JP2009107264A - 液滴吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 封止剤の塗布作業を容易かつ確実に行うことができ、且つ圧電ユニットと配線ユニットとの対向する面間の隙間を適切に封止してインク漏れによる電気的ショートを防ぐことができる液滴吐出ヘッドの提供。
【解決手段】 インクジェットヘッド６が備える配線ユニット１２は、基材１２ａにおける圧電ユニット１１との対向面に積層されて開孔７０ａ，７０ｂを通じて給電端子５０を圧電ユニット１１側へ露出させつつ他の部分を覆う絶縁性の被覆層７０を有し、該被覆層７０には、圧電ユニット１１の外周縁に対応する部分が切り欠かれることによって、基材１２ａと圧電ユニット１１との間に、圧電ユニット１１の外周縁に沿って外方へ開口した封止剤導入溝７３が形成されている。
【選択図】 図５

Description

本発明は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドに関する。

インクジェットプリンタ装置を一例とする液体吐出装置として、液滴を吐出するノズル孔までの液体流路を内部に有する流路ユニットと、この液体流路内の液体に吐出圧力を付与することによってノズル孔から液体を吐出させるための圧電ユニットと、該圧電ユニットを駆動すべく信号を出力する配線ユニットとを積層して構成した液滴吐出ヘッドを備えるものがある（例えば、特許文献１参照）。

より具体的に説明すると、特許文献１に開示されているように、この種の液滴吐出ヘッドでは、平面視矩形状を成す複数枚のプレートが積層接着されて成る流路ユニットの上面に、複数の圧電層が積層接着されて成る圧電ユニットが積層され、該圧電ユニットの上面には可撓性帯状の配線ユニットの一端が積層接着されている。また、圧電ユニットの上面には複数の駆動電極が配設され、配線ユニットが有するシート状基材の下面（圧電ユニットの上面との対向面）には、駆動電極に対向配置された複数の給電端子が設けられている。そして、これらの駆動電極と給電端子とがハンダを介して電気的に接続された構成となっている。また、流路ユニットには、インク貯留部であるインクタンクのインク流出口と接続することでインクを流路ユニット内に供給するためのインク流入口を有している。

一方、電極端子間を導電性接着剤を介して電気的に接続する際に、この導電性接着剤が漏出することによって他の電極端子との間でショートしてしまうのを防止すべく、導電性接着剤の流れ防止側溝を形成した発明が従来提案されている（例えば、特許文献２参照）。この特許文献２では、漏出する導電性接着剤を側溝にて捕捉することにより、電気的に絶縁されるべき電極端子間での絶縁状態を確保しようとしている。
特開２００６−４４１９６号公報（特に、図５参照） 特開平１０−３０３５１７号公報

ところで、特許文献１に開示されたような液滴吐出ヘッドでは、インク流出口とインク流入口との接続部分からのインク漏れや、使用者がインクジェットプリンタ装置を落下させたりして、ノズル孔から吐出するインクが圧電ユニットと配線ユニットとの間のわずかの隙間へ浸入する可能性があり、浸入した液体によって予期せぬ電極端子間がショートする可能性があって好ましくない。また、特許文献２に開示された発明では、電極端子間を接続する導電性接着剤の拡散防止を期待できるが、端子間の接続時に導電性接着剤が側溝に充填されてしまうと、後に外部から浸入してきた液体を阻むことができなくなってしまう。

これに対し、圧電ユニットと配線ユニットとの間の隙間の開口部分、即ち、圧電ユニットと配線ユニットの外周縁に沿った隙間（の開口部分）に液状の封止剤を塗布することにより、この隙間（開口部分）を液密的に封止することが行われている。しかしながら、配線ユニットの反りや圧電ユニット表面の凸凹により接続時の隙間の開口部分にバラツキが生じていたり、一般に液状の封止剤は塗布量にばらつきがあったり塗布後の乾燥によって体積が減少するため、開口部分の全てを適切に封止し得ない場合がある。そして、これに対処すべく液状の封止剤による１度目の塗布・乾燥を行った後に、目視で検査し、適切に封止できていない部分に２度目の塗布・乾燥を行うことが必要であったが、このような作業は煩瑣であり、１度の塗布・乾燥によって適切に封止できることが要望されている。

そこで本発明は、封止剤の塗布作業を容易に行うことができ、且つ圧電ユニットと配線ユニットとの隙間の開口部分を適切に封止することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

本発明は上述したような事情を鑑みてなされたものであり、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、一方の面に駆動電極が配設された圧電ユニットと、該圧電ユニットの前記一方の面上に積層されて前記駆動電極と電気的に接続される給電端子が前記圧電ユニットと対向する面に設けられたシート状基材を有する配線ユニットとを備え、前記給電端子から前記駆動電極への駆動信号に基づく前記圧電ユニットの駆動により、該圧電ユニットの他方の面に積層された流路ユニットが有する液体流路内の液体を外部へ吐出する液滴吐出ヘッドであって、前記配線ユニットは、前記基材における前記圧電ユニットとの対向面に積層されて開孔を通じて前記給電端子を前記圧電ユニット側へ露出させつつ他の部分を覆う絶縁性の被覆層を更に有し、該被覆層には、前記圧電ユニットの外周縁に対応する部分が切り欠かれることによって、互いに対向する前記配線ユニットと前記圧電ユニットとの間に、該圧電ユニットの外周縁に沿って外方へ開口した封止剤導入溝が形成されている。

このような構成とすることにより、被覆層において圧電ユニットの外周縁に対応する部分が切り欠かれているため、毛細管現象を利用して封止剤を導入溝へ導入することができ、封止剤導入溝への封止剤の塗布作業が容易となると共に、圧電ユニットと配線ユニットとの隙間を液密的に封止することができる。また、電気的に接続されている駆動電極と給電端子とが、前記外周縁に対応する導入溝において封止剤で封止されていることで、外部からの液体の浸入を適切に防止して、電気的ショートを防ぐことができる。

また、前記圧電ユニットは、前記駆動電極への駆動信号に基づいて駆動する複数の駆動部を備え、前記駆動電極は、前記駆動部に個別に接続された複数の個別駆動電極と、前記駆動部に共通して接続されて複数の前記個別駆動電極の外方に配設された共通駆動電極とを有し、前記配線ユニットが備える前記基材は、その一端側の第１領域が前記圧電ユニットに接続され、他端側の第２領域が前記第１領域から延設された構成となっており、前記給電端子は、前記第１領域に設けられ、且つ前記個別駆動電極に対応する個別給電端子と前記共通駆動電極に対応して前記個別給電端子の外方に配設された共通給電端子とから成り、前記配線ユニットは更に、前記個別給電端子に接続されて前記第２領域へ延設された個別給電配線と、前記共通給電端子に接続されて前記第２領域へ延設された共通給電配線とを有していてもよい。

