JP2009237965A - 生産制御装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】全体の搬送時間が最小となるように搬送経路を選択して製品の生産を制御する生産制御装置を提供すること。
【解決手段】搬送量算出部51は、生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を算出する。搬送経路決定部53は、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量が優先搬送受入判定値よりも大きい場合であって、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量から他の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を差し引いた値が搬送平準化判定値以上となる他の生産ライン間経路がない場合には、当該製品の搬送経路を優先度一位の生産ライン間経路を経由する経路に決定する。したがって、優先度一位の搬送経路の搬送量に余裕がない場合でも、全体の最適化を考慮して、あえて搬送量に余裕がない搬送経路を選択することができ、全体の搬送時間が最小となるように搬送経路を選択することが可能となる。
【選択図】図1
【解決手段】搬送量算出部51は、生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を算出する。搬送経路決定部53は、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量が優先搬送受入判定値よりも大きい場合であって、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量から他の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を差し引いた値が搬送平準化判定値以上となる他の生産ライン間経路がない場合には、当該製品の搬送経路を優先度一位の生産ライン間経路を経由する経路に決定する。したがって、優先度一位の搬送経路の搬送量に余裕がない場合でも、全体の最適化を考慮して、あえて搬送量に余裕がない搬送経路を選択することができ、全体の搬送時間が最小となるように搬送経路を選択することが可能となる。
【選択図】図1
Description
本発明は、生産ラインにおける製品を搬送する技術に関し、特に、生産ライン間に複数の搬送経路がある場合に搬送時間が最小となる経路を選択して製品の生産を制御する生産制御装置に関する。
近年、製造業における企業間の競争が激化してきている。このような企業間競争の中で存続し続けるためには、生産性を向上させることが重要な課題である。生産性を向上させるためには、生産ラインにおける製品の搬送をいかに効率的に行なうかが重要となる。
従来の半導体生産ラインにおいては、生産性の低下を防ぎ、製品の汚染や品質低下を防ぐために、製品の搬送に設定された経路が搬送時に良好であれば、その経路を製品の搬送経路に決定し、製品の搬送に設定された経路が搬送時に良好でなければ、搬送量に余裕がある他の搬送経路を選択することで均質な負荷量で製品の搬送を行ない、搬送時間を最小化している。これに関連する技術として、下記の特許文献1に開示された発明がある。
特許文献1に開示された半導体製造ラインの搬送経路の設定方法においては、上層および下層に、同一層内に相互に異なる地点間の搬送物の搬送のための層内経路がそれぞれ構成され、当該上層の層内経路と下層の層内経路との間には複数の搬送地点が設置され、当該搬送物を層内および層間に搬送される搬送経路を設定する。
搬送物が層間搬送物であると搬送経路が設定されたかを確認し、当該経路の状況が良好であると設定された経路に層間搬送経路を決定する。搬送経路が設定されなかったり、当該搬送経路が設定されたとしても当該経路の状況が良好でなければ、全体の層間経路をチェックして良好で搬送量の余裕がある経路を択一し、層間搬送経路に決定する。
搬送物が層内の搬送物であると層内搬送経路が設定されており、当該経路の状況が良好であると設定された経路に搬送経路を決定する。層内搬送の設定された経路の状況が良好でなく、当該設定された経路が確定経路であると当該設定された経路を層内搬送経路に決定する。層内搬送経路が設定されない状態であるか、または層内搬送の設定された経路が良好でなく、かつ、当該設定された経路が確定経路でなければ、全体の層内経路をチェックして搬送量の余裕のある経路の中から択一し、層内搬送経路に決定する。
したがって、搬送物は同一層内の移送のために、最適の多様な経路が選択され、これを通じて移送される。また、層間の移送も同様に、多様な経路を通じて均等な負荷量で行える。また、層内および層間の搬送時に、搬送される前に、搬送される経路がチェックされるので、効率的な移送が行えるように経路が選択できる。
特開平10−107123号公報
上述のように、従来の半導体製造ラインの搬送経路の設定方法においては、設定された経路が搬送時に良好でない場合に、搬送量に余裕のある他の経路が選択される。しかしながら、搬送量に余裕のある他の経路を選択することが、必ずしも搬送時間を最小にするとは限らない。すなわち、搬送量に余裕のある他の経路を選択したとしても、搬送機器のレイアウトや進行方向にばらつきがあるため、その経路の搬送距離が長くなる場合には余計に搬送時間がかかってしまうといった問題点があった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、全体の搬送時間が最小となるように搬送経路を選択して製品の生産を制御する生産制御装置を提供することである。
