JP2009252860A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板上に、少なくとも光取り出し層(ウインドウ層)17,18とクラッド層5,7及び活性層6を有する発光部とを備えたエピタキシャル層が形成され、前記エピタキシャル層上の一部に接触抵抗低減のためのオ−ミックコンタクト接合部11が配置され、オーミックコンタクト接合部11に接続されて前記発光部の光を反射する反射金属膜12が形成され、反射金属膜12を介して支持基板13が接合され、更に前記半導体基板が取り除かれ、前記エピタキシャル層側に第一の電極15、前記支持基板13側に第二の電極16が形成されている。前記発光部の上部に位置する光取り出し層17,18の表面には凹凸状の傾斜した面が形成されており、傾斜した面は、傾斜角度が異なる傾斜面17aと傾斜面18aとからなる。
【選択図】図1
Description
この方法を用いた場合には、反射膜として金属膜を用いている為、金属膜への光の入射角に依らずに高い反射が可能となる。このため、上記した多層の半導体からなる多層反射膜構造を設ける場合よりも、発光部で発光した光をより有効に取り出すことができ、高輝度化を実現できる。
凸化するには、周知の技術であるフォトリソグラフィを用いてレジストパターンを形成し、エッチングする方法がある。
レジストパターンを形成しないでLEDの主表面をエッチングにより粗面化(凹凸化)処理すると、層表面が凹凸化すると同時に全体的にもエッチングが進行してしまう。これにより、全体の膜厚が薄くなる。膜厚が全体的に薄くなってしまうと、電流の広がりが悪くなり、順方向電圧が高くなると同時に発光出力も低下する。つまり発光効率が低下する事が問題である。この問題は、順方向電圧が上昇する事で、LED素子中の発熱量が大きくなり、その熱の影響により発光出力が低下するためである。要するに、粗面化するウインドウ層(前記発光部の上に位置する層)、所謂光取り出し層の全体の膜厚が薄くなると、直列抵抗が大きくなり、また電流の広がりが悪くなる事で、順方向電圧が高くなるために発光出力が低下する。
また、本発明の目的は、レジストパターンを形成せずに、しかも光取り出し層の膜厚が薄くなる事を抑制しつつ凹凸化でき、低コストで高発光出力の半導体発光素子を提供することにある。
れ、前記凹凸状の傾斜した面が、傾斜角度の異なる2つ以上の傾斜面から構成されている。
5、0.4≦Y≦0.6)からなる多重量子井戸構造若しくは歪多重量子井戸構造であり、且つ前記(AlXGa1−X)YIn1−YP層が20層〜160層で構成されている。
aP層と、アンドープGaP層と、Znが添加されたGaP層とが設けられている。
図1に示すように、半導体基板(図示せず)上に、n型GaAsコンタクト層3、光取り出し層であるn型AlGaInPウインドウ層(第二ウインドウ層)18及びn型AlGaAs層(第一ウインドウ層)17、n型AlGaInPクラッド層5、アンドープ(AlXGa1−X)YIn1−YP層(0≦X≦0.5、0.4≦Y≦0.6)からなる多
重量子井戸活性層6、p型AlGaInPクラッド層7、Mgドープのp型GaXIn1−XP(0.6≦X)介在層8、Mgドープのp型GaP層9A、アンドープGaP層9
B及びZnドープのp型GaP層9Cが、MOVPE法で積層形成されている。更に、Znドープのp型GaP層9Cには、酸化物層であるSiO2膜10が形成され、SiO2
膜10に分散して形成された開口部には、金属からなるオーミックコンタクト接合部11が形成されている。SiO2膜10及びオーミックコンタクト接合部11上には反射金属膜12が形成されている。
反射金属膜12と、支持基板13表面に形成した金属密着層14とは重ね合わされて、オーミックコンタクト接合部11が設けられた半導体基板(エピタキシャル成長用基板)と支持基板13とが貼り合わされる。更に、半導体基板が取り除かれ、GaAsコンタクト層3表面には、各チップの上面中央に位置させて形成される円形部15aとこれから放射状に柱状に伸びる分配部15bを有する分配電極付きの第一の電極15が形成され、また、支持基板13の底面の全面には、第二の電極16が形成されている。
n0.5P層18を露出させた。
