JP2009124222A - Crystal vibrator, and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a crystal vibrator which can be mass-produced by allowing a supporter to be easily and surely attached to a nail lead of a hermetic base. <P>SOLUTION: A crystal vibrator (100) includes; a crystal piece (1) having excitation electrodes (3) provided on both principal surfaces and having end face electrodes (4) electrically connected to the excitation electrodes, on both end surfaces of an outer peripheral path thereof; a base (2) having at least a pair of lead terminals (8) having nail head parts projected therefrom in opposition to the principal surfaces of the crystal piece; at least a pair of supporters (9-1) supporting the crystal piece (1) and having openings (14) for the nail head parts; and a bonding material (12) which connects the openings and the nail head parts and is fused at a prescribed temperature. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は水晶振動子に関するものであり、特に水晶振動子のサポートの構造改良に関するものである。   The present invention relates to a crystal resonator, and more particularly, to a structure improvement of a support for a crystal resonator.

従来、水晶振動子は、通信機器用として、恒温槽を使用した高安定用の水晶振動子がある。これらに用いられる水晶振動子も、より一層の小型化及び高周波数化への対応が求められている。   Conventionally, as a crystal resonator, there is a highly stable crystal resonator using a thermostatic bath for communication equipment. The crystal resonators used for these are also required to cope with further downsizing and higher frequency.

従来、高安定用の水晶振動子は、例えばATカットした円形状の水晶片をパッケージ内部に水平に収容し、パッケージ内の電極部に接合されている。パッケージは、金属製のハーメチックベースとカバーから成り、ハーメチックベースは、ガラスによって気密化してベースを貫通した一対のネイルリード端子を有する。ネイルリード端子は、L字状のサポータをレーザー溶接によって接合している。水晶振動片は、サポータにロウ付け(ブレージング)によって接合されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a high-stability crystal resonator includes, for example, an AT-cut circular crystal piece that is horizontally accommodated in a package and bonded to an electrode portion in the package. The package includes a metal hermetic base and a cover, and the hermetic base has a pair of nail lead terminals hermetically sealed with glass and penetrating the base. The nail lead terminal is formed by joining L-shaped supporters by laser welding. The quartz crystal vibrating piece is joined to the supporter by brazing.

高安定用の水晶振動子は、落下時の耐衝撃性を高めるため、水晶振動片を4箇所のサポータによって固定する。このサポータによって固定する技術には、特許文献1に記載されたものが知られている。
特開2002−261566号公報 特開平05−55860号公報
In order to increase the impact resistance when dropped, the crystal resonator for high stability fixes the crystal vibrating piece with four supporters. A technique described in Patent Document 1 is known as a technology for fixing by this supporter.
JP 2002-261666 A Japanese Patent Laid-Open No. 05-55860

特許文献1に開示されているネイルリード端子にサポータを接合する方法は、特許文献2に開示されるようなネイルリードにサポータを一つ一つレーザー溶接で取り付けるため、量産性に問題があった。また、ネイルリード端子とサポータの密着度の違いにより、溶接による結合の強弱や、サポータが傾くなどの問題があった。   The method of joining the supporter to the nail lead terminal disclosed in Patent Document 1 has a problem in mass productivity because the supporter is attached to the nail lead as disclosed in Patent Document 2 by laser welding one by one. . In addition, due to the difference in adhesion between the nail lead terminal and the supporter, there are problems such as the strength of the connection by welding and the supporter tilting.

本発明の目的は、ハーメチックベースのネイルリードにサポータを容易に且つ確実に取り付けることができ、これによって量産性を可能にした水晶振動子、及びその水晶振動子の製造方法を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a crystal unit capable of easily and surely attaching a supporter to a hermetic base nail lead, thereby enabling mass production, and a method for manufacturing the crystal unit. .

第1の観点の水晶振動子は、両主面に設けた励振電極及び励振電極と電気的に接続した端面電極を外周部両端面に有する水晶片と、水晶片の主面に対向して釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子を有するベースと、水晶片を支えるとともに釘頭部に対して開口部を有する少なくとも一対のサポータと、開口部と釘頭部とを接続し所定の温度で溶融する接合材と、を備える。
この構成によって、所定の温度で溶融する接合材を使うことで開口部と釘頭部とを接続することができる。このため炉などの中にサポータなどを入れることで一度に多量の生産ができる。
A crystal resonator according to a first aspect includes a crystal piece having excitation electrodes provided on both main surfaces and end electrodes electrically connected to the excitation electrodes on both end surfaces of the outer peripheral portion, and a nail facing the main surface of the crystal piece. A base having at least a pair of lead terminals protruding from the head, at least a pair of supporters supporting the crystal piece and having an opening with respect to the nail head, and the opening and the nail head are connected at a predetermined temperature. A bonding material that melts.
With this configuration, the opening and the nail head can be connected by using a bonding material that melts at a predetermined temperature. For this reason, large quantities can be produced at once by placing supporters in a furnace.

第2の観点の水晶振動子は、サポータは、水晶片の主面で水晶片を支える。
第3の観点の水晶振動子は、サポータは水晶片の主面と主面との間の側面で水晶片を支える。
In the crystal resonator according to the second aspect, the supporter supports the crystal piece on the main surface of the crystal piece.
In the crystal resonator according to the third aspect, the supporter supports the crystal piece on the side surface between the main surface and the main surface of the crystal piece.

第4の観点の水晶振動子は、釘頭部の面積より開口部の面積は小さい。
この構成により、釘頭部に対して開口部を位置決めする際に釘頭部が開口部を貫通することがない。
In the crystal resonator according to the fourth aspect, the area of the opening is smaller than the area of the nail head.
With this configuration, the nail head does not penetrate the opening when the opening is positioned with respect to the nail head.

第5の観点の水晶振動子の接合材は、260°Cより高い溶融温度のハンダである。
一般に水晶振動子がプリント基板などにリフロー炉でハンダ付けされる際には、260°C以下の溶融するリフローハンダで固定される。このため、接合材が260°Cより高い溶融温度であれば、リフロー炉でサポータと釘頭部とが剥がれることがない。
The bonding material for the crystal resonator according to the fifth aspect is solder having a melting temperature higher than 260 ° C.
In general, when a crystal resonator is soldered to a printed circuit board or the like in a reflow furnace, it is fixed with a reflow solder that melts at 260 ° C. or less. For this reason, if the bonding material has a melting temperature higher than 260 ° C., the supporter and the nail head are not peeled off in the reflow furnace.

