JP2009105190A - Manufacturing apparatus of electrode foil for electrolytic capacitor - Google Patents

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Takuya Yamashita
卓哉 山下
Ryoichi Shimatani
涼一 島谷
Yoshihiro Watanabe
善博 渡辺
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing apparatus of electrode foil for electrolytic capacitors that suppresses excessive etching and has high electrostatic capacity per unit area. <P>SOLUTION: The manufacturing apparatus of electrode foil for electrolytic capacitors allows a strip of aluminum foil to run between electrodes in an etching tank filled with an etching liquid and etches the aluminum foil by applying voltage between the electrodes. In the manufacturing apparatus of electrode foil for electrolytic capacitors, a circulation pipe is arranged for circulating the etching liquid to the plurality of etching tanks and a minute bubble generator for mixing minute bubbles into the etching liquid is interposed at one portion of the circulation pipe. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は各種電子機器に使用される電解コンデンサの電極箔を製造する際に使用される電解コンデンサ用電極箔の製造装置に関するものである。   The present invention relates to an apparatus for producing an electrode foil for an electrolytic capacitor used when producing an electrode foil for an electrolytic capacitor used in various electronic devices.

電解コンデンサは、近年の電子機器の小型化に伴ってますますサイズの小さいものが求められている。電解コンデンサを小型化するためには、これに使用するアルミニウム箔の単位面積当たりの静電容量を大きくすることが必要であり、またこのような構成とすることで、省資源・原材料コストの低減も図れることとなる。   Electrolytic capacitors are required to be smaller in size with the recent miniaturization of electronic devices. In order to reduce the size of the electrolytic capacitor, it is necessary to increase the capacitance per unit area of the aluminum foil used for this, and with this configuration, it is possible to save resources and reduce raw material costs. It will be possible.

前記アルミニウム箔の単位面積当たりの静電容量を大きくするために、アルミニウム箔を酸性水溶液に浸漬させて、化学的または電気的にエッチング処理を行うことにより、アルミニウム箔の表面を粗面化させて表面積を拡大する方法が用いられている。   In order to increase the capacitance per unit area of the aluminum foil, the surface of the aluminum foil is roughened by immersing the aluminum foil in an acidic aqueous solution and chemically or electrically etching it. A method of expanding the surface area is used.

このようなエッチング処理を行うと、一般にアルミニウム箔の表面積が拡大して静電容量は大きくなるが、エッチングが進むにつれてアルミニウム箔自体の機械的強度は弱くなる。したがって、印加する電圧などを調整することにより形成するエッチングピットの発生場所と形状とをコントロールして、箔強度を保ちながら表面積の拡大を図ることが必要となる。   When such an etching process is performed, the surface area of the aluminum foil generally increases and the capacitance increases, but the mechanical strength of the aluminum foil itself decreases as the etching proceeds. Therefore, it is necessary to increase the surface area while maintaining the foil strength by controlling the location and shape of the etching pits to be formed by adjusting the voltage to be applied.

特に、低圧用の電解コンデンサ用電極箔の製造においては、微細なエッチングピットを形成するために、電極間に交流電圧を印加してエッチング処理を行う方法が一般的に行われている。   In particular, in the production of a low-voltage electrolytic capacitor electrode foil, a method of performing an etching process by applying an AC voltage between the electrodes is generally performed in order to form fine etching pits.

図3は、従来の低圧用の電解コンデンサ用電極箔のエッチングするためのエッチング槽の断面を示したものである。エッチング槽32には、塩酸を主成分とする酸性水溶液のエッチング液33が充填されており、また、アルミニウム箔31をエッチング処理するための一対の電極板34a,34bが配置されている。この一対の電極板34a,34bには交流電源37から電圧が印加される。   FIG. 3 shows a cross section of an etching tank for etching a conventional low-voltage electrolytic capacitor electrode foil. The etching tank 32 is filled with an etching solution 33 of an acidic aqueous solution mainly composed of hydrochloric acid, and a pair of electrode plates 34 a and 34 b for etching the aluminum foil 31 are disposed. A voltage is applied from the AC power source 37 to the pair of electrode plates 34a and 34b.

