JP2009200491A - 液浸紫外線フォトリソグラフィ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 液浸紫外線フォトリソグラフィ方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、193ナノメートルまたは157ナノメートルの紫外線フォトリソグラフィに関する。解像度を最大にするために、非常に高い開口数を有する光学系を用いるが、この高い開口数から最大の利益を得るのに十分な屈折率を有するフォトレジストを使用しない。標準レジスト(PR)を使用するが、投影光学系(OL)とフォトレジスト(PR)との間に浸漬液(LQ)があるにもかかわらず、入射角の非常に大きい光線が全反射する場合はエバネッセント波によって局所的に露光されるほど薄い厚さのものを使用することを提案する。
【選択図】 図1
【解決手段】 本発明は、193ナノメートルまたは157ナノメートルの紫外線フォトリソグラフィに関する。解像度を最大にするために、非常に高い開口数を有する光学系を用いるが、この高い開口数から最大の利益を得るのに十分な屈折率を有するフォトレジストを使用しない。標準レジスト(PR)を使用するが、投影光学系(OL)とフォトレジスト(PR)との間に浸漬液(LQ)があるにもかかわらず、入射角の非常に大きい光線が全反射する場合はエバネッセント波によって局所的に露光されるほど薄い厚さのものを使用することを提案する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、解像度が非常に高いフォトリソグラフィに関する。
現在、特に電子回路または光学回路の生産のために非常に狭小の設計形状を得るため、従来193ナノメートルまたは157ナノメートルでさえもある紫外線波長で動作するフォトリソグラフィ機器が使用されている。
より短い波長を用いるために試みがなされてきており、これにより、より小さい形状でさえも作ることが可能となっている。見込まれる波長は13.6ナノメートル(超紫外線)であるが、マスクの製造工程がより複雑になる。
このため、本目的は、従来の紫外線波長、特に193ナノメートルの波長(フッ化アルゴンエキシマレーザーによって得られる)を用いて解像度を最大にしようとすることである。
光学解像度の限界は、式d=kλ/NAによって得られる大きさdによって定まり、ここで、λは波長であり、NAは開口数であり、kは、特定の露光工程の技巧を考慮しない場合は1に近い補正因子であり、このような技巧を考慮する場合は0.3またはこれを下回りさえもすることもある。開口数NAはnsinθmに等しく、ここでnはUVが通過する最終の媒体の光学屈折率であり、θmは光学系が果たすことのできる最大角度である。
このため、解像度を改善する(つまり、大きさdを減少させる)方法の1つに、開口数NAを増大させることがある。しかし、エッチングする形状を定めるために、光学系が空中に配置された際、つまり、空気層が光学系と露光しようとするフォトリソグラフィレジストとの間に介在した際、開口数を増大させると問題が発生する。これは、開口数が1よりも大きい場合、光学系のガラス(または他のいかなる透明な材料)と空気との間の界面が、光学系の最終レンズからの入射角の大きい光線が空気に向かい、その後レジストに向かって出射するのを妨げる傾向があるためである。
このため、光学系の出射レンズは、光学系の開口数以上の屈折率のフォトリソグラフィレジストと直接接触して配置されることがある。この場合、入射角の大きい光線は、継続して光学系を出射しレジストを貫通する。しかし、産業用のフォトリソグラフィを実行しようとする場合、光学系をレジストに直接接触させて配置することは問題を生じさせることを理解する必要がある。広い領域を接触させるのは困難であり、レジスト層にも光学系の最終レンズの表面にさえもダメージを与える危険がある。
これが、従来技術において、レンズと露光するフォトリソグラフィレジストとの間に浸漬液と呼ばれる液体を介在させることが考えられてきた理由である。レジストを露光するために、入射角の大きい光線が光学系を出射してレジストを貫通できるように、この浸漬液が使用する波長で透明であることだけでなく、この波長において光学系の開口数の値よりも高い屈折率を有することも必要である。浸漬液の屈折率が光学系の開口数よりも低いことがあると、入射角の大きい光線は最終レンズを出射しない。レジストの屈折率についても、開口数よりも高い必要がある。
