JP2009240962A - 液体吐出装置及び方法、カラーフィルタの製造装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】インクジェットプリンタにおいてインクのメニスカスを適正位置に形成する。
【解決手段】液体２４を圧力タンク４内に貯留し、圧力タンクから液体を複数個の吐出ヘッド８R1・・・へと各導管を通して送り、圧力タンクの液面と異なる位置に設定された各吐出ヘッドのノズル孔の先端から被塗布体１８に向かって液滴を吐出するように構成する。圧力タンク内に、各吐出ヘッドに対応してそれぞれ液体を溜める区画室４ａ・・・と、全区画室にわたって連通した連通室７０とを形成し、上記各区画室と上記各吐出ヘッドとをそれぞれ上記導管で連結し、圧力タンク内に正圧又は負圧を加えることにより、上記各区画室から上記各吐出ヘッドのノズル孔の先端へと液体を供給する。
【選択図】図１

Description

本発明は、塗料、インク等の液体を適正量吐出するための液体吐出装置及び方法並びにカラーフィルタの製造装置及び方法に関する。

従来、液体吐出装置である大型インクジェットプリンタは、液状のインクを貯留タンクから圧力タンクへと送り、圧力タンクからインク吐出ヘッドへと送り、インク吐出ヘッドのノズル孔から微細な液滴に変化させて紙等の被塗布体に向かって吐出するようになっている。貯留タンク、圧力タンク及びインク吐出ヘッドは印刷色ごとに用意される。各色のインク吐出ヘッドのノズル孔に到達したインクは、所望の発射方式によりノズル孔から被塗布体に向って微小な液滴となって発射される。この液滴の発射が各色ごとに繰り返されることにより、インクが被塗布体に所望の絵柄、パターン等として印刷され、あるいは塗布される（例えば、特許文献１，２，３，４参照。）。

インクジェットプリンタでは、安定した印刷、塗布等を行うために、ノズル孔の適正位置にインクのメニスカスが形成されるようインクを圧力タンクから吐出ヘッドへと供給する必要があるが、従来はノズル孔の毛細管力を利用したいわゆるインクの自己補給によりインクをノズル孔に供給している（例えば、特許文献１，２参照。）。

インクジェットプリンタには、インク吐出ヘッドの間近にインクタンクを配置し、インク吐出ヘッドとインクタンクとをケースで一体化したものがある。この場合、インク吐出ヘッドで記録をしていないときにインク吐出ヘッドからインクが流出しないよう、インク吐出ヘッドに供給するインクに負圧を発生させている（例えば、特許文献３参照。）。

また、インクジェットプリンタによれば、紙等の各種材料に印刷をすることができるが、近頃では液晶ディスプレイ装置等で用いられるカラーフィルタの製造にもインクジェット方式を用いることが提案されている（例えば、特許文献４参照。）。

近年、カラーフィルタは大型化しており、そのような大面積の被塗布体に印刷をするプリンタでは、多数のノズル孔が並んだインク吐出ヘッドが多数設けられる。従来、一つの圧力タンクから多数のインク吐出ヘッドに同時にインクを供給するべく、一つの圧力タンクから各インク吐出ヘッドにそれぞれ導管を伸ばし、圧力タンク内のインクに空気圧を加えることにより、全インク吐出ヘッドにインクを送るようにしている（例えば、特許文献５，６参照。）。

特開平７−５２３９８号公報 特開平１０−６５２１号公報 特開平８−１４２３４２号公報 特開２０００−２２１３２０号公報 特開２００６−２４０１５８号公報 特開２００６−２４７４５０号公報

従来、圧力タンクから多数のインク吐出ヘッドに同時にインクを供給する場合、圧力タンクからインク吐出ヘッドへとインクが導管内を流れる過程で圧力損失等各種の損失が生じ、インク吐出ヘッド間でインクの吐出量にバラツキが発生することがある。インクの吐出量にバラツキが生じると、均一な品質の印刷物を製造することができない。インク吐出ヘッドごとに圧力タンクを割り当てれば、そのような問題は解消することができるが、それではプリンタが複雑化、大型化し、カラーフィルタ等のコストアップを招くことになる。

従って、本発明は上記問題点を解決することができる液体吐出方法及び装置を提供することを目的とする。

上記問題点を解決するため、本発明は次のような構成を採用する。

すなわち、請求項１に係る発明は、液体を圧力タンク内に貯留し、圧力タンクから液体を複数個の吐出ヘッドへと各導管を通して送り、圧力タンクの液面と異なる位置に配置された各吐出ヘッドのノズル孔の先端から被塗布体に向かって液滴を吐出するようにした液体吐出装置において、上記圧力タンク内に、上記各吐出ヘッドに対応してそれぞれ液体を溜める区画室と、全区画室に通じる連通室とを形成し、上記各区画室と上記各吐出ヘッドとをそれぞれ上記導管で連結して、上記圧力タンク内に正圧又は負圧を加えることにより、上記各区画室から上記各吐出ヘッドのノズル孔の先端へと液体が供給されるようにしたことを特徴とする。

また、請求項２に係る発明は、請求項１に記載の液体吐出装置において、全吐出ヘッドのノズル孔の先端に液体のメニスカスが形成され、各導管の長さを調整することによりメニスカス位置が調整可能であることを特徴とする。

また、請求項３に係る発明は、請求項１に記載の液体吐出装置において、圧力タンクの区画室ごとに液面センサを設け、各液面センサからの信号に基づき区画室ごとに液高を調整することにより、全吐出ヘッドのノズル孔の先端に液体のメニスカスが形成され、そのメニスカス位置が調整可能であることを特徴とする。

また、請求項４に係る発明は、請求項１に記載の液体吐出装置において、圧力タンクを液面に垂直な方向で位置調整する高さ調整手段を具備したことを特徴とする。

また、請求項５に係る発明は、請求項１に記載の液体吐出装置において、液体を循環させて濾過を行う循環手段が設けられたことを特徴とする。

また、請求項６に係る発明は、請求項１に記載の液体吐出装置において、液体を循環させて脱気を行う循環手段が設けられたことを特徴とする。

また、請求項７に係る発明は、請求項１に記載の液体吐出装置において、各吐出ヘッドが、他の一種又は複数種の液体をそれぞれ吐出する吐出ヘッドと共にユニット体に一体で保持され、他種類の液体の吐出ヘッドにはそれぞれ他の圧力タンクから液体が供給されるようにしたことを特徴とする。

