JP2009172733A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基板を搭載可能なハンドと、水平方向において互いに回転可能に連結され、前記ハンドを先端で支持する複数のアームと、前記複数のアームの基端部に設けられ、前記複数のアームを回転させる駆動部と、を備え、
   前記アームが、前記駆動部からの回転動作を伝達する伝達機構と、前記伝達機構を収容するアームケースと、前記伝達機構を覆うように前記アームケースの上面に装着されるアームカバーと、によって構成された水平多関節ロボットにおいて、
   前記アームカバーが、前記アームケースが延在する方向に複数分割された複数のアームカバーからなることを特徴とする水平多関節ロボット。
2. 前記複数のアームカバーは互いに隣接する部分において、水平方向で対向する部分に水平方向に離間する隙間が形成されていることを特徴とする請求項１記載の水平多関節ロボット。
3. 前記水平方向に離間する隙間は、前記基板の輻射熱によって前記アームカバーが加温されて膨張しても、前記複数のアームカバーが互いに接触しない程度の距離を有していることを特徴とする請求項２記載の水平多関節ロボット。
4. 前記互いに隣接する部分において、上面から見て互いに折り重なる部分が形成されていることを特徴とする請求項２または３記載の水平多関節ロボット。
5. 前記折り重なる部分において、垂直方向で対向する部分に垂直方向に離間する隙間がさらに形成されていることを特徴とする請求項４記載の水平多関節ロボット。
6. 前記複数のアームが、基端が前記駆動部に回転自在に連結された第１アームと、基端が前記第１アームの先端上部に回転自在に連結された第２アームと、前記第２アームの他端上に回転自在に連結され、前記ハンドを固定する第３アームと、から構成され、
   前記第２アームのアームカバーのみが、前記第２アームが延在する方向に複数分割されることを特徴とする請求項１記載の水平多関節ロボット。
7. 前記ハンドが、同一形状の第１ハンドと第２ハンドとから構成され、前記第１ハンドと前記第２ハンドとが前記第３アームの回転中心において１８０°対向するように設けられたことを特徴とする請求項６記載の水平多関節ロボット。
8. 請求項１乃至７いずれかに記載の水平多関節ロボットを搭載したことを特徴とする製造装置。