本発明の一実施例によれば、生産ライン間に複数の搬送経路が設けられた生産ラインにおける製品の搬送を制御する生産制御装置が提供される。搬送量算出部は、生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を算出する。搬送経路決定部は、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量が優先搬送受入判定値以下の場合には、当該製品の搬送経路を優先度一位の生産ライン間経路を経由する経路に決定する。また、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量が優先搬送受入判定値よりも大きい場合であって、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量から他の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を差し引いた値が搬送平準化判定値以上となる他の生産ライン間経路がある場合には、当該製品の搬送経路を他の生産ライン間経路の中で最も優先度が高い生産ライン間経路を経由する経路に決定する。また、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量が優先搬送受入判定値よりも大きい場合であって、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量から他の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を差し引いた値が搬送平準化判定値以上となる他の生産ライン間経路がない場合には、当該製品の搬送経路を優先度一位の生産ライン間経路を経由する経路に決定する。
この実施例によれば、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量が搬送平準化判定値よりも大きい場合であって、優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量から他の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を差し引いた値が搬送平準化判定値以上となる他の生産ライン間経路がない場合には、当該製品の搬送経路を優先度一位の生産ライン間経路を経由する経路に決定する。したがって、優先度一位の搬送経路の搬送量に余裕がない場合でも、全体の最適化を考慮して、あえて搬送量に余裕がない搬送経路を選択することができ、全体の搬送時間が最小となるように搬送経路を選択することが可能となる。
(第1の実施の形態)
本実施の形態においては、半導体生産ラインにおける全搬送の平均搬送時間が最小となる制御パラメータを用いてフロア間経路を決定する。ここで、制御パラメータとは、フロアj(j=1,2,…)において優先度一位のフロア間経路を経由して搬送される製品を受け入れるか否かを判定するために用いられる値である優先搬送受入判定値K(j)と、フロアjにおいて本来優先度一位のフロア間経路を経由して搬送される製品を優先度一位以外のフロア間経路を経由して搬送するか否かを判定するために用いられる値である搬送平準化判定値H(j)とを指している。
本実施の形態においては、半導体生産ラインにおける全搬送の平均搬送時間が最小となる制御パラメータを用いてフロア間経路を決定する。ここで、制御パラメータとは、フロアj(j=1,2,…)において優先度一位のフロア間経路を経由して搬送される製品を受け入れるか否かを判定するために用いられる値である優先搬送受入判定値K(j)と、フロアjにおいて本来優先度一位のフロア間経路を経由して搬送される製品を優先度一位以外のフロア間経路を経由して搬送するか否かを判定するために用いられる値である搬送平準化判定値H(j)とを指している。
図1は、本発明の第1の実施の形態における生産制御装置を含んだ半導体生産ラインのシステム構成例を示す図である。このシステムは、半導体生産ライン1と、搬送制御用コントローラ2と、生産制御装置3とを含む。
生産ライン1は、複数のフロアによって構成され、各フロア内の複数の搬送経路およびフロア間の複数の搬送経路によって製品が搬送される。すなわち、1階フロア11および2階フロア12には、それぞれ同一フロア内の相互に異なる地点間での製品の搬送のためにフロア内経路21および22が設けられている。また、1階フロア11のフロア内経路21と2階フロア12のフロア内経路22との間には、フロア間での製品の搬送のために複数のフロア間経路31、32、33および34が設けられている。
1階フロア11のフロア内経路21には、工程装置、検査装置または製品の保管や異なる搬送機器間の中継が可能なストッカが位置する搬送開始地点41、42、43および44がある。同様に、2階フロア12のフロア内経路22には、工程装置、検査装置または製品の保管や異なる搬送機器間の中継が可能なストッカが位置する搬送開始地点45、46、47および48がある。
搬送制御用コントローラ2は、半導体生産ライン1内の製品の搬送が開始される直前に、搬送開始地点にあるそれぞれの製品をどこに搬送するかを示す搬送情報を記録する。
生産制御装置3は、搬送制御用コントローラ2によって記録された搬送情報を受信して蓄積することによりデータベースを生成し、そのデータベースに基づいて制御パラメータを決定する。そして、生産制御装置3は、制御パラメータを用いてそれぞれの製品の搬送経路を決定し、その搬送経路の情報を搬送制御用コントローラ2に送信する。
搬送制御用コントローラ2は、生産制御装置3から送信された搬送経路の情報に基づいて半導体生産ライン1における製品の搬送を制御する。
図1に示すように、生産制御装置3は、搬送経路抽出部5と、制御パラメータ抽出部6とを含む。搬送経路抽出部5は、搬送量算出部51と、搬送量算出部51によって算出された搬送量52および制御パラメータ抽出部6から受けた制御パラメータ65に基づいて搬送経路54を決定する搬送経路決定部53とを含む。
