JP2009162641A - 同軸上複数ジャイロ及びそのドリフト低減化方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ノイズやドリフトの低減を図った同軸上複数ジャイロを提供する。
【解決手段】一対の振動脚33を有する音叉型の振動子31と、その振動子31に設けられ振動脚33を振動させる振動素子34と、振動子33に設けられ振動脚33の振動を検出して角速度を検出する検出素子35とを備えたMEMS型ジャイロ2を用い、そのMEMS型ジャイロ2を同軸方向に複数配置し、それらMEMS型ジャイロ2の検出素子35で検出される各角速度を平均化するようにしたものである。
【選択図】図1
【解決手段】一対の振動脚33を有する音叉型の振動子31と、その振動子31に設けられ振動脚33を振動させる振動素子34と、振動子33に設けられ振動脚33の振動を検出して角速度を検出する検出素子35とを備えたMEMS型ジャイロ2を用い、そのMEMS型ジャイロ2を同軸方向に複数配置し、それらMEMS型ジャイロ2の検出素子35で検出される各角速度を平均化するようにしたものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、ドリフトやノイズを低減した同軸上複数ジャイロ及びそのドリフト低減化方法に関する。
MEMS(Microelectromechanical System)技術は、標準的なマイクロ製造技術を用いてシリコン基板上に電気および機械のコンポーネントを形成することにより、比較的小さく安価で正確なセンサデバイスを作製することができる。MEMSセンサの一般的な応用例として、回転の角速度を測定するMEMS型ジャイロがある。
MEMS型ジャイロは、振動している振動子に角速度が入力されると、コリオリの力により振動方向と直交方向の振動が発生することを利用するものであり、この振動を電気的に取り出すことによって入力角速度を検知するものである。このようなMEMS型ジャイロとして、一対の振動脚を有する音叉型の振動子を備えたものがある。
音叉型の振動子を有するMEMS型ジャイロでは、振動脚に設けた振動素子を駆動して各振動脚を振動させる。各振動脚を振動させた状態で振動子に回転を加えると、コリオリの力により振動方向と直交方向の振動が振動脚に発生する。このコリオリの力による振動を各振動脚に設けられた検出素子により電気的に取り出すことによって、角速度を検知する。
このMEMS型ジャイロは、振動子の軸方向を中心とした回転の角速度を検出するものである。このため、多軸方向で角速度を検出する際には、一般に、角速度を検出する各軸に対応するようにMEMS型ジャイロをそれぞれ配置している。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、次のものがある。
しかしながら、音叉型の振動子を有するMEMS型ジャイロでは、振動脚が駆動と検出を兼ねており、検出素子は予め振動している。理論上は駆動方向(振動方向)と検出方向とが直交しているため、検出素子が駆動振動を検出することはないのであるが、実際の加工精度ではこの直交度が十分でないため、振動脚を振動素子で振動させると検出方向にも振動してしまい、検出素子が振動素子による駆動振動を検出してしまう。さらに、振動素子と検出素子とが静電容量結合することによっても、検出素子が駆動振動を検出してしまう。つまり、コリオリの力がないにもかかわらず検出素子が振動を検出してしまい、ドリフトが発生してしまう。ここで、ドリフトとは、MEMS型ジャイロが静止している状態での出力の変動量のことをいう。
また、MEMS型ジャイロでは、MEMS型ジャイロ自身(振動素子など)から発生するノイズや、MEMS型ジャイロを搭載した基板からのノイズ(デジタル信号ノイズなど)が発生してしまう。
MEMS型ジャイロで検出した角速度から回転量を求める際には、検出した角速度を積分して回転量を求めるため、ドリフトやノイズなどの小さい誤差であっても、長時間にわたると大きな積算誤差となってしまう。
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、ドリフトやノイズの低減を図った同軸上複数ジャイロ及びそのドリフト低減化方法を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項1の発明は、一対の振動脚を有する音叉型の振動子と、その振動子に設けられ振動脚を振動させる振動素子と、前記振動子に設けられ前記振動脚の振動を検出して角速度を検出する検出素子とを備えたMEMS型ジャイロを用い、そのMEMS型ジャイロを振動方向が同じとなるよう同軸方向に複数配置し、それらMEMS型ジャイロの前記検出素子で検出される各角速度を平均化するようにした同軸上複数ジャイロである。
