JP2009117683A - Device and method for manufacturing electromagnetic wave shielding film and patterning method - Google Patents

Device and method for manufacturing electromagnetic wave shielding film and patterning method Download PDF

Info

Publication number
JP2009117683A
JP2009117683A JP2007290386A JP2007290386A JP2009117683A JP 2009117683 A JP2009117683 A JP 2009117683A JP 2007290386 A JP2007290386 A JP 2007290386A JP 2007290386 A JP2007290386 A JP 2007290386A JP 2009117683 A JP2009117683 A JP 2009117683A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electromagnetic wave
pattern data
pattern
wave shielding
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007290386A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4914805B2 (en
Inventor
Megumi Sekiguchi
恵 関口
Ryuji Saneto
竜二 実藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2007290386A priority Critical patent/JP4914805B2/en
Publication of JP2009117683A publication Critical patent/JP2009117683A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4914805B2 publication Critical patent/JP4914805B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To automatically select an electromagnetic wave shielding pattern which suppresses the production of moire and avoids the increase of surface resistivity and the deterioration of transparency. <P>SOLUTION: An electromagnetic wave shielding film includes: a comparing part 34 for obtaining a relative distance between the spectrum peak of a two-dimensional Fourier spectrum for pixel array pattern data, and the spectrum peak of a two-dimensional Fourier spectrum for electromagnetic wave shielding pattern data; a determining part 36 for determining whether or not the obtained relative distance exceeds a predetermined space frequency; and a pattern data processing part 38 for deforming the electromagnetic wave shielding pattern data to be input to the comparing part 34 when it is determined that the relative distance does not exceed the predetermined space frequency, and for storing the electromagnetic wave shielding pattern data as selected electromagnetic wave shielding pattern data in a recording medium 64 when it is determined that the relative distance exceeds the predetermined space frequency. It is manufactured in accordance with the selected electromagnetic shield pattern data. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、プラズマディスプレイ等の表示装置に設置され、該表示装置から発生する電磁波をシールドする電磁波シールドパターンが形成された電磁波シールドフィルムの製造装置、電磁波シールドフィルムの製造方法及びモアレの発生を抑止することができるパターン生成方法に関する。   The present invention is an apparatus for manufacturing an electromagnetic wave shielding film in which an electromagnetic wave shielding pattern for shielding electromagnetic waves generated from the display apparatus is formed, a method for manufacturing the electromagnetic wave shielding film, and the generation of moire are installed in a display device such as a plasma display. The present invention relates to a pattern generation method that can be performed.

近年、各種の電気設備や電子応用設備の利用の増加に伴い、電磁波障害(Electro−Magnetic Interference:EMI)が急増している。EMIは、電子、電気機器の誤動作、障害の原因になるほか、これらの装置のオペレーターにも健康障害を与えることが指摘されている。このため、電子・電気機器では、電磁波放出の強さを規格又は規制内に抑えることが要求されている。   2. Description of the Related Art In recent years, with the increase in use of various electric facilities and electronic application facilities, electromagnetic interference (Electro-Magnetic Interference: EMI) has increased rapidly. EMI has been pointed out to be a cause of malfunction and failure of electronic and electrical equipment, as well as a health hazard to operators of these devices. For this reason, electronic / electrical devices are required to keep the intensity of electromagnetic wave emission within the standards or regulations.

上記EMIの対策には電磁波をシールドする必要があるが、それには金属の電磁波を貫通させない性質を利用すればよい。   In order to prevent EMI, it is necessary to shield the electromagnetic wave. For this purpose, the property of not allowing the metal electromagnetic wave to penetrate may be used.

優れた透光性と高い電磁波遮断性を備えたプラズマディスプレイパネル(PDP)用電磁波シールドフィルムとしては、金属メッシュをフィルム上に形成したものを使用する方法が一般に用いられる。しかし、このようなフィルムをPDPに使用した場合には、PDPの画素パターンとの干渉によりモアレが発生する場合がある。   As an electromagnetic shielding film for a plasma display panel (PDP) having excellent translucency and high electromagnetic shielding properties, a method using a metal mesh formed on a film is generally used. However, when such a film is used for a PDP, moire may occur due to interference with a PDP pixel pattern.

例えば、従来より使用されている繊維メッシュは導電性確保のために線幅を太くしており、モアレが発生しやすい状態にある(例えば特許文献1参照)。モアレ低減のためにはメッシュパターンを細線化することが有効であり、例えば特許文献2には、銅箔エッチングメッシュで10μm程度の細線が得られることが示されている。   For example, conventionally used fiber mesh has a thick line width to ensure conductivity, and is in a state where moire is likely to occur (see, for example, Patent Document 1). For reducing moire, it is effective to thin the mesh pattern. For example, Patent Document 2 shows that a thin line of about 10 μm can be obtained with a copper foil etching mesh.

また上記以外に、金属メッシュが形成されたフィルムとして、特許文献3〜5には、金属微粒子を触媒としてこれを印刷して、印刷された金属微粒子上に導電性金属を沈積させる無電解メッキ法が開示されている。また、特許文献6及び7には、銀塩拡散転写法によるメッシュ状パターン形成方法が提案されている。   In addition to the above, as a film on which a metal mesh is formed, Patent Documents 3 to 5 disclose that electroless plating is performed by printing metal fine particles as a catalyst and depositing a conductive metal on the printed metal fine particles. Is disclosed. Patent Documents 6 and 7 propose a mesh pattern forming method using a silver salt diffusion transfer method.

一方、ハロゲン化銀を現像して得られる導電性金属銀で導電性メッシュを形成する方法、あるいはハロゲン化銀を現像して得られるメッシュ状の現像銀に金属銅をめっきして導電性メッシュを形成する方法も提案されている(例えば特許文献8参照)。   On the other hand, a method of forming a conductive mesh with conductive metal silver obtained by developing silver halide, or a method of forming a conductive mesh by plating metal copper on mesh-shaped developed silver obtained by developing silver halide. A forming method has also been proposed (see, for example, Patent Document 8).

モアレを抑止するパターンを求める方法としては、例えば特許文献9が知られている。この特許文献9は、デジタル複写機に利用されるものであるが、原稿画像の周波数ベクトルとAMスクリーンの周波数ベクトルとの和及び差(モアレ周波数)を求め、求まったモアレ周波数が110線未満の場合に、モアレが発生しているものとして警告を行い、ユーザからの変更要求に基づいてAMスクリーンをグリーンノイズハーフトーンに切り替えるというものである。   For example, Patent Document 9 is known as a method for obtaining a pattern for suppressing moire. This patent document 9 is used for a digital copying machine. The sum and difference (moire frequency) of a frequency vector of an original image and a frequency vector of an AM screen are obtained, and the obtained moire frequency is less than 110 lines. In such a case, a warning is given that moire has occurred, and the AM screen is switched to a green noise halftone based on a change request from the user.

特開平5−327274号公報JP-A-5-327274 特開2003−46293号公報JP 2003-46293 A 特開平11−170420号公報JP 11-170420 A 特開2004−68119号公報JP 2004-68119 A 特開2004−68120号公報JP 2004-68120 A 国際公開第04/7810号パンフレットInternational Publication No. 04/7810 Pamphlet 特開2004−172041号公報JP 2004-172041 A 特開2004−221564号公報JP 2004-221564 A 特開2007−129558号公報JP 2007-129558 A

上述のように、デジタル複写機に対応したモアレ発生の検知については特許文献9に記載があるが、電磁波シールドフィルムを構成する電磁波シールドパターン、特に、前記表示装置の画素配列パターンとの干渉で生じるモアレ発生を抑止するパターンを選定して電磁波シールドフィルムを製造する手法について考慮されていないのが現状である。   As described above, the detection of the occurrence of moire corresponding to a digital copying machine is described in Patent Document 9, but occurs due to interference with an electromagnetic wave shielding pattern constituting an electromagnetic wave shielding film, in particular, a pixel arrangement pattern of the display device. At present, no consideration is given to a method for producing an electromagnetic shielding film by selecting a pattern that suppresses the generation of moire.

また、電磁波シールドパターンを選定する場合、電磁波シールドフィルムの特性、例えば、表面抵抗率や透明性も考慮しなければならず、単にモアレが発生しないパターンを選定すればよいという簡単なものではない。   In addition, when selecting an electromagnetic wave shielding pattern, characteristics of the electromagnetic wave shielding film, for example, surface resistivity and transparency must be taken into consideration, and it is not a simple matter that a pattern that does not cause moiré is simply selected.

本発明は、かかる事情に鑑みなされたものであり、モアレの発生を抑止でき、しかも、電磁波シールドフィルムの特性、特に、表面抵抗率の増大や透明性の劣化をも回避することができる電磁波シールドパターンを自動的に選定し、設置される表示装置に適合した電磁波シールドフィルムを製造することができる電磁波シールドフィルムの製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and can suppress the occurrence of moire, and can also avoid the characteristics of the electromagnetic wave shielding film, in particular, the increase in surface resistivity and the deterioration of transparency. An object of the present invention is to provide an electromagnetic shielding film manufacturing apparatus and manufacturing method capable of automatically selecting an appropriate pattern and manufacturing an electromagnetic shielding film suitable for a display device to be installed.

また、本発明の他の目的は、モアレの発生を抑止することができるパターン生成方法を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a pattern generation method capable of suppressing the occurrence of moire.

第1の本発明に係る電磁波シールドフィルムの製造装置は、表示装置に設置され、前記表示装置から発生する電磁波をシールドする電磁波シールドパターンが形成された電磁波シールドフィルムの製造装置において、前記表示装置の画素配列パターンとの干渉に伴うモアレを抑止する電磁波シールドパターンデータを選定するパターン選定処理部を有し、前記パターン選定処理部は、前記画素配列パターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと前記電磁波シールドパターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求める比較部と、前記比較部にて得られた前記相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別する判別部と、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていないと判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを変形して前記比較部に入力し、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていると判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを、選定された電磁波シールドパターンデータとして記憶部に記憶するパターンデータ処理部とを有し、前記選定された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造することを特徴とする。   An electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus according to a first aspect of the present invention is an electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus provided with an electromagnetic wave shielding pattern that is installed in a display device and shields electromagnetic waves generated from the display device. A pattern selection processing unit that selects electromagnetic wave shield pattern data that suppresses moire associated with interference with the pixel array pattern, the pattern selection processing unit including a spectrum peak of a two-dimensional Fourier spectrum of the pixel array pattern data and the electromagnetic wave A comparison unit for obtaining a relative distance of a spectrum peak of a two-dimensional Fourier spectrum of shield pattern data, a determination unit for determining whether the relative distance obtained by the comparison unit exceeds a predetermined spatial frequency, and the determination unit The relative distance exceeds the predetermined spatial frequency at If it is determined that the relative distance exceeds the predetermined spatial frequency, the electromagnetic wave shield pattern data is transformed and input to the comparison unit. A pattern data processing unit for storing shield pattern data in the storage unit as selected electromagnetic wave shield pattern data, and manufacturing an electromagnetic wave shield film based on the selected electromagnetic wave shield pattern data .

そして、第1の本発明において、前記パターン選定処理部は、さらに、前記表示装置の画素配列パターンデータを入力する第1入力部と、前記電磁波シールドパターンデータを入力する第2入力部と、前記電磁波シールドパターンデータの回転角度、ピッチ、パターン幅のいずれか1つ以上を変化させるパターン変形部と、入力された前記画素配列パターンデータの第1二次元フーリエスペクトルを演算する第1演算部と、入力された前記電磁波シールドパターンデータ又は前記パターン変形部からの前記電磁波シールドパターンデータの第2二次元フーリエスペクトルを演算する第2演算部とを有し、前記比較部は、得られた前記第1二次元フーリエスペクトルと前記第2二次元フーリエスペクトルとを比較して、前記第1二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと前記第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求め、前記判別部は、前記比較部にて得られた前記相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別し、前記パターンデータ処理部は、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていないと判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを前記パターン変形部に入力し、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていると判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを、選定された電磁波シールドパターンデータとして記憶部に記憶するようにしてもよい。   In the first aspect of the present invention, the pattern selection processing unit further includes a first input unit that inputs pixel array pattern data of the display device, a second input unit that inputs the electromagnetic wave shield pattern data, A pattern deformation unit that changes any one or more of the rotation angle, pitch, and pattern width of the electromagnetic wave shield pattern data; a first calculation unit that calculates a first two-dimensional Fourier spectrum of the input pixel array pattern data; A second calculation unit that calculates a second two-dimensional Fourier spectrum of the input electromagnetic wave shield pattern data or the electromagnetic wave shield pattern data from the pattern deformation unit, and the comparison unit is the first obtained The first two-dimensional Fourier spectrum is compared with the second two-dimensional Fourier spectrum. Obtaining the relative distance between the spectrum peak of the spectrum and the spectrum peak of the second two-dimensional Fourier spectrum, the determination unit determines whether the relative distance obtained by the comparison unit exceeds a predetermined spatial frequency, The pattern data processing unit inputs the electromagnetic wave shield pattern data to the pattern deformation unit when the determination unit determines that the relative distance does not exceed the predetermined spatial frequency, and inputs the electromagnetic wave shield pattern data to the determination unit. When it is determined that the relative distance exceeds the predetermined spatial frequency, the electromagnetic wave shield pattern data may be stored in the storage unit as selected electromagnetic wave shield pattern data.

この場合、前記所定の空間周波数は8cm-1であることが好ましい。これにより、モアレ周波数が高周波となり、人間の視覚特性から、人間の目では視認されなくなる。 In this case, the predetermined spatial frequency is preferably 8 cm −1 . As a result, the moire frequency becomes high and is not visually recognized by human eyes due to human visual characteristics.

