JP2009158644A - レーザモジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】中間体の機械的強度が高く、且つレーザ素子から冷却体に効率良く熱を逃がすことができるレーザモジュールを提供する。
【解決手段】本発明のレーザモジュール10は、共振器長方向の一方端の端面14に複数の発光点を有するレーザアレイ11と、レーザアレイ11を搭載する中間体12と、中間体12を搭載する冷却体13とを備えるもので、中間体12の厚み寸法は、中間体12にくさび形状部17を設けることにより、共振器長方向の一方端側に比較して他方端側が大きい構成となっている。
【選択図】図2
【解決手段】本発明のレーザモジュール10は、共振器長方向の一方端の端面14に複数の発光点を有するレーザアレイ11と、レーザアレイ11を搭載する中間体12と、中間体12を搭載する冷却体13とを備えるもので、中間体12の厚み寸法は、中間体12にくさび形状部17を設けることにより、共振器長方向の一方端側に比較して他方端側が大きい構成となっている。
【選択図】図2
Description
本発明は、光源として用いられるレーザモジュールに関する。
高出力の半導体レーザは、高出力、高密度、波長が非常に鋭いピークを持つ事、小型といった特徴から、高効率な固体レーザの励起用光源などの産業用途として使用されている。また、更なる高出力、高集積化を実現するために、レーザダイオード等の半導体レーザ素子を1つのチップにアレイ状に並べた形態のレーザアレイも一般化している。しかし、レーザアレイは、例えば10mm×1〜2mmのチップサイズに対して出力と同程度の数十Wの熱を発生する。このため、レーザアレイは、当該レーザアレイを冷却体の上に実装したレーザモジュールの形態で用いられている。
一般に、半導体レーザ素子は、GaAs(ガリウムヒ素)に代表される化合物半導体基板を用いて作製される。これに対して、冷却体には、高い熱伝導性を有するCu(銅)などの金属材料を用いて作製される。このため、冷却体にダイレクトにレーザアレイを実装した構造では、半導体レーザ素子と冷却体の熱膨張係数差が大きくなるため、実装時にレーザアレイに強い応力が加わることになる。
そこで従来においては、レーザモジュールの構造として、図9に示すように、レーザアレイ51を中間体52を介して冷却体53に実装した構造が公知となっている(例えば、特許文献1を参照)。中間体52は、応力緩和を目的として設けられたもので、平板状に形成されている。
上記従来のモジュール構造においては、レーザアレイ51から冷却体53への排熱効率を考えると、中間体52の厚み寸法が小さいほど有利である。ただし、中間体52を薄く加工するのは非常に難しく、仮に加工できたとして、レーザモジュールの製造工程で取り扱いにくいものとなる。また、中間体52が薄くなると、それに伴って中間体52の機械的強度(剛性など)が弱まるため、例えば中間体52にレーザアレイ51をはんだ材料で接合する場合に、両者の熱膨張係数差によって反りが発生しやすくなる。また、その後の工程で、レーザアレイ付きの中間体52を冷却体53にはんだ材料で接合する場合に、その前の工程で生じた反りを解消しようと冷却体53に対してレーザアレイ51や中間体52を押し付けたときに、レーザアレイ51や中間体52に割れなどの破損が生じる恐れがある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、中間体の機械的強度が高く、且つレーザ素子から冷却体に効率良く熱を逃がすことができるレーザモジュールを提供することを目的とする。
本発明に係るレーザモジュールは、
共振器長方向の一方端に発光点を有するレーザ素子と、
前記レーザ素子を搭載する中間体と、前記中間体を搭載する冷却体とを備え、
前記中間体の厚み寸法は、前記共振器長方向の一方端側に比較して他方端側が大きい
ことを特徴としている。
共振器長方向の一方端に発光点を有するレーザ素子と、
前記レーザ素子を搭載する中間体と、前記中間体を搭載する冷却体とを備え、
前記中間体の厚み寸法は、前記共振器長方向の一方端側に比較して他方端側が大きい
ことを特徴としている。
本発明に係るレーザモジュールにおいては、中間体の厚み寸法として、レーザ素子の発光点に近い共振器長方向の一方端側の厚みを他方端側の厚みよりも薄くすることにより、共振器長方向の一方端側(発光点に近い側)では中間体の熱抵抗が低くなる。また、共振器長方向の他方端側で中間体が厚肉になることにより、中間体全体の機械的強度が高まる。
