylcyclohexanone peroxide, acetylacetone peroxide, 1,1-bis (tert-butylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (tert-butylperoxide). Oxy) cyclohexane, 2,2-bis (tert-butylperoxy) butane, tert-butyl hydroperoxide, cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, 2,5-dimethylhexane-2,5-dihydroper Oxide, 1,1,3,3-tetramethylbutyl hydroperoxide, tert-butylcumyl peroxide, dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxy) hexane, 2 , -Oxanoyl peroxide, oxalic acid peroxide, benzoyl peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, diisopropyl peroxydicarbonate, di-2-ethylhexyl peroxydicarbonate, di-2-ethoxyethyl peroxydicarbonate , Dimethoxyisopropyl peroxycarbonate, di (3-methyl-3-methoxybutyl) peroxydicarbonate, tert-butyl peroxyacetate, tert-butyl peroxypivalate, tert-butyl peroxyneodecanoate, tert- Butyl peroxyoctanoate, tert-butyl peroxylaurate, tersyl carbonate, 3,3 ′, 4,4′-tetra- (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ′, 4,4 -Tetra- (t-hexylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ', 4,4'-tetra- (p-isopropylcumylperoxycarbonyl) benzophenone, carbonyldi (t-butylperoxydihydrogen diphthalate), And carbonyldi (t-hexylperoxydihydrogen diphthalate).

アゾ化合物としては、例えば、特開平8−108621号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。   Examples of the azo compound include azo compounds described in JP-A-8-108621.

クマリン化合物としては、例えば、3−メチル−5−アミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−クロロ−5−ジエチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−ブチル−5−ジメチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン等を挙げることができる。   Examples of the coumarin compound include 3-methyl-5-amino-((s-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, 3-chloro-5-diethylamino-((s-triazin-2-yl). ) Amino) -3-phenylcoumarin, 3-butyl-5-dimethylamino-((s-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, and the like.

アジド化合物としては、米国特許第2848328号明細書、米国特許第2852379号明細書ならびに米国特許第2940853号明細書に記載の有機アジド化合物、2,6−ビス(4−アジドベンジリデン)−4−エチルシクロヘキサノン(BAC−E)等が挙げられる。   Examples of the azide compound include organic azide compounds described in U.S. Pat. No. 2,848,328, U.S. Pat. No. 2,852,379 and U.S. Pat. No. 2,940,553, 2,6-bis (4-azidobenzylidene) -4-ethyl. And cyclohexanone (BAC-E).

メタロセン化合物としては、特開昭59−152396号公報、特開昭61−151197号公報、特開昭63−41484号公報、特開平2−249号公報、特開平2−4705号公報、特開平5−83588号公報に記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、特開平1−304453号公報、特開平1−152109号公報に記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。   Examples of the metallocene compound include JP-A-59-152396, JP-A-61-151197, JP-A-63-41484, JP-A-2-249, JP-A-2-4705, Various titanocene compounds described in JP-A-5-83588, such as di-cyclopentadienyl-Ti-bis-phenyl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophen-1-yl, Di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4-di-fluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6-trifluorophen-1-yl, di- -Cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5,6-pentaph Orofen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6-trifluoropheny -1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4 , 5,6-pentafluorophen-1-yl, iron-arene complexes described in JP-A-1-304453 and JP-A-1-152109, and the like.

ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平6−29285号公報、米国特許第3,479,185号、同第4,311,783号、同第4,622,286号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル))4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(m−メトキシフェニル)ビイジダゾール、2,2’−ビス(o,o’−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ニトロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。   As the hexaarylbiimidazole compound, for example, JP-B-6-29285, US Pat. Nos. 3,479,185, 4,311,783, 4,622,286, etc. And, specifically, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-bromophenyl) )) 4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2 ′ -Bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (m-methoxyphenyl) biidazole, 2,2'-bis (o, o'-dichlorophenyl) -4,4', 5,5 '-Tetraphenylbi Dazole, 2,2′-bis (o-nitrophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-methylphenyl) -4,4 ′, 5 Examples include 5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-trifluorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, and the like.

有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭62−143044号公報、特開昭62−150242号公報、特開平9−188685号公報、特開平9−188686号公報、特開平9−188710号公報、特開2000−131837号公報、特開2002−107916号公報、特許第2764769号公報、特願2000−310808号公報等の各公報、及び、Kunz,Martin“Rad Tech’98.Proceeding April 19−22,1998,Chicago”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平6−157623号公報、特開平6−175564号公報、特開平6−175561号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体或いは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平6−175554号公報、特開平6−175553号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平9−188710号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平6−348011号公報、特開平7−128785号公報、特開平7−140589号公報、特開平7−306527号公報、特開平7−292014号公報等の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。   Examples of the organic borate compound include, for example, JP-A-62-143044, JP-A-62-1050242, JP-A-9-188865, JP-A-9-188686, and JP-A-9-188710. Publications, JP 2000-131837 A, JP 2002-107916 A, Japanese Patent No. 2764769, Japanese Patent Application No. 2000-310808, and Kunz, Martin “Rad Tech '98. Proceeding April 19 -22, 1998, Chicago ”etc., organic boron sulfonium complexes or organic boron described in JP-A-6-157623, JP-A-6-175564, and JP-A-6-175561. Oxosulfonium complex, JP-A-6-175554 JP, JP-A-6-175553, organoboron iodonium complex, JP-A-9-188710, organoboron phosphonium complex, JP-A-6-348011, JP-A-7-128785, JP Specific examples include organoboron transition metal coordination complexes such as 7-140589, JP-A-7-306527, and JP-A-7-292014.

ジスルホン化合物としては、特開昭61−166544号公報、特願2001−132318号明細書等に記載される化合物等が挙げられる。   Examples of the disulfone compound include compounds described in JP-A No. 61-166544 and Japanese Patent Application No. 2001-132318.

オキシムエステル化合物としては、J.C.S. Perkin II (1979 )1653−1660)、J.C.S. Perkin II (1979)156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995)202−232、特開2000−66385号公報に記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報に記載の化合物等が挙げられる。具体例としてはチバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアOXE−01、OXE−02などが好適である。   Examples of oxime ester compounds include J.M. C. S. Perkin II (1979) 1653-1660), J. MoI. C. S. Perkin II (1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232, JP-A 2000-66385, JP-A 2000-80068, JP-T 2004-534797 And the compounds described. Specific examples include Irgacure OXE-01 and OXE-02 manufactured by Ciba Specialty Chemicals.

オニウム塩化合物としては、例えば、S.I.Schlesinger,Photogr.Sci.Eng.,18,387(1974)、T.S.Bal et al,Polymer,21,423(1980)に記載のジアゾニウム塩、米国特許第4,069,055号明細書、特開平4−365049号公報等に記載のアンモニウム塩、米国特許第4,069,055号明細書、同4,069,056号明細書の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第104、143号明細書、米国特許第339,049号明細書、同第410,201号明細書の各明細書、特開平2−150848号公報、特開平2−296514号公報の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。   Examples of onium salt compounds include S.I. I. Schlesinger, Photogr. Sci. Eng. 18, 387 (1974), T .; S. Diazonium salts described in Bal et al, Polymer, 21, 423 (1980), ammonium salts described in US Pat. No. 4,069,055, JP-A-4-365049, etc., US Pat. No. 4,069 , 055, 4,069,056, phosphonium salts described in European Patent Nos. 104,143, U.S. Pat. Nos. 339,049, 410,201. And iodonium salts described in JP-A-2-150848 and JP-A-2-296514.

本発明に好適に用いることのできるヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で2つ以上置換されていることが好ましい。また、その他の好ましいスルホニウム塩の形態として、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するヨードニウム塩などが好ましい。   The iodonium salt that can be suitably used in the present invention is a diaryl iodonium salt, and is preferably substituted with two or more electron donating groups such as an alkyl group, an alkoxy group, and an aryloxy group from the viewpoint of stability. . In addition, as another preferable form of the sulfonium salt, an iodonium salt in which one substituent of the triarylsulfonium salt has a coumarin or an anthraquinone structure and absorption at 300 nm or more is preferable.

本発明に好適に用いることのできるスルホニウム塩としては、欧州特許第370,693号明細書、同390,214号明細書、同233,567号明細書、同297,443号明細書、同297,442号明細書、米国特許第4,933,377号明細書、同161,811号明細書、同410,201号明細書、同339,049号明細書、同4,760,013号明細書、同4,734,444号明細書、同2,833,827号明細書、独国特許第2,904,626号明細書、同3,604,580号明細書、同3,604,581号明細書の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性の感度点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が0より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
Examples of the sulfonium salt that can be suitably used in the present invention include European Patent Nos. 370,693, 390,214, 233,567, 297,443, and 297. No. 4,442, U.S. Pat. Nos. 4,933,377, 161,811, 410,201, 339,049, 4,760,013 No. 4,734,444, No. 2,833,827, German Patent No. 2,904,626, No. 3,604,580, No. 3,604 Examples thereof include sulfonium salts described in each specification of No. 581. From the viewpoint of stability, it is preferably substituted with an electron-withdrawing group. The electron withdrawing group preferably has a Hammett value greater than zero. Preferred electron-withdrawing groups include halogen atoms and carboxylic acids.
Other preferable sulfonium salts include sulfonium salts in which one substituent of the triarylsulfonium salt has a coumarin or anthraquinone structure and absorbs at 300 nm or more. As another preferable sulfonium salt, a sulfonium salt in which the triarylsulfonium salt has an allyloxy group or an arylthio group as a substituent and has absorption at 300 nm or more can be mentioned.

また、オニウム塩化合物としては、J.V.Crivello et al,Macromolecules,10(6),1307(1977)、J.V.Crivello
et al,J.Polymer Sci.,Polymer Chem.Ed.,17,1047(1979)に記載のセレノニウム塩、C.S.Wen et al,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASIA,p478 Tokyo,Oct(1988)に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。
Moreover, as an onium salt compound, J.M. V. Crivello et al, Macromolecules, 10 (6), 1307 (1977), J. MoI. V. Crivello
et al, J. et al. Polymer Sci. , Polymer Chem. Ed. , 17, 1047 (1979), a selenonium salt described in C.I. S. Wen et al, Teh, Proc. Conf. Rad. Curing ASIA, p478 Tokyo, Oct (1988), and onium salts such as arsonium salts.

アシルホスフィン(オキシド)化合物としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア819、ダロキュア4265、ダロキュアTPOなどが挙げられる。   Examples of the acylphosphine (oxide) compound include Irgacure 819, Darocur 4265, Darocur TPO and the like manufactured by Ciba Specialty Chemicals.

(D)光重合開始剤としては、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン系化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、3−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。   (D) As a photopolymerization initiator, from the viewpoint of exposure sensitivity, a trihalomethyltriazine compound, a benzyldimethyl ketal compound, an α-hydroxyketone compound, an α-aminoketone compound, an acylphosphine compound, a phosphine oxide compound, a metallocene Compound, oxime compound, triallylimidazole dimer, onium compound, benzothiazole compound, benzophenone compound, acetophenone compound and derivatives thereof, cyclopentadiene-benzene-iron complex and salt thereof, halomethyloxadiazole compound, 3 -Compounds selected from the group consisting of aryl-substituted coumarin compounds are preferred.

さらに好ましくは、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物であり、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、ベンゾフェノン系化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物が最も好ましい。   More preferred are trihalomethyltriazine compounds, α-aminoketone compounds, acylphosphine compounds, phosphine oxide compounds, oxime compounds, triallylimidazole dimers, onium compounds, benzophenone compounds, acetophenone compounds, and trihalo compounds. Most preferred is at least one compound selected from the group consisting of a methyltriazine compound, an α-aminoketone compound, an oxime compound, a triallylimidazole dimer, and a benzophenone compound.

(D)光重合開始剤の含有量は、感光性着色組成物層中の全固形分に対し0.1〜20質量%であることが好ましく、より好ましくは0.5〜15質量%、特に好ましくは1〜10質量%である。この範囲で、良好な感度とパターン形成性が得られる。   (D) It is preferable that content of a photoinitiator is 0.1-20 mass% with respect to the total solid in a photosensitive coloring composition layer, More preferably, it is 0.5-15 mass%, Especially it is. Preferably it is 1-10 mass%. Within this range, good sensitivity and pattern formability can be obtained.

−(E)溶剤−
本発明に用いられる感光性着色組成物は、一般に溶剤を用いて調製することができる。
溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、並びに3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチルなど)、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピルなどの2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチルなど)、並びに、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、1,3−ブタンジオールジアセテート等;
-(E) Solvent-
The photosensitive coloring composition used in the present invention can generally be prepared using a solvent.
Solvents include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, lactic acid Ethyl, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, and methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, etc. 3-oxypropionic acid alkyl esters (eg, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate), methyl 2-oxypropionate, -2-oxypropionic acid alkyl esters such as ethyl oxypropionate and propyl 2-oxypropionate (for example, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, 2-ethoxypropion) Acid methyl, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, 2-ethoxy-2-methyl As well as methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, 1,3-butanediol diacetate, etc .;

エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールn−プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールn−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノn−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルアセテート等;   Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol mono Ethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene Glycol n-propyl ether acetate, propylene glycol diacetate, propylene glycol n-butyl ether acetate, propylene glycol phenyl ether, propylene glycol phenyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol n-propyl ether acetate, dipropylene glycol n -Butyl ether acetate, tripropylene glycol mono n-butyl ether, tripropylene glycol methyl ether acetate, etc .;

ケトン類、例えばアセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;
アルコール類、例えばエタノール、イソプロピルアルコール、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノn−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノn−ブチルエーテル、
芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン等が挙げられる。
Ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone;
Alcohols such as ethanol, isopropyl alcohol, propylene glycol methyl ether, propylene glycol mono n-propyl ether, propylene glycol mono n-butyl ether,
Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and the like can be mentioned.

