JP2009170381A - 除電装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】放電針に印加された直流高電圧を、効率よく有効に使用することができるようにする。
【解決手段】 この発明の除電装置1は、直流高電圧でのコロナ放電により発生させたプラスイオンおよびマイナスイオンにより、除電対象表面に帯電している正負静電気を中和することで除電する装置であり、プラスイオンを生成するプラス電極部2と、マイナスイオンを生成するマイナス電極部3と、プラス電極部2およびマイナス電極部3が交互に配列された除電装置本体4と、除電装置本体4に設けられ、プラス電極部2とマイナス電極部3との間を仕切り、双方間での電気的漏洩を防止する漏洩防止用間仕切りと、を備えることを特徴としている。
【選択図】図1
【解決手段】 この発明の除電装置1は、直流高電圧でのコロナ放電により発生させたプラスイオンおよびマイナスイオンにより、除電対象表面に帯電している正負静電気を中和することで除電する装置であり、プラスイオンを生成するプラス電極部2と、マイナスイオンを生成するマイナス電極部3と、プラス電極部2およびマイナス電極部3が交互に配列された除電装置本体4と、除電装置本体4に設けられ、プラス電極部2とマイナス電極部3との間を仕切り、双方間での電気的漏洩を防止する漏洩防止用間仕切りと、を備えることを特徴としている。
【選択図】図1
Description
この発明は、直流電圧によるコロナ放電により発生させたプラスイオンおよびマイナスイオンにより、除電対象物表面に帯電している正負静電気を中和することで除電する除電装置に関するものである。
従来、針状の放電電極に直流高電圧を印加してプラスイオンとマイナスイオンとを発生させ、帯電している除電対象物にそのイオンを照射して静電気を中和する、コロナ放電による除電装置が知られている(例えば、下記の特許文献1参照)。
特開2006−339935号公報
上記の除電対象物として、例えば、液晶基板製造等に用いられる板状で大型のガラス基板が挙げられる。このガラス基板はその製造工程で帯電しやすく、帯電すると、静電気力によって浮遊粒子が付着したり静電気放電が生じたりして、基板上に形成される素子の断線や短絡、画像素子の視覚欠陥等を招き、歩留まりを低下させてしまう。
このため、除電装置を用い、コロナ放電により発生したプラスイオンとマイナスイオンとを、除電対象物表面に照射し、帯電している正負静電気を中和するようにしている。
しかし、上記の除電装置は、プラスイオンを生成するプラス電極部と、マイナスイオンを生成するマイナス電極部とが順に1枚のプレートに配列され、隣り合う電極部は互いに電気極性が逆になっている。このため、各電極部の周辺に形成される電磁場同士が互いに干渉し合い、プラス電極部からマイナス電極部に向けて沿面放電(沿面パス)が生じている。また、各電極部は、その先端の放電針から下方に向けてイオンを照射するだけでなく、電極部全体からもイオンを発生しているため、プレート上では、隣り合う電極部からの、電気極性が逆のイオン同士が結合し無駄になっている。
また、発生したイオンが電極ホルダ内周壁表面(電極室)の帯電に使用され、この点からも発生したイオンが無駄に消費されていることも分かった。
このように、従来の除電装置では、放電針に印加された直流高電圧が、必ずしも効率良く消費されていないことが分かってきた。
この発明は上記に鑑み提案されたもので、放電針に印加された直流高電圧を、効率よく有効に使用することができる除電装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、直流高電圧でのコロナ放電により発生させたプラスイオンおよびマイナスイオンにより、除電対象表面に帯電している正負静電気を中和することで除電する除電装置において、上記プラスイオンを生成するプラス電極部と、上記マイナスイオンを生成するマイナス電極部と、上記プラス電極部およびマイナス電極部が交互に配列された除電装置本体と、上記除電装置本体に設けられ、プラス電極部とマイナス電極部との間を仕切り、双方間での電気的漏洩を防止する漏洩防止用間仕切りと、を備えることを特徴としている。
