JP2009237992A - 状況監視支援システム、状況監視支援方法及び状況監視支援プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】装置端末20の端末制御部21は、パターン候補を検索する。そして、類似パターンを抽出でき、パターン候補を検出した場合、データ取得を継続する。そして、端末制御部21は、パターン検証処理を実行し、パターンに追従しなくなった場合、パターン化データを送信する。一方、パターン候補がない場合、端末制御部21は、データ取得を継続し、パターン候補を検出した場合、新規パターン登録処理を実行し、パターン登録データを送信する。プロセス監視サーバ30のサーバ制御部31がパターン化データを受信している場合、測定値の再現処理を実行する。一方、パターン登録データを受信している場合、サーバ制御部31は、新規パターンの登録を行なう。
【選択図】図2
Description
に対して前記既存パターンを記録した第2パターン情報記憶手段を備えた管理サーバとから構成され、装置状態の監視を支援するためのシステムであって、前記装置端末が、センサを用いて装置状態の測定値を取得する測定手段、前記測定値の時系列データが、前記第1パターン情報記憶手段に登録された既存パターンと一致する場合には、前記既存パターンのパターン識別子を取得して前記管理サーバに送信し、既存パターンと一致しない場合には、既存パターンを検出するまで測定を継続し、既存パターンを検出するまでの時系列データを新規パターンとして前記第1パターン情報記憶手段に登録するとともに、前記時系列データを新たなパターンとして前記管理サーバに送信するパターン情報送信手段を備え、前記管理サーバが、前記装置端末からパターン識別子を受信した場合には、このパターン識別子に対応して前記第2パターン情報記憶手段に記録された既存パターンを用いて測定値を再現し、時系列データを受信した場合には、この時系列データを既存パターンとして新たに登録するとともに、この時系列データを用いて測定値を記録する再現手段を備えたことを要旨とする。
測定値を記録することを要旨とする。
請求項1、6〜8に記載の発明によれば、装置端末が、センサを用いて装置状態の測定値を取得する。次に、測定値の時系列データが、第1パターン情報記憶手段に登録された既存パターンと一致する場合には、既存パターンのパターン識別子を取得して管理サーバに送信する。一方、既存パターンと一致しない場合には、既存パターンを検出するまで測定を継続し、既存パターンを検出するまでの時系列データを新規パターンとして第1パターン情報記憶手段に登録するとともに、時系列データを新たなパターンとして管理サーバに送信する。また、管理サーバは、装置端末からパターン識別子を受信した場合には、このパターン識別子に対応して第2パターン情報記憶手段に記録された既存パターンを用いて測定値を再現する。既存パターンと一致する測定値が得られた場合には、パターン識別子を利用して、測定データを装置端末から管理サーバに提供することができる。一方、時系列データを受信した場合には、この時系列データを既存パターンとして新たに登録するとともに、この時系列データを用いて測定値を記録する。これにより、これまでにないパターンを、装置端末及び管理サーバで学習して蓄積することができる。
パターン照合手段211は、各センサの測定値の時間軸で並べた時系列データと、パターン管理データ記憶部23に記録されたパターンとを照合する処理を実行する。そして、パターン照合手段211は、照合時に、既存パターンと時系列データとが相似である場合に、補正値(スケール補正値)を乗算してフィッティングを行なう。パターン照合手段211は、スケール補正値として利用可能な範囲を特定するための補正許容範囲(例えば、0.75〜1.25)に関するデータを保持する。
送信手段214は、プロセス監視サーバ30にデータを送信する処理を実行する。本実施形態では、時系列データをパターン化したパターン化データと、新たにパターンを登録するためのパターン登録データとを送信する。
測定時刻データ領域には、このセンサから測定値を取得した時刻に関するデータが記録される。
パターン管理データ記憶部23には、図3(b)に示すように、測定データをパターン化するためのパターン管理レコード230が記録される。このパターン管理レコード230は、発生するパターンを予測して登録した場合や、新たにパターンを生成した場合に記録される。パターン管理レコード230は、センサ識別子毎に、パターン、パターン識別子に関するデータを含んで構成される。
パターンデータ領域には、既存パターンとして、測定値を時系列に並べたデータが記録される。
パターン識別子データ領域には、このパターンを特定するための識別子に関するデータが記録される。
処理)を行なう。そして、サーバ制御部31は、測定データを受信する状況監視支援プログラムにより、受信手段310、パターン取得手段311、デコード手段312、パターン登録手段313、アラーム出力手段314として機能する。ここで、パターン取得手段311、デコード手段312、パターン登録手段313は、再現手段として機能する。