これらのうち、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチテルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート等が好適である。
溶剤は、単独で用いる以外に2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Among these, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl carbitol acetate Butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate and the like are suitable.
You may use a solvent in combination of 2 or more types besides using it independently.

−その他の添加物−
また、本発明に用いられる感光性着色組成物には、上記成分の他に、さらに、目的に応じて種々の公知の添加剤を用いることができる。
以下、そのような添加剤について述べる。
-Other additives-
In addition to the above components, various known additives can be used in the photosensitive coloring composition used in the present invention depending on the purpose.
Hereinafter, such additives will be described.

(分散剤)
本発明における感光性着色組成物は高分子分散剤を含有することが好ましい。この高分子分散剤としては重量平均分子量が3,000〜100,000の範囲にある樹脂であることが好ましい。さらに、酸価が20〜300mg/gであることが好ましい。このような特定の高分子分散剤を、以下、単に、「分散樹脂」と称する場合がある。
本発明における分散樹脂は、前記(A−1)着色剤として挙げた顔料の分散剤、または、後述するブラックマトリクス形成のための感光性濃色組成物において、遮光剤(ブラックマトリクス形成用顔料)の分散剤として機能しうる化合物である。
分散樹脂は、特定の酸価を有する必要があるため、酸性基を有する高分子化合物であることが好ましい。
(Dispersant)
The photosensitive coloring composition in the present invention preferably contains a polymer dispersant. The polymer dispersant is preferably a resin having a weight average molecular weight in the range of 3,000 to 100,000. Furthermore, it is preferable that an acid value is 20-300 mg / g. Hereinafter, such a specific polymer dispersant may be simply referred to as “dispersion resin”.
In the present invention, the dispersing resin is a pigment dispersing agent mentioned as the colorant (A-1) or a photosensitive dark color composition for forming a black matrix, which will be described later. It is a compound that can function as a dispersant.
Since the dispersion resin needs to have a specific acid value, it is preferably a polymer compound having an acidic group.

この高分子化合物の高分子骨格としては、ビニルモノマーの重合体若しくは共重合体、エステル系ポリマー、エーテル系ポリマー、ウレタン系ポリマー、アミド系ポリマー、エポキシ系ポリマー、シリコーン系ポリマー、及びこれらの変性物、又は共重合体〔例えば、ポリエーテル/ポリウレタン共重合体、ポリエーテル/ビニルモノマーの重合体の共重合体など(ランダム共重合体、ブロック共重合体、グラフト共重合体のいずれであってもよい。)を含む。〕からなる群より選択される少なくとも一種が好ましく、ビニルモノマーの重合体若しくは共重合体、エステル系ポリマー、エーテル系ポリマー、ウレタン系ポリマー、及びこれらの変性物又は共重合体からなる群より選択される少なくとも一種がより好ましく、ビニルモノマーの重合体若しくは共重合体が特に好ましい。   Examples of the polymer skeleton of the polymer compound include polymers or copolymers of vinyl monomers, ester polymers, ether polymers, urethane polymers, amide polymers, epoxy polymers, silicone polymers, and modified products thereof. Or a copolymer [for example, a polyether / polyurethane copolymer, a copolymer of a polyether / vinyl monomer polymer, etc. (any of a random copolymer, a block copolymer, and a graft copolymer) Good). At least one selected from the group consisting of vinyl monomers, selected from the group consisting of polymers or copolymers of vinyl monomers, ester polymers, ether polymers, urethane polymers, and modified products or copolymers thereof. At least one kind is more preferable, and a polymer or copolymer of vinyl monomers is particularly preferable.

また、上記のような高分子骨格に酸性基の導入する方法としては、例えば、上記の高分子骨格を重合する際に酸性基を含有するモノマーを共重合する方法や、また、上記の高分子骨格を重合後に高分子反応により導入する方法が挙げられる。
酸性基を含有するモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、桂皮酸、アクリル酸ダイマー、ビニル安息香酸、スチレンスルホン酸、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、リン酸モノ(メタ)アクリロイルエチルエステル、或いは2−ヒドロキシエチルメタクリレートなどのアルコール性水酸基含有モノマーと無水マレイン酸、無水フタル酸などの環状酸無水物等を反応させることにより得られるモノマーなどが挙げられる。
Examples of a method for introducing an acidic group into the polymer skeleton as described above include, for example, a method of copolymerizing a monomer containing an acidic group when polymerizing the polymer skeleton, and the polymer described above. There is a method of introducing a skeleton by polymer reaction after polymerization.
Examples of the monomer containing an acidic group include (meth) acrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, cinnamic acid, acrylic acid dimer, vinyl benzoic acid, styrene sulfonic acid, 2-acrylamide-2- It is obtained by reacting an alcoholic hydroxyl group-containing monomer such as methylpropanesulfonic acid, mono (meth) acryloyl ethyl phosphate, or 2-hydroxyethyl methacrylate with a cyclic acid anhydride such as maleic anhydride or phthalic anhydride. And monomers.

更に、酸性基を有する高分子化合物は、更に、ビニルモノマー成分を共重合してなるものであってもよい。
前記ビニルモノマーとしては、特に制限されないが、例えば、(メタ)アクリル酸エステル類、クロトン酸エステル類、ビニルエステル類、マレイン酸ジエステル類、フマル酸ジエステル類、イタコン酸ジエステル類、(メタ)アクリルアミド類、ビニルエーテル類、ビニルアルコールのエステル類、スチレン類、(メタ)アクリロニトリルなどが好ましい。
Furthermore, the polymer compound having an acidic group may further be obtained by copolymerizing a vinyl monomer component.
The vinyl monomer is not particularly limited. For example, (meth) acrylic acid esters, crotonic acid esters, vinyl esters, maleic acid diesters, fumaric acid diesters, itaconic acid diesters, (meth) acrylamides , Vinyl ethers, esters of vinyl alcohol, styrenes, (meth) acrylonitrile and the like are preferable.

前記「酸性基」として、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、モノ硫酸エステル基、リン酸基、モノリン酸エステル基、ホウ酸基が好ましい例として挙げられ、カルボン酸基、スルホン酸基、モノ硫酸エステル基、リン酸基、モノリン酸エステル基がより好ましく、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基が特に好ましい。   Preferred examples of the “acidic group” include a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a monosulfate group, a phosphoric acid group, a monophosphate group, and a boric acid group. Sulfuric acid ester groups, phosphoric acid groups, and monophosphoric acid ester groups are more preferable, and carboxylic acid groups, sulfonic acid groups, and phosphoric acid groups are particularly preferable.

また、分散性向上のため、塩基性窒素原子を有する基を含有することも好ましい。前記塩基性窒素原子を有する基は、例えば、アミノ基(−NH)、置換イミノ基(−NHR、又は−NR10;ここで、R、R、及びR10は、各々独立に、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6以上のアリール基、又は、炭素数7以上のアラルキル基を表す。)、下記化学式(a1)で表されるグアニジル基、又は、下記化学式(a2)で表されるアミジニル基などが好ましい例として挙げられる。 Moreover, it is also preferable to contain the group which has a basic nitrogen atom for a dispersibility improvement. The group having a basic nitrogen atom is, for example, an amino group (—NH 2 ), a substituted imino group (—NHR 8 or —NR 9 R 10 ; where R 8 , R 9 , and R 10 are each Independently, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 or more carbon atoms, or an aralkyl group having 7 or more carbon atoms), a guanidyl group represented by the following chemical formula (a1), or the following chemical formula Preferred examples include the amidinyl group represented by (a2).

上記化学式(a1)中、R11及びR12は、各々独立に、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6以上のアリール基、又は、炭素数7以上のアラルキル基を表す。
上記化学式(a2)中、R13及びR14は、各々独立に、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6以上のアリール基、又は、炭素数7以上のアラルキル基を表す。
In the chemical formula (a1), R 11 and R 12 each independently represent an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 or more carbon atoms, or an aralkyl group having 7 or more carbon atoms.
In the chemical formula (a2), R 13 and R 14 each independently represent an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 or more carbon atoms, or an aralkyl group having 7 or more carbon atoms.

これらの中でも、アミノ基(−NH)、置換イミノ基(−NHR、又は−NR10;ここで、R、R、及びR10は、各々独立に、炭素数1〜10のアルキル基、フェニル基、又はベンジル基を表す。)、前記化学式(a1)で表されるグアニジル基〔化学式(a1)中、R11及びR12は各々独立に、炭素数1〜10のアルキル基、フェニル基、又はベンジル基を表す。〕、前記化学式(a2)で表されるアミジニル基〔化学式(a2)中、R13及びR14は各々独立に、炭素数1〜10のアルキル基、フェニル基、又はベンジル基を表す。〕などには、1〜200個の水素原子、及び0〜20個の硫黄原子から成り立つ基が含まれ、これらは無置換であっても置換基を更に有していてもよい。 Among these, an amino group (—NH 2 ), a substituted imino group (—NHR 8 , or —NR 9 R 10 ; where R 8 , R 9 , and R 10 each independently has 1 to 10 carbon atoms. A guanidyl group represented by the chemical formula (a1) [in the chemical formula (a1), R 11 and R 12 are each independently an alkyl having 1 to 10 carbon atoms. Represents a group, a phenyl group, or a benzyl group. ] An amidinyl group represented by the chemical formula (a2) [in the chemical formula (a2), R 13 and R 14 each independently represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a phenyl group, or a benzyl group. And the like include groups consisting of 1 to 200 hydrogen atoms and 0 to 20 sulfur atoms, which may be unsubstituted or may further have a substituent.

(他の分散剤)
本発明に用いられる感光性着色組成物は、分散樹脂以外に、従来から公知の分散剤(顔料分散剤)を併用することもできる。
(Other dispersants)
The photosensitive coloring composition used in the present invention can be used in combination with a conventionally known dispersant (pigment dispersant) in addition to the dispersion resin.

公知の分散剤(顔料分散剤)としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
Known dispersants (pigment dispersants) include polymer dispersants [for example, polyamidoamines and salts thereof, high molecular weight unsaturated acid esters, modified polyurethanes, modified polyesters, modified poly (meth) acrylates, (meth) acrylic types. Copolymers], polyoxyethylene alkyl phosphate esters, polyoxyethylene alkyl amines, alkanol amines, pigment derivatives, and the like.
The polymer dispersant can be further classified into a linear polymer, a terminal-modified polymer, a graft polymer, and a block polymer from the structure thereof.

高分子分散剤は顔料の表面に吸着し、再凝集を防止する様に作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。   The polymer dispersant is adsorbed on the surface of the pigment and acts to prevent reaggregation. Therefore, a terminal-modified polymer, a graft polymer and a block polymer having an anchor site to the pigment surface can be mentioned as preferred structures. On the other hand, the pigment derivative has an effect of promoting the adsorption of the polymer dispersant by modifying the pigment surface.

本発明に用いうる公知の分散剤(顔料分散剤)の具体例としては、BYK Chemie社製「Disperbyk−107(カルボン酸エステル)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共重合物)」、EFKA社製「EFKA4047、4050、4010、4165(ポリウレタン系)、EFKA4330、4340(ブロック共重合体)、4400、4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーPB821、PB822」、共栄社化学社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロン#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、ルーブリゾール社製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、17000、27000(末端部に機能部を有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト型高分子)」、日光ケミカル社製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」等が挙げられる。   Specific examples of known dispersants (pigment dispersants) that can be used in the present invention include "Disperbyk-107 (carboxylic acid ester), 130 (polyamide), 161, 162, 163, 164, 165, 166" manufactured by BYK Chemie. , 170 (polymer copolymer) ”,“ EFKA 4047, 4050, 4010, 4165 (polyurethane type), EFKA 4330, 4340 (block copolymer), 4400, 4402 (modified polyacrylate), 5010 (polyesteramide) manufactured by EFKA ), 6220 (fatty acid polyester), 6745 (phthalocyanine derivative), 6750 (azo pigment derivative) "," Ajisper PB821, PB822 "manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.," Floren TG-710 (urethane oligomer) "manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., Poly Low No. 50E, No. 300 (acrylic copolymer) ”,“ Dispalon # 7004 (polyetherester), DA-703-50, DA-705, DA-725 ”manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd.,“ “Emulgen 920, 930, 935, 985 (polyoxyethylene nonylphenyl ether)”, “acetamine 86 (stearylamine acetate)”, “Solsperse 5000 (phthalocyanine derivative), 22000 (azo pigment derivative), 13240 (polyester) manufactured by Lubrizol Corporation Amine), 3000, 17000, 27000 (polymer having a functional part at the end), 24000, 28000, 32000, 38500 (graft type polymer) "," Nikkor T106 (polyoxyethylene sorbitan monooleate) "manufactured by Nikko Chemical Co., Ltd. , M YS-IEX (polyoxyethylene monostearate) ”and the like.

上記のような公知の分散剤は、必要に応じて分散樹脂に対して、10〜100質量%、即ち、1/10〜1/1(等量)の範囲で用いることができる。   The above-mentioned known dispersants can be used in the range of 10 to 100% by mass, that is, 1/10 to 1/1 (equivalent) with respect to the dispersion resin as necessary.

