JP2009133655A - 内径測定装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】より容易且つ正確に内径の測定を行うことのできる内径測定装置を提供する。
【解決手段】シリンダゲージ16により内径を測定されるピニオン43が固定されるワーク固定部15を、転動可能に配設されたボール14によって水平方向に摺動自在に支持する構造とした。そのため、シリンダゲージ16の測定部16aをピニオン43の円孔43H内に挿入すると、その挿入された測定部16aに押圧されて、適切な測定位置に位置されるようにピニオン43が水平方向に移動して、自律的に調芯がなされるようになる。
【選択図】図1

Description

本発明は、円孔の内径を測定するための内径測定装置、特に小型部品の内径の測定用途に好適な測定装置に関する。
例えば内燃機関のバルブ特性可変装置を構成する機構として、アクチュエータの回転運動を直線運動に変換する回転直線運動変換機構がある。この回転直線運動変換機構は、図7に示されるように、軸方向に延びる空間を内部に有するリングシャフト2を備えている。リングシャフト2の内部には、同軸を有して回転可能、且つ軸方向に移動可能にサンシャフト3が配置されている。そしてリングシャフト2とサンシャフト3との間には、複数のプラネタリシャフト4が等間隔で配置されている。
こうした回転直線変換機構では、リングシャフト2と各プラネタリシャフト4とは、各々に設けられたギアの噛み合いにより回転運動を互い伝達可能とされるとともに、各々に設けられたウォームの噛み合いを通じても互いに連結されている。またサンシャフト3と各プラネタリシャフト4とにおいても、各々に設けられたギアの噛み合いにより回転運動を互い伝達可能とされるとともに、各々に設けられたウォームの噛み合いを通じても互いに連結されている。
こうした回転直線運動変換機構において、リングシャフト2及びサンシャフト3のいずれかが回転運動されると、それに連動して各プラネタリシャフト4がサンシャフト3のまわりを遊星運動するようになる。そして各プラネタリシャフト4が遊星運動すると、ウォームの噛み合せを通じて、サンシャフト3がリングシャフト2に対して軸方向に移動する。この回転直線運動変換機構では、こうして回転運動を直線運動に変換するものとなっている。
さてこうした回転直線運動変換機構のプラネタリシャフト4は、図8(a)に示すように、その軸方向中央部の外周にウォーム44の形成された軸材41の両端に、外周にギア歯の形成されたピニオン43を装着することで形成されている。同図(b)にその断面構造を示すように、こうしたピニオン43は、その内部を軸方向に貫通する円孔43Hの形成された円管形状に形成されている。このピニオン43は、その全長が「11mm」、その内径が「2mm」の極小さい部品である。
こうしたピニオン43の内径には、上記軸材41に装着する都合上、非常に高い精度が要求される。そこで軸材41への装着前には、ピニオン43の内径を測定して、その内径が許容公差内に収まっているか否かを確認するようにしている。
こうしたピニオン43のような小型部品の内径の測定は、特許文献1に見られるようなシリンダゲージを用いて行なわれる。そしてその部品とシリンダゲージとをそれぞれ左右の手に保持し、シリンダゲージの測定部をその部品の円孔内に挿入してその内径の測定が行われている。
なお本件に関連する従来技術としては、特許文献2〜4に記載のものがある。特許文献2には、測定対象となるワークを揺動自在の支持部にて支持しつつ、ワークの基準面の測定器の測定基準面に密着させることで、基準位置決めを行う測定装置が記載されている。また特許文献3には、自在に動く測定子を、測定対象のレンズの表面に倣って移動させながら、レンズ表面の曲率を測定する測定装置が記載されている。更に特許文献4には、加工時にワークを載置する台の高さを調節可能な加工装置が記載されている。
特開平11−248402号公報 特開平7−71902号公報 特開2000−35304号公報 特開2000−9149号公報
ところで、上記のように測定対象の部品とシリンダゲージとをそれぞれ手に保持してその部品の内径を測定する場合には、如何しても手が振れて部品が傾いてしまうため、正確な測定が困難となってしまう。そこで、シリンダゲージ及び測定中の部品を固定しておく固定用台が市販されているが、正確な測定には、シリンダゲージの測定部が測定対象の円孔内に正しく挿入されるように、部品の調芯を行う必要があり、その分、測定に時間が掛ってしまうようになっていた。
