JP2009170305A - X線管 - Google Patents

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Abstract

【課題】フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向におけるX線管中心軸OからX線放射窓20aまでの距離を短くできるX線管11を提供する。
【解決手段】フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向におけるX線管中心軸Oから陰極電子銃16の外側面までの距離L1を、フィラメントコイル15の長手方向におけるX線管中心軸Oから陰極電子銃16の外側面までの距離P1よりも短くする。フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向におけるX線管中心軸OからX線放射窓20aまでの距離を、フィラメントコイル15の長手方向におけるX線管中心軸OからX線放射窓20bまでの距離よりも短くする。
【選択図】図1

Description

本発明は、X線を放射するX線管に関する。
従来のX線管について、例えばX線回折装置に使用されるX線管を例にとり、図2(a)(b)を参照して説明する。図2(b)は図2(a)の矢印B方向から見たX線管の内部を示している。
X線管1は、内部を真空とする真空外囲器2を有し、この真空外囲器2は一端側の絶縁外囲器3と他端側の金属外囲器4とが接続されて構成されている。
真空外囲器2内には、絶縁外囲器3に、X線管中心軸Oを中心にそのX線管中心軸Oに対して直交する方向を長手方向として配置される電子放出源のフィラメントコイル5を有する陰極電子銃6が支持され、また、金属外囲器4に、X線管中心軸O上でフィラメントコイル5に対向して陽極7が支持されている。
金属外囲器4の周囲には、フィラメントコイル5の長手方向に対して直角な方向における金属外囲器4の壁部に、所謂ラインフォーカスと呼ばれているフィラメントコイル5の長手方向に対して直角な方向に放出されるX線を取り出すX線放射窓8aが配設され、また、フィラメントコイル5の長手方向における金属外囲器4の壁部に、所謂ポイントフォーカスと呼ばれているフィラメントコイル5の長手方向に放出されるX線を取り出すX線放射窓8bが配設されている(例えば、特許文献1参照。)。
図2(b)に示すように、陰極電子銃6の外形は円形であり、この陰極電子銃6の外側面との電気的絶縁距離が制約されている金属外囲器4の外形も円形となっている。この円形の金属外囲器4の周囲にラインフォーカス側のX線放射窓8aおよびポイントフォーカス側のX線放射窓8bがそれぞれ配置されているので、陽極7のX線発生源である焦点9の中心つまりX線管中心軸Oからラインフォーカス側のX線放射窓8aまでの距離とポイントフォーカス側のX線放射窓8bまでの距離とは同じ距離になっている。
ところで、X線回折装置などでは、X線管1から放射されたX線を集光するための光学素子がX線放射窓8aあるいはX線放射窓8aの外側に配置されるが、この光学素子は、集光効率を良くするうえで、陽極7の焦点9にできるだけ近付けて配置することが好ましい。特に、ラインフォーカス側のX線を使用するときには、陽極7の焦点9(X線管中心軸O)からラインフォーカス側のX線放射窓8aまでの距離が比較的長いため、光学素子による集光効率を十分良くすることができない。
特開2006−278216号公報(第4頁、図1−2)
従来のX線管1では、陰極電子銃6と金属外囲器4との間の電気的絶縁距離の制約によって、X線管中心軸Oからラインフォーカス側のX線放射窓8aまでの距離とポイントフォーカス側のX線放射窓8bまでの距離とが同じ距離になっており、X線管中心軸Oからラインフォーカス側のX線放射窓8aまでの距離を、X線管中心軸Oからポイントフォーカス側のX線放射窓8bまでの距離より短くすることはできなかった。
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向におけるX線管中心軸からX線放射窓までの距離を短くできるX線管を提供することを目的とする。
本発明は、真空外囲器と、この真空外囲器内に設けられ、X線管中心軸を中心にそのX線管中心軸に対して直交する方向を長手方向として配置されるフィラメントコイルを有する陰極電子銃と、前記真空外囲器内に、前記X線管中心軸上で前記フィラメントコイルに対向して設けられた陽極と、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記真空外囲器の壁部に、前記陽極に臨んで設けられたX線放射窓とを具備し、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記X線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記X線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離よりも短く、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記X線管中心軸から前記X線放射窓が設けられた前記真空外囲器の壁部までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記X線管中心軸から前記真空外囲器の壁部までの距離よりも短いものである。
また、本発明は、真空外囲器と、この真空外囲器内に設けられ、X線管中心軸を中心にそのX線管中心軸に対して直交する方向を長手方向として配置されるフィラメントコイルを有する陰極電子銃と、前記真空外囲器内に、前記X線管中心軸上で前記フィラメントコイルに対向して設けられた陽極と、前記フィラメントコイルの長手方向における前記真空外囲器の壁部、および前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記真空外囲器の壁部に、それぞれ前記陽極に臨んで設けられたX線放射窓とを具備し、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記X線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記X線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離よりも短く、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記X線管中心軸から前記X線放射窓までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記X線管中心軸から前記X線放射窓までの距離よりも短いものである。