また、制御パラメータ抽出部6は、搬送制御用コントローラ2から受けた搬送情報に基づいて搬送開始地点データベース62およびフロア間経路データベース63を生成するデータベース生成部61と、搬送開始地点データベース62およびフロア間経路データベース63を参照して制御パラメータ65を決定する制御パラメータ決定部64とを含む。
搬送量算出部51は、その時点でフロア間経路31〜34に割当てられている搬送量52を算出し、搬送経路決定部53に出力する。
搬送経路決定部53は、その時点でフロア間経路31〜34に割当てられている搬送量52と、制御パラメータ決定部64によって決定された制御パラメータ65とに基づいて搬送経路54を決定し、搬送制御用コントローラ2に搬送経路54の情報を送信する。
データベース生成部61は、搬送開始地点41〜48における製品の平均搬送頻度(後述のFa)、搬送開始地点41〜48の各地点からフロア間経路31〜34への搬送における優先度(後述のP1,P2)、および搬送開始地点41〜48の各地点で搬送を開始してからフロア間経路31〜34に製品が到着するまでの平均時間(後述のTp,To)を算出して、搬送開始地点データベース62を生成する。なお、優先度は、各搬送開始地点から各フロア間経路までの搬送距離や搬送時間に基づいて決定される。
また、データベース生成部61は、フロア間経路31〜34において、各フロア間経路のリフトの平均搬送時間(後述のTL)、各フロア間経路のリフトの搬送能力(後述のCL)、各フロア間経路のリフトの平均稼働率(後述のρ)、およびリフトの平均稼働率とリフトの待ち行列との関係を表したリフト待ち行列関数(後述のf)を算出して、フロア間経路データベース63を生成する。
制御パラメータ決定部64は、搬送開始地点データベース62およびフロア間経路データベース63を参照し、最適化手法を用いて全搬送の平均搬送時間が最小となる制御パラメータ65を決定して搬送経路決定部53に出力する。制御パラメータ決定部64が制御パラメータ65を決定するのは、所定のタイミング、たとえば品種の切換え時、製品の生産量の変更時、ロットサイズの変更時などの設定変更時である。
図2は、本発明の第1の実施の形態における生産制御装置3のハードウェア構成を示すブロック図である。生産制御装置3は、一般的なコンピュータによって実現され、コンピュータ本体101、ディスプレイ装置102、FD(Flexible Disk)104が装着されるFDドライブ103、キーボード105、マウス106、CD−ROM(Compact Disc-Read Only Memory)108が装着されるCD−ROM装置107、およびネットワーク通信装置109を含む。生産制御プログラムは、FD104またはCD―ROM108等の記憶媒体によって供給される。生産制御プログラムはコンピュータ本体101によって実行され、搬送経路の決定などを行なう。また、生産制御プログラムは他のコンピュータより通信回線を経由し、コンピュータ本体101に供給されてもよい。
また、コンピュータ本体101は、CPU110、ROM(Read Only Memory)111、RAM(Random Access Memory)112およびハードディスク113を含む。CPU110は、ディスプレイ装置102、FDドライブ103、キーボード105、マウス106、CD−ROM装置107、ネットワーク通信装置109、ROM111、RAM112またはハードディスク113との間でデータを入出力しながら処理を行なう。FD104またはCD−ROM108に記録された生産制御プログラムは、CPU110によりFDドライブ103またはCD−ROM装置107を介してハードディスク113に格納される。CPU110は、ハードディスク113から適宜生産制御プログラムをRAM112にロードして実行することによって搬送経路の決定などを行なう。
図3は、搬送経路抽出部5による搬送経路決定処理の手順を説明するためのフローチャートである。まず、搬送量算出部51は、搬送を開始する搬送開始地点Xに着目し、搬送開始地点XのフロアをFLとし、搬送開始地点Xにおいて優先度一位のフロア間経路をP1とする(S1)。
次に、搬送量算出部51は、フロアj(j=1,2,…)においてフロア間経路i(i=1,2,…)に割当てられた搬送量Q(i,j)を次式によって算出する(S2)。
Q(i,j)=Q1(i,j)+Q2(i,j)+Q3(i,j) …(1)
図4は、搬送量算出部51によって算出される搬送量Q(i,j)を模式的に示す図である。Q1(i,j)は、フロアjで搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの状態にある製品の搬送量を表す。Q2(i,j)は、フロアjでフロア間経路iに到着してからフロア間経路iでリフト搬送を開始するまでの状態にある製品の搬送量、すなわちリフト待ちの状態にある製品の搬送量を表す。Q3(i,j)は、フロア間経路iにおいてフロアjでリフト搬送を開始してから他フロアでリフト搬送を完了するまでの状態にある製品の搬送量を表す。ここでは、フロア間搬送装置をリフトと呼ぶ。
図4は、搬送量算出部51によって算出される搬送量Q(i,j)を模式的に示す図である。Q1(i,j)は、フロアjで搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの状態にある製品の搬送量を表す。Q2(i,j)は、フロアjでフロア間経路iに到着してからフロア間経路iでリフト搬送を開始するまでの状態にある製品の搬送量、すなわちリフト待ちの状態にある製品の搬送量を表す。Q3(i,j)は、フロア間経路iにおいてフロアjでリフト搬送を開始してから他フロアでリフト搬送を完了するまでの状態にある製品の搬送量を表す。ここでは、フロア間搬送装置をリフトと呼ぶ。
次に、搬送経路決定部53は、搬送量算出部51によって算出された各フロア間経路に割当てられた搬送量Q(i,j)のうち、Q(P1,FL)に関して、フロアFLにおいて優先度一位のフロア間経路P1を経由して搬送される製品を受け入れるか否かを、次式によって判定する(S3)。なお、K(FL)は、製品を受け入れるか否かを判定する際に用いられる優先搬送受入判定値であり、制御パラメータ決定部64によって決定される制御パラメータ65の1つである。