第6の観点の水晶振動子の開口部は、その中央付近に橋部を有し2つの開口を有する。
この構成により、接着面積が大きくなり接着強度を高めることができる。
The opening of the crystal unit of the sixth aspect has a bridge near the center and has two openings.
With this configuration, the bonding area can be increased and the bonding strength can be increased.

第7の観点の水晶振動子の開口部は折り曲げ部を有しており、この折り曲げ部と釘頭部とが嵌め合う。
折り曲げ部と釘頭部とが嵌め合い仮固定することができるので位置決めが容易で作業性が向上する。
The opening of the crystal resonator according to the seventh aspect has a bent portion, and the bent portion and the nail head fit each other.
Since the bent portion and the nail head can be fitted and temporarily fixed, positioning is easy and workability is improved.

第8の観点の水晶振動子の製造方法は、釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子を有するベースを耐熱冶具に配置する第1配置工程と、釘頭部に対して開口部を有する少なくとも一対のサポータを配置する第2配置工程と、開口部に所定の温度で溶融する接合材を配置する第3配置工程と、耐熱冶具、サポータ及び接合材を加熱する加熱工程と、を備え、接合材により釘頭部とサポータとを接続する。
この構成によって、加熱することによって接合材により釘頭部とサポータとを接続することができるため、釘頭部とサポータとの接続を一度に多量の生産ができる。
According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a crystal resonator manufacturing method comprising: a first disposing step of disposing a base having at least a pair of lead terminals projecting from a nail head on a heat-resistant jig; and at least an opening with respect to the nail head. A second arrangement step of arranging a pair of supporters; a third arrangement step of arranging a bonding material that melts at a predetermined temperature in the opening; and a heating step of heating the heat-resistant jig, the supporter, and the bonding material. The nail head and the supporter are connected by the material.
With this configuration, since the nail head and the supporter can be connected by the bonding material by heating, a large amount of connection between the nail head and the supporter can be performed at a time.

第9の観点の水晶振動子の製造方法は、耐熱冶具は互いに積載でき一度の加熱工程で複数のサポータと釘頭部とを接続できる。   In the crystal resonator manufacturing method according to the ninth aspect, the heat-resistant jigs can be stacked on each other, and a plurality of supporters and nail heads can be connected in a single heating process.

第10の観点の水晶振動子の製造方法において、サポータは第1の一対のサポータとこの第1の一対のサポータと異なる位置に配置された第2のサポータとを有し、第1の一対のサポータと釘頭部とを接続する接合材と、第2サポータと釘頭部とを接続する接合材とは異なる。
複数のサポータを同時の加熱で接続できない場合には接合材の溶融温度を変えることで接続することができる。
In the method for manufacturing a crystal resonator according to the tenth aspect, the supporter has a first pair of supporters and a second supporter arranged at a position different from the first pair of supporters, and the first pair of supporters. The bonding material that connects the supporter and the nail head is different from the bonding material that connects the second supporter and the nail head.
When a plurality of supporters cannot be connected by simultaneous heating, they can be connected by changing the melting temperature of the bonding material.

サポータが傾かないようにするとともに、多量生産が容易に達成できる。   The supporter is prevented from tilting and mass production can be easily achieved.

以下に、本発明に係る水晶振動子の実施の形態について説明する。
<水晶振動子の構成>
<<第1実施例>>
図1A(a)は、第1実施例の第1水晶振動子100のカバーを取り去った(b)のX−X’断面図であり、(b)はカバー及びハーメチックベース2を除く平面図である。(c)は(a)の一点鎖線で囲まれた範囲の拡大図である。
Hereinafter, embodiments of the crystal resonator according to the present invention will be described.
<Configuration of crystal unit>
<< First Example >>
1A is a cross-sectional view taken along the line XX ′ of FIG. 1B with the cover of the first crystal unit 100 of the first embodiment removed, and FIG. 1B is a plan view excluding the cover and the hermetic base 2. is there. (C) is an enlarged view of a range surrounded by an alternate long and short dash line in (a).

第1水晶振動子100は、ATカット又はSCカットした円形状の水晶片1を備え、その主面をハーメチックベース2の表面に並行して保持する。水晶片1の両主面には励振電極3a、3bが形成され、両端外周部の端面(両端面とする)まで引出電極4a,4bが形成される。引出電極4a、4bの端面には、銀(Ag)を主体とした導電材を塗布し端面電極5が形成されている。   The first crystal unit 100 includes an AT-cut or SC-cut circular crystal piece 1 and holds its main surface in parallel with the surface of the hermetic base 2. Excitation electrodes 3a and 3b are formed on both main surfaces of the crystal piece 1, and extraction electrodes 4a and 4b are formed up to the end surfaces (both end surfaces) of the outer peripheral portions of both ends. An end face electrode 5 is formed on the end faces of the extraction electrodes 4a and 4b by applying a conductive material mainly composed of silver (Ag).

ハーメチックベース2はコバール合金などから構成され、その一部に孔2hが形成されている。その孔2hには、一対のネイルリード端子8a,8bがベース本体を貫通し表面に突出した状態でガラス6によって気密化されている。一対のネイルリード端子8a,8bはそれぞれその先端に釘頭部7が形成されている。一対のネイルリード端子8a、8bの釘頭部7には、内面が対向するL字状の第1サポータ9−1a,9−1bが水平に接合される。第1サポータ9−1a、9−1bの内面に、金ゲルマニューム(Au・Ge)のロウ材10を塗布し、水晶片1の両端面と熱圧着によってブレージング(ロウ付け)する。これにより水晶片1は、その両端面を第1サポータ9−1a、9−1bに電気的及び機械的に接続する。この第1実施例では、第1サポータ9−1a、9−1bが水晶片1の裏側の主面を支える構造に形成されている。   The hermetic base 2 is made of Kovar alloy or the like, and a hole 2h is formed in a part thereof. In the hole 2h, a pair of nail lead terminals 8a and 8b are hermetically sealed by the glass 6 in a state of projecting to the surface through the base body. Each of the pair of nail lead terminals 8a and 8b has a nail head 7 formed at the tip thereof. L-shaped first supporters 9-1a and 9-1b whose inner surfaces face each other are horizontally joined to the nail heads 7 of the pair of nail lead terminals 8a and 8b. Gold brazing material 10 of gold germanium (Au · Ge) is applied to the inner surfaces of the first supporters 9-1a and 9-1b, and brazed (brazed) to both end surfaces of the crystal piece 1 by thermocompression bonding. Thereby, the both ends of the crystal piece 1 are electrically and mechanically connected to the first supporters 9-1a and 9-1b. In the first embodiment, the first supporters 9-1a and 9-1b are formed to support the main surface on the back side of the crystal piece 1.