本発明は、こうした実状に鑑みてなされたものであって、その解決しようとする課題は、より容易且つ正確に内径の測定を行うことのできる内径測定装置を提供することにある。
以下、上記課題を解決するための手段、及びその作用効果を記載する。
上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、内径の測定対象となる円孔の形成されたワークが固定されるワーク固定部と、前記円孔の内周に当接してその内径の測定する測定部を有するシリンダゲージと、前記ワーク固定部を前記円孔の径方向に滑動自在に支持する支持部と、を備えることをその要旨としている。
上記構成では、内径の測定対象となるワークがその径方向に自在移動可能に設置された状態でシリンダゲージによる内径の測定が行われるようになる。そのため、シリンダゲージの測定部をワークの円孔内に挿入すると、その挿入された測定部に押圧されて、適切な測定位置に位置されるようにワークがその軸方向に滑動されるようになる。すなわち、上記の如く構成された内径測定装置では、シリンダゲージ測定部のワークの円孔内への挿入に応じて、ワークの調芯が自律的になされるようになる。そのため、調芯を短時間で正確に行うことが可能となり、測定誤差が低減され、また測定時間が短縮されるようにもなる。したがって上記構成によれば、より容易且つ正確に内径の測定を行うことができるようになる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の内径測定装置において、前記支持部の前記円孔の軸方向における位置を調節する調節機構と、前記調節機構により調節される前記支持部の前記軸方向における位置を規定の位置にて係止する係止部材と、を備えることをその要旨としている。
上記構成では、調節機構により、ワーク固定部に固定されたワークの円孔軸方向における位置が調節されるようになる。その一方、係止部材によっては、円孔軸方向におけるワークの位置が規定の位置にて係止されるようになる。したがって上記構成では、測定時の円孔軸方向における位置を、容易に規定の位置とすることができ、測定毎のワークの測定位置を容易に揃えることができるようになる。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の内径測定装置において、前記係止部材として、係止させる前記軸方向における位置の異なる複数種の係止部材を備えることをその要旨としている。
上記構成では、係止位置の異なる複数種の係止部材が用意されているため、係止部材の選択により、測定位置を容易且つ正確に変更することができるようになる。
請求項4に記載の発明は、請求項2又は3に記載の内径測定装置において、前記調節機構は、レバーの傾動操作に連動して前記支持部の前記軸方向における位置を調節するよう構成され、前記係止部材は、前記レバーの傾動位置を規定の位置にて係止するように構成されてなることをその要旨としている。
上記構成では、レバーの傾動操作により、支持部の上記軸方向における位置が調節されるようになっている。そのため、ワークの測定位置の調節を簡単に行うことができる。またそうしたレバーの傾動位置が係止部材により規定の位置で係止されるため、毎回決った測定位置にて測定を行うことが容易に行えるようにもなる。
なお上記のような請求項1〜4に記載の内径測定装置でのワーク固定部の円孔径方向への滑動は、例えば以下のような構成により具現とすることができる。
・請求項5に記載のように、転動可能に配設された複数の同径のボールにてワーク固定部を支持するように上記支持部を構成することで、同ワーク固定部の上記径方向の滑動を許容する。
・請求項6に記載のように、磁石の同極間の反発力にて前記ワーク固定部を浮上させた状態で支持するように上記支持部を構成することで、同ワーク固定部の上記径方向の滑動を許容する。
・請求項7に記載のように、エアの圧力にてワーク固定部を浮上させた状態で支持するように支持部を構成することで、同ワーク固定部の前記径方向の滑動を許容する。
・請求項8に記載のように、スプリングにてワーク固定部を浮上させた状態で支持するように支持部を構成することで、同ワーク固定部の上記径方向の滑動を許容する。
また請求項9に記載の発明は、請求項1〜8のいずれか1項に記載の内径測定装置において、前記ワーク固定部は、前記円孔に係合される凸部を備えることをその要旨としている。
このようにワーク固定部に凸部を設ければ、ワークの円孔をその凸部に係合させるだけで、ワークを簡単且つ適切に固定することができるようになり、更に測定を容易とすることができる。