このような構成とすることにより、液滴吐出ヘッドとして駆動するために適した構成とすることができ、圧電ユニットと配線ユニットとの対向する面間の隙間への液体の浸入を防止し、電気的ショートを防ぐことができる。

また、前記封止剤導入溝は、前記圧電ユニットの外周縁に沿いつつ、前記個別給電端子と前記共通給電端子と前記個別給電配線とが位置する部分を除く領域にて形成されていてもよい。このような構成とすることにより、個別給電端子と共通給電端子と個別給電配線へ、外部から液体が浸入するのを防止することができ、また、液滴吐出不良をおこす電気的ショートを防ぐことができる。

また、前記被覆層は、前記基材側の第１被覆層と前記圧電ユニット側の第２被覆層とが積層されて成り、該第２被覆層において前記圧電ユニットの外周縁の全周に対応する部分が切り欠かれることにより前記封止剤導入溝が形成されていてもよい。このような構成とすることにより、二層構成の被覆層のうち第１被覆層が個別給電配線および共通給電配線を覆っている状態であるので、各配線の露出を防ぐことができ、外部からの液体が浸入して配線とショートするのを防止することができるとともに、第２被覆層に圧電ユニットの外周縁の全周に対応する部分に封止剤導入溝を形成することができるため、四方から封止剤により封止して外部からの液体の浸入をより確実に防止することができる。

また、前記第１被覆層には、前記個別給電端子と前記共通給電端子と前記個別給電配線とが位置する部分を除いて前記圧電ユニットの外周縁に沿う部分に、外方へ開口する切欠部が形成されていてもよい。このような構成とすることにより、二層構成の被覆層のうち第１被覆層が個別給電配線を覆っている状態であるので、外部からの液体が浸入して配線とショートするのを防止することができるとともに、第２被覆層に形成した封止剤導入溝に加えて第１被覆層の切欠部においても封止剤を保持することができるため、圧電ユニットと配線ユニットとの隙間をより確実に封止することができる。

本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、封止剤の塗布作業を容易かつ確実に行うことができ、且つ圧電ユニットと配線ユニットとの対向する面間の隙間を適切に封止してインク漏れによる電気的ショートを防ぐことができる。

以下、本発明の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドについて図面を参照しながら具体的に説明する。

図１は、本実施の形態に係る液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジの断面図であり、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットプリンタヘッドを例示している。なお、図１（ａ）は前記インクジェットヘッドを一側方から見たときの断面図を示しており、図１（ｂ）はこのインクジェットヘッドを図１（ａ）中のA-A線で切断したときの断面図を示している。図１に示すように、このキャリッジ１は、例えば、シアン、マゼンダ、イエロー、及びブラックなどの各色のインク（液体）を、後述の流路ユニット１０へ互いに独立して供給するインクタンク３と、このインクタンク３を収容して保持するホルダケース４と、このホルダケース４の下部に支持フレーム５を介して取り付けられるインクジェットヘッド６とを備えている。また、このインクジェットヘッド６は、複数枚のプレートが積層接着されて内部に液体流路１０ａ（図２参照）を有する流路ユニット１０と、該流路ユニット１０の上面に積層接着される圧電ユニット１１と、該圧電ユニット１１の上面に接続される配線ユニット（チップオンフィルム）１２とを有している。

配線ユニット１２には駆動回路であるドライバＩＣ５１（図３参照）が接続され、ドライバＩＣ５１は、本体側からの印字データをもとに選択的に圧電ユニットを駆動させる駆動信号を出力している。このようなインクジェットヘッド６を備えるキャリッジ１は、公知のインクジェットプリンタ装置と同様に、被記録紙の紙面と平行に移動可能に構成され、移動しつつインクジェットヘッド６からインク液滴を吐出することにより、紙面上に画像を形成することができる。

図２は、図１に示すキャリッジ１が備えるインクジェットヘッド６の拡大断面図であり、図３は、このインクジェットヘッド６を流路ユニット１０と圧電ユニット１１と配線ユニット１２と支持フレーム５とに分解したときの斜視図である。

図２に示すように、インクジェットヘッド６が有する流路ユニット１０は、圧力室プレート２０、第１スペーサプレート２１、絞りプレート２２、第２スペーサプレート２３、第１共通液室プレート２４、第２共通液室プレート２５、ダンパープレート２６、カバープレート２７、及びノズルプレート２８が、この順に上方から配設されてそれぞれ積層接着された構成となっている。

これらのうち、ノズルプレート２８はポリイミド等の樹脂シートで、それ以外の各プレート２１〜２７は４２％ニッケル合金鋼板（４２合金）等の金属板であり、平面視で何れも長方形状を成し、各々５０〜１５０μｍ程度の肉厚を有している。各プレート２０〜２７には、電解エッチング、レーザ加工、又はプラズマジェット加工等により、液体流路（チャンネル）１０ａを構成する開孔又は凹部が形成されている。

流路ユニット１０の最下層のノズルプレート２８には、微小径のインク滴吐出用のノズル孔２８ａが、微小間隔で多数個穿設されていて、ノズル孔２８ａはノズルプレート２８の長辺方向（図３のＸ方向）に沿って延びる列状に配置され、短辺方向（図３のＹ方向）に５列設けられている。また、流路ユニット１０において最上層に位置する圧力室プレート２０には、複数の圧力室３１となる複数の圧力室孔２０ａが、圧力室プレート２０をその厚み方向に貫通して形成され、ノズル孔２８ａに対応してＸ方向に沿って列状に、Ｙ方向に５列設けられている。圧力室孔２０ａは、Ｙ方向に長い平面視細長形状をなし、その長手方向（Ｙ方向）がノズル孔２８ａの列と直交する方向（Ｘ方向）に沿うように配置されている。これら複数の圧力室孔２０ａは、上方から圧電アクチュエータ１１が積層され、下方から第１スペーサプレート２１が積層されることにより、内部空間を有する複数の圧力室３１を形成する。

第１スペーサプレート２１からカバープレート２７のそれぞれには、各圧力室３１の一端部に連通し、各ノズル孔２８ａにまで連通するノズル連通流路３６となる各開口が貫通形成され、また、第１スペーサプレート２１と絞りプレート２２と第２スペーサプレート２３には、共通インク室３５と圧力室３１の他端部とを連通する接続流路３３となる各開口２１ａ、２３ａおよび溝２２ａが形成されている。

