JP2009211760A - 薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】１つの特性検査装置にＨＧＡを１つずつ投入して前記ＨＧＡの薄膜磁気ヘッド素子の特性を検査する場合よりも低コストでスループットを向上させることができ、かつ、ＨＧＡの最終検査よりも前に薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することの可能な、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１ホルダ１３０によりローバー２０を磁気メディア１１０に接触させた状態に保持しつつ、ローラ１５０Ａ，１５０Ｂの回転により磁気メディア１１０をローバー２０に対して相対的に直線移動させながら、各薄膜磁気ヘッド素子２１のライト素子によって磁気メディア１１０に検査用信号を記録し、これを読み取りセンサ１４０で再生した結果に基づいて検査ユニット１７０が各薄膜磁気ヘッド素子２１の特性を評価する。
【選択図】図１

Description

本発明は、ハードディスクドライブ等に用いられる薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法及び装置に関する。

薄膜磁気ヘッド素子は、対を成すライト素子とリード素子で構成される。図９は、薄膜磁気ヘッド素子の構成を例示する断面図である。薄膜磁気ヘッド素子２１において、ライト素子３１は、コイル３２に流れる電流から電磁誘導により発生する磁界によって信号を磁気ディスク５０に記録する。リード素子４１は、磁気抵抗素子(ＭＲ素子４２)で磁気ディスク５０上の磁界の向きを検出することによって信号を再生する。

図１０は、薄膜磁気ヘッド素子の形成されたスライダの例示的な斜視図である。本図に示されるように、薄膜磁気ヘッド素子２１は電極２２とともにスライダ２の端部に位置する。図１１は、スライダの製造方法の概念的説明図である。スライダを製造する際にはまず、ウェハ上に多数の薄膜磁気ヘッド素子を形成し、それを棒状に切断する（図１１(Ａ)→(Ｂ)）。この棒状のものがローバーである。そしてローバーをさらに個片に切断することでスライダが得られる（図１１(Ｂ)→(Ｃ)）。１本のローバーから一般的に約８０個のスライダが得られる。すなわち、１本のローバーには約８０個の薄膜磁気ヘッド素子が存在する。

スライダは、図１２(Ａ)，(Ｂ)に例示のように、ＨＧＡ(Head Gimbal Assembly)の一部を成す。すなわち、スライダ２は、ロードビーム３及びフレキシャ５を有するサスペンション７（ジンバル）に組み付けられる。ロードビーム３は、金属製の板バネからなり、先端部にはフレキシャ５側に突出したディンプル１１が形成されている。ロードビーム３及びフレキシャ５は、先端部を除いて例えば溶接されて一体化され、サスペンション７を成す。フレキシャ５は、本体部５ａと、長方形状のタング５ｂとを有する。タング５ｂは、本体部５ａ先端側の辺のみが本体部５ａに接続され、その他の辺は切断されている。タング５ｂの背面はディンプル１１によって付勢（押圧）され、タング５ｂはロードビーム３と略平行となる。スライダ２は、タング５ｂ上に固定され、タング５ｂを介してディンプル１１に付勢されて実際の記録・再生において最適な姿勢が保たれる。

ハードディスクドライブ（以下「ＨＤＤ」）では、高速回転する磁気ディスクとＨＧＡのスライダとが非接触の状態で信号が磁気ディスクに記録され、また信号が磁気ディスクから再生される。ＨＧＡの最終検査は、実際のＨＤＤに対する記録・再生と同じような状況を作り出して行う必要がある。これは例えば動特性検査といわれる。ＨＧＡの動特性検査に関しては種々の方法が提案されており、一般的には、ＨＧＡによる擬似メディアへのデータの記録（書込み）及び再生（読出し）の結果をオリジナルデータと比較して、出力レベルやビット欠落などを基にＨＧＡの特性が評価される。