更に、P系層であるn型AlGaInPウインドウ層(第二ウインドウ層)18はエッチングするが、As系層であるn型AlGaAs層(第一ウインドウ層)17はエッチングしないエッチング液、例えば塩酸系のエッチング液を用い、第二ウインドウ層18をエッチングする。このエッチングにより、第二ウインドウ層18表面は凹凸状に粗面化し、第一ウインドウ層17上に第二ウインドウ層18が島状に残って、第一ウインドウ層17表面が部分的に露出した時点で一旦エッチングを終える。
次に、P系層であるn型AlGaInPウインドウ層(第二ウインドウ層)18はエッチングしないが、As系層であるn型AlGaAs層(第一ウインドウ層)17はエッチングするエッチング液、例えば硫酸と過酸化水素水との混合液からなるエッチング液を用い、第一ウインドウ層17のエッチングを行う。この時には、第二ウインドウ層18はエッチングされずにマスクとして機能し、第一ウインドウ層17のみがエッチングされる。
これにより、ウインドウ層17,18の表面には、図1に一部を拡大して示すように、凹凸状の傾斜した面が形成される。この傾斜した面は、傾斜角度が異なる傾斜面18aと傾斜面17aとからなる。
実施形態では第二ウインドウ層18)の膜厚が50nm〜1000nm以下であるのが好ましい。
第二ウインドウ層18の膜厚が薄過ぎると、第二ウインドウ層18がエッチング中に全てなくなってしまう。また、あまり厚過ぎても、エッチング時間が長くなり、また原材料を多く使用し、成膜時間も長くなってしまう。更にまた、第二ウインドウ層18を必要以上に厚くしても高出力化に関してはあまり効果が出ず、単に高コストになってしまうだけである。よって、第二ウインドウ層18の好ましい膜厚は50nm〜1000nmであり、より好ましくは100nm〜800nmである。
ウインドウ層全体の膜厚(第一、第二ウインドウ層17、18の膜厚の和)を厚くすると、電流の広がりが良くなる事から、LED素子の特性はよくなる方に向かう。しかし厚すぎる場合には、電流広がりの効果は飽和してしまう。よって、LED素子の特性上は、厚すぎても問題になる事は無いが、コスト面で不利になる。また薄すぎる場合は、LED素子特性上、発光出力は低くなり、順方向電圧は高くなる。よって、ウインドウ層全体の膜厚には最適値があり、それは500nm〜5000nmであり、より好ましいのは1000nm〜4000nmである。
また、上記実施形態では、光取り出し層であるウインドウ層を、P系層とAs系層とからなる上層・下層の2層構造としたが、P系層とAs系層とが交互に形成された上層・中層・下層の3層構造としてもよい。
7Ga0.3)0.5In0.5Pエッチングストップ層(膜厚200nm、キャリア濃度
1×1018/cm3)2、Seドープのn型GaAsコンタクト層(膜厚50nm、キャリア濃度1×1018/cm3)3、Seドープのn型(Al0.4Ga0.6)0.5
In0.5P層(膜厚400nm、キャリア濃度1×1018/cm3)18、Seドー
プのn型Al0.8GaAsウインドウ層(膜厚2600nm、キャリア濃度1×101
8/cm3)17、Seドープのn型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド
層(膜厚500nm、キャリア濃度5×1017/cm3)5、アンドープ多重量子井戸活性層(20ペア)6、Mgドープのp型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層(膜厚400nm、キャリア濃度1.2×1018/cm3)7、Mgドープのp
型GaXIn1−XP(0.6≦X)介在層8、Mgドープのp型GaP層(膜厚200
nm、キャリア濃度1×1018/cm3)9A、アンドープGaP層(膜厚100nm)9B、Znドープのp型GaP層(膜厚50nm、キャリア濃度1×1019/cm3)9C、を順次積層成長させた。なお、前記アンドープ多重量子井戸活性層6は、GaInP層とAlGaInP層の1対を1ペアとしている。
因みに、ここで言うV/III比とは、分母をTMGaやTMAlなどのIII族原料のモル数とし、分子をAsH3、PH3などのV族原料のモル数とした場合の比率(商)を指す。
その他に、n型層の導電型決定不純物の添加物原料として、ジシラン(Si2H6)、モノシラン(SiH4)、ジエチルテルル(DETe)、ジメチルテルル(DMTe)を用いることもできる。その他に、p型層のp型添加物原料として、ジエチルジンク(DEZn)を用いる事も出来る。