(界面活性剤)
顔料濃度を大きくすると塗布液のチキソ性が一般的に大きくなるため、基板上に感光性着色組成物を塗布または転写して感光性着色組成物層(着色層塗膜)形成後の膜厚ムラを生じやすい。また特に、スリットコート法による感光性着色組成物層(着色層塗膜)形成では乾燥までに感光性着色組成物層形成用の塗布液がレベリングして均一な厚みの塗膜を形成することが重要である。このため、前記感光性着色組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
塗布性を向上するための界面活性剤としてはノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤等が添加される。
(Surfactant)
When the pigment concentration is increased, the thixotropy of the coating solution is generally increased. Therefore, film thickness unevenness after the photosensitive colored composition layer (colored layer coating film) is formed by applying or transferring the photosensitive colored composition on the substrate. It is easy to produce. In particular, in the formation of the photosensitive coloring composition layer (colored layer coating film) by the slit coating method, the coating liquid for forming the photosensitive coloring composition layer may be leveled before drying to form a coating film having a uniform thickness. is important. For this reason, it is preferable to contain an appropriate surfactant in the photosensitive coloring composition. Preferred examples of the surfactant include surfactants disclosed in JP-A Nos. 2003-337424 and 11-133600.
Nonionic surfactants, fluorine-based surfactants, silicon-based surfactants, and the like are added as surfactants for improving coating properties.

ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレングリコール類、ポリオキシプロピレングリコール類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤が好ましい。   Nonionic surfactants include, for example, polyoxyethylene glycols, polyoxypropylene glycols, polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl aryl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, polyoxypropylene alkyl ethers. Nonionic surfactants such as polyoxypropylene alkyl aryl ethers, polyoxypropylene alkyl esters, sorbitan alkyl esters and monoglyceride alkyl esters are preferred.

具体的には、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコールなどのポリオキシアルキレングリコール類;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシプロピレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシアルキレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン−プロピレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレンノニ
ルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシアルキレンジアルキルエステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンソルビタン脂肪酸エステル類などのノニオン系界面活性剤がある。
Specifically, polyoxyalkylene glycols such as polyoxyethylene glycol and polyoxypropylene glycol; polyoxyalkylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxypropylene stearyl ether and polyoxyethylene oleyl ether; polyoxy Polyoxyethylene aryl ethers such as ethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene polystyryl ether, polyoxyethylene tribenzyl phenyl ether, polyoxyethylene-propylene polystyryl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether; polyoxyethylene dilaurate , Polyoxyalkylene dialkyl esters such as polyoxyethylene distearate, sorbitan fatty acid Ester, there is nonionic surfactants such as polyoxyalkylene sorbitan fatty acid esters.

これらの具体例は、例えば、アデカプルロニックシリーズ、アデカノールシリーズイ、テトロニックシリーズ(以上ADEKA(株)製)、エマルゲンシリーズ、レオドールシリーズ(以上花王(株)製)、エレミノールシリーズ、ノニポールシリーズ、オクタポールシリーズ、ドデカポールシリーズ、ニューポールシリーズ(以上三洋化成(株)製)、パイオニンシリーズ(以上竹本油脂(株)製)、ニッサンノニオンシリーズ(以上日本油脂(株)製)などである。これらの市販されているものが適宜使用できる。好ましいHLB値は8〜20、更に好ましくは10〜17である。   Specific examples of these include, for example, Adeka Pluronic series, Adecanol series i, Tetronic series (above made by ADEKA Co., Ltd.), Emulgen series, Leodole series (above made by Kao Co., Ltd.), Eleminor series, Nonipole Series, Octapole series, Dodecapole series, New Pole series (above Sanyo Kasei Co., Ltd.), Pionein series (above Takemoto Yushi Co., Ltd.), Nissan Nonion series (above Nihon Yushi Co., Ltd.) is there. These commercially available products can be used as appropriate. A preferable HLB value is 8 to 20, more preferably 10 to 17.

フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキルまたはフルオロアルキレン基を有する化合物を好適に用いることができる。
具体的市販品としては、例えばメガファックF142D、同F172、同F173、同F176、同F177、同F183、同780、同781、同R30、同R08(大日本インキ(株)製)、フロラードFC−135、同FC−170C、同FC−430、同FC−431(住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141、同S−145、同S−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(旭硝子(株)製)、エフトップEF351、同352、同801、同802(JEMCO(株)製)などである。
As the fluorosurfactant, a compound having a fluoroalkyl or fluoroalkylene group in at least one of the terminal, main chain and side chain can be suitably used.
Specific commercial products include, for example, MegaFuck F142D, F172, F173, F176, F176, F177, F183, 780, 781, R30, R08 (Dainippon Ink Co., Ltd.), Florard FC -135, FC-170C, FC-430, FC-431 (Sumitomo 3M), Surflon S-112, S-113, S-131, S-141, S-145 S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105, SC-105, SC-106 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Ftop EF351, 352, 801 and 802 (manufactured by JEMCO).

シリコーン系界面活性剤としては、例えばトーレシリコーンDC3PA、同DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH−190、同SH−193、同SZ−6032、同SF−8428、同DC−57、同DC−190(以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、TSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4446、TSF−4460、TSF−4452(以上、GE東芝シリコーン(株)製)等を挙げることができる。   Examples of the silicone-based surfactant include Torre Silicone DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH28PA, SH29PA, SH30PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, and SF-8428. DC-57, DC-190 (above, manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4442 (above GE Toshiba Silicone Co., Ltd.).

これらの界面活性剤は、感光性着色組成物層を形成するための塗布液100質量部に対して、好ましくは5質量部以下、より好ましくは2質量部以下で用いられる。界面活性剤の量が5質量部以下であると、塗布乾燥での表面あれを抑制し、平滑性が向上させることができる。   These surfactants are preferably used in an amount of 5 parts by mass or less, more preferably 2 parts by mass or less, with respect to 100 parts by mass of the coating liquid for forming the photosensitive coloring composition layer. When the amount of the surfactant is 5 parts by mass or less, surface roughness during coating and drying can be suppressed, and smoothness can be improved.

また、未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、光硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、フェノキシ酢酸、メトキシフェノキシ酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。   In order to promote alkali solubility of the uncured portion and further improve the developability of the photocurable composition, an organic carboxylic acid, preferably a low molecular weight organic carboxylic acid having a molecular weight of 1000 or less is added. be able to. Specifically, for example, aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, succinic acid, Aliphatic dicarboxylic acids such as glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, camphoric acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, Aromatic polycarboxylic acids such as trimesic acid, melophanoic acid, pyromellitic acid; phenylacetic acid Others such as phenoxyacetic acid, methoxyphenoxyacetic acid, hydroatropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atropic acid, cinnamic acid, methyl cinnamate, benzyl cinnamate, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, umberic acid Carboxylic acid is mentioned.

(アルコキシシラン化合物)
本発明に用いられる感光性着色組成物には、基板との密着性向上といった観点から、アルコキシシラン化合物、なかでもシランカップリング剤を使用することができる。
シランカップリング剤は、無機材料と化学結合可能な加水分解性基としてアルコキシシリル基を有するものが好ましく、有機樹脂との間で相互作用もしくは結合形成して親和性を示す(メタ)アクリロイル、フェニル、メルカプト、エポキシシランであることが好ましく、その中でも(メタ)アクリロイルプロピルトリメトキシシランであることがより好ましい。
シランカップリング剤を用いる場合の添加量としては、本発明に用いられる感光性着色組成物層中の全固形分中、0.2〜5.0質量%の範囲であることが好ましく、0.5〜3.0質量%がより好ましい。
(Alkoxysilane compound)
In the photosensitive coloring composition used in the present invention, an alkoxysilane compound, especially a silane coupling agent, can be used from the viewpoint of improving adhesion to the substrate.
The silane coupling agent preferably has an alkoxysilyl group as a hydrolyzable group that can be chemically bonded to an inorganic material, and (meth) acryloyl or phenyl exhibiting affinity through interaction or bond formation with an organic resin. , Mercapto and epoxysilane, and (meth) acryloylpropyltrimethoxysilane is more preferable among them.
When the silane coupling agent is used, the addition amount is preferably in the range of 0.2 to 5.0% by mass in the total solid content in the photosensitive coloring composition layer used in the present invention. 5-3.0 mass% is more preferable.

(共増感剤)
本発明に用いられる感光性着色組成物は、所望により共増感剤を含有することも好ましい。本発明において共増感剤は、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
この様な共増感剤の例としては、アミン類、例えばM. R. Sanderら著「Journal of Polymer Society」第10巻3173頁(1972)、特公昭44−20189号公報、特開昭51−82102号公報、特開昭52−134692号公報、特開昭59−138205号公報、特開昭60−84305号公報、特開昭62−18537号公報、特開昭64−33104号公報、Research Disclosure 33825号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、p−ホルミルジメチルアニリン、p−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。
(Co-sensitizer)
The photosensitive coloring composition used in the present invention preferably contains a co-sensitizer if desired. In the present invention, the co-sensitizer has functions such as further improving the sensitivity of the sensitizing dye and the initiator to actinic radiation or suppressing inhibition of polymerization of the polymerizable compound by oxygen.
Examples of such cosensitizers include amines such as M.I. R. Sander et al., “Journal of Polymer Society”, Vol. 10, 3173 (1972), Japanese Patent Publication No. 44-20189, Japanese Patent Publication No. 51-82102, Japanese Patent Publication No. 52-134692, Japanese Patent Publication No. 59-138205. , JP-A-60-84305, JP-A-62-18537, JP-A-64-33104, Research Disclosure 33825, and the like. Specific examples include triethanolamine. P-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, p-formyldimethylaniline, p-methylthiodimethylaniline and the like.

共増感剤の別の例としては、チオール及びスルフィド類、例えば、特開昭53−702号公報、特公昭55−500806号公報、特開平5−142772号公報記載のチオール化合物、特開昭56−75643号公報のジスルフィド化合物等が挙げられ、具体的には、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−4(3H)−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等が挙げられる。   Other examples of co-sensitizers include thiols and sulfides such as thiol compounds described in JP-A-53-702, JP-B-55-500806, JP-A-5-142772, No. 56-75643, such as 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-4 (3H) -quinazoline, β-mercapto. And naphthalene.

また、共増感剤の別の例としては、アミノ酸化合物(例、N−フェニルグリシン等)、特公昭48−42965号公報記載の有機金属化合物(例、トリブチル錫アセテート等)、特公昭55−34414号公報記載の水素供与体、特開平6−308727号公報記載のイオウ化合物(例、トリチアン等)等が挙げられる。   Other examples of the co-sensitizer include amino acid compounds (eg, N-phenylglycine), organometallic compounds described in JP-B-48-42965 (eg, tributyltin acetate), JP-B 55- Examples include a hydrogen donor described in Japanese Patent No. 34414, a sulfur compound (eg, trithiane) described in Japanese Patent Laid-Open No. 6-308727, and the like.

これら共増感剤の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、硬化性組成物の全固形分の質量に対し、0.1〜30質量%の範囲が好ましく、1〜25質量%の範囲がより好ましく、0.5〜20質量%の範囲が更に好ましい。   The content of these co-sensitizers is in the range of 0.1 to 30% by mass with respect to the mass of the total solid content of the curable composition from the viewpoint of improving the curing rate due to the balance between polymerization growth rate and chain transfer. Preferably, the range of 1-25 mass% is more preferable, and the range of 0.5-20 mass% is still more preferable.

(重合禁止剤)
本発明においては、感光性着色組成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止するために少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
(Polymerization inhibitor)
In the present invention, a small amount of a thermal polymerization inhibitor is added in order to prevent unnecessary thermal polymerization of a compound having an ethylenically unsaturated double bond that can be polymerized during production or storage of the photosensitive coloring composition. Is desirable.
Examples of the thermal polymerization inhibitor that can be used in the present invention include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6). -T-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine primary cerium salt and the like.

熱重合防止剤の添加量は、感光性着色組成物層中の質量に対して約0.01質量%〜約5質量%が好ましい。また必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するためにベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させてもよい。高級脂肪酸誘導体の添加量は、全組成物の約0.5質量%〜約10質量%が好ましい。   The addition amount of the thermal polymerization inhibitor is preferably about 0.01% by mass to about 5% by mass with respect to the mass in the photosensitive coloring composition layer. If necessary, a higher fatty acid derivative such as behenic acid or behenic acid amide may be added to prevent polymerization inhibition due to oxygen, and it may be unevenly distributed on the surface of the photosensitive layer in the course of drying after coating. . The addition amount of the higher fatty acid derivative is preferably about 0.5% by mass to about 10% by mass of the total composition.

(可塑剤)
さらに、本発明においては、感光性着色組成物層の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤、感光層表面のインク着肉性を向上させうる感脂化剤等を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、結合剤を使用した場合、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と結合剤との合計質量に対し10質量%以下添加することができる。
(Plasticizer)
Furthermore, in the present invention, in order to improve the physical properties of the photosensitive coloring composition layer, an inorganic filler, a plasticizer, a fat-sensitizing agent that can improve the ink inking property on the surface of the photosensitive layer, and the like may be added. .
Examples of plasticizers include dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, and triacetyl glycerin. 10 mass% or less can be added with respect to the total mass of the compound which has an ionic unsaturated double bond, and a binder.

上述した成分を用いることで、本発明における感光性着色組成物は、高感度で硬化し、かつ、保存安定性も良好となる。また、基板への高い密着性を示す。従って、前記各種成分を含有する感光性着色組成物は、カラーフィルタに好ましく使用することができる。   By using the above-described components, the photosensitive coloring composition of the present invention is cured with high sensitivity and has good storage stability. Moreover, the high adhesiveness to a board | substrate is shown. Therefore, the photosensitive coloring composition containing the various components can be preferably used for a color filter.