ＨＧＡの特性を検査する装置としては、例えば下記特許文献１に記載されたものが知られている。
特開２００２−３７３４７６号公報

ＨＧＡの最終検査は上記のとおり実際のＨＤＤに対する記録・再生と同じような状況を作り出して行う必要があるため、１つの特性検査装置にＨＧＡを１つずつ投入しなければならず、スループットの点で不利である。これを改善するために特性検査装置の台数を増やすと、コスト増大という問題がある。また、ＨＧＡが最終検査をパスしないと、サスペンション等の高価なパーツも廃棄しなければならず、結果的にコスト増大につながる。したがって、最終検査段階での不良品発生率は可能な限り低いことが望ましい。そこで検討すると、ＨＧＡが最終検査をパスしない原因の１つとして、薄膜磁気ヘッド素子の不良が考えられる。薄膜磁気ヘッド素子の不良はさらに、ライト素子の不良とリード素子の不良に分けられる。

ここで、リード素子については、外部磁界を与えることで特性(静特性)を得ることが可能なため、スライダ以降の工程のみならずローバーやウェハの状態で静特性検査を行うことができる。このため、リード素子が不良の薄膜磁気ヘッド素子を有するスライダは早い段階において比較的高い確率で除外することが可能である。つまり、ＨＧＡの最終検査の際にリード素子が不良である確率は比較的低い。

一方、ライト素子についてはリード素子のような静特性検査はできず、またライト素子の特性を検査する際にはディスクと薄膜磁気ヘッド素子とのギャップを高精度で管理する必要があるため、ＨＧＡの最終検査よりも前の工程でライト素子の検査をするのは困難といえる。このため、ライト素子についてはＨＧＡの最終検査だけで良否判定をせざるを得ないのが現状である。したがって、ＨＧＡの最終検査の際に不良のライト素子が存在する確率はリード素子の場合と比較して高い。

このような問題は、垂直磁気記録方式ではより顕著となる。というのも、垂直磁気記録方式では水平磁気記録方式よりも記録密度が大きい（エネルギー分布が狭い）ため、薄膜磁気ヘッド素子の歩留まりが悪いからである。また、垂直磁気記録方式ではライト素子の特性を検査する際にディスクと薄膜磁気ヘッド素子とのギャップをナノメートル単位で管理する必要があり、ＨＧＡの最終検査よりも前の工程でライト素子の検査をするのは水平磁気記録方式の場合よりもさらに困難である。なお、水平磁気記録方式であっても垂直磁気記録方式であっても再生原理（読込み原理）は同じため、リード素子については上記の理由からＨＧＡの最終検査に不良品が残る確率は比較的低い。

本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、１つの特性検査装置にＨＧＡを１つずつ投入して前記ＨＧＡの薄膜磁気ヘッド素子の特性を検査する場合よりも低コストでスループットを向上させることができ、かつ、ＨＧＡの最終検査よりも前に薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することの可能な、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法及び装置を提供することにある。

本発明の第１の態様は、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法である。この方法は、
可撓性又は柔軟性のある磁気メディアと、
１対のライト素子とリード素子を有する薄膜磁気ヘッド素子が複数個１列に整列して一体とされ、個片に切断することで１つの薄膜磁気ヘッド素子をそれぞれ有する複数のスライダとなるローバーとを用い、
前記ローバーを前記磁気メディアに接触させた状態で前記磁気メディアを前記ローバーに対して相対的に移動させながら、前記薄膜磁気ヘッド素子のライト素子によって前記磁気メディアのトラックに所定の信号を記録する記録工程と、
前記記録工程によって記録された前記所定の信号を、前記トラックをリード素子で横切りながら前記リード素子で再生する再生工程と、
前記再生工程における再生結果に基づいて前記薄膜磁気ヘッド素子の特性を評価する評価工程とを有する。

第１の態様の特性検査方法において、前記再生工程にて前記トラックを前記リード素子が横切るときの移動方向と、前記トラックの記録方向との成す角度が、０°を超え９０°以下の鋭角であってもよい。

