JP2009168654A - Qcmセンサー装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来のQCMセンサー装置の構造では、容器体に入った溶液を攪拌する際に、容器体自体を揺り動かす方法もしくは容器体内の溶液にプロペラを浸漬する方法などが考えられるが、容器体内の溶液の攪拌条件が安定せず、容器体の底部に設けたQCMセンサーに対して検出したい物質の遭遇確率が低下し、安定した性能を有するQCMセンサー装置を得ることが難しかった。
【解決手段】本発明のQCMセンサー装置は、攪拌体を圧電振動子に接触しない位置に規制することができ、マグネチックスターラーにより攪拌体を回転させることで攪拌条件を一定に保つことが可能となっており、基板上に設けたQCMセンサーに対して検出したい物質の遭遇確率を低下させることなく、安定した性能を有するQCMセンサー装置を得ることができる。
【選択図】図1
【解決手段】本発明のQCMセンサー装置は、攪拌体を圧電振動子に接触しない位置に規制することができ、マグネチックスターラーにより攪拌体を回転させることで攪拌条件を一定に保つことが可能となっており、基板上に設けたQCMセンサーに対して検出したい物質の遭遇確率を低下させることなく、安定した性能を有するQCMセンサー装置を得ることができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、所定の共振周波数で振動する圧電振動子上の励振用電極パターンを試料ガスや試料溶液に晒したときの共振周波数やインピーダンス等の電気的特性の変化から励振用の電極パターン表面での試料の成分を検知、定量するQCM(Quartz Crystal Microbalance)センサー装置に関するものである。
近年、圧電振動子を用いてマイクロバランス原理を応用したケミカルバイオセンサーが注目を集めている。従来のQCMセンサー装置の構造を図13を用いて説明する。図13は従来のQCMセンサー装置の構造を示している。このセンサー装置は容器体を構成するアクリル樹脂からなる円筒状のセル19を有し、セル19の側壁には圧電振動子1の外径よりも小さい開口部を設けたフランジ部14が形成されている。圧電振動子1は、その外周部が接着剤によってフランジ部14の下面に接着固定されており、そして圧電振動子1の励振部分に設けた電極パターン2a、2bのうち、電極パターン2bがフランジ部14の内側にできる開口部に露呈するようになっている。さらに圧電振動子1の外周部がフランジ部14に押圧されるように圧電振動子1と台座15との間にスプリング16を配設している。台座15には外部に電極パターン2a、2bを引き出すための端子ピン17がガラスシール18によって固定されている(例えば特許文献1、特許文献2参照)。
上記のQCMセンサー装置は、圧電振動子1の電極パターン2bが形成された面のみを試料液体側に露出させて試料ガスや試料溶液に晒し、電極パターン2bに試料成分が吸脱着することにより変動する共振周波数の変化量から試料成分を検知、定量することができる。
さらにこのQCMセンサー装置には試料液体を攪拌するための攪拌部51が設けられている。攪拌部51は支持部52に取り付けられてセル19の上部開口側から試料液体内に配設され、上下動して試料液体を攪拌するようになっている。
また他の形態としては、試料液体の入ったセル本体を揺動攪拌機構上に載置し、セル19自体を揺り動かす構成も提案されている。
特開2002−310872号公報(5頁、図1)
特開2002−277369号公報(4頁、図1)
前述したQCMセンサー装置には以下に記載するような問題点がある。
従来のQCMセンサー装置の構造では、容器体であるセルに入った溶液を攪拌する際に、セル自体を揺り動かす機構もしくはセル内の溶液に攪拌部を浸漬して上下に動かして攪拌する機構が提案されているが、セル自体を揺り動かす方法では攪拌が十分でなく、QCMセンサーに対して検出したい物質の遭遇確率が低下し、安定した性能を有するQCMセンサー装置を得ることが難しかった。
一方、攪拌部を上下に動かして試料液体を攪拌する機構は、試料液体を十分に攪拌することはできるが、攪拌部51の下側にある圧電振動子1に素早く試料が行くように特別な試料供給経路を設ける必要があり、装置が複雑になっていた。
そのため、液面に試料を供給した場合は満遍なく攪拌するまでに時間がかかり、測定時間が長くなっていた。また、測定によっては試料液体の温度を一定にする必要があったが、上記のような攪拌機構では、攪拌部51を取り付けた柄の部分が試料液体と空気の両方に触れるため、柄によって試料液体の温度が不安定になるという問題があった。
また攪拌体を上下させる機構とは別に、プロペラ状の攪拌体を外部からマグネチックスターラーの磁力で回転させる攪拌機構もあったが、プロペラを用いる機構ではプロペラがセル内に設けた圧電振動子に衝突して表面の機能膜を破壊したり、圧電振動子そのものを破壊することがあった。
本発明は、QCMセンサーに攪拌体を用いた装置において、攪拌体と圧電振動子の衝突を防止し、生産性に優れたQCMセンサー装置を提供することを目的としている。