また、高さhを低減し、前記式1の関係をより効果的に成立させる観点等より、本発明における感光性着色組成物の粘度が重要となることがある。
感光性着色組成物の好ましい粘度については、塗布方法によって異なる。例えば、スリット塗布の場合、25℃における粘度が1.0×10−2Pa・s以下であること好ましい。また、スピン塗布の場合、25℃における粘度が5.0×10−2Pa・s以下であることが好ましい。以上において、25℃における粘度は、東機産業(株)製E型粘度計(RE−80L)を用いて測定された値を指す。
In addition, the viscosity of the photosensitive coloring composition in the present invention may be important from the viewpoint of reducing the height h Y and more effectively establishing the relationship of Formula 1.
The preferable viscosity of the photosensitive coloring composition varies depending on the coating method. For example, in the case of slit coating, the viscosity at 25 ° C. is preferably 1.0 × 10 −2 Pa · s or less. In the case of spin coating, the viscosity at 25 ° C. is preferably 5.0 × 10 −2 Pa · s or less. In the above, the viscosity in 25 degreeC points out the value measured using the Toki Sangyo Co., Ltd. E-type viscosity meter (RE-80L).

≪感光性濃色組成物≫
本発明に用いられる感光性濃色組成物は、(A−2)遮光剤、(B)バインダーポリマー、(C−2)重合性化合物、(D)光重合開始剤および(E)溶剤を含有することが好ましく、必要に応じて、分散剤や界面活性剤などの他の添加剤を含有させることができる。
<< Photosensitive dark color composition >>
The photosensitive dark color composition used in the present invention contains (A-2) a light-shielding agent, (B) a binder polymer, (C-2) a polymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a solvent. Preferably, other additives such as a dispersant and a surfactant can be contained as required.

−(A−2)遮光剤−
(A−2)遮光剤としては、前記(A−1)着色剤のほか、カーボンブラック、チタンブラック、金属微粒子、金属酸化物、硫化物の微粒子などが挙げられる。中でも遮光性とコストのバランスに優れているカーボンブラックが特に好ましい。
これらは必要に応じて、単独又は複数種組み合わせて用いられる。例えば、カーボンブラック単独、有機顔料の混合、カーボンブラックと有機顔料の併用などである。
遮光用の材料としては従来から黒色着色剤として、可視光領域を遮蔽するように顔料を少なくとも2種以上併用して用いられてきた。これらの顔料としては、特開2005−17716号公報[0038]〜[0040]や、特開2005−17521号公報[0080]〜[0088]に記載の顔料を挙げることができ、これらの顔料を使用した遮光層の形成は特開平7−271020などに開示されている。
遮光効果をより大きくするために特開2000−147240、特開2000−143985、特開2005−338328、特開2006−154849などでは、カーボンブラック、チタンブラック、または黒鉛等が遮光材料の好適なものとして開発されてきた。本発明においては、遮光性やコストの観点から、カーボンブラックは遮光材料のひとつとして好ましいものである。
-(A-2) Shading agent-
(A-2) Examples of the light-shielding agent include carbon black, titanium black, metal fine particles, metal oxides, and sulfide fine particles in addition to the colorant (A-1). Of these, carbon black is particularly preferred because of its excellent balance between light shielding properties and cost.
These are used singly or in combination as required. For example, carbon black alone, a mixture of organic pigments, and a combination of carbon black and organic pigments.
As a light-shielding material, conventionally, as a black colorant, at least two kinds of pigments have been used in combination so as to shield the visible light region. Examples of these pigments include the pigments described in JP-A-2005-17716 [0038] to [0040] and JP-A-2005-17521 [0080] to [0088]. The formation of the used light shielding layer is disclosed in JP-A-7-271020.
In order to further increase the light shielding effect, in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-147240, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-143985, Japanese Patent Laid-Open No. 2005-338328, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-154849, etc., carbon black, titanium black, or graphite is a suitable light-shielding material. Has been developed as. In the present invention, carbon black is preferable as one of the light shielding materials from the viewpoint of light shielding properties and cost.

カーボンブラックの例としては、ピグメント・ブラック7(カーボンブラック)が好ましい。カーボンブラックとしては、例えば、三菱化学社製のカーボンブラック#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#970、#960、#950、#900、#850、MCF88、#650、MA600、MA7、MA8、MA11、MA100、MA220、IL30B、IL31B、IL7B、IL11B、IL52B、#4000、#4010、#55、#52、#50、#47、#45、#44、#40、#33、#32、#30、#20、#10、#5、CF9、#3050、#3150、#3250、#3750、#3950、ダイヤブラックA、ダイヤブラックN220M、ダイヤブラックN234、ダイヤブラックI、ダイヤブラックLI、ダイヤブラックII、ダイヤブラックN339、ダイヤブラックSH、ダイヤブラックSHA、ダイヤブラックLH、ダイヤブラックH、ダイヤブラックHA、ダイヤブラックSF、ダイヤブラックN550M、ダイヤブラックE、ダイヤブラックG、ダイヤブラックR、ダイヤブラックN760M、ダイヤブラックLP;デグサ社製のカーボンブラックColor Black FW200、Color Black FW2、Color Black FW1、Color Black FW18、Color Black S170、Color Black S160、Special Black6、Special Black5、Special Black4、Special Black4A、Printex U、PrintexV、Printex 140U、Printex 140V、Printex 35;Cabot社製のカーボンブラックREGAL 400、REGAL 400R、REGAL XC72、VULCAN XC72R、MOGUL L、MONARCH 1400、MONARCH 1000、BLACK PEARLS1400;旭カーボン社製のカーボンブラックSUNBLACK900、同910、同930、同960、同970等を挙げることができる。また電気抵抗を大きくするためにこれらを高分子化合物で被覆したものも好ましいものである。これらのカーボンブラックの好ましい単粒子の大きさは10〜100nm、より好ましくは10〜50nmである。   As an example of carbon black, pigment black 7 (carbon black) is preferable. Examples of the carbon black include carbon black # 2400, # 2350, # 2300, # 2200, # 1000, # 980, # 970, # 960, # 950, # 900, # 850, MCF88, #M manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. 650, MA600, MA7, MA8, MA11, MA100, MA220, IL30B, IL31B, IL7B, IL11B, IL52B, # 4000, # 4010, # 55, # 52, # 50, # 47, # 45, # 44, # 40 , # 33, # 32, # 30, # 20, # 10, # 5, CF9, # 3050, # 3150, # 3250, # 3750, # 3950, Diamond Black A, Diamond Black N220M, Diamond Black N234, Diamond Black I, Diamond Black LI, Diamond Black II, Diamond Black N33 , Diamond black SH, diamond black SHA, diamond black LH, diamond black H, diamond black HA, diamond black SF, diamond black N550M, diamond black E, diamond black G, diamond black R, diamond black N760M, diamond black LP; company made of carbon black Color black FW200, Color black FW2, Color black FW1, Color black FW18, Color black S170, Color black S160, Special Black6, Special Black5, Special Black4, Special Black4A, Printex U, PrintexV, Printex 140U, Printe 140V, Printex 35; Carbon black REGAL 400, REGAL 400R, REGAL XC72, VULCAN XC72R, MOGUL L, MONARCH 1400, MONARCH 1000, BLACK PEARLS 1400, carbon black 9 SUNBLACK 900, Asahi Carbon 9 960, 970, and the like. Also preferred are those coated with a polymer compound in order to increase the electric resistance. The preferred single particle size of these carbon blacks is 10 to 100 nm, more preferably 10 to 50 nm.

−(C−2)重合性化合物−
ブラックマトリクス形成用の感光性濃色組成物における(C−2)重合性化合物としては、前記感光性着色組成物において用いられた(C−1)重合性化合物も、好ましいものとして挙げられるが、特に以下に示すものが好ましい。
感光性濃色組成物における重合性化合物としては、エチレン性不飽和二重結合を2個以上有し、光の照射によって付加重合するモノマー又はオリゴマーであることが好ましい。そのようなモノマー及びオリゴマーとしては、分子中に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上の化合物を挙げることができる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。
-(C-2) polymerizable compound-
As the polymerizable compound (C-2) polymerizable compound in the photosensitive dark color composition for forming the black matrix, the polymerizable compound (C-1) used in the photosensitive coloring composition is also preferable. The following are particularly preferable.
The polymerizable compound in the photosensitive dark composition is preferably a monomer or oligomer that has two or more ethylenically unsaturated double bonds and undergoes addition polymerization upon irradiation with light. Examples of such monomers and oligomers include compounds having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule and having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure. Examples include monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) ) Acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, di Pentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexane All di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate; multifunctional such as trimethylolpropane and glycerin Polyfunctional acrylates and polyfunctional methacrylates such as those obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to alcohol and then (meth) acrylated can be mentioned.

また酸性多官能光硬化性化合物も好ましい化合物である。酸性多官能光硬化性化合物としては、(1)水酸基と共に3つ以上の光硬化性官能基を有するモノマー又はオリゴマーを二塩基酸無水物で変性することによりカルボキシル基を導入したもの、(2)水酸基と共に3つ以上の光硬化性官能基を有するモノマー又はオリゴマーに、グリシジル基もしくはイソシアネート基とCOOH基とを併せ持つ化合物等を付加することによってカルボキシル基を導入したもの、あるいは(3)3つ以上の光硬化性官能基を有する芳香族化合物を濃硫酸や発煙硫酸で変性することによりスルホン酸基を導入したもの等を用いることができる。また、酸性多官能光硬化性化合物そのものであるモノマーを繰返し単位として含むオリゴマーを、酸性多官能光硬化性化合物として用いてもよい。
酸性多官能光硬化性化合物の例としては、下記一般式(i)、一般式(ii)で表されるものが好ましい。なお、一般式(i)及び一般式(ii)において、T又はGがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がR、X及びWに結合する。
An acidic polyfunctional photocurable compound is also a preferred compound. Examples of the acidic polyfunctional photocurable compound include (1) a monomer or oligomer having a hydroxyl group and three or more photocurable functional groups, which is modified with a dibasic acid anhydride to introduce a carboxyl group, (2) Introducing a carboxyl group by adding a compound having a glycidyl group or an isocyanate group and a COOH group to a monomer or oligomer having a hydroxyl group and three or more photocurable functional groups, or (3) three or more Those having a sulfonic acid group introduced by modifying an aromatic compound having a photocurable functional group with concentrated sulfuric acid or fuming sulfuric acid can be used. Moreover, you may use the oligomer which contains the monomer which is an acidic polyfunctional photocurable compound itself as a repeating unit as an acidic polyfunctional photocurable compound.
As an example of an acidic polyfunctional photocurable compound, what is represented by the following general formula (i) and general formula (ii) is preferable. In general formula (i) and general formula (ii), when T or G is an oxyalkylene group, the terminal on the carbon atom side is bonded to R, X, and W.

一般式(i)中、Rは、(メタ)アクリロイロキシ基を表し、Xは、−COOH基、又は−OPO基を表す。Tは、オキシアルキレン基を表し、ここでアルキレン基の炭素数は1〜4である。nは、0〜20である。
一般式(ii)中、Wは、一般式(i)におけるR又はXを表し、6個のWのうち、3個以上のWがRである。Gは、一般式(i)におけるTと同義である。Zは、−O−又は、−OC=ONH(CH)qNHCOO−を表す。pは0〜20であり、qは1〜8で
ある。一分子内に複数存在するR、X、T、Gは、各々同一であっても、異なっていても良い。
In general formula (i), R represents a (meth) acryloyloxy group, and X represents a —COOH group or an —OPO 3 H 2 group. T represents an oxyalkylene group, wherein the alkylene group has 1 to 4 carbon atoms. n is 0-20.
In general formula (ii), W represents R or X in general formula (i), and 3 or more Ws are R among 6 Ws. G is synonymous with T in the general formula (i). Z represents —O— or —OC═ONH (CH 2 ) qNHCOO—. p is 0-20 and q is 1-8. A plurality of R, X, T, and G present in one molecule may be the same or different.

一般式(i)及び一般式(ii)で表される酸性多官能光硬化性化合物の市販品としては、例えば、東亞合成(株)製のカルボキシル基含有3官能アクリレートであるTO−756、及びカルボキシル基含有5官能アクリレートであるTO−1382などが挙げられる。   As a commercial item of the acidic polyfunctional photocurable compound represented by general formula (i) and general formula (ii), for example, TO-756 which is a carboxyl group-containing trifunctional acrylate manufactured by Toagosei Co., Ltd., and And TO-1382 which is a carboxyl group-containing pentafunctional acrylate.

更に特公昭48−41708号公報、特公昭50−6034号公報及び特開昭51−37193号公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報及び特公昭52−30490号公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレー卜やメタクリレートを挙げることができる。これらの中で、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジぺンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジぺンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、上記カルボキシル基含有5官能アクリレートなどが好ましい。また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合性化合物B」も好適なものとして挙げることができる。   Further, urethane acrylates described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034 and JP-A-51-37193; JP-A-48-64183, JP-B-49-43191 And polyester acrylates described in Japanese Patent Publication No. 52-30490; polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid. Among these, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, the above carboxyl group-containing pentafunctional acrylate, etc. Is preferred. In addition, “polymerizable compound B” described in JP-A-11-133600 can also be mentioned as a preferable example.