また、請求項2に記載の発明は、上記した請求項1に記載の発明において、上記プラス電極部を構成するプラス電極室、および上記マイナス電極部を構成するマイナス電極室の各内周面を空隙を保って覆い、各電極室内に設けられた放電針から生成されたイオンを反射する反射面を備えるようにしたものである。
また、請求項3に記載の発明は、上記した請求項2に記載の発明において、上記反射面が薄膜状の絶縁材からなるものである。
この発明では、除電装置本体にプラス電極部とマイナス電極部との間に間仕切りを設けたので、双方間での電気的漏洩を確実に低減、防止することができ、各電極部に印加された直流高電圧を、効率よく有効に使用することができるようになる。
また、プラス電極部を構成するプラス電極室、およびマイナス電極部を構成するマイナス電極室の各内周面を空隙を保って覆い、各電極室内に設けられた放電電極(放電針)から生成されたイオンを反射する反射面(被覆部材)を備えるようにした。反射面を設けることで、発生したイオンが電極室の帯電のために無駄に使用されるのを防止することができ、また除電対象物に向けてイオンを効果的に反射することができる。したがって、無駄な電気消費を抑制することができ、放電電極に印加された直流高電圧を、効率よく有効に使用することができるようになる。
以下にこの発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1はこの発明の除電装置の全体構成を示す図であり、(a)は側面図、(b)は正面図、(c)は底面図である。図2は電極ホルダを示す図で、(a)は正面図、(b)は電極室の要部構成を示す縦断面図である。図3は電極配列室の斜視図、図4は電装室の概略の構成を示すブロック図である。
この発明の除電装置1は、直流高電圧でのコロナ放電により発生させたプラスイオンおよびマイナスイオンにより、除電対象物表面に帯電している正負静電気を中和することで除電する装置であり、プラスイオンを生成するプラス電極部2と、マイナスイオンを生成するマイナス電極部3と、そのプラス電極部2およびマイナス電極部3が交互に配列された除電装置本体4とを備えている。
プラス電極部2およびマイナス電極部3は、電極ホルダ5を共通の部品として備えている。この電極ホルダ5の構成を図2を用いて説明すると、電極ホルダ5は、絶縁材(例えばABS樹脂等の高分子材料)で形成され、下向きに凹状に開口している電極室51と、その上部に形成された係合部52と、平面視中央に固定されている放電針(放電電極)50とを有し、放電針50の上端部分50aは電極ホルダ5の上端面5aから少しだけ突き出し、下端部分(先端部分)50bは、電極室51内部の上面(天井面)51aから下方に突き出した状態で固定されている。
電極室51には、薄膜状の絶縁材(例えばABS樹脂材等の高分子材料)からなり下向きに凹状に開口している被覆部材53が緩入され、その被覆部材(反射面)53によって、電極室51内部の上面51aと側周面51bとが、所定の空隙を保持した状態で覆われている。電極室51への被覆部材53の固定は、例えば電極室51の上面51aの数カ所に塗布された接着剤9に被覆部材53の上面が接触して固着されるようになっている。
除電装置本体4は、図1(b)に示すように、下側の電極配列室4a、および上側の電装室4bに分けられている。
下側の電極配列室4aの構成を図3を用いて説明すると、電極配列室4aは、上面が開口した細長い箱状体41の内部に構築されている。箱状体41は、樹脂材等の絶縁材で形成され、箱状体41内部の底面41aには、その幅方向両サイドに沿って、プラス電源コード2aとマイナス電源コード3aとが配線されている。
また、箱状体41の底面41aには、略円筒状の電極収容部4sが順に配置され、その電極収容部4sの近傍には配線留め具48が設けられている。電極収容部4sには、上記の電極ホルダ5が下方から挿入され、電極収容部4sの内周に形成されている係止部(図示省略)に電極ホルダ5の係合部52が係着されるようになっている。電極収容部4sに固定された電極ホルダ5の上面から放電針50の上端部分50aが少しだけ突き出しており、この上端部分50aと配線留め具48との間に通電板49が載架される。この通電板49は、各電源コード2a,3aから配線留め具48まで延出した引き出し線Lとともにネジ404でねじ止めされ、このねじ止めにより、通電板49は放電針50の上端部分50aに強く押しつけられる。