このため、従来技術で、193nmまたは157nmの波長について、シリカを用いた約1.3の開口数を有する光学系と、初めは水であったが約1.54〜1.60の屈折率を有する液体に置き換えることを試みた浸漬流体と、可能な限り1.6〜1.75の可能な限り最高の屈折率を有するフォトレジストとを用いて実験を行った。
しかし、解像度をさらに改善することが求められる場合、特に非常に高い屈折率の(例えば、1.7よりも大きい開口数を得るために、2よりも大きい)レンズ材料を用いて、光学系の開口数を増大させる必要がある。このため、いずれも1.7よりも高い屈折率を有する浸漬液およびフォトレジストを有する必要があるために問題が生じる。
しかし、このような高い屈折率のフォトレジストを見つけるのは非常に困難である。
このような理由から、本発明は、レジストが光学系と直接接触することを回避するため、かつ光学系が空中または水中(不十分な屈折率を有する)にあることを回避するために高屈折率の透明浸漬液を用いるフォトリソグラフィ方法であって、フォトリソグラフィレジストが浸漬液の屈折率よりも低い屈折率を有し、かつ非常に薄い厚さを有するように用意されることにより、入射角の大きい光線については、レジストを、レジスト内の屈折した光線によってではなく、これらの入射角の大きい光線がこれらの入射角とレジストの屈折率に対する液体の屈折率の比とにより全反射を遂げる位置で界面に存在するエバネッセント波によって、その全体の厚さにかけて露光するフォトリソグラフィ方法を用いることを提案する。
用語「フォトリソグラフィレジスト」とは、実際のレジスト自体を意味するか、または存在する場合「トップコート」と呼ばれる薄い保護膜によって被覆されたレジストを意味するものと理解される。
そして、レジストの厚さは、露光波長の0.1倍から0.5倍であることが好ましい。
このため、本発明は、高屈折率(1.7よりも高いことが好ましい)を有する固体投影レンズを含む、高い開口数(1.7以上)を有する投影光学系を介した紫外線ビームによる1.7以下の屈折率を有するフォトレジストの露光を含む、基板に成膜した層にエッチング形状を作るためのフォトリソグラフィ方法において、使用する波長で透明である浸漬液の層がレンズとフォトレジストとの間に介在し、この波長における液の屈折率が光学系の開口数以上であることを特徴とし、かつ浸漬液の屈折率がレジストの屈折率よりも高く、レジストの厚さが露光ビームの波長の約0.1倍から0.5倍であることを特徴とするフォトリソグラフィ方法を提供する。
最大角の光線(光学系の開口数の値を考慮に入れた)についてのエバネッセント波がこのような薄い厚さにかけてレジストに存在し、これを露光する。
このため、この方法の効力により、極端に高い屈折率のレジストを開発する必要がなくなり、いずれかを劣化させる危険のあるレンズとレジストとの直接接触も必要なくなる。
本発明の他の特徴となる特色および利点は、添付の図面を参照して示した以下の詳細な説明を読解することにより明らかになる。
図1は、193nmであることが好ましいが157nmでもあり得る波長の紫外線で動作する像投影光学系OLを概略的に示したものである。像は、この波長で反応するフォトレジストPRを露光することが意図される。レジストは、平らな基板Sに堆積された被エッチング層に堆積されている。
図1は、検討を容易にするため、一定の率で縮尺したものではない。
示した例では、基板Sに堆積された層は、被エッチング層Cと、エッチング作業に役立つ第1の層M1と、これもまたエッチング作業に役立つ第2の層M2との積層を含むと考える。この積層の理由は後述する。フォトレジストPRは積層に堆積され、このため第2の層M2に堆積されている。
光学系OLは、従来、多数のレンズ(図示せず)を含み、極力高い開口数を有しており、実用では、使用する波長において透明である十分な屈折率の固体材料を用いて、1.7以上の開口数を得ることが求められている。
