JP2009194799A - 弾性境界波デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、弾性境界波デバイスにおける電気特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、圧電基板1と、この圧電基板1の主面に設けられた櫛形電極3と、圧電基板1の主面上において櫛形電極3を覆うとともに、横波の伝播速度が圧電基板1より遅い第1の絶縁層2とを備えた弾性境界波デバイスにおいて、櫛形電極3と圧電基板1の間に横波の伝播速度が第1の絶縁層2の横波の伝播速度より遅い材料からなる第2の絶縁層5を設けたのである。
【選択図】図1
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、圧電基板1と、この圧電基板1の主面に設けられた櫛形電極3と、圧電基板1の主面上において櫛形電極3を覆うとともに、横波の伝播速度が圧電基板1より遅い第1の絶縁層2とを備えた弾性境界波デバイスにおいて、櫛形電極3と圧電基板1の間に横波の伝播速度が第1の絶縁層2の横波の伝播速度より遅い材料からなる第2の絶縁層5を設けたのである。
【選択図】図1
Description
本発明は、携帯電話等に用いられる弾性境界波デバイスに関するものである。
従来この種の弾性境界波デバイスは、図3に示すごとく、圧電基板1と第1の絶縁層2の積層構造体の境界面に櫛形電極3を配置した構造が知られている。
なお、この出願に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
国際公開第2004/095699号パンフレット
しかしながら、このような弾性境界波デバイスにおいては、圧電基板1の横波の伝播速度1aと第1の絶縁層2の横波の伝播速度2aとの差が大きく、SH型の境界波におけるメインモードの変位分布の理想状態である圧電基板1と第1の絶縁層2の界面に集中せず実線4で示すように第1の絶縁層2の側に偏ってしまい、弾性境界波デバイスにおける実効的な電気機械結合係数を劣化させ、結果的に弾性境界波デバイスの電気特性を劣化させていた。
そこで、本発明はこのような問題を解決し弾性境界波デバイスにおける電気特性の向上を目的とする。
そして、この目的を達成するために本発明は、圧電基板と、この圧電基板の主面に設けられた櫛形電極と、圧電基板の主面上において櫛形電極を覆うとともに、横波の伝播速度が圧電基板より遅い第1の絶縁層とを備えた弾性境界波デバイスにおいて、櫛形電極と圧電基板の間に横波の伝播速度が第1の絶縁層の横波の伝播速度より遅い材料からなる第2の絶縁層を設けたのである。
この構成により、弾性境界波デバイスにおける電気特性を向上させることが出来るのである。
以下、本発明の一実施の形態における弾性境界波デバイスについて図面を用いて説明する。なお、上述した従来の技術と同様の構成については同じ符号を付して説明する。
図1は弾性境界波デバイスの断面を模式的に示したものであり、その基本構成は圧電基板1の主面に弾性境界波を励振させる櫛形電極3を設け、この櫛形電極3を含む圧電基板1の主面上に第1の絶縁層2を設けた構成であり、櫛形電極3を用いたデバイスの回路構成としては共振子を直並に接続したラダー型フィルタ回路構成や、圧電基板1の伝播方向に並設された一対の反射器間に複数の櫛形電極3を配置した縦モード結合フィルタ回路などが挙げられる。
また、圧電基板1としてはニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウムなどの単結晶圧電体を所定のカット角で切り出した圧電基板1を用い、櫛形電極3は金やアルミニウムなどの導体材料により形成され、第1の絶縁層2としては酸化ケイ素や窒化ケイ素などの絶縁体材料により形成される。
そして、この弾性境界波デバイスにおいては、圧電基板1における櫛形電極3や第1の絶縁層2と接する主面に、横波の伝播速度5aが第1の絶縁層2における横波の伝播速度2aより遅い材料からなる第2の絶縁層5を配置したことにより、実効的な電気機械結合係数を増やすことができ、結果的に弾性境界波デバイスの電気特性を向上させることが出来るのである。
すなわち、弾性境界波デバイスにおける実効的な電気機械結合係数の劣化原因は、上述したごとく櫛形電極3を挟む圧電基板1と第1の絶縁層2における横波の伝播速度の差に起因して、弾性境界波が伝播速度の低い媒質中に集中するという特性があり破線4で示すように第1の絶縁層2の側に変位分布が偏ってしまうのであるが、圧電基板1と櫛形電極3との間の層に横波の伝播速度5aが第1の絶縁層2より遅い第2の絶縁層5を介在させることで変位分布の偏りを実線6で示すように圧電基板1と第1の絶縁層2との境界部分に近づけることが出来るので、結果的に実効的な電気機械結合係数を増やすことが出来るからである。なお、このように第1の絶縁層2及び圧電基板1より伝播速度が遅い材質としては二酸化テルルや五酸化タンタルが挙げられる。
また、第2の絶縁層5は圧電基板1と櫛形電極3との間に設けられるため、その厚みによっては圧電基板1の圧電特性に影響を及ぼすものであり、櫛形電極3のピッチにより決まる弾性境界波の波長をλとして第2の絶縁層5の厚みが0.05λより大きければ櫛形電極3による弾性境界波の励起効率が極端に低下し、これとは逆に第2の絶縁層5の厚みが0.001λより小さければ変位分布に対する影響力が小さくなることから、第2の絶縁層5の厚みは0.001λから0.05λの間に設定することが望ましい。