このようにして、プラス電源コード2aに接続された電極ホルダ5の放電針50には、プラスの直流高電圧が供給され、その電極ホルダ5はプラス電極部2として機能する。一方、マイナス電源コード3aに接続された電極ホルダ5の放電針50には、マイナスの直流高電圧が供給され、その電極ホルダ5はマイナス電極部3として機能する。
箱状体41の底面41a上の両電源コード2a,3aの少し内側には、長手方向の隔壁401が立設され、またプラス電極部2とマイナス電極部3との間には、幅方向の隔壁402がそれぞれ立設されている。これらの隔壁401,402も、絶縁材からなり、プラス電極部2とマイナス電極部3との間を仕切り、双方間での電気的漏洩を防止する漏洩防止用間仕切り400となっている。
隔壁401は、長手方向に間隔を開けて配置され、電源コード2a,3aの引き出し線Lが、それに対応する配線留め具48まで入り込めるようになっている。また、幅方向の隔壁402は、長手方向の隔壁401同士の間に配置され、隔壁401,402によって、両電極部2,3の間に平面視四角形の部屋403が構成されている。
また、底面41aに列状に配置されたプラス電極部2とマイナス電極部3との中間位置(部屋403の中央位置に相当)には、空気を下方に向けて噴出させる噴出口45が形成されている。
この箱状体41の開口している上面には、図1(b)に示すように、細長い板状の絶縁材からなる蓋体6が被せられ、また箱状体41の全体には、側面視逆U字状の細長いカバー7が上から被せられている。このカバー7は導電体である金属(例えばアルミニウム材)によって形成され、絶縁体である樹脂製の箱状体41と蓋体6とを覆っている。
このカバー7には、図1(b)に示すように、表示および操作パネル70が設けられ、この表示および操作パネル70は、電源スイッチや、除電装置1の各種動作状態を表示する表示部を備えている。また、直流高電圧の出力モード、すなわち直流高電圧を常時出力するか、あるいはパルス波として出力するか、パルス波として出力するときは、1,5,15,30Hzの何れの周期で出力するかといった、5段階の出力モードを選択する操作ボタン等を備えている。
カバー7の長手方向両端には、樹脂製の側板8a,8bが冠着され、これによって除電装置本体4の全体が構成される。
一方の側板8aの下部にはエア吹き込み口80が設けられ、このエア吹き込み口80から、上記の電極配列室4aに圧縮空気が導入され、その圧縮空気は、ほぼ密閉された状態となっている電極配列室4aに流入し、底面41aの噴出口45から下方に向けて噴出する。この圧縮空気には、フィルターを通過して塵埃等が除去されたものが使用される。
他方の側板8bの上部にはコネクタ81が設けられ、交流100V電源を電装室4bに接続し供給している。
上記の箱状体41と蓋体6とによって、除電装置本体4の下側の電極配列室4aが区画され、またカバー7と蓋体6とが形成する空間が、除電装置本体4の上側の電装室4bとなる。
上側の電装室4bの概略の構成を図4を用いて説明すると、電装室4bには、蓋体6上に配置された基板(図示省略)によって電気制御部100が構築されている。この電気制御部100は、交流100V(ボルト)の電源を直流24Vに変換する交流直流変換部101と、その直流24Vを最大7.5kV程度まで増幅する電圧増幅部102と、その増幅された直流高電圧を出力する出力部103とを備えている。出力部103には、プラス電源コード2aとマイナス電源コード3aとが接続されている。
また、電気制御部100には、マイコンを中心にした装置制御部104が設けられ、この装置制御部104は、出力部103の直流高電圧の電圧値を監視し、電圧値が所望の電圧値からずれていると、表示および操作パネル70にその旨を表示し、オペレータに警告する。また、装置制御部104には、除電対象物の静電気量を検出する静電気センサ105が接続され、装置制御部104は、その静電気センサ105の検出結果に基づいて生成した制御信号を電圧増幅部102に送出し、除電対象物が正に帯電しておれば、マイナスの直流電圧をより増幅させ、逆に負に帯電しておればプラスの直流電圧をより増幅させるように制御する。