Q(P1,FL)≦K(FL) …(2)
Q(P1,FL)がK(FL)以下であれば(S3,Yes)、搬送経路をP1を経由する経路に決定して(S4)、処理を終了する。
Q(P1,FL)がK(FL)以下であれば(S3,Yes)、搬送経路をP1を経由する経路に決定して(S4)、処理を終了する。
また、Q(P1,FL)がK(FL)よりも大きければ(S3,No)、フロアFLにおいて本来優先度一位のフロア間経路を経由して搬送されるべき製品を、優先度一位以外のフロア間経路を経由して搬送するか否かを、次式によって判定する(S5)。なお、H(FL)は、製品を優先度一位以外のフロア間経路を経由して搬送するか否かを判定する際に用いられる搬送平準化判定値であり、制御パラメータ決定部64によって決定される制御パラメータ65の1つである。
Q(P1,FL)−Q(i,FL)≧H(FL) …(3)
Q(P1,FL)−Q(i,FL)がH(FL)以上となるiが存在する場合(S5,Yes)、搬送経路決定部53は、該当するフロア間搬送経路iのうち優先度の最も高いフロア間搬送経路P2を経由する経路を搬送経路に決定し(S6)、処理を終了する。
Q(P1,FL)−Q(i,FL)がH(FL)以上となるiが存在する場合(S5,Yes)、搬送経路決定部53は、該当するフロア間搬送経路iのうち優先度の最も高いフロア間搬送経路P2を経由する経路を搬送経路に決定し(S6)、処理を終了する。
また、Q(P1,FL)−Q(i,FL)がH(FL)以上となるiが存在しない場合(S5,No)、フロア間経路P1を経由する経路を搬送経路に決定し(S7)、処理を終了する。
図5は、制御パラメータ抽出部6によるパラメータ決定処理の手順を説明するためのフローチャートである。まず、制御パラメータ決定部64は、半導体生産ラインの搬送時間に関する数式モデルを作成する(S8)。
次に、制御パラメータ決定部64は、搬送開始地点データベース62およびフロア間経路データベース63から計算に必要なデータを取得する(S9)。そして、最適化手法を用いて、全搬送の平均搬送時間が最小となるように最適化計算を行なうことにより制御パラメータ65を決定する(S10)。最後に、制御パラメータ決定部64は、制御パラメータ65である優先搬送受入判定値K(j)および搬送平準化判定値H(j)を搬送経路抽出部5に出力して(S11)、処理を終了する。
数式モデルは、目的関数および制約式を含んでおり、以下の要領で作成される。
まず、次式に示す目的関数が設定される。
まず、次式に示す目的関数が設定される。
ここで、Tobjは全搬送の平均搬送時間、Fa(i,j)はフロアjにおけるフロア間経路iへの平均搬送頻度、T(i,j)はフロアjで搬送を開始してからフロア間経路iでリフト搬送を完了するまでの平均時間を表している。
式(4)に示す目的関数を構成するFa(i,j)は、次式によって算出される。
Fa(i,j)=Fp(i,j)+Fo(i,j) …(5)
ここで、Fp(i,j)はフロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位として経由する搬送の平均搬送頻度、Fo(i,j)はフロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位以外として経由する搬送の平均搬送頻度を表している。
Fa(i,j)=Fp(i,j)+Fo(i,j) …(5)
ここで、Fp(i,j)はフロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位として経由する搬送の平均搬送頻度、Fo(i,j)はフロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位以外として経由する搬送の平均搬送頻度を表している。
式(4)に示す目的関数を構成するT(i,j)は、次式によって算出される。
T(i,j)=T1(i,j)+T2(i,j)+T3(i,j) …(6)
ここで、T1(i,j)はフロアjで搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの平均時間、T2(i,j)はフロアjでフロア間経路iに到着してからフロア間経路iでリフト搬送を開始するまでの平均時間、すなわちリフト待ちの平均時間、T3(i,j)はフロア間経路iにおいてフロアjでリフト搬送を開始してから他フロアでリフト搬送を完了するまでの平均時間を表している。
T(i,j)=T1(i,j)+T2(i,j)+T3(i,j) …(6)
ここで、T1(i,j)はフロアjで搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの平均時間、T2(i,j)はフロアjでフロア間経路iに到着してからフロア間経路iでリフト搬送を開始するまでの平均時間、すなわちリフト待ちの平均時間、T3(i,j)はフロア間経路iにおいてフロアjでリフト搬送を開始してから他フロアでリフト搬送を完了するまでの平均時間を表している。
図6は、制御パラメータ決定部64によって算出される平均時間T(i,j)を模式的に示す図である。式(6)に示すT(i,j)を構成するT1(i,j)は、次式によって算出される。
T1(i,j)={Fp(i,j)/Fa(i,j)}×Tp(i,j)+{Fo(i,j)/Fa(i,j)}×To(i,j) …(7)
ここで、Tp(i,j)は、フロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位として経由する搬送であって、搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの平均時間を表している。また、To(i,j)は、フロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位以外として経由する搬送であって、搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの平均時間を表している。
