JP2009158227A - マスク蒸着方法、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、およびマスク蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単な構成で、被処理基板を成膜開始時から成膜終了時まで低い温度に保持することができるマスク蒸着方法、有機EL装置の製造方法、およびマスク蒸着装置を提供すること。
【解決手段】マスク蒸着装置200では、成膜前に、冷却エリア290において金属製の冷却ブロック340、金属製の蒸着マスク310および金属製のホルダ320を冷却する冷却工程を行ない、ホルダ320に支持された金属製の蒸着マスク310の上に第1基板10を重ねるとともに、第1基板10の上に冷却ブロック340を重ねた状態で成膜室220に搬入し、成膜工程を行なう。このため、第1基板10は成膜前から成膜後にかけて低い温度に保持される。
【選択図】図4
【解決手段】マスク蒸着装置200では、成膜前に、冷却エリア290において金属製の冷却ブロック340、金属製の蒸着マスク310および金属製のホルダ320を冷却する冷却工程を行ない、ホルダ320に支持された金属製の蒸着マスク310の上に第1基板10を重ねるとともに、第1基板10の上に冷却ブロック340を重ねた状態で成膜室220に搬入し、成膜工程を行なう。このため、第1基板10は成膜前から成膜後にかけて低い温度に保持される。
【選択図】図4
Description
本発明は、被処理基板に対して蒸着マスクを重ねてイオンプレーティング法、真空蒸着法、スパッタ蒸着法などにより成膜を行なうマスク蒸着方法、このマスク蒸着方法を用いた有機エレクトロルミネッセンス(以下、有機EL(Electro Luminescence)という)装置の製造方法、およびマスク蒸着装置に関するものである。
各種半導体装置や電気光学装置の製造工程では、被処理基板に対して真空蒸着法、スパッタ蒸着法などが行なわれている。その際、プラズマガンなどのプラズマ源により成膜室内にプラズマを発生させれば、被処理基板にイオンプレーティングを行なうことができる(例えば、特許文献1、2参照)。
かかる方法で成膜する際、被処理基板の被成膜面に蒸着マスクを重ねておき、蒸着マスクの開口部を介して被処理基板の被成膜面に成膜を行なえば、蒸着マスクの開口部の形状に対応したパターンで成膜を行なうことができる(例えば、特許文献3参照)。
ここで、蒸着法では、蒸着源での加熱により蒸発、昇華した蒸着粒子が被処理基板に堆積するため、被処理基板の温度が上昇し、それ以前に形成した膜を劣化させるなどの問題点がある。そこで、成膜中、基板が所定の温度以上に上昇しないように、基板の冷却や管理が行なわれる。
特開平6−60983号公報
特開2001−185364号公報
特開平11−329723号公報
しかしながら、成膜中の基板を冷却すると大幅な装置の改造が必要となってしまう。かといって、基板を冷却せずに温度を管理するだけでは、例えば、成膜を途中で停止して、基板温度が低下した後、成膜を再開するなどの方法を採用せざるを得ず、生産性が著しく低下してしまう。
そこで、本願発明者は、図7(a)に示すように、成膜前の冷却工程において、冷却装置370によって板状の冷却ブロック340を冷却しておき、被処理基板10′に対する成膜を開始する場合には、図7(b)、(c)に示すように、ホルダ320に支持された蒸着マスク320上に被処理基板10′および金属製の冷却ブロック340を重ね、この状態で、図7(d)に示すように、ホルダ320に支持された蒸着マスク320、被処理基板10′および冷却ブロック340を成膜室に移送することを提案する。
しかしながら、かかる方法では、被処理基板10′の被成膜面を冷却する必要があるにもかかわらず、冷却ブロック340が被処理基板10′の裏面側から冷却するため、被処理基板10′の被成膜面を十分に冷却できないという問題点がある。また、冷却ブロック340の熱容量に限界があるため、成膜中、被処理基板10′の温度が上昇することを確実に防止することは不可能である。
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、簡単な構成で、被処理基板を成膜開始時から成膜終了時まで低い温度に保持することができるマスク蒸着方法、有機EL装置の製造方法、およびマスク蒸着装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明では、成膜室内で、ホルダに支持された蒸着マスクと被処理基板の第1面とを重ねた状態で蒸着源から当該被処理基板の第1面に向かって蒸着材料流を供給して、前記蒸着マスクの開口部を介して前記被処理基板の前記第1面に成膜を行なうマスク蒸着方法において、前記蒸着マスクは金属製であり、冷却ブロック、前記蒸着マスクおよび前記ホルダを冷却する冷却工程を行なった後、前記被処理基板において前記第1面とは反対側に位置する第2面に前記冷却ブロックを重ねるとともに、前記ホルダに支持された蒸着マスクに前記被処理基板の前記第1面を重ねた状態で前記被処理基板の前記第1面に対する成膜を行なう成膜工程と、を行なうことを特徴とする。