典型では、1.7から1.8までの開口数の光学系を得るために、193ナノメートルの波長で2.15の屈折率の透明材料、つまり、立方晶系構造のルテチウムアルミニウムガーネットを用いることが可能である。光学系OLの最終レンズはこの材料で作られる。
これらの光学系は、光学系にもレジストにもダメージを与えないように、フォトレジスト層に直接には接触しない。空気は屈折率が低すぎることから(約1)入射角の大きい光線が光学系OLを出射するのを防げるため、光学系がこのレジストから空気層によって離間しているのでもない。
このため、浸漬液LQが、光学系OLの最終レンズのガラスとフォトレジストとの間に介在している。この浸漬液は極力透明である必要があり、これにより十分に透明でない一般のケースでは非常に薄い膜として配置される。見込まれる液体層の厚さのオーダーは数十ミクロンであるが、この厚さは、問題の波長における液体の光学吸収係数が高すぎる場合1ミクロンを下回る厚さに減少することもある。液体は、光学系OLの開口数以上の屈折率、つまり、示した例では1.7または1.8よりも大きい屈折率を有する必要がある。
以下の液体は、浸漬液として用いられ得る。
−SnCl・2H2O/グリセリン混合物:可視光線では1.76の屈折率で、193nmの紫外線では屈折率がより高い(約1.95)。
−CH2I2:可視光線では1.738の屈折率で、193nmの紫外線では屈折率がより高い(約1.93)。
−ヨウ化ナトリウムまたはヨウ化セシウム:可視光線では1.7〜1.8の屈折率で、193nmの紫外線では屈折率がより高い(約2)。
−三臭化ヒ素、またはセレン化合物存在下の三臭化ヒ素およびジスルフィドヒ素をベースとした混合物:可視光線では2.1の屈折率で、193nmの紫外線では屈折率がより高い(約2.3)(例えば、米カーギル社(Cargille)のシリーズHおよびシリーズEH)。
−SnCl・2H2O/グリセリン混合物:可視光線では1.76の屈折率で、193nmの紫外線では屈折率がより高い(約1.95)。
−CH2I2:可視光線では1.738の屈折率で、193nmの紫外線では屈折率がより高い(約1.93)。
−ヨウ化ナトリウムまたはヨウ化セシウム:可視光線では1.7〜1.8の屈折率で、193nmの紫外線では屈折率がより高い(約2)。
−三臭化ヒ素、またはセレン化合物存在下の三臭化ヒ素およびジスルフィドヒ素をベースとした混合物:可視光線では2.1の屈折率で、193nmの紫外線では屈折率がより高い(約2.3)(例えば、米カーギル社(Cargille)のシリーズHおよびシリーズEH)。
吸収作用がわずかではないために厚さが非常に薄いときのみ十分に透明であるこれらの液体には、最大50ミクロン、好ましくは100ナノメートルよりも薄い液体厚さを用いる。
フォトレジストPRは、光学系の開口数よりも高い必要のある屈折率を有する。
不運なことに、開口数が非常に高い場合にこのような屈折率を有する産業上利用可能なフォトレジストは、未だ見つかっていない。
図2は、適度の入射角の光線が光学系を出射して浸漬液を貫通した際(図2a)、および入射角の非常に大きい光線が光学系を出射して浸漬液を貫通した際(図2b)に起こることを示している。第1のケース(図2a)では、光線はレジストを貫通し、その全深さにかけて露光できている。第2のケース(図2b)では、光線は浸漬液/レジストの界面で全反射し、レジストが露光されていない。
しかし、理論では、第2のケースでは、電磁光波と異なる屈折率の2つの層の界面との相互作用が、浸漬液を出射すると伝播する全反射波を作るだけでなく、伝播せず界面のすぐ近くにとどまる定常波をも作ることが示されている。この波はエバネッセント波と呼ばれ、その特有の特徴は、界面下の深さとともに非常に急速に減少する振幅を有することである。
本発明は、浸漬液とレジストとの界面で全反射する入射光線についてでさえもエバネッセント波によって露光することが可能な非常に薄い厚さをフォトレジストにもたらすことを提案する。本発明では、使用する紫外線波長の0.1倍から0.5倍のレジストの厚さを選択する。このため、入射角の非常に大きい光線が全反射することによる劣化を起こすことなく、非常に高い開口数を有する投影光学系を用いることによりもたらされる解像度の全ての利益が得られる。