また、オーミックコンタクト接合部11の直径は約l0μmのドット状電極とし、それを30μmピッチで、且つ厚さ100nmで形成した。つまりSiO2膜10の無い部分にオーミックコンタクト接合部11を、SiO2膜10の膜厚が略同じになるように形成した。その後、電極の合金化であるアロイ工程を、窒素ガス雰囲気中にて350℃に加熱し、5分間熱処理する事で行った。
m2負荷した状態で、温度350℃で30分間保持することによって行った。
a0.3)0.5In0.5Pエッチングストップ層2を露出させた。次に塩酸系のエッチ
ング液を用いて、エッチングストップ層2を除去し、GaAsコンタクト層3を露出させた。
次に、GaAsコンタクト層3表面に、一般的なフォトリソグラフィー技術を用いてパターンを形成し、更に真空蒸着法によって直径100μmの円形部15aから放射状に幅10μmの柱状に伸びた分配部15bを有する分配電極付きの第一の電極15を形成した(図1)。第一の電極15は、AuGe(金・ゲルマニウム合金)、Ni(ニッケル)、Au(金)を、それぞれ厚さ100nm、100nm、500nmで、この順に蒸着して形成した。
更にn型(Al0.4Ga0.6)0.5In0.5P層18の表面を塩酸系エッチングにより、凹凸状に粗面化し、第一ウインドウ層17表面が部分的に露出した時点でエッチングを止めた。次に、硫酸と過酸化水素水との混合液からなるエッチング液を用い、第一ウインドウ層17のみエッチングした。これにより、ウインドウ層17,18の表面に、凹凸状の傾斜した面(傾斜角度が異なる傾斜面18aと傾斜面17aとからなる)を形成した。
この様にして製作されたLEDの初期特性を評価した結果、20mA通電時(評価時)の発光出力6.64mW、順方向電圧1.98Vという初期特性を有するLED素子を得る事が出来た。
図3に示した構造を有する発光波長630nm付近の貼り換え型赤色LED用エピタキシャルウエハを作製した。エピタキシャル成長の方法、エピタキシャル層膜厚、エピタキシャル層構造、反射金属層膜の構成、オーミックコンタクト接合部構成及びサイズ、支持基板への貼り換え方法、エッチング方法等のプロセス工程やLED素子製作方法は、基本的に上記実施例と同じである。以下に上記実施例とは異なる点を説明をする。
5Pウインドウ層4とした。そして、上記実施例と同様に、第一の電極15を形成した後、硫酸と過酸化水素水と水の混合液からなるエッチング液を用いて、第一の電極15をマスク代わりとして、第一の電極15直下以外のGaAsコンタクト層3を選択性エッチングによって除去し、n型(Al0.4Ga0.3)0.5In0.5Pウインドウ層4を露出させた。更に、n型(Al0.4Ga0.6)0.5In0.5Pウインドウ層4の表面を、塩酸系エッチングにより粗面化(凹凸化)した。
上記のような工程を経て作製されたエピタキシャルウエハを、基本的に上記実施例と同じ方法でLED素子にした。この様にして作製されたLED素子の初期特性を、通電電流20mAにて評価した。その結果、発光出力は5.0mW、順方向電圧は2.3Vであった。また、上記n型(Al0.4Ga0.6)0.5In0.5Pウインドウ層4のエッチングによる粗面化(凹凸化)を行わなかったLED素子も作製したが、このLED素子の初期特性は、発光出力4.3mW,順方向電圧1.96Vであった。
事で、LEDの発熱を抑制でき、結果的に発光出力が向上した。またウインドウ層全体の膜厚が薄くならなかった事により、活性層6に流れる電流を均一化できた事でも、LEDの発熱を抑制できた。更に電流分散特性が良好になった事で、第一の電極15による光取り出し悪化(第一の電極15が光を遮蔽することによる光取り出し損失)を抑制できた事も、高出力化出来た事の一つである。更にまた電流集中を抑制できた事で、キャリアのオーバーフローが無くなり、内部量子効率も向上したと考えられる。前記した幾つかの要因が重なり合って、本実施例では発光出力が向上した。
ある。このため、発光波長が変わった場合には、Ga組成Xを変化させる。つまり所望の発光ピーク波長が595nm等、短波長側になった場合には、GaXIn1−XP介在層8の組成Xは0.6よりも大きくする事が望ましい。