また、本発明では、成膜室と、ホルダに支持された蒸着マスクとを有し、前記成膜室内で前記蒸着マスクと被処理基板の第1面とを重ねた状態で蒸着源から当該被処理基板の第1面に向かって蒸着材料流を供給して、前記蒸着マスクの開口部を介して前記被処理基板の前記第1面に成膜を行なうマスク蒸着装置において、前記蒸着マスクは金属製であり、成膜時、前記被処理基板において前記第1面とは反対側に位置する第2面に重ねて配置される冷却ブロックと、成膜前、前記冷却ブロック、前記蒸着マスクおよび前記ホルダを冷却する冷却装置と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、成膜前に、冷却ブロック、蒸着マスクおよびホルダを冷却しておくため、被処理基板の被成膜面である第1面は、短時間のうちに、蒸着マスクおよびホルダによって冷却される。また、被処理基板は、第2面の側から冷却ブロックによって冷却され続ける。このため、被処理基板は、成膜開始から終了までの間、低い温度に保持される。ここで、蒸着マスクは、成膜精度という観点からすると、かなり薄いため、熱容量が小さいが、蒸着マスクを保持するホルダも冷却されるので、蒸着マスクの熱容量が小さいという欠点を補うことができる。
本発明において、前記冷却ブロックと、前記蒸着マスクおよび前記ホルダとは別体であり、前記冷却工程では、前記冷却ブロックと、前記蒸着マスクおよび前記ホルダとを分離した状態で冷却を行なうことが好ましい。蒸着マスクおよび冷却ブロックは各々、被処理基板の第1面および第2面に配置されることから、蒸着マスクと冷却ブロックとを各々、別体に形成しておけば、蒸着マスクおよび冷却ブロックを各々、被処理基板の第1面および第2面に配置するのが容易である。
本発明において、前記冷却工程では、第1冷却装置により前記冷却ブロックを冷却し、第2冷却装置により前記蒸着マスクおよび前記ホルダを冷却することが好ましい。冷却ブロックと、蒸着マスクおよびホルダとを分離した状態で別々に冷却すれば、これらの部材を効率よく冷却することができるので、冷却ブロック、蒸着マスクおよびホルダを多数準備してなくても、順次、搬送されてくる多数の被処理基板に対して冷却を行なうことができる。
本発明において、前記成膜工程では、前記冷却ブロックと前記蒸着マスクとに磁気吸引力を作用させて、前記蒸着マスク、前記被処理基板、および前記冷却ブロックを密着させることが好ましい。このように構成すると、冷却ブロックによる被処理基板の冷却、および蒸着マスクから被処理基板の冷却をスムーズに行なうことができる。しかも、蒸着マスクと被処理基板の第1面とが密着していれば、成膜精度が向上するという利点もある。
本発明において、前記成膜工程では、例えば、プラズマ源によって前記成膜室内にプラズマを発生させるとともに、前記成膜室内に反応性ガスを導入しながら成膜を行なってもよい。
本発明は、前記被処理基板の基材がガラス基板である場合に適用すると効果的である。ガラス基板の場合、冷却ブロックによる被処理基板の第1面に対する冷却速度が遅いが、本発明では、被処理基板の第1面に対する冷却は、まず、蒸着マスクによって行なわれるため、被処理基板の基材がガラス基板であっても、成膜開始時から、被処理基板の第1面を冷却した状態で行なうことができる。
本発明を適用したマスク蒸着方法は、有機EL装置の製造方法に用いることができ、この場合、前記被処理基板は、有機EL素子が形成される素子基板である。
以下、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。また、以下の説明では、図7を参照して説明した構成との対応が分りやすいように、可能な限り、対応する部分には同一の符号を付して説明する。
(成膜対象例/有機EL装置の構成)
図1は、本発明が適用される有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図である。図1に示す有機EL装置100において、第1基板10上には、複数の走査線3aと、走査線3aに対して交差する方向に延びる複数のデータ線6aと、走査線3aに対して並列して延在する複数の電源線3eとを有している。また、第1基板10において、矩形形状の画素領域10aには複数の画素100aがマトリクス状に配列されている。データ線6aにはデータ線駆動回路101が接続され、走査線3aには走査線駆動回路104が接続されている。画素領域10aの各々には、走査線3aを介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用の薄膜トランジスタ30bと、このスイッチング用の薄膜トランジスタ30bを介してデータ線6aから供給される画素信号を保持する保持容量70と、保持容量70によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用の薄膜トランジスタ30cと、この薄膜トランジスタ30cを介して電源線3eに電気的に接続したときに電源線3eから駆動電流が流れ込む画素電極81(陽極層)と、この画素電極81と陰極層との間に有機機能層が挟まれた有機EL素子80とが構成されている。
図1は、本発明が適用される有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図である。図1に示す有機EL装置100において、第1基板10上には、複数の走査線3aと、走査線3aに対して交差する方向に延びる複数のデータ線6aと、走査線3aに対して並列して延在する複数の電源線3eとを有している。また、第1基板10において、矩形形状の画素領域10aには複数の画素100aがマトリクス状に配列されている。データ線6aにはデータ線駆動回路101が接続され、走査線3aには走査線駆動回路104が接続されている。画素領域10aの各々には、走査線3aを介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用の薄膜トランジスタ30bと、このスイッチング用の薄膜トランジスタ30bを介してデータ線6aから供給される画素信号を保持する保持容量70と、保持容量70によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用の薄膜トランジスタ30cと、この薄膜トランジスタ30cを介して電源線3eに電気的に接続したときに電源線3eから駆動電流が流れ込む画素電極81(陽極層)と、この画素電極81と陰極層との間に有機機能層が挟まれた有機EL素子80とが構成されている。