また、エッチング槽32の外周にエッチング液33を循環させるための循環ホースとポンプ38が配置されている。   Further, a circulation hose and a pump 38 for circulating the etching solution 33 around the outer periphery of the etching tank 32 are arranged.

アルミニウム箔31は矢印A方向へと進み、入口ローラ35aを介してエッチング槽32の中に搬送され、槽内ローラ36を介して一対の電極板34a,34bの間を通過することによりエッチング処理が施される。エッチング処理されたアルミニウム箔31は出口ローラ35bを介して水洗槽39で一旦水洗され、次のエッチング槽(図示せず)へと進むようになっている。   The aluminum foil 31 advances in the direction of the arrow A, is conveyed into the etching tank 32 via the inlet roller 35a, and passes through between the pair of electrode plates 34a and 34b via the inner roller 36 so that the etching process is performed. Applied. The etched aluminum foil 31 is once washed in the washing tank 39 via the outlet roller 35b, and proceeds to the next etching tank (not shown).

このエッチング処理が施されると、アルミニウム箔31には表面からその内部に向けてクラスタ状につながった立方体の微細なピットが多数形成されていき、エッチング槽32を複数槽設けることにより、最終的にはスポンジ状のポーラス構造となる。このときアルミニウム箔31の中心部に芯を残すことにより、機械的強度を確保している。このピットは、密度が高く均一であり、さらにピット径の偏差が小さいことなどが理想的である。   When this etching process is performed, a large number of fine cubic pits connected in a cluster form from the surface toward the inside of the aluminum foil 31 are formed. Has a sponge-like porous structure. At this time, the mechanical strength is ensured by leaving the core in the center of the aluminum foil 31. Ideally, the pits should have a high density and uniformity, and a small deviation in pit diameter.

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2000−30979号公報
As prior art document information related to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
JP 2000-30979 A

前記従来のエッチング方法では、始めのうちはピット先端部におけるアルミニウムイオンの錯イオン形成により、ピット先端部の水素イオンが濃縮してアルミニウムが溶解しやすい状態になっているために、エッチング減量に応じてピットが深さ方向に形成されて表面積は拡大していく。   In the conventional etching method, since aluminum ions are concentrated at the beginning due to the formation of complex ions of aluminum ions at the pit tip, the aluminum is easily dissolved, so that the amount of etching can be reduced. As the pits are formed in the depth direction, the surface area increases.

しかしながら、エッチングの進行に伴いピット内部のアルミニウムイオンの濃度が、箔の内部から表面方向に向かう拡散に律速して増大して反応抵抗が逆に大きくなり、また、このアルミニウムイオンが増大するとアルミニウム錯体を生成してピット内部を塞いでしまうので、次第に深さ方向へピットが形成しにくくなる。   However, as the etching progresses, the concentration of aluminum ions inside the pits increases in a rate-dependent manner toward diffusion from the inside of the foil toward the surface, and the reaction resistance increases conversely. And the inside of the pit is blocked, so that it becomes difficult to form the pit gradually in the depth direction.

そのため、アルミニウム箔の表面積が拡大するに伴って次第に表面付近が過剰にエッチングされ、すでに形成されたポーラス構造が破壊されていき、エッチング減量当たりの容量がダウンするという課題があった。   Therefore, as the surface area of the aluminum foil is increased, the vicinity of the surface is gradually excessively etched, the porous structure already formed is destroyed, and the capacity per etching loss is reduced.

この問題を解決するために、エッチングの進行に伴って印加する電圧を調節するなどの方法がとられているが、エッチング液の水素イオン濃度は十分に制御されておらず、理想的な状態に設定がなされていなかった。   In order to solve this problem, methods such as adjusting the voltage to be applied as the etching progresses have been taken, but the hydrogen ion concentration of the etching solution has not been sufficiently controlled, and it has become an ideal state. The setting was not made.

また、このような問題を解決する方法の一つとして、前記エッチング液33に添加剤を配合して過剰なエッチングを抑制する方法が提案されている。添加剤としては、エッチング液33にあらかじめ含有されている塩酸以外の酸、例えば硫酸などが用いられ、添加剤として加えた酸の解離により発生した陰イオンにより、アルミニウム箔31の表面に被膜を形成してエッチングされにくい状態を作り出し、エッチング過剰を抑えるものである。   Further, as one method for solving such a problem, a method for suppressing excessive etching by adding an additive to the etching solution 33 has been proposed. As an additive, an acid other than hydrochloric acid previously contained in the etching solution 33, for example, sulfuric acid, is used, and a film is formed on the surface of the aluminum foil 31 by anions generated by dissociation of the acid added as the additive. Thus, it is difficult to etch and suppresses excessive etching.