第１の態様の特性検査方法において、前記再生工程にて前記トラックを前記リード素子が横切るときの移動方向と、前記トラックの記録方向との成す角度が、３０°以上６０°以下であってもよい。

第１の態様の特性検査方法において、前記記録工程は、複数の薄膜磁気ヘッド素子のライト素子によって前記磁気メディアの別々のトラックに所定の信号を記録するものであるとよい。

この場合、前記再生工程は、前記複数の薄膜磁気ヘッド素子のリード素子によって、各トラックに記録された前記所定の信号を再生するものであるとよい。

第１の態様の特性検査方法において、前記再生工程は、前記所定の信号が記録されたトラックから、当該トラックへの記録を実行したライト素子と対を成すリード素子によって前記所定の信号を再生するものであるとよい。

第１の態様の特性検査方法において、複数の薄膜磁気ヘッド素子の各リード素子とは別の読み取りセンサをさらに用い、前記再生工程における再生を実行するリード素子を前記読み取りセンサとしてもよい。

本発明の第２の態様は、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置である。この装置は、
可撓性又は柔軟性のある磁気メディアと、
１対のライト素子とリード素子を有する薄膜磁気ヘッド素子が複数個１列に整列して一体とされ、個片に切断することで１つの薄膜磁気ヘッド素子をそれぞれ有する複数のスライダとなるローバーを、前記磁気メディアに接触可能に保持する保持手段と、
前記磁気メディアを前記ローバーに対して相対的に移動させる第１移動手段と、
前記保持手段によって前記ローバーが前記磁気メディアに接触保持されている状態で前記第１移動手段によって前記磁気メディアを前記ローバーに対して相対的に移動させながら前記薄膜磁気ヘッド素子のライト素子によって前記磁気メディアのトラックに記録した所定の信号を、前記トラックをリード素子で横切りながら前記リード素子で再生した結果に基づいて、前記薄膜磁気ヘッド素子の特性を評価する検査ユニットとを備える。

第２の態様の特性検査装置において、前記トラックを前記リード素子が横切るときの移動方向と、前記トラックの記録方向との成す角度が、０°を超え９０°以下の鋭角であってもよい。

第２の態様の特性検査装置において、前記トラックを前記リード素子が横切るときの移動方向と、前記トラックの記録方向との成す角度が、３０°以上６０°以下であってもよい。

第２の態様の特性検査装置において、複数の薄膜磁気ヘッド素子のライト素子による所定の信号の記録が前記磁気メディアの別々のトラックに行われるとよい。

この場合、前記複数の薄膜磁気ヘッド素子のリード素子による前記所定の信号の再生が各トラックについて行われるとよい。

第２の態様の特性検査装置において、前記所定の信号が記録されたトラックから、当該トラックへの記録を実行したライト素子と対を成すリード素子によって前記所定の信号を再生するとよい。

第２の態様の特性検査装置において、当該装置はさらに、複数の薄膜磁気ヘッド素子の各リード素子とは別に設けれらた読み取りセンサと、前記読み取りセンサを前記磁気メディアに対して相対移動する第２移動手段とを備え、
前記第２移動手段によって前記トラックを横切るように相対移動されながら前記読み取りセンサが前記所定の信号を再生するとよい。

なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現をシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。

本発明によれば、可撓性又は柔軟性のある磁気メディアにローバーを接触させた状態で薄膜磁気ヘッド素子のライト素子によって前記磁気メディアに所定の信号を記録し、それを読み取りセンサで再生した結果に基づいて前記薄膜磁気ヘッド素子の特性を評価するので、磁気メディアと薄膜磁気ヘッド素子とのギャップの管理が不要となり、これにより、複数の薄膜磁気ヘッド素子が一体となっているローバーの状態で薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することが可能となる。したがって、１つの特性検査装置にＨＧＡを１つずつ投入して前記ＨＧＡの薄膜磁気ヘッド素子の特性を検査する場合よりも低コストでスループットを向上させることができ、かつ、ＨＧＡの最終検査よりも前に薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することが可能となる。

