JP2009274181A - 流体研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スラリ噴射部30の噴射口43からスラリ3を研磨対象物2の表面に向けて噴射することにより、研磨対象物2の表面研磨を行う流体研磨装置であって、スラリ噴射部30は、スラリ3が圧送されるノズル側圧送路32が形成されたノズル31と、ノズル側圧送路32から送り出されるスラリ3を受けてさらに圧送させるヘッド側圧送路42およびヘッド側圧送路42と一体に繋がって研磨対象物2の表面と対向する噴射口43が形成され、ヘッド側圧送路42を流動させたスラリ3を噴射口43から噴射する噴射ヘッド41と、噴射ヘッド41を介して噴射口43から噴射されるスラリ3に水平方向の超音波振動を付与する超音波発生装置50とを備え、ノズル31と噴射ヘッド40とは、互いに別体に分離されて一定の間隔をおいて配置される。
【選択図】図2
Description
U=k・P・v・t
ここで、kは定数、Pはスラリ(研磨材)が研磨対象物に与える接触圧力、vは研磨対象物とスラリ(研磨材)との(水平方向の)相対線速度、tは研磨対象物とスラリ(研磨材)との接触時間である。このプレストンの式によれば、研磨加工においては、研磨対象物とスラリ(研磨材)との相対的な線速度vが加工量Uを決める1つの要因となっており、この相対的な線速度が大きくなれば研磨レート(研磨加工能率)は向上し、相対的な線速度が小さくなれば研磨レートは低下することになる。すなわち、いくら研磨対象物に加える接触圧力Pを増大させても、研磨対象物とスラリ(研磨材)との間に相対的な線速度が生じなければ、加工能力が低下して所望の加工精度を得るための研磨を行うことが困難であるといえる。
30 スラリ噴射部(噴射部) 31 ノズル 32 ノズル側圧送路
34 リング状溝(溝部) 40 噴射ヘッド 41 供給孔(開口部)
42 ヘッド側圧送路 43 噴射口
50 超音波発生装置(振動発生部、超音波発生部)
Claims (7)
- 噴射部の噴射口から流体を研磨対象物の表面に向けて噴射することにより、前記研磨対象物の表面研磨を行う流体研磨装置であって、
前記噴射部は、
流体が圧送されるノズル側圧送路が形成されたノズルと、
前記ノズル側圧送路から送り出される流体を受けて流動させるヘッド側圧送路および前記ヘッド側圧送路と一体に繋がって前記研磨対象物の表面と対向する前記噴射口が形成され、前記ヘッド側圧送路を流動させた流体を前記噴射口から噴射する噴射ヘッドと、
前記噴射ヘッドを介して前記噴射口から噴射される流体に所定の方向の振動を付与する振動発生部とを備え、
前記ノズルと前記噴射ヘッドとは、互いに別体に分離されて一定の間隔をおいて配置されることを特徴とする流体研磨装置。 - 前記所定の方向とは、前記研磨対象物の表面の被研磨部分に対して平行な方向であることを特徴とする請求項1に記載の流体研磨装置。
- 前記所定の方向とは、前記噴射口から噴射される流体の噴射方向と垂直に交差する方向であることを特徴とする請求項1に記載の流体研磨装置。
- 前記振動発生部が、前記噴射口から噴射される流体に超音波振動を付与する超音波発生部を有して構成されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の流体研磨装置。
- 前記噴射ヘッドが、前記ノズル側の端部で開口するとともに、前記ヘッド側圧送路に連通する略円錐状の開口部を有して構成されることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の流体研磨装置。
- 前記ノズルが、前記噴射ヘッド側の端部に、前記噴射ヘッドの前記噴射口と反対側の端部を遊挿可能な溝部を有して構成されることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の流体研磨装置。
- 前記噴射ヘッドが、前記ノズルの前記溝部内において、前記振動発生部により付与される振動の振幅の大きさの2倍以上の間隔をあけて、前記溝部を形成する内壁部から離れて配置されていることを特徴とする請求項6に記載の流体研磨装置。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011240433A (ja) * | 2010-05-18 | 2011-12-01 | Nagase Integrex Co Ltd | 研磨装置 |
RU2520287C1 (ru) * | 2013-02-14 | 2014-06-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физико-технических проблем Севера им. В.П. Ларионова Сибирского отделения Российской академии наук | Способ струйноабразивной обработки алмаза резанием |
JP2016002639A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | 東ソー株式会社 | 表面加工装置、表面加工設備および表面加工方法 |
RU2688007C1 (ru) * | 2017-12-11 | 2019-05-17 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А." (СГТУ имени Гагарина Ю.А.) | Способ гидроабразивной обработки с осцилляцией струи |
CN110026908A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-19 | 天津大学 | 一种超声空化辅助射流抛光系统及抛光方法 |
CN114939726A (zh) * | 2022-04-13 | 2022-08-26 | 大连理工大学 | 超声射流辅助飞秒激光旋切气膜冷却孔加工装备及方法 |
EP4119294A1 (de) | 2021-07-16 | 2023-01-18 | Volkswagen Ag | Verfahren und schneidvorrichtung zum schneiden von elektrodenfolien |