かかる構成によれば、走査線3aが駆動されてスイッチング用の薄膜トランジスタ30bがオンになると、そのときのデータ線6aの電位が保持容量70に保持され、保持容量70が保持する電荷に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ30cのオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ30cのチャネルを介して、電源線3eから画素電極81に電流が流れ、さらに有機機能層を介して対極層に電流が流れる。その結果、有機EL素子80は、これを流れる電流量に応じて発光する。
このように構成した有機EL装置100において、複数の画素100aは各々、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)に対応し、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の3つの画素100aによって1つのピクセルを構成している。本形態において、有機EL素子80は、白色光またはRGB混合色光が出射され、画素100aが赤色(R)、緑色(G)、青色(B)のいずれに対応するかは、後述するカラーフィルタによって規定されている。
なお、図1に示す構成では、電源線3eは走査線3aと並列していたが、電源線3eがデータ線6aに並列している構成を採用してもよい。また、図1に示す構成では、電源線3eを利用して保持容量70を構成していたが、電源線3eとは別に容量線を形成し、かかる容量線によって保持容量70を構成してもよい。
(有機EL装置の具体的構成)
図2(a)、(b)は各々、本発明が適用される有機EL装置の平面的な構成を各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのJ−J′断面図である。なお、図2(b)にはカラーフィルタなどの図示を省略してある。図2(a)、(b)において、本形態の有機EL装置100では、素子基板としての第1基板10と、封止基板およびカラーフィルタ基板の双方の機能を担う第2基板20とがシール材層92によって貼り合わされており、かかるシール材層92の形成領域は、図2(a)にドットが粗に付された領域として表してある。第1基板10において、画素領域10aの外側の領域には、図1を参照して説明したデータ線駆動回路101、走査線駆動回路104、およびITO膜からなる端子102が形成されている。詳しくは後述するが、第1基板10の画素領域10aには、複数の有機EL素子80がマトリクス状に配列されており、かかる複数の有機EL素子80が各々、画素100aを構成している。
図2(a)、(b)は各々、本発明が適用される有機EL装置の平面的な構成を各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのJ−J′断面図である。なお、図2(b)にはカラーフィルタなどの図示を省略してある。図2(a)、(b)において、本形態の有機EL装置100では、素子基板としての第1基板10と、封止基板およびカラーフィルタ基板の双方の機能を担う第2基板20とがシール材層92によって貼り合わされており、かかるシール材層92の形成領域は、図2(a)にドットが粗に付された領域として表してある。第1基板10において、画素領域10aの外側の領域には、図1を参照して説明したデータ線駆動回路101、走査線駆動回路104、およびITO膜からなる端子102が形成されている。詳しくは後述するが、第1基板10の画素領域10aには、複数の有機EL素子80がマトリクス状に配列されており、かかる複数の有機EL素子80が各々、画素100aを構成している。
(有機EL素子の構成)
図3は、本発明が適用される有機EL装置の断面構成を模式的に示す断面図である。なお、図3には、有機EL素子として、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)に対応する3つの有機EL素子のみを示してある。
図3は、本発明が適用される有機EL装置の断面構成を模式的に示す断面図である。なお、図3には、有機EL素子として、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)に対応する3つの有機EL素子のみを示してある。
図3に示すように、第1基板10は、石英ガラス基板や耐熱ガラス基板などのガラス基板からなる支持基板10dを備えている。支持基板10dの第1面10eおよび第2面10fのうち、第1面10eの側には、絶縁膜11、12、13、14、15が形成され、絶縁膜15の上層には有機EL素子80が形成されている。本形態において、絶縁膜11、12、13、15は、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜などから形成され、絶縁膜14は、厚さが1.5〜2.0μmの厚い感光性樹脂からなる平坦化膜として形成されている。絶縁膜11は下地絶縁層であり、図示を省略するが、絶縁膜11、12、13、14の層間などを利用して、図1を参照して説明した薄膜トランジスタ30b、30c、保持容量70、各種配線や各駆動回路が形成されている。また、絶縁膜12、13、14、15に形成されたコンタクトホールを利用して、異なる層間に形成された導電膜同士の電気的な接続が行なわれている。