本発明によれば、フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向におけるX線管中心軸から陰極電子銃の外側面までの距離を、フィラメントコイルの長手方向におけるX線管中心軸から陰極電子銃の外側面までの距離よりも短くしたため、フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向におけるX線管中心軸からX線放射窓までの距離を、フィラメントコイルの長手方向におけるX線管中心軸からX線放射窓までの距離よりも短くできる。
以下、本発明の一実施の形態を、図1を参照して説明する。
図1(a)はX線管のラインフォーカス側にX線を放射する断面図であって、フィラメントコイルの長手方向から見た断面図であり、図1(b)は図1(a)の矢印A方向から見たX線管の断面図である。
X線管11は、内部を真空とする真空外囲器12を有し、この真空外囲器12は一端側の絶縁外囲器13と他端側の金属外囲器14とが接続されて構成されている。
真空外囲器12内には、絶縁外囲器13に、X線管中心軸Oを中心にそのX線管中心軸Oに対して直交する方向を長手方向として配置される電子放出源のフィラメントコイル15を有する陰極電子銃16が支持され、また、金属外囲器14に、X線管中心軸O上でフィラメントコイル15に対向して陽極17が支持されている。絶縁外囲器13は、高電圧レセプタクルの機能を有し、また、金属外囲器14および陽極17は接地電位となる。
金属外囲器14の周囲には、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向における金属外囲器14の一側の壁部に、所謂ラインフォーカスと呼ばれているフィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向に放出されるX線を取り出すX線放射窓20aが陽極17に臨んで配設され、また、フィラメントコイル15の長手方向における金属外囲器14の一側の壁部に、所謂ポイントフォーカスと呼ばれているフィラメントコイル15の長手方向に放出されるX線を取り出すX線放射窓20bが陽極17に臨んで配設されている。
また、陰極電子銃16は、フィラメントコイル15から放出する電子の集束に必要な大きさに形成されたものであり、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向における陰極電子銃16の外側面がフィラメントコイル15の長手方向と平行な平面で、フィラメントコイル15の長手方向側が長辺となるとともにフィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向側が短辺となるように概略四角形に形成されている。
すなわち、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向における陽極17のX線発生源である焦点21の中心つまりX線管中心軸Oから陰極電子銃16の外側面までの距離L1が、フィラメントコイル15の長手方向におけるX線管中心軸Oから陰極電子銃16の外側面までの距離P1よりも短く形成されている。
また、金属外囲器14の内壁面は、陰極電子銃16との電気的絶縁距離を保つため、陰極電子銃16の外側面形状と同様に、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向における金属外囲器14の内壁部が、フィラメントコイル15の長手方向と平行な平面で、フィラメントコイル15の長手方向側が長辺となるとともにフィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向側が短辺となるように概略四角形に形成されている。フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向におけるX線放射窓20aが設けられた金属外囲器14の一側の壁部は、フィラメントコイル15の長手方向と平行な平面に形成されている。
すなわち、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向におけるX線管中心軸OからX線放射窓20aが設けられた金属外囲器14の内壁部までの距離L2が、フィラメントコイル15の長手方向におけるX線管中心軸Oから金属外囲器14の内壁部までの距離P2よりも短く形成されている。
したがって、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向におけるX線管中心軸OからX線放射窓20aまでの距離L3が、フィラメントコイル15の長手方向におけるX線管中心軸OからX線放射窓20bまでの距離P3よりも短く形成されている。
このように、X線管中心軸Oからラインフォーカス側の陰極電子銃16の外側面までの距離L1を、X線管中心軸Oからポイントフォーカス側の陰極電子銃16の外側面までの距離P1よりも短くしたため、X線管中心軸Oからラインフォーカス側のX線放射窓20aまでの距離L3を、X線管中心軸Oからポイントフォーカス側のX線放射窓20bまでの距離P3よりも短くできる。
このため、X線管11をX線回析装置に用いた場合には、ラインフォーカス側のX線を使用するとき、X線を集光するための光学素子をX線管11の焦点21に近い位置に配置することができ、X線の集光効率を良くすることができる。
なお、X線管11としては、ラインフォーカス側のX線放射窓20aのみが設けられたX線管や、ラインフォーカス側のX線放射窓20aおよびポイントフォーカス側のX線放射窓20bがそれぞれ両側に設けられたX線管にも適用できる。
本発明の一実施の形態を示すX線管であり、(a)はラインフォーカス側にX線を放射する断面図、(b)は(a)の矢印A方向から見た断面図である。 従来のX線管であり、(a)はラインフォーカス側にX線を放射する断面図、(b)は(a)の矢印B方向から見た断面図である。
符号の説明
11 X線管
12 真空外囲器
13 絶縁外囲器
15 フィラメントコイル
16 陰極電子銃
17 陽極
20a,20b X線放射窓
O X線管中心軸

