JP2009133625A - 加速度センサ - Google Patents

加速度センサ Download PDF

Info

Publication number
JP2009133625A
JP2009133625A JP2006069634A JP2006069634A JP2009133625A JP 2009133625 A JP2009133625 A JP 2009133625A JP 2006069634 A JP2006069634 A JP 2006069634A JP 2006069634 A JP2006069634 A JP 2006069634A JP 2009133625 A JP2009133625 A JP 2009133625A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
acceleration sensor
acceleration
housing
gel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006069634A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuji Hiraoka
裕二 平岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2006069634A priority Critical patent/JP2009133625A/ja
Priority to PCT/JP2006/324261 priority patent/WO2007105346A1/ja
Publication of JP2009133625A publication Critical patent/JP2009133625A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00Details of instruments
    • G01P1/02Housings
    • G01P1/023Housings for acceleration measuring devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60RVEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B60R21/00Arrangements or fittings on vehicles for protecting or preventing injuries to occupants or pedestrians in case of accidents or other traffic risks
    • B60R21/01Electrical circuits for triggering passive safety arrangements, e.g. airbags, safety belt tighteners, in case of vehicle accidents or impending vehicle accidents
    • B60R21/013Electrical circuits for triggering passive safety arrangements, e.g. airbags, safety belt tighteners, in case of vehicle accidents or impending vehicle accidents including means for detecting collisions, impending collisions or roll-over
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60RVEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B60R21/00Arrangements or fittings on vehicles for protecting or preventing injuries to occupants or pedestrians in case of accidents or other traffic risks
    • B60R21/01Electrical circuits for triggering passive safety arrangements, e.g. airbags, safety belt tighteners, in case of vehicle accidents or impending vehicle accidents
    • B60R2021/01006Mounting of electrical components in vehicles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60RVEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B60R21/00Arrangements or fittings on vehicles for protecting or preventing injuries to occupants or pedestrians in case of accidents or other traffic risks
    • B60R21/01Electrical circuits for triggering passive safety arrangements, e.g. airbags, safety belt tighteners, in case of vehicle accidents or impending vehicle accidents
    • B60R21/013Electrical circuits for triggering passive safety arrangements, e.g. airbags, safety belt tighteners, in case of vehicle accidents or impending vehicle accidents including means for detecting collisions, impending collisions or roll-over
    • B60R2021/01302Electrical circuits for triggering passive safety arrangements, e.g. airbags, safety belt tighteners, in case of vehicle accidents or impending vehicle accidents including means for detecting collisions, impending collisions or roll-over monitoring vehicle body vibrations or noise

Abstract

【課題】高周波の加速度が加えられても正常なセンサ応答を得ることができる加速度センサを提供する。
【解決手段】加速度を検出する加速度検出素子4が片面に実装された基板2を、一端側がハウジング1に固定された支持部3の他端側で揺動自在に支持した加速度センサにおいて、基板2の周囲に、厚み、粘性および基板との接触面積の少なくとも1つが、全周波数帯域におけるゲインが1以下になるように調整されて充填されたゲル状物質5を備えている。
【選択図】図2