また、２枚のマニホールドプレート２４、２５には、圧力室３１が列方向（Ｘ方向）に配置された位置に対応する下方位置にて、その列方向（Ｘ方向）に沿って延設された共通インク室３５となる共通インク室孔２４ａ、２５ａが各マニホールドプレート２４、２５をその厚み方向に貫通して形成され、横列方向（Ｙ方向）に５列設けられている。また、ダンパープレート２６には、共通液室３５との対向面とは反対側の面を凹み形成し、その肉厚を薄肉にさせたダンパ壁２６ａが共通液室３５の形状と対応してＹ方向に５列形成され、第２スペーサプレート２３、２枚のマニホールドプレート２４、２５、ダンパプレート２６、およびカバープレート２７がこの順で積層されることによって、共通液室３５およびダンパスペース２６ｂが形成される。さらにカバープレート２７には、複数のノズル孔２８ａを有するノズルプレート２８が下方から積層接着されている。

これらの各プレート２０〜２８が積層されていることで、連通された開孔や溝が構成され、インクが流通するインク流通路１０ａが構成されている。即ち、インク流通路１０ａは、共通インク室３５から接続流路３３、圧力室３１、ノズル連通流路３６およびノズル２８ａからなる。上記構成により、インクタンク３から流路ユニット１０内に供給されたインクは、共通インク室３５、接続流路３３、圧力室３１、及びノズル連通流路３６を順に通り、ノズル２８ａへと導かれる。

なお、圧力室プレート２０からマニホールドプレート２４、２５までの各プレート２０〜２５には、その各長手方向（Ｘ方向）の一端部に、上下の位置を対応させて、４色のインクに対応する４つのインク供給口３４が穿設されている（図３参照）。インクタンク３からの４色のインクがこのインク供給口３４にそれぞれ独立して供給される。なお、使用頻度の高い黒インクが流入するインク供給口３４は、他より大型に形成されると共に２つの共通液室３５のＸ方向の一端部に連通し、２つのインク流通路１０ａと繋がっている。他のインク供給口３４は、それぞれ互いに独立した１つの共通液室３５のＸ方向の一端部に連通し、残りのインク流通路１０ａと繋がっている。このように流路ユニット１０は、５つのインク流路を有しており、インクジェットヘッド６は、４種のインクを互いに独立して吐出可能に構成されている。

インク供給口３４は、図１にあるように、インクジェットヘッド６が支持プレート５を介してホルダ４に取り付けられたときに、ホルダ４に塔載されているインクタンク３のインク色ごとの各インク流出口３ａおよび支持プレート５の各インク接続口５ｃと連通して接続される。（図１、図３参照）
一方、図２に示すように圧電ユニット１１は、平面視でＸ方向に長い長方形状で、多数枚のＸ方向に長い長方形状の圧電シート４０〜４５と絶縁性を有するトップシート４６とが積層されて構成されている。圧電シート４０〜４５は、夫々の厚みが略３０μｍ程度のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミックス材料から構成されている。

各圧電シート４０〜４５のうち、最下層の圧電シート４０から上方へ数えて偶数番目の圧電シート４１，４３の上面には、各圧力室３１の位置に個別に対応するよう配置された多数の個別電極４７が、圧力室３１が形成する各列に対応するよう５列に印刷形成されている。また、最下層の圧電シート４０から上方へ数えて奇数番目の圧電シート４０，４２，４４の上面には、平面視したときに個別電極４７を列ごとに全てを覆うように配置された共通電極４８が印刷形成されている。そして、個別電極４７及び共通電極４８は、各圧電シート４０〜４５及びトップシート４６の側端面又は図示しないスルーホールに設けた図示しない中継配線を介し、トップシート４６の上面に設けられた駆動電極４９（図３も参照）と電気的に接続されている。共通電極４８は、グランドに接地されている。また、駆動電極４９については後で詳細に説明する。なお、各電極４７、４８および駆動電極４９は、Ａｇ−Ｐｄ系の導電材料でスクリーン印刷されている。
また、圧電ユニット１１は、流路ユニット１０よりもその外形形状が小さく、流路ユニット１０のＸ方向の一端部にあるインク供給口３４を露出させるように配設され、圧電ユニット１１の個別電極４７と流路ユニット１０の圧力室３１とが平面視で対向した位置になるように積層接合されている。

この圧電ユニット１１の上面には、配線ユニット１２の一端部が接合される。配線ユニット１２は可撓性帯状の配線部材であって、圧電ユニット１１上面の駆動電極４９に対応して複数の給電端子５０を有し、該給電端子５０は、配線ユニット１２の他端部に設けられたＩＣチップ５１（図３参照）との間で図示しない導線により電気的に接続されている。また、後述するように給電端子５０にはハンダバンプ５２が付着しており、圧電ユニット１１とその上面に積層された配線ユニット１２とは、バーヒーターなどで加熱加圧させて溶融したハンダバンプ５２を介して給電端子５０と駆動電極４９とが電気的に接続される。

このような構成を成すインクジェットヘッド６は、以下のようにして動作し、ノズル孔２８ａからインク滴を吐出する。即ち、インクタンク３のインク流出口３ａから、支持プレート５のインク接続孔５ｃおよび、インク供給口３４にインクが供給される。インク供給口３４には図示しないフィルタが取り付けられている。インク供給口３４から流路ユニット１０内に供給されたインクは、共通液室３５、絞り通路３３、圧力室３１、及びノズル連通流路３６から成る液体流路１０ａ内に充填されている。この状態でドライバＩＣ５１が印字データに従って選択的に駆動電位を配線ユニット１２から圧電ユニット１１へ付与し、複数の個別電極４７を選択的に所定電位とすると、電位を付与された個別電極４７と共通電極４８との間に電位差が生じ、圧電シート４１〜４４の活性部に電界が作用して積層方向の歪み変形が発生する。ここで活性部とは、各圧電シート４１〜４４において個別電極４７と共通電極４８とに挟まれた部分をいい、実質的には上述したような積層方向の歪み変形が生じる部分をいう。そして、このように活性部が変形すると、対応する圧力室３１内へ圧電シートが突出するため、圧力室３１の内圧が上昇し、内部の液体がノズル通路３６を通じてノズル孔２８ａから外部へ吐出される。