CN115741486A (zh) * | 2022-11-03 | 2023-03-07 | 大连理工大学 | 超声辅助纳米磨粒水射流沟槽热管内表面复合抛光装置及方法 |
CN116038444A (zh) * | 2023-03-27 | 2023-05-02 | 四川托璞勒科技有限公司 | 一种超声波研磨机 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102021118459A1 (de) * | 2021-07-16 | 2023-01-19 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Verfahren und Schneidvorrichtung zum Schneiden von Elektrodenfolien |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03161271A (ja) * | 1989-11-15 | 1991-07-11 | Sony Corp | 遊離砥粒噴射式加工装置 |
JPH05285837A (ja) * | 1992-04-15 | 1993-11-02 | Sony Corp | パウダービーム加工装置及びパウダービーム加工方法 |
JP2005186231A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Nikon Corp | 研磨装置 |
JP2006281406A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Nhk Spring Co Ltd | ショットピーニング方法およびこの方法により得られる板ばね、ならびにショットピーニング装置 |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03161271A (ja) * | 1989-11-15 | 1991-07-11 | Sony Corp | 遊離砥粒噴射式加工装置 |
JPH05285837A (ja) * | 1992-04-15 | 1993-11-02 | Sony Corp | パウダービーム加工装置及びパウダービーム加工方法 |
JP2005186231A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Nikon Corp | 研磨装置 |
JP2006281406A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Nhk Spring Co Ltd | ショットピーニング方法およびこの方法により得られる板ばね、ならびにショットピーニング装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011240433A (ja) * | 2010-05-18 | 2011-12-01 | Nagase Integrex Co Ltd | 研磨装置 |
RU2520287C1 (ru) * | 2013-02-14 | 2014-06-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физико-технических проблем Севера им. В.П. Ларионова Сибирского отделения Российской академии наук | Способ струйноабразивной обработки алмаза резанием |
JP2016002639A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | 東ソー株式会社 | 表面加工装置、表面加工設備および表面加工方法 |
RU2688007C1 (ru) * | 2017-12-11 | 2019-05-17 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А." (СГТУ имени Гагарина Ю.А.) | Способ гидроабразивной обработки с осцилляцией струи |
CN110026908A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-19 | 天津大学 | 一种超声空化辅助射流抛光系统及抛光方法 |
CN110026908B (zh) * | 2019-04-30 | 2024-01-30 | 天津大学 | 一种超声空化辅助射流抛光系统及抛光方法 |
EP4119294A1 (de) | 2021-07-16 | 2023-01-18 | Volkswagen Ag | Verfahren und schneidvorrichtung zum schneiden von elektrodenfolien |
DE102021118458A1 (de) | 2021-07-16 | 2023-01-19 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Verfahren und Schneidvorrichtung zum Schneiden von Elektrodenfolien |
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CN115741486A (zh) * | 2022-11-03 | 2023-03-07 | 大连理工大学 | 超声辅助纳米磨粒水射流沟槽热管内表面复合抛光装置及方法 |
CN115741486B (zh) * | 2022-11-03 | 2024-04-26 | 大连理工大学 | 超声辅助纳米磨粒水射流沟槽热管内表面复合抛光装置及方法 |
CN116038444A (zh) * | 2023-03-27 | 2023-05-02 | 四川托璞勒科技有限公司 | 一种超声波研磨机 |
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