本発明によれば、レーザ素子を中間体を介して冷却体に実装してなるレーザモジュールにおいて、中間体に要求される機械的強度を確保したうえで、レーザ素子から冷却体に効率良く熱を逃がすことができる。
以下、本発明の具体的な実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本発明の技術的範囲は以下に記述する実施の形態に限定されるものではなく、発明の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。
図1は本発明の実施形態に係るレーザモジュールの構成を示す平面図であり、図2は当該レーザモジュールの構成を示す側面図である。レーザモジュール10は、大きくは、レーザアレイ11と、中間体12と、冷却体13とを備えた構成となっている。一般に中間体12はサブマウントと呼ばれ、冷却体13はヒートシンクと呼ばれている。
本明細書においては、レーザモジュール10の構成上、レーザアレイ11の長手方向に平行な方向をX軸方向、レーザアレイ11の短手方向に平行な方向をY軸方向、レーザアレイ11の厚み方向に平行な方向をZ軸方向と定義する。X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向は、互いに直交する3軸方向となる。ここで定義したX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向の直交3軸方向は、レーザモジュール10全体にわたって各部の構造や位置関係を特定するために随時用いる。また、X軸方向は、その向きによってX方向と−X方向に区分する。同様に、Y軸方向はY方向と−Y方向に区分し、Z軸方向はZ方向と−Z方向に区分する。
レーザアレイ11は、例えばGaAsなどの化合物半導体材料を用いて構成されるもので、全体に棒状のチップ形状に形成される。レーザアレイ11は、一次元に並ぶ複数の複数の半導体レーザ素子(不図示)を一体に有するものである。複数の半導体レーザ素子は、レーザアレイ11の長手方向となるX軸方向に一定の間隔で並んでいる。このため、半導体レーザ素子の配列方向(並び方向)には、複数の半導体レーザ素子と同じ間隔で複数の発光点(レーザ光の出射部)が並んだ構造となる。
各々の発光点は、Y軸方向の一方の端面(以下、「前端面」と記す)14に横一列に並んで配列される。このため、レーザアレイ11を駆動した場合は、X軸方向に沿って前端面14に並ぶ各々の発光点からY方向に向けてレーザ光Lbが出射されることになる。レーザアレイ11を構成する各々の半導体レーザ素子は、素子内部にレーザ共振器を有するもので、その共振器長方向はY軸方向に一致している。
中間体12は、レーザアレイ11と冷却体13の間に応力緩和を目的として設けられたものである。中間体12は、例えばAlN(窒化アルミニウム)、SiC(炭化ケイ素)、CuW(銅タングステン)、ダイヤモンドなどの材料を用いて構成されるもので、その断面(X軸方向の端面)が直角三角形をなす三角柱状に形成されている。中間体12のX方向の寸法は、レーザアレイ11の長手寸法よりも大となっており、中間体12のY軸方向の寸法は、レーザアレイ11の短手寸法よりも大となっている。
中間体12は、レーザアレイ11が搭載される素子搭載面15と、X軸方向から見て素子搭載面15と鋭角をなす傾斜面16とを有し、これらの素子搭載面15と傾斜面16とによってくさび形状部17が形成されている。素子搭載面15は中間体12の第1面に相当し、傾斜面16は中間体12の第2面に相当するものである。くさび形状部17の先端(Y方向端)はV字形に尖った状態で形成されている。
X軸方向においては、レーザアレイ11、中間体12及び冷却体13の各中心が同じ位置に配置されている。また、Y軸方向においては、レーザアレイ11が中間体12のY方向端に寄せて配置されるとともに、中間体12が冷却体13のY方向端に寄せて配置されている。
レーザアレイ11は、Y軸方向において、くさび形状部17の先端に上記の前端面14を位置合わせした状態で、中間体12の素子搭載面15に搭載されている。このため、レーザアレイ11を構成する各々の半導体レーザ素子の発光点は、くさび形状部17の先端の直上に位置している。また、各半導体レーザ素子の発光点(前端面14)の直下は、中間体12の厚み寸法が実質的に零に近い状態になっている。これに対して、レーザアレイ11の後端面20の直下は中間体12の厚み寸法が200〜300μmに設定されている。また、中間体12の−Y方向端の厚み寸法は最大で1mm程度に設定されている。