以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。

図１は、本発明の実施の形態に係る特性検査装置１００の構成を例示する概念的斜視図である。特性検査装置１００は、磁気メディア１１０と、保持手段の例示である第１ホルダ１３０と、読み取りセンサ１４０と、第１移動手段の例示である一対のローラ１５０Ａ，１５０Ｂと、第２移動手段の例示である第２ホルダ１６０と、検査ユニット１７０とを備える。

磁気メディア１１０は、可撓性又は柔軟性のあるもので、例えば磁気テープを用いることができる。第１ホルダ１３０は、少なくとも上下方向（磁気メディア１１０との距離が変化する方向）に移動可能であり、例えば真空吸着や機械的チャックにより、ローバー２０を磁気メディア１１０に接触可能に保持する。ローバー２０は、１対のライト素子とリード素子を有する薄膜磁気ヘッド素子２１が複数個１列に整列して一体とされ、個片に切断することで１つの薄膜磁気ヘッド素子２１をそれぞれ有する複数のスライダとなるものである。

第２ホルダ１６０は、図示しない移動軸に取り付けられて少なくとも磁気メディア１１０の各トラックを横切る方向（図中、Ｙ方向。例えばローラ１５０Ａ，１５０Ｂの軸方向）と上下方向に移動可能であり、読み取りセンサ１４０を磁気メディア１１０に接触可能かつ各トラックを横切る方向に移動自在に保持する。

磁気メディア１１０が巻掛けられた一対のローラ１５０Ａ，１５０Ｂは、モータ等の駆動手段（図示せず）によって回転され、これにより磁気メディア１１０をローバー２０及び読み取りセンサ１４０に対して相対的に直線移動させる。直線移動の方向は好ましくはローバー２０の長手方向に垂直な方向（図中、Ｘ方向）とする。検査ユニット１７０は、ローバー２０の各薄膜磁気ヘッド素子２１から磁気メディア１１０に記録した所定の信号（検査用信号）の再生結果に基づいて各薄膜磁気ヘッド素子２１の特性を評価する。図２に拡大して示されるように、各薄膜磁気ヘッド素子２１に対応する電極２２に検査ユニット１７０のプローブ１７１が接している。プローブ１７１は第１ホルダ１３０側にて機械的に支持される。

（動作態様１）
図３は、図１に示される特性検査装置１００による薄膜磁気ヘッド素子の特性検査の流れ（動作態様１）を示す概念的手順説明図である。以下、図１も参照しながら説明する。

・記録工程… 第１ホルダ１３０によりローバー２０を磁気メディア１１０に接触させた状態に保持しつつ、ローラ１５０Ａ，１５０Ｂの回転により磁気メディア１１０をローバー２０に対して相対的に直線移動（図３ではＸの正方向に直線移動）させながら、各薄膜磁気ヘッド素子２１のライト素子によって磁気メディア１１０の別々のトラックに検査用信号を所定の長さ（例えば数ｃｍ）だけ記録する（図３(Ａ)→(Ｂ)）。各ライト素子による記録は好ましくは同時に行う。

・再生工程… 記録工程による記録後、第２ホルダ１６０により読み取りセンサ１４０を磁気メディア１１０に接触させた状態に保持して各トラックを横切るように移動させながら、読み取りセンサ１４０によって各トラックから検査用信号を部分的に再生する（図３(Ｃ)，(Ｄ)）。ここで、読み取りセンサ１４０が各トラックを横切る際の移動方向は各トラックの記録方向と略垂直とし、好ましくは移動速度は等速直線運動とする。なお、読み取りセンサ１４０で再生した信号は適宜メモリ（不図示）に記憶してもよい。

・評価工程… 再生工程における再生の結果に基づいて各薄膜磁気ヘッド素子２１の特性を評価する。具体的には、例えば、薄膜磁気ヘッド素子２１のライト素子によって記録された信号の物理的幅（以下「トラック幅」とも表記）を再生信号から導出し、それを基準値と比較した結果を基に特性を評価する。