請求項2の発明は、前記検出素子から出力された各角速度の符号が全て一致したときのみ各角速度を平均化する請求項1記載の同軸上複数ジャイロである。
請求項3の発明は、前記MEMS型ジャイロが2つからなり、そのMEMS型ジャイロを基板の表裏面に同軸になるように配置した請求項1または2記載の同軸上複数ジャイロである。
請求項4の発明は、一対の振動脚を有する音叉型の振動子と、その振動子に設けられ振動脚を振動させる振動素子と、前記振動子に設けられ前記振動脚の振動を検出して角速度を検出する検出素子とを備えたMEMS型ジャイロを用い、そのMEMS型ジャイロを同軸方向に複数配置し、それらMEMS型ジャイロの前記検出素子で検出される各角速度を平均化する同軸上複数ジャイロのドリフト低減化方法である。
請求項5の発明は、前記検出素子から出力された各角速度の符号が全て一致したときのみ各角速度を平均化する請求項4記載の同軸上複数ジャイロのドリフト低減化方法である。
本発明によれば、ドリフトやノイズを低減できる。
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面にしたがって説明する。
本実施形態に係る同軸上複数ジャイロは、例えば、自動車のナビゲーションシステムや、ビデオカメラの手振れ防止装置などに用いるものである。
まず、本発明の好適な第1の実施形態を示す同軸上複数ジャイロに用いるMEMS型ジャイロを説明する。
図1(c)に示すように、MEMS型ジャイロ2は、音叉型の振動子31を備える。振動子31は、略角柱状の基部32と、基部32の一端部に接続された一対の振動脚33からなる。第1の実施形態では、振動子31として、シリコンからなるものを用いた。
各振動脚33の一側面36には、圧電素子(ピエゾ素子)からなる振動素子34が設けられる。振動素子34が設けられた一側面36と垂直に形成された振動脚33の表面37には、圧電素子(ピエゾ素子)からなる検出素子35が設けられる。振動素子34には、振動素子34を駆動するための電源Eが接続される。
MEMS型ジャイロは、図3の振動子31をセラミックなどのパッケージ38で覆ったものである。
このMEMS型ジャイロでは、まず、振動脚33の側面に設けた振動素子34を駆動し、各振動脚33を図示X軸方向に振動させる。各振動脚33を振動させた状態で、振動子31にY軸まわりの回転(振動子31の軸Aまわりの回転)を加えると、コリオリの力により各振動脚33にZ軸方向の振動が生じる。このZ軸方向の振動を各振動脚33に設けた検出素子35の圧電効果により電気信号に変換し、これを角速度信号として出力する。この角速度信号から、MEMS型ジャイロの回転方向および角速度が得られる。
さて、図1(a)は、本発明の好適な第1の実施形態を示す同軸上複数ジャイロの概略図である。
図1(a)に示すように、第1の実施形態に係る同軸上複数ジャイロ1は、N個(N=1,2,3,…)のMEMS型ジャイロ2を備え、各MEMS型ジャイロ2を、その振動子31の軸Aが一致するように同軸方向に配置したものである。
また、同軸上複数ジャイロ1は、図示しない信号処理回路を備える。信号処理回路は、各MEMS型ジャイロ2の検出素子35と接続される。信号処理回路は、各MEMS型ジャイロ2が出力した角速度信号ω1,ω2,…,ωNを平均化して平均角速度信号Ω1を求めるものである。
同軸上複数ジャイロ1は、例えば、図2に示すように、MEMS型ジャイロ2をセンサ基板21の表面に配置した複数のセンサモジュール22を用い、これらセンサモジュール22を基板23上に同軸上に配置して構成するとよい。
センサモジュール22は、MEMS型ジャイロ2を小型のセンサ基板21の表面に配置し、センサ基板21の裏面の下端部(図2では下側)にコネクタ24を形成したものである。センサ基板21には、図示しない回路パターンが形成される。
基板23には、各センサモジュール22のコネクタ24と嵌合するN個の基板側コネクタが形成される。この基板側コネクタは、センサモジュール22を配置した際に各センサモジュール22のMEMS型ジャイロ2が同軸上に配置されるように形成される。基板23には、図示しない回路パターンが形成される。