図1A(b)に示すように、一対のネイルリード端子8a、8bに対して直交する方向に、さらに一対のネイルリード端子(不図示)が備えられており、一対のネイルリード端子の釘頭部には、内面が対向するL字状の第1サポータ9−1c,9−1dが水平に接合される。第1サポータ9−1c、9−1dは、水晶片1の端面を接着材11によって機械的に接着する。なお、L字状の第1サポータ9−1c,9−1dは必ずしも必要なく、また3つの第1サポータで水晶片1を支えてもよい。   As shown in FIG. 1A (b), a pair of nail lead terminals (not shown) are further provided in a direction orthogonal to the pair of nail lead terminals 8a and 8b. L-shaped first supporters 9-1c and 9-1d whose inner surfaces are opposed to each other are joined horizontally. The first supporters 9-1c and 9-1d mechanically bond the end surface of the crystal piece 1 with the adhesive 11. Note that the L-shaped first supporters 9-1c and 9-1d are not necessarily required, and the crystal piece 1 may be supported by three first supporters.

第1サポータ9−1a、9−1bに水晶片1をブレージングし、第1サポータ9−1c,9−1dに水晶片1の端面を接着材11によって機械的に接続した後、冷間圧接や抵抗溶接などによってハーメチックベース2に不図示のカバーを接合して密封封入される。   After brazing the crystal piece 1 to the first supporters 9-1a and 9-1b, and mechanically connecting the end face of the crystal piece 1 to the first supporters 9-1c and 9-1d by the adhesive material 11, A cover (not shown) is joined to the hermetic base 2 by resistance welding or the like and hermetically sealed.

一対のネイルリード端子8a,8bの釘頭部7と第1サポータ9−1a、9−1bとは、高温ハンダ12によって接続される。図1A(c)に示されるように、第1サポータ9−1の開口部14とネイルリード端子8の釘頭部7とを位置合わせした状態で高温ハンダ12を溶かすことで接続される。高温ハンダ12は例えば融点350°C以上の金ゲルマニューム(Au・Ge)合金又は金シリコン(Au・Si)合金などが適用できる。   The nail heads 7 of the pair of nail lead terminals 8a and 8b and the first supporters 9-1a and 9-1b are connected by high-temperature solder 12. As shown in FIG. 1A (c), the high temperature solder 12 is melted in a state where the opening 14 of the first supporter 9-1 and the nail head 7 of the nail lead terminal 8 are aligned. For example, a gold germanium (Au · Ge) alloy or a gold silicon (Au · Si) alloy having a melting point of 350 ° C or higher can be applied to the high-temperature solder 12.

図2(a)は、第1サポータ9−1の斜視図であり、(b)は、第1サポータ9−1を複数有するサポータ支持枠9−5の斜視図である   FIG. 2A is a perspective view of the first supporter 9-1, and FIG. 2B is a perspective view of a supporter support frame 9-5 having a plurality of first supporters 9-1.

図2(a)に示すように、第1サポータ9−1は開口部14を設けている。開口部14は、円形でネイルリード端子8の釘頭部7の大きさよりやや小さめで、高温ハンダ12が容易に充填できる大きさである。開口部14は円形でも多角形でもよい。   As shown in FIG. 2A, the first supporter 9-1 has an opening 14. The opening 14 is circular and is slightly smaller than the size of the nail head 7 of the nail lead terminal 8 and can be easily filled with the high-temperature solder 12. The opening 14 may be circular or polygonal.

図2(b)に示すように、第1サポータ9−1の一部がサポータ支持枠9−5と接続されている。サポータ支持枠9−5は、第1サポータ9−1を例えば20個連結している。このため、一つ一つの第1サポータ9−1を取り扱うことなく1枚のサポータ支持枠9−5の単位で取り扱うことができる。   As shown in FIG. 2B, a part of the first supporter 9-1 is connected to the supporter support frame 9-5. The supporter support frame 9-5 connects, for example, 20 first supporters 9-1. For this reason, it can handle in the unit of one supporter support frame 9-5, without handling each 1st supporter 9-1.

図3(a)は、第1サポータ9−1とネイルリード端子8の接合において、電気炉に入れる際の第1実施例の構成を示す斜視図であり、(b)は(a)の断面図である。   FIG. 3A is a perspective view showing a configuration of the first embodiment when the first supporter 9-1 and the nail lead terminal 8 are joined and put into an electric furnace, and FIG. 3B is a cross-sectional view of FIG. FIG.

図3(a)に示す第1実施例に使用される冶具は、第1耐熱トレー40及びトレー支持具45から構成される。第1耐熱トレー40はハーメチックベース2を並べて配置できるように溝部42が形成されている板状部材である。また第1耐熱トレー40の所定の位置にネイルリード端子8の通過する孔40hが形成されている。トレー支持具45は、第1耐熱トレー40を支える支え部47とサポータ支持枠9−5を載置する載置部49とを有する形状である。トレー支持具45が支え部47に載置された状態では、ネイルリード端子8の下端がトレー支持具45と接することなく、位置決めできるようになっている。第1耐熱トレー40及びトレー支持具45には、金属またはセラミック材料(耐火物)が用いられる。   The jig used in the first embodiment shown in FIG. 3A includes a first heat-resistant tray 40 and a tray support 45. The first heat-resistant tray 40 is a plate-like member in which grooves 42 are formed so that the hermetic bases 2 can be arranged side by side. A hole 40 h through which the nail lead terminal 8 passes is formed at a predetermined position of the first heat-resistant tray 40. The tray support 45 has a shape having a support portion 47 that supports the first heat-resistant tray 40 and a placement portion 49 on which the supporter support frame 9-5 is placed. In a state where the tray support 45 is placed on the support 47, the lower end of the nail lead terminal 8 can be positioned without being in contact with the tray support 45. A metal or ceramic material (refractory) is used for the first heat-resistant tray 40 and the tray support 45.

次に第1サポータ9−1がネイルリード端子8の釘頭部7に接続される工程について説明する。   Next, a process of connecting the first supporter 9-1 to the nail head 7 of the nail lead terminal 8 will be described.