ここで、Tp(i,j)は、フロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位として経由する搬送であって、搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの平均時間を表している。また、To(i,j)は、フロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位以外として経由する搬送であって、搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの平均時間を表している。
式(7)に示すT1(i,j)を展開すると、次式のようになる。
T1(i,j)={Fp(i,j)×Tp(i,j)+Fo(i,j)×To(i,j)}/Fa(i,j) …(8)
ここで、Fp(i,j)×Tp(i,j)は、フロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位として経由する搬送であって、フロアjで搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの状態にある製品の搬送量を表している。また、Fo(i,j)×To(i,j)は、フロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位以外として経由する搬送であって、フロアjで搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの状態にある製品の搬送量を表している。
T1(i,j)={Fp(i,j)×Tp(i,j)+Fo(i,j)×To(i,j)}/Fa(i,j) …(8)
ここで、Fp(i,j)×Tp(i,j)は、フロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位として経由する搬送であって、フロアjで搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの状態にある製品の搬送量を表している。また、Fo(i,j)×To(i,j)は、フロアjにおいてフロア間経路iを優先度一位以外として経由する搬送であって、フロアjで搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの状態にある製品の搬送量を表している。
Q1(i,j)は、フロアjで搬送を開始してからフロア間経路iに到着するまでの状態にある製品の搬送量であることから、Q1(i,j)は次式のようになる。
Q1(i,j)=Fp(i,j)×Tp(i,j)+Fo(i,j)×To(i,j) …(9)
したがって、T1(i,j)は、次式のようになる。
したがって、T1(i,j)は、次式のようになる。
T1(i,j)=Q1(i,j)/Fa(i,j) …(10)
式(6)に示すT(i,j)を構成するT2(i,j)は、次式によって算出される。
式(6)に示すT(i,j)を構成するT2(i,j)は、次式によって算出される。
ここで、TL(i)は、フロア間経路iにおけるリフトの平均搬送時間を表している。
式(11)に示すQ2(i,j)は、次式によって表される。
式(11)に示すQ2(i,j)は、次式によって表される。
ここで、ρ(i)はフロア間経路iにおけるリフトの平均稼働率、fはM/M/1などの待ち行列モデル式を表している。このM/M/1とは、待ち行列の最も代表的なケースであり、1台の装置に対して製品の到着分布および装置の処理能力分布が指数分布である場合の待ち行列を公式化したものである。M/M/1モデルにおけるフロア間経路iのリフト待ち行列モデル式f(ρ(i))は、次式によって表すことができる。
M/M/1以外の待ち行列モデル式として、f(ρ(i))はρ(i)の多項式近似を用いるようにしてもよい。ρ(i)は、次式によって算出される。
ここで、CL(i)は、フロア間経路iにおけるリフトの処理能力を表している。
式(6)に示すT(i,j)を構成するT3(i,j)は、次式によって算出される。
式(6)に示すT(i,j)を構成するT3(i,j)は、次式によって算出される。
T3(i,j)=TL(i) …(15)
以上説明したT(i,j)およびFa(i,j)の算出式を用いて式(4)の目的関数を展開すると、次式のようになる。
以上説明したT(i,j)およびFa(i,j)の算出式を用いて式(4)の目的関数を展開すると、次式のようになる。
ここで、Tp(i,j)およびTo(i,j)は搬送開始時点データベース62に格納される定数であり、TL(i)およびCL(i)はフロア間経路データベース63に格納される定数である。したがって、目的関数は、変数Fp(i,j)および変数Fo(i,j)で構成されているため、TobjをFp(i,j)およびFo(i,j)の関数gで表すことができる。
上述のように、搬送経路決定部53は、Q(i,j)がK(j)以下の場合、フロアjにおいて優先度一位としてフロア間経路iを経由して搬送される製品を受け入れる。また、搬送経路決定部53は、Q(i,j)がK(j)よりも大きく、Q(i,j)−Q(h,j)(h≠i)がH(j)以上となるフロア間経路hが存在する場合、フロアjにおいて本来優先度一位としてフロア間経路iを経由して搬送される製品を、優先度一位以外としてフロア間経路hを経由して搬送する。また、搬送経路決定部53は、Q(i,j)がK(j)よりも大きく、Q(i,j)−Q(h,j)(h≠i)がH(j)以上となるフロア間経路hが存在しない場合、フロアjにおいて優先度一位としてフロア間経路iを経由して搬送される製品を受け入れる。