冷却体13は、熱的には高い熱伝導性を有し、電気的には高い導電性を有するものである。冷却体13は、例えば銅などの金属材料を用いて構成されるもので、上記中間体12と同様に、断面が直角三角形をなす三角柱状に形成されている。冷却体13は、中間体12よりも外形寸法(体積)が大きく形成されている。
冷却体13の熱伝導性は、レーザアレイ11で発生する熱を冷却体13側に効率良く逃がして、レーザアレイ11を所定の温度以下に維持するために必要となる特性である。冷却体13の導電性は、例えば冷却体13を通してレーザアレイ11に電流を供給する場合に、電気抵抗を低く抑えるために必要となる特性である。
冷却体13は、実装基準面18と、X軸方向から見て実装基準面18と鋭角をなす傾斜面19とを有している。実装基準面18は冷却体13の第3面に相当し、傾斜面19は冷却体13の第4面に相当するものである。実装基準面18は、冷却体13を含むレーザモジュール10を図示しないベース部材に実装する場合に、モジュール取り付けの基準となる平面である。
ここで、中間体12において、素子搭載面15と傾斜面16とのなす角度を90°未満のθ1とし、冷却体13において、実装基準面18と傾斜面19とのなす角度を90°未満のθ2とすると、これらの角度の関係はθ1=θ2に設定されている。つまり、中間体12と冷却体13は外形が相似する関係になっている。
レーザアレイ11を中間体12を介して冷却体13に実装するにあたって、レーザアレイ11と中間体12の接合材料、及び中間体12と冷却体13の接合材料としては、例えばはんだ材料、好ましくは鉛を含まないはんだ(鉛フリーはんだ)材料が用いられる。その場合、レーザアレイ11は、第1のはんだ材料を用いて中間体12に接合され、中間体12は、第1のはんだ材料よりも融点が低い第2のはんだ材料を用いて冷却体13に接合される。第1のはんだ材料としては、例えばAuSn系のはんだ材料を用いることができ、第2のはんだ材料としては、例えばIn(インジウム)を主成分とする低融点のはんだ材料を用いることができる。
実際にレーザモジュール10を製造する場合は、レーザアレイ11の下面と中間体12の素子搭載面15を上述のように位置合わせして対面させるとともに、それらの間に薄板状をなす第1のはんだ材料を介在させた状態で、室温(常温)から第1の接合温度(例えば、250℃)に加熱することにより、第1のはんだ材料を溶融させてレーザアレイ11を中間体12に接合する。その際、第1のはんだ材料は、加熱後の温度降下によって硬化する。
その後、レーザアレイ11を搭載済みの中間体12の傾斜面16と冷却体13の傾斜面19を対面させるとともに、それらの間に薄板状をなす第2のはんだ材料を介在させた状態で、室温から第1の接合温度よりも低い第2の接合温度(例えば、150〜170℃程度)に加熱することにより、第1のはんだ材料を硬化させたまま第2のはんだ材料を溶融させて中間体12を冷却体13に接合する。その際、第2のはんだ材料は、加熱後の温度降下によって硬化する。
中間体12を冷却体13に接合する場合は、中間体12の傾斜面16と冷却体13の傾斜面19にそれぞれ加工上の面荒さに伴う微細な凹凸があっても、この凹凸による両者の相対位置のずれを第2のはんだ材料の厚みで吸収することができる。また、第2のはんだ材料を間に挟んで中間体12の傾斜面16と冷却体13の傾斜面19を接合する際には、レーザアレイ11の前端面14側が高位で後端面20側が低位となるように冷却体13の傾斜面19が傾斜するため、余分なはんだ材料が重力の作用で後方(−Y方向側)に排出されやすくなる。このため、中間体12を冷却体13にはんだ接合する場合に、レーザアレイ11の前端面14側へのはんだ材料の漏出を抑制することができる。
上記構成からなるレーザモジュール10においては、Y軸方向で中間体12を厚み寸法を比較した場合に、レーザアレイ11の前端面14に近いY方向端側の厚み寸法よりも、レーザアレイ11の後端面20に近い−Y方向端側の厚み寸法の方が大きくなっている。
これに対して、レーザアレイ11を駆動した場合は、レーザ光の出射とともにレーザアレイ11が多量の熱を発生する。この熱は特に各々の半導体レーザ素子の発光点で集中的に発生する。このため、レーザアレイ11で発生した熱は、発光点の直下に伝播しやすく、後端面20側にはそれほど拡散しない。このことから、レーザアレイ11の共振器長方向(Y軸方向)においては、後端面20側に比較して前端面14側の方が排熱の寄与率が格段に高くなる。