また、請求項８に係る発明は、請求項７に記載の液体吐出装置において、液体が複数種の色インクであり、ユニット体の各吐出ヘッドに各色のインクが対応付けられていることを特徴とする。

また、請求項９に係る発明は、請求項１又は請求項７に記載の液体吐出装置において、吐出ヘッド又はユニット体がＸＹガイド機構に搭載され、ＸＹガイド機構の駆動に伴い吐出ヘッドのノズル孔から液体を被塗布体に向かって吐出することにより、被塗布体の表面に所定のパターンを形成するようにしたことを特徴とする。

また、請求項１０に係る発明は、請求項１に記載の液体吐出装置において、吐出ヘッドのノズル孔の先端を観察する観察手段が設けられたことを特徴とする。

また、請求項１１に係る発明は、請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載の液体吐出装置を用いたカラーフィルタの製造装置であることを特徴とする。

また、請求項１２に係る発明は、液体を圧力タンク内に貯留し、圧力タンクから液体を複数個の吐出ヘッドへと各導管を通して送り、圧力タンクの液面と異なる位置に配置された各吐出ヘッドのノズル孔の先端から被塗布体に向かって液滴を吐出する液体吐出方法において、上記圧力タンク内に、上記各吐出ヘッドに対応してそれぞれ液体を溜める区画室と、全区画室に通じる連通室とを形成し、上記各区画室と上記各吐出ヘッドとをそれぞれ上記導管で連結して、上記圧力タンク内に正圧又は負圧を加えることにより、上記各区画室から上記各吐出ヘッドのノズル孔の先端へと液体を供給する液体吐出方法である。

また、請求項１３に係る発明は、請求項１２に記載の液体吐出方法において、液体のメニスカスを全吐出ヘッドのノズル孔の先端に形成せしめ、圧力タンクの各区画室内の液高をそれぞれ調整して、上記各吐出ヘッドのノズル孔から所定量の液体を吐出することを特徴とする。

また、請求項１４に係る発明は、請求項１２に記載の液体吐出方法において、液体を循環させつつ濾過を行うことを特徴とする。

また、請求項１５に係る発明は、請求項１２に記載の液体吐出方法において、液体を循環させつつ脱気を行うことを特徴とする。

また、請求項１６に係る発明は、請求項１２乃至請求項１５のいずれかに記載の液体吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法であることを特徴とする。

請求項１又は請求項１２に係る発明によれば、例えば圧力タンク内の各区画室で液高を加減したり、各区画室から各吐出ヘッドへと至る導管の抵抗を加減したりすることで、全吐出ヘッドの全ノズル孔の先端にメニスカスが形成されるように、液体を全吐出ヘッドへと供給することができる。従って、常に適正な量の液体を被塗布体に向かって安定的に吐出し、被塗布体上に塗膜を均一に精度良く形成することができる。

圧力タンクは加圧タンクまたは負圧タンクとして機能させることができ、連通室内に所定圧力の気体を送って各区画室に正圧をかけることにより、又は導管側から吸引して各区画室に負圧をかけることにより、各区画室から各吐出ヘッドのノズル孔の先端へと液体を供給することができる。

請求項２に係る発明によれば、簡易に全吐出ヘッドのノズル孔の先端に液体のメニスカスを形成することができる。

請求項３又は請求項１３に係る発明によれば、精度よく全吐出ヘッドのノズル孔の先端に液体のメニスカスを形成することができる。

請求項４に係る発明によれば、全吐出ヘッドのノズル孔におけるメニスカスの位置を一度に変更することができる。

請求項５又は請求項１４に係る発明によれば、液体中の塵埃等の異物を除去してノズル孔の目詰まりを防止することができる。

請求項６又は請求項１５に係る発明によれば、液体中の気泡を除去してノズル孔からの液体の吐出量が変動しないようにすることができる。

請求項７に係る発明によれば、異種類の液体を被塗布体に対して塗布することができる。

請求項８に係る発明によれば、被塗布体に対して各種の色インクで印刷することができる。

請求項９に係る発明によれば、吐出ヘッドをＸＹ方向に自在に移動させつつ、板等の被塗布体に対し効率よく液体を塗布することができる。

請求項１０に係る発明によれば、ノズル孔の先端に形成される液体のメニスカスの位置及び状態を観察しつつ気体の圧力、圧力タンクの高さ、区画室内の液高等を簡易に調整することができる。

請求項１１又は請求項１６に係る発明によれば、インクが全ノズル孔の先端にメニスカスを形成するように供給されるので、ノズル孔の先端からインクが空気を巻き込むことなく適正量の液滴となって被塗布体であるガラス基板に向って吐出される。このため、ガラス基板上にＲ，Ｇ，Ｂのインクからなる塗膜が均一に精度良く形成され、高品質なカラーフィルタを製造することができる。

以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。

図５に示すように、この液体吐出装置は、例えば液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタの製造に使用することができるインクジェットプリンタとして構成される。

このインクジェットプリンタは各種インクを吐出する部分と被塗布体であるガラス基板１８とをＸＹ平面上で相対移動させるためのＸＹガイド機構を備える。

このＸＹガイド機構は、ＸＹ平面に垂直なＺ方向へもインク吐出部分とガラス基板１８とを相対移動可能にするため具体的にはＸＹＺガイド機構として構成される。

すなわち、基台５１上に２本のＸ軸レール５３，５３が設けられ、Ｘ軸レール５３，５３上に移動テーブル５２がＸ軸方向にスライド自在に乗せられる。もちろん、Ｘ軸レール５３は１本でも３本以上であってもよい。この移動テーブル５２は図示しないユニット体駆動部を駆動することによりＸ軸レール５３，５３上をＸ軸方向に往復移動可能である。