最初に、ネイルリード端子8a、8bを備えたハーメチックベース2を第1耐熱トレー40にセットして、その第1耐熱トレー40をトレー支持具45の支え部47に載せる。トレー支持具45の両側の載置部49に第1サポータ9−1を備えた一対のサポータ支持枠9−5を載せる。図示されていないが冶具には、ハーメチックベース2とサポータ支持枠9−5とを位置決めする基準を有している。そして、第1サポータ9−1の開口部14とネイルリード端子8の釘頭部7とを位置合わせした状態で、高温ハンダ12を第1サポータ9−1の開口部14に載せる。高温ハンダ12の形状は球形状でも円錐形状であってもよいが、高温ハンダ12は第1サポータ9−1とネイルリード端子8の釘頭部7とが接続するに適した体積を有し、足りなかったり多すぎたりしないようにする。   First, the hermetic base 2 including the nail lead terminals 8 a and 8 b is set on the first heat resistant tray 40, and the first heat resistant tray 40 is placed on the support portion 47 of the tray support 45. A pair of supporter support frames 9-5 including the first supporter 9-1 are placed on the placement portions 49 on both sides of the tray support 45. Although not shown, the jig has a reference for positioning the hermetic base 2 and the supporter support frame 9-5. Then, the hot solder 12 is placed on the opening 14 of the first supporter 9-1 in a state where the opening 14 of the first supporter 9-1 and the nail head 7 of the nail lead terminal 8 are aligned. The shape of the high-temperature solder 12 may be spherical or conical, but the high-temperature solder 12 has a volume suitable for connecting the first supporter 9-1 and the nail head 7 of the nail lead terminal 8, Try not to be missing or too much.

次に、高温ハンダ12を第1サポータ9−1の開口部14に載せたトレー支持具45は、電気炉に入れられる。電気炉は360°C以上の温度に維持する。トレー支持具45が電気炉内で所定時間加熱されると、高温ハンダ12が溶けて第1サポータ9−1とネイルリード端子8a、8bとが接続する。そして、トレー支持具45を電気炉から取り出し、第1サポータ9−1をサポータ支持枠9−5から切り離す。これにより一対のネイルリード端子8a、8bの釘頭部7には、内面が対向するL字状の第1サポータ9−1a,9−1bが水平に接合される。   Next, the tray support 45 with the high-temperature solder 12 placed on the opening 14 of the first supporter 9-1 is placed in an electric furnace. The electric furnace is maintained at a temperature of 360 ° C or higher. When the tray support 45 is heated for a predetermined time in the electric furnace, the high temperature solder 12 is melted and the first supporter 9-1 and the nail lead terminals 8a and 8b are connected. And the tray support tool 45 is taken out from an electric furnace, and the 1st supporter 9-1 is cut off from the supporter support frame 9-5. As a result, L-shaped first supporters 9-1a and 9-1b whose inner surfaces face each other are horizontally joined to the nail heads 7 of the pair of nail lead terminals 8a and 8b.

電気炉の温度を360°C以上とした理由は、高温ハンダ12が例えば融点350°C以上の金ゲルマニューム(Au・Ge)合金又は金シリコン(Au・Si)合金などを使用したためである。高温ハンダ12の溶融温度が260°C以下の材料はあまり使用しない方が好ましい。第1水晶振動子100がリフロー炉でプリント基板などにハンダ付けされる場合には、リフロー炉の温度が260°C程度になってしまい、高温ハンダ12が再び溶けて、ネイルリード端子8a、8bの釘頭部7と第1サポータ9−1との接続が取れてしまうおそれがあるからである。   The reason why the temperature of the electric furnace is set to 360 ° C. or more is that the high-temperature solder 12 uses, for example, a gold germanium (Au · Ge) alloy or a gold silicon (Au · Si) alloy having a melting point of 350 ° C. or more. It is preferable not to use a material whose melting temperature of the high-temperature solder 12 is 260 ° C. or less. When the first crystal unit 100 is soldered to a printed circuit board or the like in a reflow furnace, the temperature of the reflow furnace becomes about 260 ° C., the high-temperature solder 12 is melted again, and the nail lead terminals 8a, 8b This is because the connection between the nail head 7 and the first supporter 9-1 may be lost.

図1A(b)に示したように、第1サポータ9−1c,9−1dを有する場合には、ハーメチックベース2を第1耐熱トレー40から取り出し、ハーメチックベース2を90度回転させてから再び第1耐熱トレー40に載置する。そして、第1サポータ9−1の開口部14とネイルリード端子の釘頭部とを位置合わせした状態で、開口部14に高温ハンダ12を載せる。ここで使用する高温ハンダ12は例えば融点280℃の高温ハンダ12の金スズ(Au・Sn)合金である。それから第1耐熱トレー40をトレー支持具45の支え部47に載せて、300°C程度の電気炉に入れ高温ハンダ12を溶融し、第1サポータ9−1c,9−1dを接続させる。その後、電気炉からトレー支持具45を取り出し、サポータ9−1をサポータ支持枠9−5から切り離す。これにより一対のネイルリード端子の釘頭部7には、内面が対向するL字状の第1サポータ9−1c,9−1dが水平に接合される。   As shown in FIG. 1A (b), when the first supporters 9-1c and 9-1d are provided, the hermetic base 2 is taken out from the first heat-resistant tray 40, and the hermetic base 2 is rotated 90 degrees and then again. Place on the first heat-resistant tray 40. And the hot solder 12 is mounted in the opening part 14 in the state which aligned the opening part 14 of the 1st supporter 9-1, and the nail head part of a nail lead terminal. The high-temperature solder 12 used here is, for example, a gold-tin (Au · Sn) alloy of the high-temperature solder 12 having a melting point of 280 ° C. Then, the first heat-resistant tray 40 is placed on the support portion 47 of the tray support 45, placed in an electric furnace at about 300 ° C., the high-temperature solder 12 is melted, and the first supporters 9-1c and 9-1d are connected. Thereafter, the tray support 45 is taken out from the electric furnace, and the supporter 9-1 is separated from the supporter support frame 9-5. Thereby, the L-shaped first supporters 9-1c and 9-1d whose inner surfaces face each other are horizontally joined to the nail heads 7 of the pair of nail lead terminals.

つまり、第1サポータ9−1a,9−1bに対しては融点350°C以上の金ゲルマニューム(Au・Ge)合金又は金シリコン(Au・Si)合金が使用され、第1サポータ9−1c,9−1dに対しては融点280℃の高温ハンダ12の金スズ(Au・Sn)合金が使用される。このように後に接続するサポータ9に対して溶融温度の低い高温ハンダを使用する。これにより、先に接合した第1サポータ9−1a,9−1bと釘頭部7との接合が緩んだり変形することがなくなる。   That is, for the first supporters 9-1a and 9-1b, a gold germanium (Au · Ge) alloy or a gold silicon (Au · Si) alloy having a melting point of 350 ° C or higher is used, and the first supporters 9-1c, For 9-1d, a gold-tin (Au.Sn) alloy of high-temperature solder 12 having a melting point of 280 ° C. is used. In this way, high-temperature solder having a low melting temperature is used for the supporter 9 to be connected later. As a result, the joint between the first supporters 9-1a and 9-1b joined first and the nail head 7 is prevented from being loosened or deformed.