ブラックマトリクス形成用として用いられる感光性濃色組成物における(C−2)重合性化合物の含有量としては、感光性濃色組成物層の全固形分中、5〜50質量%であることが好ましく、7〜40質量%であることがより好ましく、10〜35質量%であることが更に好ましい。   The content of the polymerizable compound (C-2) in the photosensitive dark color composition used for forming the black matrix is 5 to 50% by mass in the total solid content of the photosensitive dark color composition layer. Preferably, it is 7-40 mass%, More preferably, it is 10-35 mass%.

感光性濃色組成物に用いられる(B)バインダーポリマー、(D)重合開始剤、(E)溶剤、その他の添加剤などは前記した着色パターン形成用の感光性着色組成物におけるものと同様であり、好ましい含有量も同様である。   The (B) binder polymer, (D) polymerization initiator, (E) solvent, and other additives used in the photosensitive dark color composition are the same as those in the above-described photosensitive coloring composition for forming a colored pattern. The preferred content is also the same.

≪液晶表示装置≫
本発明の液晶表示装置は、本発明のカラーフィルタを備えた液晶表示装置である。そのため、高品位の画像を表示することができる。
スペーサについては塗布による作製方法や転写による作製方法を好適に用いることができる。塗布による作製方法は工程が簡単である点で好ましい。転写による作製方法はスペーサ高さの均一性が良い点で好ましい。転写による作製方法については特願2007−185797記載の方法が特に好ましい。
表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
≪Liquid crystal display device≫
The liquid crystal display device of the present invention is a liquid crystal display device provided with the color filter of the present invention. Therefore, a high-quality image can be displayed.
For the spacer, a production method by coating or a production method by transfer can be suitably used. The production method by coating is preferable in that the process is simple. A manufacturing method by transfer is preferable in that the spacer height is uniform. Regarding the production method by transfer, the method described in Japanese Patent Application No. 2007-185797 is particularly preferred.
For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to “Electronic Display Devices (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display Devices (Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issue)). The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”.

本発明は、中でも特に、カラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、STN、TN、VA、IPS、OCS、FFS、及びR−OCB等にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページに記載されている。
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明の遮光膜付基板はこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。
これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉(株)富士キメラ総研 2003年発行)」に記載されている。
The present invention is particularly effective for a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention is applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS, a pixel division method such as MVA, STN, TN, VA, IPS, OCS, FFS, and R-OCB. Applicable. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(issued in 2001 by Toray Research Center Research Division)".
In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle guarantee film. The substrate with a light-shielding film of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members.
For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (Kentaro Shima, Ltd., issued by CMC 1994)”, “2003 Liquid Crystal Related Markets Current Status and Future Prospects (Volume 2)” (Table Yoshiyoshi) Fuji Chimera Research Institute, published in 2003) ”.

バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(200
5)(A.Konno et.al)や、月刊デイスプレイ 2005年12月号の18
〜24ページ (島 康裕)、同25〜30ページ(八木 隆明)などに記載されている。
本発明のカラーフィルタは、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できるが、更に赤、緑、青のLED光源(RGB−LED)をバックライトとすることによって輝度が高く、また色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。
For the backlight, SID meeting Digest 1380 (200
5) (A. Konno et.al), Monthly Display, December 2005 issue 18
-24 pages (Yasuhiro Shima) and 25-30 pages (Takaaki Yagi).
The color filter of the present invention can achieve a high contrast when combined with a conventionally known three-wavelength cold-cathode tube, but by using red, green and blue LED light sources (RGB-LED) as backlights. A liquid crystal display device with high luminance and high color purity and good color reproducibility can be provided.

また一方で、液晶表示装置に求められる性能は画像の応答速度の向上である。応答速度の向上のために液晶の配向速度の改良がなされている。一方セルの構造面からは液晶層の厚み低減が、コストダウン上も必要である。液晶層の厚み低減に必要なもうひとつの技術は、着色画素とブラックマトリクスの境界部分での液晶の配向乱れを小さくすることである。そのため、着色画素とブラックマトリクスとの境界部分での盛り上がり(ツノ)を小さくすることが求められる。
本発明のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタは、重なり部O付近における着色パターンの段差が小さいため、液晶表示装置に用いた際、液晶の配向乱れを抑制することができ、その結果、コントラストを向上できる。
On the other hand, the performance required for the liquid crystal display device is to improve the response speed of the image. In order to improve the response speed, the liquid crystal alignment speed has been improved. On the other hand, from the structural aspect of the cell, it is necessary to reduce the thickness of the liquid crystal layer in terms of cost reduction. Another technique necessary for reducing the thickness of the liquid crystal layer is to reduce the alignment disorder of the liquid crystal at the boundary between the colored pixels and the black matrix. Therefore, it is required to reduce the bulge (horn) at the boundary between the colored pixel and the black matrix.
A color filter manufactured by the manufacturing method of the color filter of the present invention, since the step of the color pattern in the vicinity of the overlap portion O Y is small, when used in a liquid crystal display device, it is possible to suppress the alignment disorder of the liquid crystal, the As a result, contrast can be improved.

このように、本発明のカラーフィルタは、前記重なり部での液晶の配向の乱れを低減することができ、画像表示した際の視認性も向上する。本発明の液晶表示装置に、本発明のカラーフィルタを用いることで、各着色画素のブラックマトリクスとの重なり部を平坦にすることができ、平坦性が良好になるため、液晶層を薄層化したり、透明電極ITOを敷設する前に、研磨したり、平坦化層を付与したりする必要がなくなり、工程の合理化ひいてはコストダウン、量産性に貢献できる。   As described above, the color filter of the present invention can reduce the disorder of the alignment of the liquid crystal at the overlapping portion, and also improves the visibility when displaying an image. By using the color filter of the present invention in the liquid crystal display device of the present invention, the overlapping portion of each colored pixel with the black matrix can be flattened, and the flatness is improved. In addition, it is not necessary to polish or provide a planarizing layer before laying the transparent electrode ITO, which can contribute to streamlining of the process and cost reduction and mass productivity.

以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、割合、機器、操作等は本発明の範囲から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、以下の実施例において、特に断りのない限り「%」および「部」は、「質量%」および「質量部」を表し、分子量とは重量平均分子量のことを示す。また、「wt%」は「質量%」を表す。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, reagents, ratios, equipment, operations, and the like shown in the following examples can be appropriately changed without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below. In the following examples, “%” and “parts” represent “mass%” and “parts by mass” unless otherwise specified, and the molecular weight indicates the weight average molecular weight. “Wt%” represents “mass%”.

〔実施例1〕
<1.感光性濃色組成物の調製>
−カーボンブラック分散液(K−1)の調製−
下記処方でカーボンブラック分散液(K−1)を調製した。
・カーボンブラック(デグッサ社製 カラーブラックFW2) ・・・ 26.7部
・分散剤(楠本化成製ディスパロンDA7500 酸価26 アミン価40)
・・・ 3.3部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=72/28[モル比])共重合体(分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの50質量%溶液) ・・・ 10部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・ 60部
[Example 1]
<1. Preparation of photosensitive dark color composition>
-Preparation of carbon black dispersion (K-1)-
A carbon black dispersion (K-1) was prepared according to the following formulation.
・ Carbon black (Color Black FW2 manufactured by Degussa Co., Ltd.) 26.7 parts ・ Dispersant (Disparon DA7500 manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd., acid value 26, amine value 40)
3.3 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid (= 72/28 [molar ratio]) copolymer (molecular weight 30,000, 50% by weight solution of propylene glycol monomethyl ether acetate) 10 parts propylene 60 parts of glycol monomethyl ether acetate

上記各成分を3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて8時間微分散処理を施し、カーボンブラック分散液(K−1)を得た。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer under the condition of 3000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 8 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads to obtain a carbon black dispersion (K-1). It was.

得られたカーボンブラック分散液(K−1)を用いて、下記表1の処方で感光性濃色組成物塗布液CK−1を調製した。表1中の数値は質量比を示す。   Using the obtained carbon black dispersion liquid (K-1), a photosensitive dark color composition coating liquid CK-1 was prepared according to the formulation shown in Table 1 below. Numerical values in Table 1 indicate mass ratios.

表1中の各成分の詳細は下記のとおりである。
・樹脂溶液C−2:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=85/15モル比)共重合体、(Mw10000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの50質量%溶液)
・UV硬化性樹脂C−3:商品名サイクロマーP ACA−250 ダイセル化学工業(株)製〔側鎖に脂環、COOH基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)〕
・重合性化合物C−5:日本化薬(株)製 KAYARAD DPHAと、日本化薬(株)製 KAYARAD R−684と、の60対40(質量比)の混合物
・開始剤C−7:商品名「OXE−02」 チバ・スペシャルテイ・ケミカルズ社製
・界面活性剤C−8:商品名「メガファックR30」 大日本インキ化学工業(株)製
・溶剤:PGMEA=プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
EEP=3−エトキシエチルプロピオネート
Details of each component in Table 1 are as follows.
Resin solution C-2: benzyl methacrylate / methacrylic acid (= 85/15 molar ratio) copolymer (Mw10000, 50% by mass solution of propylene glycol monomethyl ether acetate)
UV curable resin C-3: trade name Cyclomer P ACA-250 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd. [Acrylic copolymer having alicyclic, COOH, and acryloyl groups in the side chain, propylene glycol monomethyl ether acetate Solution (solid content: 50% by mass)]
Polymerizable compound C-5: Nippon Kayaku Co., Ltd. KAYARAD DPHA and Nippon Kayaku Co., Ltd. KAYARAD R-684 mixture of 60 to 40 (mass ratio). Initiator C-7: Product Name “OXE-02” Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. Surfactant C-8: Trade name “Megafac R30” Dainippon Ink & Chemicals, Inc. Solvent: PGMEA = propylene glycol monomethyl ether acetate EEP = 3-Ethoxyethyl propionate

<2.塗布によるブラックマトリクスの形成>
−感光性濃色組成物層形成工程−
得られた感光性濃色組成物CK−1を用いて、以下のようにして、図2中の樹脂ブラックマトリクス12と同様の格子状パターンであるブラックマトリクスを、ガラス基板上に形成した。
まず、前記感光性濃色組成物CK−1を、洗浄したガラス基板(コーニング社製ミレニアム 0.7mm厚)にスリットコーター(型番HC6000、平田機工株式会社製)を用いて、ポストベーク後の膜厚が1.0μmとなるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度120mm/秒で塗布した。
<2. Formation of black matrix by coating>
-Photosensitive dark color composition layer forming step-
Using the obtained photosensitive dark color composition CK-1, a black matrix having a lattice pattern similar to the resin black matrix 12 in FIG. 2 was formed on a glass substrate as follows.
First, a film after post-baking using the slit coater (model number HC6000, manufactured by Hirata Kiko Co., Ltd.) on the glass substrate (Corning Millennium 0.7 mm thickness) washed with the photosensitive dark color composition CK-1. Coating was performed at a coating speed of 120 mm / second by adjusting the interval between the slit and the glass substrate and the discharge amount so that the thickness was 1.0 μm.

−プリベーク工程、露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、80℃で120秒間加熱(プリベーク処理)を行なった後、プロキシミティ方式露光機(型番LE5565A、株式会社日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて、60mJ/cmでパターン露光した。
-Pre-bake process, exposure process-
Next, after heating (prebaking treatment) at 80 ° C. for 120 seconds using a hot plate, a pattern is used at 60 mJ / cm 2 using a proximity type exposure machine (model number LE5565A, manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). Exposed.

−現像工程−
その後、水平搬送型の現像装置で現像した。すなわち、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、24℃)でシャワー圧を0.15MPaに設定して、37秒現像し、純水で洗浄し、現像後のブラックマトリクスパターンを得た。
ここで、上記現像後のブラックマトリクスパターンが形成された基板と同一構造のサンプルについて、SEM(走査型電子顕微鏡)にて断面写真(倍率5000倍)を撮って断面形状を確認したところ、上部端に対して下部端が+3.0μmに位置する順テーパー形状であった。
SEM撮影は、画素長辺を2等分する方向(ブラックマトリクスパターンの幅方向)に、基板表面に垂直に、ブラックマトリクスパターンを基板とともに切断して行なった。
-Development process-
Then, it developed with the horizontal conveyance type developing device. That is, a 1.0% developer of potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials) (a diluted solution of 1 part by weight of CDK-1 and 99 parts by weight of pure water), 24 The shower pressure was set at 0.15 MPa at 37 ° C., development was performed for 37 seconds, and washing was performed with pure water to obtain a black matrix pattern after development.
Here, for the sample having the same structure as the substrate on which the black matrix pattern after development was formed, a cross-sectional photograph (magnification 5000 times) was taken with an SEM (scanning electron microscope) to confirm the cross-sectional shape. On the other hand, the lower end was a forward tapered shape located at +3.0 μm.
SEM imaging was performed by cutting the black matrix pattern together with the substrate in a direction that bisects the long side of the pixel (width direction of the black matrix pattern) perpendicular to the substrate surface.

−ベーク工程−
次いで220℃のクリーンオーブンで40分間ポストベーク処理し、基板上に格子状パターン(図2中の樹脂ブラックマトリクス12と同様の格子状パターン)であるブラックマトリクスが形成されたブラックマトリクス付き基板を得た。
得られたブラックマトリクスは、画素である開口部が90μm×200μmで、厚みが1.0μmで、画素の長手方向と平行な方向のパターンの線幅が25μmであった。
X−Rite 361T(V)(サカタインクスエンジニアリング(株)製)を用いて、出来上がったブラックマトリクスの光学濃度(OD)を測定したところ、4.2であった。
-Bake process-
Next, post baking is performed for 40 minutes in a 220 ° C. clean oven to obtain a substrate with a black matrix in which a black matrix which is a lattice pattern (the same lattice pattern as the resin black matrix 12 in FIG. 2) is formed on the substrate. It was.
The obtained black matrix had a pixel opening of 90 μm × 200 μm, a thickness of 1.0 μm, and a pattern line width in the direction parallel to the longitudinal direction of the pixel of 25 μm.
When the optical density (OD) of the completed black matrix was measured using X-Rite 361T (V) (manufactured by Sakata Inx Engineering Co., Ltd.), it was 4.2.