本形態の有機EL装置100は、トップエミッション型であり、矢印L1で示すように、支持基板10dからみて有機EL素子80が形成されている側から光を取り出すので、支持基板10dとしては、ガラス基板の他、アルミナなどのセラミックス、ステンレススチールなどといった不透明な基板を用いることができる。また、絶縁膜13、14の層間には、アルミニウム、銀、それらの合金からなる光反射層41が形成されており、有機EL素子80から支持基板10dに向けて出射された光を光反射層41で反射することにより、光を出射可能である。なお、有機EL装置100をボトムエミッション型で構成した場合、支持基板10dの側から光を取り出すので、支持基板10dとしては、ガラス基板などの透明基板が用いられる。
また、第1基板10では、絶縁膜15の上層にITO膜などからなる第1電極層81(陽極/画素電極)が島状に形成されており、第1電極層81の上層には、発光領域を規定するための開口部を備えた感光性樹脂などからなる厚い隔壁51が形成されている。
また、第1電極層81の上層には、有機機能層82および第2電極層83(陰極)が積層されており、第1電極層81、有機機能層82および第2電極層83によって、有機EL素子80が形成されている。本形態において、有機機能層82および第2電極層83は、隔壁51が形成されている領域も含めて、画素領域10aの全面にわたって形成されている。
本形態において、有機機能層82は、トリアリールアミン(ATP)多量体からなる正孔注入層、TPD(トリフェニルジアミン)系正孔輸送層、アントラセン系ドーパントやルブレン系ドーパントを含むスチリルアミン系材料(ホスト)からなる発光層、アルミニウムキノリノール(Alq3)からなる電子注入層をこの順に積層した構造を有しており、その上層にMgAgなどの薄膜金属からなる第2電極層83が形成されている。また、有機機能層82と第2電極層83との間には、LiFからなる電子注入バッファ層が形成されることもある。これらの材料のうち、有機機能層82を構成する各層、および電子注入バッファ層は、加熱ボート(坩堝)を用いた真空蒸着法で順次形成することができる。また、第2電極層83などを構成する金属系材料については真空蒸着法により形成でき、第1電極層81を構成するITOなどの酸化物材料についてはECRプラズマスパッタ法やプラズマガン方式イオンプレーティング法、マグネトロンスパッタ法などの高密度プラズマ成膜法により形成することができる。
このように構成した有機EL素子80は、白色光またはRGB混合色光が出射されるため、本形態の有機EL装置100では、第2基板20において、有機EL素子80と対向する位置に形成した赤色(R)、緑色(G)、青色(B)のカラーフィルタ層22(R)、(G)、(B)によって色変換を行なうことにより、フルカラー表示を行なう。ここで、第2基板20は、ポリエチレンテレフタレート、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリオレフィンなどプラスチック基板や、ガラス基板などからなる透光性の支持基板20dに、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)のカラーフィルタ層22(R)、(G)、(B)、カラーフィルタ層22(R)、(G)、(B)の間で光の漏洩を防止するための遮光層23(ブラックマトリックス層)、透光性の平坦化膜24、酸窒化シリコン層からなる透光性のガスバリア層25がこの順に形成されている。
(封止構造)
このように構成した有機EL装置100において、陰極として用いた第2電極層83や、電子注入層、電子注入バッファ層は、水分により劣化しやすく、かかる劣化は、電子注入効果の劣化を惹き起こし、ダークスポットと呼ばれる非発光部分を発生させてしまう。そこで、本形態では、第2基板20を封止基板として第1基板10と貼り合せた構成と、第1基板10に対して以下に説明する封止膜60を形成した構成とを併用する。
このように構成した有機EL装置100において、陰極として用いた第2電極層83や、電子注入層、電子注入バッファ層は、水分により劣化しやすく、かかる劣化は、電子注入効果の劣化を惹き起こし、ダークスポットと呼ばれる非発光部分を発生させてしまう。そこで、本形態では、第2基板20を封止基板として第1基板10と貼り合せた構成と、第1基板10に対して以下に説明する封止膜60を形成した構成とを併用する。
まず、第1基板10には、第2電極層83の上層に画素領域10aよりも広い領域にわたって封止膜60が形成されている。かかる封止膜60として、本形態では、第2電極層83上に積層されたシリコン化合物層からなる第1膜61、この第1膜61上に積層された樹脂層からなる第2膜62、およびこの第2膜62上に積層されたシリコン化合物からなる第3膜63を備えた積層膜が用いられている。ここで、第1膜61および第3膜63は、高密度プラズマ源を用いた高密度プラズマ気相成長法、例えば、ブラズマガン方式イオンプレーティング、ECRプラズマスパッタなどを用いて成膜されたシリコン窒化物(SiNx)やシリコン酸窒化物(SiOxNy)などから構成されており、かかる薄膜は、低温で成膜しても水分を確実に遮断する高密度ガスバリア層として機能する。また、第2層62は、樹脂層から構成されており、隔壁51や配線などに起因する表面凹凸を平坦化して第1膜61および第2膜62にクラックが発生するのを防止する有機緩衝層として機能している。