再び図3(a)に戻り、図3(a)ではハーメチックベース2が7個セットされた状況が示されているが、サポータ支持枠9−5には第1サポータ9−1が例えば20個接続されており、20個のハーメチックベース2を第1耐熱トレー40に載置することができる。そして、第1耐熱トレー40をトレー支持具45に載せて電気炉に入れるだけで、20対の第1サポータ9−1をネイルリード端子に固定することができる。従来のように、ネイルリードにサポータを一つ一つレーザー溶接で取り付ける方法と異なり、効率的に量産できる。   Returning to FIG. 3 (a) again, FIG. 3 (a) shows a state where seven hermetic bases 2 are set. For example, the supporter support frame 9-5 includes 20 first supporters 9-1. The twenty hermetic bases 2 are connected and can be placed on the first heat-resistant tray 40. And 20 pairs of 1st supporters 9-1 can be fixed to a nail lead terminal only by putting the 1st heat-resistant tray 40 on the tray support 45, and putting in an electric furnace. Unlike conventional methods of attaching supporters to nail leads one by one by laser welding, they can be mass-produced efficiently.

なお、トレー支持具45を電気炉などに搬送する際に、サポータ支持枠9−5がトレー支持具45の両側の載置部49からずれてしまったり、第1耐熱トレー40がトレー支持具45の支え部47からずれてしまったりすることがないように、それらのクランプ機構などをトレー支持具45に設けても良い。   When the tray support 45 is transported to an electric furnace or the like, the supporter support frame 9-5 is displaced from the placement portions 49 on both sides of the tray support 45, or the first heat-resistant tray 40 is moved to the tray support 45. Such a clamping mechanism or the like may be provided on the tray support 45 so as not to be displaced from the support portion 47 of the tray.

<<第2実施例>>
図4(a)は、第2実施例の第2水晶振動子110のカバーを取り去った(b)のX−X’断面図であり、(b)はカバー及びハーメチックベース2を除く平面図である。(c)は(a)の一点鎖線で囲まれた範囲の拡大図である。
<< Second Example >>
4A is a cross-sectional view taken along the line XX ′ of FIG. 4B with the cover of the second crystal unit 110 of the second embodiment removed, and FIG. 4B is a plan view excluding the cover and the hermetic base 2. is there. (C) is an enlarged view of a range surrounded by an alternate long and short dash line in (a).

第2水晶振動子110と第1水晶振動子100とは、サポータ9の形状が異なっている。図1などで示したように第1実施例では、第1サポータ9−1a、9−1bが水晶片1の裏側の主面を支えているのに対して、第2実施例では、第2サポータ9−2a、9−2bが水晶片1の側面を支えている。   The second crystal unit 110 and the first crystal unit 100 are different in the shape of the supporter 9. As shown in FIG. 1 and the like, in the first embodiment, the first supporters 9-1a and 9-1b support the main surface on the back side of the crystal piece 1, whereas in the second embodiment, the second supporter 9-1a and 9-1b Supporters 9-2a and 9-2b support the side surface of the crystal piece 1.

一対のネイルリード端子8a、8bの釘頭部7には、内面が対向するL字状の第2サポータ9−2a,9−2bが水平に接合される。第2サポータ9−2a、9−2bの内面に、金ゲルマニュームのロウ材10を塗布し、水晶片1の両端面と熱圧着によってブレージングする。水晶片1は第2サポータ9−2a、9−2bに両端面を電気的、機械的に接続する。   L-shaped second supporters 9-2a and 9-2b whose inner surfaces face each other are horizontally joined to the nail heads 7 of the pair of nail lead terminals 8a and 8b. Gold brazing material 10 is applied to the inner surfaces of the second supporters 9-2a and 9-2b, and brazed by thermocompression bonding with both end surfaces of the crystal piece 1. Both ends of the crystal piece 1 are electrically and mechanically connected to the second supporters 9-2a and 9-2b.

図4(b)は、一対の第2サポータ9−2a、9−2bに対して直交する方向に、さらに、L字状の第2サポータ9−2c,9−2dが水平に接合される。第2サポータ9−2c、9−2dは水晶片1の端面を接着材11によって機械的に接着する。一対の第2サポータ9−2a、9−2bによって水晶片1の保持強度が確保されているのであれば、第2サポータ9−2c、9−2dを用意する必要はない。   In FIG. 4B, L-shaped second supporters 9-2c and 9-2d are joined horizontally in a direction orthogonal to the pair of second supporters 9-2a and 9-2b. The second supporters 9-2c and 9-2d mechanically bond the end face of the crystal piece 1 with the adhesive 11. If the holding strength of the crystal blank 1 is ensured by the pair of second supporters 9-2a and 9-2b, it is not necessary to prepare the second supporters 9-2c and 9-2d.

図4(c)に示すように第2サポータ9−2は開口部14を設けている。第2サポータ9−2の開口部14とネイルリード端子8の釘頭部7とを位置合わせした状態で、金ゲルマニューム(Au・Ge)合金、金スズ(Au・Sn)合金、及び金シリコン(Au・Si)合金などの高温ハンダ12のいずれか1つをサポータ9の開口部14に入れて溶して第2サポータ9−2とネイルリード端子8とを接続する。   As shown in FIG. 4C, the second supporter 9-2 is provided with an opening 14. With the opening 14 of the second supporter 9-2 and the nail head 7 of the nail lead terminal 8 aligned, a gold germanium (Au · Ge) alloy, a gold tin (Au · Sn) alloy, and gold silicon ( Any one of the high-temperature solders 12 such as Au · Si) alloy is put into the opening 14 of the supporter 9 and melted to connect the second supporter 9-2 and the nail lead terminal 8.

図5(a)は、第2サポータ9−2とネイルリード端子8の接合に於いて、電気炉に入れる際の第2耐熱トレー30の構成を示す断面図であり、(b)は第2耐熱トレー30の斜視図である。   FIG. 5A is a cross-sectional view showing the configuration of the second heat-resistant tray 30 when the second supporter 9-2 and the nail lead terminal 8 are joined, and the second heat-resistant tray 30 is placed in the electric furnace, and FIG. 2 is a perspective view of a heat resistant tray 30. FIG.

