JP2009128834A - カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、画像表示装置および電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】各部位での色むら、濃度むら、筋むらを抑制することができるカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、該カラーフィルタを備えた画像表示装置、電子機器を提供すること。
【解決手段】カラーフィルタの製造方法は、描画データに基づいて基板上のセルにインクを付与する仮インク付与工程と、この工程で各セル内にそれぞれ付与されたインクの量を検出し、インクの量が目標値との乖離が大きいセルを補正対象セルとして特定し、補正対象セルにおける乖離の度合いを特定する補正対象セル特定工程と、補正対象セルのセル番号と、セル番号の補正対象セルにおける乖離の度合いとを記憶する記憶工程と、補正対象セル内のインクの量が目標値になるように、補正対象セルに付与する、乖離の度合いに対応したインクの液滴数の補正データを作成する補正データ作成工程と、補正データに基づいて補正対象セルに液滴数のインクを付与する本インク付与工程とを有する。
【選択図】図16

Description

本発明は、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、画像表示装置および電子機器に関する。
カラー表示を行う液晶表示装置(LCD)等には、一般に、カラーフィルタが用いられている。
カラーフィルタは、従来、着色剤、感光性樹脂、官能性モノマー、重合開始剤等を含む材料(着色層形成用組成物)で構成された塗膜を基板上に形成し、その後、フォトマスクを介して光を照射する感光処理、現像処理等を行う、いわゆるフォトリソグラフィー法を用いて製造されてきた。このような方法では、通常、基板のほぼ全面に、各色に対応する塗膜を形成し、その一部のみを硬化させ、それ以外の大部分を除去するという操作を繰り返すことにより、各色が重なり合わないようにカラーフィルタを製造する。このため、カラーフィルタの製造において形成される塗膜は、最終的に得られるカラーフィルタには、その一部のみが着色層として残存するのみで、その大部分が製造工程において除去されることとなる。このため、カラーフィルタの製造コストが上昇するばかりでなく、省資源の観点からも好ましくない。
一方、近年、インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)を用いて、カラーフィルタの着色層を形成する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。このような方法は、着色層形成用の材料(着色層形成用組成物)の液滴の吐出位置等の制御が容易で、着色層形成用組成物の無駄を少なくすることができるため、環境への負荷を低減することができ、また、製造コストも抑制することができる。
しかしながら、インクジェットヘッドの各ノズルからの液滴の吐出量を互いに等しく、かつ、常に一定にするのは、誤差要因も多くあり、非常に困難であり、このため、着色部となる各セルに対する液滴の吐出回数が同一であっても、各セルにそれぞれ供給されたインクの総供給量が異なる。カラーフィルタでは、同一色の着色部においては、本来同一の着色濃度であることが求められるが、前述したように各セルおけるそれぞれのインクの総供給量が異なるため、各着色部の間での着色濃度のばらつきが発生してしまう。その結果、カラーフィルタの各部位での色むら、濃度むら、これら色むらや濃度むらが筋のように入った筋むら等が発生してしまったり、多数のカラーフィルタ間での特性(特に、コントラスト比、色再現域等の色特性)にばらつきを生じ、カラーフィルタの信頼性は低いものとなってしまう。
特開2002−372613号公報
本発明の目的は、各部位での色むら、濃度むら、筋むらを抑制することができるカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、該カラーフィルタを備えた画像表示装置、電子機器を提供することにある。
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、インクジェット方式で前記ノズルからインクの液滴を吐出する液滴吐出装置を用い、多数個のセルが設けられた基板上の該セルに対して前記インクを付与してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
描画データに基づいて、前記基板上の前記セルに対して前記インクを付与する仮インク付与工程と、
前記仮インク付与工程で前記各セル内にそれぞれ付与されたインクの量を検出し、該インクの量が目標値との乖離が大きいセルを補正対象セルとして特定するとともに、該補正対象セルにおける前記乖離の度合いを特定する補正対象セル特定工程と、
前記補正対象セルのセル番号と、該セル番号の前記補正対象セルにおける前記乖離の度合いとを関連付けて記憶する記憶工程と、
前記補正対象セル内の前記インクの量が前記目標値になるように、前記補正対象セルに対して付与する、前記乖離の度合いに対応したインクの液滴数を補正する補正データを作成する補正データ作成工程と、
前記補正データに基づいて、前記補正対象セルに対して前記液滴数のインクを付与する本インク付与工程とを有することを特徴とする。
これにより、各部位での色むら、濃度むら、筋むらを抑制することができる。
また、1回の描画で、規定品質(高品質)のカラーフィルタを製造することができ、これにより、歩留りが向上し、また、描画、検査の後、補正、描画、検査等を行っていた従来の製造方法に比べて、製造に要する時間および手間を削減することができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法では、前記補正対象セル特定工程では、前記乖離が、許容される前記乖離の度合いの範囲から外れている場合には、そのセルを前記補正対象セルとして特定することが好ましい。
これにより、補正対象セルを確実に特定することができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法では、前記基板は、光透過性を有するものであり、
前記補正対象セル特定工程では、前記基板に向けて光を照射した際の前記各セルにおける光の透過光量を検出し、該透過光量が前記目標値に相当する目標透過光量から外れている場合には、そのセルを前記補正対象セルとして特定することが好ましい。
これにより、各部位での色むら、濃度むら、筋むらを抑制することができる。
また、1回の描画で、規定品質(高品質)のカラーフィルタを製造することができ、これにより、歩留りが向上し、また、描画、検査の後、補正、描画、検査等を行っていた従来の製造方法に比べて、製造に要する時間および手間を削減することができる。
これにより、各部位での色むら、濃度むら、筋むらを抑制することができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法では、前記目標透過光量は、前記各セルにおける前記透過光量のうちの最小の透過光量であることが好ましい。
これにより、各部位での色むら、濃度むら、筋むらを抑制することができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法では、前記目標値は、前記仮インク付与工程で前記インクが付与された前記セルのうちの最もインクの量が多いセル内のインクの量であることが好ましい。
これにより、各部位での色むら、濃度むら、筋むらを抑制することができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法では、前記補正対象セル特定工程は、前記各セル内の前記インクが液体の状態のままで行なわれることが好ましい。
これにより、各部位での色むら、濃度むら、筋むらを抑制することができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法では、前記補正データ作成工程では、前記透過光量と前記目標透過光量との差と、前記液滴数との関係を示す検量線に基づいて、前記液滴数を求めることが好ましい。
これにより、補正対象セルに付与すべき液滴数の増分を正確かつ確実に求めることができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法では、前記検量線は、予め、前記インクの色ごとにそれぞれ作成されていることが好ましい。
これにより、各色ごとの補正対象セルに付与すべき液滴数の増分を正確かつ確実に求めることができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法では、前記液滴吐出ヘッドは、駆動素子を有し、該駆動素子に対して駆動電圧を印加すると、前記ノズルからインクの液滴が吐出されるよう構成されており、
前記仮インク付与工程に先立って、吐出動作1回当りの前記各ノズルから吐出されるインクの量を検出し、該検出結果に基づいて、吐出動作1回当りの前記各ノズルから吐出されるインクの量のバラツキが小さくなるように、前記駆動素子に印加する駆動電圧を調整する駆動電圧調整工程を有することが好ましい。
これにより、より確実に、各部位での色むら、濃度むら、筋むらを抑制することができる。
本発明のカラーフィルタは、本発明のカラーフィルタの製造方法により製造されたことを特徴とする。
これにより、各部位での色むら、濃度むら、筋むらを抑制することができる。
本発明の画像表示装置は、本発明のカラーフィルタを備えたことを特徴とする。
これにより、表示部の各部位での色むら、濃度むら、筋むらが抑制された画像表示装置を提供することができる。
本発明の画像表示装置は、液晶パネルであることが好ましい。
これにより、表示部の各部位での色むら、濃度むら、筋むらが抑制された画像表示装置を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の画像表示装置を備えたことを特徴とする。
これにより、表示部の各部位での色むら、濃度むら、筋むらが抑制された電子機器を提供することができる。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、画像表示装置および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
[第1実施形態]
《カラーフィルタ用インク》
以下説明するカラーフィルタ用インク2は、本実施形態のカラーフィルタの製造方法、すなわち、カラーフィルタの製造(カラーフィルタの着色部の形成)に用いられるインクであり、特に、インクジェット方式によるカラーフィルタの製造に用いられるものである。
カラーフィルタ用インク2は、着色剤、当該着色剤が溶解および/または分散する液性媒体、樹脂材料等を含むものである。
<着色剤>
カラーフィルタ1は、通常、異なる複数色の着色部(一般に、RGBに対応する3色の着色)を有している。着色剤は、通常、形成すべき着色部の色調に応じて選択される。カラーフィルタ用インク2を構成する着色剤としては、例えば、各種顔料、各種染料を用いることができる。
顔料としては、例えば、C.I.ピグメントレッド2,3,5,17,22,23,38,81,48:1,48:2,48:3,48:4,49:1,52:1,53:1,57:1,63:1,112,122,144,146,149,166,170,176,177,178,179,185,202,207,209,254,101,102,105,106,108,108:1、C.I.ピグメントグリーン7,36,15,17,18,19,26,50、C.I.ピグメントブルー1,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,17:1,18,60,27,28,29,35,36,80、C.I.ピグメントイエロー1,3,12,13,14,17,55,73,74,81,83,93,94,95,97,108,109,110,129,138,139,150,151,153,154,168,184,185,34,35,35:1,37,37:1,42,43,53,157、C.I.ピグメントバイオレット1,3,19,23,50,14,16、C.I.ピグメントオレンジ5,13,16,36,43,20,20:1,104、C.I.ピグメントブラウン25,7,11,33等が挙げられる。