このようなインクジェットヘッド６は、図３に示すように矩形枠状を成す支持フレーム５によってホルダケース４（図１参照）に支持される。より具体的に説明すると、図３に示すように支持フレーム５は、平面視長方形状のプレート部材で、その平面視外形形状は流路ユニット１０よりも大きく、その中央部分に平面視長方形状の開口５ａが貫通形成された枠形状を成している。また、支持フレーム５の長手方向（Ｘ方向）の一端部には、インク接続孔５ｃがＹ方向に沿って４つ貫通形成されていて、インク流出口３ａとインク供給口３４とを連通する。開口５ａは、圧電ユニット１１の平面視外形寸法より若干大きい開口面積を有し、支持フレーム５は、開口５ａ内に配線ユニット１２の一端部が接続された圧電ユニット１１が位置し、且つ配線部材１２の他端部が開口５ａから引き出されるようにして流路ユニット１０の上面１０ａに接着固定される。

この際、支持フレーム５において開口５ａを形成する内周部５ｂと、圧電ユニット１１の外周部１１ａとの間には、流路ユニット１０の上面１０ｂを底面とする空隙路６０が形成される。そして、この空隙路６０には液状封止剤６６（図２参照）が充填され、支持フレーム５と流路ユニット１０、および圧電ユニット１１との接合境界（隙間）を封止している。

そして、このように流路ユニット１０に支持フレーム５が接着固定された状態で、該支持フレーム５はホルダケース４の底部に、接着剤４ａによって取り付けられる（図１（ａ）参照）。この接着剤４ａは、支持フレーム５の外周部の全周にわたって塗布され、流路ユニット１０のノズルプレート２８の下面（ノズル孔２８ａが外部へ向かって開口する側の面）から支持フレーム５の外側を通って圧電ユニット１１へ至る経路は、この接着剤４ａによって閉鎖されるようになっている。

しかしながら、空隙路６０への封止剤導入の工程は、ハンドリング作業であり、封止剤の塗布量や流動性のバラツキ及び空隙路６０が幅狭であることなどから、外周部１１ａを囲う空隙路６０に封止剤を十分に導入するには非常に手間がかかる。また、ノズル孔２８ａから吐出されるインク、又はインクタンク３のインク流出口３ａからインク接続口５ｃ、インク供給口３４へ至る途中や、流路ユニット１０及び圧電ユニット１１と支持フレーム５との接合境界などのいずれか漏出したインクなどが、ハンダ接続されている圧電ユニット１１と配線ユニット１２とのわずかな接続面間の隙間が十分に封止されていなくて、ここへ予期せず浸入する場合がある。このわずかな隙間にインクが浸入すると、給電端子５０間又は駆動電極４９間がショートし、インクジェットヘッド６が所望の液体吐出特性を発揮できなくなる可能性がある。そのため、本実施の形態に係るインクジェットヘッド６では、以下に説明するような構成により、このようなインクが圧電ユニット１１と配線ユニット１２とのわずかな接続空間（隙間）へ浸入するのを防止し、又は浸入したとしても給電端子５０間及び駆動電極４９間をショートすることがないように工夫を施している。以下、このような構成について説明する。

（実施例１）
図４は、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との接続面間の隙間への液体浸入を防止するための構成を示す平面図であり、配線ユニット１２の構成を裏面側（圧電ユニット１１との対向面側）から示している。図５は、図４に示す配線ユニット１２が圧電ユニット１１に積層された状態を図４のV-V線で切断した部分の断面図により示している。

図３に示すように、圧電ユニット１１の上面（図２に示すトップシート４６の上面）には複数の個別駆動電極４９ａと共通駆動電極４９ｂとを成す複数の駆動電極４９が配設されている。個別駆動電極４９ａは、圧力室列に対応するようにＸ方向に列状に、Ｙ方向に５列配列され、共通駆動電極４９ｂは、圧電ユニット１のＸ方向の両端側にＹ方向に沿って帯状に延びて配設されている。圧電ユニット１１側の個別駆動電極４９ａは、個別電極４７（図２参照）との間で、また、共通駆動電極４９ｂは共通電極４８（図２参照）との間でスルーホールを介して電気的に接続されている。

次に、配線ユニット１２の更に詳細な構成について説明する。図４及び図５に示すように、配線ユニット１２は可撓性帯状のシート状基材１２ａ（厚み３８μｍ）を有し、その基材１２ａの裏面側（図４の紙面手前側）に給電端子５０や導線５３をなす導線層を有し、その導線層と基材１２ａを広幅面に略全面覆うようにポリイミドや感光性ソルダレジストなどの被覆層７０が積層されて構成される。シート状基材１２ａは、第１領域１２１を有する一端側が圧電ユニット１１と接合され、第２領域１２２を有する他端側へＹ方向に伸延されていて、第２領域１２２にはドライバＩＣ５１（図３も参照）が実装されている。

導線層には、その第１領域１２１に複数の給電端子５０が配設されていて、この給電端子５０は複数の個別給電端子５０ａと複数の共通給電端子５０ｂとから構成されている。個別給電端子５０ａは、個別駆動電極４９ａに対応した位置に設けられ、Ｘ方向に列状にＹ方向に１０列配列された個別給電端子群５０ｃをなす。また、共通給電端子５０ｂは個別給電端子群５０ｃを両側から挟むようにして幅方向（Ｘ方向）の両端部において、Ｙ方向に沿って適宜距離をおいて複数個形成されている。また、隣接する個別給電端子５０ａ間を通って、各個別給電端子５０ａから第２領域１２２のドライバＩＣ５１までを接続する複数の出力用導線５３ａがＹ方向に引き出されており、第２領域１２２のドライバＩＣ５１からは他端側に設けられた図示しない端子まで接続する入力用導線５３ｂが基材１２ａ上にパターン形成されている。また、配線ユニット１２の幅方向（Ｘ方向）の両端には、Ｙ方向に沿って他端部まで伸びる共通電極用導線５３ｃが第１領域１２１から第２領域１２２にかけて帯状にパターン形成されている。これらの導線層は絶縁性の被覆層７０に覆われ、個別電極端子５０ａは、これに対応する位置で被覆層を部分的に除去して形成した開孔７０ａによりその一部が圧電ユニット１１側へ露出される。また、共通給電端子５０ｂは、配線された帯状の共通電極用導線５３ｃを覆う被覆層７０の一部を除去して形成した開孔７０ｂによりその一部が圧電ユニット１１側へ露出されることで共通電極端子５０ｂを成している。つまり、共通給電端子５０ｂは、共通電極用導線５３ｃそのものである。