移動テーブル５２上には、回転テーブル５５及びステージ５６が上方へ順次積み重ねられる。回転テーブル５５を図示しない回転駆動部を駆動して回転させることにより、移動テーブル５２に対してステージ５６が回転可能である。このステージ５６上には、被塗布体である例えば２ｍ×２ｍのガラス基板１８が載置される。ステージ５６は、その上面に図示しないバキューム孔を備えており、その上に載置されるガラス基板１８を吸引可能である。

また、基台５１上には、Ｘ軸レール５３，５３、移動テーブル５２、回転テーブル５５、ステージ５６及びガラス基板１８を跨ぐように門形の支持アーム５７が設置される。この支持アーム５７の上端の水平部５７ａには、Ｘ軸レール５３，５３に対し直交方向に伸びるＹ軸レール５８が固定される。このＹ軸レール５８には、例えば五基のユニット体駆動部５９が取り付けられる。各ユニット体駆動部５９はその下側に回転部６０を介し比較的低粘度の液体である赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の色インクをそれぞれ吐出するためのユニット体６３を保持する。各ユニット体駆動部５９は、それぞれユニット体６３をＺ方向（ＸＹ軸に垂直方向）に移動させてユニット体６３をガラス基板１８に対して接近または離反させる。また、ガラス基板１８上でユニット体６３をＹ方向に移動させる。

移動テーブル５２および各ユニット体駆動部５９には、それぞれ原動機であるモータ、各種センサ等（図示せず）が設けられ、それらが信号線６１、５４を通して制御ユニット６２に接続される。

このＸＹＺガイド機構の駆動により、ガラス基板１８とユニット体６３はＺ方向で相対移動した後、ＸＹ面を相対移動し、ガラス基板１８の表面にカラーフィルタのパターンを印刷する。なお、回転テーブル５５と回転部６０の一方または双方の駆動により、ガラス基板１８とユニット体６３との交差角が事前に調整される。

図５に示すように、上記五基のユニット体６３は、三つずつ吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5を有し、各ユニット体６３の三つの吐出ヘッドがそれぞれＲ，Ｇ，Ｂの色インクを吐出するように割り当てられる。他の色インクを使用する場合は、その色インクを吐出するための吐出ヘッドが各ユニット体６３に増設される。

各吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5は互いに同じ構造であるから、吐出ヘッド８R1で代表して説明すると、図３（Ａ）に示すように、吐出ヘッド８R1の上部には、この吐出ヘッド８R1内にＲインクを導くための流路アダプタ２７が取り付けられる。この流路アダプタ２７には、長手方向両側に供給孔２２及び排出孔２３がそれぞれ形成され、これら供給孔２２及び排出孔２３の開口端には、後述する導管１９ａと接続するための供給側接続部２２ａと、後述する脱気用導管２５ａに接続するための排出接続部２３ａとがそれぞれ取り付けられている。

また、吐出ヘッド８R1内には、液溜り室２１と、流路アダプタ２７の供給孔２２を液溜り室２１に導通させる供給口２６と、排出孔２３を液溜り室２１に導通させる排出口２８と、液溜り室２１から吐出ヘッド８R1の先端面に通じる多数のノズル孔７とが形成される。導管１９ａを通って来たＲインクは、この液溜り室２１内に充満する。ノズル孔７は例えば一つの吐出ヘッド８R1につき例えば１００本以上形成され、図３（Ｂ）に示すように、Ｒインク２４がノズル孔７内に溜り、ノズル孔７の先端においてメニスカス２４ａを形成する。図３（Ｂ）は正常なメニスカス２４ａの位置及び形状を示し、このメニスカス２４ａがノズル孔７の先端から球状に突出するときはインク２４の吐出量が過剰となり、ノズル孔７の先端から奥まった箇所に形成されるときは吐出量が不足することになる。ノズル孔７内に溜ったインク２４は、この液体吐出装置の図示しない制御部からの信号によりノズル孔７の先端から微小な液滴となってガラス基板１８の表面に向かって発射される。インク２４を発射する手段としてはピエゾ方式、サーマルインクジェット方式等があるが、所望の発射方式が採用される。

吐出ヘッド８R1のノズル孔７の先端にメニスカス２４ａが形成されたか否かを観察し確認するために、図１に示すように必要に応じて観察手段としてのディスプレイ装置９が設けられる。このディスプレイ装置９は吐出ヘッド８R1におけるノズル孔７の一部又は全部の先端を撮影するカメラ９ａとモニタ９ｂとを具備する。カメラ９ａは、メニスカス２４ａが適正に形成されたか否かを観察する際に吐出ヘッド８R1の先端下に配置され、印刷する際は吐出ヘッド８R1下から除去される。ディスプレイ装置９は吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5を一基ずつ撮影したり、各ユニット体６３の全吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、又は８R2、８G2、８B2、又は８R3、８G3、８B3、又は８R4、８G4、８B4、又は８R5、８G5、８B5を同時に撮影したり、全ユニット体６３の吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5を同時に撮影したりすることもできる。

ユニット体６３はガラス基板１８の大きさに応じてその使用個数が定められ、その定め方によってステージ５６の一ストロークで一枚のガラス基板１８の全面に一度にパターンを形成することが可能である。また、ユニット体６３の設置個数は五基に限らず、ガラス基板１８の大きさ等に応じて自在に増減可能であり、吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5の個数もユニット体６３につき三基に限るものではなく、インクの使用色数に応じて自在に増減可能である。

また、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色インクについて、それぞれ圧力タンク４，５，６が用意され、各圧力タンク４，５，６から各ユニット体６３の該当する吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5へとそれぞれインクを送るためのインク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅが伸びている。インク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅは例えば屈曲自在なチューブで形成される。

図１および図２に示すように、Ｒインクは圧力タンク４内に貯留され、圧力タンク４内に所定圧力の気体が送られることにより、圧力タンク４からＲインクが複数個の吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5へと各インク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅを通して送られ、圧力タンク４内のＲインクの液面よりも上方に設定された各吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5のノズル孔７の先端から被塗布体であるガラス板１８に向かってＲインクの微細な液滴が吐出されるようになっている。

吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5は圧力タンク４内のＲインクの液面に対しいずれに配置されてもよく、各吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5のノズル孔７の先端は、液面よりも下方に設定することも可能である。

Ｒインク用の圧力タンク４は、図４（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示すように、その下部に上記各吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5に対応してＲインクを溜める区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅを有し、上部に気体（例えば空気）が送られる全区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅにわたって連通した連通室７０を有する。圧力タンク４は下側のタンク本体７１と上側の蓋体７２とを有し、蓋体７２がタンク本体７１に被せられることにより、圧力タンク４内が密封状態とされる。

タンク本体７１は上側が開口し、等間隔で設けられる隔壁７１ａによって上記ユニット体６３の個数と同数個の区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅが内部に形成される。タンク本体７１の各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内の底は略漏斗状に形成される。そして、漏斗状の底が落ち込んだ中央と、両側の落ち込む途中とに、第一の吐出口７３、第二の吐出口７４、導入口７５がそれぞれ設けられる。このうち、第一の吐出口７３にはＲインク２４を区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ外へと取り出すための導管７６がそれぞれ接続され、第二の吐出口７４には吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5へと伸びるインク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅがそれぞれ接続され、導入口７５にはＲインクを各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内に供給するためのインク補給用導管１４がそれぞれ接続される。

蓋体７２は下側が開口した空洞を有し、蓋体７２がタンク本体７１に被せられると、この空洞が連通室７０として全区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅにわたって延びる。これにより、蓋体７２内に圧縮空気又は真空が送られると、各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内のＲインク２４がそれぞれインク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅを通ってＲインク用の吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5へと流れる。連通室７０内の圧力を適正値に制御するため、連通室７０には圧力計７８が設けられている。

Ｇインク、Ｂインクの圧力タンク５，６内にもそれぞれ区画室および連通室が同様に形成され、各圧力タンク５，６内に圧縮空気又は真空が送られると、Ｇインク、Ｂインクがそれぞれインク供給用導管を通ってＧインク、Ｂインク用の吐出ヘッド８G1、８G2、８G3、８G4、８G5、８B1、８B2、８B3、８B4、８B5（図５参照）へと流れる。

上述したように、圧力タンク４内は各吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5に対応して区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅが割り当てられるので、圧力タンク４内のＲインク２４の液面と吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5の下面との間の高さを区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅごとに変えることができる。すでに述べたように、圧力タンク４から多数のインク吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5に同時にＲインク２４を供給する場合、圧力タンク４から吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5へとＲインク２４が各インク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ内を流れる過程で圧力損失等各種の損失が各流路ごとに変動し、吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5間でＲインク２４の吐出量にバラツキが発生することがある。この実施の形態では、図４（Ｂ）に示すように、区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ間で液高Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｃ、Ｈｄ、Ｈｅを互いに独立して加減することによって、この各種損失によるＲインク２４の吐出量のバラツキを解消している。

すなわち、図１及び図４（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示すように、圧力タンク４の各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅには液面センサ７７が設けられ、各液面センサ７７からの信号に基づき区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅごとに液高Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｃ、Ｈｄ、Ｈｅが調整されるようになっている。液面センサ７７としては光学式センサ、フロート式センサ、静電容量式センサ等を用いることができる。液面センサ７７の感度を区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅごとに調整し、全吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5のノズル孔７の先端に図３（Ｂ）のごとくＲインク２４のメニスカス２４ａが形成されるようにＲインク２４の液高Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｃ、Ｈｄ、Ｈｅを加減することにより上記損失の差が解消され、全ノズル孔７からのＲインク２４の吐出量が均一化される。一方、すべての吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5は、図１に示すごとく、そのノズル孔７の先端が同一水平面上に並ぶようにセットされる。

なお、Ｇインク、Ｂインクについても同様な構造の圧力タンク５，６がそれぞれ設けられ、各圧力タンク５，６から該当する色インクが該当する吐出ヘッド８G1、８G2、８G3、８G4、８G5、８B1、８B2、８B3、８B4、８B5へと送られる。

また、全吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5のノズル孔７の先端にＲインク２４のメニスカス２４ａが形成されるように、各インク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅの長さを調整することによっても、Ｒインク２４のメニスカス２４ａを均一に形成させることができる。これは、他の色インクについても同様である。

図１に示すように、圧力タンク４には、圧力タンク４をそれぞれ液面に垂直な方向で位置調整する高さ調整装置７９が必要に応じて設けられる。

この高さ調整装置７９は、圧力タンク４に略水平に固定されたアーム８０と、このアーム８０の図示しない雌ネジに螺合する垂直方向に伸びた送りネジ棒８１とを具備する。送りネジ棒８１はこの液体吐出装置の図示しないフレームに回動可能に保持される。送りネジ棒８１をいずれかの向きに回すと、圧力タンク４が液面に垂直な方向で上昇又は下降し、これにより、Ｒインクのメニスカス２４ａがノズル孔７内を一斉に移動する。この高さ調整装置７９は、他の色インクの圧力タンク５，６にも設けられる。送りネジ棒８１は、例えばモータを制御して回転させることができる。

上記吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5へのインクの供給は、図１に示すインク供給管路網装置と、図２に示すエア供給管路網装置とによって行われる。

なお、図１および図２はＲインクの供給系について示しているが、Ｇインク、Ｂインクの供給系についても同様な装置が設けられるので、ＧインクおよびＢインクの供給系の図示は省略する。

図１に示すように、各圧力タンク４，５，６の上流側には、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色インクを貯留した容量の大きい貯留タンク１，２，３が設けられ、各貯留タンク１，２，３から各圧力タンク４，５，６にそれぞれＲ，Ｇ，Ｂの色インクが補給される。もちろん、使用する色インクの種類は増減可能であり、それに応じて圧力タンクおよび貯留タンクも増減される。各貯留タンク１，２，３内にはインク供給管路網装置から圧縮空気が供給され、この空気圧でインク供給管路網装置に色インクが送り出される。