<3.感光性着色組成物の調製>
− 3−1.赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1の調製−
下記処方で赤色(R)用分散液(R−1)を調製した。
・Pigment Red 254(SEM観察での平均粒子径43nm)
・・・11部
・Pigment Red 177(SEM観察での平均粒子径58nm)
・・・4部
・後述の分散樹脂A−3 ・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製)
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの30%溶液)・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(=75/25[モル比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・9部
・溶剤B:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・68部
<3. Preparation of photosensitive coloring composition>
-3-1. Preparation of photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R)-
A red (R) dispersion (R-1) was prepared according to the following formulation.
Pigment Red 254 (average particle size 43 nm by SEM observation)
... 11 parts, Pigment Red 177 (average particle size 58 nm by SEM observation)
... 4 parts-Dispersing resin A-3 (described later) ... 5 parts-Dispersant (trade name: Disperbyk-161, manufactured by Big Chemie)
(30% solution of propylene glycol monomethyl ether acetate) 3 parts alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 75/25 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl Ether acetate solution (solid content: 50% by mass) ... 9 parts ・ Solvent B: Propylene glycol monomethyl ether acetate ... 68 parts

上記各成分を、3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いてビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し赤色(R)用分散液(R−1)を得た。再びSEMで観察すると平均粒子径は36nmであった。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer at 3000 rpm. The obtained mixed solution was subjected to fine dispersion treatment for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and a red (R) dispersion (R-1). Got. When observed again by SEM, the average particle size was 36 nm.

得られた赤色(R)用分散液(R−1)を用いて、下記処方で赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を調製した。
・赤色(R)用分散液(R−1) ・・・100部
・エポキシ樹脂:(商品名EHPE3150 ダイセル化学工業社製 ・・・2部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート ・・・8部
・重合開始剤:4−(o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノ−フェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン ・・・1部
・重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1 ・・・1部
・重合開始剤:ジエチルチオキサントン ・・・0.5部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール ・・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R30 大日本インキ化学工業社製)
・・・0.01部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:テトロニックR150 ADEKA社製)
・・・0.2部
・溶剤:プロピレングリコールn−ブチルエーテルアセテート ・・・30部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・100部
上記成分を混合撹拌し、赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を得た。
得られた赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1の25℃における粘度を、東機産業(株)製のE型粘度計(RE−80L)を用いて測定したところ、0.3×10−2Pa・sであった。
Using the obtained red (R) dispersion liquid (R-1), a photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) was prepared according to the following formulation.
-Red (R) dispersion (R-1)-100 parts-Epoxy resin: (trade name EHPE3150, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.-2 parts-Polymerizable compound: dipentaerythritol penta-hexaacrylate- 8 parts Polymerization initiator: 4- (o-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) amino-phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine ... 1 part -Polymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 ... 1 part-Polymerization initiator: Diethylthioxanthone-0.5 part-Polymerization inhibitor : P-methoxyphenol ・ ・ ・ 0.001 part ・ Fluorosurfactant (trade name: Megafac R30, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
・ ・ ・ 0.01 part ・ Nonionic surfactant (trade name: Tetronic R150, manufactured by ADEKA)
・ ・ ・ 0.2 parts ・ Solvent: Propylene glycol n-butyl ether acetate ・ ・ ・ 30 parts ・ Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate ・ ・ ・ 100 parts A product coating solution CR-1 was obtained.
The viscosity at 25 ° C. of the obtained photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) was measured using an E-type viscometer (RE-80L) manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd. It was 3 × 10 −2 Pa · s.

− 3−2.緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1の調製−
下記処方で緑色(G)用分散液(G−1)を調製した。
・Pigment Green 36(SEM観察での平均粒子径47nm)
・・・11部
・Pigment Yellow150(SEM観察での平均粒子径39nm)
・・・7部
・後述の分散樹脂A−3 ・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製 30%溶液)
・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(=85/15[モル比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・11部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・70部
-3-2. Preparation of photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 for green (G)
A green (G) dispersion (G-1) was prepared according to the following formulation.
Pigment Green 36 (average particle size 47 nm by SEM observation)
・ ・ ・ 11 parts ・ Pigment Yellow 150 (average particle diameter by SEM observation: 39 nm)
... 7 parts-Dispersing resin A-3 described later ... 5 parts-Dispersant (trade name: Disperbyk-161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
... 3 parts ・ Alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 85/15 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50 mass%) ) 11 parts ・ Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 70 parts

上記各成分を3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて8時間微分散処理を施し、緑色(G)用分散液(G−1)を得た。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer under the condition of 3000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 8 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and a green (G) dispersion (G-1 )

得られた緑色(G)用分散液(G−1)を用いて、下記処方で緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1を調製した。再びSEMで観察すると平均粒子径は32nmであった。
・緑色(G)用分散液(G−1) ・・・100部
・エポキシ樹脂:(商品名EHPE3150 ダイセル化学工業社製) ・・・2部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート ・・・8部
・重合性化合物:ペンタエリスリトールのテトラ(エトキシアクリレート)
・・・2部
・重合開始剤:1,3−ビストリハロメチル−5−ベンゾオキソラントリアジン
・・・2部
・重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1 ・・・1部
・重合開始剤:ジエチルチオキサントン ・・・0.5部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール ・・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R08 大日本インキ化学工業社製) ・・・0.02部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:エマルゲンA−60 花王社製)・・・0.5部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・120部
・溶剤:プロピレングリコールn−プロピルエーテルアセテート ・・・30部
上記組成を混合撹拌し、緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1を得た。
得られた緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1の25℃における粘度を、東機産業(株)製のE型粘度計(RE−80L)を用いて測定したところ、0.3×10−2Pa・sであった。
Using the obtained green (G) dispersion liquid (G-1), a photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 for green (G) was prepared according to the following formulation. When observed again by SEM, the average particle size was 32 nm.
-Green (G) dispersion (G-1) ... 100 parts-Epoxy resin: (trade name EHPE3150, manufactured by Daicel Chemical Industries) ... 2 parts-Polymerizable compound: Dipentaerythritol penta-hexaacrylate ..8 parts Polymerizable compound: Tetra (ethoxy acrylate) of pentaerythritol
... 2 parts-Polymerization initiator: 1,3-bistrihalomethyl-5-benzooxolantolyazine
... 2 parts-Polymerization initiator: 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 ... 1 part-Polymerization initiator: Diethylthioxanthone ... 0.5 Parts / polymerization inhibitor: p-methoxyphenol 0.001 part / fluorine-based surfactant (trade name: Megafac R08, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) 0.02 part / nonionic surfactant (Product name: Emulgen A-60, manufactured by Kao Corporation) 0.5 parts, solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate, 120 parts, solvent: propylene glycol n-propyl ether acetate, 30 parts Mixing and stirring were performed to obtain a photosensitive coloring composition coating solution CG-1 for green (G).
The viscosity at 25 ° C. of the obtained green (G) photosensitive coloring composition coating solution CG-1 was measured using an E-type viscometer (RE-80L) manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd. It was 3 × 10 −2 Pa · s.

− 3−3.青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1の調製−
下記処方で青色(B)用分散液(B−1)を調製した。
・Pigment Blue 15:6(SEM観察での平均粒子径55nm)
・・・14部
・Pigment Violet 23(SEM観察での平均粒子径61nm)
・・・1部
・後述の分散樹脂A−3 ・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製 30%溶液)
・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(=80/20[モル比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・4部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・73部
− 3-3. Preparation of photosensitive coloring composition coating solution CB-1 for blue (B)
A blue (B) dispersion (B-1) was prepared according to the following formulation.
Pigment Blue 15: 6 (average particle diameter 55 nm by SEM observation)
・ ・ ・ 14 parts ・ Pigment Violet 23 (average particle diameter 61 nm in SEM observation)
... 1 part-Dispersing resin A-3 described later ... 5 parts-Dispersant (trade name: Disperbyk-161, 30% solution manufactured by Big Chemie)
... 3 parts ・ Alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50 mass%)・ ・ ・ 4 parts ・ Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 73 parts

上記各成分を、3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いてビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し、青色(B)用分散液(B−1)を得た。再びSEMで観察すると平均粒子径は39nmであった。   The above components were stirred for 1 hour using a homogenizer at 3000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 4 hours with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and a blue (B) dispersion (B-1 ) When observed again by SEM, the average particle size was 39 nm.

得られた青色(B)用分散液(B−1)を用いて、下記処方で青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1を調製した。
・青色(B)用分散液(B−1) ・・・100部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(=80/20[モル比]共重合体、分子量30,000)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・7部
・エポキシ樹脂:(商品名セロキサイド2080 ダイセル化学工業社製)・・・2部
・UV硬化性樹脂:(商品名サイクロマーP ACA−250 ダイセル化学工業社製)
(側鎖に脂環、COOH基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%) ・・・4部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート ・・・12部
・重合開始剤:1−(9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾル−3−イル)−1−(o−アセチルオキシム)エタノン ・・・3部
・重合禁止剤: p−メトキシフェノール ・・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R08 大日本インキ化学工業社製)
・・・0.02部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:エマルゲンA−60 花王社製) ・・・1.0部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル ・・・20部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・150部
上記成分を混合撹拌し、青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1を得た。
得られた青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1の25℃における粘度を、東機産業(株)製のE型粘度計(RE−80L)を用いて測定したところ、0.3×10−2Pa・sであった。
Using the obtained blue (B) dispersion liquid (B-1), a blue (B) photosensitive coloring composition coating liquid CB-1 was prepared according to the following formulation.
-Blue (B) dispersion (B-1) ... 100 parts-Alkali-soluble resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000), Propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50% by mass) ... 7 parts / Epoxy resin: (trade name Celoxide 2080, manufactured by Daicel Chemical Industries) ... 2 parts / UV curable resin: (trade name Cyclo Mar P ACA-250 manufactured by Daicel Chemical Industries)
(Acrylic copolymer having alicyclic, COOH and acryloyl groups in the side chain, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50% by mass) ... 4 parts Polymerizable compound: Dipentaerythritol penta Hexaacrylate ... 12 parts-Polymerization initiator: 1- (9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl) -1- (o-acetyloxime) ethanone ... 3 Part / polymerization inhibitor: p-methoxyphenol 0.001 part / fluorine-based surfactant (trade name: Megafac R08, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
... 0.02 part, nonionic surfactant (trade name: Emulgen A-60, manufactured by Kao Corporation) ... 1.0 part, solvent: ethyl 3-ethoxypropionate ... 20 parts, solvent: propylene Glycol monomethyl ether acetate: 150 parts The above components were mixed and stirred to obtain a photosensitive coloring composition coating solution CB-1 for blue (B).
The viscosity of the resulting blue (B) photosensitive coloring composition coating solution CB-1 at 25 ° C. was measured using an E-type viscometer (RE-80L) manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd. It was 3 × 10 −2 Pa · s.

<4.分散樹脂A−3の合成>
(1.連鎖移動剤A3の合成)
ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)〔DPMP;堺化学工業(株)製〕(下記化合物(33))7.83部、及び吸着部位を有し、かつ炭素−炭素二重結合を有する下記化合物(m−6)4.55部を、プロピレングリコールモノメチルエーテル28.90部に溶解させ、窒素気流下、70℃に加熱した。これに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)〔V−65、和光純薬工業(株)製〕0.04部を加えて3時間加熱した。更に、V−65を0.04部加え、窒素気流下、70℃で3時間反応させた。室温まで冷却することで、以下に示すメルカプタン化合物(連鎖移動剤A3)の30%溶液を得た。
<4. Synthesis of Dispersing Resin A-3>
(1. Synthesis of chain transfer agent A3)
Dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate) [DPMP; manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.] (the following compound (33)) 7.83 parts, and having an adsorption site, and a carbon-carbon double bond The following compound (m-6) (4.55 parts) having an aldehyde was dissolved in 28.90 parts of propylene glycol monomethyl ether and heated to 70 ° C. under a nitrogen stream. To this, 0.04 part of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) [V-65, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.] was added and heated for 3 hours. Furthermore, 0.04 part of V-65 was added and reacted at 70 ° C. for 3 hours under a nitrogen stream. By cooling to room temperature, a 30% solution of the mercaptan compound (chain transfer agent A3) shown below was obtained.

