JP2009152289A - レーザーダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】収容部12に収容されたウェーハWにレーザー光を照射するレーザー光学部40を備えるレーザーダイシング装置10に、収容部12の内部の清浄度を測定するパーティクルカウンター50と、収容部12に清浄な気体を導入する吸気FFU54と、収容部12の内部の気体を排出する排気FFU56とを設ける。パーティクルカウンター50により測定された収容部12の内部の清浄度がしきい値を下回ると、吸気FFU54及び排気FFU56が、制御部60の指示に従って、蒸散溶融物で汚染された収容部12の内部の気体を、清浄な気体で置換する。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 収容部の内部に収容されたウェーハにレーザー光を照射して、前記ウェーハに改質領域を形成するレーザーダイシング装置であって、
前記収容部の内部の清浄度を測定する清浄度測定手段と、
前記清浄度測定手段により測定された前記清浄度に基づいて、前記収容部の内部から塵埃を除去する除去手段とを備えるレーザーダイシング装置。 - 前記除去手段は、塵埃を除去するフィルターと、前記フィルターにより塵埃が除去された気体を前記収容部に導入する気体導入部とを有することを特徴とする請求項1に記載のレーザーダイシング装置。
- 前記清浄度測定手段により測定された前記清浄度に基づいて、前記収容部の内部の気体を排出する気体排出手段をさらに備える請求項1又は2に記載のレーザーダイシング装置。
- レーザー光により、収容部の内部に収容されたウェーハに改質領域を形成するレーザーダイシング装置であって、
前記収容部の内部に収容された前記ウェーハの加工領域に対してレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
前記収容部の内部の清浄度を測定する清浄度測定手段と、
前記清浄度測定手段により測定された前記清浄度に基づいて、前記加工領域の範囲を調整する加工領域調整手段とを備えるレーザーダイシング装置。 - 収容部の内部に収容されたウェーハにレーザー光を照射して、前記ウェーハに改質領域を形成するダイシング方法であって、
前記収容部の内部の清浄度を測定する清浄度測定工程と、
前記清浄度測定工程において測定された前記清浄度に基づいて、前記収容部の内部から塵埃を除去する塵埃除去工程とを含むことを特徴とするダイシング方法。 - 収容部の内部に収容されたウェーハにレーザー光を照射して、前記ウェーハに改質領域を形成するダイシング方法であって、
前記収容部の内部の清浄度を測定する清浄度測定工程と、
前記清浄度測定工程において測定された前記清浄度に基づいて、前記加工領域の範囲を調整する加工領域調整工程とを含むダイシング方法。
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