また、第1の本発明において、製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲が登録された情報テーブルと、前記記憶部に記憶された複数の前記電磁波シールドパターンデータのうち、前記情報テーブルに登録された前記製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲を満足する1以上の電磁波シールドパターンデータを選択する第1パターン選択部とを有し、前記第1パターン選択部にて選択された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造するようにしてもよい。この場合、使用者による操作指示を入力する操作部と、前記パターン選択部にて選択された1以上の電磁波シールドパターンデータのうち、前記操作部からの操作入力に対応した電磁波シールドパターンデータを選択する第2パターン選択部とを有し、前記第2パターン選択部にて選択された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造するようにしてもよい。   Also, in the first aspect of the present invention, among the information table in which the range of the manufacturable pitch and the range of the pattern width are registered, and the plurality of electromagnetic wave shield pattern data stored in the storage unit, the information is registered in the information table. A first pattern selection unit for selecting one or more electromagnetic wave shield pattern data satisfying the manufacturable pitch range and pattern width range, and the electromagnetic wave selected by the first pattern selection unit An electromagnetic wave shield film may be manufactured based on the shield pattern data. In this case, the electromagnetic wave shield pattern data corresponding to the operational input from the operation unit is selected from the operation unit for inputting an operation instruction by the user and the one or more electromagnetic wave shield pattern data selected by the pattern selection unit. The electromagnetic wave shielding film may be manufactured based on the electromagnetic wave shielding pattern data selected by the second pattern selecting unit.

次に、第2の本発明に係る電磁波シールドフィルムの製造方法は、表示装置に設置され、前記表示装置から発生する電磁波をシールドする電磁波シールドパターンが形成された電磁波シールドフィルムの製造方法において、前記表示装置の画素配列パターンとの干渉に伴うモアレを抑止する電磁波シールドパターンデータを選定するパターン選定処理ステップと、前記選定された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造する製造ステップとを有し、前記パターン選定処理ステップは、前記画素配列パターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと前記電磁波シールドパターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求める比較ステップと、前記比較部にて得られた前記相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別する判別ステップと、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていないと判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを変形して前記比較ステップに入力し、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていると判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを、選定された電磁波シールドパターンデータとして記憶部に記憶するパターンデータ処理ステップとを有することを特徴とする。   Next, the method for producing an electromagnetic wave shielding film according to the second aspect of the present invention is the method for producing an electromagnetic wave shielding film, wherein the electromagnetic wave shielding film is installed in a display device and formed with an electromagnetic wave shielding pattern for shielding electromagnetic waves generated from the display device. A pattern selection processing step of selecting electromagnetic wave shield pattern data for suppressing moire associated with interference with the pixel arrangement pattern of the display device; and a manufacturing step of manufacturing an electromagnetic wave shield film based on the selected electromagnetic wave shield pattern data. The pattern selection processing step includes a comparison step for obtaining a relative distance between a spectrum peak of the two-dimensional Fourier spectrum of the pixel array pattern data and a spectrum peak of the two-dimensional Fourier spectrum of the electromagnetic wave shield pattern data; Gain A step of determining whether or not the relative distance exceeds a predetermined spatial frequency, and the electromagnetic shielding pattern when the determination unit determines that the relative distance does not exceed the predetermined spatial frequency. Data is transformed and input to the comparison step, and when the relative distance is determined to exceed the predetermined spatial frequency by the determination unit, the electromagnetic wave shield pattern data is selected as the selected electromagnetic wave shield pattern. A pattern data processing step for storing the data in a storage unit as data.

そして、第2の本発明において、前記パターン選定処理ステップは、さらに、前記表示装置の画素配列パターンデータを入力する第1入力ステップと、前記電磁波シールドパターンデータを入力する第2入力ステップと、前記電磁波シールドパターンデータの回転角度、ピッチ、パターン幅のいずれか1つ以上を変化させるパターン変形ステップと、入力された前記画素配列パターンデータの第1二次元フーリエスペクトルを演算する第1演算ステップと、入力された前記電磁波シールドパターンデータ又は前記パターン変形部からの前記電磁波シールドパターンデータの第2二次元フーリエスペクトルを演算する第2演算ステップとを有し、前記比較ステップは、得られた前記第1二次元フーリエスペクトルと前記第2二次元フーリエスペクトルとを比較して、前記第1二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと前記第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求め、前記判別ステップは、前記比較部にて得られた前記相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別し、前記パターンデータ処理ステップは、前記判別ステップにて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていないと判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを前記パターン変形ステップに入力し、前記判別ステップにて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていると判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを、選定された電磁波シールドパターンデータとして記憶部に記憶するようにしてもよい。   In the second aspect of the present invention, the pattern selection processing step further includes a first input step for inputting pixel array pattern data of the display device, a second input step for inputting the electromagnetic wave shield pattern data, A pattern deformation step for changing any one or more of the rotation angle, pitch, and pattern width of the electromagnetic wave shield pattern data; a first calculation step for calculating a first two-dimensional Fourier spectrum of the input pixel array pattern data; A second calculation step of calculating a second two-dimensional Fourier spectrum of the input electromagnetic wave shield pattern data or the electromagnetic wave shield pattern data from the pattern deforming unit, and the comparing step includes the obtained first A two-dimensional Fourier spectrum and the second two-dimensional Fourier spectrum. And the relative distance between the spectrum peak of the first two-dimensional Fourier spectrum and the spectrum peak of the second two-dimensional Fourier spectrum is determined, and the determination step includes the relative distance obtained by the comparison unit. The pattern data processing step determines whether the relative distance does not exceed the predetermined spatial frequency in the determination step. Is input to the pattern deformation step, and the electromagnetic shielding pattern data is stored as the selected electromagnetic shielding pattern data when it is determined in the determining step that the relative distance exceeds the predetermined spatial frequency. You may make it memorize | store in a part.

そして、第2の本発明において、前記所定の空間周波数は8cm-1であることが好ましい。 In the second aspect of the present invention, the predetermined spatial frequency is preferably 8 cm −1 .

また、第2の本発明において、製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲が登録された情報テーブルを使用し、前記記憶部に記憶された複数の前記電磁波シールドパターンデータのうち、前記情報テーブルに登録された前記製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲を満足する1以上の電磁波シールドパターンデータを選択するパターン選択ステップを有し、前記パターン選択ステップにて選択された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造するようにしてもよい。   Further, in the second aspect of the present invention, an information table in which a manufacturable pitch range and a pattern width range are registered is used, and the information table among the plurality of electromagnetic wave shield pattern data stored in the storage unit. The electromagnetic wave shield pattern data selected in the pattern selection step, the pattern selecting step selecting one or more electromagnetic wave shield pattern data satisfying the manufacturable pitch range and pattern width range registered in An electromagnetic wave shielding film may be manufactured based on the above.

この場合、使用者による操作指示を入力する操作部を使用し、前記パターン選択ステップにて選択された1以上の電磁波シールドパターンデータのうち、前記操作部からの操作入力に対応した電磁波シールドパターンデータを選択する第2パターン選択ステップを有し、前記第2パターン選択ステップにて選択された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造するようにしてもよい。   In this case, an electromagnetic wave shield pattern data corresponding to an operational input from the operation unit is selected from the one or more electromagnetic wave shield pattern data selected in the pattern selection step using an operation unit that inputs an operation instruction by the user. The electromagnetic wave shielding film may be manufactured based on the electromagnetic wave shielding pattern data selected in the second pattern selecting step.

次に、第3の本発明に係るパターン生成方法は、第1のパターンとの干渉に伴うモアレを抑止する第2のパターンを選定するパターン選定処理ステップと、前記選定された前記第2のパターンデータに基づいてパターンを生成するステップとを有し、前記パターン選定処理ステップは、前記第1のパターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと前記第2のパターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求める比較ステップと、前記比較部にて得られた前記相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別する判別ステップと、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていないと判別された場合に、前記第2のパターンデータを変形して前記比較ステップに入力し、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていると判別された場合に、前記第2のパターンデータを、選定された第2のパターンデータとして記憶部に記憶するパターン処理ステップとを有することを特徴とする。   Next, a pattern generation method according to a third aspect of the present invention includes a pattern selection processing step of selecting a second pattern that suppresses moire caused by interference with the first pattern, and the selected second pattern. Generating a pattern based on data, wherein the pattern selection processing step includes a spectral peak of a two-dimensional Fourier spectrum of the first pattern data and a spectral peak of a two-dimensional Fourier spectrum of the second pattern data. A comparison step for obtaining a relative distance, a determination step for determining whether the relative distance obtained by the comparison unit exceeds a predetermined spatial frequency, and the relative distance determined by the determination unit by the predetermined spatial frequency. If it is determined that the second pattern data is not exceeded, the second pattern data is transformed and input to the comparison step. A pattern processing step of storing the second pattern data in the storage unit as the selected second pattern data when the determination unit determines that the relative distance exceeds the predetermined spatial frequency; It is characterized by having.

以上説明したように、本発明に係る電磁波シールドフィルムの製造装置、製造方法によれば、モアレの発生を抑止でき、しかも、電磁波シールドフィルムの特性、特に、表面抵抗率の増大や透明性の劣化をも回避することができる電磁波シールドパターンを自動的に選定し、設置される表示装置に適合した電磁波シールドフィルムを製造することができる。   As described above, according to the manufacturing apparatus and the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film according to the present invention, it is possible to suppress the occurrence of moire and, moreover, the characteristics of the electromagnetic wave shielding film, in particular, the increase in surface resistivity and the deterioration of transparency. It is possible to automatically select an electromagnetic wave shielding pattern that can avoid the problem and to manufacture an electromagnetic wave shielding film suitable for a display device to be installed.

また、本発明に係るパターン生成方法によれば、モアレの発生を抑止することができる。   In addition, according to the pattern generation method of the present invention, it is possible to suppress the occurrence of moire.

以下、本発明に係る電磁波シールドフィルムの製造装置、電磁波シールドフィルムの製造方法及びパターン生成方法の実施の形態例を図1〜図17を参照しながら説明する。   Embodiments of an electromagnetic shielding film manufacturing apparatus, an electromagnetic shielding film manufacturing method, and a pattern generation method according to the present invention will be described below with reference to FIGS.

本実施の形態に係る電磁波シールドフィルムの製造装置(以下、単に製造装置10と記す)は、プラズマディスプレイ等の表示装置に設置され、該表示装置から発生する電磁波をシールドする電磁波シールドパターンが形成された電磁波シールドフィルムを製造するのに好適なものである。   An apparatus for manufacturing an electromagnetic wave shielding film according to the present embodiment (hereinafter simply referred to as manufacturing apparatus 10) is installed in a display device such as a plasma display, and an electromagnetic wave shielding pattern for shielding electromagnetic waves generated from the display device is formed. It is suitable for manufacturing an electromagnetic shielding film.

電磁波シールドフィルム12は、図1及び図2に示すように、透明支持体14と、該透明支持体14上に形成されたメッシュ状の導電性金属薄膜、すなわち、電磁波シールドパターン16とを有する。なお、電磁波シールドフィルム12を構成するメッシュ状の導電性金属薄膜の電磁波シールドパターン16と、後述する製造装置10にてデータ処理される電磁波シールドパターンとを区別するために、製造装置10にてデータ処理される電磁波シールドパターンを電磁波シールドパターンデータと記す。   As shown in FIGS. 1 and 2, the electromagnetic wave shielding film 12 includes a transparent support 14 and a mesh-like conductive metal thin film formed on the transparent support 14, that is, an electromagnetic wave shielding pattern 16. In addition, in order to distinguish the electromagnetic shielding pattern 16 of the mesh-like electroconductive metal thin film which comprises the electromagnetic shielding film 12, and the electromagnetic shielding pattern processed by the manufacturing apparatus 10 mentioned later, data is manufactured in the manufacturing apparatus 10. The processed electromagnetic shield pattern is referred to as electromagnetic shield pattern data.

本実施の形態に係る製造装置10は、図3に示すように、表示装置の画素配列パターンとの干渉に伴うモアレを抑止する電磁波シールドパターンデータを選定するパターン選定処理装置20と、選定された電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルム12を製造する製造ライン21とを有する。   As shown in FIG. 3, the manufacturing apparatus 10 according to the present embodiment is selected with a pattern selection processing apparatus 20 that selects electromagnetic wave shield pattern data that suppresses moire associated with interference with the pixel arrangement pattern of the display apparatus. And a production line 21 for producing the electromagnetic shielding film 12 based on the electromagnetic shielding pattern data.

先ず、パターン選定処理装置20は、図3に示すように、キーボードやマウス(座標入力装置)等の入力装置22と、第1入力部24と、第2入力部26と、パターン変形部28と、第1演算部30と、第2演算部32と、比較部34と、判別部36と、パターンデータ処理部38と、第1パターン選択部40と、第2パターン選択部42と、モニタ44とを有する。なお、これら各部は、図示しないコンピュータによって制御される。   First, as shown in FIG. 3, the pattern selection processing device 20 includes an input device 22 such as a keyboard and a mouse (coordinate input device), a first input unit 24, a second input unit 26, and a pattern deformation unit 28. The first calculation unit 30, the second calculation unit 32, the comparison unit 34, the determination unit 36, the pattern data processing unit 38, the first pattern selection unit 40, the second pattern selection unit 42, and the monitor 44. And have. These units are controlled by a computer (not shown).

第1入力部24は、第1メモリ46を有し、製造された表示装置や製造過程にある表示装置の画素配列パターンデータが登録された第1データベース48から、例えば入力装置22への操作入力に基づいて、今回対象となる表示装置の画素配列パターンデータを読み出して第1メモリ46に記憶する。   The first input unit 24 includes a first memory 46, and an operation input to the input device 22, for example, from the first database 48 in which pixel array pattern data of the manufactured display device and the display device in the manufacturing process is registered. Based on the above, the pixel array pattern data of the target display device is read out and stored in the first memory 46.

第2入力部26は、第2メモリ50を有し、予め設計された複数の電磁波シールドパターンデータが登録された第2データベース52から、例えば入力装置22への操作入力に基づいて、1つの電磁波シールドパターンデータを読み出して第2メモリ50に記憶する。   The second input unit 26 includes a second memory 50, and, for example, one electromagnetic wave based on an operation input to the input device 22 from the second database 52 in which a plurality of predesigned electromagnetic wave shield pattern data is registered. The shield pattern data is read and stored in the second memory 50.