図5(a)及び(b)に示すように、第2耐熱トレー30は所定の位置にネイルリード端子8の通過する孔30hを備えている。第2耐熱トレー30は耐火物より構成され、例えば、コージエライト質又はムライト質の丸サヤ(匣鉢)である。第2耐熱トレー30は、軽量で熱膨張率が小さく加熱による変形がない。   As shown in FIGS. 5A and 5B, the second heat-resistant tray 30 includes a hole 30h through which the nail lead terminal 8 passes at a predetermined position. The second heat-resistant tray 30 is made of a refractory material, and is, for example, a cordierite-type or mullite-type round sheath (boiled bowl). The second heat-resistant tray 30 is lightweight, has a small coefficient of thermal expansion, and is not deformed by heating.

第2耐熱トレー30の底部外周には第1勘合部31aが形成されており、第2耐熱トレー30の外周壁30pの先端31bと重ね合わさるようになっている。このため、複数の第2耐熱トレー30を重ねることができる。また、外周壁30pの高さL1は第2耐熱トレー30内にネイルリード端子8を備えたハーメチックベース2を入れて第2サポータ9−2を取り付けた際に、第2サポータ9−2が重ね合わせた第2耐熱トレー30の底面とぶつからない高さになっている。   A first fitting portion 31 a is formed on the outer periphery of the bottom portion of the second heat-resistant tray 30, and overlaps the tip 31 b of the outer peripheral wall 30 p of the second heat-resistant tray 30. For this reason, a plurality of second heat resistant trays 30 can be stacked. The height L1 of the outer peripheral wall 30p is such that the second supporter 9-2 is overlapped when the hermetic base 2 having the nail lead terminals 8 is placed in the second heat-resistant tray 30 and the second supporter 9-2 is attached. The height does not collide with the bottom surface of the combined second heat-resistant tray 30.

次に第2サポータ9−2がネイルリード端子8の釘頭部7に接続される工程について説明する。   Next, a process in which the second supporter 9-2 is connected to the nail head 7 of the nail lead terminal 8 will be described.

図5(a)に示すように、第2耐熱トレー30にネイルリード端子8を備えたハーメチックベース2をセットする。また4つの第2サポータ9−2を4つのネイルリード端子8に載置する。そして第2サポータ9−2の開口部14とネイルリード端子8の釘頭部7とを位置合わせした状態で、高温ハンダ12を第2サポータ9−2の開口部14に入れる。このようにハーメチックベース2及び第2サポータ9−2などを入れた第2耐熱トレー30を電気炉内に順次積載していく。そして電気炉内を所定温度に加熱することで、一度に多くの第2サポータ9−2をネイルリード端子に固定することができ、効率的に量産できる。   As shown in FIG. 5A, the hermetic base 2 provided with the nail lead terminals 8 is set on the second heat-resistant tray 30. Further, the four second supporters 9-2 are placed on the four nail lead terminals 8. Then, with the opening 14 of the second supporter 9-2 and the nail head 7 of the nail lead terminal 8 aligned, the high-temperature solder 12 is put into the opening 14 of the second supporter 9-2. In this manner, the second heat-resistant tray 30 containing the hermetic base 2 and the second supporter 9-2 is sequentially loaded in the electric furnace. And by heating the inside of an electric furnace to predetermined temperature, many 2nd supporters 9-2 can be fixed to a nail lead terminal at once, and it can mass-produce efficiently.

図6(a)は、サポータ9とネイルリード端子8の接合において、電気炉に入れる際の第3耐熱トレー35の構成を示す断面図であり、(b)は第3耐熱トレー35の斜視図である。   FIG. 6A is a cross-sectional view showing the configuration of the third heat-resistant tray 35 when the supporter 9 and the nail lead terminal 8 are joined, and FIG. 6B is a perspective view of the third heat-resistant tray 35. It is.

図6に示す第3耐熱トレー35は、所定の位置にネイルリード端子8の通過する孔35hを備えている。第3耐熱トレー35は耐火物より構成され、例えば、コージエライト質又はムライト質のH形サヤである。第3耐熱トレー35の一方向には外壁35pが形成されておらず解放されているので、ネイルリード端子を備えたハーメチックベース2をセットし易く作業性に優れている。   The third heat-resistant tray 35 shown in FIG. 6 has a hole 35h through which the nail lead terminal 8 passes at a predetermined position. The third heat-resistant tray 35 is made of a refractory material, and is, for example, a cordierite or mullite H-shaped sheath. Since the outer wall 35p is not formed in one direction of the third heat-resistant tray 35 and is released, it is easy to set the hermetic base 2 provided with the nail lead terminals and is excellent in workability.

第3耐熱トレー35のH形サヤの下側の外壁35pの先端には第2勘合部35aが形成されており、H形サヤの上側の外壁35pの先端には第3勘合部35bが形成されている。第2勘合部35aと第3勘合部35bとは重ね合わさるようになっている。このため、複数の第3耐熱トレー35を重ねることができる。また、H形サヤの上側の外壁35pの高さL2とH形サヤの下側の外壁35pの高さL3とを合わせた高さは、第3耐熱トレー35内にネイルリード端子8を備えたハーメチックベース2を入れて第2サポータ9−2を取り付けた際に、第2サポータ9−2が重ね合わせた第2耐熱トレー30の底面とぶつからない高さになっている。   A second fitting portion 35a is formed at the tip of the lower outer wall 35p of the H-shaped sheath of the third heat-resistant tray 35, and a third fitting portion 35b is formed at the tip of the upper outer wall 35p of the H-shaped sheath. ing. The 2nd fitting part 35a and the 3rd fitting part 35b are piled up. For this reason, a plurality of third heat-resistant trays 35 can be stacked. The height L2 of the outer wall 35p on the upper side of the H-shaped sheath and the height L3 of the outer wall 35p on the lower side of the H-shaped sheath are provided with the nail lead terminals 8 in the third heat-resistant tray 35. When the hermetic base 2 is inserted and the second supporter 9-2 is attached, the second supporter 9-2 does not collide with the bottom surface of the second heat-resistant tray 30 superimposed.