Ｒインクの供給系で代表して説明すると、貯留タンク１からＲインクの圧力タンク４へと、インク供給管８２が伸びている。このインク供給管８２には、貯留タンク１から圧力タンク４に向かって、バルブ１５ｃ、圧力計１６、フィルタ１２、バルブ１５ｂ、バッファタンク１７、バルブ２９、ポンプ１１、圧力計３２、フィルタ３３、バルブ３４が順に設けられる。

バルブ１５ｃは、貯留タンク１からのＲインクの流出をＯＮ・ＯＦＦするようになっている。

バッファタンク１７は、Ｒインク２４を溜めるための大気中に開放された貯留槽であり、Ｒインク２４の液面の上限と下限を検知するための液面センサ８３を備える。液面センサ８３からの信号によりバルブ１５ｃが開閉動作し、これにより、貯留タンク１からＲインク２４がバッファタンク１７に補給される。また、このバッファタンク１７はＲインク２４中の気泡を捕捉しＲインク２４中から除去する気泡トラップとしても機能する。Ｒインク２４中の気泡は、吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5の振動によるキャビテーション現象等により発生し、この気泡がインクの正常な吐出を妨害する。バッファタンク１７は後述するようにこの気泡をＲインクから除去する脱気用循環手段としても機能する。

バルブ２９は、エア供給管路網装置からの圧縮空気を利用することによりインク補給用導管１４を開閉する弁であり、バッファタンク１７からのＲインク２４の流出をＯＮ・ＯＦＦするようになっている。

ポンプ１１としては、Ｒインク２４がポンプの駆動部に接触しないチューブポンプを使用することができる。もちろん、他の方式のギアポンプ等を使用することもできる。

バルブ３４は、圧力タンク４の区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅに対応する個数だけ設けられ、それらの上流側に上記インク補給用導管１４が接続される。バルブ３４は流入側を共通としたマニホールドタイプのものを用いてもよい。ポンプ１１で圧送されるＲインク２４は、圧力タンク４における各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内のＲインク２４が上記吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5でのＲインク２４の消費によりその液面が低下し、各々の液面センサ７７がこれを検知すると、該当するバルブ３４が開き、ポンプ１１によって圧送を開始しＲインク２４を該当する区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内に導き、液面センサ７７が元の液高に到達したことを検知すると、該当するバルブ３４が閉じた後、ポンプ１１が停止してＲインク２４の補給を遮断する。

図１に示すように、圧力タンク４から各吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5へは、上述したインク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅが伸びている。各インク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅには、圧力タンク４から吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5へと向かって、バルブ２０、バルブ８４が順に設けられる。

バルブ２０，８４は、印刷を開始する場合にインク供給用導管１９ａを導通させ、印刷を終了する場合にインク供給用導管１９ａを遮断する。

インク供給管路網装置は、圧力タンク４内のＲインク２４を循環させて濾過を行う濾過用循環手段を備える。

図１に示すように、この濾過用循環手段は、上記インク補給用導管１４のほか、圧力タンク４の各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅから引き出された複数本の濾過用導管７６と、濾過用導管７６ごとに設けられたバルブ８８とを有する。バルブ８８から上記インク補給用導管１４におけるバルブ２９とポンプ１１との間へと一本の濾過用導管７６が伸びている。バルブ８８は流出側を共通としたマニホールドタイプのものを用いてもよい。

印刷の開始、終了、中断等の際に、バルブ２０，２９を閉じ、バルブ８８，３４を開いてポンプ１１を駆動すると、図１０中、太線で示すように、圧力タンク４の各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内のＲインク２４が濾過用導管７６から、フィルタ３３を通って再び各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内にもどる。これにより、Ｒインク２４内の異物がフィルタ３３により除去され、吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5のノズル孔７の異物による目詰まりが防止される。

図１に示すように、インク供給管路網装置は、圧力タンク４内のＲインク２４を循環させて脱気を行う脱気用循環手段を備える。

この脱気用循環手段は、上記インク補給用導管１４、インク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅのほか、上記各インク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅにおけるバルブ８４の上流からそれぞれ分岐して伸びる複数本の脱気用導管９２と、複数本の脱気用導管９２がそれぞれ接続される複数個のバルブ９３から上記バッファタンク１７へと伸びる一本の脱気用導管９２ａとを有する。バルブ９３はマニホールドタイプのものを用いてもよい。

上記複数本の脱気用導管９２が各インク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅから分岐して伸びる箇所にはバルブ９４がそれぞれ設けられる。また、複数本の脱気用導管９２におけるバルブ９４とバルブ９３との間に、上記吐出ヘッド８の排出接続部２３ａから伸びる脱気用導管２５ａがそれぞれ連結される。各脱気用導管２５ａには、バルブ９９が設けられている。また、上記一本の脱気用導管９２ａにはバルブ９３からバッファタンク１７に向かってポンプ９６、圧力計９７、フィルタ９８が順に設けられる。

印刷の開始、終了、中断等の際に、図８中、バルブ８４，９９を閉じ、バルブ９３を開いてポンプ９６、１１を駆動すると、図８中、太線で示すように、圧力タンク４の各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内のＲインク２４がインク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅから、脱気用導管９２へと流れ、フィルタ９８により異物を除去され、バッファタンク１７内へと流入し、ポンプ１１、フィルタ３３を通って再び各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内にもどる。これにより、吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5のノズル孔７等で発生しＲインク２４内に混入した気泡がバッファタンク１７で除去される。

なお、複数本のインク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅと複数本の脱気用導管９２とが吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5へと伸びる箇所は、チューブ等の可撓性のある導管で形成される。

エア供給管路網装置は、印刷に際し上記圧力タンク４内に所定圧力の空気を送って高さＨａ〜Ｈｅのヘッド（水頭）差を解消するごとくしてＲインク２４を吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5から吐出させる。

図２に示すように、このエア供給管路網装置は、コンプレッサ等の圧縮空気源３５から送られフィルタ３６で濾過された圧縮空気をレギュレータ３７で所定範囲内に減圧し、圧力コントローラ３８で微調整して更に減圧したうえで、全ての圧力タンク４，５，６内に送るようになっている。圧縮空気源３５を真空源とし、レギュレータ３７を真空レギュレータとし、所定の負圧力としてもよい。また、真空源３５に窒素等の気体を使用してもよい。