これにより、光学系の開口数よりも低い屈折率を有する標準のフォトレジストを用いて、これを波長の0.1倍から0.5倍までの厚さとすることで、最大入射角の光線でさえもレジストをその全深さにかけて露光するのに使用可能であることがわかった。
図2と同様の図3は、適度の入射角の光線のケース(図3a)および非常に大きい入射角を有する光線のケース(図3b)で起こることを示している。第1のケースでは、レジストは、屈折した後にレジストを伝播する光波によって露光されている。第2のケースでは、レジストは、固有エネルギーを有するエバネッセント波によって露光されている。
このように紫外線に露光されたレジストはその後、レジストがポジレジストであるかネガレジストであるかによって露光されていない部分または露光された部分を除去するために現像される。現像により、エッチング形状を定めるレジスト領域が残る。これらの領域は、下層を保護している。レジストよりも急速に下層をエッチングする選択エッチング液が、レジストの下の形状をエッチングするのに用いられる。
しかし、使用するレジストが非常に薄い厚さ(例えば、20〜100ナノメートル)であると、従来の数百ナノメートルの厚さであるときよりも、エッチング液に耐えるのが非常に困難であることが理解される。これが、数層の下層に形状を継続的に転写することによりエッチングするのが望ましい理由である。
これが、図1が積層された層C、M1、M2によって被覆された基板Sを示している理由であり、層Cはレジストを露光することにより定められた形状に最後にエッチングされる層であり、層M1および層M2はエッチング作業中に使用する中間マスキング層である。
薄い層M2は初めにエッチングされ、その後この層は層M1をエッチングするためのエッチングマスクとして用いられ、その後層M1(または、M1とM2との組み合わせ)は層M1の下に位置する層Cをエッチングするのに用いられる。
一例を挙げると、以下のマスキング層が用いられ得る。
−厚さが10〜20ナノメートルの酸化シリコン層M2
−「不活性層」と呼ばれる厚さが約100ナノメートルのアモルファスカーボン層M1
−厚さが10〜20ナノメートルの酸化シリコン層M2
−「不活性層」と呼ばれる厚さが約100ナノメートルのアモルファスカーボン層M1
レジスト層と層M2との間のエッチング選択性は、少なくとも3:5の比でなければならない(つまり、レジストのエッチングレートに対する層M2のエッチングレートの比)。以下に挙げた例では(厚さが10〜20ナノメートルの酸化シリコン層M2)、最大約5ナノメートルのレジストが酸化物をエッチングする際に消耗される。
層M2に関する酸化物のエッチング選択性が3より低い場合、エッチング外形の一定の劣化が認められるのであれば、エッチングはそれでもやはり続行可能であることを示し得る。これにより、層M2に転写された像は、露光後に現像されるレジスト形状の像よりもいわば不鮮明な像となる。
酸化層M2をマスキング層として用いてカーボン層M1をエッチングするために、高選択性を有するエッチング液、つまり、酸化物エッチングレートよりも少なくとも10倍高いカーボンエッチングレートを有するエッチング液を見つけるのは容易であり、これにより層M1は層M2よりも大幅に厚くなり得る。次に層Cをエッチングするために、十分に厚い層M1を有することが重要である。
フォトレジストPRの露光、特に、浸漬液との間の屈折率の差により与えられる限界角よりも大きい入射角を有する光線によって生じる露光に戻ると、理論上の計算により、エバネッセント波の強度が式、
I=e−z/P
で表され得ることが証明され得る。ここで、zは浸漬液/レジストの界面から始まるレジストの変更可能な深さであり、Pは深さに例えられ得る大きさであり、
P=λ/[4π(ne 2sin2θ−nr 2)1/2]
に等しい。ここで、λは波長であり、neは浸漬液の屈折率であり、nrはレジストの屈折率であり、θは全反射を遂げる光線の入射角である。
I=e−z/P
で表され得ることが証明され得る。ここで、zは浸漬液/レジストの界面から始まるレジストの変更可能な深さであり、Pは深さに例えられ得る大きさであり、
P=λ/[4π(ne 2sin2θ−nr 2)1/2]