図7は、優先搬送受入判定値K(FL)および搬送平準化判定値H(FL)が設定されている場合の各フロア間経路における搬送経路決定の挙動の一例を説明するための図である。ここで、製品を全て優先度一位のフロア間経路に搬送する場合、フロアjにおいてフロア間経路iに割当てられる搬送量をQ0(i,j)とする。
図7(a)に示すように、フロア間経路PaにおいてQ0(Pa,FL)がK(FL)よりも大きい場合、Q(Pa,FL)>K(FL)かつQ(Pa,FL)−Q(h,FL)(h≠Pa)≧H(FL)の範囲内で、本来フロアFLにおいて優先度一位としてフロア間経路Paを経由して搬送される製品を、優先度一位以外としてフロア間経路h、すなわちPbまたはPcを経由して搬送することにより負荷を軽減させることができる。
フロア間経路Pbは、フロアFLにおいて優先度一位としてフロア間経路Pbを経由して搬送される製品を受け入れると共に、Q(Pa,FL)>K(FL)かつQ(Pa,FL)−Q(Pb,FL)≧H(FL)の範囲内で、フロアFLにおいて本来優先度一位としてフロア間経路Paを経由して搬送される製品を、優先度一位以外の搬送として受け入れることができる。
フロア間経路Pcは、フロア間経路Pbと同様に、フロアFLにおいて優先度一位としてフロア間経路Pcを経由して搬送される製品を受け入れると共に、Q(Pa,FL)>K(FL)かつQ(Pa,FL)−Q(Pc,FL)≧H(FL)の範囲内で、フロアFLにおいて本来優先度一位としてフロア間経路Paを経由して搬送される製品を、優先度一位以外の搬送として受け入れることができる。
したがって、図7(b)に示すように、各フロア間経路への搬送量はQ(i,FL)のように制御されることになる。
図8は、優先搬送受入判定値K(FL)および搬送平準化判定値H(FL)が設定されている場合の各フロア間経路における搬送経路決定の挙動の他の一例を説明するための図である。
図8(a)に示すように、フロア間経路PaにおいてQ0(Pa,FL)がK(FL)よりも大きい場合、Q(Pa,FL)>K(FL)かつQ(Pa,FL)−Q(h,FL)(h≠Pa)≧H(FL)の範囲内で、本来フロアFLにおいて優先度一位としてフロア間経路Paを経由して搬送される製品を、優先度一位以外としてフロア間経路h、すなわちPbまたはPcを経由して搬送することにより負荷を軽減させることができる。
しばらく時間が経過すると、図8(b)に示すように、Q(Pa,FL)−Q(Pb,FL)<H(FL)となり、フロアFLにおいて本来優先度一位としてフロア間経路Paを経由して搬送される製品を、優先度一位以外としてフロア間経路Pbを経由して搬送できなくなる。このとき、フロア間経路Pbは、フロアFLにおいて優先度一位としてフロア間経路Pbを経由して搬送される製品のみを受け入れることになる。
さらに時間が経過すると、Q(Pa,FL)が十分にK(FL)に近づき、図8(c)に示すように、各フロア間経路への搬送量はQ(i,FL)のように制御されることになる。
図9は、優先搬送受入判定値K(FL)および搬送平準化判定値H(FL)が設定されている場合の各フロア間経路における搬送経路決定の挙動のさらに他の一例を説明するための図である。
図9(a)に示すように、フロア間経路PaにおいてQ0(Pa,FL)がK(FL)よりも大きく、フロア間経路PbにおいてもQ0(Pb,FL)がK(FL)よりも大きい場合、Q(Pa,FL)>K(FL)かつQ(Pa,FL)−Q(Pc,FL)≧H(FL)の範囲内で、フロアFLにおいて本来優先度一位としてフロア間経路Paを経由して搬送される製品を、優先度一位以外としてフロア間経路Pcを経由して搬送することにより負荷を軽減させることができる。
また、フロア間経路Pbはフロア間経路Paと同様に、Q(Pb,FL)>K(FL)かつQ(Pb,FL)−Q(Pc,FL)≧H(FL)の範囲内で、フロアFLにおいて本来優先度一位としてフロア間経路Pbを経由して搬送される製品を、優先度一位以外としてフロア間経路Pcを経由して搬送することにより負荷を軽減させることができる。
しばらく時間が経過すると、図9(b)に示すように、Q(Pb,FL)−Q(Pc,FL)<H(FL)となり、フロアFLにおいて本来優先度一位としてフロア間経路Pbを経由して搬送される製品を、優先度一位以外としてフロア間経路Pcを経由して搬送できなくなる。このとき、フロア間経路Pcは、フロアFLにおいて優先度一位としてフロア間経路Pcを経由して搬送される製品のみを受け入れることになる。
さらに時間が経過すると、Q(Pa,FL)−Q(Pc,FL)およびQ(Pb,FL)−Q(Pc,FL)が十分にH(FL)に近づき、図9(c)に示すように、各フロア間経路への搬送量はQ(i,FL)のように制御されることになる。
図7〜図9に示すような状態は、次式のような制約式で表すことができる。
Q0(i,j)>K(j)の場合、Q(i,j)>K(j)
Q0(i,j)≦K(j)の場合、Q(i,j)≧Q0(i,j) …(17)
また、本来優先度一位としてフロア間経路iを経由して搬送される製品を、1つでも優先度一位以外の搬送としてフロア間経路hで受け入れる場合、次式のような制約式を満たす必要がある。
Q0(i,j)>K(j)の場合、Q(i,j)>K(j)
Q0(i,j)≦K(j)の場合、Q(i,j)≧Q0(i,j) …(17)
また、本来優先度一位としてフロア間経路iを経由して搬送される製品を、1つでも優先度一位以外の搬送としてフロア間経路hで受け入れる場合、次式のような制約式を満たす必要がある。
Q(i,j)−Q(h,j)≧H(j) …(18)
なお、式(1)に示すQ(i,j)を構成するQ3(i,j)は、次式によって算出される。
なお、式(1)に示すQ(i,j)を構成するQ3(i,j)は、次式によって算出される。
ここで、ρ(i)はFa(i,j)の関数であり、Fa(i,j)=Fp(i,j)+Fo(i,j)という関係があることから、Q2(i,j)およびQ3(i,j)は、Fp(i,j)およびFo(i,j)の関数であることが分かる。また、Q1(i,j)=Fp(i,j)×Tp(i,j)+Fo(i,j)×To(i,j)という関係がある。
