JP2009212320A - 荷電粒子線装置、および、変位検出回路 - Google Patents
荷電粒子線装置、および、変位検出回路 Download PDFInfo
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Abstract
荷電粒子線が照射される位置の安定性を容易に評価することができる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子線をスキャンして試料から生じる二次粒子を検出する検出器と、検出器で検出した二次粒子に基づいてディスプレイへ試料の画像を表示する荷電粒子線装置において、ディスプレイ上に、試料の荷電粒子線によるスキャン画像,試料上の荷電粒子線の照射位置の変動を示す時刻歴波形、時刻歴波形のパワースペクトルのうちのいずれか2つ以上を表示させる構成とする。
【選択図】図1
Description
2 電子線
3 電子光学鏡筒
4 対物レンズ
5 偏向レンズ
6 試料
7 コンソール
8 ディスプレイ
9 ステージ
10 ヘテロダイン干渉計
11 ウィンドウ
12 画像
13 時刻歴波形
14 パワースペクトル
15 パターンエッジ
16 検出器
17 アンプ
18 画像処理装置
19 ローパスフィルタ
20 FFT
21 基準信号
22 測定信号
23 カウンタA
24 カウンタB
25 減算器
26 位相差検出器
27 位相シフタ
28 セレクタ
29 アナログスイッチ
30 ゲート
31 ローパスフィルタ
32 カウンタC
Claims (5)
- 荷電粒子線をスキャンして試料から生じる二次粒子を検出する検出器と、該検出器で検出した二次粒子に基づいてディスプレイへ前記試料の画像を表示する荷電粒子線装置において、前記ディスプレイ上に、前記試料の前記荷電粒子線によるスキャン画像、前記試料上の前記荷電粒子線の照射位置の変動を示す時刻歴波形、該時刻歴波形のパワースペクトルのうちのいずれか2つ以上を表示させることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1の記載において、前記検出器の後段にローパスフィルタを有することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線をスキャンして試料から生じる二次粒子を検出する検出器と、該検出器で検出した二次粒子に基づいてディスプレイへ前記試料の画像を表示する荷電粒子線装置において、前記試料を搭載するステージの位置を計測するヘテロダイン干渉計を備え、前記ディスプレイ上に、前記試料の荷電粒子線によるスキャン画像、前記試料上の前記荷電粒子線の照射位置の変動を示す第1の時刻歴波形、前記ステージの位置を示す第2の時刻歴波形、前記第1の時刻歴波形のパワースペクトル、前記第2の時刻歴波形のパワースペクトルのうちのいずれか2つ以上を表示させることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項3の記載において、前記ヘテロダイン干渉計の基準信号と測定信号のそれぞれの光ビート回数をカウントするデジタルカウンタ、前記基準信号と前記測定信号の差分をとる減算器、前記基準信号の波形の位相をシフトさせる位相シフト回路、該位相シフト回路で位相シフトされた位相シフト信号の波形から特定の1つの信号波形を選択するスイッチ回路、前記基準信号と前記測定信号との位相差を検出するゲート、該ゲートの出力からヘテロダイン周波数の信号を取り除くローパスフィルタを有する変位検出回路を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
- ヘテロダイン干渉計、該ヘテロダイン干渉計の基準信号と測定信号のそれぞれの光ビート回数をカウントするデジタルカウンタ、前記基準信号と前記測定信号の差分をとる減算器、前記基準信号の波形の位相をシフトさせる位相シフト回路、該位相シフト回路で位相シフトされた位相シフト信号の波形から特定の1つの信号波形を選択するスイッチ回路、前記基準信号と前記測定信号との位相差を検出するゲート、該ゲートの出力からヘテロダイン周波数の信号を取り除くローパスフィルタを有することを特徴とする変位検出回路。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010047073A1 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 回路パターン検査装置,回路パターン検査装置を含む管理システム、および回路パターンの検査方法 |
US11735395B2 (en) | 2020-07-31 | 2023-08-22 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam device and method of measuring electrical noise |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10106469A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-04-24 | Toshiba Corp | 非点収差補正方法及び非点収差補正装置 |
JPH1116815A (ja) * | 1997-06-24 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | 電子線描画方法および電子線描画装置 |
JP2000205814A (ja) * | 1999-01-08 | 2000-07-28 | Agilent Technol Inc | ヘテロダイン干渉計 |
JP2003022771A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
JP2004077223A (ja) * | 2002-08-13 | 2004-03-11 | Nikon Corp | 光ヘテロダイン干渉計 |
JP2007258749A (ja) * | 2002-11-27 | 2007-10-04 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4339303A1 (de) | 1993-11-18 | 1995-05-24 | Bosch Gmbh Robert | Phasenmeßvorrichtung |
JP4178741B2 (ja) * | 2000-11-02 | 2008-11-12 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線装置および試料作製装置 |
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US7057739B2 (en) * | 2002-02-12 | 2006-06-06 | Zygo Corporation | Separated beam multiple degree of freedom interferometer |
KR100545294B1 (ko) * | 2002-05-10 | 2006-01-24 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 장치, 디바이스 제조방법, 성능측정방법,캘리브레이션 방법 및 컴퓨터 프로그램 |
JP4801427B2 (ja) * | 2005-01-04 | 2011-10-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン形状評価方法 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10106469A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-04-24 | Toshiba Corp | 非点収差補正方法及び非点収差補正装置 |
JPH1116815A (ja) * | 1997-06-24 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | 電子線描画方法および電子線描画装置 |
JP2000205814A (ja) * | 1999-01-08 | 2000-07-28 | Agilent Technol Inc | ヘテロダイン干渉計 |
JP2003022771A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
JP2004077223A (ja) * | 2002-08-13 | 2004-03-11 | Nikon Corp | 光ヘテロダイン干渉計 |
JP2007258749A (ja) * | 2002-11-27 | 2007-10-04 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010047073A1 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 回路パターン検査装置,回路パターン検査装置を含む管理システム、および回路パターンの検査方法 |
US8565509B2 (en) | 2008-10-24 | 2013-10-22 | Hitachi High-Technologies Corporation | Circuit pattern inspecting apparatus, management system including circuit pattern inspecting apparatus, and method for inspecting circuit pattern |
US11735395B2 (en) | 2020-07-31 | 2023-08-22 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam device and method of measuring electrical noise |
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