パターン変形部28は、回転角変更部54、ピッチ変更部56、パターン幅変更部58を有する。回転角変更部54は、第2メモリ50に記憶された電磁波シールドパターンデータを角度θ=1°(図2参照)だけ一方向(例えば時計方向)に回転させて新たな電磁波シールドパターンデータとし、第2メモリ50に記憶する。すなわち、変更前の電磁波シールドパターンデータを変更後の電磁波シールドパターンデータに書き換える(上書きする)。ピッチ変更部56は、図2に示すように、第2メモリ50に記憶された電磁波シールドパターンデータのピッチP(図2参照)を0.1μmだけ狭くあるいは広げて新たな電磁波シールドパターンデータとし、第2メモリ50に上書きする。パターン幅変更部58は、入力された電磁波シールドパターンデータのパターン幅W(図2参照)を0.1μmだけ狭くあるいは広げて新たな電磁波シールドパターンデータとし、第2メモリ50に上書きする。   The pattern deforming unit 28 includes a rotation angle changing unit 54, a pitch changing unit 56, and a pattern width changing unit 58. The rotation angle changing unit 54 rotates the electromagnetic wave shield pattern data stored in the second memory 50 in one direction (for example, clockwise) by an angle θ = 1 ° (see FIG. 2) to obtain new electromagnetic wave shield pattern data. Store in the second memory 50. That is, the electromagnetic wave shield pattern data before change is rewritten (overwritten) with the electromagnetic wave shield pattern data after change. As shown in FIG. 2, the pitch changing unit 56 narrows or widens the pitch P (see FIG. 2) of the electromagnetic wave shield pattern data stored in the second memory 50 by 0.1 μm as new electromagnetic wave shield pattern data, The second memory 50 is overwritten. The pattern width changing unit 58 narrows or widens the pattern width W (see FIG. 2) of the input electromagnetic wave shield pattern data by 0.1 μm to obtain new electromagnetic wave shield pattern data, and overwrites the second memory 50.

パターン変形の手順としては、回転角変更部54だけでのパターン変形、ピッチ変更部56だけでのパターン変形、パターン幅変更部58だけでのパターン変形、回転角変更部54及びピッチ変更部56を組み合わせてのパターン変形、回転角変更部54及びパターン幅変更部58を組み合わせてのパターン変形、ピッチ変更部56及びパターン幅変更部58を組み合わせてのパターン変形、回転角変更部54、ピッチ変更部56及びパターン幅変更部58を組み合わせてのパターン変形がある。   The pattern deformation procedure includes pattern deformation only by the rotation angle changing unit 54, pattern deformation by only the pitch changing unit 56, pattern deformation by only the pattern width changing unit 58, the rotation angle changing unit 54, and the pitch changing unit 56. Pattern deformation in combination, pattern deformation by combining rotation angle changing unit 54 and pattern width changing unit 58, pattern deformation by combining pitch changing unit 56 and pattern width changing unit 58, rotation angle changing unit 54, pitch changing unit 56 and the pattern width changing unit 58 are combined.

第1演算部30は、第3メモリ60を有し、第1入力部24によって第1メモリ46に読み出された画素配列パターンデータをフーリエ変換し、画素配列パターンの二次元フーリエスペクトル(第1二次元フーリエスペクトル)を求める。このデータは第3メモリに記憶される。   The first arithmetic unit 30 includes a third memory 60, and performs a Fourier transform on the pixel array pattern data read to the first memory 46 by the first input unit 24, thereby obtaining a two-dimensional Fourier spectrum (first first) of the pixel array pattern. 2D Fourier spectrum). This data is stored in the third memory.

例えば画素配列パターンとして、図4に示すように、垂直線が列方向に多数配列され、且つ、水平線が行方向に多数配列された格子状のパターンを想定した場合の二次元フーリエスペクトルは図5に示すような強度特性となる。なお、図4中の数字は線幅と線間距離の比を示している。また、図5において、黒い部分は強度が高く、スペクトルピークを示している。   For example, as a pixel arrangement pattern, as shown in FIG. 4, a two-dimensional Fourier spectrum in a case where a lattice-like pattern in which a large number of vertical lines are arranged in the column direction and a large number of horizontal lines are arranged in the row direction is shown in FIG. Strength characteristics as shown in FIG. Note that the numbers in FIG. 4 indicate the ratio between the line width and the distance between lines. Moreover, in FIG. 5, the black part has high intensity | strength and has shown the spectrum peak.

第2演算部32は、第4メモリ62を有し、第2メモリ50に記憶されている電磁波シールドパターンデータのデータをフーリエ変換し、電磁波シールドパターンデータの二次元フーリエスペクトル(第2二次元フーリエスペクトル)を求める。このデータは第4メモリ62に記憶される。   The second calculation unit 32 includes a fourth memory 62, and performs Fourier transform on the electromagnetic shielding pattern data stored in the second memory 50 to obtain a two-dimensional Fourier spectrum (second two-dimensional Fourier spectrum) of the electromagnetic shielding pattern data. Spectrum). This data is stored in the fourth memory 62.

例えば電磁波シールドパターンとして、図6に示すように、線幅:線間距離=2:43のメッシュパターンを想定した場合の二次元フーリエスペクトルは、図7に示すような強度特性になる。なお、図7において、黒い部分は強度が高く、スペクトルピークを示している。   For example, as an electromagnetic wave shield pattern, as shown in FIG. 6, a two-dimensional Fourier spectrum assuming a mesh pattern of line width: interline distance = 2: 43 has intensity characteristics as shown in FIG. In FIG. 7, the black portion has a high intensity and shows a spectrum peak.

比較部34は、第3メモリ60に記憶された第1二次元フーリエスペクトルと、第4メモリ62に記憶された第2二次元フーリエスペクトルとを比較して、第1二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求める。第1二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと第2二次元フーリエスペクトルピークは各々複数存在する。複数同士の比較であるため、その相対距離の値も複数求められる。例えば、第1二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークが100個、第2二次元フーリエスペクトルピークが100個あった場合は、求められる相対距離の個数は100×100=10000個である。求められる相対距離の個数が多く、計算処理に時間がかかる場合は、予め第1二次元フーリエスペクトルピーク及び第2二次元フーリエスペクトルピークにおいて、それぞれピーク強度が強いもののみを選定しておいてもよい。その場合は、選定されたピーク同士の相対距離のみを求めることになる。   The comparison unit 34 compares the first two-dimensional Fourier spectrum stored in the third memory 60 with the second two-dimensional Fourier spectrum stored in the fourth memory 62, and the spectral peak of the first two-dimensional Fourier spectrum. And the relative distance between the spectral peaks of the second two-dimensional Fourier spectrum. There are a plurality of first two-dimensional Fourier spectrum peaks and a plurality of second two-dimensional Fourier spectrum peaks. Since the comparison is made between a plurality of values, a plurality of relative distance values are also obtained. For example, when there are 100 spectrum peaks of the first two-dimensional Fourier spectrum and 100 second 2D Fourier spectrum peaks, the number of relative distances to be obtained is 100 × 100 = 10000. If the number of relative distances required is large and the calculation process takes time, it is possible to select only the first 2D Fourier spectrum peak and the second 2D Fourier spectrum peak that have strong peak intensities in advance. Good. In that case, only the relative distance between the selected peaks is obtained.

一例として、例えば図5に示す画素配列パターンの二次元フーリエスペクトル(第1二次元フーリエスペクトル)と図7に示す電磁波シールドパターンの二次元フーリエスペクトル(第2二次元フーリエスペクトル)とを重ね合わせた強度特性を図8に示す。この図8において、スペクトルピークの強度が強く、且つ、モアレとして認識される相対距離が8.0cm-1以下となるスペクトルピーク対を拡大図に抽出している。この図8中の拡大図において、第1二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークP1の位置は45.6cm-1であり、第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークP2の位置は47.0cm-1である。従って、各スペクトルピークの相対距離は、|47.0−45.6|=1.4cm-1となる。 As an example, for example, the two-dimensional Fourier spectrum (first two-dimensional Fourier spectrum) of the pixel array pattern shown in FIG. 5 and the two-dimensional Fourier spectrum (second two-dimensional Fourier spectrum) of the electromagnetic wave shielding pattern shown in FIG. The strength characteristics are shown in FIG. In FIG. 8, a pair of spectral peaks in which the intensity of the spectral peaks is strong and the relative distance recognized as moire is 8.0 cm −1 or less is extracted in an enlarged view. In the enlarged view of FIG. 8, the position of the spectrum peak P1 of the first two-dimensional Fourier spectrum is 45.6 cm −1 and the position of the spectrum peak P2 of the second two-dimensional Fourier spectrum is 47.0 cm −1 . . Therefore, the relative distance of each spectral peak is | 47.0-45.6 | = 1.4 cm −1 .

判別部36は、比較部34にて得られた相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別する。ここで、空間周波数と人間の視覚特性に基づくコントラスト感度をグラフ化すると図9のようになる。図9から空間周波数がfaより高いとコントラスト感度が落ち、空間周波数がfaより低いとコントラストは高くなっている。このことから、人間の目は空間周波数が高周波になるほどコントラストを知覚しにくくなり、モアレを視認されなくなることがわかる。   The determination unit 36 determines whether the relative distance obtained by the comparison unit 34 exceeds a predetermined spatial frequency. Here, FIG. 9 is a graph showing the contrast sensitivity based on the spatial frequency and human visual characteristics. From FIG. 9, when the spatial frequency is higher than fa, the contrast sensitivity is lowered, and when the spatial frequency is lower than fa, the contrast is high. From this, it can be seen that the human eye becomes more difficult to perceive the contrast as the spatial frequency becomes higher, and the moire becomes invisible.

そこで、所定の空間周波数として、モアレを視認することができない臨界の空間周波数を候補として挙げ、この臨界の空間周波数として例えば8cm-1を設定した。従って、判別部36では、比較部34にて得られた相対距離が8cm-1を超えているかどうかを判別する。この8cm-1の数値は、表示装置の画素配列パターンのパターン形状によって変わるため、製造段階で、モアレが発生する臨界の空間周波数を調べ、例えば第1データベース48に、対応する画素配列パターンのデータと共に登録しておいてもよい。この場合、第1入力部24は、第1データベース48から画素配列パターンデータを読み出す際に、対応する臨界の空間周波数の数値も読み出すようにし、この読み出した臨界の空間周波数の値を判別部36に供給するようにしてもよい。判別部36では、比較部34にて得られた相対距離が、供給された臨界の空間周波数を超えているかどうかを判別することになる。 Therefore, as a predetermined spatial frequency, a critical spatial frequency where moire cannot be visually recognized is cited as a candidate, and for example, 8 cm −1 is set as the critical spatial frequency. Accordingly, the determination unit 36 determines whether or not the relative distance obtained by the comparison unit 34 exceeds 8 cm −1 . Since the numerical value of 8 cm −1 changes depending on the pattern shape of the pixel arrangement pattern of the display device, the critical spatial frequency at which moire occurs is checked at the manufacturing stage. For example, the data of the corresponding pixel arrangement pattern is stored in the first database 48. You may register with. In this case, when reading out the pixel array pattern data from the first database 48, the first input unit 24 also reads out the corresponding critical spatial frequency numerical value, and determines the read out critical spatial frequency value as the determination unit 36. You may make it supply to. The discriminating unit 36 discriminates whether or not the relative distance obtained by the comparing unit 34 exceeds the supplied critical spatial frequency.

パターンデータ処理部38は、判別部36にて相対距離が所定の空間周波数(臨界の空間周波数)を超えていないと判別された場合に、第2メモリ50に記憶されている電磁波シールドパターンデータをパターン変形部28に入力する。これにより、パターン変形部28でのデータ処理、第2演算部32でのデータ処理、比較部34でのデータ処理、判別部36でのデータ処理が繰り返されることになる。   The pattern data processing unit 38 uses the electromagnetic wave shield pattern data stored in the second memory 50 when the determination unit 36 determines that the relative distance does not exceed a predetermined spatial frequency (critical spatial frequency). Input to the pattern deformation unit 28. Thereby, the data processing in the pattern deformation unit 28, the data processing in the second calculation unit 32, the data processing in the comparison unit 34, and the data processing in the determination unit 36 are repeated.

また、パターンデータ処理部38は、判別部36にて相対距離が所定の空間周波数(臨界の空間周波数)を超えていると判別された場合に、第2メモリ50に記憶されている電磁波シールドパターンデータを記録媒体64(光ディスク、ハードディスク等)に記憶する。従って、記録媒体64には、複数の電磁波シールドパターンデータが記憶される場合もある。   The pattern data processing unit 38 also determines the electromagnetic wave shielding pattern stored in the second memory 50 when the determination unit 36 determines that the relative distance exceeds a predetermined spatial frequency (critical spatial frequency). Data is stored in a recording medium 64 (optical disk, hard disk, etc.). Therefore, the recording medium 64 may store a plurality of electromagnetic wave shield pattern data.

第1パターン選択部40は、製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲が登録された情報テーブル66を有し、記録媒体64に記憶された複数の電磁波シールドパターンデータのうち、情報テーブル66に登録された製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲を満足する1以上の電磁波シールドパターンデータを選択して記録媒体64の特定の記憶領域に記憶する。ここで、製造可能なピッチの範囲とは、製造ライン21でメッシュパターンとして形成できる最短のピッチから最長のピッチの範囲である。また、製造可能なパターン幅の範囲とは、製造ライン21でメッシュパターンとして形成でき、電磁波シールドフィルムとして良好に使用できる表面抵抗率を満足し、且つ、透明性を満足する範囲を示す。   The first pattern selection unit 40 includes an information table 66 in which a range of pitches that can be manufactured and a range of pattern widths are registered. Among the plurality of electromagnetic wave shield pattern data stored in the recording medium 64, the first pattern selection unit 40 includes One or more electromagnetic wave shield pattern data satisfying the registered manufacturable pitch range and pattern width range is selected and stored in a specific storage area of the recording medium 64. Here, the pitch range that can be manufactured is the range from the shortest pitch to the longest pitch that can be formed as a mesh pattern on the manufacturing line 21. Moreover, the range of the pattern width which can be manufactured shows the range which can be formed as a mesh pattern with the manufacturing line 21, and satisfies the surface resistivity which can be used favorably as an electromagnetic wave shielding film, and satisfies transparency.