Tp(i,j)およびTo(i,j)は搬送開始時点データベース62に格納される定数であり、TL(i)およびCL(i)はフロア間経路データベース63に格納される定数である。また、Q0(i,j)は、搬送開始地点データベース62に格納されている各搬送開始地点から各フロア間経路への搬送における優先度と、Fa(i,j)によって算出される定数である。したがって、式(17)および(18)に示す制約式の変数は、Fp(i,j)、Fo(i,j)、K(j)およびH(j)であることが分かる。
このように、目的関数および制約式は、Fp(i,j)、Fo(i,j)、K(j)およびH(j)を変数として表されるため、制御パラメータ決定部64は、最適化手法を用いることによりK(j)およびH(j)を算出することができる。
目的関数を最小化する最適化手法としては、非線形計画法、PSO(Particle Swarm Optimization)、GA(Genetic Algorithm)、IA(Immune Algorithm)、SA(Simulated Annealing)、TS(Tabu Search)などのメタヒューリスティクスな手法を利用することができる。
また、同時に複数の解を算出する最適化手法を利用することにより、目的関数が最小となる制御パラメータであるK(j)とH(j)との組み合わせを複数算出することが可能である。最適なK(j)およびH(j)は、製品の搬送量や搬送分布によって変化するため、周期的にまたは任意のタイミング、たとえば品種の切換え時、製品の生産量の変更時、ロットサイズの変更時などの設定変更時に決定することが望ましい。
以上の説明においては、半導体生産ラインとして複数フロアにおいて各フロア内および各フロア間に複数の搬送経路が設けられている場合を想定したが、これに限定されるものではない。たとえば、複数の生産ラインにおいて各生産ライン内および生産ライン間に複数の搬送経路が設けられている半導体生産ラインなど、生産ライン間に複数の経路が設けられている半導体生産ラインであれば本発明を適用可能である。
図10は、本発明が適用される半導体生産ラインの他の一例を示す図である。図10に示す半導体生産ラインにおいては、フロア間経路のリフト搬送の代わりに、ライン内経路23が設けられた生産ライン13と、ライン内経路24が設けられた生産ライン14との間に、ライン間搬送車71、72、73および74が備えられている。ライン間搬送車71〜74は、生産ライン13と生産ライン14との間で製品の搬送を行なう。
図11は、本発明が適用される半導体生産ラインのさらに他の一例を示す図である。図11に示す半導体生産ラインにおいては、フロア間経路のリフト搬送の代わりに、ライン内経路23が設けられた生産ライン13と、ライン内経路24が設けられた生産ライン14との間に、ライン間コンベヤシステム81、82、83および84が備えられている。ライン間コンベヤシステム81〜84は、生産ライン13と生産ライン14との間で製品の搬送を行なう。
また、以上の説明においては、目的関数を全搬送の平均搬送時間としたが、これに限定されるものではない。たとえば、目的関数Tobjを、全搬送の平均搬送時間と目標搬送時間Ttarとの差であるTobj1や、ある特定の製品Wにおける搬送の平均搬送時間であるTobj2に置換し、これらの値を最小化するようにしてもよい。
目的関数をTobj1にすることにより、ジャストインタイム方式、すなわち必要なものを必要なときに必要なだけ生産する方式に適用することができる。また、目的関数をTobj2とすることにより、特急品の生産の時間短縮を行なう場合に適用することができる。
目的関数Tobj1は、次式によって表すことができる。
また、目的関数Tobj2は、次式によって表すことができる。
ここで、Faw(i,j)は製品Wのフロアjにおけるフロア間経路iへの平均搬送頻度、Tw(i,j)は製品Wに関してフロアjで搬送を開始してからフロア間経路iでリフト搬送を完了するまでの平均時間を表している。
また、以上の説明においては、同じ優先搬送受入判定値K(j)および搬送平準化判定値H(j)を各フロアにおける全てのフロア間経路に設定しているが、各フロアにおけるフロア間経路ごとに異なる優先搬送受入判定値K(i,j)および搬送平準化判定値H(i,j)を設定するようにしてもよい。
以上説明したように、本実施の形態における生産制御装置によれば、搬送経路決定部53が、制御パラメータ決定部64によって決定された優先搬送受入判定値K(FL)および搬送平準化判定値H(FL)に基づいて、搬送経路を決定するようにしたので、優先度一位の搬送経路の搬送量に余裕がない場合でも、全体の最適化を考慮して、あえて搬送量に余裕がない搬送経路を選択することができる。すなわち、搬送経路の搬送量の余裕とは関係なく、全体の搬送時間が最小となる搬送経路を選択することが可能となった。
(第2の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態においては、各フロア毎に搬送平準化判定値H(j)を設定し、または、各フロアのフロア間経路毎に搬送平準化判定値H(i,j)を設定したが、本実施の形態においては、搬送平準化判定値をさらに細かく設定して全体の搬送時間をさらに短縮するものである。
本発明の第1の実施の形態においては、各フロア毎に搬送平準化判定値H(j)を設定し、または、各フロアのフロア間経路毎に搬送平準化判定値H(i,j)を設定したが、本実施の形態においては、搬送平準化判定値をさらに細かく設定して全体の搬送時間をさらに短縮するものである。
搬送平準化判定値は、本来優先度一位としてあるフロア間経路を経由して搬送される製品を、優先度一位以外の搬送として他のフロア間経路を経由して搬送する場合に用いられる値であるため、優先度一位のフロア間経路と優先度一位以外のフロア間経路との関係が考慮されている方が望ましい。