(2.分散樹脂A―3の合成)
前記のようにして得られた連鎖移動剤A3の30%溶液4.99部、メタクリル酸メチル19.0部、及びメタクリル酸1.0部、プロピレングリコールモノメチルエーテル4.66部の混合溶液を、窒素気流下、90℃に加熱した。この混合溶液を攪拌しながら、2,2’−アゾビスイソ酪酸ジメチル〔V−601、和光純薬工業(株)製〕0.139部、プロピレングリコールモノメチルエーテル5.36部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート9.40部の混合溶液を2.5時間かけて滴下した。滴下終了してから、90℃で2.5時間反応させた後、2,2’−アゾビスイソ酪酸ジメチル0.046部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート4.00部の混合溶液を投入し、更に2時間反応させた。反応液にプロピレングリコールモノメチルエーテル1.52部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート21.7部を加え、室温まで冷却することで分散樹脂A−3(ポリスチレン換算の重量平均分子量24000)の溶液(特定分散樹脂30質量%、プロピレングリコールモノメチルエーテル21質量%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート49質量%)を得た。
この分散樹脂A−3の酸価は48mg/gであった。分散樹脂A−3の構造を以下に示す。
(2. Synthesis of dispersion resin A-3)
A mixed solution of 4.99 parts of a 30% solution of chain transfer agent A3 obtained as described above, 19.0 parts of methyl methacrylate, 1.0 part of methacrylic acid, and 4.66 parts of propylene glycol monomethyl ether, It heated at 90 degreeC under nitrogen stream. While stirring this mixed solution, 0.139 part of dimethyl 2,2′-azobisisobutyrate [V-601, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.], 5.36 parts of propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate 9 40 parts of the mixed solution was added dropwise over 2.5 hours. After the completion of the dropwise addition, the mixture was reacted at 90 ° C. for 2.5 hours, and then a mixed solution of 0.046 parts of dimethyl 2,2′-azobisisobutyrate and 4.00 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, and further 2 hours. Reacted. To the reaction solution, 1.52 parts of propylene glycol monomethyl ether and 21.7 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate are added, and cooled to room temperature, whereby a solution of dispersion resin A-3 (polystyrene equivalent weight average molecular weight 24000) (specific dispersion resin) 30% by mass, propylene glycol monomethyl ether 21% by mass, propylene glycol monomethyl ether acetate 49% by mass).
The acid value of this dispersion resin A-3 was 48 mg / g. The structure of dispersion resin A-3 is shown below.

<カラーフィルタの作製>
−感光性着色組成物層形成工程−
得られた赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を用い、以下のようにして図1中の赤色パターン20Rと同様のストライプ状パターンである赤色パターンを形成した(樹脂ブラックマトリクスとの位置関係も図1と同様である)。
まず、前記赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を前記ブラックマトリクス付き基板のブラックマトリクス形成面側に、塗布した。具体的には、感光性濃色組成物層形成の場合と同様に、ポストベーク後の感光性着色組成物層(着色パターン)の層厚が2.0μmとなるようにスリットとブラックマトリクス付き基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度120mm/秒で塗布した。
<Production of color filter>
-Photosensitive coloring composition layer formation process-
The resulting red (R) photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 was used to form a red pattern having a stripe pattern similar to the red pattern 20R in FIG. The positional relationship is also the same as in FIG.
First, the photosensitive coloring composition coating solution CR-1 for red (R) was applied to the black matrix forming surface side of the substrate with the black matrix. Specifically, as in the case of forming the photosensitive dark color composition layer, the substrate with the slit and the black matrix so that the layer thickness of the photosensitive coloring composition layer (colored pattern) after the post-baking becomes 2.0 μm. The interval and the discharge amount were adjusted, and coating was performed at a coating speed of 120 mm / second.

−着色層プリベーク工程、着色層露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、100℃で120秒間加熱(プリベーク処理)を行なった後、プロキシミティ方式露光機(型番LE5565A、株式会社日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて、90mJ/cmでパターン露光した。
前記パターン露光において、露光パターンとブラックマトリクスとの重なり(露光重なり量)については、下記ベーク後の赤色パターンにおいて、重なり部OのX方向についての長さLが6.0μmとなるように、マスクパターンと露光機とを設定した。
-Colored layer pre-baking step, colored layer exposure step-
Next, after heating (prebaking treatment) at 100 ° C. for 120 seconds using a hot plate, a pattern at 90 mJ / cm 2 using a proximity type exposure machine (model number LE5565A, manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). Exposed.
In the pattern exposure, the overlap between the exposure pattern and the black matrix for (exposure overlap amount), as the red pattern after following baking, the length L O of the X-direction of the overlapping portion O Y is 6.0μm A mask pattern and an exposure machine were set.

−着色層現像工程、着色層ベーク工程−
その後、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、25℃)でシャワー圧を0.2MPaに設定して、45秒現像し、純水で洗浄した。
次いで220℃のクリーンオーブンで30分間ポストベーク処理し、熱処理済みの赤色画素を形成した。
-Colored layer development process, colored layer baking process-
Thereafter, a 1.0% developer (1 part by mass of CDK-1 and 99 parts by mass of pure water) of a potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials), 25 )), The shower pressure was set to 0.2 MPa, developed for 45 seconds, and washed with pure water.
Next, post-baking was performed in a 220 ° C. clean oven for 30 minutes to form heat-treated red pixels.

次いで、上記感光性着色組成物層形成工程、着色層プリベーク工程、着色層露光工程、着色層現像工程、及び着色層ベーク工程において、赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を、緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1に代えた他は同様にして、図1中の緑色パターン20Gと同様のストライプ状パターンである緑色パターンを形成した(樹脂ブラックマトリクスとの位置関係も図1と同様である)。さらにその後、赤色(R)用感光性着色組成物塗布液CR−1を、青色(B)用感光性着色組成物塗布液CB−1に代えた他は同様にして、図1中の青色パターン20Bと同様のストライプ状パターンである青色パターンを形成し(樹脂ブラックマトリクスとの位置関係も図1と同様である)、図1に示すカラーフィルタ100と同様のカラーフィルタを得た。   Subsequently, in the said photosensitive coloring composition layer formation process, colored layer prebaking process, colored layer exposure process, colored layer development process, and colored layer baking process, the photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) is used. The green pattern which is the same stripe pattern as the green pattern 20G in FIG. 1 was formed in the same manner except that the green (G) photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 was used (resin black matrix and The positional relationship is also the same as in FIG. Thereafter, the blue pattern in FIG. 1 was similarly obtained except that the photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) was replaced with the photosensitive coloring composition coating liquid CB-1 for blue (B). A blue pattern, which is a stripe pattern similar to 20B, was formed (the positional relationship with the resin black matrix is also the same as in FIG. 1), and a color filter similar to the color filter 100 shown in FIG. 1 was obtained.

次に、緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1を塗布し、プリベーク完了までを上記カラーフィルタと同様にして行い、感光性着色組成物層断面観察用サンプルを作製した。
得られたサンプルを、ブラックマトリクスのパターンエッジに垂直かつ基板に垂直な面で切断し、該切断面について走査型電子顕微鏡(倍率5000倍)を用いてSEM写真を撮影した。前記SEM写真の構図は図15と同様である。
得られたSEM写真に基づき、緑色(G)感光性着色組成物層表面に相当する線のうち、基板から最も離れた点Rに対し基板法線方向について0.1μm基板に近い点Sの位置を求めた。
点Sの基板表面に平行な方向についての位置は、該点Sに最も近い樹脂ブラックマトリクスのパターンエッジEの位置を基準(0(ゼロ))として樹脂ブラックマトリクス形成領域側を負(−)、樹脂ブラックマトリクス非形成領域側を正(+)としたとき、+2.0μmであった。
Next, the photosensitive coloring composition coating solution CG-1 for green (G) was applied, and pre-baking was completed in the same manner as the above color filter, to prepare a sample for observing the photosensitive coloring composition layer cross section.
The obtained sample was cut along a plane perpendicular to the pattern edge of the black matrix and perpendicular to the substrate, and an SEM photograph of the cut surface was taken using a scanning electron microscope (5000 times magnification). The composition of the SEM photograph is the same as in FIG.
Based on the obtained SEM photograph, among the lines corresponding to the surface of the green (G) photosensitive coloring composition layer, the position of the point S close to the 0.1 μm substrate in the substrate normal direction with respect to the point R farthest from the substrate Asked.
Position for the direction parallel to the substrate surface at the point S is negative the resin black matrix forming region side position of the pattern edge E B nearest the resin black matrix in the point S as a reference (0) (-) When the resin black matrix non-formation region side was positive (+), it was +2.0 μm.

<液晶表示装置の作製>
上記より得たカラーフィルタのR画素、G画素、及びB画素並びにブラックマトリクスの上に更に、ITO(Indium Tin Oxide)透明電極を、スパッタリングにより形成した。そして、前記ITO透明電極上のブラックマトリクスの上方に相当する部分に柱状フォトスペーサを設け、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
別途、対向基板としてTFT(薄膜トランジスタ)を備えたアクティブマトリクス基板を用意し、TFT形成面側にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
<Production of liquid crystal display device>
An ITO (Indium Tin Oxide) transparent electrode was further formed by sputtering on the R pixel, G pixel, B pixel, and black matrix of the color filter obtained above. A columnar photospacer was provided in a portion corresponding to the upper part of the black matrix on the ITO transparent electrode, and an alignment film made of polyimide was further provided thereon.
Separately, an active matrix substrate provided with a TFT (thin film transistor) was prepared as a counter substrate, and an alignment film made of polyimide was provided on the TFT forming surface side.

その後、カラーフィルタの着色画素群の周囲を取り囲むように設けられたブラックマトリクス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、TNモード用液晶を滴下して真空状態にて対向基板と貼り合わせ、貼り合わされた基板をUV照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして液晶セルを得た。この液晶セルの両面に(株)サンリッツ製の偏光板HLC2−2518を貼り付け、次いで冷陰極管のバックライトを構成して前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。   After that, a UV curable resin sealant is applied by a dispenser method at a position corresponding to the outer periphery of the black matrix provided so as to surround the colored pixel group of the color filter, and a liquid crystal for TN mode is dropped to form a vacuum state. The substrate was bonded to the counter substrate, and the bonded substrate was irradiated with UV, and then heat treated to cure the sealant. A liquid crystal cell was thus obtained. A polarizing plate HLC2-2518 (manufactured by Sanritz Co., Ltd.) was pasted on both sides of this liquid crystal cell, and then placed on the back surface side of the liquid crystal cell provided with the polarizing plate by constituting a backlight of a cold cathode tube, A liquid crystal display device was obtained.

<測定及び評価>
(高さh及び高さh
上記で得られたカラーフィルタと同一構造の測定用サンプルを準備し、表示画面中央部において緑色画素一画素を選び、着色パターン表面から重なり部Oの着色パターン表面までの高さhを測定した。次に、同一の画素について、着色パターン表面から重なり部Oの着色パターン表面までの高さhを測定した。
前記高さh及び前記高さhの測定とも、接触式表面粗さ計P−10(ケーエルエー・テンコール(株)製)を用いて行った。具体的には、前記高さhについては図1(a)中A−Aの方向に、前記高さhについては図1(a)中B−Bの方向に、それぞれ触針を走査させて行った。
測定結果を表2に示す。
<Measurement and evaluation>
(Height h X and the height h Y)
Prepare the sample for measurement of the resulting color filter having the same structure as above, to select the green pixels one pixel in the display screen center part, measuring the height h Y to the colored patterned surface of the overlapped portion O Y of colored patterned surface did. Then, for the same pixel, and measuring the height h X until the colored patterned surface of the overlapped portion O X from colored patterned surface.
Wherein both the measurement height h X and the height h Y, contact surface roughness meter P-10 (manufactured by KLA-Tencor Corporation) was used. More specifically, the direction of FIGS. 1 (a) Medium A-A is the height h X, wherein the height h Y in the direction of the center B-B FIG. 1 (a), respectively scan the probe I went.
The measurement results are shown in Table 2.

(テーパー長L、L、他)
上記で得られたカラーフィルタと同一構造の測定用サンプルを準備し、表示画面中央部において緑色画素一画素を選び、緑色画素の長手方向を2等分する面であって、基板に垂直な面で測定用サンプルを切断し、走査型電子顕微鏡を用いて、図3に示すような構図で断面SEM写真を撮影した(倍率5000倍)。
撮影された断面SEM写真に基づき、ブラックマトリクスの膜厚、テーパー長L、緑色パターンの膜厚、テーパー長L、重なり部Oの長さL、及び重なり部Oにおける厚みを測定した。ここで、重なり部Oにおける厚みは、着色パターン下端E1から着色パターン上端Tまでの基板法線方向についての距離として測定した。
測定結果を表2に示す。
(Taper length L B , L C , etc.)
A sample for measurement having the same structure as the color filter obtained above is prepared, one green pixel is selected at the center of the display screen, and the longitudinal direction of the green pixel is equally divided into two, and the surface is perpendicular to the substrate Then, the measurement sample was cut, and a cross-sectional SEM photograph was taken with a composition as shown in FIG. 3 using a scanning electron microscope (5000 times magnification).
Based on the captured cross-sectional SEM photograph, measuring a black matrix film thickness, taper length L B, the thickness of the green pattern, a taper length L C, a thickness in the length L O, and the overlapping portion O Y of the overlapped portion O Y did. Here, the thickness in the overlap portion O Y, measured as the distance the substrate normal direction from the colored pattern lower end E1 to the colored pattern upper T.
The measurement results are shown in Table 2.

(コントラスト評価)
上記で得られた液晶表示装置に通電し、全白表示時の輝度と全黒表示時の輝度とを、それぞれ暗室にて、色彩輝度計(トプコン社製BM−5A)を用いて測定した。いずれの輝度も、液晶表示装置の表示画面中央部にて測定した。
比率〔全白表示時の輝度/全黒表示時の輝度〕をコントラストとし、下記評価基準に基づいてコントラストを評価した。
(Contrast evaluation)
The liquid crystal display device obtained above was energized, and the luminance when displaying all white and the luminance when displaying all black were measured using a color luminance meter (Topcon BM-5A) in a dark room. All the luminances were measured at the center of the display screen of the liquid crystal display device.
The ratio [brightness when displaying all white / brightness when displaying all black] was used as contrast, and the contrast was evaluated based on the following evaluation criteria.