上記の目的を達成するために、本発明におけるQCMセンサー装置は、下記記載の構成を採用する。
本発明のQCMセンサー装置は、試料液体を入れる容器体と、容器体内に容器体カバーに固定された圧電振動子と試料液体を撹拌するための攪拌体とを有するQCMセンサー装置であって、攪拌体が圧電振動子に接触しないように攪拌体の位置を圧電振動子が実装された基板によって規制していることを特徴としている。
本発明のQCMセンサー装置は、試料液体を入れる第一の容器体と、第一の容器体内に容器体カバーに固定された圧電振動子と試料液体を撹拌するための攪拌体とを有するQCMセンサー装置であって、攪拌体が圧電振動子に接触しないように第二の容器体によって攪拌体の位置を規制していることを特徴としている。
本発明のQCMセンサー装置は、第二の容器体が音波を吸収するゴム系樹脂層であることが好ましい。
以上の説明で明らかなように、本発明では、試料液体を入れる容器体と、容器体内に容器体カバーに固定された圧電振動子と試料液体を撹拌するための攪拌体とを有するQCMセンサー装置であって、攪拌体が圧電振動子に接触しないように攪拌体の位置を圧電振動子が実装された基板によって規制している構造となっている。
この構造とすることにより、攪拌体を圧電振動子に接触しない位置に規制することができ、マグネチックスターラーにより攪拌子を回転させることで攪拌条件を一定に保つことが可能となっており、基板上に設けたQCMセンサーに対して検出したい物質の遭遇確率を低下させることなく、安定した性能を有するQCMセンサー装置を得ることができる。
また、攪拌体が容器体内の一定の位置に保持されているので本発明のQCMセンサー装置を横に倒したり逆さにしても攪拌体が圧電振動子を傷つけることはなく使用したい場所で迅速にQCMセンサー装置を使用することができる。
(第一の実施形態)
以下図面を用いて本発明の第一の実施形態におけるQCMセンサー装置について説明する。図1から図7には、本発明の実施形態に係るQCMセンサー装置の断面図および平面図を示す。図1に示すように、試料液体を入れる第一の容器体7と、第一の容器体内7に
容器体カバー9に固定された配線4を有する基板3および電極パターン2を有する圧電振動子1と試料液体を撹拌するための攪拌体10とを有するQCMセンサー装置であって、攪拌体10が圧電振動子1に接触しないように攪拌体10の位置を圧電振動子1が実装された基板3によって規制している構造となっている。
以下図面を用いて本発明の第一の実施形態におけるQCMセンサー装置について説明する。図1から図7には、本発明の実施形態に係るQCMセンサー装置の断面図および平面図を示す。図1に示すように、試料液体を入れる第一の容器体7と、第一の容器体内7に
容器体カバー9に固定された配線4を有する基板3および電極パターン2を有する圧電振動子1と試料液体を撹拌するための攪拌体10とを有するQCMセンサー装置であって、攪拌体10が圧電振動子1に接触しないように攪拌体10の位置を圧電振動子1が実装された基板3によって規制している構造となっている。
この構造とすることにより、第一の容器体7内に配置された攪拌体10の位置を規制することができ、マグネチックスターラーにより攪拌体10を回転させることで試料液体の攪拌条件を一定に保つことが可能となっており、基板3上に設けられた圧電振動子1に対して検出したい物質の遭遇確率を低下させることなく、安定した性能を有するQCMセンサー装置を得ることができる。
次に、第一の実施形態におけるQCMセンサー装置の製造工程について図1から図7を用いて説明する。まず、図2に示すように圧電振動子1をエッチングやダイシングなどの方法により任意の大きさに形成し、メタルマスクを用いてスパッタリング法や真空蒸着法により水晶板上に金属薄膜を形成することにより、圧電振動子1上に励振用の電極パターン2a、2bを形成する。
図3は圧電振動子1の外観図であるが、点線は裏面の状態を表している。励振用の電極パターン2bは、後述の図4に示した基板3上に設けた配線4bと電気的な接続を行うため、その接続配線が励振用の電極パターン2aと同一の面になるように形成されている。
本実施形態では圧電振動子1として水晶板を用い、大きさが5mm角で厚みが50μmのものを使用し、励振用の電極パターン2a、2bが3mm角となるような金パターンを0.2μmの厚みで形成した。
次に図4に示すように、圧電振動子1を実装する基板3は、ガラスやガラス繊維とエポキシ樹脂で形成されており、基板3上には銅箔を張り合わせ、フォトリソグラフィとエッチングにより配線4a、4bを形成する。配線4a、4bの表面には銅の腐食防止のためニッケルと金を形成しておく。
本実施形態では厚みが0.5mmのガラス繊維とエポキシ樹脂でできた基板3を使用し、厚みが18μmの銅箔を貼り合わせフォトリソグラフィとエッチングにより配線4a、4bを形成した。配線4a、4bの表面にはニッケルを1μm、金を0.3μmの厚みでメッキ法により形成した。また、電気的接続を行わない配線上には絶縁層(図示せず)を設け配線を保護している。
