JP2009182018A - エキスパンド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のエキスパンド装置は、正逆方向に回転可能な駆動用モータMと、複数組の雄ネジ部6a及び雌ネジ部6bの自転可能な一方と前記駆動用モータMとを連動連結すると共に周方向に回転可能に配設した環状の動力伝達部材9と、回転テーブル2の回転をロックする回転テーブルロック機構11と、前記雄ネジ部6a又は雌ネジ部6bの自転をロックする自転ロック機構13とを備える。
【選択図】図1
Description
まず、図10に示すように、固定部材100の上に、リングフレーム800に周縁が固定されたウェーハシート900を載置する。ウェーハシート900の上には、ダイサ(ダイヤモンドホイール)などで格子状に切断された複数の半導体チップAが接着されている。
図1は、本発明に係るエキスパンド装置の第1実施形態示す断面図である。図1に示すように、本発明のエキスパンド装置は、エキスパンド装置本体1の上部に水平状に配設された回転テーブル2と、この回転テーブル2に固定された環状の固定部材3と、昇降可能に設けた環状の加圧部材4と、前記回転テーブル2をその周方向に回転させると共に加圧部材4を昇降させるための駆動機構5等を備える。
図6に示すように、リングフレーム15に周縁が固定されたウェーハシート16を、図示しない搬送装置で搬送して固定部材3の上に載置する。ウェーハシート16は伸縮性のシート材から成り、その上面には複数(又は多数)の半導体チップAが接着してある。
3 固定部材
4 加圧部材
6a 雄ネジ部
6b 雌ネジ部
7 駆動ギア
8 従動ギア
9 リングギア
9a 第1歯列
9b 第2歯列
11 回転テーブルロック機構
13 自転ロック機構
15 リングフレーム
16 ウェーハシート
A 半導体チップ
M 駆動用モータ
Claims (6)
- 回転テーブルに固定された環状の固定部材と、前記固定部材の外径よりも大きい内径を有する環状の加圧部材とを備え、
互いに進退可能に螺合した複数組の雄ネジ部及び雌ネジ部によって前記回転テーブルと前記加圧部材を連結して、前記加圧部材を前記固定部材に対して接近離間するように構成し、
リングフレームに周縁が固定されると共に複数の電子部品を接着した伸縮性のシート材を、前記加圧部材によって前記固定部材へ押し付けて前記シート材を引き伸ばして前記電子部品相互間を拡大させるエキスパンド装置において、
正逆方向に回転可能な駆動用モータと、前記各組の雄ネジ部及び雌ネジ部の自転可能な一方と前記駆動用モータとを連動連結すると共に周方向に回転可能に配設した環状の動力伝達部材と、前記回転テーブルの回転をロックする回転テーブルロック機構と、前記雄ネジ部又は雌ネジ部の自転をロックする自転ロック機構とを備えたことを特徴とするエキスパンド装置。 - 前記正逆方向に回転可能な駆動用モータに連結した駆動ギアと、前記各組の雄ネジ部及び雌ネジ部の自転可能な一方に配設した複数の従動ギアを備え、前記環状の動力伝達部材を、前記駆動ギアが噛合する第1歯列と前記複数の従動ギアが噛合する第2歯列をそれぞれ周方向に形成したリングギアで構成した請求項1に記載のエキスパンド装置。
- 前記リングギアの外周面及び内周面の一方に前記第1歯列を形成し、他方に前記第2歯列を形成した請求項2に記載のエキスパンド装置。
- 前記リングギアの外周面又は内周面に前記第1歯列及び第2歯列を並設した請求項2に記載のエキスパンド装置。
- 前記リングギアの外周面又は内周面に前記第2歯列を形成し、前記リングギアの上面又は下面に前記第1歯列を形成した請求項2に記載のエキスパンド装置。
- 前記リングギアを、自己潤滑性を有する樹脂で構成した請求項2から5のいずれか1項に記載のエキスパンド装置。
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CN113644036A (zh) * | 2021-10-14 | 2021-11-12 | 江苏汉威电子材料有限公司 | 一种电子封装绝缘组件 |
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JPH11150089A (ja) * | 1997-11-19 | 1999-06-02 | Shibaura Mechatronics Corp | ウエハシート引伸ばし装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11150089A (ja) * | 1997-11-19 | 1999-06-02 | Shibaura Mechatronics Corp | ウエハシート引伸ばし装置 |
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CN113644036A (zh) * | 2021-10-14 | 2021-11-12 | 江苏汉威电子材料有限公司 | 一种电子封装绝缘组件 |
CN113644036B (zh) * | 2021-10-14 | 2021-12-21 | 江苏汉威电子材料有限公司 | 一种电子封装绝缘组件 |
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