〜評価基準〜
A … コントラストが800以上であった。
B … コントラストが500以上800未満であった。
C … コントラストが250以上500未満であった。
D … コントラストが250未満であった。
~Evaluation criteria~
A: The contrast was 800 or more.
B: The contrast was 500 or more and less than 800.
C: The contrast was 250 or more and less than 500.
D: The contrast was less than 250.

〔実施例2〜実施例5、比較例2〕
樹脂ブラックマトリクスの膜厚、テーパー長L、緑色パターンの膜厚、テーパー長L、及び重なり部Oの長さLを、表2に示すように変更した以外は実施例1と同様にしてカラーフィルタ及び液晶表示装置を作製し、実施例1と同様の評価を行った。評価結果を表2に示す。
詳しくは、樹脂ブラックマトリクスの膜厚の変更は、スリットコーターからの吐出量を調節することにより、テーパー長Lの変更は現像装置での現像時間を調節することにより行った。
また、緑色パターンの膜厚の変更は、スリットコーターからの吐出量を調節することにより、テーパー長Lの変更は、現像装置での現像時間を調節することにより、重なり部Oの長さLの変更は、露光装置での露光時間を調節することにより、それぞれ行った。
[Examples 2 to 5, Comparative Example 2]
The film thickness of the resin black matrix, the taper length L B, the thickness of the green pattern, a taper length L C, and the length L O of the overlapped portion O Y, similarly, except that were changed as shown in Table 2 as in Example 1 Then, a color filter and a liquid crystal display device were produced and evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.
Specifically, the film thickness of the resin black matrix was changed by adjusting the discharge amount from the slit coater, and the taper length L B was changed by adjusting the developing time in the developing device.
The thickness change of the green pattern, by adjusting the discharge amount from the slit coater, changes taper length L C, by adjusting the developing time in the developing device, the overlapping portion O Y Length L O was changed by adjusting the exposure time in the exposure apparatus.

〔比較例1〕
緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1を、以下に示す緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−Aに変更した以外は実施例1と同様にしてカラーフィルタ及び液晶表示装置を作製し、実施例1と同様の評価を行った。評価結果を表2に示す。
[Comparative Example 1]
In the same manner as in Example 1 except that the green (G) photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 was changed to the green (G) photosensitive coloring composition coating liquid CG-A shown below, A liquid crystal display device was produced and evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.

(比較用塗布液CG−Aの調製)
実施例1中、緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−1の調製において、分散樹脂A−3を、下記の分散樹脂D−1に変えた以外はCG−1の調製と同様にして、緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−Aを調製した。
得られた緑色(G)用感光性着色組成物塗布液CG−Aの25℃における粘度を、東機産業(株)製のE型粘度計(RE−80L)を用いて測定したところ、1.1×10−2Pa・sであった。
(Preparation of comparative coating solution CG-A)
In the preparation of the photosensitive coloring composition coating solution CG-1 for green (G) in Example 1, the same as the preparation of CG-1 except that the dispersion resin A-3 was changed to the following dispersion resin D-1. Thus, a photosensitive coloring composition coating solution CG-A for green (G) was prepared.
When the viscosity at 25 degreeC of the obtained photosensitive coloring composition coating liquid CG-A for green (G) was measured using the E-type viscosity meter (RE-80L) by Toki Sangyo Co., Ltd., 1 It was 1 × 10 −2 Pa · s.

表2に示すように、高さhが高さhに対し0.1μm以上低い(即ち、h−h≦−0.1μmである)実施例1〜実施例5では、液晶表示装置において高いコントラストが得られた。
一方、h−h>−0.1μmである比較例1及び比較例2では、コントラストが低下した。
As shown in Table 2, the height h Y is 0.1 μm or more lower than the height h X (that is, h Y −h X ≦ −0.1 μm). High contrast was obtained in the device.
On the other hand, in Comparative Example 1 and Comparative Example 2 where h Y −h X > −0.1 μm, the contrast was lowered.

(a)は、本発明のカラーフィルタの一例を示す平面図であり、(b)は、(a)のA−A線断面図であり、(c)は、(a)のB−B線断面図である。(A) is a top view which shows an example of the color filter of this invention, (b) is the sectional view on the AA line of (a), (c) is the BB line of (a). It is sectional drawing. (a)は、樹脂ブラックマトリクス付き基板の一例を示す平面図であり、(b)は、(a)のA−A線断面図であり、(c)は、(a)のB−B線断面図である。(A) is a top view which shows an example of a board | substrate with a resin black matrix, (b) is AA sectional view taken on the line of (a), (c) is a BB line of (a). It is sectional drawing. 本発明のカラーフィルタの一例における、テーパー形である着色パターン端部の断面図である。It is sectional drawing of the coloring pattern edge part which is a taper shape in an example of the color filter of this invention. テーパー形である着色パターン端部の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the coloring pattern edge part which is a taper shape. テーパー形である着色パターン端部の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the coloring pattern edge part which is a taper shape. 矩形である着色パターン端部の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the coloring pattern edge part which is a rectangle. アンダーカット形である着色パターン端部の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the coloring pattern edge part which is an undercut shape. アンダーカット形である着色パターン端部の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the coloring pattern edge part which is an undercut shape. アンダーカット形である着色パターン端部の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the coloring pattern edge part which is an undercut shape. 矩形に近い現像後の樹脂ブラックマトリクスの例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the resin black matrix after the image development near a rectangle. アンダーカット形である現像後の樹脂ブラックマトリクスの例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the resin black matrix after development which is an undercut type. テーパー形である現像後の樹脂ブラックマトリクスの例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the resin black matrix after the image development which is a taper type. ポストベーク処理後の樹脂ブラックマトリクスの例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the resin black matrix after a post-baking process. ポストベーク処理後の樹脂ブラックマトリクス付き基板上に着色パターンが形成された例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example in which the coloring pattern was formed on the board | substrate with a resin black matrix after a post-baking process. プリベーク後の感光性着色組成物層の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the photosensitive coloring composition layer after a prebaking.

符号の説明Explanation of symbols

10 基板
12 樹脂ブラックマトリクス
14 画素
20R 赤色パターン
20G、22G、24G、26G、28G、30G、32G 緑色パターン
20B 青色パターン
40 プリベーク後の感光性着色組成物層
42 感光性着色組成物層表面
10 Substrate 12 Resin black matrix 14 Pixel 20R Red pattern 20G, 22G, 24G, 26G, 28G, 30G, 32G Green pattern 20B Blue pattern 40 Photosensitive coloring composition layer 42 after pre-baking Photosensitive coloring composition layer surface

Claims (7)

基板上に、膜厚0.5μm〜2.0μmの格子状パターンである樹脂ブラックマトリクスと、膜厚1.0μm〜3.0μmのストライプ状パターンである着色パターンと、を少なくとも有し、
前記樹脂ブラックマトリクスは、前記基板上を複数の画素に区画し、
前記着色パターンの少なくとも一部は、各列が直線状に配列された画素群上及び該画素群における画素間の樹脂ブラックマトリクス上に渡って連続的に設けられるとともに、各列が該列の方向と直交する方向の樹脂ブラックマトリクス上に重なり部Oの群を有し、かつ、前記列の方向と平行な方向の樹脂ブラックマトリクス上に重なり部Oの群及び1対のパターンエッジを有し、
前記直線状に配列された画素群のうちの1つの画素についてみたときに、該画素内の着色パターン表面に対する該画素に隣接する重なり部Oの高さhが、該画素内の着色パターン表面に対する該画素に隣接する重なり部Oの高さhに対し、0.1μm以上低いことを特徴とするカラーフィルタ。
On the substrate, at least a resin black matrix that is a lattice pattern with a film thickness of 0.5 μm to 2.0 μm and a colored pattern that is a stripe pattern with a film thickness of 1.0 μm to 3.0 μm,
The resin black matrix partitions the substrate into a plurality of pixels,
At least a part of the coloring pattern is continuously provided on the pixel group in which each column is arranged in a straight line and on the resin black matrix between the pixels in the pixel group, and each column has a direction of the column. orthogonal and have a group of overlapping portion O X on the direction of the resin black matrix, and have a group and a pair of pattern edges of said column direction parallel to the direction of the resin black matrix on the overlapping portion O Y And
When tried with the one pixel of the pixel group arranged in the straight line, the height h Y of the overlapping portion O Y which is adjacent to the pixel for color pattern surface of the pixel Motonai is colored pattern of the pixel Motonai A color filter characterized by being 0.1 μm or more lower than the height h X of the overlapping portion O X adjacent to the pixel with respect to the surface.
前記重なり部Oは、前記列の方向と直交する方向についての長さが、2μm以上10μm以下であることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ。 2. The color filter according to claim 1, wherein the overlapping portion OY has a length in a direction orthogonal to the direction of the row of 2 μm to 10 μm. 前記着色パターンの端部の断面形状は、矩形又はテーパー長10μm以下のテーパー形であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のカラーフィルタ。   3. The color filter according to claim 1, wherein a cross-sectional shape of an end portion of the coloring pattern is a rectangle or a tapered shape having a taper length of 10 μm or less. 前記樹脂ブラックマトリクスの端部の断面形状は、矩形又はテーパー長10μm以下のテーパー形であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のカラーフィルタ。   4. The color filter according to claim 1, wherein a cross-sectional shape of an end portion of the resin black matrix is a rectangle or a tapered shape having a taper length of 10 μm or less. 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のカラーフィルタを製造する方法であって、
基板上に、格子状パターンである樹脂ブラックマトリクスを形成する樹脂ブラックマトリクス形成工程と、
前記樹脂ブラックマトリクスが形成された基板上に、感光性着色組成物を用いて感光性着色組成物層を形成し、形成された感光性着色組成物層をパターン露光し、パターン露光された感光性着色組成物層を現像して着色パターンを形成する着色パターン形成工程と、
を有するカラーフィルタの製造方法。
A method for producing a color filter according to any one of claims 1 to 4,
A resin black matrix forming step of forming a resin black matrix which is a lattice pattern on the substrate;
On the substrate on which the resin black matrix is formed, a photosensitive coloring composition layer is formed using the photosensitive coloring composition, the formed photosensitive coloring composition layer is subjected to pattern exposure, and the pattern-exposed photosensitive property is exposed. A colored pattern forming step of developing a colored composition layer to form a colored pattern;
The manufacturing method of the color filter which has.
前記感光性着色組成物層は、前記樹脂ブラックマトリクスが形成された基板上に、感光性着色組成物を塗布し、プリベークして形成し、
前記プリベーク後の感光性着色組成物層を前記樹脂ブラックマトリクスのパターンエッジに垂直かつ基板に垂直な面で切ったときの断面において、
前記感光性着色組成物層表面のうち、基板から最も離れた点Rに対し基板法線方向について0.1μm基板に近い点Sは、基板表面に平行な方向についての位置が、該点Sに最も近い樹脂ブラックマトリクスのパターンエッジの位置を基準として樹脂ブラックマトリクス形成領域側を負、樹脂ブラックマトリクス非形成領域側を正としたとき、−2μm〜+10μmの範囲内であることを特徴とする請求項5に記載のカラーフィルタの製造方法。
The photosensitive coloring composition layer is formed by applying and pre-baking the photosensitive coloring composition on the substrate on which the resin black matrix is formed,
In the cross section when the photosensitive coloring composition layer after the pre-baking is cut by a plane perpendicular to the pattern edge of the resin black matrix and perpendicular to the substrate,
Of the surface of the photosensitive coloring composition layer, the point S closest to the 0.1 μm substrate in the normal direction to the point R farthest from the substrate is the position in the direction parallel to the substrate surface. The resin black matrix formation region side is negative with respect to the position of the pattern edge of the closest resin black matrix, and the resin black matrix non-formation region side is positive, and is within a range of -2 μm to +10 μm. Item 6. A method for producing a color filter according to Item 5.
請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置。   The liquid crystal display device provided with the color filter of any one of Claims 1-4.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012018374A (en) * 2010-06-08 2012-01-26 Sumitomo Chemical Co Ltd Photosensitive resin composition
CN105093645A (en) * 2015-08-06 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 Color filtering substrate and preparing method thereof

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102331596B (en) * 2011-10-09 2013-12-04 华映视讯(吴江)有限公司 Colored resin composition and method for forming multicolor optical filter
CN103869605B (en) * 2012-12-12 2017-08-08 上海仪电显示材料有限公司 The mask plate of manufacture filter, the forming method of filter, display device
CN104749812A (en) * 2013-12-31 2015-07-01 上海仪电显示材料有限公司 Color filter substrate, manufacturing method of color filter substrate and liquid crystal display device comprising color filter substrate
CN105140233B (en) 2015-07-27 2018-05-18 深圳市华星光电技术有限公司 Low temperature polycrystalline silicon array substrate and its manufacturing method, display device
KR102393319B1 (en) 2017-07-04 2022-05-02 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting display device
CN108957892B (en) * 2018-08-31 2020-12-04 武汉华星光电技术有限公司 Liquid crystal display panel
US20220171100A1 (en) * 2019-03-29 2022-06-02 Dongwoo Fine-Chem Co., Ltd. Decorative film, window film and laminate having the same, and method for manufacturing the same

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11218606A (en) * 1998-02-02 1999-08-10 Toray Ind Inc Color filter and production of color filter

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11218606A (en) * 1998-02-02 1999-08-10 Toray Ind Inc Color filter and production of color filter

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012018374A (en) * 2010-06-08 2012-01-26 Sumitomo Chemical Co Ltd Photosensitive resin composition
CN105093645A (en) * 2015-08-06 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 Color filtering substrate and preparing method thereof

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