パターン取得手段311は、パターン化データを取得した場合に、このデータを再現するために用いるパターンを取得する処理を実行する。
パターン登録手段313は、パターン登録指示データを受信した場合に新たなパターンを登録する処理を実行する。
アラーム出力手段314は、問題があるパターンや、新規パターンを検知した場合、クライアント端末50にアラームを出力する処理を実行する。
センサ識別子データ領域には、測定対象装置10に設置された各センサを特定するための識別子に関するデータが記録される。
測定値データ領域には、このセンサにおいて測定された測定値に関するデータが記録される。この測定値は、各パターン化データや時系列データを繋ぎ合わせることにより再現される。
センサ識別子データ領域には、測定対象装置10に設置された各センサを特定するための識別子に関するデータが記録される。
パターンデータ領域には、既存パターンとして、測定値を時系列に並べたデータが記録される。
ムフラグ)が記録される。本実施形態では、パターンを確認した利用者によってアラームフラグが記録された場合に記録される。
まず、装置端末20における測定処理を、図4を用いて説明する。ここでは、1つのセンサや装置端末20における測定処理について説明するが、複数のセンサを対象とする場合にはセンサ毎や装置端末20毎に測定処理を実行すればよい。
装置端末20の端末制御部21は、データ取得処理を実行する(ステップS1−1)。具体的には、端末制御部21の状態情報取得手段210が、測定対象装置10のセンサから測定データを取得する。そして、状態情報取得手段210は、取得した測定値を、センサ識別子、測定時刻とともに実測データ記憶部22に記録する。
ては、パターンP2〜P4からなるパターン候補G1が抽出される。その後の時刻t2においては、パターンP3,P4からなるパターン候補G2に追従し、時刻t3においてはパターンP3からなるパターン候補G3のみに追従していることになる。
一方、パターン候補がない場合(ステップS1−3において「NO」の場合)、装置端末20の端末制御部21は、データ取得を継続し、実測データ記憶部22に記録する(ステップS1−10)。
そして、新たに検出したパターンについて、ステップS1−4以降の処理を実行する。
次に、プロセス監視サーバ30における監視処理を、図5を用いて説明する。
ーン化データ又はパターン登録データを受信する。
・ 上記実施形態では、装置端末20の端末制御部21は、パターン候補を検索し(ステップS1−2)、類似パターンを抽出でき、パターン候補を検出した場合(ステップS1−3において「YES」の場合)、装置端末20の端末制御部21は、データ取得を継続する(ステップS1−4)。そして、装置端末20の端末制御部21は、パターン検証処理を実行し(ステップS1−5)、パターンに追従しなくなるまで、このパターン検証処理を繰り返す(ステップS1−6において「YES」)。そして、パターンに追従しなくなった場合(ステップS1−6において「NO」の場合)、装置端末20の端末制御部21は、パターン化データの送信処理を実行する(ステップS1−8)。これにより、パターン識別子を用いて、プロセス監視サーバ30に測定対象装置10の状況を示すパターン化データを送信することができる。ここで、時系列データをパターン化データとしてまとめて送信することができるので、通信トラフィック量を抑制することができる。
○ 上記実施形態では、測定対象装置10として半導体製造装置に適用した例を用いて説明したが、適用対象はこれに限定されるものではない。
313…パターン登録手段、314…アラーム出力手段、40,50…クライアント端末、P1〜P6…パターン。
Claims (8)
- パターン識別子に対して既存パターンを記録した第1パターン情報記憶手段を備えた装置端末と、
前記パターン識別子に対して前記既存パターンを記録した第2パターン情報記憶手段を備えた管理サーバとから構成され、装置状態の監視を支援するためのシステムであって、
前記装置端末が、
センサを用いて装置状態の測定値を取得する測定手段、
前記測定値の時系列データが、前記第1パターン情報記憶手段に登録された既存パターンと一致する場合には、前記既存パターンのパターン識別子を取得して前記管理サーバに送信し、
既存パターンと一致しない場合には、既存パターンを検出するまで測定を継続し、既存パターンを検出するまでの時系列データを新規パターンとして前記第1パターン情報記憶手段に登録するとともに、前記時系列データを新たなパターンとして前記管理サーバに送信するパターン情報送信手段を備え、
前記管理サーバが、
前記装置端末からパターン識別子を受信した場合には、このパターン識別子に対応して前記第2パターン情報記憶手段に記録された既存パターンを用いて測定値を再現し、
時系列データを受信した場合には、この時系列データを既存パターンとして新たに登録するとともに、この時系列データを用いて測定値を記録する再現手段を備えたことを特徴とする状況監視支援システム。 - 前記パターン情報送信手段は、前記測定値の時系列データが、前記第1パターン情報記憶手段に登録された既存パターンと相似している場合には、前記既存パターンから前記時系列データを再現するためのスケール補正値を算出し、