したがって、上述したように複数の発光点が並ぶレーザアレイ11の前端面14に近いY方向端側で中間体12の厚み寸法を相対的に小さく(薄く)することにより、そこでの熱抵抗が低くなるため、レーザアレイ11で発生した熱を高い排熱効率をもって冷却体13に逃がすことができる。特に、中間体12のくさび形状部17の先端をV字形に形成し、レーザアレイ11と中間体12の位置関係として、くさび形状部17の先端の直上に発光点を位置させた場合は、発光点直下における中間体12の厚み寸法“T”が実質的に零に近い値(0<T<10μm)となる。このため、より高い排熱効率をもってレーザアレイ11から冷却体13に熱を逃がすことができる。
また、中間体12の厚み寸法は、Y方向端から−Y方向端に向かって徐々に大きくなっており、それにつれて中間体12が厚肉になっているため、中間体を一様な厚みで薄い板状に形成する場合に比較して、中間体12全体の機械的強度を高めることができる。その結果、レーザアレイ11を中間体12を介して冷却体13に実装してなるレーザモジュール10において、レーザアレイ11から冷却体13への高い排熱効率と中間体12の機械的強度の確保を両立させることができる。また、中間体12の−Y方向端の厚み寸法は十分に大きな寸法(数百μm以上)となるため、レーザモジュール10の製造工程で中間体12の取り扱い(例えば、ハンドリングなど)が容易になる。
さらに、中間体12の素子搭載面15と冷却体13の実装基準面18が平行になるように、中間体12の傾斜面16と冷却体13の傾斜面19を対面させて、冷却体13に中間体12を搭載しているため、冷却体13の実装基準面18と平行な向きで中間体12にレーザアレイ11を搭載することができる。したがって、レーザモジュール10を図示しないベース部材に実装する場合に、当該ベース部材上で冷却体13の実装基準面18を基準にレーザアレイ11を水平な向きで取り付けることができる。
また、図3に示すように、仮に実装基準面18と傾斜面19が平行な四角柱状の冷却体13に中間体12を搭載した場合は、中間体12のくさび形状部17の傾斜角度θ1にしたがって、レーザアレイ11の前端面14と冷却体13のY方向端の端面とのなす角度が180°未満の角度(具体的には、180°−θ1)となる。このため、レーザアレイ11を駆動した場合に、各々の半導体レーザ素子の発光点から出射したレーザ光Lbが冷却体13の角にぶつかって“ケラレ”が発生し、半導体レーザ素子の特性劣化や破損などを引き起こす恐れがあるが、上記図2に示すような形態で中間体12を冷却体13に搭載すれば、レーザ光Lbが冷却体13の角に当たることが皆無となるため、そうした不具合を避けることができる。
図4は本発明の実施形態に係るレーザモジュールの第1変形例を説明する要部拡大側面図である。この第1変形例においては、素子搭載面15と傾斜面16によって中間体12に形成されたくさび形状部17の先端に切り欠き部21が形成されている。切り欠き部21は、素子搭載面15から傾斜面16に向かって垂直に切り欠かれている。切り欠き部21は素子搭載面15と垂直な平面で形成されており、この切り欠き部(切り欠き面)21と同一平面をなすようにレーザアレイ11の前端面14が配置されている。切り欠き部21のZ軸方向の寸法は、例えば10〜100μm、好ましくは10〜50μm、さらに好ましくは10〜30μmの範囲に設定される。
このように中間体12の構成として、くさび形状部17の先端に切り欠き部21を設けることにより、くさび形状部17の先端が物理的な接触などで欠損することを有効に防止することができる。このため、レーザモジュール10の製造工程で中間体12の取り扱いがますます容易になる。また、レーザアレイ11の発光点の直下には少なくとも上記数値例で示した程度の厚み寸法で中間体12の一部が存在するため、その部分で応力緩和効果が得られる。
図5は本発明の実施形態に係るレーザモジュールの第2変形例を説明する側面図である。この第2変形例においては、中間体12の傾斜面16の一部に凹面部16Aが設けられ、これに対応して冷却体13の傾斜面19の一部に凸面部19Aが設けられている。凹面部16Aと凸面部19Aは、側面方向から見て互いに同じ曲率で円弧状に形成されている。また、凹面部16Aと凸面部19Aは、互いに対面する状態ではんだ材料により接合されている。
このように中間体12の傾斜面16と冷却体13の傾斜面19に、それぞれ凹面部16Aと凸面部19Aを形成して対面させることにより、はんだ材料を用いて中間体12と冷却体13を接合する際に、冷却体13の傾斜面19に沿う方向で凹面部16Aと凸面部19Aを摺り合わせることにより、中間体12と冷却体13の相対位置を自己整合的に合わせることができる。
なお、ここでは中間体12の傾斜面16に凹面部16Aを設け、冷却体13の傾斜面19に凸面部19Aを設けているが、これに限らず、中間体12の傾斜面16に凸面部を設け、これに対応して冷却体13の傾斜面19に凹面部を設けるようにしてもよい。