Description

この発明は、例えば自動車等に搭載されて加速度を検出する加速度センサに関し、特に正常なセンサ応答を得るための技術に関する。
従来、自動車用エアバッグシステムに用いられる加速度センサが知られている。例えば、特許文献1は、加速度検出素子が設置された基板がハウジングに固定されているので、エアバッグの展開の要否等に利用される衝突の大小を判定するためには不要とされる高周波成分がハウジングから基板に伝達され、基板がこの高周波成分に共振し、加速度センサに増幅して伝達されるという問題を解消できる加速度センサを開示している。この加速度センサは、加速度検出素子が固着された基板と、この基板を支持する支持部と、この支持部および加速度検出素子が設置されたハウジングとを備え、基板は支持部を介してハウジングに対して揺動可能に設けられたバネマス構造を有する。
また、特許文献2は、ダンピング液を用いることなく、外部からの衝撃を緩衝して破損を防止することにより正常な動作を維持できる半導体加速度センサを開示している。この半導体加速度センサでは、加速度検出素子が実装された回路基板を、振動を吸収する長さに設定して該回路基板に接続される接続端子で保持することにより接続端子自体で外部からの衝撃を吸振緩衝し、また、接続端子自体に吸振構造を付加し、また、吸振部材で回路基板を保持し、さらに、吸振部材に加えてゲル状絶縁物質をハウジングに装填することにより、外部からの衝撃を吸振緩衝する。
特開2005−106584号公報 特開平5−149967号公報
しかしながら、上述した特許文献1に開示された加速度センサは、加速度検出素子が実装された基板の支持構造がバネマス構造を採用し、基板の共振周波数が衝突判定に使用する周波数領域以外になるように調整し、高周波の加速度による影響を排除するよう構成されているが、バネマス構造の共振周波数を含む衝撃入力に対しては、加速度センサのダイナミックレンジを容易に越えてしまい、正常なセンサ応答が得られないという問題がある。このような加速度センサを自動車のエアバッグシステムに使用すると、正確な衝突判定ができなくなる。
また、特許文献1および特許文献2に示されるように、従来の加速度センサでは、ハウジング内にゲル状物質を充填することにより耐衝撃性を向上させる構造が採用されているが、ゲル状物質の制振特性がバネマス構造の共振特性に合致しなければ、上述したバネマス構造の共振周波数を含む衝撃入力に対しては、加速度センサのダイナミックレンジを容易に越えてしまうという問題は解消されない。
この発明は、上述した問題を解消するためになされたものであり、その課題は、高周波の加速度が加えられても正常なセンサ応答を得ることができる加速度センサを提供することにある。
この発明に係る加速度センサは、上記課題を解決するために、加速度を検出する加速度検出素子が片面に実装された基板を、一端側がハウジングに固定された支持部の他端側で揺動自在に支持した加速度センサにおいて、基板の周囲に、厚み、粘性および基板との接触面積の少なくとも1つが、全周波数帯域におけるゲインが1以下になるように調整されて充填されたゲル状物質を備えている。
この発明に係る加速度センサによれば、基板の周囲に、厚み、粘性および基板との接触面積の少なくとも1つが、全周波数帯域におけるゲインが1以下になるように調整されたゲル状物質を充填したので、正常なセンサ応答を得ることができる。
以下、この発明の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1に係る加速度センサが適用された自動車のエアバッグシステムの構成を示す図である。このエアバッグシステムは、自動車10の室内、つまりクラッシャブルゾーンから離れた位置に搭載されたエアバッグコントロールユニット11と、自動車のエンジンルームの先端部のクラッシャブルゾーンに搭載されたフロントサテライトセンサ121〜122と、自動車の側部のクラッシャブルゾーンに搭載されたサイドサテライトセンサ131〜134とから構成されている。
この発明の実施の形態1に係る加速度センサは、自動車に搭載された位置によって、フロントサテライトセンサ121〜122またはサイドサテライトセンサ131〜134と呼ばれている。このように構成されるエアバッグシステムにおいては、エアバッグコントロールユニット11は、フロントサテライトセンサ121〜122およびサイドサテライトセンサ131〜134から送られてくる加速度信号に基づき、加えられた衝撃の大きさを判定してエアバッグ展開信号を出力し、以て、図示しないエアバッグを膨張させる。