また、第2の絶縁層5を形成する手段としては、上述した二酸化テルルや五酸化タンタルといった圧電体とは異なる材料を用いる以外に、図2に示すように、圧電基板1の表面にドーパント層6を形成しこのドーパント層6を第2の絶縁層5と見なすことでも同様の効果を得ることが出来るのである。例えばニオブ酸リチウムの圧電基板1の表面にニオブなどのドーパント材をドープすることで横波の伝播速度が第1の絶縁層2より遅いドーパント層6を形成することが出来るのである。
なお、このドーパント層6の形成においては、圧電基板1の主面(第1の絶縁層2との当接面)に対してプロトン交換を実施し、ドーパント材をドープすることで基板主面部分の伝播速度を他の部分と異ならせることができるのである。
また、弾性境界波デバイスにおいて櫛形電極3はSH波をメインモードとして励振させるのであるが、他のモードとして圧電基板1の厚み方向に伝播するSV波も励振してしまい、この縦波が圧電基板1の対向面にて反射した反射波が弾性境界波デバイスの電気特性におけるリップルとなり現れ特性劣化の要因となる。
よって、上述したように圧電基板1の厚み方向で伝播速度の異なる領域の界面が明確であれば、この界面にてSV波が反射しより大きなリップルの発生につながるため、この実施形態においては、圧電基板1の厚み方向に対する伝播速度の分布を圧電基板1の主面側から対向面側に向けて連続的に劣化させることで、伝播速度が変化する界面をなくしSV波の反射を抑制し、リップルの発生を抑制した構成としている。
また、このように伝播速度分布を連続的に変化させるにあたっては、上述したドーパント層6におけるドーパント材の濃度分布を主面側から対向面側に向けて連続的に変化させることで実現することが出来るのである。
なお、SV波の影響としては櫛形電極3の上側、つまり第1の絶縁層2の側においても発生するものであり、この対策としては特に図示していないが第1の絶縁層2の上にシリコンゴムのような音響波を減衰させる機能を有するダンピング層を設けることで抑制でき、さらに第1の絶縁層2とダンピング層の界面に音響波を散乱させる細かな凹凸を設けることでさらに抑制することが出来るのである。
本発明の弾性境界波デバイスは、電気特性を向上させることができるという効果を有し、特に小型の電子機器に対応する弾性境界波デバイスにおいて有用である。
1 圧電基板
2 第1の絶縁層
3 櫛形電極
5 第2の絶縁層
6 ドーパント層
2 第1の絶縁層
3 櫛形電極
5 第2の絶縁層
6 ドーパント層
Claims (4)
- 圧電基板と、この圧電基板の主面に設けられ弾性境界波を励振させる櫛形電極と、前記圧電基板の主面上において前記櫛形電極を覆うとともに、横波の伝播速度が前記圧電基板より遅い第1の絶縁層とを備え、前記櫛形電極と前記圧電基板の間に横波の伝播速度が前記第1の絶縁層の横波の伝播速度より遅い材料からなる第2の絶縁層を設けたことを特徴とする弾性境界波デバイス。
- 第2の絶縁層を五酸化タンタル或いは二酸化テルルで形成したことを特徴とする請求項1に記載の弾性境界波デバイス。
- 圧電基板の主面にドーパント層を形成し、このドーパント層を第2の絶縁層としたことを特徴とする請求項1に記載の弾性境界波デバイス。
- 圧電基板の横波の伝播速度を主面側から対向面側に向けて連続的に変化させたことを特徴とする請求項3に記載の弾性境界波デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008035601A JP2009194799A (ja) | 2008-02-18 | 2008-02-18 | 弾性境界波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008035601A JP2009194799A (ja) | 2008-02-18 | 2008-02-18 | 弾性境界波デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009194799A true JP2009194799A (ja) | 2009-08-27 |
Family
ID=41076378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008035601A Pending JP2009194799A (ja) | 2008-02-18 | 2008-02-18 | 弾性境界波デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009194799A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011024821A1 (ja) | 2009-08-25 | 2011-03-03 | 旭硝子株式会社 | 放電ランプ用電極およびその製造方法 |
-
2008
- 2008-02-18 JP JP2008035601A patent/JP2009194799A/ja active Pending
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WO2011024821A1 (ja) | 2009-08-25 | 2011-03-03 | 旭硝子株式会社 | 放電ランプ用電極およびその製造方法 |
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