また、基板23上には、各センサモジュール22のMEMS型ジャイロ2の角速度信号ω1,ω2,…,ωNを平均化する信号処理回路が設けられる。
同軸上複数ジャイロ1は、基板23の各基板側コネクタにセンサモジュール22のコネクタ24を嵌め合わせ、基板23上に各センサモジュール22を着脱自在に配置して構成される。
次に、第1の実施形態に係る同軸上複数ジャイロのドリフト低減化方法を、同軸上複数ジャイロ1の動作とともに説明する。
同軸上複数ジャイロ1に用いる各MEMS型ジャイロ2では、振動子31の振動脚33が駆動と検出を兼ねているために、振動素子34による駆動振動を検出素子35が検出してしまい、微弱なドリフトやノイズが発生する。
すなわち、各MEMS型ジャイロ2が出力する角速度信号ω1,ω2,…,ωNは、同軸上複数ジャイロ1の回転を検出した角速度に加え、ドリフトやノイズが加算された値となる。
各MEMS型ジャイロ2で発生するドリフトは、図1(b)に示すように、その符号が正と負とをランダムに行き来する。そこで、同軸上複数ジャイロ1では、同軸上に配置された複数のMEMS型ジャイロ2を用い、各MEMS型ジャイロ2で検出した角速度信号ω1,ω2,…,ωNを信号処理回路に入力し、この信号処理回路で平均角速度信号Ω1を求める。平均角速度信号Ω1は、Ω1=(Σωn)/Nで表される。
各MEMS型ジャイロ2で検出した角速度信号ω1,ω2,…,ωNを平均化することにより、各MEMS型ジャイロ2で発生したドリフトが相殺され、ドリフトが低減される。また、各MEMS型ジャイロ2で発生したノイズも平均化されるため、ノイズも低減される。
以上により、ドリフトやノイズが低減された平均角速度信号Ω1が得られる。
第1の実施形態に係る同軸上複数ジャイロ1では、各MEMS型ジャイロ2を同軸上に複数配置し、各MEMS型ジャイロ2で検出される角速度信号ω1,ω2,…,ωNを平均化して平均角速度信号Ω1を求めている。
ドリフトはその符号が正と負とをランダムに行き来するため、複数のMEMS型ジャイロ2を用い、各MEMS型ジャイロ2が検出した角速度信号ω1,ω2,…,ωNを平均化することにより、各MEMS型ジャイロ2で発生したドリフトが相殺され、ドリフトの影響を低減することができる。
また、MEMS型ジャイロ2で検出される各角速度信号ω1,ω2,…,ωNを平均化することにより、各MEMS型ジャイロ2で発生したノイズも平均化されるため、ノイズの影響も低減することができる。
よって、より正確な角速度を検出でき、この角速度を積分して回転量を求める際にも誤差が大きくならない。
また、1つのMEMS型ジャイロの角速度を長時間測定し、これを平均化することでドリフトやノイズの影響を低減することも考えられるが、実際には一定の回転速度でMEMS型ジャイロが回転し続ける状況は少なく、特殊な場合でのみしか適用できない。
同軸上複数ジャイロ1では、複数のMEMS型ジャイロ2で一斉に同じ角速度を検出し、その平均値をとっているので、短時間の回転であってもドリフトやノイズの影響を低減でき、正確な角速度を検出することができる。
さらに、MEMS型ジャイロ2はコストが安いため、同軸上複数ジャイロ1のように複数のMEMS型ジャイロ2を用いても、光ジャイロ(光ファイバジャイロ)に比べてコストを抑えることができる。
また、図2に示すように、複数のセンサモジュール22を基板23上に着脱自在に配置した場合、MEMS型ジャイロ2が故障した際に、故障したMEMS型ジャイロ2を有するセンサモジュール22のみを交換でき、同軸上複数ジャイロ1全体を交換する必要がなくなる。
次に、第2の実施形態に係る同軸上複数ジャイロのドリフト低減化方法を説明する。
第2の実施形態に係る同軸上複数ジャイロのドリフト低減化方法では、図3に示すように、各MEMS型ジャイロ2が出力した角速度信号ω1,ω2,…,ωNの全ての符号が一致するときのみ平均角速度信号Ω2を出力する。
すなわち、各角速度信号ω1,ω2,…,ωNの全ての符号が正あるいは負であるときのみ、各角速度信号ω1,ω2,…,ωNを平均化した平均角速度信号Ω2を出力し、角速度信号ω1,ω2,…,ωNのうち1つでも符号が違うものがあるときはゼロを出力する。