（動作態様２）
図４は、図１に示される特性検査装置１００による薄膜磁気ヘッド素子の特性検査の流れ（動作態様２）を示す概念的手順説明図である。動作態様２は、動作態様１と比較して、読み取りセンサ１４０が各トラックを横切る際の移動方向が各トラックの記録方向と所定の角度θ（θ＜９０°）を成している点で相違し、その他の点で一致している。図５に比較して示されるように、動作態様２は動作態様１と比較して長い領域を読み取れていることが分かる。角度θは鋭角とする。あるいは角度θは、３０°≦θ≦６０°とする。６０°以下とするのは、読み取り距離を大きくする効果を必要量確保するためであり、３０°以上とするのは、機構的な限界を考慮したものである。

（動作態様３）
図６は、図１に示される特性検査装置１００による薄膜磁気ヘッド素子の特性検査の流れ（動作態様３）を示す概念的手順説明図である。動作態様３は、記録工程と評価工程に関しては動作態様１と同様である一方、動作態様１と異なり、再生工程における再生を薄膜磁気ヘッド素子２１の各リード素子４１が実行する。ここで、図１に示される第１ホルダ１３０は、図示しない移動軸に取り付けられて磁気メディア１１０の各トラックを横切るように移動可能であるものとする。なお、この場合は図１に示される読み取りセンサ１４０及び第２ホルダ１６０は不要である。以下、詳細に説明する。

図６(Ａ)，(Ｂ)の記録工程による記録後、ローラ１５０Ａ，１５０Ｂの回転により磁気メディア１１０を記録時と逆方向（図中、Ｘの負方向）に移動させて記録時よりも短い距離（例えば記録時の半分程度）戻すとともに、ホルダ１３０の移動によりローバー２０を各トラックの記録方向と略垂直（図中、Ｙの負方向）に１トラック分だけ移動させる（図６(Ｃ)）。その後、ホルダ１３０の逆方向への移動によりローバー２０を各トラックの記録方向と略垂直（図中、Ｙの正方向）に１トラック分だけ移動させて各薄膜磁気ヘッド素子２１のリード素子４１で別々の１トラックを横切りながらそのトラックから検査用信号を部分的に再生する（図６(Ｄ)）。再生時の移動速度は好ましくは等速直線運動とする。なお、記録工程の後からリード素子による再生の前までの間は、ホルダ１３０を上方向に移動して磁気メディア１１０とローバー２０との接触状態を解除してもよい。この場合、リード素子による再生開始前にホルダ１３０を下方向に移動して磁気メディア１１０とローバー２０とを接触状態に保持する。

（動作態様４）
図７は、図１に示される特性検査装置１００による薄膜磁気ヘッド素子の特性検査の流れ（動作態様４）を示す概念的手順説明図である。動作態様４は、動作態様３と比較して、各薄膜磁気ヘッド素子２１のリード素子がトラックを横切る際の移動方向が各トラックの記録方向と所定の角度θ（θ＜９０°）を成している点で相違し、その他の点で一致している。角度θの範囲は、動作態様２の場合と同様に定められる。

本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。

(1) 可撓性又は柔軟性のある磁気メディア１１０にローバー２０を接触させた状態で各薄膜磁気ヘッド素子２１のライト素子によって磁気メディア１１０に所定の信号（検査用信号）を記録し、それを読み取りセンサ１４０で再生した結果に基づいて各薄膜磁気ヘッド素子２１の特性を評価するので、磁気メディア１１０と薄膜磁気ヘッド素子２１とのギャップの管理が不要となる。これにより、複数の薄膜磁気ヘッド素子が一体となっているローバーの状態で各薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することが可能となる。