しかしながら、エッチング液33には予め塩酸が含まれているため、このエッチング液33の水素イオン濃度が高い場合には、添加剤として加えた酸が解離しにくくなり、その効果が発揮されにくくなるという問題があった。また、水素イオン濃度の低い酸性水溶液では、添加剤の効果は現れやすくなるものの、エッチング倍率を上げることが難しくなり、表面積を拡大させて静電容量を大きくすることができなくなるという問題があった。   However, since the etching solution 33 contains hydrochloric acid in advance, when the hydrogen ion concentration of the etching solution 33 is high, the acid added as an additive is not easily dissociated, and the effect is hardly exhibited. There was a problem. In addition, in an acidic aqueous solution with a low hydrogen ion concentration, the effect of the additive tends to appear, but it is difficult to increase the etching magnification, and there is a problem that the capacitance cannot be increased by increasing the surface area. .

前述のように、従来のアルミニウム箔31のエッチング方法では、印加する電圧などを制御してピットの形成位置などを調整したり、エッチング液33に添加剤を加えることによりエッチング状態を調整しているが、水素イオン濃度とエッチングの深さ方向への進行の関係、さらに水素イオン濃度と添加剤のパッシベーション性の関係について考慮した設定が行われていなかった。従って、アルミニウム箔31の表面付近の過剰なエッチングを抑制してポーラス構造の破壊を防ぎ、しかも単位面積当たりの静電容量の高い電解コンデンサ用アルミニウム電極箔を製造することができなかった。   As described above, in the conventional etching method of the aluminum foil 31, the etching state is adjusted by adjusting the applied voltage or the like to adjust the formation position of the pits or adding an additive to the etching solution 33. However, no setting has been made in consideration of the relationship between the hydrogen ion concentration and the progress of etching in the depth direction, and the relationship between the hydrogen ion concentration and the passivation property of the additive. Therefore, excessive etching near the surface of the aluminum foil 31 is suppressed to prevent the porous structure from being destroyed, and an aluminum electrode foil for an electrolytic capacitor having a high capacitance per unit area cannot be manufactured.

本発明は前記問題点を解決し、単位面積当たりの静電容量の高い電解コンデンサ用電極箔を得ることができる電解コンデンサ用電極箔の製造装置を提供するものである。   This invention solves the said problem and provides the manufacturing apparatus of the electrode foil for electrolytic capacitors which can obtain the electrode foil for electrolytic capacitors with the high electrostatic capacitance per unit area.

前記目的を達成するために本発明は、エッチング液が充填されたエッチング槽内の電極間を帯状のアルミニウム箔を走行させ、電極間に電圧印加してアルミニウム箔をエッチング処理する電解コンデンサ用電極箔の製造装置において、前記複数のエッチング槽にエッチング液を循環させる循環パイプを配置し、エッチング液中に微細気泡を混合させる微細発泡発生装置を前記循環パイプの一部に介設した電解コンデンサ用電極箔の製造装置とするものである。   To achieve the above object, the present invention provides an electrode foil for an electrolytic capacitor in which a strip-shaped aluminum foil is run between electrodes in an etching tank filled with an etching solution, and the aluminum foil is etched by applying a voltage between the electrodes. In the manufacturing apparatus, an electrolytic capacitor electrode in which a circulation pipe for circulating an etching solution is arranged in the plurality of etching tanks, and a fine foam generation device for mixing fine bubbles in the etching solution is interposed in a part of the circulation pipe A foil manufacturing apparatus is provided.

また、前記微細気泡発生装置はエッチング液を循環させるポンプと、ガスを供給する供給口を備え、旋回流により微細気泡を発生させたものであり、その微細気泡は50μm以下の気泡である。   The fine bubble generator includes a pump that circulates an etching solution and a supply port that supplies gas, and generates fine bubbles by a swirling flow. The fine bubbles are bubbles of 50 μm or less.