図2は、この発明の実施の形態1に係る加速度センサの構造を示す側断面図である。この加速度センサは、箱状に形成されたハウジング1の中で、片面に加速度検出素子4が実装された基板2が4本のリード3によって支持されて構成されている。リード3は、この発明の支持部に対応する。4本のリード3の各々の一端側はハウジング1に固定されており、他端側は基板2の四隅に形成された孔(図示しない)に挿入されて該基板2を支持している。
なお、基板2の加速度検出素子4が実装されている面を「部品面」と呼び、部品面の裏面を「半田面」と呼ぶ。この実施の形態2に係る加速度センサでは、基板2は、その部品面がハウジング1の底面に対向し、半田面がハウジング1の上面に対向するように配置されている。この加速度センサは、バネマス構造を有し、重りとしての加速度検出素子4が実装された基板2が、バネとしてのリード3によって支持されて感度方向(図2中の左右方向)に揺動する。
また、基板2の半田面とハウジング1の上面内壁との間の所定範囲には、ゲル状物質5が充填されている。このゲル状物質5が基板2に接触する面積を、ゲル状物質5の充填範囲という。ゲル状物質5は、バネマス構造の共振周波数において制振効果が得られる厚み、換言すれば、基板2の共振周波数における共振倍率(ゲイン)が「1」以下となる厚みに調整されている。
ここで、加速度センサにおいて、図3(a)に示すように、加速度検出素子4が実装された基板2がハウジング1に強固に固定されている場合、基板2の共振周波数が非常に高くなるため、加速度検出素子4の周波数応答は、図3(b)に示すように、高周波領域までゲインが「1」以上になる。その結果、センサ応答のSN比が悪化し、衝撃入力が大きくなると、加速度検出素子4のダイナミックレンジを容易に越えてしまい、正常なセンサ応答が得られなくなる。
この問題を解消するために、図4(a)に示すように、加速度検出素子4が実装された基板2をリード3によって支持するバネマス構造を採用し、図4(b)に示すように、その共振周波数を調整することによって、不要な高周波成分の周波数応答を減衰させることが行われている。しかしながら、この図4(a)に示す構造ではバネマス構造の共振周波数を含む衝撃入力に対しては、加速度検出素子4のダイナミックレンジを容易に越えてしまうため、正常なセンサ応答が得られない可能性が残る。
なお、図5(a)に示すように、図4(a)に示す構造において、加速度センサを自動車に取り付ける前の吸振緩衝や取り付けた後の防水を目的として、ハウジング1内の全体にゲル状物質5(ゲル状の樹脂)を塗布することも行われている(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、基板2の半田面とハウジング1の上面内壁との距離、つまりゲル状物質5の厚みや、その粘性などを考慮しないで単に吸振緩衝や防水を目的としてゲル状物質5をハウジング1内に充填しただけの場合は、図5(a)に示す構造の加速度センサの周波数応答は、図5(b)に示すように、図4(a)に示す構造の加速度センサの周波数応答(図4(b)参照)に類似したものになる。
そこで、この実施の形態1に係る加速度センサでは、基板2の半田面とハウジング1の上面内壁との間の所定範囲にゲル状物質5を充填し、そのゲル状物質5の厚みを調整することにより、バネマス構造の共振周波数(図4(b)のピーク部分)の共振倍率(ゲイン)を「1」以下に減衰させている。これにより、衝突判定に用いられる低周波数帯域(衝突判定領域)のゲインをフラットに確保しつつ、衝突判定に用いられない高周波数帯域(不要領域)のゲインを減衰させ、バネマス構造の共振周波数の影響を排除している。その結果、過大な衝撃入力があっても、加速度検出素子4のダイナミックレンジを容易に越えてしまうという事態は発生せず、常に正常なセンサ応答が得られる。
また、基板2に実装すべき加速度検出素子4およびその他の部品の全てを基板2の部品面に実装することにより、基板2の半田面が平面として確保される。そして、図2に示すように、この半田面側にゲル状物質5を充填するように構成したので、ゲル状物質5の均一且つ安定的な注入が可能となり、バネマス構造の共振周波数を制振するための調整が容易となる。また、ゲル状物質5は、基板2の半田面の範囲内に充填するように構成できる。この構成によって、バネマス構造の共振周波数を制振するための調整がさらに容易になる。