圧力コントローラ３８は、サーボ弁等で構成される。この圧力コントローラ３８によれば、−２０〜２０ｋＰａの範囲において０．１ｋＰａ（１０ｍｍ水柱）以内の精度で圧力調整が可能である。圧力コントローラ３８は、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のインクの圧力タンク４，５，６ごとに設けることも可能であるが、この実施の形態では一基のみ設けられ、この一基の圧力コントローラ３８から給気用の導管３９，４０，４１が各圧力タンク４，５，６へと分岐している。圧力コントローラ３８から圧力タンク４へと向う導管３９には、バルブ４３が設けられる。圧力コントローラ３８から他の圧力タンク５，６へと向う各導管４０，４１にも同様にバルブ４３が設けられる。

また、図２に示すように、圧力コントローラ３８の上流側から、圧力コントローラ３８を迂回して圧力タンク４，５，６に至る給気用の迂回導管４５，４６，４７が設けられ、各迂回導管４５，４６，４７にはレギュレータ４８とバルブ４９とがそれぞれ設けられる。また、各迂回導管４５，４６，４７におけるバルブ４９と圧力タンク４，５，６との間からは大気開放管１１０が分岐し、各大気開放管１１０にバルブ５０が設けられる。この迂回導管４５，４６，４７は、例えば各圧力タンク４，５，６から吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5のノズル孔７内にインクを初期充填する際に使用される。

このエア供給管路網装置において、印刷に先立ち、迂回導管４５，４６，４７上のバルブ４９が開き、圧力コントローラ３８から伸びる導管３９，４０，４１上のバルブ４３、４４が閉じ、レギュレータ４８を介し圧縮空気源３５から高圧の圧縮空気が各圧力タンク４，５，６内に流入すると、各圧力タンク４，５，６からインクがインク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ等へと急速に送り出される。

上記一基の圧力コントローラ３８によって得た圧縮空気を全圧力タンク４，５，６に供給する場合、ある色のインクはノズル孔７の先端にメニスカス２４ａを形成することができたが、他の色のインクについてはメニスカス２４ａがノズル孔７の奥まった箇所に形成されることがある。このような現象はインクの粘度、濃度等の相違により発生するものと考えられる。その場合は、操作者が上記モニタ９ａ上でノズル孔７の先端を観察しつつ図１に示す送りネジ棒８１を回して圧力タンク４，５，６の高さをそれぞれ調節し、図３（Ｂ）のごとくメニスカス２４ａがノズル孔７の先端に到達したところで圧力調整を完了する。このような高さ調整が、メニスカス２４ａに位置不良が生じたすべてのインクの圧力タンク４，５，６について行われる。

また、同じ圧力タンクから同じインクを供給される吐出ヘッド間においてもメニスカス２４ａの形成位置にバラツキを生じる場合がある。このバラツキを解消するため、図４に示した圧力タンク４の各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅごとに設けられた各液面センサ７７の感度が操作者により調整される。各液面センサ７７からの信号により、該当するバルブ３４が開閉し、各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内のＲインク２４の液高が加減される。これにより、ヘッドＨａ，Ｈｂ，Ｈｃ，Ｈｄ，Ｈｅが変化し、すべてのノズル孔７の先端にＲインク２４が到達し、図３（Ｂ）のごとくノズル孔７の先端にメニスカス２４ａが形成される。このメニスカス２４ａの形成は、操作者がモニタ９ａ上でノズル孔７の先端を観察しつつ圧力コントローラ３８で圧力調整することにより行うことができる。他の圧力タンク５，６から他の吐出ヘッド８G1、８B1、８G2、８B2、８G3、８B3、８G4、８B4、８G5、８B5に対するＧインク、Ｂインクの供給も上記と同様にして行われる。

印刷が開始される場合は、上記圧力コントローラ３８によって、圧力タンク４が加圧又は減圧され、吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5において図３（Ｂ）のごとくノズル孔７の先端でメニスカス２４ａを形成すると同時にガラス基板１８に向かって微細な液滴となって噴射される。

なお、上記各種バルブは電磁弁又はエアオペレートバルブ等とすることによって自動制御を実施することも可能である。

次に、上記構成の液体吐出装置の作用について説明する。

（１）カラーフィルタの製造にあたり、エア供給管路網装置とインク供給管路網装置とを作動させ、Ｒインク２４の機内充填を行う。

図６に示すように、バルブ２９，３４を開けてインク補給用導管１４を導通させる。さらに、ポンプ１１の駆動とによって、Ｒインク２４がすべての圧力タンク４，５，６内に所定量充填される。

また、バルブ９３を開け、バルブ８４，９９を閉じ、ポンプ９６を駆動する。さらに、図２に示すエア供給管路網装置において、迂回導管４５，４６，４７上のバルブ４９が開き、圧力コントローラ３８から伸びる導管３９，４０，４１上のバルブ４３が閉じ、レギュレータ４８を介し圧縮空気源３５から高圧の圧縮空気が各圧力タンク４，５，６内に流入すると、各圧力タンク４，５，６からインクがインク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ等へと急速に送り出される。

（２）図７に示すように、バルブ１５ｃを閉じてインク補給用導管８２を遮断し、ポンプ１１，９６を所定時間駆動する。これにより、Ｒインク２４はインク補給用導管１４、インク供給用導管１９ａ、１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ、脱気用導管９２、およびバッファタンク１７により形成される環状流路内を循環し、その結果各種導管内、継手内に溜った気泡や、Ｒインク２４内の溶存空気がバッファタンク１７に捕捉され、Ｒインク２４内から除去される。