第2パターン選択部42は、第1パターン選択部40にて選択された1以上の電磁波シールドパターンデータのうち、入力装置22からの操作入力に対応した1つの電磁波シールドパターンデータを選択して記録媒体64の特定の記憶領域に記憶する。具体的には、第2パターン選択部42は、記録媒体64に記憶された1以上の電磁波シールドパターンデータをモニタ44に逐次表示あるいはサムネイル方式で表示する表示制御部68を有し、使用者は、モニタ44に表示される電磁波シールドパターンを見ながら1つの電磁波シールドパターンを選択し、その表示座標あるいは識別番号を入力装置22を使って操作入力する。第2パターン選択部42は、記録媒体64に記憶された1以上の電磁波シールドパターンデータのうち、操作入力された表示座標あるいは識別番号に対応する1つの電磁波シールドパターンデータを読み出して記録媒体64の特定の記憶領域に記憶する。   The second pattern selection unit 42 selects and records one electromagnetic wave shield pattern data corresponding to the operation input from the input device 22 among the one or more electromagnetic wave shield pattern data selected by the first pattern selection unit 40. Store in a specific storage area of the medium 64. Specifically, the second pattern selection unit 42 includes a display control unit 68 that sequentially displays one or more electromagnetic wave shield pattern data stored in the recording medium 64 on the monitor 44 or displays the thumbnail method. Then, one electromagnetic wave shield pattern is selected while viewing the electromagnetic wave shield pattern displayed on the monitor 44, and the display coordinates or identification number is operated and input using the input device 22. The second pattern selection unit 42 reads out one electromagnetic wave shield pattern data corresponding to the display coordinates or the identification number inputted by the operation among the one or more electromagnetic wave shield pattern data stored in the recording medium 64, and stores the recording medium 64. Store in a specific storage area.

ここで、製造装置10の処理動作について図10のフローチャートを参照しながら説明する。   Here, the processing operation of the manufacturing apparatus 10 will be described with reference to the flowchart of FIG.

先ず、ステップS1において、第1入力部24は、使用者による入力装置22への操作入力に基づいて、第1データベース48から今回対象となる表示装置の画素配列パターンデータを読み出して第1メモリ46に記憶する。   First, in step S <b> 1, the first input unit 24 reads out the pixel array pattern data of the target display device from the first database 48 based on the operation input to the input device 22 by the user, and first memory 46. To remember.

その後、ステップS2において、第2入力部26は、使用者による入力装置22への操作入力に基づいて、第2データベース52から1つの電磁波シールドパターンデータを読み出して第2メモリ50に記憶する。   Thereafter, in step S <b> 2, the second input unit 26 reads out one electromagnetic wave shield pattern data from the second database 52 and stores it in the second memory 50 based on an operation input to the input device 22 by the user.

その後、ステップS3において、第1演算部30は、第1メモリ46に記憶されている画素配列パターンデータをフーリエ変換し、画素配列パターンの二次元フーリエスペクトル(第1二次元フーリエスペクトル)を求め、第3メモリ60に記憶する。   Thereafter, in step S3, the first calculation unit 30 performs a Fourier transform on the pixel array pattern data stored in the first memory 46 to obtain a two-dimensional Fourier spectrum (first two-dimensional Fourier spectrum) of the pixel array pattern, Store in the third memory 60.

その後、ステップS4において、第2演算部32は、第2メモリ50に記憶されている電磁波シールドパターンデータをフーリエ変換し、電磁波シールドパターンデータの二次元フーリエスペクトル(第2二次元フーリエスペクトル)を求め、第4メモリ62に記憶する。   Thereafter, in step S4, the second calculation unit 32 performs a Fourier transform on the electromagnetic wave shield pattern data stored in the second memory 50 to obtain a two-dimensional Fourier spectrum (second two-dimensional Fourier spectrum) of the electromagnetic wave shield pattern data. And stored in the fourth memory 62.

その後、ステップS5において、比較部34は、第3メモリ60に記憶された第1二次元フーリエスペクトルと、第4メモリ62に記憶された第2二次元フーリエスペクトルとを比較して、第1二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークP1iと第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークP2jの相対距離(図8参照)を求める。ここでi、jは0以上の整数で、第1、第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークをナンバリングしている。   Thereafter, in step S5, the comparison unit 34 compares the first two-dimensional Fourier spectrum stored in the third memory 60 with the second two-dimensional Fourier spectrum stored in the fourth memory 62, and compares the first two-dimensional Fourier spectrum. A relative distance (see FIG. 8) between the spectrum peak P1i of the two-dimensional Fourier spectrum and the spectrum peak P2j of the second two-dimensional Fourier spectrum is obtained. Here, i and j are integers of 0 or more, and number the spectrum peaks of the first and second two-dimensional Fourier spectra.

その後、ステップS6において、判別部36は、比較部34にて得られた相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別する。具体的には、比較部34にて得られた相対距離が8cm-1を超えているかどうかを判別する。求められる相対距離の個数が多すぎる場合は、第1、第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークのうち、ピーク強度の弱いものに関しては予め判別の対象からはずしてもよい。ピーク強度の弱い第1、第2二次元フーリエススペクトルの組み合わせで発生するモアレはそもそもその強度が弱いからである。 Thereafter, in step S <b> 6, the determination unit 36 determines whether the relative distance obtained by the comparison unit 34 exceeds a predetermined spatial frequency. Specifically, it is determined whether or not the relative distance obtained by the comparison unit 34 exceeds 8 cm −1 . When the number of relative distances to be obtained is too large, a spectrum peak having a weak peak intensity among the spectrum peaks of the first and second two-dimensional Fourier spectra may be excluded from discrimination targets in advance. This is because moire generated by a combination of the first and second two-dimensional Fourier spectra having a weak peak intensity is weak in the first place.

相対距離が所定の空間周波数(臨界の空間周波数)を超えていないと判別された場合は、次のステップS7に進み、パターンデータ処理部38での第1の処理に入る。すなわち、第2メモリ50に記憶されている電磁波シールドパターンデータをパターン変形部28に入力する。パターン変形部28は、上述したように、入力された電磁波シールドパターンデータの回転角度、ピッチ、パターン幅のいずれか1つ以上を変化させて新たな電磁波シールドパターンデータとし、第2メモリ50に上書きする。   When it is determined that the relative distance does not exceed the predetermined spatial frequency (critical spatial frequency), the process proceeds to the next step S7, and the first process in the pattern data processing unit 38 is entered. That is, the electromagnetic wave shield pattern data stored in the second memory 50 is input to the pattern deforming unit 28. As described above, the pattern deforming unit 28 changes any one or more of the rotation angle, pitch, and pattern width of the input electromagnetic wave shield pattern data as new electromagnetic wave shield pattern data, and overwrites the second memory 50. To do.

その後、ステップS4以降の処理に戻り、第2メモリ50に記憶されている新たな電磁波シールドパターンデータの二次元フーリエスペクトル(第2二次元フーリエスペクトル)を求め、さらに、第1二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークP1と第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークP2の相対距離を求め、得られた相対距離が所定の空間周波数(臨界の空間周波数)を超えるかどうかを判別する。   Thereafter, the process returns to the processing after step S4, and the two-dimensional Fourier spectrum (second two-dimensional Fourier spectrum) of the new electromagnetic wave shield pattern data stored in the second memory 50 is obtained. A relative distance between the spectrum peak P1 and the spectrum peak P2 of the second two-dimensional Fourier spectrum is obtained, and it is determined whether or not the obtained relative distance exceeds a predetermined spatial frequency (critical spatial frequency).

そして、ステップS6において、相対距離が所定の空間周波数を超えていると判別された場合は、ステップS8に進み、パターンデータ処理部38での第2の処理に入る。すなわち、第2メモリ50に記憶されている電磁波シールドパターンデータを記録媒体64(光ディスク、ハードディスク等)に記憶する。   If it is determined in step S6 that the relative distance exceeds the predetermined spatial frequency, the process proceeds to step S8, and the second process in the pattern data processing unit 38 is entered. That is, the electromagnetic wave shield pattern data stored in the second memory 50 is stored in the recording medium 64 (optical disk, hard disk, etc.).

その後、ステップ9において、処理終了を示す要求があるか否かが判別される。この判別は、予め設定されたパターン変形部28での処理手順が全て終了したかどうか、あるいは選定処理の終了要求があるかどうかで行われる。   Thereafter, in step 9, it is determined whether or not there is a request indicating the end of the process. This determination is made based on whether or not the processing procedure in the preset pattern deforming unit 28 has been completed, or whether or not there is a request for termination of the selection process.

処理終了の要求がなければ、ステップS7以降の処理に進み、パターン変形部28での処理、第2演算部32での処理、比較部34での処理、判別部36での処理が繰り返される。この繰り返し処理は、処理終了の要求があるまで行われ、ステップS8を処理するたびに、相対距離が8cm-1を超える様々な電磁波シールドパターンを有するデータが記録媒体64に記憶されていく。 If there is no request for the end of the process, the process proceeds to step S7 and subsequent processes, and the process in the pattern deforming unit 28, the process in the second calculating unit 32, the process in the comparing unit 34, and the process in the determining unit 36 are repeated. This repetitive processing is performed until a processing end request is made. Every time step S8 is processed, data having various electromagnetic wave shielding patterns with a relative distance exceeding 8 cm −1 is stored in the recording medium 64.

その後、ステップS10において、第1パターン選択部40は、記録媒体64に記憶された複数の電磁波シールドパターンデータのうち、情報テーブル66に登録された製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲を満足する1以上の電磁波シールドパターンデータを選択して記録媒体64に記憶する。   Thereafter, in step S10, the first pattern selection unit 40 satisfies the manufacturable pitch range and pattern width range registered in the information table 66 among the plurality of electromagnetic wave shield pattern data stored in the recording medium 64. One or more electromagnetic wave shield pattern data to be selected is selected and stored in the recording medium 64.

その後、ステップS11において、第2パターン選択部42は、第1パターン選択部40にて選択された1以上の電磁波シールドパターンデータのうち、入力装置22からの操作入力に対応した1つの電磁波シールドパターンデータを選択して記録媒体64の特定の記憶領域に記憶する。   Thereafter, in step S11, the second pattern selection unit 42 selects one electromagnetic shielding pattern corresponding to the operation input from the input device 22 among the one or more electromagnetic shielding pattern data selected by the first pattern selection unit 40. Data is selected and stored in a specific storage area of the recording medium 64.

このステップS11での処理が終了した段階で、1つの電磁波シールドパターンデータが選定されることになる。   One electromagnetic wave shield pattern data is selected at the stage where the processing in step S11 is completed.

そして、製造ライン21においては、選定された電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルム12を製造する。   And in the production line 21, the electromagnetic wave shielding film 12 is manufactured based on the selected electromagnetic wave shielding pattern data.

ここで、人間の視覚特性を勘案した上で、モアレの発生の強度が、パターン変形によってどのように変化するかを図4、図6、図11〜図13を参照しながら説明する。モアレ発生の強度は、目視による官能評価で点数をつけることも可能だが、第1、第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークのピーク対のピーク強度同士の掛け算とピーク間の相対距離とに関係している。ピーク強度の掛け算値が大きいほどモアレ発生の程度が強い。ピーク間の相対距離は人間の視感度が強い領域にあるほどモアレ発生の程度が強い。   Here, how the intensity of moiré generation changes due to pattern deformation will be described with reference to FIGS. 4, 6, and 11 to 13 in consideration of human visual characteristics. The intensity of moiré generation can be scored by visual sensory evaluation, but it is related to the multiplication of the peak intensities of the peak pairs of the first and second 2D Fourier spectra and the relative distance between the peaks. ing. The greater the peak intensity multiplication value, the greater the degree of moire generation. As the relative distance between peaks is in a region where human visibility is stronger, the degree of moire generation is stronger.

画素配列パターンは、上述したように(図4参照)、垂直線が列方向に多数配列され、且つ、水平線が行方向に多数配列された格子状のパターンを有し、図4中の数字は線幅と線間距離の比を示している。   As described above (see FIG. 4), the pixel arrangement pattern has a lattice-like pattern in which a large number of vertical lines are arranged in the column direction and a large number of horizontal lines are arranged in the row direction. The ratio between the line width and the distance between lines is shown.

初期の電磁波シールドパターンは、図6に示すように、線幅:線間距離=2:43のメッシュパターンを有する。   As shown in FIG. 6, the initial electromagnetic wave shielding pattern has a mesh pattern of line width: interline distance = 2: 43.

そして、回転角変更部54において初期の電磁波シールドパターンを回転角度θを1°ずつ変化させながらモアレの発生の強度を求めると、図11に示すように、回転角度θを時計方向に増加させるにつれてコントラスト感度が徐々に低下し、回転角度θaからθbにかけてはモアレの発生の強度が0の部分(相対距離>8cm-1である部分)が存在し、回転角度θbよりもさらに時計方向に回転させていくと、モアレの発生の強度が徐々に増加するという特性を有する。従って、電磁波シールドパターンとして選定する場合、初期の電磁波シールドパターンから回転角度θa〜θbだけ時計方向に回転させた複数の電磁波シールドパターンデータが記録媒体64に記憶されることになる。 Then, when the rotation angle θ of the initial electromagnetic wave shield pattern is determined by changing the rotation angle θ by 1 ° in the rotation angle changing unit 54, the moire generation intensity is obtained, as shown in FIG. 11, the rotation angle θ is increased in the clockwise direction. The contrast sensitivity gradually decreases, and there is a portion where the intensity of moire generation is 0 (portion where the relative distance> 8 cm −1 ) from the rotation angle θa to θb, and the portion is rotated further clockwise than the rotation angle θb. As a result, the intensity of the occurrence of moire gradually increases. Therefore, when selecting as an electromagnetic wave shield pattern, a plurality of electromagnetic wave shield pattern data rotated clockwise from the initial electromagnetic wave shield pattern by the rotation angles θa to θb is stored in the recording medium 64.

同様に、パターン幅変更部58において初期の電磁波シールドパターンのパターン幅を0.1μmずつ変化させながらモアレの発生の強度を求める。パターンのピッチと回転角度を固定した場合、図12に示すように、あるパターン幅Pfを境にモアレの発生の強度が徐々に増加するという特性を有する。従って、電磁波シールドパターンとして選定する場合、初期の電磁波シールドパターンデータのほか、該初期の電磁波シールドパターンデータからパターン幅をPfまで広げた電磁波シールドパターンデータまでの複数の電磁波シールドパターンデータが記録媒体64に記憶されることになる。   Similarly, the pattern width changing unit 58 obtains the intensity of occurrence of moire while changing the pattern width of the initial electromagnetic wave shield pattern by 0.1 μm. When the pattern pitch and rotation angle are fixed, as shown in FIG. 12, there is a characteristic that the intensity of moiré generation gradually increases with a certain pattern width Pf as a boundary. Therefore, when selecting as the electromagnetic wave shield pattern, in addition to the initial electromagnetic wave shield pattern data, a plurality of electromagnetic wave shield pattern data from the initial electromagnetic wave shield pattern data to the electromagnetic wave shield pattern data obtained by extending the pattern width to Pf is recorded on the recording medium 64. Will be remembered.