以下、本発明の内径測定装置を具体化した一実施形態を、図1〜図6を参照して詳細に説明する。なお本実施の形態に係る内径測定装置は、上述したような回転直線運動変換機構のプラネタリシャフト4に設けられるピニオン43(図8参照)の内径を測定する装置として構成されている。もっとも、本発明の内径測定装置は、こうしたピニオン43以外の部品の内径を測定する装置として具体化することも可能である。
図1(a)は、こうした本実施の形態の内径測定装置の正面断面構造を、図1(b)は同測定装置の側面構造をそれぞれ示している。これらの図に示すように内径測定装置の基台10には、高さ方向に延びる支柱11が固定されている。こうした支柱11の中段には、高さ方向に移動可能に、ワーク支持台12が配設されている。
ワーク支持台12の上面には、その中央に円形状の穴13aが形成された天板13が、その上面が水平となるように設置されている。またワーク支持台12の上面中央には、凹部12aが形成されており、その凹部12aの内部には、複数(3つ以上)の同径のボール14によって支持された状態で、ワーク固定部15が配設されている。こうして配設されたワーク固定部15は、各ボール14の転動を通じて、水平方向に摺動自在とされている。
ワーク固定部15の上面中央には、円筒形状の凸部15aが形成されており、この凸部15aは、上記天板13の穴13aを通って上方に突出されている。こうした凸部15aの外径は、測定対象となるピニオン43の内径とほぼ等しくされており、ピニオン43の円孔43Hをこの凸部15aに係合することで、ピニオン43がワーク固定部15に固定されるようになっている。
こうしたワーク固定部15の設けられたワーク支持台12の上方には、上記支柱11の上段に支持される態様で、シリンダゲージ16が設置されている。このシリンダゲージ16の下端には、測定部16aが設けられ、この測定部16aをピニオン43の円孔43Hに挿入して、同円孔43Hの内周に当接させることで、その内径の測定が行われるようになっている。なおシリンダゲージ16の上部には、ダイヤルゲージ16bが設けられており、測定部16aにて測定されたピニオン43の内径が、同ダイヤルゲージ16bの指針の指示する目盛にて示されるようになっている。なお厳密には、ダイヤルゲージ16bには、基準ゲージを用いた0点調節により設定された基準内径との内径差が示されるようになっている。
また内径測定装置の下部側方には、高さ調節レバー17が設置されている。この高さ調節レバー17は、レバー軸17aを介して上記支柱11の内部に設置された回転直動変換機構11aに連結されている。回転直動変換機構11aは、例えばラック・アンド・ピニオン機構などの回転直動変換機構となっており、高さ調節レバー17の傾動操作に応じたレバー軸17aの回転を直動に変換して、上記ワーク支持台12の高さを変更する。なおこの内径測定装置では、高さ調節レバー17を下方に傾動操作することで、ワーク支持台12が上方に移動し、高さ調節レバー17を上方に傾動操作することで、ワーク支持台12が下方に移動するようになっている。
なお、こうした高さ調節レバー17の中央部には、着脱自在に位置決めリング18が装着されるようになっている。そしてこの位置決めリング18が、基台10の側部に固定されたストッパ19と当接することで、高さ調節レバー17の傾動位置が規定の位置にて係止されるようになっている。したがって、こうした位置決めリング18によっては、上記回転直動変換機構11aにより調節されるワーク支持台12の高さが規定の高さにて係止されるようになる。
続いて、以上の如く構成された内径測定装置でのピニオン43の内径の測定手順について説明する。
測定に際してはまず図2−Aに示すように、円孔43Hを凸部15aに係合してワーク固定部15に固定した状態で、測定対象のピニオン43を天板13の上面に載置する。なお、このときのワーク支持台12を下方に移動しておき、ピニオン43に干渉しないようにシリンダゲージ16をワーク支持台12の上方に退避させておく。
ピニオン43を固定すると、高さ調節レバー17を下方に傾動操作して、ワーク支持台12を上方に移動させ、図2−Bに示すように、シリンダゲージ16の測定部16aをピニオン43の円孔43H内に挿入させる。円孔43Hの内径の測定を行うには、円孔43Hの中心軸L1と、シリンダゲージ16の測定中心軸L2とを一致させる必要がある。その点、本実施の形態の内径測定装置では、ピニオン43の固定されたワーク固定部15が水平方向に、すなわちその円孔43Hの径方向に摺動自在に設置されている。そのため、中心軸L1と測定中心軸L2とにずれがあったとしても、円孔43H内にシリンダゲージ16の測定部16aに挿入すると、測定部16aにより押圧されて、両軸が一致する、適切な測定位置へとピニオン43が水平方向に移動するようになり、自律的に調芯が行われるようになる。