次に、本形態では、第1基板10と第2基板20との間には、画素領域10aよりも広い領域にわたって透光性のシール材層92が形成されており、かかるシール材層92によって、第1基板10と第2基板20とが貼り合わされている。シール材層92は、画素領域10a、および画素領域10aの近傍領域のみに形成されており、画素領域10aから離れた周辺領域10cには形成されていない。このようなシール材層92は、熱によって硬化するエポキシ系接着剤が用いられている。また、周辺領域10cには、周辺シール材層91が形成されており、かかる周辺シール材層91には、紫外線によって硬化するエポキシ材料が用いられている。周辺シール材層91を構成する樹脂材料は、シール材層92を構成する樹脂材料に比較して、未硬化状態での粘度が高い。従って、第1基板10および第2基板20の周辺領域10cに沿って未硬化の周辺シール材層91を塗布するとともに、その内側に未硬化のシール材層92を塗布した後、第1基板10と第2基板20とを重ね合わせれば、周辺シール材層91を基板間で展開させることができる。従って、その後、紫外線照射および加熱を行なえば、周辺シール材層91およびシール材層92を硬化させ、基板同士を貼り合せることができる。
(マスク蒸着方法およびマスク蒸着装置)
図4を参照して、本発明を適用したマスク蒸着方法およびマスク蒸着装置を説明する。図4(a)、(b)は各々、本発明を適用したマスク蒸着装置の成膜室全体の構成を示す説明図、および基板周辺の構成を示す断面図である。
図4を参照して、本発明を適用したマスク蒸着方法およびマスク蒸着装置を説明する。図4(a)、(b)は各々、本発明を適用したマスク蒸着装置の成膜室全体の構成を示す説明図、および基板周辺の構成を示す断面図である。
図4(a)に示すマスク蒸着装置200は、図3に示す各層のうち、封止層60の最上層である第3膜63を形成するインライン式の成膜装置であり、真空状態とされる成膜室220を備えている。成膜室220は、上下2つの空間から構成されており、成膜室220の上部空間は、第1基板10(被処理基板)が矢印Hに向かって搬送される基板搬送エリア230になっている。これに対して、成膜室220の下部空間は、第1基板10に向かう蒸着材料流を発生させる蒸着材料流発生エリア240になっている。マスク蒸着装置200において、成膜室220に対して第1基板10の搬送方向における上流側には、後述する冷却工程が行なわれる冷却エリア290が構成されており、成膜室220と冷却エリア290との間にはシャッタなどにより仕切られている。
ここで、第1基板10は、図4(b)に示すように、金属製のホルダ320に支持された金属製の蒸着マスク310に第1基板10の第1面10e(被成膜面)が接するように、冷却エリア290で重ねられた状態で成膜室220に搬入される。蒸着マスク310には、成膜パターン(封止層60の第3膜63の形成パターン)に対応する開口部(図示せず)が形成されており、第1基板10の第1面10eは、蒸着マスク310の開口部を介して成膜される。ここで、蒸着マスク310は、高い成膜精度を確保するという観点から薄板状であるため、ホルダ320は、蒸着マスク310を補強する機能を担っている。具体的には、ホルダ320としては、例えば、枠体の間に梁状の支持部が形成されたものを用いることができ、かかる支持部の間に蒸着マスク310が保持されている構成を採用することができる。このような状態で成膜する際、本形態では、第1基板10の第2面10fに金属製の板状の冷却ブロック340が重ねられており、かかる冷却ブロック340は、冷却エリア290において冷却された後、冷却エリア290において第1基板10に重ねられる。
再び図4(a)において、蒸着材料流発生エリア240の底部分には、第1基板10の幅方向(搬送方向と直交する方向)に一対の蒸着源280が配置されている。成膜室220の一方の壁面241には、プラズマ源としてのプラズマガン250が配置されており、かかるプラズマガン250は、成膜室220内にプラズマを発生させる。蒸着源280は、プラズマビームPを下方に導く主陽極としての坩堝状のハース(図示せず)を備えており、かかるハースの凹部に蒸着原料(図示せず)が保持されている。かかる蒸着原料は、プラズマビームPによって加熱されて蒸発、昇華し、イオン化された状態で第1基板10に向かう。成膜室220において、基板搬送エリア230と蒸着材料流発生エリア240とは、開口部246を備えた仕切り板247によって仕切られており、開口部246によって、第1基板10に対する成膜範囲が規定されている。
成膜室220において、蒸着材料流発生エリア240の一方の壁面241にはガス導入口260が配置されている。また、成膜室220において、一方の壁面241に対向する他方の壁面242には排気口270(排気ポート)が開口している。排気口270は、排気路272を介してターボポンプ274に接続され、ターボポンプ274から延びた排気路275はドライポンプ(図示せず)に接続されている。なお、ガス導入口260および排気口270に対しては、その開閉を制御するゲートバルブ(図示せず)が設けられている。また、ガス導入口260は、窒素ガスなどの反応ガスが貯留されたボンベなどに接続されている。
(被処理基板に対する冷却方法)
図5は、本発明を適用したマスク蒸着方法およびマスク蒸着装置における冷却工程および冷却エリアの構成を示す説明図である。本形態のマスク蒸着装置200において、シリコンを蒸着原料として用い、成膜中、ガス導入口260から成膜室220内に窒素ガスを反応ガスとして導入すれば、第3膜63をシリコン窒化膜によって形成することができる。また、シリコン酸化物を蒸着原料として用い、成膜中、ガス導入口260から成膜室220内に窒素ガスを反応ガスとして導入すれば、第3膜63をシリコン酸窒化膜によって形成することができる。かかる成膜の際、第1基板10が温度上昇し、所定の温度を超えると、それ以前に形成した有機機能層82が劣化してしまう。