上記の説明では、電気制御部100を除電装置本体4の電装室4bに設けるようにしたが、その電気制御部100の全体、またはその一部(例えば交流直流変換部101)を外付けとし、除電装置本体4から離れた位置に設けるようにしてもよい。このようにすることで、除電装置本体4の大幅な小型化が可能となる。
上記構成の除電装置1は次のような動作を行う。先ずオペレータが、表示および操作パネル70の電源スイッチをオンし、続いて5段階の出力モードの何れかの操作ボタンをオンすると、電装室4bの電気制御部100は、指示された出力モードでのプラスおよびマイナスの直流高電圧を出力する。プラスの直流高電圧は、プラス電源コード2aを介して、プラス電極部2に印加され、その放電針50からプラスイオンが発生する。マイナスの直流高電圧は、マイナス電源コード3aを介して、マイナス電極部3に印加され、その放電針50からマイナスイオンが発生する。
発生したプラスイオンおよびマイナスイオンは、下方の除電対象物に向けて照射され、除電対象物表面に帯電している正負静電気を中和し除電する。
このとき、発生したイオンは、噴出口45から下向きに噴出するエアとともに照射されるので、エアにより運ばれて除電対象物まで的確に運ばれることができる。また、出力モードとしてパルス波が選択されていれば、イオンの発生が間欠的に行われるので、その脈動効果により、常時出力される場合に比べてより遠方の除電対象物まで的確に照射することができる。次に、漏洩防止用間仕切り400の作用について図5を用いて説明する。
図5は漏洩防止用間仕切りの作用を説明するための図で、(a)は従来の場合を、(b)は本発明の場合をそれぞれ示す。プラス電極部2およびマイナス電極部3には、直流高電圧が印加されるため、漏洩防止用間仕切り400を設けない従来の場合、図5(a)の矢印Aで示すように、プラス電極部2からマイナス電極部3に、底面41aに沿って沿面放電(沿面パス)が生じ、電流が無駄に消費されていた。
これに対し、本発明では、図5(b)に示すように、底面41aに漏洩防止用間仕切り400を設けたので、沿面放電は、図5(b)の矢印Bで示すように、漏洩防止用間仕切り400を越えなければならず、電気抵抗が大きくなるため、大幅に低減される。このように、本発明では、従来発生していた沿面放電を確実に低減、防止することができ、各電極部2,3に印加された直流高電圧を、効率よく有効に使用することができる。
また、各電極部2,3は、その先端の放電針50から下方に向けてイオンを照射するだけでなく、電極部2,3全体からもイオンを発生しているため、底面41aの上側では、隣り合う電極部からの、電気極性が逆のイオン同士が結合するようになるが、本発明では、漏洩防止用間仕切り400を設けたので、この底面41a上側でのイオン同士の結合も遮られ、イオンの無駄な消費を防止することができる。
本発明では、この漏洩防止用間仕切り400を設けたことにより、両電極部2,3の間で従来発生していた電気的漏洩を約20〜30%程度に、大幅に低減することができた。
また、各電極部2,3は、その先端の放電針50から下方に向けてイオンを照射するだけでなく、電極部2,3全体からもイオンを発生しているため、底面41aの上側では、隣り合う電極部からの、電気極性が逆のイオン同士が結合するようになるが、本発明では、漏洩防止用間仕切り400を設けたので、この底面41a上側でのイオン同士の結合も遮られ、イオンの無駄な消費を防止することができる。
本発明では、この漏洩防止用間仕切り400を設けたことにより、両電極部2,3の間で従来発生していた電気的漏洩を約20〜30%程度に、大幅に低減することができた。
なお、漏洩防止用間仕切り400の高さは、高くするほどその漏洩防止効果は向上するが、高すぎると、電極配列室4aが大型化し、装置全体も大型化してしまう。また低すぎると、電極配列室4aにプラス電極部2およびマイナス電極部3を配列するのが困難となる。このため、30mm〜70mm程度が適している。次に、被覆部材53の作用について図6を用いて説明する。