その後、位置決めリング18がストッパ19に当接されるまで高さ調節レバー17を傾動操作して、図2−Cに示すように、ピニオン43を測定位置に位置させる。そして、そのときのダイヤルゲージ16bの指示値を読み取ることで、ピニオン43の内径を測定する。
なお、本実施の形態の内径測定装置では、上記位置決めリング18として外径の異なる複数種のリングが用意されている。そして位置決めリング18を取り替えることで、同位置決めリング18により係止される高さ調節レバー17の傾動操作位置を、すなわち係止されるワーク支持台12の高さを変更可能としている。図3(a)〜(c)には、外径の異なる3つの位置決めリング18A〜18Cのそれぞれにより、ワーク支持台12の係止位置の高さの違いを対比して示したものである。ちなみに、各図に示される位置決めリング18A〜18Cの外径は、同図(a)の位置決めリング18Aが最小、同図(c)の位置決めリング18Cが最大となっており、外径の大きいリングほど、それによって係止されるワーク支持台12の高さは低くなっている。
このように外径の異なる複数種の位置決めリング18A〜18Cを用意することで、内径の測定位置の変更が容易となる。特に、測定を行うピニオン43毎に複数の測定位置で内径を測定する必要がある場合には、測定位置の切り替えが容易となり、測定時間を大幅に短縮することができる。
なお、こうした本実施の形態では、ピニオン43が上記ワークに、ワーク支持台12及びボール14が上記支持部に、位置決めリング18が上記係止部材に、それぞれ相当する構成となっている。また本実施の形態では、回転直動変換機構11a、高さ調節レバー17及びレバー軸17aによって上記調節機構が構成されている。さらに本実施の形態では、測定時に、円孔43Hの中心軸が水平面に直交するようピニオン43が固定されるため、円孔43Hの径方向が水平方向となり、円孔43Hの軸方向が高さ方向となるようになっている。
以上説明した本実施形態の内径測定装置によれば、次の効果を奏することができる。
(1)本実施の形態の内径測定装置では、内径の測定対象となる円孔43Hの形成されたピニオン43が固定されるワーク固定部15と、円孔43Hの内周に当接してその内径の測定する測定部16aを有するシリンダゲージ16と、を備えるようにしている。また本実施の形態では、ワーク支持台12の凹部12aに転動可能に配設された複数の同径のボール14にて、上記ワーク固定部15を、円孔43Hの径方向に滑動自在に支持するようにしている。そのため、シリンダゲージ16の測定部16aをピニオン43の円孔43H内に挿入すると、その挿入された測定部16aに押圧されて、適切な測定位置に位置されるようにピニオン43がその軸方向に滑動されるようになる。すなわち、上記の如く構成された内径測定装置では、測定部16aの円孔43H内への挿入に応じて、ピニオン43の調芯が自律的になされるようになる。そのため、調芯を短時間で正確に行うことが可能となり、測定誤差が低減され、また測定時間が短縮されるようにもなる。したがって本実施の形態によれば、より容易且つ正確に内径の測定を行うことができるようになる。
(2)本実施の形態の内径測定装置は、ワーク支持台12の高さ方向における位置を調節する回転直動変換機構11aと、その回転直動変換機構11aにより調節されるワーク支持台12の高さ方向における位置を規定の位置にて係止する位置決めリング18とを備えている。より具体的には、回転直動変換機構11aは、高さ調節レバー17の傾動操作に連動してワーク支持台12の高さを調節するよう構成され、位置決めリング18は、高さ調節レバー17の傾動位置を規定の位置にて係止するように構成されている。そのため、測定時のワーク支持台12の高さを容易に規定の高さとすることができ、測定毎の測定位置を容易に揃えることができるようになる。
(3)本実施の形態では、回転直動変換機構11aが、高さ調節レバー17の傾動操作に連動してワーク支持台12の高さを調節するように構成されている。そのため、ワーク支持台12の高さ調節を簡単に行うことができる。
(4)本実施の形態では、位置決めリング18として、外径が異なり、それにより係止させるワーク支持台12の高さのそれぞれ異なる複数種の位置決めリング18A〜18Cを備えるようにしている。そのため、使用する位置決めリング18A〜18Cの選択により、測定位置を容易且つ正確に変更することができるようになる。