また、染料としては、例えば、アゾ染料、アントラキノン染料、縮合多環芳香族カルボニル染料、インジゴイド染料、カルボニウム染料、フタロシアニン染料、メチン,ポリメチン染料等が挙げられる。染料の具体例としては、例えば、C.I.ダイレクトレッド2,4,9,23,26,28,31,39,62,63,72,75,76,79,80,81,83,84,89,92,95,111,173,184,207,211,212,214,218,221,223,224,225,226,227,232,233,240,241,242,243,247、C.I.アシッドレッド35,42,51,52,57,62,80,82,111,114,118,119,127,128,131,143,145,151,154,157,158,211,249,254,257,261,263,266,289,299,301,305,319,336,337,361,396,397、C.I.リアクティブレッド3,13,17,19,21,22,23,24,29,35,37,40,41,43,45,49,55、C.I.ベーシックレッド12,13,14,15,18,22,23,24,25,27,29,35,36,38,39,45,46、C.I.ダイレクトバイオレット7,9,47,48,51,66,90,93,94,95,98,100,101、C.I.アシッドバイオレット5,9,11,34,43,47,48,51,75,90,103,126、C.I.リアクティブバイオレット1,3,4,5,6,7,8,9,16,17,22,23,24,26,27,33,34、C.I.ベーシックバイオレット1,2,3,7,10,15,16,20,21,25,27,28,35,37,39,40,48、C.I.ダイレクトイエロー8,9,11,12,27,28,29,33,35,39,41,44,50,53,58,59,68,87,93,95,96,98,100,106,108,109,110,130,142,144,161,163、C.I.アシッドイエロー17,19,23,25,39,40,42,44,49,50,61,64,76,79,110,127,135,143,151,159,169,174,190,195,196,197,199,218,219,222,227、C.I.リアクティブイエロー2,3,13,14,15,17,18,23,24,25,26,27,29,35,37,41,42、C.I.ベーシックイエロー1,2,4,11,13,14,15,19,21,23,24,25,28,29,32,36,39,40、C.I.アシッドグリーン16、C.I.アシッドブルー9,45,80,83,90,185、C.I.ベーシックオレンジ21,23等が挙げられる。
また、着色剤としては、上記のような材料で構成された粉末に、例えば、親液化処理(後述する液性媒体に対する親和性を向上させる処理)等の表面処理を施したものを用いてもよい。これにより、例えば、カラーフィルタ用インク2中における着色剤粒子の分散性、分散安定性を特に優れたものとすることができる。着色剤に対する表面処理としては、例えば、着色剤粒子表面をポリマーで改質する処理等が挙げられる。着色剤の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば、特開平8−259876号公報等に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマー等が挙げられる。
また、着色剤としては、例えば、上記から選択される2種以上の成分を組み合わせて用いてもよい。
カラーフィルタ用インク2中において、着色剤は、後述する液性媒体に溶解しているものであってもよいし、分散しているものであってもよいが、着色剤が液性媒体中に分散しているものである場合、着色剤の平均粒径は、20〜200nmであるのが好ましく、5〜90nmであるのがより好ましい。これにより、カラーフィルタ用インク2を用いて製造されるカラーフィルタ1の耐光性を十分に優れたものとしつつ、カラーフィルタ用インク2中における着色剤の分散安定性や、カラーフィルタ1における発色性等を特に優れたものとすることができる。
カラーフィルタ用インク2中における着色剤の含有率は、2〜20wt%であるのが好ましく、3〜15wt%であるのがより好ましい。着色剤の含有率が前記範囲内の値であると、カラーフィルタ用の液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド)20からの吐出性(吐出安定性)を特に優れたものとしつつ、製造されるカラーフィルタ1の耐久性を優れたものとすることができる。また、製造されるカラーフィルタ1において、十分な色濃度を確保することができる。
<液性媒体>
液性媒体(液状媒質)は、上述したような着色剤を、溶解および/または分散する機能を有するものである。すなわち、液性媒体は、溶媒および/または分散媒として機能するものである。そして、通常、液性媒体は、カラーフィルタ1を製造する過程において、その大部分が除去されるものである。
カラーフィルタ用インク2を構成する液性媒体としては、例えば、エステル化合物、エーテル化合物、ヒドロキシケトン、炭酸ジエステル、環状アミド化合物等を用いることができ、中でも、(1)多価アルコール(例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、グリセリン等)の縮合物としてのエーテル(多価アルコールエーテル)や、多価アルコールまたは多価アルコールエーテルのアルキルエーテル(例えば、メチルエーテル、エチルエーテル、ブチルエーテル、ヘキシルエーテル等)、エステル(例えば、ホルメート、アセテート、プロピオネート等)、(2)多価カルボン酸(例えば、こはく酸、グルタル酸等)のエステル(例えば、メチルエステル等)、(3)分子内に少なくとも1つの水酸基と少なくとも1つのカルボキシル基とを有する化合物(ヒドロキシ酸)のエーテル、エステル等、(4)多価アルコールとホスゲンとの反応で得られるような化学構造を有する炭酸ジエステルが好ましい。液性媒体として用いることのできる化合物としては、例えば、2−(2−メトキシ−1−メチルエトキシ)−1−メチルエチルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、4−メチル−1,3−ジオキソラン−2−オン、ビス(2−ブトキシエチル)エーテル、グルタル酸ジメチル、エチレングリコールジn−ブチレート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、1,6−ジアセトキシヘキサン、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ブトキシプロパノール、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、3−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、オクタン酸エチル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、酢酸シクロヘキシル、こはく酸ジエチル、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、こはく酸ジメチル、1−ブトキシ−2−プロパノール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−メトキシ−n−ブチルアセテート、ジアセチン、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ブチルグリコレート、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、N−メチル−2−ピロリドン、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、ビス(2−プロポキシエチル)エーテル、ジエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールエチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエチルエーテル、トリエチレングリコールエチルメチルエーテル、トリエチレングリコールエチルプロピルエーテル、トリエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、n−ノニルアルコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール2−エチルヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−2−エチルヘキシルエーテル、トリプロピレングリコールn−ブチルエーテル等が挙げられ、これらから選択される1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
特に、カラーフィルタ用インクを構成する液性媒体は、ビス(2−プロポキシエチル)エーテル、2−(2−メトキシ−1−メチルエトキシ)−1−メチルエチルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ビス(2−ブトキシエチル)エーテル、グルタル酸ジメチル、エチレングリコールジn−ブチレート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテルよりなる群から選択される1種または2種以上を含むものであるのが好ましい。これにより、製造されるカラーフィルタ1の各部位での色むら、濃度むら等をより効果的に抑制することができるとともに、個体間での特性の均一性を特に優れたものとすることができる。
中でも、液性媒体がトリエチレングリコールジアセテートを含むものであると、長鎖かつ対象性のアセテート構造であるため、相互分子間力が散漫かつ弱く、温度変化に対しコンフォメーション変化が特に小さく、粘度変化が特に小さいものとなる。液性媒体がトリエチレングリコールジアセテートを含むものである場合、液性媒体中に占めるトリエチレングリコールジアセテートの割合は、30〜70wt%であるのが好ましい。また、液性媒体がテトラエチレングリコールジメチルエーテルを含むものであると、長鎖かつ対称性のエーテル構造であるため、相互分子間力が上記対称性エステル構造よりも更に散漫かつ弱く、温度変化に対しコンフォメーション変化が極めて少なく、粘度変化が更に小さいものとなる。液性媒体がテトラエチレングリコールジメチルエーテルを含むものである場合、液性媒体中に占めるテトラエチレングリコールジメチルエーテルの割合は、30〜70wt%であるのが好ましい。
カラーフィルタ用インク2中における液性媒体の含有率は、70〜98wt%であるのが好ましく、80〜95wt%であるのがより好ましい。液性媒体の含有率が前記範囲内の値であると、カラーフィルタ用の液滴吐出ヘッド20からの吐出性(吐出安定性)を特に優れたものとしつつ、製造されるカラーフィルタ1の耐久性を優れたものとすることができる。また、製造されるカラーフィルタ1の各部位での色むら、濃度むら等をより効果的に抑制することができるとともに、個体間での特性の均一性を特に優れたものとすることができる。また、製造されるカラーフィルタ1において、十分な色濃度を確保することができる。
<分散剤>
カラーフィルタ用インク2中には、分散剤が含まれていてもよい。これにより、例えば、カラーフィルタ用インク2が、分散性の低い顔料を含む場合等であっても、顔料の分散安定性を優れたものとすることができ、カラーフィルタ用インク2の保存安定性を優れたものとすることができる。
分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤が挙げられる。界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンn−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類等のほか、以下商品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、Disperbyk(ビックケミー・ジャパン(株)製)、ソルスパース3000,5000,11200,12000,13240,13650,13940,16000,17000,18000,20000,21000,22000,24000SC,24000GR(日本ルブリゾール(株)製)、サーフィノール(エアープロダクト社製)、ダイノール(エアープロダクト社製)等が挙げられる。
カラーフィルタ用インク2中における分散剤の含有率は、0.5〜15wt%であるのが好ましく、0.5〜8wt%であるのがより好ましい。
<樹脂材料>
カラーフィルタ用インク2は、通常、樹脂材料(バインダー樹脂)を含むものである。これにより、製造されるカラーフィルタ1において、着色部(着色層)12を基板11との密着性に優れたものとすることができ、カラーフィルタ1の耐久性を優れたものとすることができる。
カラーフィルタ用インク2を構成する樹脂材料としては、各種熱可塑性樹脂、各種熱硬化性樹脂等、いかなる樹脂材料を用いてもよいが、多官能性分子が重合したアクリル樹脂や、エポキシ系樹脂であるのが好ましい。これらの樹脂材料は、透明性が高く、硬度が高いものであるとともに、熱収縮量が小さい。このため、着色部12の基板11への密着性を特に優れたものとすることができる。また、カラーフィルタ用インク2を構成する樹脂材料としては、エポキシ系樹脂の中でも、特に、シリルアセテート構造(SiOCOCH)と、エポキシ構造とを有するエポキシ系樹脂を用いるのが好ましい。これにより、インクジェット方式による液滴吐出を好適に行うことができるとともに、着色部と基板との密着性を特に優れたものとすることができ、カラーフィルタ1の耐久性を特に優れたものとすることができる。
カラーフィルタ用インク2中における樹脂材料の含有率は、0.5〜10wt%であるのが好ましく、1〜5wt%であるのがより好ましい。樹脂材料の含有率が前記範囲内の値であると、カラーフィルタ用の液滴吐出ヘッド20からの吐出性(吐出安定性)を特に優れたものとしつつ、製造されるカラーフィルタ1の耐久性を特に優れたものとすることができる。また、製造されるカラーフィルタ1において、十分な色濃度を確保することができる。
<その他の成分>