同様に、ピッチ変更部56において初期の電磁波シールドパターンのピッチを0.1μmずつ変化させながらモアレの発生の強度を求める。パターンのパターン幅と回転角度を固定した場合、図13に示すように、ピッチを広げるにつれてモアレの発生の強度が徐々に低下し、ピッチWaからWbにかけてはモアレの発生の強度が0の部分(相対距離>8cm-1である部分)が存在し、ピッチWbよりもさらにパターン幅を広げていくと、モアレの発生の強度が徐々に増加するという特性を有する。従って、電磁波シールドパターンデータとして選定する場合、初期の電磁波シールドパターンデータに対してピッチをWa〜Wbだけ広げた複数の電磁波シールドパターンデータが記録媒体64に記憶されることになる。 Similarly, the pitch changing unit 56 obtains the intensity of occurrence of moire while changing the pitch of the initial electromagnetic shielding pattern by 0.1 μm. When the pattern width and rotation angle of the pattern are fixed, as shown in FIG. 13, the moire generation intensity gradually decreases as the pitch is widened, and the moire generation intensity is zero from the pitch Wa to Wb ( There is a portion where the relative distance> 8 cm −1 ), and when the pattern width is further expanded than the pitch Wb, the intensity of occurrence of moire gradually increases. Therefore, when selecting the electromagnetic wave shield pattern data, a plurality of electromagnetic wave shield pattern data whose pitch is increased by Wa to Wb with respect to the initial electromagnetic wave shield pattern data is stored in the recording medium 64.

このように、相対距離が8cm-1を超える様々な電磁波シールドパターンデータが記録媒体64に記憶されていくことから、先ず、第1パターン選択部40にて製造可能なパターンが選択され、続いて、第2パターン選択部42にて使用者による最終的な判断に基づいて1つの電磁波シールドパターンデータが選択されることになる。 Thus, since various electromagnetic wave shield pattern data having a relative distance exceeding 8 cm −1 is stored in the recording medium 64, first, a pattern that can be manufactured is selected by the first pattern selection unit 40, and then The second pattern selection unit 42 selects one electromagnetic wave shield pattern data based on the final judgment by the user.

もちろん、選定処理を開始してから、最初に相対距離が8cm-1を超える電磁波シールドパターンデータが出現した段階で、選定処理を終了し、この選定された電磁波シールドパターンデータを採用するようにしてもよい。 Of course, after the selection process is started, the electromagnetic wave shield pattern data whose relative distance exceeds 8 cm -1 first appears, and then the selection process is terminated and the selected electromagnetic wave shield pattern data is adopted. Also good.

次に、上述にようにして選定された電磁波シールドパターンに基づいて電磁波シールドフィルムを製造する製造ライン21での製造方法について図14〜図17を参照しながら説明する。   Next, the manufacturing method in the manufacturing line 21 which manufactures an electromagnetic wave shielding film based on the electromagnetic wave shielding pattern selected as mentioned above is demonstrated, referring FIGS.

先ず、1つの製造方法としては、透明支持体14上に電磁波シールドパターン16を形成する方法としては、透明支持体14上に設けられた銀塩感光層を露光し、現像、定着することによって形成された金属銀部と、該金属銀部に担持された金属層にて電磁波シールドパターン16を構成するようにしてもよい。   First, as one manufacturing method, as a method of forming the electromagnetic wave shield pattern 16 on the transparent support 14, the silver salt photosensitive layer provided on the transparent support 14 is exposed, developed and fixed. The electromagnetic wave shielding pattern 16 may be configured by the metal silver portion thus formed and a metal layer carried on the metal silver portion.

具体的には、図14Aに示すように、ハロゲン化銀70(例えば臭化銀粒子、塩臭化銀粒子や沃臭化銀粒子)をゼラチン72に混ぜてなる銀塩感光層74を透明支持体14上に塗布する。なお、図14A〜図14Cでは、ハロゲン化銀70を「粒々」として表記してあるが、あくまでも本発明の理解を助けるために誇張して示したものであって、大きさや濃度等を示したものではない。   Specifically, as shown in FIG. 14A, a silver salt photosensitive layer 74 formed by mixing silver halide 70 (for example, silver bromide grains, silver chlorobromide grains or silver iodobromide grains) with gelatin 72 is transparently supported. Apply on body 14. In FIG. 14A to FIG. 14C, the silver halide 70 is expressed as “grains”, but is exaggerated to help understanding of the present invention, and the size, concentration, etc. are shown. It is not a thing.

その後、図14Bに示すように、銀塩感光層74に対して選定された電磁波シールドパターンの形成に必要な露光を行う。ハロゲン化銀70は、光エネルギーを受けると感光して「潜像」と称される肉眼では観察できない微小な銀核を生成する。   Thereafter, as shown in FIG. 14B, exposure necessary for forming the selected electromagnetic wave shielding pattern is performed on the silver salt photosensitive layer 74. When silver halide 70 receives light energy, it sensitizes and generates minute silver nuclei called “latent images” that cannot be observed with the naked eye.

その後、潜像を肉眼で観察できる可視化された画像に増幅するために、図14Cに示すように、現像処理を行う。具体的には、潜像が形成された銀塩感光層74を現像液(アルカリ性溶液と酸性溶液のどちらもあるが通常はアルカリ性溶液が多い)にて現像処理する。この現像処理とは、ハロゲン化銀70ないし現像液から供給された銀イオンが現像液中の現像主薬と呼ばれる還元剤により潜像銀核を触媒核として金属銀に還元されて、その結果として潜像銀核が増幅されて可視化された銀画像(現像銀76)を形成する。   Thereafter, development processing is performed as shown in FIG. 14C in order to amplify the latent image into a visualized image that can be observed with the naked eye. Specifically, the silver salt photosensitive layer 74 on which the latent image is formed is developed with a developing solution (both alkaline solution and acidic solution, but usually alkaline solution is large). In this development process, silver ions supplied from the silver halide 70 or the developing solution are reduced to metallic silver by using a latent image silver nucleus as a catalyst nucleus by a reducing agent called a developing agent in the developing solution. The image silver nuclei are amplified to form a visualized silver image (developed silver 76).

現像処理を終えたあとに銀塩感光層74中には光に感光できるハロゲン化銀70が残存するのでこれを除去するために図14Dに示すように定着処理液(酸性溶液とアルカリ性溶液のどちらもあるが通常は酸性溶液が多い)により定着を行う。   After the development processing, silver halide 70 which can be exposed to light remains in the silver salt photosensitive layer 74. In order to remove this, a fixing processing solution (either an acidic solution or an alkaline solution is used as shown in FIG. 14D). However, fixing is usually performed by using an acidic solution.

この定着処理を行うことによって、露光された部位には金属銀部78が形成され、露光されていない部位にはゼラチン72のみが残存し、光透過部となる。すなわち、透明支持体14上に金属銀部78による電磁波シールドパターン16が形成されることになる。   By performing this fixing process, the metal silver portion 78 is formed in the exposed portion, and only the gelatin 72 remains in the unexposed portion, which becomes a light transmission portion. That is, the electromagnetic wave shielding pattern 16 by the metallic silver part 78 is formed on the transparent support 14.

ハロゲン化銀70として臭化銀を用い、チオ硫酸塩で定着処理した場合の定着処理の反応式は以下のようである。
AgBr(固体)+2個のS23イオン → Ag(S232
(易水溶性錯体)
The reaction formula of the fixing process when silver bromide is used as the silver halide 70 and the fixing process is performed with thiosulfate is as follows.
AgBr (solid) + 2 S 2 O 3 ions → Ag (S 2 O 3 ) 2
(Easily water-soluble complex)

すなわち、2個のチオ硫酸イオンS23とゼラチン72中の銀イオン(AgBrからの銀イオン)が、チオ硫酸銀錯体を生成する。チオ硫酸銀錯体は水溶性が高いのでゼラチン72中から溶出されることになる。その結果、現像銀76が金属銀部78として定着されて残ることになる。 That is, two thiosulfate ions S 2 O 3 and silver ions in gelatin 72 (silver ions from AgBr) form a silver thiosulfate complex. Since the silver thiosulfate complex has high water solubility, it is eluted from the gelatin 72. As a result, the developed silver 76 is fixed and remains as the metallic silver portion 78.

従って、現像工程は、潜像に対し還元剤を反応させて現像銀76を析出させる工程であり、定着工程は、現像銀76にならなかったハロゲン化銀70を水に溶出させる工程である。詳細は、T.H.James, The Theory of the Photographic Process, 4th ed., Macmillian Publishing Co.,Inc, NY,Chapter15, pp.438−442. 1977を参照されたい。   Therefore, the developing step is a step of causing the developing agent to react with the latent image to deposit the developed silver 76, and the fixing step is a step of eluting the silver halide 70 that has not become the developed silver 76 into water. For details, see T.W. H. James, The Theory of the Photographic Process, 4th ed. , Macmillan Publishing Co. , Inc, NY, Chapter 15, pp. 438-442. See 1977.

なお、現像処理は多くの場合アルカリ性溶液で行われることから、現像処理工程から定着処理工程に入る際に、現像処理にて付着したアルカリ溶液が定着処理溶液(多くの場合は酸性溶液である)に持ち込まれるため、定着処理液の活性が変わるといった問題がある。また、現像処理槽を出た後、膜に残留した現像液により意図しない現像反応が更に進行する懸念もある。そこで、現像処理後で、定着処理工程に入る前に、酢酸(酢)溶液等の停止液で銀塩感光層74を中和もしくは酸性化することが好ましい。   In many cases, the development process is performed with an alkaline solution. Therefore, when entering the fixing process from the development process, the alkaline solution adhered in the development process is a fixing process solution (in many cases, an acidic solution). Therefore, there is a problem that the activity of the fixing processing solution changes. Further, there is a concern that an unintended development reaction may further progress due to the developer remaining in the film after leaving the development processing tank. Therefore, it is preferable to neutralize or acidify the silver salt photosensitive layer 74 with a stop solution such as an acetic acid (vinegar) solution after the development processing and before entering the fixing processing step.

なお、図14Eに示すように、例えばめっき処理(無電解めっきや電気めっきを単独ないし組み合わせる)を行って、金属銀部78の表面のみに金属層80を担持させることによって、透明支持体14上に金属銀部78と、該金属銀部78に担持された金属層80にて電磁波シールドパターン16を形成するようにしてもよい。   As shown in FIG. 14E, for example, by performing a plating process (single or combination of electroless plating and electroplating) and supporting the metal layer 80 only on the surface of the metal silver portion 78, the transparent support 14 is formed. The electromagnetic wave shielding pattern 16 may be formed by the metallic silver portion 78 and the metallic layer 80 supported by the metallic silver portion 78.

ここで、上述した銀塩感光層74を用いた方法(銀塩写真技術)と、フォトレジストを用いた方法(レジスト技術)との違いを説明する。   Here, the difference between the method using the silver salt photosensitive layer 74 (silver salt photographic technique) and the method using photoresist (resist technique) will be described.

レジスト技術では、露光処理により光重合開始剤が光を吸収して反応が始まりフォトレジスト膜(樹脂)自体が重合反応して現像液に対する溶解性の増大又は減少させ、現像処理により露光部分又は未露光部分の樹脂を除去する。なおレジスト技術で現像液とよばれる液は還元剤を含まず、未反応の樹脂成分を溶解する例えばアルカリ性溶液である。一方、上述の銀塩写真技術の露光処理では上記に記載したように、光を受けた部位のハロゲン化銀70内において発生した光電子と銀イオンからいわゆる「潜像」と呼ばれる微小な銀核が形成され、その潜像銀核が現像処理(この場合の現像液は必ず現像主薬と呼ばれる還元剤を含む)により増幅されて可視化された銀画像になる。このように、レジスト技術と銀塩写真技術とでは、露光処理から現像処理での反応が全く異なる。   In resist technology, the photopolymerization initiator absorbs light by the exposure process and the reaction starts, and the photoresist film (resin) itself undergoes a polymerization reaction to increase or decrease the solubility in the developer. The exposed resin is removed. In the resist technique, a solution called a developer is an alkaline solution that does not contain a reducing agent and dissolves unreacted resin components. On the other hand, in the above-described exposure processing of the silver salt photographic technique, as described above, minute silver nuclei called “latent images” are formed from photoelectrons and silver ions generated in the silver halide 70 at the site receiving light. The latent image silver nuclei formed are amplified by a development process (in this case, the developer always contains a reducing agent called a developing agent) to become a visualized silver image. Thus, the resist technology and the silver salt photographic technology have completely different reactions from exposure processing to development processing.

レジスト技術の現像処理では露光部分又は未露光部分の重合反応しなかった樹脂部分が除去される。一方、銀塩写真技術の現像処理では、潜像を触媒核にして現像液に含まれる現像主薬と呼ばれる還元剤により還元反応がおこり、目に見える大きさまで現像銀76が成長するものであって、未露光部分のゼラチン72の除去は行われない。このように、レジスト技術と銀塩写真技術とでは、現像処理での反応も全く異なる。   In the development process of the resist technique, a resin part that has not undergone a polymerization reaction in an exposed part or an unexposed part is removed. On the other hand, in the development processing of the silver salt photographic technology, the developed silver 76 grows to a visible size by causing a reduction reaction with a reducing agent called a developing agent contained in the developer using the latent image as a catalyst nucleus. The gelatin 72 in the unexposed portion is not removed. In this way, the resist technology and the silver salt photographic technology have completely different reactions in development processing.

なお、未露光部分のゼラチン72に含まれるハロゲン化銀70は、その後の定着処理によって溶出されるものであって、ゼラチン72自体の除去は行われない(図14D参照)。   The silver halide 70 contained in the unexposed gelatin 72 is eluted by the subsequent fixing process, and the gelatin 72 itself is not removed (see FIG. 14D).