に等しい。ここで、λは波長であり、neは浸漬液の屈折率であり、nrはレジストの屈折率であり、θは全反射を遂げる光線の入射角である。
例えば、液体の屈折率が2.1、レジストの屈折率が1.7、波長が193ナノメートル、入射角が60°である場合、強度Iは、I=e−0.042zとして表され、zはナノメートルであり、エバネッセント波のエネルギーが多く用いられ得る深さPは(深さPにおいて、エネルギーは界面直下にあるエネルギーよりも2.7倍小さい。)約25ナノメートルであり得る。これは、界面における強度よりも2.7倍低い強度で良好に照射できる場合、約25ナノメートルの厚さを有するレジスト層を用いることが可能であることを意味している。レジストの屈折率により近い液体の屈折率を選択すれば、大きさPは大幅に増大し得る。
レジストの厚さは、20〜60ナノメートルであることが好ましい。
浸漬液を用いたフォトリソグラフィ装置の一例が、米国特許出願公開第2006/0072088号明細書のもとで公開された特許出願に示されている。これは、本発明の状況で使用可能である。特に、これは、照明光学系の外面とエッチングを行うウェーハの表面との間に液体を注入するという、この液体を送るシステムを含む。用語「ウェーハの表面」は、ここでは、被エッチング層Cおよびマスキング層M1、M2のみでなくレジストPRによっても被覆された基板Sの表面を意味するものと理解される。光学系の外面とウェーハの表面との間の距離は50ミクロンよりも短いが、50ミクロンの厚さに対して浸漬液が十分に透明でない場合は、より大幅に短くてもよい(例えば、約100ナノメートル)。可能であれば、流体が均一に配されるようにウェーハ全体に送られる。
ウェーハは、露光が順次行われる際にウェーハを順次移動できる位置決めテーブルに配置される。
本発明による方法を用いるための1つの可能な手順は、流体を補充するか、または補充せずに、投影光学系とウェーハとの間の1ミリメートルのオーダーの厚さの浸漬液膜を維持しながら、ウェーハ上の隣接する2つのチップ間の間隔に応じたステップによりウェーハを移動させることからなり得る。次のチップが露光位置に到達すると、位置決めテーブルはウェーハ表面の平面を投影光学系によって形成された像平面に合わせる。ウェーハはその後、50ミクロン以下の予定の距離になるようにより近くに移動され、像は投影光学系による紫外線によって露光される。ウェーハを光学系の近くに移動する工程の間は、浸漬液の流入が中断されることがある。
テーブルはその後、再度1ミリメートルのオーダーの距離に降下され、新たなチップ露光のために工程が繰り返される。
別の可能な手順は、ウェーハの高さを第1の露光から正確に配置し、その後ウェーハをこの高さを変更することなくチップからチップへと順次移動させることからなり、この間に浸漬液を補充してもよく補充しなくてもよい。これは明らかに、ウェーハと光学系との間の選択された作業距離が、ウェーハの凹凸の先端が移動中に光学系を擦る危険を冒さないように十分にあるものと仮定する。このため、ウェーハの粗さを粗さ計測器によって事前に計測しておくのが好ましく、可能であれば、標準の工程を用いて処理されたウェーハの平面性よりも高い平面性を有するウェーハを用いることが好ましい。
本発明を用いることができるように、投影光学系OLによってもたらされる像がフォトレジストが配置される位置に形成される必要があり、このため、ウェーハと光学系との間の浸漬液で満たされた空間の高さに応じて光学系を設計する必要がある。側面が平行な平板を投影光学系の最終レンズの下方に追加してもよく、この平板の厚さは、像のずれは側面が平行な平板の厚さに比例するため、所定の投影光学系について形成された像の位置を調節するように選択される。
浸漬液の厚さを変更しなければならない場合、所望の変更に応じて像平面の位置を変更するための手段を設けることが好ましい。これらの手段は、機械によるものでもよく、空気作用によるものでもよく、電気によるものでもよい。
OL 投影光学系
LQ 浸漬液
PR フォトレジスト
M1 マスキング層
M2 マスキング層
C エッチング層
S 基板
LQ 浸漬液
PR フォトレジスト
M1 マスキング層
M2 マスキング層
C エッチング層
S 基板