カラーフィルタ用インク2は、必要に応じて、種々の他の成分を含むものであってもよい。このような成分(他の添加剤)としては、例えば、各種架橋剤;各種重合開始剤;銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色顔料誘導体等の分散助剤;ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の高分子化合物;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;メタノール、エタノール、i−プロパノール、n−ブタノール、グリセリン等のインクジェット吐出性能安定化剤;以下商品名で、エフトップEF301、同EF303、同EF352(以上、新秋田化成(株)製)、メガファックF171、同F172、同F173、同F178K(以上、大日本インキ化学工業(株)製)、フロラードFC430、同FC431(以上、住友スリーエム(株)製)、アサヒガードAG710、サーフロンS−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(以上、旭硝子(株)製)、KP341(信越化学工業(株)製)、ポリフローNo.75、同No.95(以上、共栄社油脂化学工業(株)製)等の界面活性剤等が挙げられる。
また、カラーフィルタ用インクは、熱酸発生剤や酸架橋剤を含有するものであってもよい。前記熱酸発生剤は、加熱により酸を発生する成分であり、その例としては、スルホニウム塩、ベンゾチアゾリウム塩、アンモニウム塩、ホスホニウム塩等のオニウム塩等が挙げられ、特に、スルホニウム塩およびベンゾチアゾリウム塩が好ましい。
《インクセット》
上述したようなカラーフィルタ用インク2は、インクジェット方式によるカラーフィルタ1の製造に用いられるものである。カラーフィルタ1は、通常、フルカラー表示に対応するため、複数色の着色部12(通常は、光の三原色に対応するRGBの3色)を有している。そして、これら複数色の着色部12の形成には、それぞれに対応する色の複数種のカラーフィルタ用インク2が用いられる。すなわち、カラーフィルタ1の製造には、複数色のカラーフィルタ用インク2を備えるインクセットが用いられる。カラーフィルタ1の製造においては、上述したようなカラーフィルタ用インク2が、少なくとも1種の着色部12の形成に用いられるのが好ましく、全色の着色部の形成に用いられるのがより好ましい。なお、他のカラーフィルタ用インクを用いてもよいことは、言うまでもない。
《カラーフィルタ》
次に、上述したようなカラーフィルタ用インク2(インクセット)を用いて製造されるカラーフィルタの一例について説明する。
図1は、本発明のカラーフィルタの好適な実施形態を示す断面図である。
図1に示すように、カラーフィルタ1は、基板11と、上述したカラーフィルタ用インク2を用いて成形された着色部12とを備えている。着色部12としては、互いに異なる色の第1の着色部12A、第2の着色部12B、および第3の着色部12Cが設けられている。そして、隣接する着色部12の間には、隔壁13が設けられている。
<基板>
基板11は、光透過性を有する板状の部材で、着色部12、隔壁13を保持する機能を有している。
基板11は、実質的に透明な材料で構成されたものであるのが好ましい。これにより、カラーフィルタ1を透過する光により、より鮮明な画像を形成することができる。
また、基板11は、耐熱性、機械的強度に優れたものであるのが好ましい。これにより、例えば、カラーフィルタ1の製造時に加わる熱による変形等を確実に防止することができる。このような条件を満足する基板11の構成材料としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ノルボルネン系開環重合体やその水素添加物等が挙げられる。
<着色部>
着色部12は、上述したようなカラーフィルタ用インク2を用いて形成されたものである。
着色部12は、上述したようなカラーフィルタ用インク2を用いて形成されたものであるため、各画素間での特性のばらつきが小さい。このため、カラーフィルタ1は、色むら、濃度むら等の発生が抑制された、信頼性が高いものとなっている。
各着色部12は、後述する隔壁13により囲まれた領域(吐出区画)であるセル14内に設けられている。
第1の着色部12A、第2の着色部12B、および第3の着色部12Cは、互いに異なる色のものである。例えば、第1の着色部12Aを赤色フィルタ領域(R)、第2の着色部12Bを緑色フィルタ領域(G)、第3の着色部12Cを青色フィルタ領域(B)とすることができる。そして、一組の異なる色の着色部12A、12B、12Cで1画素を構成している。そして、カラーフィルタ1においては、その横方向および縦方向に、着色部12が所定数配置されている。例えば、カラーフィルタ1が、ハイビジョン用のカラーフィルタである場合には1366×768個の画素が配置されており、フルハイビジョン用のカラーフィルタである場合には1920×1080個の画素が配置されており、スーパーハイビジョン用のカラーフィルタである場合には7680×4320個の画素が配置されている。なお、カラーフィルタ1は、例えば、有効領域外に予備の画素を備えたものであってもよい。
<隔壁>
隣接する着色部12の間には、隔壁(バンク)13が設けられている。これにより、隣接する着色部12同士が混色してしまうのを確実に防止することができ、その結果、鮮明な画像を確実に表示することができる。
隔壁13は、透明な材料で構成されたものであってもよいが、遮光性を有する材料で構成されたものであるのが好ましい。これにより、コントラストに優れた画像を表示することができる。隔壁(遮光部)13の色は、特に限定されないが、黒色であるのが好ましい。これにより、表示される画像のコントラストを特に優れたものとすることができる。
隔壁13の高さは、特に限定されないが、着色部12の膜厚よりも大きいものであるのが好ましい。これにより、隣接する着色部12の間での混色を確実に防止することができる。隔壁13の具体的な厚さは、0.1〜10μmであるのが好ましく、0.5〜3.5μmであるのがより好ましい。これにより、隣接する着色部12の間での混色を確実に防止することができるとともに、カラーフィルタ1を備えた画像表示装置、電子機器における視野角特性を優れたものとすることができる。
隔壁13は、いかなる材料で構成されたものであってもよいが、例えば、主として樹脂材料で構成されたものであるのが好ましい。これにより、後述するような方法で、隔壁13を容易に所望の形状を有するものとして形成することができる。また、隔壁13が遮光部としての機能を有するものである場合、その構成材料として、カーボンブラック等の光吸収性の材料を含むものであってもよい。
《液滴吐出装置》
次に、カラーフィルタ1の製造(インク付与工程)に用いる液滴吐出装置の一例について説明する。
図2は、カラーフィルタの製造に用いる液滴吐出装置を示す斜視図、図3は、図2に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットを示す斜視図、図4は、図2に示す液滴吐出装置におけるインクの供給系を示す図、図5は、図2に示す液滴吐出装置の平面図(一部省略)、図6は、図2に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよび多数個のセルが設けられた基板とを示す平面図、図7は、図2に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドのノズル面(ノズルプレート)の一部と、基板のセルとを拡大して示す平面図、図8は、図2に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、(a)は断面斜視図、(b)は断面図、図9は、図2に示す液滴吐出装置の主要部を示すブロック図、図10(a)は、ヘッド駆動部を示す模式図、図10(b)は、ヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート、図11は、図2に示す液滴吐出装置のヘッドユニットにおける各液滴吐出ヘッドの位置関係を説明するための模式的な平面図である。
<液滴吐出装置の全体構成>
図2に示す液滴吐出装置100は、インクジェット方式で後述するノズル25からカラーフィルタ用インク(液状材料)2の液滴を吐出する装置であり、内部の温度および湿度等が管理されたチャンバ(サーマルチャンバ)10内に設置されている。この液滴吐出装置100は、複数の液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド)20をキャリッジ105に搭載してなるヘッドユニット103と、ヘッドユニット103を水平な一方向(以下、「X軸方向」と言う)に移動させるキャリッジ移動機構(移動手段)104と、多数個のセル14が設けられた基板11(以下、単に、「基板」とも言う)を保持するステージ106と、ステージ106をX軸方向に垂直であって水平な方向(以下、「Y軸方向」と言う)に移動させるステージ移動機構(移動手段)108と、制御手段112とを備えている。なお、図示の構成では、ヘッドユニット103(キャリッジ105)は、2つ設けられているが、その数は、2つに限らず、1つでもよく、また、3つ以上でもよい。
また、液滴吐出装置100は、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色のカラーフィルタ用インク2をそれぞれ貯留する3個の0次タンク(インク容器)101aと、3個の1次タンク(インク容器)101bと、3個の2次タンク(インク容器)101cとを有している。なお、以下の説明では、赤、緑、青のカラーフィルタ用インク2を区別して言うときには、2R、2G、2Bの符号を付し、色を区別しないで総称して言うときには、単に「カラーフィルタ用インク2」と言う。
図2および図4に示すように、各0次タンク101aと、対応する各1次タンク101bとは、カラーフィルタ用インク2を送液する流路となるチューブ110aを介して接続されている。また、各1次タンク101bと、対応する各2次タンク101cとは、カラーフィルタ用インク2を送液する流路となるチューブ110bを介して接続されており、チューブ110bの途中には、気泡を除去するインクフィルタ(脱気モジュール)113が設けられている。また、各2次タンク101cと、各ヘッドユニット103とは、カラーフィルタ用インク2を送液する流路となるチューブ110cを介して接続されている。
また、図3に示すように、ヘッドユニット103には、圧力制御手段として、自己封止弁114が設けられており、その自己封止弁114を介して、チューブ110cとヘッドユニット103とが接続されている。これにより、各液滴吐出ヘッド20に、それぞれ、所定の圧力(負圧)がかかるようになっており、各液滴吐出ヘッド20の各ノズル25において良好な液滴吐出状態が得られる。
この液滴吐出装置100では、各2次タンク101cをヘッドユニット103より高い位置に設置することによって、各2次タンク101cから対応する複数の液滴吐出ヘッド20のそれぞれにカラーフィルタ用インク2が重力によって供給されるよう構成されている。
キャリッジ移動機構104の作動は、制御手段112により制御される。本実施形態のキャリッジ移動機構104は、ヘッドユニット103をZ軸方向(鉛直方向)に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構104は、Z軸に平行な軸の回りでヘッドユニット103を回転させる機能も有しており、これにより、ヘッドユニット103のZ軸回りの角度を微調整することができる。
ステージ106は、X軸方向とY軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ106は、カラーフィルタ1を製造するための基板11をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
ステージ移動機構108は、X軸方向およびZ軸方向の双方に直交するY軸方向に沿ってステージ106を移動させ、その作動は、制御手段112により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構108は、Z軸に平行な軸の回りでステージ106を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ106に載置された基板11のZ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。
上述のように、ヘッドユニット103は、キャリッジ移動機構104によってX軸方向に移動させられる。一方、ステージ106は、ステージ移動機構108によってY軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構104およびステージ移動機構108によって、ステージ106に対するヘッドユニット103の相対位置が変わる。
また、図5に示すように、液滴吐出装置100は、重量測定ユニット115と、2つのワイプユニット116と、キャップユニット117とを有している。なお、図5には、一例として、ヘッドユニット103が5つ設けられている場合であって、それに対応するキャップユニット117が設けられている場合が示されている。
重量測定ユニット115は、各液滴吐出ヘッド20から吐出されるカラーフィルタ用インク2の重量をヘッド毎に測定する装置である。
また、ワイプユニット116は、各液滴吐出ヘッド20のノズル面をワイピングする装置である。