(2) したがって、薄膜磁気ヘッド素子の特性を１つの特性検査装置につき１つずつの割合で検査する場合よりも低コストでスループットを向上させることができ、効率がよい。すなわち、本実施の形態で説明した検査は、新たに追加しても他の工程との関係でボトルネックにならず、導入しやすい。

(3) さらに、ＨＧＡの最終検査よりも前に薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することが可能となるため、記録特性が不良の薄膜磁気ヘッド素子を早い段階で除外することができ、ＨＧＡの最終検査時に記録特性が不良の薄膜磁気ヘッド素子が残っている確率を減らすことができる。すなわち、記録特性が不良の薄膜磁気ヘッド素子のためにサスペンション等の高価なパーツを廃棄する無駄が少なくなるため、コスト低減の点でも有利である。

(4) 可撓性又は柔軟性のある磁気メディア１１０を用いているので、装置機構に起因する誤差やローバー２０の反りの影響を吸収することができ、第１ホルダ１３０によってローバー２０を磁気メディア１１０に確実に接触させて保持することが可能となる。したがって、各薄膜磁気ヘッド素子２１のライト素子から安定した信号の記録（書込み）を行うことができ、検査の信頼性が高い。なお、検査のためにローバー２０と磁気メディア１１０とが接触して相対移動する距離は小さいため（例えば数ｃｍ）、検査のために薄膜磁気ヘッド素子２１が損傷等するリスクはほとんどなく、また磁気メディア１１０の劣化も少ない。

(5) 上記動作態様１及び２の場合、各トラックに記録された検査用信号を同じ読み取りセンサ１４０で再生するので、トラックごとの再生品質が一定となり、記録特性の検査（ライト素子の検査）としての信頼性が高められる。

(6) 上記動作態様３及び４の場合、各トラックに記録された検査用信号を各薄膜磁気ヘッド素子２１のリード素子で再生するので、各リード素子で各トラックの検査用信号を同時に再生することができて効率が良い。

(7) 上記動作態様２及び４の場合、リード素子で各トラックを垂直に横切る場合よりも長い領域を読み取れるため、トラック幅を精度良く導出できる。また、再生波形中にパルス的なオーバーシュートやアンダーシュートがあった場合に、それを見逃す可能性を低めることができる。

以下、本実施の形態の特性検査装置１００の具体的構成を説明する。

図８は、図１に示される特性検査装置１００の具体的な構成を例示する斜視図である。本図では、ローバー２０の供給から検査、排出までを自動的に行う場合の構成を例示している。

筐体２０１は、上面が特性検査装置１００の作業スペースを成す。制御盤２０５は、筐体２０１に内蔵され、特性検査装置１００全体の動作を統括して制御する。カバー２０６は磁気メディアを保護するためのものであり、図１の磁気メディア１１０と、ローラ１５０Ａ，１５０Ｂと、読み取りセンサ１４０と、第２ホルダ１６０とがカバー２０６で囲まれている。供給部２１０は、順次供給される未検査のローバー２０を第１ホルダ１３０の下方に移送する。第１ホルダ１３０は移動軸２１５（Ｘ軸）に沿って横方向に移動可能であり、また、自身の内蔵する移動機構により上下方向に移動可能である。排出部２２０は、検査済みのローバー２０を外部に移送する。モニタ２０７は、検査結果や装置全体の状況を使用者に知らせるためのものである。

図８の装置の流れを説明すると、まず、第１ホルダ１３０は、供給部２１０によって移送されてきた未検査のローバー２０を保持し、移動軸２１５に沿って磁気メディア（カバー２０６内）の上方まで右方向に移動して下降する（カバー２０６の上側開口からローバー２０を磁気メディアに接触させて保持する）。この状態で上述の記録工程から再生工程までが行われる。再生工程が済むと、上述の評価工程が行われるとともに、第１ホルダ１３０は上昇し、移動軸２１５に沿って排出部２２０の上方まで右方向に移動してローバー２０を排出する。

以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各工程には請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。