このように、銀塩写真技術では反応(感光)主体がハロゲン化銀であるのに対し、レジスト技術では光重合開始剤である。また、現像処理では、銀塩写真技術ではバインダ(ゼラチン72)は残存するが(図14D参照)、レジスト技術ではバインダがなくなる。このような点で、銀塩写真技術とフォトレジスト技術は大きく相違する。   Thus, in silver salt photographic technology, the main reaction (photosensitive) is silver halide, whereas in resist technology, it is a photopolymerization initiator. In the development processing, the binder (gelatin 72) remains in the silver salt photographic technique (see FIG. 14D), but the binder disappears in the resist technique. In this respect, the silver salt photographic technique and the photoresist technique are greatly different.

そして、銀塩感光層74に対する露光にて使用されるマスクは、選定された電磁波シールドパターンデータに対応したマスクパターンを有するようにしてもよい。   And the mask used by exposure with respect to the silver salt photosensitive layer 74 may have a mask pattern corresponding to the selected electromagnetic wave shield pattern data.

あるいは、銀塩感光層74に対するデジタル書込み露光によって、銀塩感光層74に、選定された電磁波シールドパターンデータに対応した電磁波シールドパターン16を露光するようにしてもよい。   Alternatively, the silver salt photosensitive layer 74 may be exposed to the electromagnetic wave shield pattern 16 corresponding to the selected electromagnetic wave shield pattern data by digital writing exposure on the silver salt photosensitive layer 74.

その他の製造方法としては、図15Aに示すように、例えば透明支持体14上に形成された銅箔82上のフォトレジスト膜84を露光、現像処理して、選定された電磁波シールドパターンデータに対応したレジストパターン86を形成し、図15Bに示すように、レジストパターン86から露出する銅箔82をエッチングすることによって、電磁波シールドパターン16を形成するようにしてもよい。この場合、フォトレジスト膜84に対する露光にて使用されるマスクは、選定された電磁波シールドパターンデータに対応したマスクパターンを有するようにしてもよい。   As another manufacturing method, as shown in FIG. 15A, for example, the photoresist film 84 on the copper foil 82 formed on the transparent support 14 is exposed and developed to correspond to the selected electromagnetic shielding pattern data. The electromagnetic wave shield pattern 16 may be formed by forming the resist pattern 86 and etching the copper foil 82 exposed from the resist pattern 86 as shown in FIG. 15B. In this case, the mask used in the exposure for the photoresist film 84 may have a mask pattern corresponding to the selected electromagnetic wave shield pattern data.

あるいは、フォトレジスト膜84に対するデジタル書込み露光によって、フォトレジスト膜84に、選定された電磁波シールドパターンデータに対応した電磁波シールドパターン16を露光するようにしてもよい。   Alternatively, the electromagnetic wave shield pattern 16 corresponding to the selected electromagnetic wave shield pattern data may be exposed on the photoresist film 84 by digital writing exposure on the photoresist film 84.

また、図16Aに示すように、透明支持体14上に金属微粒子を含むペースト88を印刷し、図16Bに示すように、ペースト88に金属めっき90を行うことによって、選定された電磁波シールドパターンデータに対応した電磁波シールドパターン16を形成するようにしてもよい。   Also, as shown in FIG. 16A, a paste 88 containing metal fine particles is printed on the transparent support 14, and the paste 88 is subjected to metal plating 90 as shown in FIG. The electromagnetic shielding pattern 16 corresponding to the above may be formed.

あるいは、図17に示すように、透明支持体14に、選定された電磁波シールドパターンデータに対応した電磁波シールドパターン16をスクリーン印刷版又はグラビア印刷版によって印刷形成するようにしてもよい。   Alternatively, as shown in FIG. 17, the electromagnetic shielding pattern 16 corresponding to the selected electromagnetic shielding pattern data may be printed and formed on the transparent support 14 using a screen printing plate or a gravure printing plate.

このように、本実施の形態に係る電磁波シールドフィルム12の製造装置10及び製造方法においては、モアレの発生を抑止でき、しかも、電磁波シールドフィルム12の特性、特に、表面抵抗率の増大や透明性の劣化をも回避することができる電磁波シールドパターン16を自動的に選定し、設置される表示装置に適合した電磁波シールドフィルムを製造することができる。   Thus, in the manufacturing apparatus 10 and the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film 12 according to the present embodiment, the generation of moire can be suppressed, and the characteristics of the electromagnetic wave shielding film 12, particularly the increase in surface resistivity and transparency. The electromagnetic wave shielding pattern 16 that can avoid the deterioration of the electromagnetic wave is automatically selected, and the electromagnetic wave shielding film suitable for the display device to be installed can be manufactured.

なお、本発明に係る電磁波シールドフィルムの製造装置、電磁波シールドフィルムの製造方法及びパターン生成方法は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。   The electromagnetic shielding film manufacturing apparatus, the electromagnetic shielding film manufacturing method, and the pattern generation method according to the present invention are not limited to the above-described embodiments, and various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention. Of course.

本実施の形態に係る製造装置及び製造方法にて製造される電磁波シールドフィルムの一例を一部省略して示す断面図である。It is sectional drawing which abbreviate | omits and shows an example of the electromagnetic wave shield film manufactured with the manufacturing apparatus and manufacturing method which concern on this Embodiment. 本実施の形態に係る製造装置及び製造方法にて製造される電磁波シールドフィルムの一例を一部省略して示す平面図である。It is a top view which abbreviate | omits and shows an example of the electromagnetic wave shielding film manufactured with the manufacturing apparatus and manufacturing method which concern on this Embodiment. 本実施の形態に係る製造装置の構成、特に、パターン選定処理部の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the manufacturing apparatus which concerns on this Embodiment, especially the structure of a pattern selection process part. 電磁波シールドフィルムが設置される表示装置の画素配列パターンの一例を一部省略して示す平面図である。It is a top view which abbreviate | omits and shows an example of the pixel arrangement pattern of the display apparatus in which an electromagnetic wave shield film is installed. 図4に示す画素配列パターンの二次元フーリエスペクトルの強度特性を示す図である。It is a figure which shows the intensity | strength characteristic of the two-dimensional Fourier spectrum of the pixel arrangement pattern shown in FIG. 電磁波シールドパターンの一例を一部省略して示す平面図である。It is a top view which abbreviate | omits and shows an example of an electromagnetic wave shield pattern. 電磁波シールドパターンの二次元フーリエスペクトルの強度特性を示す図である。It is a figure which shows the intensity | strength characteristic of the two-dimensional Fourier spectrum of an electromagnetic wave shield pattern. 画素配列パターンと電磁波シールドパターンの各二次元フーリエスペクトルの比較を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the comparison of each two-dimensional Fourier spectrum of a pixel arrangement | sequence pattern and an electromagnetic wave shield pattern. 空間周波数に対するコントラスト感度の変化を示す特性図である。It is a characteristic view which shows the change of the contrast sensitivity with respect to a spatial frequency. 本実施の形態に係る製造装置の構成、特に、パターン選定処理部の処理動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the structure of the manufacturing apparatus which concerns on this Embodiment, especially the processing operation of a pattern selection process part. 電磁波シールドパターンの回転角度に対するモアレの発生の強度の変化を示す特性図である。It is a characteristic view which shows the change of the intensity | strength of generation | occurrence | production of moire with respect to the rotation angle of an electromagnetic wave shield pattern. 電磁波シールドパターンのピッチに対するモアレの発生の強度の変化を示す特性図である。It is a characteristic view which shows the change of the intensity | strength of generation | occurrence | production of a moire with respect to the pitch of an electromagnetic wave shield pattern. 電磁波シールドパターンのパターン幅に対するモアレの発生の強度の変化を示す特性図である。It is a characteristic view which shows the change of the generation | occurrence | production intensity | strength of a moire with respect to the pattern width of an electromagnetic wave shield pattern. 図14A〜図14Eは電磁波シールドフィルムの製造方法の一例を示す工程図である。14A to 14E are process diagrams illustrating an example of a method for producing an electromagnetic wave shielding film. 図15A及び図15Bは電磁波シールドフィルムの製造方法の他の例を示す工程図である。15A and 15B are process diagrams showing another example of a method for producing an electromagnetic wave shielding film. 図16A及び図16Bは電磁波シールドフィルムの製造方法のさらに他の例を示す工程図である。16A and 16B are process diagrams showing still another example of the method for producing an electromagnetic wave shielding film. 電磁波シールドフィルムの製造方法のさらに他の例を示す工程図である。It is process drawing which shows the further another example of the manufacturing method of an electromagnetic wave shield film.

符号の説明Explanation of symbols

10…製造装置 12…電磁波シールドフィルム
14…透明支持体 16…電磁波シールドパターン
20…パターン選定処理部 22…入力装置
24…第1入力部 26…第2入力部
28…パターン変形部 30…第1演算部
32…第2演算部 34…比較部
36…判別部 38…パターンデータ処理部
40…第1パターン選択部 42…第2パターン選択部
44…モニタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Manufacturing apparatus 12 ... Electromagnetic shielding film 14 ... Transparent support 16 ... Electromagnetic shielding pattern 20 ... Pattern selection process part 22 ... Input device 24 ... 1st input part 26 ... 2nd input part 28 ... Pattern deformation | transformation part 30 ... 1st Calculation unit 32 ... second calculation unit 34 ... comparison unit 36 ... discrimination unit 38 ... pattern data processing unit 40 ... first pattern selection unit 42 ... second pattern selection unit 44 ... monitor

Claims (11)