また、キャップユニット117は、ヘッドユニット103の待機時に、各液滴吐出ヘッド20をキャッピングする装置である。
なお、制御手段112の詳細な構成および機能は、後述する。
<ヘッドユニット>
図6に示すヘッドユニット103は、複数の液滴吐出ヘッド20がキャリッジ105に搭載された構成となっている。図6中では、キャリッジ105を仮想線(二点鎖線)で表している。また、液滴吐出ヘッド20を示す実線は、液滴吐出ヘッド20のノズル面(ノズルプレート128)の位置を示している。
ヘッドユニット103には、赤色のカラーフィルタ用インク2Rを吐出する第1ヘッド21R、第2ヘッド22R、第3ヘッド23R、第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド20と、緑色のカラーフィルタ用インク2Gを吐出する第1ヘッド21G、第2ヘッド22G、第3ヘッド23G、第4ヘッド24Gの4個の液滴吐出ヘッド20と、青色のカラーフィルタ用インク2Bを吐出する第1ヘッド21B、第2ヘッド22B、第3ヘッド23B、第4ヘッド24Bの4個の液滴吐出ヘッド20との、計12個の液滴吐出ヘッド20が設置されている。
以下の説明では、これらの液滴吐出ヘッド20を総称する場合には、「液滴吐出ヘッド20」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「第1ヘッド21R、第2ヘッド22R、・・・」のように言う。
図6に示す基板11は、ストライプ配列のカラーフィルタ1を製造するためのものである。この基板11には、多数のセル14、すなわち、赤色用のセル(吐出区画)14Rと、緑色用のセル(吐出区画)14Gと、青色用のセル(吐出区画)14Bとがそれぞれ多数設けられている。液滴吐出装置100は、セル14Rには赤色のカラーフィルタ用インク2Rを付与し、セル14Gには緑色のカラーフィルタ用インク2Gを付与し、セル14Bには青色のカラーフィルタ用インク2Bを付与するように作動する。
以下の説明では、これらのセル14を総称する場合には、「セル14」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「セル14R、セル14G、セル14R」のように言う。
各セル14R、14G、14Bは、ほぼ長方形をなしている。基板11は、セル14R、14G、14Bの長軸方向がX軸方向に平行になり、短軸方向がY軸方向に平行になるような姿勢でステージ106上に保持される。基板11上には、Y軸方向に沿ってはセル14R、14G、14Bの順に3色の画素が繰り返し配列され、X軸方向に沿っては同色の画素が配列されている。Y軸方向に並ぶ一組のセル14R、14G、14Bは、製造されたカラーフィルタ1の一画素分に相当する。
<液滴吐出ヘッド>
図7に示すように、液滴吐出ヘッド20のノズル面には、多数のノズル(ノズル孔)25がX軸方向に沿って等間隔に直線的に並んで形成されており、ノズル列を形成している。なお、液滴吐出ヘッド20のノズル面は、基板11に対向する方向、すなわち鉛直下方に向いて設けられているが、図7中では、見易くするために、液滴吐出ヘッド20のノズル面を実線で示す。本実施形態では、一つの液滴吐出ヘッド20には、2列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されているが、本発明では、1つの液滴吐出ヘッド20が有するノズル列の数は、1列でも、3列以上でもよい。また、1つの液滴吐出ヘッド20に形成されるノズル25の数は、特に限定されないが、通常、数十〜数百個程度とされる。
図8(a)および(b)に示すように、液滴吐出ヘッド20は、インクジェットヘッドである。より具体的には、液滴吐出ヘッド20は、振動板126と、ノズルプレート128とを備えている。振動板126と、ノズルプレート128との間には、2次タンク101cから孔131を介して供給されるカラーフィルタ用インク2が常に充填される液たまり129が位置している。
また、振動板126と、ノズルプレート128との間には、複数の隔壁122が位置している。そして、振動板126と、ノズルプレート128と、1対の隔壁122とによって囲まれた部分がキャビティ120である。キャビティ120はノズル25に対応して設けられているため、キャビティ120の数とノズル25の数とは同じである。キャビティ120には、1対の隔壁122間に位置する供給口130を介して、液たまり129からカラーフィルタ用インク2が供給される。
振動板126上には、それぞれのキャビティ120に対応して、振動子124が位置する。振動子124は、駆動素子としてのピエゾ素子(圧電素子)124Cと、ピエゾ素子124Cを挟む1対の電極124A、124Bとを含む。この1対の電極124A、124Bとの間に駆動電圧(駆動信号)を印加する(与える)ことで、対応するノズル25からカラーフィルタ用インク2が吐出される。
この場合、前記駆動電圧(例えば、駆動電圧の大きさ等)を調整することにより、ノズル25から吐出されるカラーフィルタ用インク2の吐出動作1回当りの吐出量(体積や重量)を調整することができるようになっている。
なお、ノズル25からZ軸方向にカラーフィルタ用インク2が吐出されるように、ノズル25の形状が調整されている。
制御手段112は、複数の振動子124のそれぞれに互いに独立に駆動電圧を印加するように構成されていてもよく、また、複数の振動子124に共通の駆動電圧を印加するように構成されていてもよい。つまり、ノズル25から吐出されるカラーフィルタ用インク2の吐出動作1回当りの吐出量が、制御手段112からの駆動信号、すなわち、駆動電圧に応じてノズル25毎に制御されてもよく、複数のノズル25毎に制御されてもよい。また、制御手段112は、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル25と、吐出動作を行わないノズル25とを設定することでもできる。
本明細書では、1つのノズル25と、ノズル25に対応するキャビティ120と、キャビティ120に対応する振動子124とを含んだ部分を「吐出部127」と表記することもある。この表記によれば、1つの液滴吐出ヘッド20は、ノズル25の数と同じ数の吐出部127を有する。
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド20は、駆動素子として、ピエゾ素子の代わりに静電アクチュエータを用いるものでもよい。また、液滴吐出ヘッド20は、駆動素子として電気熱変換素子を用い、この電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用してカラーフィルタ用インク2を吐出する構成であってもよい。
<ヘッドユニットにおける各液滴吐出ヘッドの位置関係>
前述したように、ヘッドユニット103には、赤色のカラーフィルタ用インク2Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド20と、緑色のカラーフィルタ用インク2Gを吐出する第1ヘッド21G〜第4ヘッド24Gの4個の液滴吐出ヘッド20と、青色のカラーフィルタ用インク2Bを吐出する第1ヘッド21B〜第4ヘッド24Bの4個の液滴吐出ヘッド20との、計12個の液滴吐出ヘッド20が設置されている。図11中の細長い図形は、それらの各液滴吐出ヘッド20のノズル列の位置を表している。
図示の構成では各液滴吐出ヘッド20のノズル列の両端付近にある所定個数(例えば10個程度)のノズル25を使用しない(カラーフィルタ用インク2を吐出させない)ようにしている。
図11中の、各液滴吐出ヘッド20のノズル列を表す細長い図形において、両端の太く表示された不使用部分26は、上記のような使用しないノズル25がある範囲を表している。
まず、赤色のカラーフィルタ用インク2Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド20の位置関係について説明する。
第1ヘッド21Rと第2ヘッド22Rとは、ノズル列に直交する方向、すなわちY軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目rの位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。すなわち、Y軸方向から見た継ぎ目rでのノズルピッチは、ノズル列中のノズルピッチと同じく正規の長さになるようにされている。このような位置関係で配置された第1ヘッド21Rと第2ヘッド22Rとからなる列をヘッド列31Rと呼ぶ。
なお、ノズル列の継ぎ目rでは、不使用部分26を見込んで、第1ヘッド21Rのノズル列の図11中の右端部と、第2ヘッド22Rのノズル列の図11中の左端部とは、Y軸方向から見てそれらの端部付近の一部が互いに重なるように配置されている。
同様にして、第3ヘッド23Rと第4ヘッド24Rとは、Y軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目rの位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。すなわち、Y軸方向から見た継ぎ目rでのノズルピッチは、ノズル列中のノズルピッチと同じく正規の長さになるようにされている。このような位置関係で配置された第3ヘッド23Rと第4ヘッド24Rとからなる列をヘッド列32Rと呼ぶ。
さらに同様に、ノズル列の継ぎ目rでは、不使用部分26を見込んで、第3ヘッド23Rのノズル列の図11中の右端部と、第4ヘッド24Rのノズル列の図11中の左端部とは、Y軸方向から見てそれらの端部付近の一部が互いに重なるように配置されている。
上述のようなヘッド列31Rにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列32Rにより形成される長尺ノズル列とは、Y軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目rの位置と継ぎ目rの位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置100は、一つのセル14Rについて、複数(本実施形態では2個)の異なる液滴吐出ヘッド20のノズル25からカラーフィルタ用インク2Rの液滴を吐出することができる。
例えば、第1ヘッド21Rのノズル列と第3ヘッド23Rのノズル列とが重なり合っている図11中のRで示す範囲によって液滴を吐出されるセル14Rの場合には、図7に示すように、第1ヘッド21Rのノズル25から吐出された液滴91と、第3ヘッド23Rのノズル25から吐出された液滴92とが付与される。
なお、図7中では、ヘッド列31R(第1ヘッド21R)のノズル25の位置と、ヘッド列32R(第3ヘッド23R)のノズル25の位置とがY軸方向から見て一致しないようにずらして配置されているが、それらが一致するように配置してもよい。
図示を省略するが、同様にして、第1ヘッド21Rのノズル列と第4ヘッド24Rのノズル列とが重なり合っている図11中のRで示す範囲によって液滴を吐出されるセル14Rの場合には、第1ヘッド21Rのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Rのノズル25から吐出された液滴とが付与される。また、第2ヘッド22Rのノズル列と第4ヘッド24Rのノズル列とが重なり合っている図11中のRで示す範囲によって液滴を吐出されるセル14Rの場合には、第2ヘッド22Rのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Rのノズル25から吐出された液滴とが付与される。
次に、緑色のカラーフィルタ用インク2Gを吐出する第1ヘッド21G〜第4ヘッド24Gの4個の液滴吐出ヘッド20の位置関係について説明する。
緑色のカラーフィルタ用インク2Gを吐出する第1ヘッド21G〜第4ヘッド24Gの4個の液滴吐出ヘッド20の位置関係は、前述した赤色のカラーフィルタ用インク2Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド20の位置関係と同様であるので、以下、簡略化して説明する。
第1ヘッド21Gと第2ヘッド22Gとは、ノズル列に直交する方向、すなわちY軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目gの位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第1ヘッド21Gと第2ヘッド22Gとからなる列をヘッド列31Gと呼ぶ。
同様にして、第3ヘッド23Gと第4ヘッド24Gとは、Y軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目gの位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第3ヘッド23Gと第4ヘッド24Gとからなる列をヘッド列32Gと呼ぶ。
上述のようなヘッド列31Gにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列32Gにより形成される長尺ノズル列とは、Y軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目gの位置と継ぎ目gの位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置100は、1つのセル14Gについて、複数(本実施形態では2個)の異なる液滴吐出ヘッド20のノズル25からカラーフィルタ用インク2Gの液滴を吐出することができる。