（３）図８に示すように、バルブ９４を閉じて導管９２を遮断し、バルブ８４、バルブ９９を開いてインク供給用導管１９ａ，脱気用導管２５ａを導通させ、バルブ９３を開きポンプ９６を駆動する。さらに、図２に示すエア供給管路網装置において、迂回導管４５，４６，４７上のバルブ４９が開き、圧力コントローラ３８から伸びる導管３９，４０，４１上のバルブ４３が閉じ、レギュレータ４８を介し圧縮空気源３５から高圧の圧縮空気が各圧力タンク４，５，６内に流入すると、各圧力タンク４，５，６からインクがインク供給用導管１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ等へと急速に送り出される。これにより、Ｒインク２４はインク補給用導管１４、インク供給用導管１９ａ、１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ、吐出ヘッド８R1の液溜り室２１、脱気用導管２５ａ、脱気用導管９２、およびバッファタンク１７により形成される環状流路内を循環し、その結果吐出ヘッド８R1の液溜り室２１内に溜った気泡がＲインク２４の流れによりバッファタンク１７へと運ばれ除去される。

（４）図８の状態においてバルブ９９を閉じて脱気用導管２５ａを遮断し、また、バルブ９４を閉じて脱気用導管９２を遮断した状態にしておき、図９に示すように、ポンプ１１の駆動によりＲインク２４を吐出ヘッド８R1のノズル孔７内に送る。これにより、ノズル孔７内から空気を排出する。

（５）必要に応じて、図７に示した上記（２）のＲインク２４の循環を行い、Ｒインク２４内から気泡をより適正に除去する。

（６）図２に示すように、エア供給管路網装置における迂回導管４５，４６，４７上のバルブ４９を閉じ、バルブ５０を開いて高圧の圧縮空気を大気中に逃した後、圧力コントローラ３８側の導管３９，４０，４１上のバルブ４３を開き、圧力コントローラ３８で圧力調整した比較的低圧（正圧又は負圧）の空気を圧力タンク４内に送る。

これにより、低圧空気によって圧力タンク４内のＲインク２４が上昇し、吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5のノズル孔７内にメニスカスを形成する。

また、圧力タンク４を高さ調整装置７９の操作により上下方向に移動させ、吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5のノズル孔７内におけるＲインク２４のメニスカス２４ａをノズル孔７の先端に近づける。

（７）作業者がディスプレイ装置９により吐出ヘッド８R1，８R2，８R3，８R4，８R5の先端を観察しながら、圧力タンク４の各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅに割り振られた各センサ７７の感度を調整する。各センサ７７の感度に応じてバルブ３４の各々が開閉動作し、図４（Ｂ）に示すように各区画室４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ内のＲインク２４の液高Ｈａ，Ｈｂ，Ｈｃ，Ｈｄ，Ｈｅが加減され、すべての吐出ヘッド８R1、８R2、８R3、８R4、８R5におけるノズル孔７の先端に図３（Ｂ）に示すようにＲインク２４のメニスカス２４ａが形成されたところで各センサ７７の感度調整を終了する。

なお、Ｇインク、Ｂインク等他のインクについても上記（１）〜（７）の各ステップが実行され、Ｒインクと同様にすべての吐出ヘッド８G1，８G2，８G3，８G4，８G5，８B1，８B2，８B3，８B4，８B5におけるノズル孔の先端に図３（Ｂ）に示すように他のインクのメニスカスが形成される。このＧインク、Ｂインクの充填は上記Ｒインク２４の充填の後に行うこともできるし、Ｒインク２４の充填と並行して行うこともできる。

（８）以上でカラーフィルタのガラス基板１８に対する各インクの印刷又は塗布の準備が完了する。

図５に示すように所望数のユニット体６３の全吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5のノズル孔７にカラーフィルタのガラス基板１８を正対させ、ユニット体６３とガラス基板１８を相対的に移動させつつ、吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5からインクの微細な液滴をガラス基板１８に対して発射する。吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5の各ノズル孔７において、各種色インクが図３（Ｂ）に示すごとくノズル孔７の先端にメニスカス２４ａを形成するように供給されるので、ノズル孔７の先端からインクが空気を巻き込むことなく適正量の液滴となって被塗布体であるガラス基板１８に向って吐出される。これにより、ガラス基板１８上にＲ，Ｇ，Ｂのインクからなる塗膜が均一に精度良く形成される。

（９）各吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5からインクを発射することにより、圧力タンク４，５，６内のインクが消費され液面が降下するが、この液面の降下を液面センサ７７が検知する。この液面センサ７７からの信号により各バルブ３４が開閉し、バッファタンク１７内のインク２４をポンプ１１によって圧力タンク４，５，６内の各区画室内に補充する。これにより、圧力タンク４，５，６の各区画室内の液高が常時一定に保持され、吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5内においてメニスカス２４ａが常に正常な位置すなわちノズル孔７の先端に形成される。

（１０）印刷中にガラス基板１８の表面にインクのドット（画素）抜けが発見された場合、所定の印刷サイクルが完了した場合等は、図９に示した上記（４）の工程が該当する色インクについて実行され、該当する吐出ヘッドのノズル孔７内に色インクが圧送される。

（１１）また、図１０に示すように、定期的にバルブ８８が開いて濾過用導管７６を導通させる。これにより、圧力タンク４，５，６内のインクがポンプ１１の駆動により矢印方向に流れて循環し、循環する途中でインク内の異物がフィルタ３３により除去される。この結果、吐出ヘッド８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5のノズル孔７の目詰まりが防止される。

（１２）かくて、ステージ５６がＸ軸方向に一ストローク移動すると、ガラス基板１８の表面にカラーフィルタ等の所定のパターンが形成される。

したがって、この液体吐出装置を用いたカラーフィルタの製造装置によれば、インクが全ノズル孔の先端にメニスカスを形成するように供給されるので、ノズル孔の先端からインクが空気を巻き込むことなく適正量の液滴となって被塗布体であるガラス基板に向って吐出される。これにより、ガラス基板上にＲ，Ｇ，Ｂのインクからなる塗膜が均一に精度良く形成され、高品質なカラーフィルタが製造される。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、上記実施の形態では三色の液状インクをカラーフィルタの基板に塗布する場合について説明したが、本発明は一色又は四色以上のインクを塗布、印刷する場合、インク以外の液体を塗布、印刷する場合、カラーフィルタの基板以外の被塗布材に塗布、印刷する場合等についても適用可能である。また、圧力タンク内には必ずしも正圧の空気を送るだけでなく、負圧をかけることによりインクを吐出ヘッドへ送り出すようにしてもよい。