これらの個別電極用端子５０ａと共通電極用端子５０ｂとの圧電ユニット１１側への露出部分にハンダバンプを形成する。各電極用端子５０と各駆動用電極４９とを対応して位置合わせさせて、配線ユニット１２と圧電ユニット１１とを積層させ、配線ユニット１２の上面からバーヒータなどで加圧加熱させることで、ハンダを溶融して各電極用端子５０と各駆動用電極４９とを接合させる。

本実施例に係るインクジェットヘッド６の場合、圧電ユニット１１と配線ユニット１２とにおける最外周部分での接続面間の隙間（該隙間は外側へ開口した状態）に液状の封止剤７１が塗布され、該隙間に浸入して硬化することによって隙間を外部から液密的に封止している。本実施例に係る配線ユニット１２には、この封止剤７１が、外側へ開口された最外周部分の隙間に浸入しやすくさせて、開口を確実に封止させるようにしている。

即ち、図４に示すように、シート状基材１２ａの下面を被覆する被覆層７０は、配線ユニット１２が圧電ユニット１１に積層接着されたときに、長方形状の圧電ユニットの最外周部１１ａにおける、配線ユニット１２の他端側が引き出されている側の辺（図４でＹ方向左側）を除く、略３辺に対する周縁部が除去されていて（切欠部７３ａ）、図５にあるように、断面視したときに、該周縁部にあたる共通電極用導線５３ｃまたは基材１２ａが圧電ユニット１１側に露出された状態となっていて、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との接続面間の隙間（空間）が拡張されて外方へ向って開口する封止剤導入溝７３が形成される。

このような封止剤導入溝７３が形成されていることにより、液状の封止剤７１が塗布されると、切欠部７３ａにおいて、封止剤７１が浸入する空間が広くなっているため、封止剤７１がより浸入しやすくなっていて、封止剤導入溝７３に沿って液状の封止剤７１を塗布する作業が容易になる。即ち、圧電ユニット１１と配線ユニット１２は、バーヒーターに加圧加熱されて接合されているため、一般に接合面間の距離（隙間）は極めて狭いため、この狭い隙間に封止剤７１を確実に塗布して封止するのは困難であるが、上記切欠部７３ａによって隙間の入口部分（即ち、封止剤導入溝７３）が若干広くなるため、封止剤７１の塗布作業が容易になる。また、塗布された封止剤７１は、毛細管現象によって封止剤導入溝７３に沿って導入されるため、塗布作業は容易で、封止効果も向上する。

なお、図４に示すように切欠部７３ａが、配線ユニット１１の他端側が引き出されている側の辺（図４でＹ方向左側）を除く、略３辺に対する周縁部に形成されるのは、前記他端側の辺には、圧電ユニット１１を駆動させるための信号を出力させる個別電極用導線５３ａが複数配線されているためで、導線５３ａが露出するのを防止し、また、個別給電端子５０ａ及び共通給電端子５０ｂが配設されている位置にも形成されないようにしている。これは封止剤により電気的短絡や不良、機械的接続不良を防止するためである。なお、図５では共通電極用導線５３ｃの一部分を切り欠き部が露出させている状態であるが、共通電極用導線５３ｃはグランドに接地されているので、電気的影響をうけることがない。そのため、図４に示すように共通電極用導線５３ｃが幅広に形成されている位置においては、切欠部７３ｃをもうけることができ、より封止剤の塗布領域を広くしている。

シート状基材１２ａの下面には、個別給電端子５０ａと電極板５０ｄと導線５３とが配設された状態で、これら全てを覆うようにして被覆層７０が積層され、個別給電端子５０ａと共通給電端子５０ｂとに対応する部分にフォトレジスト、エッチング又はレーザ等の公知の手段によって開口７０ａ，７０ｂを形成するときに、被覆層７０における最外周縁部７０ｃ（図５にて破線で示す部分）も除去して切欠部７３ａを形成する
なお、切欠部７３ａは、被覆層７０を除去し、共通電極用導線５３ｃおよび基材１２ａを露出させてなるが、加工可能であれば、圧電アクチュエータ１１側に開口した凹部に形成してもよい。凹部であれば、個別電極導線５３ａが引き出されている領域を露出させることがないため、圧電ユニット１１の外形４辺に対向する全周縁部に切欠部が形成することができ、封止剤が導入させることができ、４方からのインクの浸入を防ぐことができる。

（実施例２）
図６は、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との隙間への液体浸入を防止するための他の構成を示す平面図であり、配線ユニット１２の構成を裏面側（圧電ユニット１１との対向面側）から示している。図７は、図６に示す配線ユニット１２が圧電ユニット１１に積層された状態を部分断面図により示している。

本実施例に係る配線ユニット１２は、シート状基材１２ａの下面を被覆する被覆層７０が、第１被覆層７５及び第２被覆材７６の二層構造になっている点、及び封止剤導入溝７３が個別給電端子５０ａ及び共通給電端子５０ｂを取り囲む全周にわたって延設されている点で、実施例１に係る配線ユニット１２と異なっている。従って、以下ではこれらの点について詳細に説明することとし、その他の構成については既に説明したものと同様であるため、対応する部分に同一符号を付してその説明は省略する。

図６及び図７に示すように、被覆層７０は、導電層を覆い、シート状基材１２ａの広幅面の略全面を覆うように積層接着された第１被覆層７５と、圧電ユニット１１の外形形状とほぼ同じ面積を有して第１被覆層７５に積層接着された第２被覆層７６とから構成されている。これらの第１被覆層７５と第２被覆層７６とには、何れも個別給電端子５０ａを露出させる開孔７０ａと共通給電端子５０ｂを露出させる開孔７０ｂとがそれぞれの層に形成されている。封止剤導入溝７３を形成する切欠部７７は、個別給電端子５０ａおよび共通給電端子５０ｂを内方に位置させるにようにして、第２被覆層７６の圧電ユニット１１側の面であって圧電ユニット１１の最外周縁部の全周（圧電ユニット１１の４辺）に対応する矩形状に形成されている。図７に示すように、第１被覆層７５には切欠部７７を形成しないので、図７の断面視で前記最外周縁部に沿う全周にあたる第１被覆層７５が圧電ユニット１１側に露出された状態になっている。配線ユニット１１の引き出された側の部分において導線５３ａが配設されている領域は第１被覆層７５が覆っているため、圧電ユニット１１の４辺に対応して第２被膜層７５に切欠部７７を設けることができる。