前記既存パターンに対応するパターン識別子とともに前記スケール補正値を前記管理サーバに送信することを特徴とする請求項1に記載の状況監視支援システム。 - 前記パターン情報送信手段は、前記測定値の時系列データが、前記第1パターン情報記憶手段に登録された既存パターンと部分的に一致している場合には、前記既存パターンにおいて部分的に一致する一致範囲を算出し、
前記パターン識別子とともに前記一致範囲を特定するインデックスを前記管理サーバに送信することを特徴とする請求項1又は2に記載の状況監視支援システム。 - 前記第2パターン情報記憶手段には、異常を示すパターンに対してアラームフラグが記録されており、
前記管理サーバは、前記装置端末から受信したパターン識別子に対してアラームフラグが記録されている場合には、アラームを出力するアラーム出力手段を更に備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の状況監視支援システム。 - 前記第1パターン情報記憶手段には、異常を示すパターンに対してアラームフラグが記録されており、
前記装置端末は、時系列データに対して、アラームフラグが記録されているパターンを検知した場合には、アラームを出力するアラーム出力手段を更に備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の状況監視支援システム。 - パターン識別子に対して既存パターンを記録した第1パターン情報記憶手段を備えた装置端末と、
前記パターン識別子に対して前記既存パターンを記録した第2パターン情報記憶手段を備えた管理サーバとから構成された状況監視支援システムを用いて、装置状態を監視する
方法であって、
前記装置端末が、
センサを用いて装置状態の測定値を取得し、
前記測定値の時系列データが、前記第1パターン情報記憶手段に登録された既存パターンと一致する場合には、前記既存パターンのパターン識別子を取得して前記管理サーバに送信し、
既存パターンと一致しない場合には、既存パターンを検出するまで測定を継続し、既存パターンを検出するまでの時系列データを新規パターンとして前記第1パターン情報記憶手段に登録するとともに、前記時系列データを新たなパターンとして前記管理サーバに送信し、
前記管理サーバが、
前記装置端末からパターン識別子を受信した場合には、このパターン識別子に対応して前記第2パターン情報記憶手段に記録された既存パターンを用いて測定値を再現し、
時系列データを受信した場合には、この時系列データを既存パターンとして新たに登録するとともに、この時系列データを用いて測定値を記録することを特徴とする状況監視支援方法。 - パターン識別子に対して既存パターンを記録した第1パターン情報記憶手段を備えた装置端末に接続され、前記パターン識別子に対して前記既存パターンを記録した第2パターン情報記憶手段を備えた管理サーバにおいて、装置状態の監視を支援するためのプログラムであって、
前記管理サーバを、
前記装置端末からパターン識別子を受信した場合には、このパターン識別子に対応して前記第2パターン情報記憶手段に記録された既存パターンを用いて測定値を再現し、
時系列データを受信した場合には、この時系列データを既存パターンとして新たに登録するとともに、この時系列データを用いて測定値を記録する手段として機能させるための状況監視支援プログラム。 - パターン識別子に対して既存パターンを記録した第1パターン情報記憶手段を備るとともに、
前記パターン識別子に対して前記既存パターンを記録した第2パターン情報記憶手段を備えた管理サーバに接続された装置端末において、装置状態の監視を支援するためのプログラムであって、
前記装置端末を、
センサを用いて装置状態の測定値を取得する測定手段、
前記測定値の時系列データが、前記第1パターン情報記憶手段に登録された既存パターンと一致する場合には、前記既存パターンのパターン識別子を取得して前記管理サーバに送信し、
既存パターンと一致しない場合には、既存パターンを検出するまで測定を継続し、既存パターンを検出するまでの時系列データを新規パターンとして前記第1パターン情報記憶手段に登録するとともに、前記時系列データを新たなパターンとして前記管理サーバに送信するパターン情報送信手段として機能させるための状況監視支援プログラム。
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JP2000269108A (ja) * | 1999-03-15 | 2000-09-29 | Sharp Corp | 半導体製造装置の管理システム |
JP2002368623A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Nec Corp | 低速回線を使用したデータ転送システム及びその転送方法 |
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