本発明に係る液体吐出装置の一例を示す概略ブロック図である。 図１に示す液体吐出装置におけるエア供給管路網装置の一例を示すブロック図である。 図（Ａ）は、吐出ヘッドの模式縦断面図、図（Ｂ）は図（Ａ）中Ｂ部拡大図であり、ノズル孔内にメニスカスが適正な位置及び形状に形成された状態を示す。 図（Ａ）は、圧力タンクの平面図、図（Ｂ）は図（Ａ）中Ｂ−Ｂ線矢視断面図、図（Ｃ）は図（Ａ）中Ｃ−Ｃ線矢視断面図である。 本発明に係る液体吐出装置を備えたパターン形成装置の斜視図である。 液体吐出装置のエアダンパ内にインクを充填する工程を示す図１と同様なブロック図である。 液体吐出装置内でインクを循環させる工程を示す図１と同様なブロック図である。 液体吐出装置の吐出ヘッドの共通液室内から空気を除去する工程を示す図１と同様なブロック図である。 液体吐出装置の吐出ヘッドのノズル孔内から空気を除去する工程を示す図１と同様なブロック図である。 液体吐出装置内でインクを循環させてインクから異物を除去する工程を示す図１と同様なブロック図である。

符号の説明

４，５，６…圧力タンク
４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ…区画室
７…ノズル孔
８R1、８G1、８B1、８R2、８G2、８B2、８R3、８G3、８B3、８R4、８G4、８B4、８R5、８G5、８B5…吐出ヘッド
９…ディスプレイ装置
１８…ガラス基板
２４…Ｒインク
２４ａ…メニスカス
２８…圧力コントローラ
６３…ユニット体
７０…加圧室
７７…液面センサ
７９…高さ調整装置

Claims (16)

1. 液体を圧力タンク内に貯留し、圧力タンクから液体を複数個の吐出ヘッドへと各導管を通して送り、圧力タンクの液面と異なる位置に配置された各吐出ヘッドのノズル孔の先端から被塗布体に向かって液滴を吐出するようにした液体吐出装置において、上記圧力タンク内に、上記各吐出ヘッドに対応してそれぞれ液体を溜める区画室と、全区画室に通じる連通室とを形成し、上記各区画室と上記各吐出ヘッドとをそれぞれ上記導管で連結して、上記圧力タンク内に正圧又は負圧を加えることにより、上記各区画室から上記各吐出ヘッドのノズル孔の先端へと液体が供給されるようにしたことを特徴とする液体吐出装置。
2. 請求項１に記載の液体吐出装置において、全吐出ヘッドのノズル孔の先端に液体のメニスカスが形成され、各導管の長さを調整することによりメニスカス位置が調整可能であることを特徴とする液体吐出装置。
3. 請求項１に記載の液体吐出装置において、圧力タンクの区画室ごとに液面センサを設け、各液面センサからの信号に基づき区画室ごとに液高を調整することにより、全吐出ヘッドのノズル孔の先端に液体のメニスカスが形成され、そのメニスカス位置が調整可能であることを特徴とする液体吐出装置。
4. 請求項１に記載の液体吐出装置において、圧力タンクを液面に垂直な方向で位置調整する高さ調整手段を具備したことを特徴とする液体吐出装置。
5. 請求項１に記載の液体吐出装置において、液体を循環させて濾過を行う循環手段が設けられたことを特徴とする液体吐出装置。
6. 請求項１に記載の液体吐出装置において、液体を循環させて脱気を行う循環手段が設けられたことを特徴とする液体吐出装置。
7. 請求項１に記載の液体吐出装置において、各吐出ヘッドが、他の一種又は複数種の液体をそれぞれ吐出する吐出ヘッドと共にユニット体に一体で保持され、他種類の液体の吐出ヘッドにはそれぞれ他の圧力タンクから液体が供給されるようにしたことを特徴とする液体吐出装置。
8. 請求項７に記載の液体吐出装置において、液体が複数種の色インクであり、ユニット体の各吐出ヘッドに各色のインクが対応付けられていることを特徴とする液体吐出装置。
9. 請求項１又は請求項７に記載の液体吐出装置において、吐出ヘッド又はユニット体がＸＹガイド機構に搭載され、ＸＹガイド機構の駆動に伴い吐出ヘッドのノズル孔から液体を被塗布体に向かって吐出することにより、被塗布体の表面に所定のパターンを形成するようにしたことを特徴とする液体吐出装置。
10. 請求項１に記載の液体吐出装置において、吐出ヘッドのノズル孔の先端を観察する観察手段が設けられたことを特徴とする液体吐出装置。
11. 請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載の液体吐出装置を用いたことを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
12. 液体を圧力タンク内に貯留し、圧力タンクから液体を複数個の吐出ヘッドへと各導管を通して送り、圧力タンクの液面と異なる位置に配置された各吐出ヘッドのノズル孔の先端から被塗布体に向かって液滴を吐出する液体吐出方法において、上記圧力タンク内に、上記各吐出ヘッドに対応してそれぞれ液体を溜める区画室と、全区画室に通じる連通室とを形成し、上記各区画室と上記各吐出ヘッドとをそれぞれ上記導管で連結して、上記圧力タンク内に正圧又は負圧を加えることにより、上記各区画室から上記各吐出ヘッドのノズル孔の先端へと液体を供給することを特徴とする液体吐出方法。
13. 請求項１２に記載の液体吐出方法において、液体のメニスカスを全吐出ヘッドのノズル孔の先端に形成せしめ、圧力タンクの各区画室内の液高をそれぞれ調整して、上記各吐出ヘッドのノズル孔から所定量の液体を吐出することを特徴とする液体吐出方法。
14. 請求項１２に記載の液体吐出方法において、液体を循環させつつ濾過を行うことを特徴とする液体吐出方法。
15. 請求項１２に記載の液体吐出方法において、液体を循環させつつ脱気を行うことを特徴とする液体吐出方法。
16. 請求項１２乃至請求項１５のいずれかに記載の液体吐出方法を用いたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

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