図6は被覆部材の作用を説明するための図で、(a)は従来の場合を、(b)(c)は本発明の場合をそれぞれ示す。先ず被覆部材53を設けない従来の場合について説明すると、図6(a)に示すように、プラス電極部2の放電針50から発生したプラスイオンは、その放電針50が設けられている電極ホルダ5(電極室51)の内周壁表面(内周面)を同じ極性のプラスに帯電するが、電極ホルダ5は絶縁材で形成されているため、電極ホルダ5の壁内部54には、プラスの隣にはマイナスが生じ、そのマイナスの隣にはプラスが生じて、電極ホルダ5の外周面に至るまで順次プラスとマイナスが繰り返し現われるようになる。このため、電極ホルダ5の内周壁表面のプラスは中和されていると予測され、その結果より弱い電荷となり、放電針50から発生したプラスイオンが、その電極ホルダ5の内周壁表面の帯電のために無駄に使用されるようになると考えられる。また、マイナス電極部3の放電針50から発生したマイナスイオンも、同様に、電極ホルダ5の内周壁表面を同じ極性のマイナスに帯電するために無駄に使用されていると考えられる。
これに対して、本発明では、電極ホルダ5の電極室51の内周面(上面51aと側周面51b)を被覆部材53で空隙を保って覆うようにした。
この場合、図6(b)に示すように、プラス電極部2から発生したプラスイオンにより、放電針50の周囲の被覆部材53は、その表面(放電針50に対向している面)がプラスに帯電し、裏面(電極室51の内周面に対向している面)がマイナスに帯電する。そして、被覆部材53は薄膜状であるため、プラスとマイナスの関係は強く保持され、中和されることもほとんどないと思われる。このため、被覆部材53の表面はプラスの電荷がそのまま保たれ、放電針50から発生したプラスイオンが、被覆部材53表面の帯電のためにその後使用されるようなことは生じず、下方の除電対象物に向けて、ほぼその全量が照射される。また、マイナス電極部3の放電針50から発生したマイナスイオンも、同様に、被覆部材53表面を同じ極性のマイナスに帯電し、被覆部材53表面の帯電のためにその後使用されるようなことは生じず、下方の除電対象物に向けて、ほぼその全量が照射される。したがって、無駄な電気消費を抑制することができ、放電針50に印加された直流高電圧を、効率よく有効に使用することができるようになる。
さらに、この被覆部材53は、図6(c)に示すように、放電針50で生成されたイオンを反射する反射面53として機能している。すなわち、被覆部材53の表面は、放電針50から発生したイオンと同じ極性のイオンを保持するため、イオンが飛来してきても、電気的に反発して反射させ、下方の除電対象物に向けて、より一層有効にイオンを照射する。
上記のように、本発明では、被覆部材53を設けることで、発生したイオンが電極室51の帯電のために無駄に使用されるのを防止することができ、また除電対象物に向けてイオンを効果的に反射することができた。この効果を確認するために、除電対象物へイオン照射を開始しその1秒後の除電対象物の帯電電荷量の減衰率を測定した。その結果、被覆部材を設けない場合の減衰率は93%程度であったが、被覆部材を設けた場合の減衰率は98%程度となり、除電効果の向上を明確に確認することができた。
なお、被覆部材53の膜厚は0.2mm〜0.6mmとするのが適している。0.2mm以下では、被覆部材としての強度保持が困難となり、また0.6mm以上では、薄膜の内部にプラスとマイナスの電荷の繰り返しが発生してしまうためである。材料がABS樹脂の場合は、0.3〜0.4mmが好適である。
1 除電装置
2 プラス電極部
2a プラス電源コード
3 マイナス電極部
3a マイナス電源コード
4 除電装置本体
4a 電極配列室
4b 電装室
4s 電極収容部
41 箱状体
41a 底面
45 噴出口
48 配線留め具
49 通電板
400 漏洩防止用間仕切り
401 隔壁
402 隔壁
403 部屋
404 ネジ
5 電極ホルダ
5a 上端面
50 放電針(放電電極)
50a 放電針の上端部分
50b 放電針の下端部分(先端部分)
51 電極室
51a 電極室の上面(天井面)
51b 電極室の側周面