表示装置に設置され、前記表示装置から発生する電磁波をシールドする電磁波シールドパターンが形成された電磁波シールドフィルムの製造装置において、
前記表示装置の画素配列パターンとの干渉に伴うモアレを抑止する電磁波シールドパターンデータを選定するパターン選定処理部を有し、
前記パターン選定処理部は、
前記画素配列パターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと前記電磁波シールドパターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求める比較部と、
前記比較部にて得られた前記相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別する判別部と、
前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていないと判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを変形して前記比較部に入力し、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていると判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを、選定された電磁波シールドパターンデータとして記憶部に記憶するパターンデータ処理部とを有し、
前記選定された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造することを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造装置。
In an apparatus for manufacturing an electromagnetic wave shielding film, which is installed in a display device and formed with an electromagnetic wave shielding pattern for shielding electromagnetic waves generated from the display device,
A pattern selection processing unit for selecting electromagnetic wave shield pattern data for suppressing moire associated with interference with the pixel arrangement pattern of the display device;
The pattern selection processing unit
A comparison unit for obtaining a relative distance between a spectrum peak of the two-dimensional Fourier spectrum of the pixel array pattern data and a spectrum peak of the two-dimensional Fourier spectrum of the electromagnetic wave shield pattern data;
A determination unit for determining whether the relative distance obtained by the comparison unit exceeds a predetermined spatial frequency;
When the discrimination unit determines that the relative distance does not exceed the predetermined spatial frequency, the electromagnetic wave shield pattern data is transformed and input to the comparison unit, and the discrimination unit determines the relative distance. A pattern data processing unit for storing the electromagnetic wave shield pattern data in the storage unit as selected electromagnetic wave shield pattern data when it is determined that the predetermined spatial frequency is exceeded;
An apparatus for producing an electromagnetic wave shielding film, comprising producing an electromagnetic wave shielding film based on the selected electromagnetic wave shielding pattern data.
請求項1記載の電磁波シールドフィルムの製造装置において、
前記パターン選定処理部は、さらに、
前記表示装置の画素配列パターンデータを入力する第1入力部と、
前記電磁波シールドパターンデータを入力する第2入力部と、
前記電磁波シールドパターンデータの回転角度、ピッチ、パターン幅のいずれか1つ以上を変化させるパターン変形部と、
入力された前記画素配列パターンデータの第1二次元フーリエスペクトルを演算する第1演算部と、
入力された前記電磁波シールドパターンデータ又は前記パターン変形部からの前記電磁波シールドパターンデータの第2二次元フーリエスペクトルを演算する第2演算部とを有し、
前記比較部は、得られた前記第1二次元フーリエスペクトルと前記第2二次元フーリエスペクトルとを比較して、前記第1二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと前記第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求め、
前記判別部は、前記比較部にて得られた前記相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別し、
前記パターンデータ処理部は、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていないと判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを前記パターン変形部に入力し、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていると判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを、選定された電磁波シールドパターンデータとして記憶部に記憶することを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造装置。
In the manufacturing apparatus of the electromagnetic wave shielding film according to claim 1,
The pattern selection processing unit further includes
A first input unit for inputting pixel array pattern data of the display device;
A second input unit for inputting the electromagnetic shielding pattern data;
A pattern deforming portion that changes any one or more of the rotation angle, pitch, and pattern width of the electromagnetic wave shield pattern data;
A first calculation unit that calculates a first two-dimensional Fourier spectrum of the input pixel array pattern data;
A second calculation unit that calculates a second two-dimensional Fourier spectrum of the input electromagnetic wave shield pattern data or the electromagnetic wave shield pattern data from the pattern deformation unit;
The comparison unit compares the obtained first two-dimensional Fourier spectrum and the second two-dimensional Fourier spectrum to obtain a spectrum peak of the first two-dimensional Fourier spectrum and a spectrum peak of the second two-dimensional Fourier spectrum. Find the relative distance of
The determination unit determines whether the relative distance obtained by the comparison unit exceeds a predetermined spatial frequency,
The pattern data processing unit inputs the electromagnetic wave shield pattern data to the pattern deformation unit when the determination unit determines that the relative distance does not exceed the predetermined spatial frequency, and inputs the electromagnetic wave shield pattern data to the determination unit. An electromagnetic wave shielding film, wherein the electromagnetic wave shielding pattern data is stored in a storage unit as selected electromagnetic wave shielding pattern data when it is determined that the relative distance exceeds the predetermined spatial frequency. Manufacturing equipment.
請求項1又は2記載の電磁波シールドフィルムの製造装置において、
前記所定の空間周波数は8cm-1であることを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造装置。
In the manufacturing apparatus of the electromagnetic wave shielding film according to claim 1 or 2,
The said predetermined spatial frequency is 8 cm <-1> , The manufacturing apparatus of the electromagnetic wave shield film characterized by the above-mentioned.
請求項1〜3のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルムの製造装置において、
製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲が登録された情報テーブルと、
前記記憶部に記憶された複数の前記電磁波シールドパターンデータのうち、前記情報テーブルに登録された前記製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲を満足する1以上の電磁波シールドパターンデータを選択する第1パターン選択部とを有し、
前記第1パターン選択部にて選択された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造することを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造装置。
In the manufacturing apparatus of the electromagnetic wave shielding film of any one of Claims 1-3,
An information table in which a range of pitches that can be manufactured and a range of pattern widths are registered;
First, one or more electromagnetic shielding pattern data satisfying the manufacturable pitch range and pattern width range registered in the information table is selected from the plurality of electromagnetic shielding pattern data stored in the storage unit. 1 pattern selection part,
An apparatus for producing an electromagnetic wave shielding film, comprising producing an electromagnetic wave shielding film based on the electromagnetic wave shielding pattern data selected by the first pattern selection unit.
請求項4記載の電磁波シールドフィルムの製造装置において、
使用者による操作指示を入力する操作部と、
前記パターン選択部にて選択された1以上の電磁波シールドパターンデータのうち、前記操作部からの操作入力に対応した電磁波シールドパターンデータを選択する第2パターン選択部とを有し、
前記第2パターン選択部にて選択された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造することを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造装置。
In the manufacturing apparatus of the electromagnetic wave shielding film according to claim 4,
An operation unit for inputting operation instructions by the user;
A second pattern selection unit that selects electromagnetic shield pattern data corresponding to an operation input from the operation unit among the one or more electromagnetic shield pattern data selected by the pattern selection unit;
An apparatus for producing an electromagnetic wave shielding film, comprising producing an electromagnetic wave shielding film based on the electromagnetic wave shielding pattern data selected by the second pattern selection unit.
表示装置に設置され、前記表示装置から発生する電磁波をシールドする電磁波シールドパターンが形成された電磁波シールドフィルムの製造方法において、
前記表示装置の画素配列パターンとの干渉に伴うモアレを抑止する電磁波シールドパターンデータを選定するパターン選定処理ステップと、
前記選定された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造する製造ステップとを有し、
前記パターン選定処理ステップは、
前記画素配列パターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと前記電磁波シールドパターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求める比較ステップと、
前記比較部にて得られた前記相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別する判別ステップと、
前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていないと判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを変形して前記比較ステップに入力し、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていると判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを、選定された電磁波シールドパターンデータとして記憶部に記憶するパターンデータ処理ステップとを有することを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造方法。
In the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film in which the electromagnetic wave shielding pattern which is installed in the display device and shields the electromagnetic wave generated from the display device is formed,
A pattern selection processing step of selecting electromagnetic wave shield pattern data for suppressing moire associated with interference with the pixel arrangement pattern of the display device;
A manufacturing step of manufacturing an electromagnetic wave shielding film based on the selected electromagnetic wave shielding pattern data,
The pattern selection processing step includes
A comparison step for obtaining a relative distance between a spectrum peak of the two-dimensional Fourier spectrum of the pixel array pattern data and a spectrum peak of the two-dimensional Fourier spectrum of the electromagnetic wave shield pattern data;
A determination step of determining whether the relative distance obtained by the comparison unit exceeds a predetermined spatial frequency;
When the determination unit determines that the relative distance does not exceed the predetermined spatial frequency, the electromagnetic wave shield pattern data is transformed and input to the comparison step, and the determination unit determines that the relative distance is A pattern data processing step of storing the electromagnetic wave shield pattern data in the storage unit as the selected electromagnetic wave shield pattern data when it is determined that the predetermined spatial frequency is exceeded. A method for producing a film.
請求項6記載の電磁波シールドフィルムの製造方法において、
前記パターン選定処理ステップは、さらに、
前記表示装置の画素配列パターンデータを入力する第1入力ステップと、
前記電磁波シールドパターンデータを入力する第2入力ステップと、
前記電磁波シールドパターンデータの回転角度、ピッチ、パターン幅のいずれか1つ以上を変化させるパターン変形ステップと、
入力された前記画素配列パターンデータの第1二次元フーリエスペクトルを演算する第1演算ステップと、
入力された前記電磁波シールドパターンデータ又は前記パターン変形部からの前記電磁波シールドパターンデータの第2二次元フーリエスペクトルを演算する第2演算ステップとを有し、
前記比較ステップは、得られた前記第1二次元フーリエスペクトルと前記第2二次元フーリエスペクトルとを比較して、前記第1二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと前記第2二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求め、
前記判別ステップは、前記比較部にて得られた前記相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別し、
前記データ処理ステップは、前記判別ステップにて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていないと判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを前記パターン変形ステップに入力し、前記判別ステップにて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていると判別された場合に、前記電磁波シールドパターンデータを、選定された電磁波シールドパターンデータとして記憶部に記憶することを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造方法。
In the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film according to claim 6,
The pattern selection processing step further includes:
A first input step of inputting pixel array pattern data of the display device;
A second input step for inputting the electromagnetic wave shield pattern data;
A pattern deformation step of changing any one or more of the rotation angle, pitch, and pattern width of the electromagnetic wave shield pattern data;
A first calculation step of calculating a first two-dimensional Fourier spectrum of the input pixel array pattern data;
A second calculation step of calculating a second two-dimensional Fourier spectrum of the input electromagnetic wave shield pattern data or the electromagnetic wave shield pattern data from the pattern deforming unit;
The comparing step compares the obtained first two-dimensional Fourier spectrum and the second two-dimensional Fourier spectrum, and the spectral peak of the first two-dimensional Fourier spectrum and the spectral peak of the second two-dimensional Fourier spectrum. Find the relative distance of
The determination step determines whether the relative distance obtained by the comparison unit exceeds a predetermined spatial frequency,
In the data processing step, when it is determined in the determination step that the relative distance does not exceed the predetermined spatial frequency, the electromagnetic wave shield pattern data is input to the pattern deformation step, and in the determination step When it is determined that the relative distance exceeds the predetermined spatial frequency, the electromagnetic wave shielding pattern data is stored in the storage unit as the selected electromagnetic wave shielding pattern data. Method.
請求項6又は7記載の電磁波シールドフィルムの製造方法において、
前記所定の空間周波数は8cm-1であることを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造方法。
In the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film of Claim 6 or 7,
The method for producing an electromagnetic wave shielding film, wherein the predetermined spatial frequency is 8 cm −1 .
請求項6〜8のいずれか1項に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法において、
製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲が登録された情報テーブルを使用し、
前記記憶部に記憶された複数の前記電磁波シールドパターンデータのうち、前記情報テーブルに登録された前記製造可能なピッチの範囲及びパターン幅の範囲を満足する1以上の電磁波シールドパターンデータを選択するパターン選択ステップを有し、
前記パターン選択ステップにて選択された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造することを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造方法。
In the manufacturing method of the electromagnetic wave shield film according to any one of claims 6 to 8,
Using an information table in which the range of pitches that can be manufactured and the range of pattern widths are registered,
A pattern for selecting one or more electromagnetic wave shield pattern data satisfying the manufacturable pitch range and pattern width range registered in the information table among the plural electromagnetic wave shield pattern data stored in the storage unit Has a selection step,
A method for producing an electromagnetic wave shielding film, comprising producing an electromagnetic wave shielding film based on the electromagnetic wave shielding pattern data selected in the pattern selection step.
請求項9記載の電磁波シールドフィルムの製造方法において、
使用者による操作指示を入力する操作部を使用し、
前記パターン選択ステップにて選択された1以上の電磁波シールドパターンデータのうち、前記操作部からの操作入力に対応した電磁波シールドパターンデータを選択する第2パターン選択ステップを有し、
前記第2パターン選択ステップにて選択された前記電磁波シールドパターンデータに基づいて電磁波シールドフィルムを製造することを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造方法。
In the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film according to claim 9,
Use the operation unit to input operation instructions by the user,
A second pattern selection step of selecting electromagnetic wave shield pattern data corresponding to an operation input from the operation unit among the one or more electromagnetic wave shield pattern data selected in the pattern selection step;
An electromagnetic wave shielding film is produced based on the electromagnetic wave shielding pattern data selected in the second pattern selection step.
パターンの生成方法において、
第1のパターンとの干渉に伴うモアレを抑止する第2のパターンを選定するパターン選定処理ステップと、
前記選定された前記第2のパターンデータに基づいてパターンを生成するステップとを有し、
前記パターン選定処理ステップは、
前記第1のパターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークと前記第2のパターンデータの二次元フーリエスペクトルのスペクトルピークの相対距離を求める比較ステップと、
前記比較部にて得られた前記相対距離が所定の空間周波数を超えるかどうかを判別する判別ステップと、
前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていないと判別された場合に、前記第2のパターンデータを変形して前記比較ステップに入力し、前記判別部にて前記相対距離が前記所定の空間周波数を超えていると判別された場合に、前記第2のパターンデータを、選定された第2のパターンデータとして記憶部に記憶するパターン処理ステップとを有することを特徴とするパターンの生成方法。
In the pattern generation method,
A pattern selection processing step of selecting a second pattern for suppressing moire associated with interference with the first pattern;
Generating a pattern based on the selected second pattern data,
The pattern selection processing step includes
A comparison step for obtaining a relative distance between a spectrum peak of the two-dimensional Fourier spectrum of the first pattern data and a spectrum peak of the two-dimensional Fourier spectrum of the second pattern data;
A determination step of determining whether the relative distance obtained by the comparison unit exceeds a predetermined spatial frequency;
When the determination unit determines that the relative distance does not exceed the predetermined spatial frequency, the second pattern data is transformed and input to the comparison step, and the determination unit sets the relative distance. A pattern processing step of storing the second pattern data in the storage unit as the selected second pattern data when it is determined that the frequency exceeds the predetermined spatial frequency. Pattern generation method.
JP2007290386A 2007-11-08 2007-11-08 Electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus, electromagnetic wave shielding film manufacturing method, and pattern generation method Active JP4914805B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007290386A JP4914805B2 (en) 2007-11-08 2007-11-08 Electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus, electromagnetic wave shielding film manufacturing method, and pattern generation method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007290386A JP4914805B2 (en) 2007-11-08 2007-11-08 Electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus, electromagnetic wave shielding film manufacturing method, and pattern generation method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009117683A true JP2009117683A (en) 2009-05-28
JP4914805B2 JP4914805B2 (en) 2012-04-11

Family

ID=40784455

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007290386A Active JP4914805B2 (en) 2007-11-08 2007-11-08 Electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus, electromagnetic wave shielding film manufacturing method, and pattern generation method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4914805B2 (en)

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011125597A1 (en) * 2010-03-31 2011-10-13 富士フイルム株式会社 Conductive film manufacturing method, conductive film, and recording medium
JP2011216377A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 Fujifilm Corp Method of manufacturing transparent conductive film, conductive film, and program
JP2011216378A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 Fujifilm Corp Method of manufacturing transparent conductive film, conductive film, transparent heater, and program
WO2013146022A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device equipped with same, and method for determining pattern of conductive film
WO2013146056A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device equipped with same, and method for determining pattern of conductive film
WO2014038463A1 (en) * 2012-09-07 2014-03-13 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device and touch panel comprising same, and conductive film pattern determination method
WO2014097921A1 (en) * 2012-12-18 2014-06-26 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device equipped with same and method for determining pattern of conductive film
WO2014123009A1 (en) * 2013-02-05 2014-08-14 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device provided with same, and method for evaluating conductive film
WO2014141867A1 (en) * 2013-03-11 2014-09-18 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device equipped with same, and method for evaluating visibility of wiring
WO2014168029A1 (en) 2013-04-10 2014-10-16 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device provided with same, and evaluation and determination method for conductive film wiring pattern
WO2015030090A1 (en) 2013-08-30 2015-03-05 富士フイルム株式会社 Electrically conductive film, touch panel and display device employing same, and evaluation method for electrically conductive film
KR20150046287A (en) 2012-09-27 2015-04-29 후지필름 가부시키가이샤 Electroconductive film, and touch panel and display device provided with same
EP2765842A4 (en) * 2011-10-05 2015-10-28 Fujifilm Corp Conductive sheet, touch panel, display device, and method and program for producing conductive sheet
JP2015207103A (en) * 2014-04-18 2015-11-19 大日本印刷株式会社 Touch panel sensor, touch panel device, and display device
WO2016002791A1 (en) * 2014-07-03 2016-01-07 富士フイルム株式会社 Electroconductive film, display device provided therewith, and method for evaluating electroconductive film
WO2016060155A1 (en) * 2014-10-15 2016-04-21 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device provided therewith, and conductive film evaluation method
WO2016060142A1 (en) * 2014-10-15 2016-04-21 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device provided therewith, and conductive film evaluation method
WO2016060147A1 (en) * 2014-10-15 2016-04-21 富士フイルム株式会社 Electroconductive film, display device provided with same, and method for evaluating wiring pattern of electroconductive film
JP2016082214A (en) * 2014-10-15 2016-05-16 富士フイルム株式会社 Electrically conductive film, display device with the same, and method of evaluating electrically conductive film
WO2016158850A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device comprising same, and conductive film evaluation method
US20170102342A1 (en) * 2014-06-30 2017-04-13 Fujifilm Corporation Conductive film, display device having the same, and method of evaluating conductive film

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005150427A (en) * 2003-11-17 2005-06-09 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Designing method of electromagnetic shield film and its mesh structure pattern
JP2007129558A (en) * 2005-11-04 2007-05-24 Canon Inc Image forming apparatus and image processor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005150427A (en) * 2003-11-17 2005-06-09 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Designing method of electromagnetic shield film and its mesh structure pattern
JP2007129558A (en) * 2005-11-04 2007-05-24 Canon Inc Image forming apparatus and image processor