すなわち、第1ヘッド21Gのノズル列と第3ヘッド23Gのノズル列とが重なり合っている図11中のGで示す範囲によって液滴を吐出されるセル14Gの場合には、第1ヘッド21Gのノズル25から吐出された液滴と、第3ヘッド23Gのノズル25から吐出された液滴とが付与される。また、第1ヘッド21Gのノズル列と第4ヘッド24Gのノズル列とが重なり合っている図11中のGで示す範囲によって液滴を吐出されるセル14Gの場合には、第1ヘッド21Gのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Gのノズル25から吐出された液滴とが付与される。また、第2ヘッド22Gのノズル列と第4ヘッド24Gのノズル列とが重なり合っている図11中のGで示す範囲によって液滴を吐出されるセル14Gの場合には、第2ヘッド22Gのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Gのノズル25から吐出された液滴とが付与される。
次に、青色のカラーフィルタ用インク2Bを吐出する第1ヘッド21B〜第4ヘッド24Bの4個の液滴吐出ヘッド20の位置関係について説明する。
青色のカラーフィルタ用インク2Bを吐出する第1ヘッド21B〜第4ヘッド24Bの4個の液滴吐出ヘッド20の位置関係は、前述した赤色のカラーフィルタ用インク2Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド20の位置関係と同様であるので、以下、簡略化して説明する。
第1ヘッド21Bと第2ヘッド22Bとは、ノズル列に直交する方向、すなわちY軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目bの位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第1ヘッド21Bと第2ヘッド22Bとからなる列をヘッド列31Bと呼ぶ。
同様にして、第3ヘッド23Bと第4ヘッド24Bとは、Y軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目bの位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第3ヘッド23Bと第4ヘッド24Bとからなる列をヘッド列32Bと呼ぶ。
上述のようなヘッド列31Bにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列32Bにより形成される長尺ノズル列とは、Y軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目bの位置と継ぎ目bの位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置100は、1つのセル14Bについて、複数(本実施形態では2個)の異なる液滴吐出ヘッド20のノズル25からカラーフィルタ用インク2Bの液滴を吐出することができる。
すなわち、第1ヘッド21Bのノズル列と第3ヘッド23Bのノズル列とが重なり合っている図11中のBで示す範囲によって液滴を吐出されるセル14Bの場合には、第1ヘッド21Bのノズル25から吐出された液滴と、第3ヘッド23Bのノズル25から吐出された液滴とが付与される。また、第1ヘッド21Bのノズル列と第4ヘッド24Bのノズル列とが重なり合っている図11中のBで示す範囲によって液滴を吐出されるセル14Bの場合には、第1ヘッド21Bのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Bのノズル25から吐出された液滴とが付与される。また、第2ヘッド22Bのノズル列と第4ヘッド24Bのノズル列とが重なり合っている図11中のBで示す範囲によって液滴を吐出されるセル14Bの場合には、第2ヘッド22Bのノズル25から吐出された液滴と、第4ヘッド24Bのノズル25から吐出された液滴とが付与される。
このようなヘッドユニット103では、赤色のカラーフィルタ用インク2Rを吐出するヘッド列31R、32Rにより形成される長尺ノズル列と、緑色のカラーフィルタ用インク2Gを吐出するヘッド列31G、32Gにより形成される長尺ノズル列と、青色のカラーフィルタ用インク2Bを吐出するヘッド列31B、32Bにより形成される長尺ノズル列とは、Y軸方向から見て重なるように配置されている。これにより、ヘッドユニット103と基板11とを主走査することによって、全吐出幅Wの範囲では、セル14R、14G、14Bに対して一度に赤、緑、青の各色のカラーフィルタ用インク2R、2G、2Bを付与することができる。
そして、液滴吐出装置100では、赤色のカラーフィルタ用インク2Rを吐出するヘッド列31R、32Rにおけるノズル列の継ぎ目r、rと、緑色のカラーフィルタ用インク2Gを吐出するヘッド列31G、32Gにおけるノズル列の継ぎ目g、gと、青色のカラーフィルタ用インク2Bを吐出するヘッド列31B、32Bにおけるノズル列の継ぎ目b、bとは、それらの位置がY軸方向から見て互いに一致しないように配置されている。
なお、前述したヘッドユニット103における各液滴吐出ヘッド20の位置関係は、一例であり、他の位置関係でもよいことは、言うまでもない。
<制御手段>
次に、制御手段112の構成を説明する。
この制御手段112は、例えば、CPU、ROM、RAM等を有するコンピュータで構成することができる。この場合には、制御手段112の下記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。なお、制御手段112は、専用の回路(ハードウェア)等によって実現されてもよい。
図9に示すように、制御手段112は、入力バッファメモリ200と、記憶手段202と、処理部204と、走査駆動部206と、ヘッド駆動部208と、キャリッジ位置検出手段302と、ステージ位置検出手段303とを備えており、各種の操作を行なう操作部4や、CCDカメラ(品質情報取得手段)5からの信号等に基づき、予め設定されたプログラムに従って、液滴吐出装置100の各部の作動(駆動)をそれぞれ制御する。
バッファメモリ200と処理部204とは相互に通信可能に接続されている。処理部204と記憶手段202とは、相互に通信可能に接続されている。処理部204と走査駆動部206とは相互に通信可能に接続されている。処理部204とヘッド駆動部208とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部206は、キャリッジ移動機構104およびステージ移動機構108と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部208は、複数の液滴吐出ヘッド20のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
入力バッファメモリ200は、外部情報処理装置から、カラーフィルタ用インク2の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画データ(描画パターンデータ)を受け取る。入力バッファメモリ200は、この描画データを処理部204に供給し、処理部204は、描画データを記憶手段202に格納する。
記憶手段202は、各種の情報、データ、演算式、テーブル、プログラム等が記憶(記録とも言う)される記憶媒体(記録媒体とも言う)を有しており、この記憶媒体は、例えば、RAM等の揮発性メモリー、ROM等の不揮発性メモリー、EPROM、EEPROM、フラッシュメモリー等の書き換え可能(消去、書き換え可能)な不揮発性メモリー等、各種半導体メモリー、ICメモリー、磁気記録媒体、光記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。この記憶手段202における書き込み(記憶)、書き換え、消去、読み出し等の制御は、処理部204によりなされる。
キャリッジ位置検出手段302は、キャリッジ105、すなわちヘッドユニット103のX軸方向の位置(移動距離)を検出し、その検出信号を処理部204へ入力する。
ステージ位置検出手段303は、ステージ106、すなわち基板11のY軸方向の位置(移動距離)を検出し、その検出信号を処理部204へ入力する。
キャリッジ位置検出手段302、ステージ位置検出手段303は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。
処理部204は、キャリッジ位置検出手段302およびステージ位置検出手段303の検出信号に基づき、走査駆動部206を介して、キャリッジ移動機構104およびステージ移動機構108の作動を制御(クローズドループ制御)し、ヘッドユニット103の位置と、基板11の位置とを制御する。
さらに、処理部204は、ステージ移動機構108の作動を制御することにより、ステージ106すなわち基板11の移動速度を制御する。
また、処理部204は、前記描画データに基づいて、吐出タイミング毎のノズル25のオン・オフを指定する選択信号SCをヘッド駆動部208へ与える。ヘッド駆動部208は、選択信号SCに基づいて、カラーフィルタ用インク2の吐出に必要な吐出信号ESを液滴吐出ヘッド20に与える。この結果、液滴吐出ヘッド20における対応するノズル25から、カラーフィルタ用インク2が液滴として吐出される。
次に制御手段112におけるヘッド駆動部208の構成と機能を説明する。
図10(a)に示すように、ヘッド駆動部208は、1つの駆動信号生成部203と、複数のアナログスイッチASとを有する。図10(b)に示すように、駆動信号生成部203は、駆動信号DSを生成する。駆動信号DSの電位は、基準電位Lに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号DSは、吐出周期EPで繰り返される複数の吐出波形Pを含む。ここで、吐出波形Pは、ノズル25から1つの液滴を吐出するために、対応する振動子124の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
駆動信号DSは、アナログスイッチASのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチASのそれぞれは、ノズル25のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチASの数とノズル25の数とは同じである。
処理部204は、ノズル25のオン・オフを表す選択信号SCを、アナログスイッチASのそれぞれに与える。ここで、選択信号SCは、アナログスイッチAS毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチASは、駆動信号DSと選択信号SCとに応じて、振動子124の電極124Aに吐出信号ESを供給する。具体的には、選択信号SCがハイレベルの場合には、アナログスイッチASは電極124Aに吐出信号ESとして駆動信号DSを伝播する。一方、選択信号SCがローレベルの場合には、アナログスイッチASが出力する吐出信号ESの電位は基準電位Lとなる。振動子124の電極124Aに駆動信号DSが与えられると、その振動子124に対応するノズル25からカラーフィルタ用インク2が吐出される。なお、それぞれの振動子124の電極124Bには基準電位Lが与えられている。
図10(b)に示す例では、2つの吐出信号ESのそれぞれにおいて、吐出周期EPの2倍の周期2EPで吐出波形Pが現れるように、2つの選択信号SCのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する2つのノズル25のそれぞれから、周期2EPでカラーフィルタ用インク2が吐出される。また、これら2つのノズル25に対応する振動子124のそれぞれには、共通の駆動信号生成部203からの共通の駆動信号DSが与えられている。このため、2つのノズル25からほぼ同じタイミングでカラーフィルタ用インク2が吐出される。
このような液滴吐出装置100を用いて、カラーフィルタ用インク2R、2Gおよび2Bを、それぞれ、基板11の各セル14R、14Gおよび14B内に付与する。
この場合、液滴吐出装置100は、ステージ移動機構108の作動により、ステージ106上に保持された基板11をY軸方向に移動させ、ヘッドユニット103の下を通過させつつ、ヘッドユニット103の各液滴吐出ヘッド20のノズル25からカラーフィルタ用インク2R、2G、2Bの液滴を吐出して、それぞれ、基板11上の各セル14R、14G、14Bに付与する(着弾させる)ように作動する。以下、この動作を「ヘッドユニット103と基板11との主走査」と言うことがある。
ヘッドユニット103全体として基板11に対しカラーフィルタ用インク2を吐出可能なX軸方向の長さ(全吐出幅W)よりも、基板11のX軸方向の幅が小さいものである場合には、ヘッドユニット103と基板11との主走査を1回行うことにより、基板11の全体に対してカラーフィルタ用インク2を付与することができる。
これに対し、ヘッドユニット103の全吐出幅Wよりも、基板11のX軸方向の幅が大きいものである場合には、ヘッドユニット103と基板11との主走査と、キャリッジ移動機構104の作動によるヘッドユニット103のX軸方向の移動(これを「副走査」と呼ぶ)とを交互に繰り返し行うことにより、基板11の全体に対してカラーフィルタ用インク2を付与することができる。