このような本実施例に係るインクジェットヘッド６によれば、個別給電端子５０ａ及び共通給電端子５０ｂを取り囲む全周にわたって封止剤導入溝７３が形成できるため、これらの端子５０ａ，５０ｂを全周囲から封止剤７１によって封止することができる。従って、液体の浸入をより効果的に防止することができる。なお、本実施例に係る構成においても、実施例１にて説明したものと同様の作用効果を奏することができることは言うまでもない。また、切欠部７７が実施例１と同様に凹部とされていてもよい。

（実施例３）
図８は、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との隙間への液体浸入を防止するための他の構成を示す平面図であり、配線ユニット１２の構成を裏面側（圧電ユニット１１との対向面側）から示している。図９は、図８に示す配線ユニット１２が圧電ユニット１１に積層された状態を部分断面図により示している。本実施例に係る配線ユニット１２は、実施例１に係る構成と実施例２に係る構成とを組み合わせたような構成を備えている。

即ち、図８及び図９に示すように配線ユニット１２は、第１被覆層７５及び第２被覆層７６から成る二層構造の被覆層７０を備えている。そして、第２被覆層７６には、実施例２におけるのと同様に個別給電端子５０ａ及び共通給電端子５０ｂを取り囲む全周にわたって延設された切欠部７７が形成されている一方、第１被覆層７５には、実施例１におけるのと同様に、導線５３ａが配設されている位置に対応する部分を除いて、個別給電端子５０ａ及び共通給電端子５０ｂを外方から取り囲むように切欠部７３ａが形成されている。また、平面視したときに、第１被覆層７５の切欠部７３ａは、第２被覆層７６の切欠部７７と重複して形成されており、その重複部分ではシート状基材１２ａが圧電ユニット１１側へ露出している。

このような本実施例に係るインクジェットヘッド６によれば、実施例１，２に係る構成によるものと同様の作用効果を奏し、個別給電端子５０ａ及び共通給電端子５０ｂをこれらの全周囲にわたって液密的に封止して、液体の浸入を効果的に防止することができると共に、第１被覆層７５及び第２被覆層７６の両方に切欠部７３ａ，７７を設けているので、封止剤導入溝７３の外方への開口面積が大きくなり、封止剤７１の塗布作業がより容易になる。なお、切欠部７３ａは実施例１にて言及したのと同様に凹部に形成されてあってもよい。

以上の実施例１〜３においては、配線ユニット１１と圧電ユニット１２との接続面間の隙間に封止剤７０を塗布させている例を記載しているが、前述したようにインクジェットヘッド６は、支持フレーム５に取り付けられ、開口５ａの内周部５ｂと、圧電ユニット１１の外周部１１ａとの間に形成される略矩形状の空隙路６０内に液状封止剤６６が充填される（図２参照）。この際に、インクジェットヘッド６が実施例１〜３のような構成であることで、空隙路６０内に充填された液状封止剤６６が、前記封止剤導入溝７３に導入されやすくなり、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との接続面間の隙間を封止しやすくし、予期せぬインクの浸入を防ぐことができる。

（実施例４）
本実施例に係るインクジェットヘッド６では、上述した実施例１〜３のものとは異なり、外部から浸入してきたインクを、個別給電端子５０ｂに至る前に捕捉しようとするものであり、そのためのトラップ溝８０が備えられている。このような構成について図１０及び図１１を参照しつつ説明する。

図１０は、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との接続面間の隙間に浸入したインクを捕捉するための構成を示す平面図であり、配線ユニット１２の構成を裏面側（圧電ユニット１１との対向面側）から示している。図１１は、図１０に示す配線ユニット１２が圧電ユニット１１に積層された状態を部分断面図により示している。

図１０及び図１１に示すように、この配線ユニット１２は、実施例１のものと同様に個別給電端子群５０ｃを両側から挟むようにして共通給電端子５０ｂが配設されており、シート状基材１２ａの下面には１層構造の被覆層７０が積層されている。そして、この被覆層７０には、圧電ユニット１１の最外周部よりも内側（個別給電電子群５０ｃ側）に入った位置において、個別給電端子群５０ｃを囲むようにした略コの字形状のトラップ溝８０が、下方へ（即ち、圧電ユニット１１側へ）開口して形成されている。詳細には、配線ユニット１２の一端側の辺（図１０での右側）より内側にＸ方向に直線状に延び、その両端が個別給電端子群５０ｃと共通電極端子５０ｂとの間を通ってＹ方向に延びた略コの字形状となっている。トラップ溝８０は、被覆層７０において個別電極用導線５３ａが配設された位置に対応する部分には形成しておらず、導線５３ａの外部への露出を防止している。

このような本実施例に係るインクジェットヘッド６によれば、図１１に示すように圧電ユニット１１と配線ユニット１２との接続面間の隙間にインクが浸入したとしても、このインクをトラップ溝８０にて捕捉し、個別給電端子５０ａ（及び個別駆動電極４９ａ）へ至る前に阻止することができる。

なお、共通駆動電極４９ｂ及び共通給電端子４９ａは、その機能上、インクと接触してもショート等の問題が生じない。そして、本実施例に係る構成では、トラップ溝８０を共通給電端子４９ｂよりも内方（即ち、個別給電端子４９ａに近い位置）に配設している。このような構成とすることにより、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との隙間から内方へ浸入する液体のうち、トラップ溝８０へ到達する液体量を低減することができる。従って、より少なくなった液体は、トラップ溝８０にて確実に捕捉することができる。

また、圧電ユニット１１の最外周部よりも内側（個別給電端子群５０ｃ側）に入った位置に、最外周縁に沿った略コの字形状のトラップ溝８０が形成されているだけでも、トラップ溝８０にてインクを捕捉し、個別給電端子群５０ｃへのインク浸入防止ができることができる。また、トラップ溝８０が、実施例１の切欠部７３ｃについて言及したのと同様に凹部に形成されてあってもよい。

（実施例５）
図１２は、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との接続面間の隙間へ浸入した液体を捕捉するための他の構成を示す平面図であり、配線ユニット１２の構成を裏面側（圧電ユニット１１との対向面側）から示している。図１３は、図１２に示す配線ユニット１２が圧電ユニット１１に積層された状態を部分断面図により示している。

本実施例に係る配線ユニット１２は、シート状基材１２ａの下面を被覆する被覆層７０が、第１被覆層７５及び第２被覆材７６の二層構造になっている点、及びトラップ溝８０が個別給電端子群５０ｃを取り囲む全周にわたって延設されている点で、実施例４に係る配線ユニット１２と異なっている。従って、以下ではこれらの点について詳細に説明することとし、その他の構成については既に説明したものと同様であるため、対応する部分に同一符号を付してその説明は省略する。

