JP2009192260A - 電圧プローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の電圧プローブは、計測端子と、前記計測端子に電気的に接続され且つ筐体内に収容された抵抗器と、前記抵抗器に電気的に接続された出力端子とを備え、前記抵抗器は、前記筐体内において絶縁性の液相冷媒に浸漬されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
高電圧電源の電圧を精度良く制御するには、高電圧を高精度で計測するための高電圧プローブが必要である。高電圧プローブの出力信号によってフィードバック制御を行うため、高電圧電源システムの安定性は、最終的にプローブの到達精度によって決定される。高電圧において100ppmまたはそれより良い安定性の電源を製作することは、加速器のみならず、他の分野に於いても重要な課題である。
以下、本発明の種々の実施形態を例示する。
ここで例示した種々の実施形態は、互いに組み合わせることができる。
まず、本実施形態の電圧プローブ1の構成について説明する。
本実施形態の電圧プローブ1は、計測端子2と、計測端子2に電気的に接続され且つ筐体3内に収容された抵抗器5と、抵抗器5に電気的に接続された出力端子7とを備える。抵抗器5は、筐体3内において絶縁性の液相冷媒9に浸漬されている。
筐体3は、導電体棒11を収容する空間を有し且つセラミック材料(例:アルミナセラミック)からなる絶縁ブッシング13と、絶縁ブッシング13の先端にロウ付けされ且つ導電体棒11にロウ付け又は溶接された第1金属リング15と、絶縁ブッシング13の側面にロウ付けされた第2金属リング17と、一端が第2金属リング17にロウ付け又は溶接され且つ他端にフランジ19が設けられた胴体円筒(例:ステンレス製)21と、胴体円筒21のフランジ19に固定されたフランジ蓋23とを備えている。この構成の筐体3では、セラミック材料からなる絶縁ブッシング13に対して金属リングを介して胴体円筒21がロウ付け又は溶接によって固定されているので、絶縁ブッシング13と胴体円筒21との間からの液相冷媒9のリークが防止される。
次に、本実施形態の電圧プローブ1の製造方法について説明する。以下に示す方法は、一例であって、本実施形態の電圧プローブ1は別の方法で形成してもよい。
次に、本実施形態の電圧プローブ1の使用方法について説明する。
電圧プローブ1は、通常、出力端子7とGNDとの間に抵抗器47を配置した状態で利用される。高電圧側の抵抗器5の抵抗値をR1、低電圧側の抵抗器47の抵抗値をR2とすると、計測端子2から入力される入力電圧V1と出力端子7から出力される出力電圧V2との間には以下の関係が成り立つ。
V2=V1・{R2/(R1+R2)}
Claims (4)
- 計測端子と、前記計測端子に電気的に接続され且つ筐体内に収容された抵抗器と、前記抵抗器に電気的に接続された出力端子とを備え、
前記抵抗器は、前記筐体内において絶縁性の液相冷媒に浸漬されていることを特徴とする電圧プローブ。 - 一端が前記計測端子である導電体棒をさらに備え、前記導電体棒の他端は、前記抵抗器に電気的に接続され、
前記筐体は、前記導電体棒を収容する空間を有し且つセラミック材料からなる絶縁ブッシングと、前記絶縁ブッシングの先端にロウ付けされ且つ前記導電体棒にロウ付け又は溶接された第1金属リングと、前記絶縁ブッシングの側面にロウ付けされた第2金属リングと、一端が第2金属リングにロウ付け又は溶接され且つ他端にフランジが設けられた胴体円筒と、前記胴体円筒の前記フランジに固定されたフランジ蓋とを備える請求項1に記載のプローブ。 - 前記液相冷媒を冷却する冷却部をさらに備える請求項1又は2に記載のプローブ。
- 前記冷却部は、前記筐体内部に配置されたらせん状の冷却パイプを備える請求項3に記載のプローブ。
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