本発明によると、エッチング槽のエッチング液中に微細気泡を混合させる微細気泡発生装置を配設することにより、エッチング液中に微細気泡を無数介在させることができ、この微細気泡は50μm以下の径を有するもので、アルミニウム箔をエッチング処理する際に発生するアルミニウムイオン及びアルミニウム錯体を微細気泡がエッチング液中に拡散させてくれるので、ピット内のアルミニウムイオン濃度の増加を抑制することができ、エッチングの進行を妨げることなくエッチングピットを形成することができる。その結果、アルミニウム箔の表面付近の過剰なエッチングを抑制してポーラス構造の破壊を防ぎ、単位面積当たりの静電容量の高い電解コンデンサ用電極箔を製造することができる。   According to the present invention, an infinite number of fine bubbles can be interposed in the etching solution by disposing a fine bubble generating device that mixes fine bubbles in the etching solution of the etching tank, and the fine bubbles have a diameter of 50 μm or less. Since the microbubbles diffuse the aluminum ions and aluminum complex generated when the aluminum foil is etched into the etching solution, the increase of the aluminum ion concentration in the pit can be suppressed, and the etching is performed. Etching pits can be formed without hindering the progress of the etching. As a result, excessive etching in the vicinity of the surface of the aluminum foil can be suppressed to prevent the porous structure from being destroyed, and an electrolytic capacitor electrode foil having a high capacitance per unit area can be manufactured.

なお、微細気泡の径が50μmを超えると、ピット内のアルミニウムイオン濃度の増加を抑制することができにくくなる。   If the diameter of the fine bubbles exceeds 50 μm, it is difficult to suppress an increase in the aluminum ion concentration in the pit.

以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施の形態の電解コンデンサ用電極箔の製造装置を示す断面図である。図1において、エッチング槽12には塩酸を主成分とし、添加剤として硫酸、しゅう酸、りん酸などの少なくとも1つ以上添加した酸性水溶液がエッチング液13として充填されている。また、前記エッチング槽12の外周部にエッチング液13を循環させる循環ホース19と、この循環ホース19の中のエッチング液13にコンプレッサー20からの空気を取り込んで微細気泡を発生させる微細気泡発生装置18を配置し、そこで発生させた50μm以下の微細気泡を含むエッチング液13をエッチング槽12内に送り込むようにしている。そのため、前記エッチング槽12のエッチング液13は微細気泡が無数介在したものとなる。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing an apparatus for manufacturing an electrode foil for an electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, an etching bath 12 is filled with an acidic aqueous solution containing hydrochloric acid as a main component and at least one or more of sulfuric acid, oxalic acid, phosphoric acid or the like as an additive. In addition, a circulation hose 19 that circulates the etching solution 13 around the outer periphery of the etching tank 12, and a fine bubble generator 18 that takes in air from the compressor 20 into the etching solution 13 in the circulation hose 19 to generate fine bubbles. The etching solution 13 containing fine bubbles of 50 μm or less generated there is sent into the etching tank 12. For this reason, the etching solution 13 in the etching tank 12 includes a large number of fine bubbles.

また、エッチング液13を循環ホース19で微細気泡発生装置18を通じて循環させているので、エッチング槽12のエッチング液13に介在した微細気泡は絶えず一定量確保することができる。   In addition, since the etching solution 13 is circulated through the fine bubble generator 18 by the circulation hose 19, a certain amount of fine bubbles interposed in the etching solution 13 in the etching tank 12 can be secured constantly.

前記微細気泡発生装置18は、旋回流による遠心力を利用して旋回中心部を負圧にして空気を自吸する方法による装置、加圧液体と気体との導入部と円筒状の気泡発生空間を有した装置、超音波を利用した装置などを利用することができる。   The fine bubble generating device 18 is a device that uses a centrifugal force generated by a swirling flow to make the swirling central portion a negative pressure to self-suck air, a pressurized liquid and gas introducing portion, and a cylindrical bubble generating space. And a device using ultrasonic waves can be used.