また、バネマス構造の共振周波数における制振は、基板2の共振による振幅を、ダンピングを持たせて抑制する必要があるが、加速度検出素子4を搭載した基板2の半田面とハウジング1の上面内壁との間にゲル状物質5を充填する構造としたことにより、ゲル状物質5を広範囲に薄く均一に充填することができるため、ゲル状物質5の粘性によるダンピング性能を効果的に用いることができる。
また、制振特性は、ゲル状物質5の厚みだけでなく、その粘性、充填範囲(ゲル状物質が基板2に接触する範囲)によっても調整することができる。すなわち、図7に示すように、ゲル状物質5の厚みが薄くなるほど制振効果は大きくなり、厚くなるほど制振効果は小さくなる。また、ゲル状物質5の粘性が高くなるほど制振効果は大きくなり、低くなるほど制振効果は小さくなる。さらに、ゲル状物質5の充填範囲が広くなるほど制振効果は大きくなり、狭くなるほど制振効果は小さくなる。そこで、これらゲル状物質5の厚み、粘性および充填範囲といった3つのパラメータを適宜調整することにより、バネマス構造の共振周波数の共振倍率(ゲイン)を「1」以下に減衰させることができる。
なお、上述した実施の形態1では、ゲル状物質5を基板2の半田面とハウジング1の上面内壁との間の所定範囲に充填するように構成したが、図8に示すように、ゲル状物質5を基板2の部品面とハウジング1の底面内壁との間の所定範囲に充填するように構成することもできる。また、図9に示すように、基板2の部品面がハウジング1の上面に対向するように、該基板2をリード3によって支持し、ゲル状物質5を基板2の半田面とハウジング1の底面内壁との間の所定範囲に充填するように構成することもできる。さらに、図10に示すように、基板2の部品面がハウジング1の上面に対向するように、該基板2をリード3によって支持し、ゲル状物質5を基板2の部品面とハウジング1の上面内壁との間の所定範囲に充填するように構成することもできる。これらの構成によっても、上述した実施の形態1に係る加速度センサと同様の作用および効果を奏する。
また、上述した実施の形態1では、基板2の一方の面側にのみゲル状物質5を充填するように構成したが、図11に示すように、基板2の一方の面側のみならず、基板2の周囲の全体にゲル状物質5を充填して基板2の共振周波数における共振倍率(ゲイン)が「1」以下となるように構成することもできる。この場合、例えば、基板2の半田面とハウジング1の上面内壁との間の距離を、図5(a)に示した構造における距離よりも短くして制振効果を大きくしたり、ゲル状物質5の粘性が高くなるように調整したりして、基板2の共振周波数における共振倍率(ゲイン)が「1」以下となるように調整される。この構成によっても、上述した実施の形態1に係る加速度センサと同様の作用および効果を奏する。
以上のように構成される加速度センサは、エアバッグ用サテライトセンサのように、大きい衝撃且つ高周波の加速度が入力される加速度センサに有効である。
この発明の実施の形態1に係る加速度センサが適用された自動車のエアバッグシステムの構成を示す図である。 この発明の実施の形態1に係る加速度センサの構造を示す側断面図である。 加速度検出素子が実装された基板がハウジングに強固に固定された加速度センサの構成および動作を説明するための図である。 加速度検出素子が実装された基板をリードによって支持するバネマス構造を採用した加速度センサの構成および動作を説明するための図である。 図4に示す構成において、ハウジング内にゲル状物質を充填した加速度センサの構成および動作を説明するための図である。 この発明の実施の形態1に係る加速度センサの動作を説明するための図である。 この発明の実施の形態1に係る加速度センサの制振特性を説明するための図である。 この発明の実施の形態1に係る加速度センサの変形例の構成を示す図である。 この発明の実施の形態1に係る加速度センサの他の変形例の構成を示す図である。 この発明の実施の形態1に係る加速度センサのさらに他の変形例の構成を示す図である。 この発明の実施の形態1に係る加速度センサのさらに他の変形例の構成を示す図である。
符号の説明
1 ハウジング、2 基板、3 リード(支持部)、4 加速度検出素子、5 ゲル状物質、10 自動車、11 エアバッグコントロールユニット、121〜122 フロントサテライトセンサ、131〜134 サイドサテライトセンサ。

