JP2009217193A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 所定の軸まわりに回動可能に構成された、反射面を備えるミラーと、
   前記ミラーの前記反射面の裏面に形成された窪みと、
   前記ミラーの前記窪みに固定された磁石と、
   を有し、
   前記磁石は、前記磁石の側面に形成された接着剤により前記ミラーに接合されている、
   光偏向器。
2. 基板のミラーとなる部位の裏面に窪みを形成する工程と、
   前記基板の前記窪みに磁石を固定する工程と、
   を有し、
   前記基板の前記窪みに磁石を固定する工程は、
   前記基板の前記窪みに磁石を載置する工程と、
   前記磁石の外縁における前記基板の裏面上に接着剤を塗布して、前記基板の裏面と前記磁石の側面とを接合する工程と、
   を有する光偏向器の製造方法。
3. 基板の両面に所定のパターンをもつマスクを形成する工程と、
   前記マスクを用いて前記基板を両面からエッチングすることにより、前記基板をミラー形状に加工する工程と、をさらに有し、
   前記基板をミラー形状に加工する工程と同時に、前記窪みを形成する、
   請求項２記載の光偏向器の製造方法。
4. 光源と、
   前記光源からの光を走査する光偏向器と、
   を備え、
   前記光偏向器は、
   所定の軸まわりに回動可能に構成された、反射面を備えるミラーと、
   前記ミラーの前記反射面の裏面に形成された窪みと、
   前記ミラーの前記窪みに固定された磁石と、
   を有し、
   前記磁石は、前記磁石の側面に形成された接着剤により前記ミラーに接合されている、表示装置。