図１２及び図１３に示すように、被覆層７０は、実施例２に係る構成と同様の第１被覆層７５とこれに積層接着された第２被覆層７６とから構成されている。これらの第１被覆層７５と第２被覆層７６とには、何れも個別給電端子５０ａを露出させる開孔７０ａと共通給電端子５０ｂを露出させる開孔７０ｂとが形成されている。一方で、個別給電端子群５０ｃを取り囲む位置については、第２被覆層７６についてのみ切り欠かれたトラップ溝８０が形成され、第１被覆層７５には切り欠きは形成されていない。

そして、この第２被覆層７６に形成されたトラップ溝８０は、共通給電端子５０ｂと個別給電端子群５０ｃとの間を通り、該個別給電端子群５０ｃを全周にわたって取り囲む略矩形状に形成されている。従って、導線５３ａが配設されている部分に対応する第２被覆層７６の部分にもトラップ溝８０が形成されているが、このトラップ溝８０の底部には第１被覆層７５が導線５３ａを覆って設けられているため、導線５３ａが外部に露出することはない。

このような配線ユニット１２を備えるインクジェットヘッド６によれば、実施例４に係る構成の場合と同様に、外部から浸入してきたインクをトラップ溝８０にて４方から捕捉することができると共に、該トラップ溝８０が個別給電端子群５０ｃを全周から取り囲むようにして設けられているため、何れの方向からのインクの浸入をも防止することができる。また、トラップ溝８０が実施例１の切欠部７３ａについて言及したように凹部に形成されてあってもよい。また、本実施例の第２被覆層７６と実施例４の被覆層７０とを組み合わせ、両者のトラップ溝８０，８０が一致（連通）するように積層した構成としてもよい。この場合、トラップ溝８０，８０の位置が積層方向に重なることで、トラップ溝のインク捕捉空間が広くなり、捕捉効果が向上する。

（実施例６）
図１４は、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との隙間へ浸入した液体を捕捉するための他の構成を示す平面図であり、配線ユニット１２の構成を裏面側（圧電ユニット１１との対向面側）から示している。本実施例に係る配線ユニット１２は、実施例５に係る配線ユニット１２に対し、個別給電端子群５０ｃ内を通る別のトラップ溝８１を更に設けた構成となっており、その他の構成については図１２及び図１３を用いて既に説明したものと同様である。

このトラップ溝８１は、個別給電端子群５０ｃを構成する複数の個別給電端子５０ａを各インク色ごとのインクチャンネル（ノズル列）ごとに仕切ってＸ方向に直線状に延設されている。また、その両端は、個別給電端子群５０ｃを外方から取り囲むトラップ溝８０に接続されており、トラップ溝８０，８１は互いに連通している。

このような配線ユニット１２を備える液体吐出ヘッド６によれば、仮に個別給電端子群５０ｃより内方へ液体が浸入した場合であっても、インクチャンネルごとにインクをトラップ溝８１によって捕捉することが可能である。つまり、同じインク色を吐出するインクチャンネル（ノズル列）ごとにトラップ溝８０が仕切られているため、個別給電端子群５０ｃの領域内にインクが浸入した場合であっても、ショートを起こす可能性がある端子が同じインク色を吐出するインクチャンネル内のみでおこり、他のインク色を吐出するインクチャンネルまで影響を与えることを避けることができる。例えば、個別給電端子群５０１ｃと個別給電端子群５０２ｃとでは、吐出させるインク色が異なるインクチャンネルに対応していて、インクが浸入して個別給電端子５０１ｃと５０２ｃとがショートを起こすと、2色のインクを吐出するインクチャンネルで吐出障害が起きてしまうが、このような障害を防止することができる。また、好ましくは、各個別給電端子５０の一つ一つを仕切る格子状にトラップ溝８０が形成されるのがよい。

また、トラップ溝８０にトラップ溝８１が連通しているため、個別給電端子群５０ｃを取り囲むトラップ溝８０にて捕捉された液体は、毛細管現象によってトラップ溝８１へも拡散され得る。このため、実質的にトラップ溝８１の容量分だけトラップ溝８０の容量が増加したのと同等であり、外部から浸入する液体をより多く捕捉することができる。

なお、トラップ溝８０とトラップ溝８１とは必ずしも連通させる必要はない。また、図１４ではトラップ溝８１として３本を備えた構成を示しているが、トラップ溝８０の実質的な容量増加という点では、より多くのトラップ溝８１を備えた方がよい。

さらに実施例１のように一層被覆層構成であった場合も、被覆層に凹み形成が可能であれば、インクチャンネルごとにトラップ溝を凹み形成させておくだけでも同じ効果が得られる。

以上の実施例４〜６のような構成のインクジェットヘッド６を、支持フレーム５に取り付けられ、開口５ａの内周部５ｂと、圧電ユニット１１の外周部１１ａとの間に形成される略矩形状の空隙路６０内に液状封止剤６６（図２参照）が充填された際に、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との接続面間の隙間に十分に封止剤が封止されていなかった場合でも、予期せぬインクの浸入を防ぐことができる。

（実施例７）
図１５は、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との隙間へ浸入した液体を捕捉するための他の構成を示す平面図であり、配線ユニット１２の構成を裏面側（圧電ユニット１１との対向面側）から示している。本実施例に係る配線ユニット１２は、実施例１にて説明した封止剤導入溝７３を形成する切欠部７３ａを備える構成（図４参照）と、実施例４にて説明したトラップ溝８０を備える構成（図１０参照）とを組み合わせた構成となっている。

即ち、配線ユニット１２が有する被覆層７０において、圧電ユニット１１の最外周縁部に対応する部分には、個別給電端子５０ａ及び共通給電端子５０ｂを外方から取り囲むようにして切欠部７３ａが形成されており、この切欠部７３ａは、配線ユニット１２と圧電ユニット１１とが積層されると、図５に示されたものと同様に外方へ向かって開口する封止剤導入溝７３を形成する。また、共通給電端子５０ｂと個別給電端子群５０ｃとの間を通り、且つ個別給電端子群５０ｃを外方から取り囲むようにして、被覆層７０にはトラップ溝８０が形成されている。その他の構成については、既に説明したものと同様であるため、対応する構成に同一符号を付すことによりその詳細な説明は省略する。

このような構成とすることにより、実施例１及び実施例４の各構成と同様の作用効果を奏することができる。即ち、切欠部７３ａによって形成される封止剤導入溝７３への封止剤７１の塗布が容易に行うことができ、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との隙間へ液体が浸入するのを防止することができる。またこれに加え、仮にこの隙間に液体が浸入した場合であっても、浸入した液体をトラップ溝８０にて捕捉することができるため、液体によって個別給電端子５０ａがショートするのを防止することができる。