(5)本実施の形態では、ワーク固定部15には、円孔43Hに係合される凸部15aが形成されている。このようにワーク固定部15に凸部15aを設ければ、ピニオン43の円孔43Hをその凸部15aに係合させるだけで、ピニオン43を簡単且つ適切に固定することができるようになり、更に測定を容易とすることができる。
なお上記実施の形態では、転動可能に配設されたボール14によって支持された状態でワーク固定部15を設置することで、ワーク固定部15を水平方向に転動自在とするようにしていた。これ以外にも、以下のような態様でも、ワーク固定部15を水平方向に転動自在とすることが可能である。
例えば図4に示される構成例では、ワーク固定部15の下面及びワーク支持台12の凹部12aの底面にそれぞれ磁石20A,20Bを固定するようにしている。これらの磁石20A,20Bは同極が対向するように設置されており、それらの間には磁気による反発力が発生している。そのため、ワーク固定部15はその反発力により浮上された状態で支持されることとなり、水平方向に摺動自在となる。
また図5に示される構成例では、ワーク支持台12に凹部12aに繋がる通路22を設け、その通路22を通じて凹部12aに、コンプレッサ23により圧縮されたエアを送り込むようにしている。こうした構成では、ワーク固定部15は、凹部12aに送り込まれたエアの圧力で浮上された状態で支持されることとなり、水平方向に摺動自在となる。
更に図6に示される構成例では、ワーク固定部15の下面と凹部12aの底面との間にコイルばね24が圧縮状態で配設されている。こうした構成では、ワーク固定部15は、コイルばね24の弾性反発力にて浮上された状態で支持されることとなり、やはり水平方向に摺動自在となる。
このように、様々な手段によって、ワーク固定部15を水平方向に摺動自在に設置することが可能である。もちろん、ここで例示した以外の手段によっても、ワーク固定部15を水平方向に摺動自在とすることが可能であり、ワーク固定部15を水平方向に摺動自在とするための手段として、ここで例示したもの以外の手段を採用して本発明に係る内径測定装置を実施するようにしても良い。
また上記実施の形態及びその変形例は、更に以下のように変更して実施することも可能である。
・上記実施の形態では、位置決めリング18として、外径の異なる複数種のものを用意していたが、測定位置が1箇所に決っている場合など、特に複数種の位置決めリングが不要であれば、位置決めリング18を1種類だけ用意するようにしても良い。
・上記実施の形態では、円孔43Hの内径とほぼ同じ外径を有する円筒形状の凸部15aをワーク固定部15に設け、その凸部15aに円孔43Hを係合させることで、ピニオン43をワーク固定部15に固定するようにしていた。もっとも、ワーク固定部15への測定対象物(ワーク)の固定方法は、これに限らず、そのワークの形状等に応じた適切な方法を採用すれば良い。上記以外のワークの固定方法としては、例えばチャックによりワークの外周を挟み込むことで、ワークをワーク固定部15に固定する等の方法が考えられる。
・上記実施の形態では、高さ調節レバー17に位置決めリング18を装着するようにしたが、ストッパ19に位置決めリング18を装着して、高さ調節レバー17の傾動操作位置を規定の位置にて係止させる構成とすることもできる。また高さ調節レバー17の傾動操作位置を規定の位置にて係止させることが可能であれば、位置決めリング以外の部材を採用しても、測定位置を容易に合せることができるようになる。
・上記実施の形態では、回転直動変換機構11aにより、高さ調節レバー17の傾動操作に連動してワーク支持台12の高さが調節される構成としていたが、高さ調節の操作としてレバーの傾動操作以外の操作、例えばダイアルの回転操作などを用いるようにしても良い。
・上記実施の形態では、回転直動変換機構11aを通じて、ワーク支持台12の高さを調節するようにしていたが、ワーク支持台12の高さを調節可能であれば、それ以外の機構を用いてワーク支持台12の高さを調節するようにしても良い。
・上記実施の形態では、ワーク支持台12が高さ方向に移動可能となっていたが、これを固定する代りに、シリンダゲージ16を高さ方向に移動可能とするようにしても良い。そうした場合であれ、シリンダゲージ16を上下動することで、同様に内径測定を行うことができる。また円孔43Hの軸方向におけるシリンダゲージ16の位置を調節可能とするとともに、その位置を規定の位置にて係止する係止部材を設けることとすれば、測定位置を容易に合せることができるようになる。