52 係合部
53 被覆部材(反射面)
54 壁内部
6 蓋体
7 カバー
70 表示および操作パネル
8a 側板
8b 側板
80 エア吹き込み口
81 コネクタ
100 電気制御部
101 交流直流変換部
102 電圧増幅部
103 出力部
104 装置制御部
105 静電気センサ
L 電源コードの引き出し線
2 プラス電極部
2a プラス電源コード
3 マイナス電極部
3a マイナス電源コード
4 除電装置本体
4a 電極配列室
4b 電装室
4s 電極収容部
41 箱状体
41a 底面
45 噴出口
48 配線留め具
49 通電板
400 漏洩防止用間仕切り
401 隔壁
402 隔壁
403 部屋
404 ネジ
5 電極ホルダ
5a 上端面
50 放電針(放電電極)
50a 放電針の上端部分
50b 放電針の下端部分(先端部分)
51 電極室
51a 電極室の上面(天井面)
51b 電極室の側周面
52 係合部
53 被覆部材(反射面)
54 壁内部
6 蓋体
7 カバー
70 表示および操作パネル
8a 側板
8b 側板
80 エア吹き込み口
81 コネクタ
100 電気制御部
101 交流直流変換部
102 電圧増幅部
103 出力部
104 装置制御部
105 静電気センサ
L 電源コードの引き出し線
Claims (3)
- 直流高電圧でのコロナ放電により発生させたプラスイオンおよびマイナスイオンにより、除電対象表面に帯電している正負静電気を中和することで除電する除電装置において、
上記プラスイオンを生成するプラス電極部と、
上記マイナスイオンを生成するマイナス電極部と、
上記プラス電極部およびマイナス電極部が交互に配列された除電装置本体と、
上記除電装置本体に設けられ、プラス電極部とマイナス電極部との間を仕切り、双方間での電気的漏洩を防止する漏洩防止用間仕切りと、
を備えることを特徴とする除電装置。 - 上記プラス電極部を構成するプラス電極室、および上記マイナス電極部を構成するマイナス電極室の各内周面を空隙を保って覆い、各電極室内に設けられた放電針から生成されたイオンを反射する反射面を備える、請求項1に記載の除電装置。
- 上記反射面は薄膜状の絶縁材からなる、請求項2に記載の除電装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008010253A JP2009170381A (ja) | 2008-01-21 | 2008-01-21 | 除電装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP (1) | JP2009170381A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012111372A1 (ja) * | 2011-02-18 | 2012-08-23 | シャープ株式会社 | イオン発生素子 |
JP2016197493A (ja) * | 2015-04-02 | 2016-11-24 | 春日電機株式会社 | 除電装置 |
JP2018010721A (ja) * | 2016-07-11 | 2018-01-18 | 春日電機株式会社 | 印刷システム |
-
2008
- 2008-01-21 JP JP2008010253A patent/JP2009170381A/ja active Pending
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JP2012174398A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Sharp Corp | イオン発生素子 |
JP2016197493A (ja) * | 2015-04-02 | 2016-11-24 | 春日電機株式会社 | 除電装置 |
JP2018010721A (ja) * | 2016-07-11 | 2018-01-18 | 春日電機株式会社 | 印刷システム |
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