による発光出力の低下が多くなるからである。よって好ましいペア数は、10〜80ペアであり、より好ましくは20nm〜60ペアである。また前記活性層6が単一層であった場合も、上記で述べた様な理由により、20nm〜200nmの膜厚にする事が好ましい。
2 n型AlGaInPエッチングストップ層
3 n型GaAsコンタクト層
4 n型AlGaInPウインドウ層
5 n型AlGaInPクラッド層
6 アンドープMQW活性層
7 p型AlGaInPクラッド層
8 p型GaInP介在層
9 GaP層
9A p型GaP層
9B アンドープGaP層
9C p型GaP層
10 酸化物層
11 オーミックコンタクト接合部
12 反射金属膜層
13 支持基板
14 金属密着層
15 第一の電極
16 第二の電極
17 n型AlGaAs層(第一ウインドウ層)
17a 傾斜面
18 n型AlGaInP層(第二ウインドウ層)
18a 傾斜面
Claims (7)
- 半導体基板上に、少なくとも光取り出し層とクラッド層及び活性層を有する発光部とを備えたエピタキシャル層が形成され、前記エピタキシャル層上の一部に接触抵抗低減のためのオ−ミックコンタクト接合部が配置され、前記オーミックコンタクト接合部に接続されて前記発光部の光を反射する反射金属膜が形成され、前記反射金属膜を介して支持基板が接合され、更に前記半導体基板が取り除かれ、前記エピタキシャル層側に第一の電極、前記支持基板側に第二の電極が形成された半導体発光素子において、
前記発光部の上部に位置する前記光取り出し層の表面に凹凸状の傾斜した面が形成され、前記凹凸状の傾斜した面が、傾斜角度の異なる2つ以上の傾斜面から構成されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1に記載の半導体発光素子において、前記第一の電極の直下にのみ前記活性層よりもバンドギャップエネルギーが小さく且つ前記発光部で発光した光に対して不透明な材料からなるコンタクト層が設けられ、前記コンタクト層の膜厚が、5nm〜200nm以下であることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1または2に記載の半導体発光素子において、前記発光部の一部である前記活性層は、(AlXGa1−X)YIn1−YP層(0≦X≦0.5、0.4≦Y≦0.6)か
らなる多重量子井戸構造若しくは歪多重量子井戸構造であり、且つ前記(AlXGa1−X)YIn1−YP層が20層〜160層で構成されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1乃至3に記載の半導体発光素子において、前記光取り出し層が、P系層とAs系層とがそれぞれ1層以上の半導体層から構成され、これら半導体層の内、最も前記第一の電極側に位置する半導体層の膜厚が50nm〜1000nm以下であることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1乃至4に記載の半導体発光素子において、前記エピタキシャル層上の一部に配置される前記オーミックコンタクト接合部の面積が20%以下であることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1乃至5に記載の半導体発光素子において、前記オーミックコンタクト接合部とこれに近接する前記クラッド層との間に、前記クラッド層側からGaXIn1−XP(但し、0.6≦X)からなる介在層と、Mgが添加されたGaP層と、アンドープGaP層
と、Znが添加されたGaP層とが設けられていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1乃至6に記載の半導体発光素子において、前記オーミックコンタクト接合部以外の前記反射金属膜と前記Znが添加されたGaP層との間の部分に、酸化物層が設けられ、前記酸化物層の膜厚は、膜厚d=定数A×波長λp/(4×屈折率n)の関係式(但し、定数Aは奇数)により求まる膜厚dの±30%の範囲にあり、前記オーミックコンタクト接合部の膜厚も、前記酸化物層の膜厚と略一致することを特徴とする半導体発光素子。
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