JP2009109509A - 化学検出システムを診断する装置および方法 - Google Patents
化学検出システムを診断する装置および方法Info
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- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 87
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 44
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 40
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 238000004886 process control Methods 0.000 claims description 10
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 2
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 abstract description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 3
- 238000003380 quartz crystal microbalance Methods 0.000 description 17
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 6
- 238000002405 diagnostic procedure Methods 0.000 description 6
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 4
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 239000012855 volatile organic compound Substances 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012369 In process control Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000011217 control strategy Methods 0.000 description 1
- 239000010779 crude oil Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000012631 diagnostic technique Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 231100001244 hazardous air pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 238000010965 in-process control Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001141 propulsive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000009666 routine test Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- 238000010200 validation analysis Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
Abstract
【解決手段】化学検出システムは、排出化学物質を測定するまえにニューマティックコンポーネントおよび化学センサを診断すべく、制御された暴露を実行する。制御モジュールは、前記診断を行うべく、システム制御およびデータ処理を行う。かかる制御モジュールは、診断ルーチン中に正確な暴露を行うべく、排出物質サンプル受け取りシステムを操作する。センサインターフェイス回路は、前記化学センサにデータの問い合わせを行い、データを取り出し、格納し、解析する。前記化学センサは、所定の暴露シナリオの間に、それに応じて予測可能な変化を起こす。複数の時間ドメイン信号処理技術を用いて、システムレベルおよびセンサレベルにおける異常状態が求められる。
【選択図】図1A
Description
ΔR=ΔF/Δt(Hertz/秒)
ここで、
ΔR=応答勾配(Hertz/秒)であり、
ΔF=応答周波数の変化量(Hertz)であり、
Δt=時間の変化量(秒)である。
12 排出物質源
13 排出物質サンプルストリーム
15 サンプル成分
17 通信プロトコル
20 電気インターフェイス
30 圧縮空気源
32 大気サンプル採取口
34 排出物質サンプル採取口
40 プロセス制御システム
100 サンプル受け取りシステム
102 ボンネットカプセル
114 センサ室
130 バルブ
132 大気サンプルバルブ
134 排出バルブ
140 エジェクタ
144 調整器
200 気体センサ配列
400 制御モジュール
402 センサインターフェイス回路
404 マイクロコントローラ
406 プログラムメモリ
407 バルブ駆動回路
408 診断メモリ
409 データメモリ
410 温度センサ
800 通信インターフェイス回路
900 電力変換回路
Claims (10)
- 化学検出システムを診断する装置であって、
排出物質源から排出物質を受け取るサンプル採取口を有する蓄積室と、前記蓄積室内に設置されている前記排出物質を検出する化学センサと、検出された前記排出物質を排出する排出口とを有している、排出物質の収集・検出用のサンプル受け取りデバイスと、
前記サンプル受け取りデバイスを制御する第一の動作モードと、診断ルーチンを実行する第二の動作モードと、を有している制御モジュールとを備え、
前記診断ルーチンは、前記化学検出システムへの排出物質の流れを確認することと、前記化学検出システムへの排出物質を含まない大気の流れを確認することと、前記化学検出システム内で前記化学センサの動作の妥当性を検査することとを含み、
前記制御モジュールは、前記第一の動作モードに入って計測シナリオを進行する前に、異常状態が存在するか否かを判定するために前記第二の動作モードに入って前記診断ルーチンを実行するよう構成され、
前記制御モジュールは、さらに、異常状態が存在すれば、前記第一の動作モードに入ることより優先して、プロセス制御システムと通信して異常状態の報告を行うよう構成されている、装置。 - 前記第二の動作モードが、複数の排出物質濃縮物に対する制御された暴露を通じて前記化学センサから応答データを取得するように構成されている、請求項1記載の装置。
- 前記診断ルーチンが、前記化学センサから応答データを取得し、該応答データ内のノイズを定量するように構成されている、請求項1記載の装置。
- 前記診断ルーチンが、前記化学センサを恒久的に変化させることが可能な排出物質濃縮物の存在を決定すベく、前記化学センサに対して制御された暴露を実行することを含んでなる、請求項1記載の装置。
- 前記制御モジュールは、1以上の異常状態の存在を示すフラッグをメモリに保存するよう構成されている、請求項1に記載の装置。
- 化学検出システムを診断する方法であって、