図6において、第3耐熱トレー35にネイルリード端子8を備えたハーメチックベース2をセットする。また4つの第2サポータ9−2を4つのネイルリード端子8に載置する。そして第2サポータ9−2の開口部14とネイルリード端子8の釘頭部7とを位置合わせした状態で、高温ハンダ12を第2サポータ9−2の開口部14に入れる。このようにハーメチックベース2及び第2サポータ9−2などを入れた第3耐熱トレー35を電気炉内に順次積載していく。第3耐熱トレー35は縦方向に積載するだけでなく、電気炉内に横方向に並べることも容易にできる。そして電気炉内を所定温度に加熱することで、一度に多くの第2サポータ9−2をネイルリード端子に固定することができ、効率的に量産できる。   In FIG. 6, the hermetic base 2 having the nail lead terminal 8 is set on the third heat-resistant tray 35. Further, the four second supporters 9-2 are placed on the four nail lead terminals 8. Then, with the opening 14 of the second supporter 9-2 and the nail head 7 of the nail lead terminal 8 aligned, the high-temperature solder 12 is put into the opening 14 of the second supporter 9-2. In this manner, the third heat-resistant tray 35 containing the hermetic base 2 and the second supporter 9-2 is sequentially loaded in the electric furnace. The third heat-resistant tray 35 can be easily stacked not only in the vertical direction but also in the horizontal direction in the electric furnace. And by heating the inside of an electric furnace to predetermined temperature, many 2nd supporters 9-2 can be fixed to a nail lead terminal at once, and it can mass-produce efficiently.

図7(a)は、第2サポータ9−2の斜視図である。図7(b)及び(c)は、第2サポータの変形例を示した斜視図である。   FIG. 7A is a perspective view of the second supporter 9-2. 7B and 7C are perspective views showing modifications of the second supporter.

図7(a)に示すように第2サポータ9−2に開口部14が設けられている。開口部14は、円形でネイルリード端子8の釘頭部7の大きさよりやや小さめで、高温ハンダ12が容易に充填できる大きさである。   As shown in FIG. 7A, an opening 14 is provided in the second supporter 9-2. The opening 14 is circular and is slightly smaller than the size of the nail head 7 of the nail lead terminal 8 and can be easily filled with the high-temperature solder 12.

図7(b)は、第2サポータの変形例1であり、そのサポータ9−2’は開口部15が設けられている。開口部15は、正方形でネイルリード端子8の釘頭部7の大きさよりやや小さめで、中央部に一辺の三分の一の幅の橋部15cを残して両側が打ち抜かれている。このため2つの小さな開口部を有することになり、サポータ9−2’と高温ハンダ12との接着面積が大きくなり接着強度を高めることができる。   FIG. 7B shows a first modification of the second supporter, and the supporter 9-2 'is provided with an opening 15. The opening 15 is square and slightly smaller than the size of the nail head 7 of the nail lead terminal 8 and is punched on both sides leaving a bridge portion 15c having a width of one third of one side at the center. For this reason, two small openings are provided, and the bonding area between the supporter 9-2 'and the high-temperature solder 12 is increased, and the bonding strength can be increased.

図7(c−1)は、第2サポータ9−2の変形例2であり、そのサポータ9−2”は開口部16を設けている。開口部16は矩形で折り曲げ部16Sを長辺LLの両端に備える。短辺LSは、ネイルリード端子8の釘頭部7の大きさより小さく、開口部16の折り曲げ部16Sをネイルリード端子8の釘頭部7に押し込む(カシメ)ことで嵌め合い、仮固定することができる。短辺LSが釘頭部7に圧着して、押し込み過ぎることはないので、位置決めが容易で作業性がよい。   FIG. 7C-1 shows a second modification of the second supporter 9-2. The supporter 9-2 ″ has an opening 16. The opening 16 is rectangular and the bent portion 16S has a long side LL. The short side LS is smaller than the size of the nail head 7 of the nail lead terminal 8, and the bent portion 16S of the opening 16 is fitted into the nail head 7 of the nail lead terminal 8 by pressing (caulking). Since the short side LS is not crimped to the nail head 7 and pushed too much, positioning is easy and workability is good.

図7(c−2)は、開口部16の折り曲げ部16Sがネイルリード端子8の釘頭部7に押し込まれた状態を示す断面図である。サポータ9−2”と高温ハンダ12との接着面積が大きくなり、接着強度を高めることができる。   FIG. 7 (c-2) is a cross-sectional view showing a state where the bent portion 16 </ b> S of the opening 16 is pushed into the nail head 7 of the nail lead terminal 8. The bonding area between the supporter 9-2 ″ and the high-temperature solder 12 is increased, and the bonding strength can be increased.

なお、第2サポータ9−2に対して、変形例1のサポータ9−2’と変形例2のサポータ9−2”とを示したが、図2(a)に示した第1サポータ9−1に対しても開口部15又は開口部16を適用することができる。   In addition, although the supporter 9-2 ′ of the first modification and the supporter 9-2 ″ of the second modification are shown with respect to the second supporter 9-2, the first supporter 9- shown in FIG. The opening 15 or the opening 16 can be applied to 1.

なお上記実施例では、ハーメチックベース2はコバール合金を用いたが、ガラス及びセラミックであってもよい。また、上記実施例では水晶片1の主面はハーメチックベース2の水平面と平行に配置される例を示したが、水晶片1の主面がハーメチックベース2の水平面に対して垂直に配置するようにしても良い。   In the above embodiment, the hermetic base 2 is made of Kovar alloy, but may be glass or ceramic. In the above embodiment, the main surface of the crystal piece 1 is arranged parallel to the horizontal plane of the hermetic base 2, but the main surface of the crystal piece 1 is arranged perpendicular to the horizontal plane of the hermetic base 2. Anyway.

(a)は、第1実施例の水晶振動子のカバーを取り去った(b)のX−X’断面図である。 (b)は、カバー及びハーメチックベース2を除く平面図である。 (c)は、(a)の部分拡大断面図である。(A) is X-X 'sectional drawing of (b) which removed the cover of the crystal oscillator of 1st Example. (B) is a plan view excluding the cover and the hermetic base 2. (C) is the elements on larger scale of (a). (a)は、第1実施例の第1サポータ9―1の斜視図である。 (b)は、第1実施例のサポ−タ支持枠9−5の斜視図である。(A) is a perspective view of the 1st supporter 9-1 of 1st Example. (B) is a perspective view of the supporter support frame 9-5 of the first embodiment. (a)は、第1実施例のハーメチックベース2を電気炉に入れる際の構成を示す斜視図である。 (b)は(a)の断面図である。(A) is a perspective view which shows the structure at the time of putting the hermetic base 2 of 1st Example in an electric furnace. (B) is sectional drawing of (a). (a)は、本発明の第2実施例の水晶振動子のカバーを取り去った(b)のX−X’断面図である。(b)は、カバー及びハーメチックベース2を除く平面図である。(c)は、(a)の部分拡大断面図である。(A) is X-X 'sectional drawing of (b) which removed the cover of the crystal oscillator of 2nd Example of this invention. (B) is a plan view excluding the cover and the hermetic base 2. (C) is the elements on larger scale of (a). (a)は、電気炉に入れる際の第2耐熱トレー30の構成を示す断面図である。(b)は、第2耐熱トレー30の斜視図である。(A) is sectional drawing which shows the structure of the 2nd heat resistant tray 30 at the time of putting in an electric furnace. FIG. 4B is a perspective view of the second heat resistant tray 30. FIG. (a)は、電気炉に入れる際の第3耐熱トレー35の構成を示す断面図である。(b)は、第3耐熱トレー35の斜視図である。(A) is sectional drawing which shows the structure of the 3rd heat resistant tray 35 at the time of putting in an electric furnace. FIG. 4B is a perspective view of the third heat resistant tray 35. (a)は、第2サポータ9−2の斜視図である。(b)は、第2サポータ9−2の変形例1の斜視図である。(c)は、第2サポータ9−2の変形例2の斜視図である。(A) is a perspective view of the 2nd supporter 9-2. (B) is a perspective view of Modification 1 of the second supporter 9-2. (C) is a perspective view of Modification 2 of the second supporter 9-2.