Claims (6)
- 高屈折率(1.7より高いことが好ましい)を有する固体投影レンズを含む、高開口数(1.7以上)を有する投影光学系を介した紫外線光ビームによる1.7以下の屈折率を有するフォトレジストの露光を含む、基板に堆積した層にエッチング形状を作るためのフォトリソグラフィ方法において、使用する波長において透明である浸漬液の層がレンズとフォトレジストとの間に介在し、この波長における前記液の屈折率が光学系の開口数以上であることを特徴とし、かつ前記浸漬液の屈折率が前記レジストの屈折率よりも高く、前記レジストの厚さが前記露光ビームの波長の約0.1倍から0.5倍であることを特徴とするフォトリソグラフィ方法。
- 前記光ビームが、193ナノメートルまたは157ナノメートルの波長の紫外線ビームであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記レジストの表面が、露光中、前記投影光学系から100ナノメートル〜50ミクロン離れて配置されることを特徴とする請求項1および2のいずれか一項に記載の方法。
- 前記フォトレジストが、前記レジストの露光パターンに対応してエッチングされる層(C)に堆積された中間マスキング層(M1およびM2)に堆積されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のフォトリソグラフィ方法。
- 前記被エッチング層(C)に堆積された第1のマスキング層(M1)がアモルファスカーボン層であることを特徴とする請求項4に記載のフォトリソグラフィ方法。
- 前記第2のマスキング層(M2)が、10〜20ナノメートルの厚さの薄い酸化シリコン層であることを特徴とする請求項4および5のいずれか一項に記載のフォトリソグラフィ方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0800884A FR2927708A1 (fr) | 2008-02-19 | 2008-02-19 | Procede de photolithographie ultraviolette a immersion |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009200491A true JP2009200491A (ja) | 2009-09-03 |
Family
ID=39683582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009034743A Pending JP2009200491A (ja) | 2008-02-19 | 2009-02-18 | 液浸紫外線フォトリソグラフィ方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090208881A1 (ja) |
EP (1) | EP2093615A1 (ja) |
JP (1) | JP2009200491A (ja) |
FR (1) | FR2927708A1 (ja) |
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- 2009-01-27 EP EP09151389A patent/EP2093615A1/fr not_active Withdrawn
- 2009-01-27 US US12/360,203 patent/US20090208881A1/en not_active Abandoned
- 2009-02-18 JP JP2009034743A patent/JP2009200491A/ja active Pending
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---|---|
US20090208881A1 (en) | 2009-08-20 |
FR2927708A1 (fr) | 2009-08-21 |
EP2093615A1 (fr) | 2009-08-26 |
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