本実施の形態においては、搬送平準化判定値をH(i1,i2,j)とする。ここで、i1は優先度一位のフロア間経路を表しており、i2は優先度一位以外のフロア間経路を表している。
たとえば、フロア間経路i1とフロア間経路i2との間の距離が大きい場合には、フロア間経路i1の代わりにフロア間経路i2を経由することによって搬送時間が大きくなってしまうため、H(i1,i2,j)を大きめの値に設定して、できるだけ搬送の振り替えを行なわないようにすることが望ましい。
逆に、フロア間経路i1とフロア間経路i2との間の距離が小さい場合には、フロア間経路i1の代わりにフロア間経路i2を経由することによる搬送時間のロスが小さいため、H(i1,i2,j)を小さめの値に設定して、搬送の振り替えを積極的に行なってフロア間経路i1の負荷を軽減することが望ましい。
以上説明したように、本実施の形態における生産制御装置によれば、フロア間経路i1とフロア間経路i2との関係に基づいてi1とi2の組み合わせごとに搬送平準化判定値H(i1,i2,j)を設定するようにしたので、全体としての搬送時間をさらに短縮することが可能となった。
今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 半導体生産ライン、2 搬送制御用コントローラ、3 生産制御装置、5 搬送経路抽出部、6 制御パラメータ抽出部、11,12 フロア、21,22 フロア内経路、31〜34 フロア間経路、41〜48 搬送開始地点、51 搬送量算出部、52 搬送量、53 搬送経路決定部、54 搬送経路、71〜74 ライン間搬送車、81〜84 ライン間コンベヤシステム、101 コンピュータ本体、102 ディスプレイ装置、103 FDドライブ、104 FD、105 キーボード、106 マウス、107 CD−ROM装置、108 CD−ROM、109 ネットワーク通信装置、110 CPU、111 ROM、112 RAM、113 ハードディスク。
Claims (6)
- 生産ライン間に複数の搬送経路が設けられた生産ラインにおける製品の搬送を制御する生産制御装置であって、
生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を算出する搬送量算出手段と、
優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量が第1の判定値以下の場合には、当該製品の搬送経路を前記優先度一位の生産ライン間経路を経由する経路に決定し、
前記優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量が前記第1の判定値よりも大きい場合であって、前記優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量から他の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を差し引いた値が第2の判定値以上となる他の生産ライン間経路がある場合には、当該製品の搬送経路を前記他の生産ライン間経路の中で最も優先度が高い生産ライン間経路を経由する経路に決定し、
前記優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量が前記第1の判定値よりも大きい場合であって、前記優先度一位の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量から他の生産ライン間経路に割当てられた製品の搬送量を差し引いた値が第2の判定値以上となる他の生産ライン間経路がない場合には、当該製品の搬送経路を前記優先度一位の生産ライン間経路を経由する経路に決定する搬送経路決定手段とを含む、生産制御装置。 - 前記第2の判定値は、優先度一位の生産ライン間経路と優先度一位以外の生産ライン間経路との組み合わせごとに設定される、請求項1記載の生産制御装置。
- 前記生産制御装置はさらに、全搬送の平均搬送時間が最小となるように前記第1の判定値および前記第2の判定値を決定する制御パラメータ決定手段を含む、請求項1または2記載の生産制御装置。
- 前記制御パラメータ決定手段は、全搬送の平均搬送時間を算出する目的関数と、生産ライン間経路における製品の搬送量、前記第1の判定値および前記第2の判定値が満たすべき制約式とから、最適化手法を用いて前記第1の判定値および前記第2の判定値を決定する、請求項3記載の生産制御装置。
- 前記生産制御装置はさらに、全搬送の平均搬送時間と目標搬送時間との差が最小となるように前記第1の判定値および前記第2の判定値を決定する制御パラメータ決定手段を含む、請求項1または2記載の生産制御装置。
- 前記制御パラメータ決定手段は、全搬送の平均搬送時間から目標搬送時間を差し引いた値を算出する目的関数と、生産ライン間経路における製品の搬送量、前記第1の判定値および前記第2の判定値が満たすべき制約式とから、最適化手法を用いて前記第1の判定値および前記第2の判定値を決定する、請求項5記載の生産制御装置。
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JP2008084094A JP2009237965A (ja) | 2008-03-27 | 2008-03-27 | 生産制御装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2023231376A1 (zh) * | 2022-06-01 | 2023-12-07 | 浙江衣拿智能科技股份有限公司 | 一种烘干运载系统的控制方法、装置及电子设备 |
-
2008
- 2008-03-27 JP JP2008084094A patent/JP2009237965A/ja not_active Withdrawn
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