実施の形態ではローラ１５０Ａ，１５０Ｂの回転によって磁気メディア１１０をローバー２０に対して相対的に直線移動させる場合を説明したが、変形例では第１ホルダ１３０がＸ軸方向に直線移動することで磁気メディア１１０をローバー２０に対して相対的に直線移動させてもよい。また、ローラ１５０Ａ，１５０Ｂに替えて磁気メディア１１０を所定の張力を以って固定する保持手段を設け、それを直線運動ガイドに取り付けてボールネジ等を介してモータによってローバー２０に対して相対的に直線移動をさせてもよい。磁気メディア１１０とローバー２０のいずれを動かすかは装置設計の都合に合わせて適宜決定することができる。

実施の形態では磁気メディアをローバーに対して相対的に直線移動させたが、変形例では磁気メディアを可撓性又は柔軟性のある円盤状のものとし、ローバーを半径方向に配置し、磁気メディアを回転移動させる構成としてもよい。

実施の形態では各ライト素子による検査信号の記録を同時に行う場合を説明したが、変形例では全てのライト素子ではなく２以上の任意の数のライト素子による記録を同時に行ってもよい。あるいは、ライト素子が１つずつ順番に記録を行ってもよい。上記動作態様３及び４の場合のリード素子についても同様のことがいえる。

実施の形態ではローバーに含まれる各薄膜磁気ヘッド素子の特性を検査する場合を説明したが、変形例ではローバーに含まれる一部の薄膜磁気ヘッド素子の特性を検査するのみとしてもよい。また、ローバーに含まれる一部の薄膜磁気ヘッド素子について上記の記録工程から評価工程までを実行して特性を検査し、その後、ローバーに含まれる残りの薄膜磁気ヘッド素子について同様に特性を検査してもよい。

本発明の実施の形態に係る特性検査装置の構成を例示する概念的斜視図。 図１に示される特性検査装置の部分拡大図。 図１に示される特性検査装置による薄膜磁気ヘッド素子の特性検査の流れ（動作態様１）を示す概念的手順説明図。 図１に示される特性検査装置による薄膜磁気ヘッド素子の特性検査の流れ（動作態様２）を示す概念的手順説明図。 動作態様１（図３）及び動作態様２（図４）の場合の再生信号の比較図。 図１に示される特性検査装置による薄膜磁気ヘッド素子の特性検査の流れ（動作態様３）を示す概念的手順説明図。 図１に示される特性検査装置による薄膜磁気ヘッド素子の特性検査の流れ（動作態様４）を示す概念的手順説明図。 図１に示される特性検査装置の具体的な構成を例示する斜視図。 薄膜磁気ヘッド素子の構成を例示する断面図。 薄膜磁気ヘッド素子の形成されたスライダの例示的な斜視図。 スライダの製造方法の概念的説明図。 ＨＧＡの形状説明図であり、(Ａ)は側面図、(Ｂ)は底面図。

符号の説明

２０ ローバー
２１ 薄膜磁気ヘッド素子
２２ 電極
３１ ライト素子
４１ リード素子
１００ 薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置
１１０ 磁気メディア
１３０ 第１ホルダ
１４０ 読み取りセンサ
１５０Ａ，１５０Ｂ ローラ
１６０ 第２ホルダ
１７０ 検査ユニット
２０１ 筐体
２０５ 制御盤
２０６ カバー
２０７ モニタ
２１０ 供給部
２１５ 移動軸
２２０ 排出部

Claims (14)