次に図5に示すように、圧電振動子1上に設けた励振用の電極パターン2a、2bと基板3上に設けた配線4a、4bとを導電接着剤や異方性導電シートなどの接続材料5を用いて電気的な接続を図5に示すように行う。
本実施形態では接続材料5として、シリコーン接着剤中に銀やパラジウムなどの導電粒子を含有した導電接着剤を用いており、それをディスペンサで基板3上に形成した配線4a、4b上に塗布し、圧電振動子1の励振用の電極パターン2a、2bと基板3の配線4a、4bとの位置あわせを行い、熱処理により導電接着剤を硬化させて、電気的接続を行った。
さらに図6に示すようにエポキシ、シリコーン、ポリウレタンなどの封止材6を圧電振動子1の外周部にディスペンサを用いて塗布し、圧電振動子1と基板3との隙間に封止材6を流し込み、封止材6を硬化させることで封止が完了する。図6に示す断面図は図1に示すA−A’間の断面を示している。
本実施形態では硬化後に柔らかく、圧電振動子1を変形させるような応力を発生させない常温硬化型のシリコーン接着剤を封止材6として使用した。以上の工程により圧電振動子1を基板3に実装することでQCMセンサーが完成する。
次に図7に示すように基板3を差し込むための貫通穴を設けた容器体カバー9に電極パターン2を有する圧電振動子1が実装された配線4を有する基板3を差し込み、エポキシ樹脂などの接着剤(図示せず)により固定し、容器体カバー9と基板3とを一体化する。このとき差し込む基板3の長さにより攪拌体10を規制する範囲が決定されるが、基板3の形状を図7に示すような凸形状として、ストッパー部を設けておくことで基板3の差し込む長さを一定とすることができる。
その後、図1に示すように攪拌体10を配置した第一の容器体7に基板3と一体化された容器体カバー9により蓋をすることで試料液体を入れる第一の容器体7と試料液体を撹拌する攪拌体10と試料液体中の物質を検出するQCMセンサーとが一体となったQCMセンサー装置を得ることができる。
本実施形態では第一の容器体7および容器体カバー9の材質としてアクリルを使用したが、特に限定される物ではなく、形状も限定されるものではなく、図8および図9に示すような円または多角形の容器を用いてもよい。
以上の方法により得られた第一の実施形態におけるQCMセンサー装置は、攪拌体10が第一の容器体7内の一定の位置に保持されているので本発明のQCMセンサー装置を横に倒したり逆さにしても攪拌体10が圧電振動子1を傷つけることはなく使用したい場所に持ち運び、迅速にQCMセンサー装置を使用することができる。
(第二の実施形態)
次に以下図面を用いて本発明の第二の実施形態におけるQCMセンサー装置について説明する。図10に示すように、試料液体を入れる容器体7と、容器体内7に容器体カバー9に固定された配線4を有する基板3および電極パターン2を有する圧電振動子1と試料液体を撹拌するための攪拌体10とを有するQCMセンサー装置であって、攪拌体10が第二の容器体8により圧電振動子1に接触しないように攪拌体10の位置を規制している構造となっている。
次に以下図面を用いて本発明の第二の実施形態におけるQCMセンサー装置について説明する。図10に示すように、試料液体を入れる容器体7と、容器体内7に容器体カバー9に固定された配線4を有する基板3および電極パターン2を有する圧電振動子1と試料液体を撹拌するための攪拌体10とを有するQCMセンサー装置であって、攪拌体10が第二の容器体8により圧電振動子1に接触しないように攪拌体10の位置を規制している構造となっている。
この構造とすることにより、第一の容器体7内に配置された攪拌体10の位置を規制することができ、マグネチックスターラーにより攪拌体10を回転させることで試料液体の攪拌条件を一定に保つことが可能となっており、基板3上に設けられた圧電振動子1に対して検出したい物質の遭遇確率を低下させることなく、安定した性能を有するQCMセンサー装置を得ることができる。
次に、第二の実施形態におけるQCMセンサー装置の製造工程について図7および図10から図12を用いて説明する。まず第一の実施形態と同様に基板3上に圧電振動子1を接続材料5および封止材6を用いて実装し、図7に示すように基板3を差し込むための貫通穴を設けた容器体カバー9に圧電振動子1が実装された基板3を差し込み、エポキシ樹脂などの接着剤(図示せず)により固定し、容器体カバー9と基板3とを一体化する。
さらに図11に示すように第一の容器体7内に攪拌体10を配置した後、第二の容器体8を配置することで攪拌体10の位置を規制し、QCMセンサーと一体化した容器体カバー9により蓋をすることで図8に示すような試料液体を入れる第一の容器体7および第二の容器体8と試料液体を撹拌する攪拌体10と試料液体中の物質を検出するQCMセンサーとが一体となったQCMセンサー装置を得ることができる。
第二の容器体8の形状は図12に示すように、第一の容器体7を上面から見たときに第一の容器体7内に配置する攪拌体10の最小回転径Lよりも第二の容器体8の開口径が小さくなるようにすることで攪拌体10の位置を規制することができる。
また、第二の容器体8を配置する位置は、攪拌体10が回転運動をしている際に接触しない位置に配置しておくことが必要となる。