図6は本発明の実施形態に係るレーザモジュールの第3変形例を説明する側面図である。この第3変形例においては、中間体12のくさび形状部17の先端に上記第1変形例と同様に切り欠き部21が設けられている。また、中間体12のY軸方向の寸法と、冷却体13のY軸方向の寸法が、互いに同じ寸法に設定されている。そして、Y軸方向においては、中間体12のY方向端の端面となる切り欠き部21と冷却体13のY方向端の端面が同一平面をなして配置されるとともに、中間体12の−Y方向端の端面と冷却体13の−Y方向端の端面が同一平面をなして配置されている。
図7は本発明の実施形態に係るレーザモジュールの第4変形例を説明する側面図である。この第4変形例においては、中間体12は、断面(X軸方向の端面)が台形をなす四角柱状に形成されている。中間体12には、上記同様に素子搭載面15と傾斜面16によってV字形のくさび形状部17が形成されている。この中間体12は、その母材となる四角柱状の部材22を角度θ1で斜めに切断することにより得られる。このため、中間体12の加工が容易なものとなる。
図8は本発明の実施形態に係るレーザモジュールの第5変形例を説明する側面図である。この第5変形例においては、中間体12の厚肉側に複数(図例では3つ)のビア23が形成されている。各々のビア23は、中間体12に埋め込まれた状態で金属製の柱状に形成されている。これらのビア23はX軸方向に所定の間隔で並んでいる。各々のビア23は、Z軸方向と平行な向きで柱状に形成されている。各々のビア23のZ軸方向の一端は素子搭載面15に露出した状態に配置され、同他端は傾斜面16に露出した状態に配置されている。
このように中間体12の厚肉側に導通路となるビア23を設けることにより、例えば中間体12をAlNなどのセラミック系材料で構成し、且つ中間体12の表面を金属薄膜によってメタライズした場合に、レーザアレイ11が搭載される素子搭載面15のメタライズ層と、冷却体13に接合される傾斜面16のメタライズ層とが、ビア23によって電気的に接続された状態となるため、レーザアレイ11と冷却体13の間に介在する中間体12の実効的な電気抵抗を大幅に下げることができる。このため、メタライズだけで電圧上昇を回避できない状況にあっても、ビア23の存在による低抵抗化によって電圧上昇を回避することができる。
なお、本発明の実施形態においては、複数の半導体レーザ素子を一体に有するレーザアレイ11を用いてレーザモジュール10を構成したが、本発明はこれに限らず、単一の半導体レーザ素子を構成するレーザチップを中間体を介して冷却体に実装する場合にも適用可能である。
10…レーザモジュール、11…レーザアレイ、12…中間体、13…冷却体、15…素子搭載面、16…傾斜面、17…くさび形状部、18…実装基準面、19…傾斜面、21…切り欠き部、23…ビア
Claims (7)
- 共振器長方向の一方端に発光点を有するレーザ素子と、
前記レーザ素子を搭載する中間体と、
前記中間体を搭載する冷却体とを備え、
前記中間体の厚み寸法は、前記共振器長方向の一方端側に比較して他方端側が大きい
ことを特徴とするレーザモジュール。 - 前記中間体は、前記レーザ素子が搭載される第1面と、前記第1面に対して90°未満の所定角度で傾斜した第2面とを有し、
前記冷却体は、第3面と、前記第3面に対して前記所定角度と同じ角度で傾斜した第4面とを有し、
前記中間体の第1面と前記冷却体の第3面が平行になるように、前記中間体の第2面と前記冷却体の第4面を対面させた状態で、前記冷却体に前記中間体を搭載してなる
ことを特徴とする請求項1記載のレーザモジュール。 - 前記中間体は、前記第1面と前記第2面によって形成されるくさび形状部を有するとともに、前記くさび形状部の先端の直上に前記発光点が位置する状態で前記中間体を搭載してなる
ことを特徴とする請求項2記載のレーザモジュール。 - 前記中間体のくさび形状部の先端をV字形に形成してなる
ことを特徴とする請求項3記載のレーザモジュール。 - 前記中間体のくさび形状部の先端に切り欠き部を形成してなる
ことを特徴とする請求項3記載のレーザモジュール。 - 前記中間体の第2面及び前記冷却体の第4面のうち、一方の面は凹面部を有し、他方の面は凸面部を有する
ことを特徴とする請求項2記載のレーザモジュール。 - 前記中間体の厚肉側に、前記第1面及び前記第2面に両端部を露出させた状態で導通路を形成してなる
ことを特徴とする請求項2記載のレーザモジュール。
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