JP2009123412A - 電界放出型電子源撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電変換膜と透明電極とから成る光電変換部が電子を放出する電子放出部の電子放出側に対向して設けられた電界放出型撮像装置において、前記光電変換部の外周部を形成する前記光電変換膜と前記透明電極との間に電気絶縁層が挟まれて形成されている電界放出型電子源撮像装置。
【選択図】図1
Description
(実施の形態1)
本発明の電界放出型電子源撮像装置の概略図を図1に示す。光透過性を有する前面基板1と、背面基板2と、側面外周器3とを備え、これらはインジウムからなる封着材料4により固着固定され、その内部が真空に保持されている。前面基板1の内面には、外部からの入射光を透過する透明電極5が前面基板1よりも小さい面積で形成され、前面基板1の内部に埋め込まれた電極ピン6を介して、透明電極5に電圧を印加するようになっている。透明電極5が形成された部分および透明電極5と絶縁層17が積層された部分の表面の全体にわたって、アモルファス−セレンからなるアバランシェ増倍効果を有する光電変換膜18が形成されている。以上の様に、透明電極5と光電変換膜18とが光電変換部を形成しており、図1中の楕円で囲んだ部分Aは、光電変換部の外周部を示す。この外周部の透明電極5の周辺には酸化クロムからなる遮光性の電気絶縁層17が形成されている。
2 背面基板
3 側面外周器
4 封着部材
5 透明電極
6 電極ピン
7、18 光電変換膜
8 電界放出型電子源アレイ
9 半導体基板
10 電子ビーム
11 第一の光導電層
12 電子ビームランディング層
13 第二の光導電層11
14 正孔捕獲層
15 第三の光導電層
16 表面層
17 遮光性電気絶縁層
Claims (5)
- 光電変換膜と透明電極とから成る光電変換部が電子を放出する電子放出部の電子放出側に対向して設けられた電界放出型撮像装置において、
前記光電変換部の外周部を形成する前記光電変換膜と前記透明電極との間に電気絶縁層が挟まれて形成されている電界放出型電子源撮像装置。 - 前記電気絶縁層は、光学的に遮光性を有する請求項1に記載の電界放出型電子源撮像装置。
- 前記光電変換部は、光透過性を有する基板と、前記基板の前記電子放出部側の面に形成された前記基板よりも面積の小さい透明電極と前記透明電極の前記電子放出部側の面に光電変換膜を形成した請求項1に記載の電界放出型電子源撮像装置。
- 前記電気絶縁層は、酸化クロム、酸化コバルト、酸化マンガン、酸化ルビジウムのいずれかを主成分とする物質である請求項2に記載の電界放出型電子源撮像装置。
- 前記電子放出部は、電子を放出するエミッタが複数配列された電子源アレイから成る請求項1に記載の電界放出型電子源撮像装置。
Priority Applications (1)
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JP2007293934A JP2009123412A (ja) | 2007-11-13 | 2007-11-13 | 電界放出型電子源撮像装置 |
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPS6012646A (ja) * | 1983-07-01 | 1985-01-23 | Hitachi Ltd | 撮像管 |
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-
2007
- 2007-11-13 JP JP2007293934A patent/JP2009123412A/ja active Pending
Patent Citations (5)
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