Cited By (88)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9436089B2 (en) 2010-03-31 2016-09-06 Fujifilm Corporation Conductive film manufacturing method, conductive film, and recording medium
JP2011216377A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 Fujifilm Corp Method of manufacturing transparent conductive film, conductive film, and program
JP2011216378A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 Fujifilm Corp Method of manufacturing transparent conductive film, conductive film, transparent heater, and program
US9031310B2 (en) 2010-03-31 2015-05-12 Fujifilm Corporation Conductive film manufacturing method, conductive film, and recording medium
WO2011125597A1 (en) * 2010-03-31 2011-10-13 富士フイルム株式会社 Conductive film manufacturing method, conductive film, and recording medium
EP2765842A4 (en) * 2011-10-05 2015-10-28 Fujifilm Corp Conductive sheet, touch panel, display device, and method and program for producing conductive sheet
WO2013146056A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device equipped with same, and method for determining pattern of conductive film
KR101708780B1 (en) 2012-03-30 2017-02-21 후지필름 가부시키가이샤 Conductive film, display device equipped with same, and method for determining pattern of conductive film
TWI578482B (en) * 2012-03-30 2017-04-11 富士軟片股份有限公司 Conductive film, display device having the same, and method of determining wiring pattern of conductive film
JP2013214545A (en) * 2012-03-30 2013-10-17 Fujifilm Corp Conductive film, display device incorporating the same, and conductive film pattern determination method
JP2013213858A (en) * 2012-03-30 2013-10-17 Fujifilm Corp Conductive film, display device having the same, and method for determining pattern of conductive film
US10088690B2 (en) 2012-03-30 2018-10-02 Fujifilm Corporation Conductive film, display device equipped with same, and method for determining pattern of conductive film
WO2013146022A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device equipped with same, and method for determining pattern of conductive film
KR20140125880A (en) 2012-03-30 2014-10-29 후지필름 가부시키가이샤 Conductive film, display device equipped with same, and method for determining pattern of conductive film
KR20140129335A (en) 2012-03-30 2014-11-06 후지필름 가부시키가이샤 Conductive film, display device equipped with same, and method for determining pattern of conductive film
CN104205194A (en) * 2012-03-30 2014-12-10 富士胶片株式会社 Conductive film, display device equipped with same, and method for determining pattern of conductive film
US9791712B2 (en) 2012-03-30 2017-10-17 Fujifilm Corporation Conductive film, display device equipped with same, and method for determining pattern of conductive film
CN104205194B (en) * 2012-03-30 2016-10-26 富士胶片株式会社 The determining method of the Wiring pattern of conductive film, display device and conductive film
WO2014038463A1 (en) * 2012-09-07 2014-03-13 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device and touch panel comprising same, and conductive film pattern determination method
CN104737064A (en) * 2012-09-07 2015-06-24 富士胶片株式会社 Conductive film, display device and touch panel comprising same, and conductive film pattern determination method
KR101638492B1 (en) 2012-09-07 2016-07-20 후지필름 가부시키가이샤 Conductive film, display device and touch panel comprising same, and conductive film pattern determination method
KR20150041644A (en) 2012-09-07 2015-04-16 후지필름 가부시키가이샤 Conductive film, display device and touch panel comprising same, and conductive film pattern determination method
CN107066156A (en) * 2012-09-07 2017-08-18 富士胶片株式会社 Conductive film, its pattern determining method, possess its display device and touch-screen
TWI594147B (en) * 2012-09-07 2017-08-01 富士軟片股份有限公司 Conductive film, display device and touch panel having the same, and method of determining pattern of conductive film
CN104737064B (en) * 2012-09-07 2017-06-23 富士胶片株式会社 Conductive film, its pattern determining method, possess its display device and touch-screen
US9483149B2 (en) 2012-09-07 2016-11-01 Fujifilm Corporation Conductive film, display device and touch panel comprising same, and conductive film pattern determination method
CN107066156B (en) * 2012-09-07 2019-11-12 富士胶片株式会社 Conductive film, its pattern determining method, the display device and touch screen that have it
JP2014052906A (en) * 2012-09-07 2014-03-20 Fujifilm Corp Conductive film, display device and touch panel including the same, and determination method of conductive film pattern
KR20150046287A (en) 2012-09-27 2015-04-29 후지필름 가부시키가이샤 Electroconductive film, and touch panel and display device provided with same
US9891657B2 (en) 2012-09-27 2018-02-13 Fujifilm Corporation Electroconductive film, and touch panel and display device provided with same
WO2014097921A1 (en) * 2012-12-18 2014-06-26 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device equipped with same and method for determining pattern of conductive film
US9645694B2 (en) 2012-12-18 2017-05-09 Fujifilm Corporation Conductive film, display device equipped with same and method for determining pattern of conductive film
JPWO2014097921A1 (en) * 2012-12-18 2017-01-12 富士フイルム株式会社 Display device and method for determining pattern of conductive film
CN104885139B (en) * 2012-12-18 2017-05-24 富士胶片株式会社 Conductive film, display device equipped with same and method for determining pattern of conductive film
CN104885139A (en) * 2012-12-18 2015-09-02 富士胶片株式会社 Conductive film, display device equipped with same and method for determining pattern of conductive film
JP6001089B2 (en) * 2012-12-18 2016-10-05 富士フイルム株式会社 Display device and method for determining pattern of conductive film
KR20150087313A (en) 2012-12-18 2015-07-29 후지필름 가부시키가이샤 Conductive film, display device equipped with same and method for determining pattern of conductive film
JPWO2014123009A1 (en) * 2013-02-05 2017-02-02 富士フイルム株式会社 Display device and method for evaluating conductive film
JP2018087984A (en) * 2013-02-05 2018-06-07 富士フイルム株式会社 Evaluation method for conductive film
WO2014123009A1 (en) * 2013-02-05 2014-08-14 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device provided with same, and method for evaluating conductive film
KR101750776B1 (en) 2013-02-05 2017-06-26 후지필름 가부시키가이샤 Conductive film, display device provided with same, and method for evaluating conductive film
TWI634462B (en) * 2013-02-05 2018-09-01 日商富士軟片股份有限公司 Display apparatus and evaluating method of conductive film
CN104969282B (en) * 2013-02-05 2017-08-11 富士胶片株式会社 Conductive film, possess its display device and the evaluation method of conductive film
CN104969282A (en) * 2013-02-05 2015-10-07 富士胶片株式会社 Conductive film, display device provided with same, and method for evaluating conductive film
US9832862B2 (en) 2013-02-05 2017-11-28 Fujifilm Corporation Conductive film, display device provided with same, and method for evaluating conductive film
WO2014141867A1 (en) * 2013-03-11 2014-09-18 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device equipped with same, and method for evaluating visibility of wiring
WO2014168029A1 (en) 2013-04-10 2014-10-16 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device provided with same, and evaluation and determination method for conductive film wiring pattern
CN105122336A (en) * 2013-04-10 2015-12-02 富士胶片株式会社 Conductive film, display device provided with same, and evaluation and determination method for conductive film wiring pattern
CN105122336B (en) * 2013-04-10 2017-09-08 富士胶片株式会社 Conductive film, the evaluation of its Wiring pattern and determining method and its application
JP6038294B2 (en) * 2013-04-10 2016-12-07 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device including the same, and method for evaluating and determining wiring pattern of conductive film
TWI630516B (en) * 2013-04-10 2018-07-21 日商富士軟片股份有限公司 Conductive film, display device having the same, and method of evaluating and determining wiring pattern of conductive film
US9710088B2 (en) 2013-04-10 2017-07-18 Fujifilm Corporation Conductive film, display device provided with same, and evaluation and determination method for conductive film wiring pattern
KR101756255B1 (en) 2013-04-10 2017-07-10 후지필름 가부시키가이샤 Conductive film, display device provided with same, and evaluation and determination method for conductive film wiring pattern
TWI634464B (en) * 2013-08-30 2018-09-01 日商富士軟片股份有限公司 Conductive film, touch panel and display device equipped with same, and method for evaluating conductive film
CN105519249B (en) * 2013-08-30 2018-07-13 富士胶片株式会社 The evaluation method of conductive film, touch screen, display device and conductive film
US9996177B2 (en) 2013-08-30 2018-06-12 Fujifilm Corporation Conductive film, touch panel and display device employing same, and evaluation method for electrically conductive film
KR101834248B1 (en) 2013-08-30 2018-03-05 후지필름 가부시키가이샤 Electrically conductive film, touch panel and display device employing same, and evaluation method for electrically conductive film
WO2015030090A1 (en) 2013-08-30 2015-03-05 富士フイルム株式会社 Electrically conductive film, touch panel and display device employing same, and evaluation method for electrically conductive film
JPWO2015030090A1 (en) * 2013-08-30 2017-03-02 富士フイルム株式会社 Conductive film, touch panel and display device including the same, and method for evaluating conductive film
CN105519249A (en) * 2013-08-30 2016-04-20 富士胶片株式会社 Electrically conductive film, touch panel and display device employing same, and evaluation method for electrically conductive film
JP2015207103A (en) * 2014-04-18 2015-11-19 大日本印刷株式会社 Touch panel sensor, touch panel device, and display device
US20170102342A1 (en) * 2014-06-30 2017-04-13 Fujifilm Corporation Conductive film, display device having the same, and method of evaluating conductive film
US10338008B2 (en) * 2014-06-30 2019-07-02 Fujifilm Corporation Conductive film, display device having the same, and method of evaluating conductive film
JP2016015428A (en) * 2014-07-03 2016-01-28 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device equipped with the same and conductive film evaluation method
WO2016002791A1 (en) * 2014-07-03 2016-01-07 富士フイルム株式会社 Electroconductive film, display device provided therewith, and method for evaluating electroconductive film
US10395354B2 (en) * 2014-07-03 2019-08-27 Fujifilm Corporation Conductive film, display device having the same, and method of evaluating conductive film
JP2016081257A (en) * 2014-10-15 2016-05-16 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device provided therewith, and method for evaluating wiring pattern of conductive film
JP2016082214A (en) * 2014-10-15 2016-05-16 富士フイルム株式会社 Electrically conductive film, display device with the same, and method of evaluating electrically conductive film
WO2016060147A1 (en) * 2014-10-15 2016-04-21 富士フイルム株式会社 Electroconductive film, display device provided with same, and method for evaluating wiring pattern of electroconductive film
CN106796471A (en) * 2014-10-15 2017-05-31 富士胶片株式会社 The evaluation method of conductive film, the display device for possessing the conductive film and conductive film
CN106796469A (en) * 2014-10-15 2017-05-31 富士胶片株式会社 The appraisal procedure of conductive film, the display device for possessing this film and conductive film
KR101878250B1 (en) * 2014-10-15 2018-07-13 후지필름 가부시키가이샤 Conductive film, display device provided therewith, and conductive film evaluation method
CN106796470A (en) * 2014-10-15 2017-05-31 富士胶片株式会社 The appraisal procedure of the Wiring pattern of conductive film, the display device for possessing this film and conductive film
EP3367220A1 (en) 2014-10-15 2018-08-29 FUJIFILM Corporation Conductive film, display device having the same, and method of evaluating wiring patterns of conductive film
WO2016060142A1 (en) * 2014-10-15 2016-04-21 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device provided therewith, and conductive film evaluation method
US10475175B2 (en) 2014-10-15 2019-11-12 Fujifilm Corporation Conductive film, display device having the same, and method of evaluating wiring patterns of conductive film
JP2016082037A (en) * 2014-10-15 2016-05-16 富士フイルム株式会社 Electrically conductive film, display device with the same, and method of evaluating electrically conductive film
WO2016060155A1 (en) * 2014-10-15 2016-04-21 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device provided therewith, and conductive film evaluation method
CN106796469B (en) * 2014-10-15 2019-08-27 富士胶片株式会社 The appraisal procedure of conductive film, the display device for having this film and conductive film
KR20170058402A (en) 2014-10-15 2017-05-26 후지필름 가부시키가이샤 Electroconductive film, display device provided with same, and method for evaluating wiring pattern of electroconductive film
CN106796471B (en) * 2014-10-15 2019-10-01 富士胶片株式会社 The evaluation method of conductive film, the display device for having this film and conductive film
CN106796470B (en) * 2014-10-15 2019-10-01 富士胶片株式会社 The appraisal procedure of conductive film, the display device for having this film and conductive film
TWI689849B (en) * 2014-10-15 2020-04-01 日商富士軟片股份有限公司 Conductive film, display device equipped with the same, and method for evaluating conductive film
TWI679656B (en) * 2014-10-15 2019-12-11 日商富士軟片股份有限公司 Conductive film, display device equipped with the same, and method for evaluating conductive film
JP2016194827A (en) * 2015-03-31 2016-11-17 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device including the same, and evaluation method of conductive film
WO2016158850A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 富士フイルム株式会社 Conductive film, display device comprising same, and conductive film evaluation method
US10437399B2 (en) 2015-03-31 2019-10-08 Fujifilm Corporation Conductive film, display device having the same, and method of evaluating conductive film
US10649605B2 (en) 2015-03-31 2020-05-12 Fujifilm Corporation Conductive film, and display device having the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP4914805B2 (en) 2012-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4914805B2 (en) Electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus, electromagnetic wave shielding film manufacturing method, and pattern generation method
JP5725818B2 (en) Transparent conductive sheet manufacturing method, transparent conductive sheet and program
JP5398623B2 (en) Method for producing transparent conductive film, conductive film and program
JP5681674B2 (en) Conductive sheet, touch panel and display device
WO2011125597A1 (en) Conductive film manufacturing method, conductive film, and recording medium
TWI585627B (en) Conductive sheet, touch panel, display device, method for producing conductive sheet, and non-transitory storage medium
JP6728084B2 (en) Conductive film for touch panel, display device, conductive film, touch panel and sensor body
TWI578198B (en) Electrically conductive sheet, touch panel, display device
JP5781886B2 (en) Conductive sheet, touch panel and display device
JP5443244B2 (en) Transparent conductive film
JP2009124181A (en) Method of manufacturing translucent electromagnetic wave shielding film and translucent electromagnetic wave shielding film
US20110308846A1 (en) Conductive film and method for producing the same
JP2004221564A (en) Translucent electromagnetic wave shielding film and manufacturing method therefor
JPWO2015030090A1 (en) Conductive film, touch panel and display device including the same, and method for evaluating conductive film
JP5529391B2 (en) Halftone phase shift mask, semiconductor device manufacturing apparatus having the halftone phase shift mask, and semiconductor device manufacturing method using the halftone phase shift mask
JP2011253263A (en) Touch panel and conductive sheet
JP5785040B2 (en) Manufacturing method and program for conductive sheet
WO2015029779A1 (en) Electroconductive film and method for manufacturing same
JP2011237839A (en) Touch panel and conductive sheet
JP6175545B2 (en) Conductive sheet, touch panel, display device
JP2013054619A (en) Conductive sheet, touch panel, and display device
JP5476237B2 (en) Touch panel and conductive sheet
WO2016035810A1 (en) Conductive film for touch panels

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100623

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111220

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120110

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120123

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4914805

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250