図5は、本発明を適用したマスク蒸着方法およびマスク蒸着装置における冷却工程および冷却エリアの構成を示す説明図である。本形態のマスク蒸着装置200において、シリコンを蒸着原料として用い、成膜中、ガス導入口260から成膜室220内に窒素ガスを反応ガスとして導入すれば、第3膜63をシリコン窒化膜によって形成することができる。また、シリコン酸化物を蒸着原料として用い、成膜中、ガス導入口260から成膜室220内に窒素ガスを反応ガスとして導入すれば、第3膜63をシリコン酸窒化膜によって形成することができる。かかる成膜の際、第1基板10が温度上昇し、所定の温度を超えると、それ以前に形成した有機機能層82が劣化してしまう。
そこで、本形態では、冷却エリア290において、冷却ブロック340、蒸着マスク310およびホルダ320を冷却してから、図4(b)に示すように、蒸着マスク310、第1基板10、および冷却ブロック340を重ねた状態とし、成膜室220に搬入する。
かかる冷却を行なうために、本形態では、図5(a)に示すように、冷却エリア290には、冷却チラーなどに接続された第1冷却装置370、および冷却チラーなどに接続された第2冷却装置380が配置されている。ここで、冷却ブロック340と、蒸着マスク310およびホルダ320とは各々、別体であり、成膜に用いられるまでの待機期間中、冷却ブロック340は、搬送ロボット(図示せず)などによって第1冷却装置340に上面が当接した状態にされて冷却される一方、蒸着マスク310およびホルダ320は、搬送ロボット(図示せず)などによって第2冷却装置380に下面が当接した状態にされて、冷却ブロック340、蒸着マスク310およびホルダ320は、温度が例えば5℃になるように1時間程度冷却される(冷却工程)。なお、第1冷却装置370と第2冷却装置380とでは各々、別の冷却チラーが用いられている構成、および共通の冷却チラーが用いられている構成のいずれであってもよい。
次に、これから成膜される第1基板10が搬送ロボット(図示せず)によって冷却エリア290に搬入されてくると、図5(b)に示すように、第1基板10は、蒸着マスク310の上に重ねられ、第1基板10の第1面10eは蒸着マスク310に当接する。従って、第1基板10の第1面10eは蒸着マスク310によって直接、冷却されるとともに、蒸着マスク310を介してホルダ320によって冷却される。
次に、図5(c)に示すように、搬送ロボットによって、冷却ブロック340が第1基板10の上に重ねられ、第1基板10の第2面10fは冷却ブロック340に当接する。従って、第1基板10の第2面10fは冷却ブロックによって冷却される。その結果、第1基板10は、温度が例えば5℃にまで冷却される。
しかる後には、図5(d)に示すように、搬送ロボット(図示せず)によって、第1基板10は、冷却ブロック340および蒸着マスク310によって上下から挟まれた状態で成膜室220に搬送され、成膜工程が行われる。
なお、成膜後、第1基板10は、図4(a)に矢印Hで示す方向に搬送される一方、冷却ブロック340、蒸着マスク310およびホルダ320は、冷却エリア290に戻され、上記の工程が繰り返される。ここで、冷却ブロック340、蒸着マスク310およびホルダ320は、複数組、準備されているので、十分な時間、冷却された後、第1基板10の冷却に用いられる。
(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態では、冷却ブロック340、蒸着マスク310およびホルダ320を冷却する冷却工程を行なった後、第1基板10は、冷却ブロック340および蒸着マスク310によって上下から挟まれた状態で成膜室220に搬送され、成膜工程が行われる。このため、第1基板10の被成膜面である第1面10eは、短時間のうちに、蒸着マスク310およびホルダ320によって冷却される。また、第1基板10は、第2面10fの側から冷却ブロック340によって冷却され続ける。このため、第1基板10は、成膜開始から終了までの間、低い温度に保持される。ここで、蒸着マスク310は、成膜精度という観点からすると、かなり薄いため、熱容量が小さいが、蒸着マスク310を保持するホルダ320も冷却されるので、蒸着マスク310の熱容量が小さいという欠点を補うことができる。
以上説明したように、本形態では、冷却ブロック340、蒸着マスク310およびホルダ320を冷却する冷却工程を行なった後、第1基板10は、冷却ブロック340および蒸着マスク310によって上下から挟まれた状態で成膜室220に搬送され、成膜工程が行われる。このため、第1基板10の被成膜面である第1面10eは、短時間のうちに、蒸着マスク310およびホルダ320によって冷却される。また、第1基板10は、第2面10fの側から冷却ブロック340によって冷却され続ける。このため、第1基板10は、成膜開始から終了までの間、低い温度に保持される。ここで、蒸着マスク310は、成膜精度という観点からすると、かなり薄いため、熱容量が小さいが、蒸着マスク310を保持するホルダ320も冷却されるので、蒸着マスク310の熱容量が小さいという欠点を補うことができる。
特に本形態では、第1基板10の基材である支持基板10dがガラス基板であるため、熱伝導性が低いため、冷却ブロック340によって第1基板10の第2面10fの側から冷却すると、第1基板10の第1面10eを短時間のうちに冷却できないが、第1面10eを直接、蒸着マスク310によって冷却するので、第1基板10の第1面10eを短時間のうちに冷却することができる。
それ故、本形態によれば、成膜開始時の基板温度を5℃とした場合、成膜終了後の基板温度は60℃であり、温度上昇が十分抑制されるので、第1基板10は、成膜開始から終了までの間、低い温度に保持される。これに対して、冷却ブロック340、蒸着マスク310およびホルダ320を冷却しない条件では、成膜開始時の基板温度は20℃で、成膜終了後の基板温度は80℃にまで上昇してしまう。一方、図7を参照して説明したように、冷却ブロック340のみを冷却し、蒸着マスク310およびホルダ320を冷却しない条件では、成膜終了後の基板温度は70〜75℃にまで上昇してしまう。