1. 可撓性又は柔軟性のある磁気メディアと、
   １対のライト素子とリード素子を有する薄膜磁気ヘッド素子が複数個１列に整列して一体とされ、個片に切断することで１つの薄膜磁気ヘッド素子をそれぞれ有する複数のスライダとなるローバーとを用い、
   前記ローバーを前記磁気メディアに接触させた状態で前記磁気メディアを前記ローバーに対して相対的に移動させながら、前記薄膜磁気ヘッド素子のライト素子によって前記磁気メディアのトラックに所定の信号を記録する記録工程と、
   前記記録工程によって記録された前記所定の信号を、前記トラックをリード素子で横切りながら前記リード素子で再生する再生工程と、
   前記再生工程における再生結果に基づいて前記薄膜磁気ヘッド素子の特性を評価する評価工程とを有する、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
2. 請求項１に記載の特性検査方法において、前記再生工程にて前記トラックを前記リード素子が横切るときの移動方向と、前記トラックの記録方向との成す角度が、０°を超え９０°以下の鋭角である、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
3. 請求項１に記載の特性検査方法において、前記再生工程にて前記トラックを前記リード素子が横切るときの移動方向と、前記トラックの記録方向との成す角度が、３０°以上６０°以下である、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の特性検査方法において、前記記録工程は、複数の薄膜磁気ヘッド素子のライト素子によって前記磁気メディアの別々のトラックに所定の信号を記録するものである、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
5. 請求項４に記載の特性検査方法において、前記再生工程は、前記複数の薄膜磁気ヘッド素子のリード素子によって、各トラックに記録された前記所定の信号を再生するものである、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
6. 請求項１から５のいずれかに記載の特性検査方法において、前記再生工程は、前記所定の信号が記録されたトラックから、当該トラックへの記録を実行したライト素子と対を成すリード素子によって前記所定の信号を再生するものである、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
7. 請求項１から４のいずれかに記載の特性検査方法において、複数の薄膜磁気ヘッド素子の各リード素子とは別の読み取りセンサをさらに用い、前記再生工程における再生を実行するリード素子を前記読み取りセンサとしている、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
8. 可撓性又は柔軟性のある磁気メディアと、
   １対のライト素子とリード素子を有する薄膜磁気ヘッド素子が複数個１列に整列して一体とされ、個片に切断することで１つの薄膜磁気ヘッド素子をそれぞれ有する複数のスライダとなるローバーを、前記磁気メディアに接触可能に保持する保持手段と、
   前記磁気メディアを前記ローバーに対して相対的に移動させる第１移動手段と、
   前記保持手段によって前記ローバーが前記磁気メディアに接触保持されている状態で前記第１移動手段によって前記磁気メディアを前記ローバーに対して相対的に移動させながら前記薄膜磁気ヘッド素子のライト素子によって前記磁気メディアのトラックに記録した所定の信号を、前記トラックをリード素子で横切りながら前記リード素子で再生した結果に基づいて、前記薄膜磁気ヘッド素子の特性を評価する検査ユニットとを備える、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
9. 請求項８に記載の特性検査装置において、前記トラックを前記リード素子が横切るときの移動方向と、前記トラックの記録方向との成す角度が、０°を超え９０°以下の鋭角である、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
10. 請求項８に記載の特性検査装置において、前記トラックを前記リード素子が横切るときの移動方向と、前記トラックの記録方向との成す角度が、３０°以上６０°以下である、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
11. 請求項８から１０のいずれかに記載の特性検査装置において、複数の薄膜磁気ヘッド素子のライト素子による所定の信号の記録が前記磁気メディアの別々のトラックに行われる、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
12. 請求項１１に記載の特性検査装置において、前記複数の薄膜磁気ヘッド素子のリード素子による前記所定の信号の再生が各トラックについて行われる、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
13. 請求項８から１２のいずれかに記載の特性検査装置において、前記所定の信号が記録されたトラックから、当該トラックへの記録を実行したライト素子と対を成すリード素子によって前記所定の信号を再生する、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
14. 請求項８から１１のいずれかに記載の特性検査装置において、当該装置はさらに、複数の薄膜磁気ヘッド素子の各リード素子とは別に設けれらた読み取りセンサと、前記読み取りセンサを前記磁気メディアに対して相対移動する第２移動手段とを備え、
    前記第２移動手段によって前記トラックを横切るように相対移動されながら前記読み取りセンサが前記所定の信号を再生する、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。

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