JP2009146834A - 電子ビーム装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 交流電源12、交流直流変換手段15、位相制御素子13A,13B,13Cの点弧位相角を制御する位相制御信号を発生する位相制御回路14、電子ビーム発生源3のカソード6アノード7間に印加される直流電圧を検出する検出回路18、加速電圧設定手段20、バイアス電圧発生回路21´、検出回路18,加速電圧設定手段20及びバイアス電圧発生手段21´の各出力に基づいて位相制御手段を制御する信号を発生する誤差増幅器22、放電検出回路24を備え、放電検出信号に基づいて位相制御信号の出力発生をコントロールする様に成し、放電検出信号に基づいて誤差増幅器22に送られるバイアス電圧発生回路21´の出力をコントロールすることにより誤差増幅器22の出力の立ち上がり及び立下りを放電発生前より早くする。
【選択図】図5
Description
パルス信号を生成しないので、前記位相制御回路14は各位相制御素子13A,13B,13Cにそれぞれ位相制御信号を出力しなくなり、交流直流変換器15への前記交流電源12から各位相電圧の供給が遮断される。
2…真空ポンプ
3…電子ビーム発生源
4…フィラメント
5…フィラメント加熱電源
6…カソード
7…アノード
8…坩堝
9…蒸着材料
10…基板
11…直流高電圧発生回路
12…交流電源
13A,13B,13C…位相制御素子
14…位相制御回路
15…交流直流変換回路
16…昇圧変圧器
17…整流平滑回路
18…出力電圧検出回路
19…エミッション電流検出抵抗
20…加速電圧設定回路
So、Sa…電源
21、21´…バイアス電圧発生回路
22…誤差増幅器
23A,23B,23C…パルス生成回路
24…放電検出回路
25、27…スイッチング回路
26…反転回路
Claims (5)
- 交流電源、該交流電源からの交流電力を直流電力に変換して負荷に印加する交流直流変換手段、前記交流電源と前記交流直流変換手段との間に設けられた交流電力を制御する制御素子、該制御素子の点弧位相角を制御する位相制御信号を発生する位相制御手段、前記負荷に印加される直流電力を検出する検出手段、前記負荷に印加すべき直流電力を設定する手段、バイアス電圧発生手段、前記検出手段からの出力,前記直流電圧設定手段の出力及び前記バイアス電圧発生手段の出力に基づいて前記位相制御手段を制御する信号を発生する増幅手段、及び、前記負荷で発生した放電を検出する手段を備え、該放電検出手段からの信号に基づいて前記位相制御手段からの位相制御信号の出力発生をコントロールする様に成した電子ビーム装置において、前記放電検出手段からの放電検出信号に基づいて前記増幅手段に送られる前記バイアス電圧発生手段の出力をコントロールすることにより該増幅手段の出力の立ち上がり及び立下りを放電発生前より早くする様に成した電子ビーム装置。
- 前記バイアス電圧発生手段を、直流電源と、第1抵抗と、及び、該第1抵抗の抵抗値より大きい抵抗値を有する第2抵抗の両端各々に繋がった端子間の接続,非接続を行うスイッチング回路との直列回路で成し、前記放電検出手段からの放電検出信号により前記端子間を接続状態にすることにより、前記増幅手段に送られる前記バイアス電圧発生手段の出力を大きくすることにより該増幅手段の出力の立ち上がり及び立下りを放電発生前より早くする様に成した請求項1記載の電子ビーム装置。
- 前記制御素子はサイリスタから成る請求項1記載の電子ビーム装置。
- 前記制御手段は誤差増幅器から成る請求項1記載の電子ビーム装置。
- 前記スイッチは高速半導体スイッチであることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム装置。
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JPH10186100A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-14 | Nissin High Voltage Co Ltd | 電子線照射装置の加速電圧制御装置 |
JPH10270195A (ja) * | 1997-03-19 | 1998-10-09 | Nissin High Voltage Co Ltd | 加速電圧制御回路 |
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