Claims (4)

  1. 加速度を検出する加速度検出素子が片面に実装された基板を、一端側がハウジングに固定された支持部の他端側で揺動自在に支持した加速度センサにおいて、
    前記基板の周囲に、厚み、粘性および前記基板との接触面積の少なくとも1つが、全周波数帯域におけるゲインが1以下になるように調整されて充填されたゲル状物質
    を備えた加速度センサ。
  2. ゲル状物質は、基板の一方の面とハウジングの内壁との間に充填されている
    ことを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
  3. 基板の一方の面は、基板の加速度検出素子が搭載されていない側の面である
    ことを特徴とする請求項2記載の加速度センサ。
  4. ゲル状物質は、基板の一方の面の範囲内に充填されている
    ことを特徴とする請求項3記載の加速度センサ。
JP2006069634A 2006-03-14 2006-03-14 加速度センサ Pending JP2009133625A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006069634A JP2009133625A (ja) 2006-03-14 2006-03-14 加速度センサ
PCT/JP2006/324261 WO2007105346A1 (ja) 2006-03-14 2006-12-05 加速度センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006069634A JP2009133625A (ja) 2006-03-14 2006-03-14 加速度センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009133625A true JP2009133625A (ja) 2009-06-18

Family

ID=38509190

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006069634A Pending JP2009133625A (ja) 2006-03-14 2006-03-14 加速度センサ

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2009133625A (ja)
WO (1) WO2007105346A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140061408A (ko) * 2011-08-16 2014-05-21 로베르트 보쉬 게엠베하 센서, 센서 유닛, 및 센서 유닛의 제조 방법
JP2015059829A (ja) * 2013-09-19 2015-03-30 株式会社デンソー 慣性センサ
JP2017521659A (ja) * 2014-07-08 2017-08-03 コンティネンタル・テーベス・アクチエンゲゼルシヤフト・ウント・コンパニー・オッフェネ・ハンデルスゲゼルシヤフト 送信場をもって動作するセンサへの固体伝播音分離

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01301175A (ja) * 1988-05-30 1989-12-05 Mitsubishi Electric Corp 半導体加速度センサの衝撃緩和装置
JPH05149967A (ja) * 1991-11-28 1993-06-15 Omron Corp 半導体加速度センサ
JPH0843427A (ja) * 1994-05-27 1996-02-16 Tokai Rika Co Ltd 加速度センサ
JP2001004657A (ja) * 1999-04-22 2001-01-12 Ngk Insulators Ltd 耐衝撃型力センサ
JP2005106584A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Mitsubishi Electric Corp 加速度センサユニット

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140061408A (ko) * 2011-08-16 2014-05-21 로베르트 보쉬 게엠베하 센서, 센서 유닛, 및 센서 유닛의 제조 방법
KR101942704B1 (ko) 2011-08-16 2019-01-29 로베르트 보쉬 게엠베하 센서, 센서 유닛, 및 센서 유닛의 제조 방법
JP2015059829A (ja) * 2013-09-19 2015-03-30 株式会社デンソー 慣性センサ
JP2017521659A (ja) * 2014-07-08 2017-08-03 コンティネンタル・テーベス・アクチエンゲゼルシヤフト・ウント・コンパニー・オッフェネ・ハンデルスゲゼルシヤフト 送信場をもって動作するセンサへの固体伝播音分離
KR101945640B1 (ko) * 2014-07-08 2019-02-07 콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게 트랜스미터 필드와 작동하는 센서 상의 구조-전달 소음 디커플링

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007105346A1 (ja) 2007-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101239306B1 (ko) 초음파 센서 및 그 제조방법
JP5434017B2 (ja) 慣性力センサ
CN101189489B (zh) 复合传感器
DK2752643T3 (en) Unit of inertia for an unmanned aircraft
US7464592B2 (en) Physical quantity sensor
JP2011145129A (ja) 力学量センサ
CN104620604A (zh) 声响转换器
JP5522311B2 (ja) 超音波センサおよびその製造方法
JP2009133625A (ja) 加速度センサ
JP2007057238A (ja) センサ
KR101218550B1 (ko) 초음파 센서
JP4786328B2 (ja) 半導体パッケージ
EP1847801A2 (en) Angular velocity sensor
JPH05149967A (ja) 半導体加速度センサ
JP2004294419A (ja) センサ装置
JP2005106584A (ja) 加速度センサユニット
JP2010243468A (ja) 圧力検出モジュール
JP2009053142A (ja) センサ取付構造
JP2004279373A (ja) 角速度検出装置
US20150107359A1 (en) Piezoresistance sensor module and mems sensor having the same
US6820484B2 (en) Vibrating gyroscope and electronic device using the same
JP2006234462A (ja) 慣性センサ
JP3913925B2 (ja) 角速度センサ
EP1847803A2 (en) Angular velocity sensor
JP6696449B2 (ja) 圧力センサ