また、本形態では、冷却ブロック340と、蒸着マスク310およびホルダ320とを分離した状態で冷却を行なう。このため、蒸着マスク310および冷却ブロック340が各々、第1基板10の第1面10eおよび第2面10fに配置するのが容易である。また、第1冷却装置370により冷却ブロック340を冷却し、第2冷却装置380により蒸着マスク310およびホルダ320を冷却することができるので、これらの部材を効率よく冷却することができる。従って、冷却ブロック340、蒸着マスク310およびホルダ320を多数準備してなくても、順次、搬送されてくる多数の第1基板10に対して冷却を行なうことができる。
[改良例]
上記実施の形態では、各々の自重によって、蒸着マスク310と第1基板10とを密着させるとともに、第1基板10と冷却ブロック340とを密着させたが、例えば、冷却ブロック340に永久磁石を設けておく一方、蒸着マスク310を磁性体により形成するか、あるいは蒸着マスク310に磁性片を付加しておくことによって、冷却ブロック340と蒸着マスク310との間に磁気吸引力を作用させて、蒸着マスク310、第1基板10、および冷却ブロック340を密着させてもよい。このように構成すると、冷却ブロック340による第1基板10の冷却、および蒸着マスク310から第1基板10の冷却をスムーズに行なうことができる。しかも、蒸着マスク310と第1基板10の第1面10eとが密着することになるので、成膜精度が向上するという利点もある。
上記実施の形態では、各々の自重によって、蒸着マスク310と第1基板10とを密着させるとともに、第1基板10と冷却ブロック340とを密着させたが、例えば、冷却ブロック340に永久磁石を設けておく一方、蒸着マスク310を磁性体により形成するか、あるいは蒸着マスク310に磁性片を付加しておくことによって、冷却ブロック340と蒸着マスク310との間に磁気吸引力を作用させて、蒸着マスク310、第1基板10、および冷却ブロック340を密着させてもよい。このように構成すると、冷却ブロック340による第1基板10の冷却、および蒸着マスク310から第1基板10の冷却をスムーズに行なうことができる。しかも、蒸着マスク310と第1基板10の第1面10eとが密着することになるので、成膜精度が向上するという利点もある。
また、熱容量を増大させるという観点からすると、ホルダ320については、可能な限り、大きいことが好ましい。また、蒸着マスク310においても、成膜精度が低下しない程度に分厚い方が好ましい。
[他の実施の形態]
上記実施の形態では、冷却ブロック340と、蒸着マスク310およびホルダ320が別体であったが、一体でもよい。
上記実施の形態では、冷却ブロック340と、蒸着マスク310およびホルダ320が別体であったが、一体でもよい。
また、上記実施の形態では、ブラズマガン方式イオンプレーティングに本発明を適用したが、ECRプラズマスパッタ、あるいはプラズマを利用しないマスク蒸着方法やマスク蒸着装置200に本発明を適用してもよい。また、第3膜63をシリコン窒化膜やシリコン酸窒化膜によって形成する場合に本発明を適用したが、他の層を形成する場合に適用してもよい。また、有機EL装置以外の装置を製造する場合に本発明を適用してもよい。
また、上記実施の形態では、インライン式のマスク蒸着装置に本発明を適用したが、バッチ式のマスク蒸着装置に本発明を適用してもよく、また、成膜中、被処理基板を蒸着マスクとともに回転させて膜厚の均一化を図る機構を備えたマスク蒸着装置に本発明を適用してもよい。
さらに、上記実施の形態では、トップエミッション型の有機EL装置100において第2基板20にカラーフィルタ22(R)、(G)、(B)を設けた場合を例に説明したが、有機EL素子自身が各色の光を出射する有機EL装置に本発明を適用してもよい。また、上記実施の形態では、カラー表示用の有機EL装置100を例に説明したが、複写機の露光ヘッドなどとして利用する場合には、モノクロでよく、このようなモノクロ用の有機EL装置に本発明を適用してもよい。この場合も、第2基板20は封止基板のみとして機能する。さらに、上記実施の形態では、トップエミッション型の有機EL装置100を例に説明したが、ボトムエミッション型の有機EL装置に本発明を適用してもよく、この場合、第2基板20は封止基板のみとして機能する。
また、上記形態では、有機機能層82を画素領域10aの全面に形成した例を説明したが、隔壁51で囲まれた領域内にインクジェット法などで有機機能層を選択的に塗布した後、定着させて、第1電極層81の上層には、3,4−ポリエチレンジオシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(PEDOT/PSS)などからなる正孔注入層、および発光層からなる有機機能層が形成された有機EL装置の製造方法に本発明を適用してもよい。この場合、発光層は、例えば、ポリフルオレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、またはこれらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、例えばルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等をドープした材料から構成される。また、発光層としては、二重結合のπ電子がポリマー鎖上で非極在化しているπ共役系高分子材料が、導電性高分子でもあることから発光性能に優れるため、好適に用いられる。特に、その分子内にフルオレン骨格を有する化合物、すなわちポリフルオレン系化合物がより好適に用いられる。また、このような材料以外にも、共役系高分子有機化合物の前駆体と、発光特性を変化させるための少なくとも1種の蛍光色素とを含んでなる組成物も使用可能である。