なお、本実施例では、上述した実施例１と実施例４との組み合わせについて説明したが、実施例１〜３のうちの任意の１つと、実施例４〜６のうちの任意の１つとを組み合わせることも可能である。

また、以上の実施例７のような構成のインクジェットヘッド６は、支持フレーム５に取り付けられて開口５ａの内周部５ｂと圧電ユニット１１の外周部１１ａとの間に形成される略矩形状の空隙路６０内に液状封止剤６６（図２参照）が充填されると、空隙路６０内に充填された液状封止剤６６が前記封止剤導入溝７３に導入されやすくなり、圧電ユニット１１と配線ユニット１２との接続面間の隙間を封止しやすくし、予期せぬインクの浸入を防ぐことができる。さらに、万が一に圧電ユニット１１と配線ユニット１２との接続面間の隙間に十分に封止剤が封止されていなかった場合でも、予期せぬインクの浸入を防ぐことができる。

本発明は、封止剤の塗布作業を容易に行うことができ、且つ圧電ユニットと配線ユニットとの隙間の開口部分を適切に封止することができる液滴吐出ヘッドに適用することができる。

インクジェットプリンタヘッドを一例とする本実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを備えるキャリッジの断面図である。 図１に示すキャリッジが備えるインクジェットヘッドの拡大断面図である インクジェットヘッドを流路ユニットと圧電ユニットと配線ユニットと熱伝導性プレート材と支持フレームとに分解してときの斜視図である。 圧電ユニットと配線ユニットとの隙間への液体浸入を防止するための構成を示す平面図であり、配線ユニットの構成を裏面側（圧電ユニットとの対向面側）から示している。 図４に示す配線ユニットが圧電ユニットに積層された状態を部分断面図により示している。 圧電ユニットと配線ユニットとの隙間への液体浸入を防止するための他の構成を示す平面図であり、配線ユニットの構成を裏面側から示している。 図６に示す配線ユニットが圧電ユニットに積層された状態を部分断面図により示している。 圧電ユニットと配線ユニットとの隙間への液体浸入を防止するための他の構成を示す平面図であり、配線ユニットの構成を裏面側から示している。 図８に示す配線ユニットが圧電ユニットに積層された状態を部分断面図により示している。 圧電ユニットと配線ユニットとの隙間へ浸入した液体を捕捉するための構成を示す平面図であり、配線ユニットの構成を裏面側から示している。 図１０に示す配線ユニットが圧電ユニットに積層された状態を部分断面図により示している。 圧電ユニットと配線ユニットとの隙間へ浸入した液体を捕捉するための他の構成を示す平面図であり、配線ユニットの構成を裏面側から示している。 図１２に示す配線ユニットが圧電ユニットに積層された状態を部分断面図により示している。 圧電ユニットと配線ユニットとの隙間へ浸入した液体を捕捉するための他の構成を示す平面図であり、配線ユニットの構成を裏面側から示している。 圧電ユニットと配線ユニットとの隙間へ浸入した液体を捕捉するための他の構成を示す平面図であり、配線ユニットの構成を裏面側から示している。

符号の説明

６ インクジェットヘッド
１１ 圧電ユニット
１２ 配線ユニット
１２ａ 基材シート
４９ 駆動電極
４９ａ 個別駆動電極
４９ｂ 共通駆動電極
５０ 給電端子（ランド）
５０ａ 個別給電端子
５０ｂ 共通給電端子
５０ｃ 個別給電端子群
５３ 導線（個別給電配線，共通給電配線）
７０ 被覆層
７１ 封止剤
７３ 封止剤導入溝
７３ａ，７７ 切欠部
７５ 第１被覆層
７６ 第２被覆層
８０，８１ トラップ溝
１２１ 第１領域
１２２ 第２領域

Claims (5)

1. 一方の面に駆動電極が配設された圧電ユニットと、該圧電ユニットの前記一方の面上に積層されて前記駆動電極と電気的に接続される給電端子が前記圧電ユニットと対向する面に設けられたシート状基材を有する配線ユニットとを備え、前記給電端子から前記駆動電極への駆動信号に基づく前記圧電ユニットの駆動により、該圧電ユニットの他方の面に積層された流路ユニットが有する液体流路内の液体を外部へ吐出する液滴吐出ヘッドであって、
   前記配線ユニットは、前記基材における前記圧電ユニットとの対向面に積層されて開孔を通じて前記給電端子を前記圧電ユニット側へ露出させつつ他の部分を覆う絶縁性の被覆層を更に有し、
   該被覆層には、前記圧電ユニットの外周縁に対応する部分が切り欠かれることによって、互いに対向する前記配線ユニットと前記圧電ユニットとの間に、該圧電ユニットの外周縁に沿って外方へ開口した封止剤導入溝が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 前記圧電ユニットは、前記駆動電極への駆動信号に基づいて駆動する複数の駆動部を備え、前記駆動電極は、前記駆動部に個別に接続された複数の個別駆動電極と、前記駆動部に共通して接続されて複数の前記個別駆動電極の外方に配設された共通駆動電極とを有し、
   前記配線ユニットが備える前記基材は、その一端側の第１領域が前記圧電ユニットに接続され、他端側の第２領域が前記第１領域から延設された構成となっており、前記給電端子は、前記第１領域に設けられ、且つ前記個別駆動電極に対応する個別給電端子と前記共通駆動電極に対応して前記個別給電端子の外方に配設された共通給電端子とから成り、
   前記配線ユニットは更に、前記個別給電端子に接続されて前記第２領域へ延設された個別給電配線と、前記共通給電端子に接続されて前記第２領域へ延設された共通給電配線とを有していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
3. 前記封止剤導入溝は、前記圧電ユニットの外周縁に沿いつつ、前記個別給電端子と前記共通給電端子と前記個別給電配線とが位置する部分を除く領域にて形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド。
4. 前記被覆層は、前記基材側の第１被覆層と前記圧電ユニット側の第２被覆層とが積層されて成り、該第２被覆層において前記圧電ユニットの外周縁の全周に対応する部分が切り欠かれることにより前記封止剤導入溝が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド。
5. 前記第１被覆層には、前記個別給電端子と前記共通給電端子と前記個別給電配線とが位置する部分を除いて前記圧電ユニットの外周縁に沿う部分に、外方へ開口する切欠部が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッド。

Images