この中でも旋回流による遠心力を利用して旋回中心部を負圧にして空気を自吸する方法による装置は、気泡径が10〜40μmと小さく、酸素溶解効率が高く、装置自体もコンパクトであり、気体同士の合体や吸収が起こらず、単一気体のままで液体に長時間留まり比較的寿命が長い、浮上速度が極めて遅いことから、液体中での分散性、拡散性に優れているなどの特徴を有している。   Among these, the device based on the method of self-priming air by using the centrifugal force generated by the swirling flow to make the swirling center negative pressure has a small bubble diameter of 10 to 40 μm, high oxygen dissolution efficiency, and the device itself is compact. , Gas does not coalesce or absorb, stays in a single gas for a long time, has a relatively long life, and has a very slow ascent rate, so it has excellent dispersibility and diffusibility in liquid It has the characteristics.

また、アルミニウム箔11は帯状のロールになっているものを用い、アルミニウム箔11は走行ローラ15aを介してエッチング槽12の中に配置した一対の電極14aの間へと搬送し、さらに槽内ローラ16を介して一対の電極14bの間を通り、走行ローラ15bを介して水洗槽21で一度水洗する。このエッチング槽12と水洗槽21を複数設けてエッチング処理を施し、最後に脱塩素処理を施し、乾燥させることによりエッチング処理されたアルミニウム箔11を得ることができる。   Also, the aluminum foil 11 is a belt-like roll, and the aluminum foil 11 is conveyed between a pair of electrodes 14a arranged in the etching tank 12 via a traveling roller 15a, and further the rollers in the tank. 16 is passed between the pair of electrodes 14b through 16 and washed once in the washing tank 21 through the traveling roller 15b. A plurality of etching tanks 12 and washing tanks 21 are provided to perform etching treatment, and finally, dechlorination treatment is performed and dried to obtain the etched aluminum foil 11.

なお、本発明はエッチング槽12の槽数に拘るものではなく、単位面積当たりの静電容量の高い電解コンデンサ用電極箔を得るにはエッチング槽12を3〜6槽用いるのが好ましい。   The present invention is not limited to the number of etching tanks 12, and it is preferable to use 3 to 6 etching tanks 12 in order to obtain an electrode foil for an electrolytic capacitor having a high capacitance per unit area.

ここで、アルミニウム箔11のエッチング処理は、エッチング槽12の中に配置した一対の電極14a,14bの間を通過する際に、一対の電極14a,14bに交流電源17より印加された電圧によりアルミニウム箔11がエッチング処理される。   Here, when the aluminum foil 11 is etched between the pair of electrodes 14 a and 14 b disposed in the etching tank 12, the aluminum foil 11 is subjected to aluminum by a voltage applied from the AC power supply 17 to the pair of electrodes 14 a and 14 b. The foil 11 is etched.

このエッチング処理は、アルミニウム箔11の表面からその内部に向けてクラスタ状につながった立方体の微細なピットが多数形成される。その際微細気泡が介在したエッチング液13でエッチング処理することにより、ピット内で発生したアルミニウムイオン及びアルミニウム錯体が微細気泡の働きによりエッチング液13の中に拡散させてくれるので、ピット内のアルミニウムイオン濃度の増加を抑制することができ、エッチングの進行を妨げることなくエッチングピットを多数形成することができる。   This etching process forms a large number of fine cubic pits connected in a cluster from the surface of the aluminum foil 11 toward the inside thereof. At that time, by performing the etching process with the etching solution 13 in which fine bubbles are interposed, aluminum ions and aluminum complexes generated in the pits are diffused into the etching solution 13 by the action of the fine bubbles, so that the aluminum ions in the pits. An increase in concentration can be suppressed, and a large number of etching pits can be formed without hindering the progress of etching.

そして、複数のエッチング槽12でエッチング処理され、最終的には全体としてスポンジ状のポーラス構造となる。また、アルミニウム箔11の中心部に芯を残すことにより、機械的強度を確保することができる。   And it etches with the some etching tank 12, and finally becomes a sponge-like porous structure as a whole. Moreover, mechanical strength can be ensured by leaving a core in the center of the aluminum foil 11.

以下に、本実施の形態の具体的な実施例について説明をする。   A specific example of this embodiment will be described below.