・上記実施の形態では、円孔43Hの中心軸L1が水平面に直交するようにピニオン43を固定した状態で測定を行うようにしていた。こうした測定中のピニオン43の向きは、これに限らず任意に変更することができる。そうした場合にも、ワーク固定部15を、内径の測定される円孔43Hの径方向に摺動自在に設置し、また円孔43Hの軸方向におけるワーク支持台12の位置を調節可能に調節機構を構成すれば、内径測定装置を、上記実施の形態と同様或いはそれに順じた機能を有するものとすることができる。
・上記実施の形態では、回転直線運動変換機構のプラネタリシャフト4に設けられるピニオン43(図8参照)の内径を測定する装置として本発明を具体化していた。もっとも、本発明の内径測定装置は、こうしたピニオン43以外の部品の内径を測定する装置として具体化することも可能である。
本発明の一実施形態に係る内径測定装置について(a)はその正面断面構造を、(b)はその側面構造をそれぞれ示す断面図及び側面図。 同実施形態の内径測定装置での内径測定態様を示す断面図。 同じく同実施形態の内径測定装置での内径測定態様を示す断面図。 同じく同実施形態の内径測定装置での内径測定態様を示す断面図。 (a)〜(c)は、それぞれ外径の異なる位置決めリングの装着されたときのワーク支持台の高さの変化態様を各示す側面図。 本発明の他の実施形態1についてそのワーク支持台の正面断面構造を示す断面図。 本発明の他の実施形態2についてそのワーク支持台の正面断面構造を示す断面図。 本発明の他の実施形態3についてそのワーク支持台の正面断面構造を示す断面図。 内径測定対象となるピニオンの設けられた回転直線運動変換機構の斜視断面構造を示す断面図。 (a)は、同回転直線運動変換機構に設けられるプラネタリシャフトの分解側面構造を側面図であり、(b)はそのプラネタリシャフトに設けられるピニオンの側部断面構造を示す断面図。
符号の説明
10…基台、11…支柱、11a…回転直動変換機構(調節機構)、12…ワーク支持台、12a…凹部、13…天板、13a…孔、14…ボール、15…ワーク固定部、15a…凸部、16…シリンダゲージ、16a…測定部、17…高さ調節レバー(調節機構)、17a…レバー軸(調節機構)、18,18A,18B,18C…位置決めリング(係止部材)、19…ストッパ、20A…磁石、20B…磁石、22…通路、23…コンプレッサ、24…コイルばね、43…ピニオン(ワーク)、43H…円孔。

Claims (9)

  1. 内径の測定対象となる円孔の形成されたワークが固定されるワーク固定部と、
    前記円孔の内周に当接してその内径の測定する測定部を有するシリンダゲージと、
    前記ワーク固定部を前記円孔の径方向に滑動自在に支持する支持部と、
    を備えることを特徴とする内径測定装置。
  2. 前記支持部の前記円孔の軸方向における位置を調節する調節機構と、
    前記調節機構により調節される前記支持部の前記軸方向における位置を規定の位置にて係止する係止部材と、
    を備えることを特徴とする請求項1に記載の内径測定装置。
  3. 前記係止部材として、係止させる前記軸方向における位置の異なる複数種の係止部材を備える
    ことを特徴とする請求項2に記載の内径測定装置。
  4. 前記調節機構は、レバーの傾動操作に連動して前記支持部の前記軸方向における位置を調節するよう構成され、
    前記係止部材は、前記レバーの傾動位置を規定の位置にて係止するように構成されてなる
    請求項2又は3に記載の内径測定装置。
  5. 前記支持部は、転動可能に配設された複数の同径のボールにて前記ワーク固定部を支持することで、同ワーク固定部の前記径方向の滑動を許容する
    請求項1〜4のいずれか1項に記載の内径測定装置。
  6. 前記支持部は、磁石の同極間の反発力にて前記ワーク固定部を浮上させた状態で支持することで、同ワーク固定部の前記径方向の滑動を許容する
    請求項1〜4のいずれか1項に記載の内径測定装置。
  7. 前記支持部は、エアの圧力にて前記ワーク固定部を浮上させた状態で支持することで、同ワーク固定部の前記径方向の滑動を許容する
    請求項1〜4のいずれか1項に記載の内径測定装置。
  8. 前記支持部は、スプリングにて前記ワーク固定部を浮上させた状態で支持することで、同ワーク固定部の前記径方向の滑動を許容する
    請求項1〜4のいずれか1項に記載の内径測定装置。
  9. 前記ワーク固定部は、前記円孔に係合される凸部を備える
    請求項1〜8のいずれか1項に記載の内径測定装置。
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