第二の容器体8として音波を吸収する材料であるニトリルゴムやクロロプレンゴムのようなゴム系の材質のものを使用することで、QCMセンサーから発生する振動の反射の影響を無くすことが可能となり、より精度の高い検出ができる。
本実施形態では、第一の容器体7および容器体カバー9としてアクリルを使用し、第二の容器体8としてニトリルゴムを使用した。
以上の方法により得られた第二の実施形態におけるQCMセンサー装置は、攪拌体10が第一の容器体7内の一定の位置に保持されているので本発明のQCMセンサー装置を横に倒したり逆さにしても攪拌体10が圧電振動子1を傷つけることはなく使用したい場所に持ち運び、迅速にQCMセンサー装置を使用することができる。
1 圧電振動子
2a、2b 電極パターン
3 基板
4a、4b 配線
5 接続材料
6 封止材
7 第一の容器体
8 第二の容器体
9 容器体カバー
10 攪拌体
14 フランジ部
15 台座
16 スプリング
17 端子ピン
18 ガラスシール
19 セル
51 攪拌部
52 支持部
2a、2b 電極パターン
3 基板
4a、4b 配線
5 接続材料
6 封止材
7 第一の容器体
8 第二の容器体
9 容器体カバー
10 攪拌体
14 フランジ部
15 台座
16 スプリング
17 端子ピン
18 ガラスシール
19 セル
51 攪拌部
52 支持部
Claims (3)
- 試料液体を入れる容器体と、該容器体内に容器体カバーに固定された圧電振動子と前記試料液体を撹拌するための攪拌体とを有するQCMセンサー装置であって、前記攪拌体が前記圧電振動子に接触しないように前記攪拌体の位置を前記圧電振動子が実装された基板によって規制するQCMセンサー装置。
- 試料液体を入れる第一の容器体と、該第一の容器体内に容器体カバーに固定された圧電振動子と前記試料液体を撹拌するための攪拌体とを有するQCMセンサー装置であって、
前記攪拌体が前記圧電振動子に接触しないように第二の容器体によって前記攪拌体の位置を規制するQCMセンサー装置。 - 前記第二の容器体が音波を吸収する材料からなることを特徴とする請求項2に記載のQCMセンサー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008007749A JP2009168654A (ja) | 2008-01-17 | 2008-01-17 | Qcmセンサー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008007749A JP2009168654A (ja) | 2008-01-17 | 2008-01-17 | Qcmセンサー装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009168654A true JP2009168654A (ja) | 2009-07-30 |
Family
ID=40969987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008007749A Pending JP2009168654A (ja) | 2008-01-17 | 2008-01-17 | Qcmセンサー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2009168654A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104165819A (zh) * | 2013-08-29 | 2014-11-26 | 北京至感科技有限公司 | 一种在线实时磁性颗粒监测系统 |
CN104390891A (zh) * | 2013-12-19 | 2015-03-04 | 北京至感科技有限公司 | 一种改进的便携式pm2.5检测仪 |
CN104390901A (zh) * | 2014-11-17 | 2015-03-04 | 成都柏森松传感技术有限公司 | 一种空气中微颗粒物浓度的监测方法及系统 |
-
2008
- 2008-01-17 JP JP2008007749A patent/JP2009168654A/ja active Pending
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CN104390891A (zh) * | 2013-12-19 | 2015-03-04 | 北京至感科技有限公司 | 一种改进的便携式pm2.5检测仪 |
CN104390891B (zh) * | 2013-12-19 | 2016-09-07 | 北京至感传感器技术研究院有限公司 | 一种改进的便携式pm2.5检测仪 |
CN104390901A (zh) * | 2014-11-17 | 2015-03-04 | 成都柏森松传感技术有限公司 | 一种空气中微颗粒物浓度的监测方法及系统 |
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