また、1つの基板11に対して、1つのヘッドユニット103のみからカラーフィルタ用インク2を付与することができ、また、複数(図示の構成では2つ)のヘッドユニット103からカラーフィルタ用インク2を付与することもできる。
上記のような液滴吐出装置100を用いることにより、セル14内に、効率よくかつ選択的にカラーフィルタ用インク2を付与することができる。
なお、前述した液滴吐出装置100は、一例であり、インクジェット方式でノズルからカラーフィルタ用インク(液状材料)の液滴を吐出する装置であれば、他の構成の装置を用いてもよいことは、言うまでもない。
《カラーフィルタの製造方法》
次に、カラーフィルタ1の製造方法の一例について説明する。
図12〜図14は、それぞれ、カラーフィルタの製造方法を示す断面図である。
図12〜図14に示すように、本実施形態では、基板11を準備する基板準備工程(図12(a))と、基板11上に隔壁13を形成する隔壁形成工程(図12(b)、図12(c))と、インクジェット方式によりカラーフィルタ用インク2を隔壁13で囲まれた領域(吐出区画)であるセル14に付与する仮インク付与工程(図12(d))と、仮インク付与工程で各セル14にそれぞれカラーフィルタ用インク2が付与された基板11をCCDカメラ5で撮像する基板撮像工程(図13(e))と、全てのセル14のうち、補正対象セル14aを特定する補正対象セル特定工程(図13(e))と、前記補正対象セル14aのセル番号iを記憶する記憶工程と、補正対象セル14aに対する補正データを作成する補正データ作成工程と、補正対象セル14aに対してカラーフィルタ用インク2を付与する本インク付与工程(図13(f)、図14(g))と、カラーフィルタ用インク2から液性媒体を除去し、固形状の着色部12とする着色部形成工程(図14(h))とを有している。なお、カラーフィルタ1の製造方法についての説明中で述べる「各セル14(または単に「セル14」)」とは、色ごとの各セル14(セル14R、14G、14B)のことである。
<基板準備工程>
まず、基板11を準備する(図12(a))。本工程で準備する基板11は、洗浄処理が施されたものであるのが好ましい。また、本工程で準備する基板11は、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理が施されたものであってもよい。
<隔壁形成工程>
次に、基板11の隔壁形成用の感放射線性組成物を基板11の一方の面のほぼ全体に付与し、塗膜3を形成する(図12(b))。なお、基板11上に感放射線性組成物を付与した後、必要に応じて、プリベーク処理を行ってもよい。プリベーク処理は、例えば、加熱温度:50〜150℃、加熱時間:30〜600秒という条件で行うことができる。
その後、フォトマスクを介して、放射線を照射して、ポストエキスポジャーベーク処理(PEB)を行い、さらに、アルカリ現像液を用いた現像処理を行うことにより、隔壁13が形成される(図12(c))。PEBは、例えば、加熱温度:50〜150℃、加熱時間:30〜600秒、放射線照射強度:1〜500mJ/cmという条件で行うことができる。また、現像処理は、例えば、液盛り法、ディッピング法、振動浸漬法等により行うことができ、現像処理時間は、例えば、10〜300秒とすることができる。また、現像処理の後、必要に応じて、ポストベーク処理を行ってもよい。ポストベーク処理は、例えば、加熱温度:150〜280℃、加熱時間:3〜120分という条件で行うことができる。これにより、多数個の隔壁13、すなわち、多数個のセル14が設けられた基板11が得られる。
<仮インク付与工程>
次に、インクジェット方式により、カラーフィルタ用インク2を、隔壁13で囲まれたセル14に向かって吐出し、当該セル14内に付与する(図12(d))。
本工程は、形成すべき複数色の着色部12に対応する複数種のカラーフィルタ用インク2、すなわち、カラーフィルタ用インク2R、2G、2Bを用いて行う。この際、隔壁13が設けられているため、2種以上のカラーフィルタ用インク2が混ざり合うことが確実に防止される。
カラーフィルタ用インク2の吐出、付与は、前述した液滴吐出装置100を用いて行う。すなわち、液滴吐出装置100を用い、多数個のセル14が設けられた基板11の各セル14にカラーフィルタ用インク2の液滴を吐出するパターン(例えば、吐出位置、吐出回数、インクの色等)を示す描画データに基づいて、カラーフィルタ用インク2を、その基板11上の各セル14に、液滴吐出ヘッド20のノズル25からインクジェット方式で吐出し、セル14に対して付与する。
そして、本工程では、液滴吐出装置100が設置されるチャンバ10内は、通常、20〜26℃の温度に設定される。チャンバ10内の温度をこのような範囲に設定することにより、温度制御を比較的容易に行うことができるとともに、液滴吐出装置の発熱等によるチャンバ10内の各部位での温度のばらつき、変動を比較的小さいものとすることができる。また、温度制御に要する電力等のエネルギー量を抑制することができる。また、一般に、クリーンルームとして用いられている施設の設定温度も、上記範囲内であるため、既存の施設を、カラーフィルタの製造に、好適に利用することができる。また、通常、チャンバ10内の設定温度は、そのレンジが0.5〜1.5℃(±0.25〜±0.75℃)となるように設定されている。
また、上記のように、液滴吐出装置100が設置されるチャンバ10内の設定温度は、通常、20〜26℃とされるが、21〜25℃であるのが好ましく、22〜24℃であるのがより好ましい。これにより、上述した効果をより顕著に発揮させることができるとともに、カラーフィルタ用インク2の吐出安定性を特に優れたものとすることができる。
<基板撮像工程>
図13(e)に示すように、仮インク付与工程で得られた基板11に対して、その一方の面側(図13(e)中上側)に照射光L1を照射する光源7を配置し、他方の面側(図13(e)中下側)に各セル14をそれぞれ透過した透過光L2を撮像する(受光する)CCDカメラ5を配置する。光源7とCCDカメラ5とは、制御手段112(処理部204)と通信可能に接続されている(図9参照)。
図13(e)に示す状態で、光源7を作動させて(点灯させて)、基板11上方から当該基板11に向けて照射光L1を照射する。そして、CCDカメラ5により、基板11を撮像する。このCCDカメラ5は、本実施形態では、基板11の全体を1度に撮像するよう構成されている。
CCDカメラ5で読み取られた画像データは、制御手段112に入力され、一旦、記憶手段202に記憶される。そして、制御手段112は、画像データに対して所定の画像処理を行い、この処理された画像データと、記憶手段202に予め記憶されているセル番号i、i、iとの対応付けを行なう。これにより、基板11上の各色ごとのセル14(14R、14G、14B)の位置が特定される。セル番号iにおける添え字「R」は、セル番号iが赤色のカラーフィルタ用インク2Rが付与されたセル14Rに関するものであることを示し、セル番号iにおける添え字「G」は、セル番号iが緑色のカラーフィルタ用インク2Gが付与されたセル14Gに関するものであることを示し、セル番号iにおける添え字「B」は、セル番号iが青色のカラーフィルタ用インク2Bが付与されたセル14Bに関するものであることを示す。
<補正対象セル特定工程>
次に、補正対象セル特定工程を行なう。この補正対象セル特定工程は、赤色のカラーフィルタ用インク2Rが付与されたセル14R、緑色のカラーフィルタ用インク2Gが付与されたセル14G、青色のカラーフィルタ用インク2Bが付与されたセル14Bのそれぞれに対して、行なわれる。各色ごとの補正対象セル特定工程は、ほぼ同じであるため、以下、青色のカラーフィルタ用インク2Bが付与されたセル14Bに対する補正対象セル特定工程について代表的に説明し、さらに、当該補正対象セル特定工程に続く、青色のカラーフィルタ用インク2Bが付与されたセル14Bに関する記憶工程および補正データ作成工程について代表的に説明する。
補正対象セル特定工程では、まず、前記仮インク付与工程で各セル14内にそれぞれ付与されたカラーフィルタ用インク2の量を検出する。そして、この検出されたインクの量が後述する目標値との乖離が比較的大きい、すなわち、乖離が許容される乖離の度合いの範囲から外れているセル14を補正対象セル14aとして特定する(抽出する)。また、本工程では、補正対象セル14aにおける前記乖離の度合いの特定(検出)も行なう。
なお、検出されるカラーフィルタ用インク2の量は、例えば、本実施形態では、基板11に向けて所定の波長の照射光L1を照射した際の各セル14における透過光L2の透過光量として検出される(求められる)。そして、この検出結果(透過光量検出結果)に基づいて、補正対象セル14aを特定する(抽出する)。
具体的には、まず、前記基板撮像工程で位置が特定された各セル番号iのセル14(セル14B)における透過光量niBを検出する。この透過光量niBは、前記基板撮像工程で画像処理された画像データの、セル番号iのセル14に対応する輝度信号を検出することにより求めることができる。
基板11では、通常は、当該基板11の各セル14(セル14B)のうち、いくつかのセル14(セル14B)では、カラーフィルタ用インク2の量が大、すなわち、透過光量niBが小となる(輝度信号が弱となる)ものと、カラーフィルタ用インク2の量が小、すなわち、透過光量niBが大となる(輝度信号が強となる)ものとが存在すると予想される。ここでは、説明を簡単にするために、1つのセル14(補正対象セル14a)内のカラーフィルタ用インク2の量が、他のセル14内のカラーフィルタ用インク2の量よりも少ない場合を一例に挙げて説明する(図13(e)参照)。
次いで、制御手段112は、各透過光量niBがそれぞれ目標透過光量nの許容範囲から外れているか否か、すなわち、係数kを乗じた目標透過光量nよりも大となるか否か判断する。そして、透過光量nが許容範囲から外れているセル14がある場合には、そのセル14を補正対象セル14aとして特定する(扱う)。
ここで「目標透過光量n」は、前述した補正対象セル14aを特定する際に各セル14内のインク量との乖離を比較するときの目標値に相当する物理量である。本実施形態では、目標透過光量nは、仮インク付与工程でカラーフィルタ用インク2が付与されたセル14のうち、カラーフィルタ用インク2の量が最も多いセル14における透過光量niB(最小透過光量)である。補正対象セル14aを特定するときの目標値(基準)をこのように設定することにより、カラーフィルタ1の全体に渡り、各部位(画素間)での色むら、濃度むら、筋むらを確実かつ好適に抑制することができる。
また、係数kとしては、目標透過光量nの設定条件(設定方法)にもよるが、例えば、0.7〜1.3とすることができる。
また、本工程では、補正対象セル14aを抽出するときには、各セル14内のカラーフィルタ用インク2が液体の状態(ウエット状態)のままで、前記CCDカメラ5での読み取りを行なう。例えば、各セル14内のカラーフィルタ用インク2が固体の状態(ドライ状態)のままでCCDカメラ5での読み取りを行なう場合、各セル14内のカラーフィルタ用インク2を固化する工程が必要となる。このため、カラーフィルタ1の製造工程における工程数が増加し、カラーフィルタ1を製造する際の時間が比較的多く費やされてしまう。しかしながら、本実施形態のようにセル14内のカラーフィルタ用インク2が液体の状態のままでCCDカメラ5での読み取りを行なった場合、前述したような不具合を解消することができる。
また、前述したように、本工程では、補正対象セル14aを特定するとともに、補正対象セル14aにおける前記乖離の度合いも特定する。乖離の度合いとしては、本実施形態では、透過光量niBと目標透過光量nとの差Δn(=niB−n)を用いる。この差Δnは、補正データ作成工程で、補正対象セル14a内のカラーフィルタ用インク2の量が目標値(他のセル14のカラーフィルタ用インク2の量と同じ)になるように(図14(g)参照)、補正対象セル14aに対して付与すべきカラーフィルタ用インク2の液滴数を求めるのに用いられる。
<記憶工程>
次いで、前記補正対象セル特定工程で得られた補正対象セル14aのセル番号iと、当該セル番号iの補正対象セル14aにおける差Δnとを関連付けて(対応付けて)、記憶手段202に記憶する。
<補正データ作成工程>
次に、補正対象セル14a内のカラーフィルタ用インク2の量が目標値になるように、当該補正対象セル14aに付与すべきカラーフィルタ用インク2の液滴数の増分を得(求め)、補正データを作成する。この液滴数は、当該補正対象セル14aにおける差Δnに対応したカラーフィルタ用インク2の液滴数である。カラーフィルタ1の製造方法では、差Δnと液滴数との関係を示すテーブルや演算式等の検量線は、予め、実験的に求められ、記憶手段202に記憶されている。制御手段112は、前記検量線を用い、液滴数を求める。そして、このように求められた液滴数に関する補正データを作成する。この補正データは、記憶手段202に記憶される。なお、既に補正データが記憶されている場合は、新たな補正データに更新される。
以上のような補正対象セル特定工程〜補正データ作成工程は、赤色のカラーフィルタ用インク2Rが付与されたセル14R、緑色のカラーフィルタ用インク2Gが付与されたセル14Gについても、青色のカラーフィルタ用インク2Bが付与されたセル14Bと同様に、行なわれる。赤色のカラーフィルタ用インク2Rが付与されたセル14R、緑色のカラーフィルタ用インク2Gが付与されたセル14Gでは、固有の目標値がそれぞれ設定され、検量線も予めそれぞれ作成されている。