符号の説明Explanation of symbols

1 … 水晶片
2 … ハーメチックベース
3 … 励振電極
4 … 引出電極
5 … 端面電極
6 … ガラス
7 … 釘頭部
8a,8b … ネイルリード端子
8h … ネイルリード端子通過孔
9−1 … 第1サポータ、9−2,9−2’,9−2” … 第2サポータ
9−5 … サポ−タ支持枠
10 … ロウ材
11 … 接着剤
12 … 高温ハンダ
14,15,16 … 開口部
16S … 折り曲げ部
30、35、40… 耐熱トレー
45 … トレー支持具
100 … 第1水晶振動子
110 … 第2水晶振動子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Crystal piece 2 ... Hermetic base 3 ... Excitation electrode 4 ... Extraction electrode 5 ... End surface electrode 6 ... Glass 7 ... Nail head 8a, 8b ... Nail lead terminal 8h ... Nail lead terminal passage hole 9-1 ... 1st supporter, 9-2, 9-2 ', 9-2 "... second supporter 9-5 ... supporter support frame 10 ... brazing material 11 ... adhesive 12 ... high-temperature solder 14, 15, 16 ... opening 16S ... bent portion 30, 35, 40 ... heat-resistant tray 45 ... tray support 100 ... first crystal unit 110 ... second crystal unit

Claims (10)

両主面に設けた励振電極及び前記励振電極と電気的に接続した端面電極を外周部両端面に有する水晶片と、
前記水晶片の主面に対向して釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子を有するベースと、
前記水晶片を支えるとともに、前記釘頭部に対して開口部を有する少なくとも一対のサポータと、
前記開口部と前記釘頭部とを接続し、所定の温度で溶融する接合材と、
を備えることを特徴とする水晶振動子。
A crystal piece having excitation electrodes provided on both main surfaces and end electrodes electrically connected to the excitation electrodes on both end faces of the outer peripheral portion;
A base having at least a pair of lead terminals protruding from a nail head to face the main surface of the crystal piece;
At least a pair of supporters that support the crystal piece and have an opening with respect to the nail head;
A bonding material that connects the opening and the nail head and melts at a predetermined temperature;
A crystal resonator comprising:
前記サポータは、前記水晶片の主面で前記水晶片を支えることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。   The crystal resonator according to claim 1, wherein the supporter supports the crystal piece on a main surface of the crystal piece. 前記サポータは前記水晶片の主面と主面との間の側面で前記水晶片を支えることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。   2. The crystal resonator according to claim 1, wherein the supporter supports the crystal piece on a side surface between the main surface and the main surface of the crystal piece. 前記釘頭部の面積より前記開口部の面積は小さいことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の水晶振動子。   4. The crystal resonator according to claim 1, wherein an area of the opening is smaller than an area of the nail head. 5. 前記接合材は、260°Cより高い溶融温度のハンダであることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。   The crystal unit according to claim 1, wherein the bonding material is solder having a melting temperature higher than 260 ° C. 前記開口部は、その中央付近に橋部を有し2つの開口を有することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の水晶振動子。   6. The crystal resonator according to claim 1, wherein the opening has a bridge portion in the vicinity of the center thereof and has two openings. 7. 前記開口部は折り曲げ部を有しており、この折り曲げ部と前記釘頭部とが嵌め合うことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の水晶振動子。   6. The crystal resonator according to claim 1, wherein the opening includes a bent portion, and the bent portion and the nail head are fitted to each other. 水晶振動子の製造方法であって、
釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子を有するベースを耐熱冶具に配置する第1配置工程と、
前記釘頭部に対して開口部を有する少なくとも一対のサポータを配置する第2配置工程と、
前記開口部に所定の温度で溶融する接合材を配置する第3配置工程と、
前記耐熱冶具、前記サポータ及び前記接合材を加熱する加熱工程と、を備え、
前記接合材により前記釘頭部と前記サポータとを接続する水晶振動子の製造方法。
A method of manufacturing a crystal resonator,
A first disposing step of disposing a base having at least a pair of lead terminals protruding from a nail head on a heat-resistant jig;
A second disposing step of disposing at least a pair of supporters having an opening with respect to the nail head;
A third arrangement step of arranging a bonding material that melts at a predetermined temperature in the opening;
A heating step of heating the heat-resistant jig, the supporter and the bonding material,
A method for manufacturing a crystal resonator in which the nail head and the supporter are connected by the bonding material.
前記耐熱冶具は互いに積載でき、一度の加熱工程で複数の前記サポータと前記釘頭部とを接続できることを特徴とする請求項8に記載の水晶振動子の製造方法。   9. The method for manufacturing a crystal resonator according to claim 8, wherein the heat-resistant jigs can be stacked on each other, and a plurality of the supporters and the nail heads can be connected in a single heating process. 前記サポータは、第1の一対のサポータとこの第1の一対のサポータと異なる位置に配置された第2のサポータとを有し、
第1の一対のサポータと前記釘頭部とを接続する前記接合材と、前記第2サポータと前記釘頭部とを接続する前記接合材とは異なることを特徴とする請求項8に記載の水晶振動子の製造方法。
The supporter has a first pair of supporters and a second supporter disposed at a position different from the first pair of supporters,
9. The bonding material for connecting the first pair of supporters and the nail head and the bonding material for connecting the second supporter and the nail head are different from each other. A method for manufacturing a crystal unit.
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