JP2009250835A - 位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】XYθステージ1は、可動プレート3に載置される半導体ウエハWのXYθ方向の位置決めを行う装置であり、前記可動プレート3を、XYθ方向に駆動するアクチュエータ41x,43x,41y〜44yと、θ方向の可動範囲を制限する回転制限部20と、を備えている。前記回転制限部20は、前記可動プレート3に対するX方向の並進移動とY方向の並進移動とが許容され、かつθ方向の回転移動が規制されるように前記可動プレート3にリンクされた円筒部材25と、前記基台フレーム5に対して固定され、前記円筒部材25の内壁面との間に間隙をもって円筒部材25に挿通された丸棒部材27と、を有している。
【選択図】図2
Description
Claims (6)
- 基台と、第1の軸に沿った方向及び該第1の軸に直交する第2の軸に沿った方向に前記基台に相対的に移動可能であり且つ前記第1及び第2の各軸に直交する第3の軸の周りに前記基台に相対的に回転可能とされた可動部材と、を備え、該可動部材の位置制御によって、当該可動部材上に載置される対象物の前記基台に対する前記第1及び第2の各軸に沿った方向及び前記第3の軸周りの方向の位置決めを行う位置決め装置において、
前記可動部材を、前記第1及び第2の各軸方向及び前記第3の軸周り方向に駆動する駆動部と、
前記可動部材の前記第3の軸周り方向の可動範囲を制限する回転制限部と、を備え、
前記回転制限部は、
前記基台に固定され、前記第1の軸及び前記第2の軸を含む平面に沿って延在する延在部材と、
前記第1の軸方向の並進運動と前記可動部材に対する前記第2の軸方向の並進運動とが許容されるように前記可動部材に設けられ、該可動部材が前記第3の軸周りの所定の回転位置を越えて回転することを規制するための規制部材と、を有することを特徴とする位置決め装置。 - 前記規制部材は、
前記平面に沿う方向であって前記延在部材の延在方向に直交する方向で互いに対向し且つ前記延在部材に間隙をおいて該延在部材を挟んで配置される一対の側壁部を有し、
該各側壁部は、それぞれ前記可動部材の前記所定の回転位置で前記延在部材に係合することを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記規制部材は、一対の前記側壁部を互いに連結する連結部を更に有し、一対の前記側壁部の少なくとも一方は、他方との間隔が可変となるように前記連結部に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記延在部材は棒状をなしており、前記規制部材は、前記延在部材の延在方向に沿って伸び、該延在部材が挿入される筒状部材であることを特徴とする請求項2又は3に記載の位置決め装置。
- 前記駆動部は、
前記可動部材を前記第1の軸方向に進退させる第1の駆動部と、
前記可動部材を前記第2の軸方向に進退させる2つの第2の駆動部と、を有することを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の位置決め装置。 - 前記回転制限部は、
前記可動部材と前記規制部材との間に介在する介在部材を有し、
前記介在部材は、
前記第1の軸方向又は前記第2の軸方向のうちの一方向へ前記可動部材に相対的に並進移動可能であり、
前記規制部材は、
前記第1の軸方向又は前記第2の軸方向のうちの他方向へ前記介在部材に相対的に並進移動可能であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の位置決め装置。
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---|---|---|---|---|
JP2001318180A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Ushio Inc | オーバランセンサを備えたステージ装置 |
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- 2008-04-08 JP JP2008100465A patent/JP5395363B2/ja active Active
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