<本インク付与工程>
次に、前記補正データ作成工程で得られた各色のセル14における補正データに基づいて、仮インク付与工程とほぼ同様に、インクジェット方式により、カラーフィルタ用インク2を補正対象セル14a内に付与する(図13(f))。このとき、補正対象セル14a対して付与されるカラーフィルタ用インク2の液滴数は、補正データに基づいたものである。
このような付与により、補正対象セル14a内のカラーフィルタ用インク2の量は、他のセル14内のカラーフィルタ用インク2の量とほぼ同じとなる(図14(g)参照)。
なお、本インク付与工程は、仮インク付与工程と同じ条件(環境条件、吐出条件)下で行なわれる。
<着色部形成工程>
次に、全セル14内のカラーフィルタ用インク2から液性媒体を除去し、固形状の着色部12とする(図14(h))。これにより、カラーフィルタ1が得られる。また、本工程においては、必要に応じて、樹脂材料を架橋成分等と反応させてもよい。液性媒体の除去は、例えば、加熱により行うことができる。また、この際、カラーフィルタ用インク2が付与された基板11を、減圧環境下に置いてもよい。これにより、液性媒体の除去をより効率よく進行させることができる。また、本工程においては、放射線の照射を行ってもよい。これにより、樹脂材料の架橋成分等との反応を効率よく進行させることができる。
各ノズル25から吐出されるカラーフィルタ用インク2の量は、経時的に変化し、また、ヘッドユニット103を交換した場合も変化するので、以上のような工程を経ることにより、各セル14間でのカラーフィルタ用インク2の量のバラツキが抑えられ(防止される)。これにより、カラーフィルタ1の各部位での色むら、濃度むら、筋むらを防止(または抑制)することができる。
なお、補正対象セル特定工程では、CCDカメラ5は、基板11の全体を1度に撮像するよう構成されたものであるのに限定されず、例えば、基板11の全体を複数回に分けて撮像するよう構成されたものであってもよく、基板11の全体を連続的に所定方向に走査しつつ撮像するよう構成されたものであってもよい。
また、カラーフィルタ1の製造方法は、本実施形態では、目標値を比較的高く設定して、それを下回ったものに対して液滴数を増加する方法であるが、これに限定されず、目標値を比較的低く設定して、それを超えたものに対しては液滴数を減じ、下回ったものに対しては液滴数を増ずる方法であってもよい。
次に、図15、図16に基づいてさらに説明する。図15は、図2に示す液滴吐出装置を含むシステム全体の制御動作を示すフローチャート、図16は、図15中に示す「A」における制御動作(サブルーチン)を示すフローチャートである。
まず、仮インク付与工程に用いる描画データに基づいて、ノズル25から基板11上のセル14に対してカラーフィルタ用インク2を吐出し、付与する(ステップS101)。
次いで、光源7を作動させ(ステップS102)、さらに、CCDカメラ5により、基板11を撮像し、画像データを読み取る(ステップS103)。
次いで、画像データと、記憶手段202に予め記憶されているセル番号i、i、iとの対応付けを行ない(ステップS104)、各色(赤色(R)、緑色(G)、青色(B))ごとに、セル番号iのセル14に関するデータを振り分ける。そして、振り分けられた各色ごとに関するデータを抽出する(ステップS106〜S108)。以下では、代表的に青色(B)に関するデータを抽出したときのフローチャート(図15中の「A」)について図16を参照しつつ説明する。
各セル番号iのセル14(セル14B)における透過光量niBをそれぞれ求め、記憶手段202に記憶する(ステップS109)。
次いで、前記ステップS109で得た各セル14におけるそれぞれの透過光量nに基づいて、最小透過光量、すなわち、目標透過光量nを求め(抽出し)、記憶手段202に記憶する(ステップS110)。
次いで、セル番号iが「1」のセル14における透過光量n1Bを読み出し(ステップS111)、n1B>kn(式1)であるか否かを判断する(ステップS112)。
ステップS112において式1を満足すると判断されたら、このセル番号iが「1」のセル14を、今回補正対象となる補正対象セル14aとして特定する(ステップS113)。
次いで、セル番号「1」のセル14における差Δnを求め(ステップS114)、この差Δnとセル番号「1」とを記憶手段202に記憶する(ステップS115)。
次いで、青色(B)に関する検量線のテーブルデータを記憶手段202から読み出し、セル番号「1」のセル14における差Δnに対応する液滴数の増分を求める(ステップS116)。
ステップS116を実行した後は、セル番号iがN(Nは、セル14Bの総数、すなわち、最後の番号(末尾番号))となるまで(ステップS118)、セル番号iをインクリメントし(順に1つずつ繰り上げ)(ステップS110)、ステップS112へ戻り、それより下位のステップを順次実行する。
ステップS118においてセル番号iがNとなったら、ステップS116で得た今回補正対象となる全ての補正対象セル14aに関して、補正データを作成し、記憶手段202に記憶する(ステップS119)。
また、このようなステップS109〜S119と同様のステップを経ることにより、緑色(G)に関する補正データ(図15中の「A’」)と、赤色(R)に関する補正データ(図15中の「A’’」)とを作成することができる。
次いで、得られた3つの(各色に関する)補正データに基づいて、各色の補正対象セル14aに対して、当該補正対象セル14aに適した液滴数のカラーフィルタ用インク2を吐出し、付与する(ステップS120)。
以上説明したように、このカラーフィルタ1の製造方法によれば、カラーフィルタ1の各部位での色むら、濃度むら、筋むらを防止(または抑制)することができる。
また、1回の描画で、規定品質(高品質)のカラーフィルタ1を製造することができ、これにより、歩留りが向上し、また、描画、検査の後、補正、描画、検査等を行っていた従来の製造方法に比べて、製造に要する時間および手間を削減することができる。
[第2実施形態]
以下、第2実施形態について説明するが、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
第2実施形態は、さらに駆動電圧調整工程を有すること以外は前記第1実施形態と同様である。
第2実施形態では、仮インク付与工程に先立って、1対の電極124A、124Bとの間、すなわち、ピエゾ素子(駆動素子)124Cに印加する駆動電圧を調整する駆動電圧調整工程を行うよう構成されている。
この駆動電圧調整工程では、まず、吐出動作1回当りの各ノズル25からそれぞれ吐出されるカラーフィルタ用インク2の量を検出する。この検出方法としては、例えば、各ノズル25からガラス基板上にカラーフィルタ用インク2を塗布し、その塗布された1滴のインクの体積を光学的手法により測定する方法や、各ノズル25からロール紙上にカラーフィルタ用インク2を塗布し、その塗布された1滴のインクの体積をCCDカメラで撮影して測定する方法等が挙げられる。
次いで、制御手段112は、前記検出結果に基づいて、吐出動作1回当りの各ノズル25から吐出されるインクの量のバラツキが小さくなるように(可能な限り小さくなるように)、ピエゾ素子124Cに印加する駆動電圧を調整する。ピエゾ素子124Cに印加する駆動電圧を調整する方法としては、例えば、駆動電圧の電圧値を変更する方法等が挙げられる。
この第2実施形態では、仮インク付与工程に先立って、駆動電圧調整工程を行うので、カラーフィルタ1の各部位での色むら、濃度むら、筋むらを、より確実に防止(または抑制)することができる。
《画像表示装置》
次に、カラーフィルタ1を有する画像表示装置(電気光学装置)である液晶表示装置の好適な実施形態について説明する。
図17は、液晶表示装置の好適な実施形態を示す断面図である。同図に示すように、液晶表示装置60は、カラーフィルタ1と、カラーフィルタ1の着色部12が設けられた面側に配された基板(対向基板)66と、カラーフィルタ1と基板66との間の空隙に封入された液晶よりなる液晶層62と、カラーフィルタ1の基板11の液晶層62に対向する面とは反対の面側(図17中下側)に設けられた偏光板67と、基板66の液晶層62に対向する面とは反対の面側(図17中上側)に設けられた偏光板68とを有している。そして、カラーフィルタ1の着色部12および隔壁13が設けられた面(着色部12および隔壁13の基板11に対向する面とは反対の面)には、共通電極61が設けられており、基板(対向基板)66の液晶層62、カラーフィルタ1に対向する面には、カラーフィルタ1の各着色部12に対応する位置に、マトリクス状に、画素電極65が配されている。さらに、共通電極61と液晶層62との間には配向膜64が設けられ、基板66(画素電極65)と液晶層62との間には配向膜63が設けられている。
基板66は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えば、ガラス基板である。
共通電極61、画素電極65は、可視光に対して光透過性を有する材料で構成されたものであり、例えば、ITO等で構成されている。
また、図中省略しているが、各画素電極65に対応するように、複数のスイッチング素子(例えば、TFT:薄膜トランジスタ)が設けられている。そして、各着色部12に対応する各画素電極65について、共通電極61との間での電圧の印加状態を制御することにより、各着色部12(各画素電極65)に対応する領域での、光の透過性を制御することができる。
液晶表示装置60では、図示しないバックライトから発せられた光が、偏光板68側(図17中上側)から入射するようになっている。そして、液晶層62を透過し、カラーフィルタ1の各着色部12(12A、12B、12C)に入射した光は、各着色部12(12A、12B、12C)に対応する色の光として、偏光板67(図17中下側)から出射する。
上述したように、着色部12は、カラーフィルタ用インク2を用いて形成されたものであるため、各色間、各画素間での特性のばらつきが抑制されたものである。その結果、液晶表示装置60において、各部位での色むら、濃度むら等が抑制された画像を安定的に表示することができる。
《電子機器》
前述したようなカラーフィルタ1を有する液晶表示装置等の画像表示装置(電気光学装置)1000は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
図18は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ1100においては、表示ユニット1106が画像表示装置1000を備えている。
図19は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206とともに、画像表示装置1000を表示部に備えている。
図20は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
ディジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、画像表示装置1000が表示部に設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
ケースの内部には、回路基板1308が設置されている。この回路基板1308は、撮像信号を格納(記憶)し得るメモリが設置されている。
また、ケース1302の正面側(図示の構成では裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、回路基板1308のメモリに転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニタ1430が、デ−タ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピュータ1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板1308のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ1430や、パーソナルコンピュータ1440に出力される構成になっている。
なお、本発明の電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ(モバイル型パーソナルコンピュータ)、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビ(例えば、液晶テレビ)や、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、POS端末、タッチパネルを備えた機器(例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機)、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。中でも、テレビは、近年の表示部の大型化の傾向が顕著であるが、このような大型の表示部(例えば、対角線長80cm以上の表示部)を有する電子機器では、従来の製造方法により製造される(例えば、従来のカラーフィルタ用インクを用いて製造される)カラーフィルタを適用した場合、色むら、濃度むら等の問題を特に生じやすかったが、本発明を適用すれば、このような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、上記のような大型の表示部を有する電子機器に適用した場合に、本発明の効果は、より顕著に発揮される。