Claims (4)

  1. 真空外囲器と、
    この真空外囲器内に設けられ、X線管中心軸を中心にそのX線管中心軸に対して直交する方向を長手方向として配置されるフィラメントコイルを有する陰極電子銃と、
    前記真空外囲器内に、前記X線管中心軸上で前記フィラメントコイルに対向して設けられた陽極と、
    前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記真空外囲器の壁部に、前記陽極に臨んで設けられたX線放射窓と
    を具備し、
    前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記X線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記X線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離よりも短く、
    前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記X線管中心軸から前記X線放射窓が設けられた前記真空外囲器の壁部までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記X線管中心軸から前記真空外囲器の壁部までの距離よりも短い
    ことを特徴とするX線管。
  2. 真空外囲器と、
    この真空外囲器内に設けられ、X線管中心軸を中心にそのX線管中心軸に対して直交する方向を長手方向として配置されるフィラメントコイルを有する陰極電子銃と、
    前記真空外囲器内に、前記X線管中心軸上で前記フィラメントコイルに対向して設けられた陽極と、
    前記フィラメントコイルの長手方向における前記真空外囲器の壁部、および前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記真空外囲器の壁部に、それぞれ前記陽極に臨んで設けられたX線放射窓と
    を具備し、
    前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記X線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記X線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離よりも短く、
    前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記X線管中心軸から前記X線放射窓までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記X線管中心軸から前記X線放射窓までの距離よりも短い
    ことを特徴とするX線管。
  3. フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における陰極電子銃の外側面が、フィラメントコイルの長手方向と平行な平面に形成され、
    フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における真空外囲器の壁部が、フィラメントコイルの長手方向と平行な平面に形成されている
    ことを特徴とする請求項1または2記載のX線管。
  4. 真空外囲器の一部に、高電圧レセプタクルの機能を有する絶縁外囲器が設けられている
    ことを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載のX線管。
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