JP2009122703A - 位相シフトマスクブランク及び位相シフトマスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【効果】本発明によれば、成膜前後での反りの変化が小さく、かつ表面の反りの小さい位相シフトマスクブランクが得られ、この位相シフトマスクブランクにパターンを形成することにより反りの変化によるパターン寸法の変動を少なく抑えることができ、高精度な位相シフトマスクを得ることができる。
【選択図】図1
Description
露光光に対して透明かつ表面の反りが0.5μm以下の基板上に、金属シリサイドターゲットを用い、スパッタガスとして不活性ガスと、窒素ガス、酸素ガス及び酸化窒素ガスから選ばれるガスとを用いたスパッタリングにより、金属シリサイド酸化物、金属シリサイド窒化物又は金属シリサイド酸化窒化物からなる位相シフト膜を成膜する位相シフトマスクブランクの製造方法であって、
位相シフト膜を下地層及び表面層で構成し、下地層の厚さを位相シフト膜の厚さの5〜70%とし、下地層形成時のスパッタリング圧力を0.5Pa以上、表面層形成時のスパッタリング圧力を0.1〜0.5Paとし、かつ下地層形成時のスパッタリング圧力を、酸素源又は窒素源となるガスの量は減少させ、不活性ガスの量は増加させて、表面層形成時のスパッタリング圧力の1.2倍以上として成膜することにより、位相シフト膜を成膜した後の反りが1.0μm以下である位相シフトマスクブランクを製造することを特徴とする位相シフトマスクブランクの製造方法。
請求項2:
下地層形成時のスパッタリング圧力を、表面層形成時のスパッタリング圧力の2倍以上として成膜することを特徴とする請求項1記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
請求項3:
位相シフト膜が、モリブデンシリサイド酸化物、モリブデンシリサイド窒化物又はモリブデンシリサイド酸化窒化物からなることを特徴とする請求項1又は2記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
請求項4:
下地層の厚さが、位相シフト膜の厚さの5〜(300/14)%であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
請求項5:
位相シフト膜の厚さが50〜170nmであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
請求項6:
請求項1乃至5のいずれか1項記載の方法により得られた位相シフトマスクブランクの位相シフト膜上にフォトリソグラフィー法にてレジストパターンを形成した後、エッチング法にて位相シフト膜のレジスト膜非被覆部分を除去し、次いでレジスト膜を除去することを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
本発明の位相シフトマスクブランクは、図1に示したように、石英、CaF2等の露光光が透過する反りが0.5μm以下の基板1上に、スパッタリング装置を用いて位相シフト膜2を成膜したものであり、成膜後の反りが1.0μm以下、好ましくは0.5μm以下、更に好ましくは0.3μm以下のものである。上記位相シフト膜としては、特に、図1に示したように、下地層2’と表面層2’’からなるものが好適である。
また、スパッタリング時に下地層から表面層にかけて連続的に成膜条件を変化させて同様の効果を得るようにしても構わない。
ターゲットとしてモリブデンシリサイドを用い、6025合成石英基板(6×6×0.25インチ)上に表1に示す条件でマグネトロン法によりスパッタリングすることにより、下地層を形成し、続いて条件を表1に示す通りに変えて表面層を形成することにより、MoSiONからなる位相シフト膜を有する位相シフトマスクブランクを得た。各々の下地層及び表面層の層厚さを表1に示す。
反り変化量:位相シフト膜を成膜する前後の反りを反り測定装置(ニデック社製 FT−900)にて142mm×142mmの範囲で測定し、成膜前後の反りの変化量を算出した。
耐酸性:位相シフト膜を成膜した位相シフトマスクブランクの位相差を測定した後、100℃に加熱した濃硫酸に2時間浸漬した後に再び位相差を測定し、浸漬前後での位相差変化量を算出した。
1a 基板露出部
2 位相シフト膜
2’ 下地層
2’’ 表面層
2a 位相シフター部
Claims (6)
- 露光光に対して透明かつ表面の反りが0.5μm以下の基板上に、金属シリサイドターゲットを用い、スパッタガスとして不活性ガスと、窒素ガス、酸素ガス及び酸化窒素ガスから選ばれるガスとを用いたスパッタリングにより、金属シリサイド酸化物、金属シリサイド窒化物又は金属シリサイド酸化窒化物からなる位相シフト膜を成膜する位相シフトマスクブランクの製造方法であって、
位相シフト膜を下地層及び表面層で構成し、下地層の厚さを位相シフト膜の厚さの5〜70%とし、下地層形成時のスパッタリング圧力を0.5Pa以上、表面層形成時のスパッタリング圧力を0.1〜0.5Paとし、かつ下地層形成時のスパッタリング圧力を、酸素源又は窒素源となるガスの量は減少させ、不活性ガスの量は増加させて、表面層形成時のスパッタリング圧力の1.2倍以上として成膜することにより、位相シフト膜を成膜した後の反りが1.0μm以下である位相シフトマスクブランクを製造することを特徴とする位相シフトマスクブランクの製造方法。 - 下地層形成時のスパッタリング圧力を、表面層形成時のスパッタリング圧力の2倍以上として成膜することを特徴とする請求項1記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 位相シフト膜が、モリブデンシリサイド酸化物、モリブデンシリサイド窒化物又はモリブデンシリサイド酸化窒化物からなることを特徴とする請求項1又は2記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 下地層の厚さが、位相シフト膜の厚さの5〜(300/14)%であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 位相シフト膜の厚さが50〜170nmであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 請求項1乃至5のいずれか1項記載の方法により得られた位相シフトマスクブランクの位相シフト膜上にフォトリソグラフィー法にてレジストパターンを形成した後、エッチング法にて位相シフト膜のレジスト膜非被覆部分を除去し、次いでレジスト膜を除去することを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
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