第2の実施形態に係るドリフト低減化方法では、角速度信号ω1,ω2,…,ωNのうち1つでも符号が違うものがあるときは、これをドリフトあるいはノイズと判断してゼロを出力する。よって、全ての角速度信号ω1,ω2,…,ωNの符号が一致したとき、すなわち同軸上複数ジャイロ1が回転した際のみ平均角速度信号Ω2を出力させることができる。
これにより、同軸上複数ジャイロ1に回転が加わっていない際に、ドリフトあるいはノイズを同軸上複数ジャイロ1の角速度として出力してしまうのを防ぐことができる。
第3の実施形態に係る同軸上複数ジャイロを説明する。
図4に示すように、第3の実施形態に係る同軸上複数ジャイロ41は、2つのMEMS型ジャイロ2を備え、これらMEMS型ジャイロ2を基板42の表裏面に同軸になるように配置したものである。
同軸上複数ジャイロ41では、基板42の表面に配置されたMEMS型ジャイロ2で検出した角速度信号ω1と、基板42の裏面に配置されたMEMS型ジャイロ2で検出した角速度信号ω2の符号が逆となるため、平均角速度信号Ω3は、Ω3=(ω1+(−ω2))/2となる。
同軸上複数ジャイロ41では、2つのMEMS型ジャイロ2を基板42の表裏面に配置しているため、省スペース化することができる。
1 同軸上複数ジャイロ
2 MEMS型ジャイロ
31 振動子
33 振動脚
34 振動素子
35 検出素子
2 MEMS型ジャイロ
31 振動子
33 振動脚
34 振動素子
35 検出素子
Claims (5)
- 一対の振動脚を有する音叉型の振動子と、その振動子に設けられ振動脚を振動させる振動素子と、前記振動子に設けられ前記振動脚の振動を検出して角速度を検出する検出素子とを備えたMEMS型ジャイロを用い、
そのMEMS型ジャイロを同軸方向に複数配置し、それらMEMS型ジャイロの前記検出素子で検出される各角速度を平均化するようにしたことを特徴とする同軸上複数ジャイロ。 - 前記検出素子から出力された各角速度の符号が全て一致したときのみ各角速度を平均化する請求項1記載の同軸上複数ジャイロ。
- 前記MEMS型ジャイロが2つからなり、そのMEMS型ジャイロを基板の表裏面に同軸になるように配置した請求項1または2記載の同軸上複数ジャイロ。
- 一対の振動脚を有する音叉型の振動子と、その振動子に設けられ振動脚を振動させる振動素子と、前記振動子に設けられ前記振動脚の振動を検出して角速度を検出する検出素子とを備えたMEMS型ジャイロを用い、
そのMEMS型ジャイロを同軸方向に複数配置し、それらMEMS型ジャイロの前記検出素子で検出される各角速度を平均化することを特徴とする同軸上複数ジャイロのドリフト低減化方法。 - 前記検出素子から出力された各角速度の符号が全て一致したときのみ各角速度を平均化する請求項4記載の同軸上複数ジャイロのドリフト低減化方法。
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JP2008001142A JP2009162641A (ja) | 2008-01-08 | 2008-01-08 | 同軸上複数ジャイロ及びそのドリフト低減化方法 |
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RU2486469C1 (ru) * | 2012-01-31 | 2013-06-27 | Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Способ подавления ложного сигнала в измерителе угловой скорости с микромеханическими гироскопами |
KR101331956B1 (ko) * | 2011-03-21 | 2013-11-21 | 엘아이지넥스원 주식회사 | 아날로그 mems 센서를 이용하는 고정밀 ins 모듈 및 그 구동 방법 |
KR101376598B1 (ko) * | 2012-10-04 | 2014-03-27 | 주식회사 내비오닉스코리아 | 이동체의 움직임 측정장치, 그 측정 및 보정 방법 |
JP2021056054A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性計測装置 |
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2008
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