以上、本発明を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や、工程が付加されていてもよい。
また、前述した各実施形態においては、インク付与工程で、透過光量を検出し、その検出結果に基づいて、目標透過光量を求めたがこれに限定されず、例えば、透過光量を測定して、その測定値を、透過光量とインク重量との関係を示す検量線からインク重量に換算し、目標インク重量(最大インク重量)を求めて(設定して)もよい。この場合、各セルにおけるインク重量をwとし、目標インク重量wとしたとき、w<hwを満足するか否かを判断する。そして、この式を満足したと判断した場合に、このインク重量wのセルを補正対象セルと特定する。なお、hは、係数であり、その範囲は、0.98から1.02であるのが好ましく、0.994〜1.0006であるのがより好ましい。
また、前述した各実施形態においては、各色の着色部に対応するカラーフィルタ用インクを、セル内に付与した後に、一括で、セル内の各色のカラーフィルタ用インクから液性媒体を除去するもの、すなわち、着色部形成工程を1回のみ行うものとして説明したが、インク付与工程および着色部形成工程は、各色に対応して、繰り返し行うものであってもよい。
また、本発明のカラーフィルタにおいては、着色部の基板に対向する面とは反対の面側に、着色部を被覆する保護膜が設けられていてもよい。これにより、着色部の損傷や劣化等をより効果的に防止することができる。
本発明のカラーフィルタの好適な実施形態を示す断面図である。 カラーフィルタの製造に用いる液滴吐出装置を示す斜視図である。 図2に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットを示す斜視図ある。 図2に示す液滴吐出装置におけるインクの供給系を示す図ある。 図2に示す液滴吐出装置の平面図(一部省略)ある。 図2に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよび多数個のセルが設けられた基板とを示す平面図である。 図2に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドのノズル面(ノズルプレート)の一部と、基板11のセルとを拡大して示す平面図である。 図2に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、(a)は断面斜視図、(b)は断面図である。 図2に示す液滴吐出装置の主要部を示すブロック図である。 (a)は、ヘッド駆動部を示す模式図、(b)は、ヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャートである。 図2に示す液滴吐出装置のヘッドユニットにおける各液滴吐出ヘッドの位置関係を説明するための模式的な平面図である。 カラーフィルタの製造方法を示す断面図である。 カラーフィルタの製造方法を示す断面図である。 カラーフィルタの製造方法を示す断面図である。 図2に示す液滴吐出装置を含むシステム全体の制御動作を示すフローチャートである。 図15中に示す「A」における制御動作(サブルーチン)を示すフローチャートである。 液晶表示装置の好適な実施形態を示す断面図である。 本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。 本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
符号の説明
1…カラーフィルタ 11…基板 12…着色部 12A…第1の着色部 12B…第2の着色部 12C…第3の着色部 13…隔壁 14、14R、14G、14B…セル 14a…補正対象セル 2、2R、2G、2B…カラーフィルタ用インク 3…塗膜 4…操作部 5…CCDカメラ 7…光源 20…液滴吐出ヘッド 21R、21G、21B…第1ヘッド 22R、22G、22B…第2ヘッド 23R、23G、23B…第3ヘッド 24R、24G、24B…第4ヘッド 25…ノズル 26…不使用部分 31R、31G、31B、32R、32G、32B…ヘッド列 60…液晶表示装置 61…共通電極 62…液晶層 63、64…配向膜 65…画素電極 66…基板(対向基板) 67、68…偏光板 91、92…液滴 10…チャンバ 100…液滴吐出装置 101a…0次タンク 101b…1次タンク 101c…2次タンク 103…ヘッドユニット 104…キャリッジ移動機構 105…キャリッジ 106…ステージ 108…ステージ移動機構 110a、110b、110c…チューブ 112…制御手段 113…インクフィルタ 114…自己封止弁 115…重量測定ユニット 116…ワイプユニット 117…キャップユニット 120…キャビティ 122…隔壁 124…振動子 124A、124B…電極 124C…ピエゾ素子 126…振動板 127…吐出部 128…ノズルプレート 129…液たまり 130…供給口 131…孔 200…入力バッファメモリ 202…記憶手段 203…駆動信号生成部 204…処理部 206…走査駆動部 208…ヘッド駆動部 AS…アナログスイッチ DS…駆動信号 SC…選択信号 ES…吐出信号 302…キャリッジ位置検出手段 303…ステージ位置検出手段 1000…画像表示装置 1100…パーソナルコンピュータ 1102…キーボード 1104…本体部 1106…表示ユニット 1200…携帯電話機 1202…操作ボタン 1204…受話口 1206…送話口 1300…ディジタルスチルカメラ 1302…ケース(ボディー) 1304…受光ユニット 1306…シャッタボタン 1308…回路基板 1312…ビデオ信号出力端子 1314…データ通信用の入出力端子 1430…テレビモニタ 1440…パーソナルコンピュータ i、i、i、i…セル番号 k…係数 L1…照射光 L2…透過光 niB…透過光量 n…目標透過光量 S101〜S120…ステップ

Claims (13)

  1. 複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、インクジェット方式で前記ノズルからインクの液滴を吐出する液滴吐出装置を用い、多数個のセルが設けられた基板上の該セルに対して前記インクを付与してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
    描画データに基づいて、前記基板上の前記セルに対して前記インクを付与する仮インク付与工程と、
    前記仮インク付与工程で前記各セル内にそれぞれ付与されたインクの量を検出し、該インクの量が目標値との乖離が大きいセルを補正対象セルとして特定するとともに、該補正対象セルにおける前記乖離の度合いを特定する補正対象セル特定工程と、
    前記補正対象セルのセル番号と、該セル番号の前記補正対象セルにおける前記乖離の度合いとを関連付けて記憶する記憶工程と、
    前記補正対象セル内の前記インクの量が前記目標値になるように、前記補正対象セルに対して付与する、前記乖離の度合いに対応したインクの液滴数を補正する補正データを作成する補正データ作成工程と、
    前記補正データに基づいて、前記補正対象セルに対して前記液滴数のインクを付与する本インク付与工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  2. 前記補正対象セル特定工程では、前記乖離が、許容される前記乖離の度合いの範囲から外れている場合には、そのセルを前記補正対象セルとして特定する請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。
  3. 前記基板は、光透過性を有するものであり、
    前記補正対象セル特定工程では、前記基板に向けて光を照射した際の前記各セルにおける光の透過光量を検出し、該透過光量が前記目標値に相当する目標透過光量から外れている場合には、そのセルを前記補正対象セルとして特定する請求項1または2に記載のカラーフィルタの製造方法。
  4. 前記目標透過光量は、前記各セルにおける前記透過光量のうちの最小の透過光量である請求項3に記載のカラーフィルタの製造方法。
  5. 前記目標値は、前記仮インク付与工程で前記インクが付与された前記セルのうちの最もインクの量が多いセル内のインクの量である請求項1ないし4のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
  6. 前記補正対象セル特定工程は、前記各セル内の前記インクが液体の状態のままで行なわれる請求項1ないし5のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
  7. 前記補正データ作成工程では、前記透過光量と前記目標透過光量との差と、前記液滴数との関係を示す検量線に基づいて、前記液滴数を求める請求項6に記載のカラーフィルタの製造方法。
  8. 前記検量線は、予め、前記インクの色ごとにそれぞれ作成されている請求項7に記載のカラーフィルタの製造方法。
  9. 前記液滴吐出ヘッドは、駆動素子を有し、該駆動素子に対して駆動電圧を印加すると、前記ノズルからインクの液滴が吐出されるよう構成されており、
    前記仮インク付与工程に先立って、吐出動作1回当りの前記各ノズルから吐出されるインクの量を検出し、該検出結果に基づいて、吐出動作1回当りの前記各ノズルから吐出されるインクの量のバラツキが小さくなるように、前記駆動素子に印加する駆動電圧を調整する駆動電圧調整工程を有する請求項1ないし8のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
  10. 請求項1ないし9のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルタ。
  11. 請求項10に記載のカラーフィルタを備えたことを特徴とする画像表示装置。
  12. 画像表示装置は、液晶パネルである請求項11に記載の画像表示装置。
  13. 請求項11または12に記載の画像表示装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20140076727A1 (en) * 2011-03-29 2014-03-20 Hiroshi Ohki Electrophoresis-gel-forming monomer solution, solution ejecting method, method for forming electrophoresis gel, electrophoresis gel, and electrophoresis reaction instrument
JP7016963B2 (ja) * 2018-09-06 2022-02-07 株式会社カネカ 隔壁の製造方法、画像表示装置およびその製造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08292310A (ja) * 1995-04-20 1996-11-05 Canon Inc カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び液晶表示装置及びこの液晶表示装置を備えた装置
JP2000266920A (ja) * 1999-03-12 2000-09-29 Canon Inc カラーフィルタの着色装置およびカラーフィルタ及び表示装置及び表示装置を備えた装置
JP2001194519A (ja) * 2000-01-11 2001-07-19 Canon Inc カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、表示装置の製造方法、この表示装置を備えた装置の製造方法及び不良ノズル特定方法
JP2007136310A (ja) * 2005-11-16 2007-06-07 Seiko Epson Corp 吐出パターンデータ補正方法、吐出パターンデータ補正装置、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08292310A (ja) * 1995-04-20 1996-11-05 Canon Inc カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び液晶表示装置及びこの液晶表示装置を備えた装置
JP2000266920A (ja) * 1999-03-12 2000-09-29 Canon Inc カラーフィルタの着色装置およびカラーフィルタ及び表示装置及び表示装置を備えた装置
JP2001194519A (ja) * 2000-01-11 2001-07-19 Canon Inc カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、表示装置の製造方法、この表示装置を備えた装置の製造方法及び不良ノズル特定方法
JP2007136310A (ja) * 2005-11-16 2007-06-07 Seiko Epson Corp 吐出パターンデータ補正方法、吐出パターンデータ補正装置、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器

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