[電子機器への搭載例]
図6を参照して、上述した実施形態に係る有機EL装置100を搭載した電子機器について説明する。図6は、本発明に係る有機EL装置を用いた電子機器の説明図である。
図6を参照して、上述した実施形態に係る有機EL装置100を搭載した電子機器について説明する。図6は、本発明に係る有機EL装置を用いた電子機器の説明図である。
図6(a)に、有機EL装置100を備えたモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す。パーソナルコンピュータ2000は、表示ユニットとしての有機EL装置100と本体部2010を備える。本体部2010には、電源スイッチ2001及びキーボード2002が設けられている。図6(b)に、有機EL装置100を備えた携帯電話機の構成を示す。携帯電話機3000は、複数の操作ボタン3001及びスクロールボタン3002、並びに表示ユニットとしての有機EL装置100を備える。スクロールボタン3002を操作することによって、有機EL装置100に表示される画面がスクロールされる。図6(c)に、有機EL装置100を適用した情報携帯端末(PDA:Personal Digital Assistants)の構成を示す。情報携帯端末4000は、複数の操作ボタン4001及び電源スイッチ4002、並びに表示ユニットとしての有機EL装置100を備える。電源スイッチ4002を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が有機EL装置100に表示される。なお、有機EL装置100が適用される電子機器としては、図6(a)〜(c)に示すものの他、デジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、前述した有機EL装置100が適用可能である。
10・・第1基板(被処理基板)、10e・・第1基板の第1面(被成膜面)、10f・・第1基板の第2面、60・・封止層、63・・封止層の第3層、80・・有機EL素子、100・・有機EL装置、200・・マスク蒸着装置、220・・成膜室、250・・プラズマガン(プラズマ源)、260・・ガス導入口、270・・排気口、280・・蒸着源、290・・冷却エリア、310・・蒸着マスク、320・・ホルダ、340・・冷却ブロック、370・・第1冷却装置、380・・第2冷却装置
Claims (8)
- 成膜室内で、ホルダに支持された蒸着マスクと被処理基板の第1面とを重ねた状態で蒸着源から当該被処理基板の第1面に向かって蒸着材料流を供給して、前記蒸着マスクの開口部を介して前記被処理基板の前記第1面に成膜を行なうマスク蒸着方法において、
前記蒸着マスクは金属製であり、
冷却ブロック、前記蒸着マスクおよび前記ホルダを冷却する冷却工程を行なった後、
前記被処理基板において前記第1面とは反対側に位置する第2面に前記冷却ブロックを重ねるとともに、前記ホルダに支持された蒸着マスクに前記被処理基板の前記第1面を重ねた状態で前記被処理基板の前記第1面に対する成膜を行なう成膜工程と、
を行なうことを特徴とするマスク蒸着方法。 - 前記冷却ブロックと、前記蒸着マスクおよび前記ホルダとは別体であり、
前記冷却工程では、前記冷却ブロックと、前記蒸着マスクおよび前記ホルダとを分離した状態で冷却を行なうことを特徴とする請求項1に記載のマスク蒸着方法。 - 前記冷却工程では、第1冷却装置により前記冷却ブロックを冷却し、第2冷却装置により前記蒸着マスクおよび前記ホルダを冷却することを特徴とする請求項2に記載のマスク蒸着方法。
- 前記成膜工程では、前記冷却ブロックと前記蒸着マスクとに磁気吸引力を作用させて、前記蒸着マスク、前記被処理基板、および前記冷却ブロックを密着させることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のマスク蒸着方法。
- 前記成膜工程では、プラズマ源によって前記成膜室内にプラズマを発生させるとともに、前記成膜室内に反応性ガスを導入しながら成膜を行なうことを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載のマスク蒸着方法。
- 前記被処理基板は、基材がガラス基板であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載のマスク蒸着方法。
- 請求項1乃至6の何れか一項に記載のマスク蒸着方法を用いた有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
前記被処理基板は、有機エレクトロルミネッセンス素子が形成される素子基板であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。 - 成膜室と、ホルダに支持された蒸着マスクとを有し、前記成膜室内で前記蒸着マスクと被処理基板の第1面とを重ねた状態で蒸着源から当該被処理基板の第1面に向かって蒸着材料流を供給して、前記蒸着マスクの開口部を介して前記被処理基板の前記第1面に成膜を行なうマスク蒸着装置において、
前記蒸着マスクは金属製であり、
成膜時、前記被処理基板において前記第1面とは反対側に位置する第2面に重ねて配置される冷却ブロックと、
成膜前、前記冷却ブロック、前記蒸着マスクおよび前記ホルダを冷却する冷却装置と
を有することを特徴とするマスク蒸着装置。
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-
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