排出物質源から排出物質を受け取るサンプル採取口を有する蓄積室と、前記蓄積室内に設置されている前記排出物質を検出する化学センサと、検出された前記排出物質を排出する排出口とを有している、排出物質の収集・検出用のサンプル受け取りデバイスを提供し、
前記サンプル受け取りデバイスを制御するよう構成された制御モジュールを提供し、
前記化学検出システムへの排出物質の流れを確認することと、前記化学検出システムへの排出物質を含まない大気の流れを確認することと、前記化学検出システム内で前記化学センサの動作の妥当性を検査することとを含む診断ルーチンを、異常状態が存在するか否かを判定すべく計測シナリオを進行する前に実行するために前記制御モジュールを使用し、
異常状態が存在すれば、前記化学検出システムが計測シナリオを進めるのを防ぐべく前記制御モジュールを使用して、プロセス制御システムと通信して異常状態の報告を行う、方法。 - 前記化学センサの動作の妥当性を検査することは、複数の排出物質濃縮物に対する制御された暴露を通じて前記化学センサから応答データを取得することを含んでなる、請求項6記載の方法。
- 前記化学センサの動作の妥当性を検査することは、前記化学センサから応答データを取得し、該応答データ内のノイズを定量することを含んでなる、請求項6記載の方法。
- 前記化学センサの動作の妥当性を検査することは、前記化学センサを恒久的に変化させることが可能な排出物質濃縮物の存在を決定すベく、前記化学センサに対して制御された暴露を実行することを含んでなる、請求項6記載の方法。
- 前記制御モジュールは、メモリにフラッグが保存されているかどうかを判定することにより、計測シナリオを進める前に異常状態が存在するかどうかを判定する、請求項6に記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/042,979 US6879936B2 (en) | 2002-01-09 | 2002-01-09 | Diagnostic apparatus and methods for a chemical detection system |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003560556A Division JP4323321B2 (ja) | 2002-01-09 | 2002-11-18 | 化学検出システムを診断する装置および方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009109509A true JP2009109509A (ja) | 2009-05-21 |
JP4610649B2 JP4610649B2 (ja) | 2011-01-12 |
Family
ID=21924794
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003560556A Expired - Fee Related JP4323321B2 (ja) | 2002-01-09 | 2002-11-18 | 化学検出システムを診断する装置および方法 |
JP2008322531A Expired - Lifetime JP4610649B2 (ja) | 2002-01-09 | 2008-12-18 | 化学検出システムを診断する装置および方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003560556A Expired - Fee Related JP4323321B2 (ja) | 2002-01-09 | 2002-11-18 | 化学検出システムを診断する装置および方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6879936B2 (ja) |
EP (1) | EP1463938B1 (ja) |
JP (2) | JP4323321B2 (ja) |
CN (1) | CN100373158C (ja) |
AU (1) | AU2002360399A1 (ja) |
BR (1) | BRPI0214965B1 (ja) |
CA (1) | CA2471897C (ja) |
MX (1) | MXPA04006538A (ja) |
WO (1) | WO2003060511A1 (ja) |
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- 2002-11-18 CA CA2471897A patent/CA2471897C/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-18 EP EP02795649A patent/EP1463938B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-18 AU AU2002360399A patent/AU2002360399A1/en not_active Abandoned
- 2002-11-18 JP JP2003560556A patent/JP4323321B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-18 WO PCT/US2002/036924 patent/WO2003060511A1/en active Application Filing
- 2002-11-18 CN CNB028269365A patent/CN100373158C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-18 BR BRPI0214965A patent/BRPI0214965B1/pt active IP Right Grant
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4323321B2 (ja) | 2009-09-02 |
US6879936B2 (en) | 2005-04-12 |
CN100373158C (zh) | 2008-03-05 |
BR0214965A (pt) | 2004-12-28 |
BRPI0214965B1 (pt) | 2016-10-18 |
EP1463938B1 (en) | 2013-01-02 |
CA2471897C (en) | 2012-04-17 |
AU2002360399A1 (en) | 2003-07-30 |
CA2471897A1 (en) | 2003-07-24 |
JP4610649B2 (ja) | 2011-01-12 |
WO2003060511A1 (en) | 2003-07-24 |
JP2005515438A (ja) | 2005-05-26 |
US20030127340A1 (en) | 2003-07-10 |
EP1463938A1 (en) | 2004-10-06 |
CN1613010A (zh) | 2005-05-04 |
MXPA04006538A (es) | 2004-10-04 |
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Legal Events
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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