(実施例1)
エッチング槽として図1に示した電極箔の製造装置を用い、エッチング槽を5槽にした。また、アルミニウム箔として、幅500mmで厚さ100μmの純度99.9%以上の高純度箔を用いた。さらに、エッチング液として、塩素イオン濃度が2.75Nの酸性水溶液に添加剤として硫酸濃度が0.1%となるように硫酸を配合したものを用いた。
(Example 1)
The electrode foil manufacturing apparatus shown in FIG. 1 was used as an etching tank, and the etching tank was made into five tanks. As the aluminum foil, a high-purity foil having a width of 500 mm and a thickness of 100 μm and a purity of 99.9% or more was used. Further, as the etching solution, an acidic aqueous solution having a chlorine ion concentration of 2.75N and sulfuric acid so as to have a sulfuric acid concentration of 0.1% as an additive was used.

そして、前記エッチング液は最終のエッチング槽に充填し、そのエッチング液を前のエッチング槽にフローさせて充填するようにして、それぞれのエッチング槽にエッチング液を充填させた。   Then, the etching solution was filled in the final etching bath, and the etching solution was flowed into the previous etching bath to fill the respective etching baths.

また、微細気泡発生装置より発生させた微細気泡を無数介在させたエッチング液をエッチング槽の底部から挿入させ、エッチング槽の上部から循環ホースを通じてエッチング液を循環させるようにした。   In addition, an etching solution in which innumerable fine bubbles generated from the fine bubble generator are inserted is inserted from the bottom of the etching tank, and the etching liquid is circulated through the circulation hose from the top of the etching tank.

アルミニウム箔のエッチング処理は、アルミニウム箔の単位面積当たりのエッチング減量を10mg/cm2になるようにアルミニウム箔の走行スピード、交流電源条件を調整して行った(これらの条件は、エッチング槽の大きさ、一対の電極の大きさによって異なる。)。その後、脱塩素処理を施し、乾燥させてエッチング処理されたアルミニウム箔を作製した。 The etching treatment of the aluminum foil was performed by adjusting the traveling speed of the aluminum foil and the AC power supply conditions so that the etching loss per unit area of the aluminum foil was 10 mg / cm 2 (these conditions are the size of the etching tank). Depending on the size of the pair of electrodes. Thereafter, dechlorination treatment was performed, and an aluminum foil subjected to etching treatment was produced.

(実施例2)
前記実施例1において、微細気泡発生装置より発生させた微細気泡を図2に示すように、気泡誘導ホース22を用いて一対の電極間に、その下から流動させるようにしてエッチング処理を行った以外は前記実施例1と同様にしてエッチング処理されたアルミニウム箔を作製した。
(Example 2)
In Example 1, the fine bubble generated from the fine bubble generator was etched between the pair of electrodes using a bubble induction hose 22 as shown in FIG. Except for the above, an etched aluminum foil was produced in the same manner as in Example 1.

(比較例1)
エッチング槽として図3に示した電極箔の製造装置を用い、エッチング槽を5槽にした。また、アルミニウム箔及びエッチング液は前記実施例1と同様のものを用い、その他の条件も実施例1と同じようにしてエッチング処理されたアルミニウム箔を得た。
(Comparative Example 1)
The electrode foil manufacturing apparatus shown in FIG. 3 was used as an etching tank, and the number of etching tanks was five. Further, the aluminum foil and the etching solution were the same as those in Example 1, and an aluminum foil etched in the same manner as in Example 1 was obtained under the other conditions.

前記実施例1,2及び比較例1のエッチング処理されたアルミニウム箔を化成して、耐圧22Vの電極箔を完成させた。   The etched aluminum foils of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 were formed to complete an electrode foil with a withstand voltage of 22V.

得られた電解コンデンサ用電極箔の静電容量及び機械的強度を(表1)に示す。なお、機械的強度は折曲げ試験(φ1.0mm、250g荷重、折曲げ角度90度の条件下で1往復を1回とする)を行った。   The capacitance and mechanical strength of the obtained electrode foil for electrolytic capacitors are shown in (Table 1). The mechanical strength was subjected to a bending test (one reciprocation was performed once under the conditions of φ1.0 mm, a load of 250 g and a bending angle of 90 degrees).

Figure 2009105190
Figure 2009105190

(表1)から明らかなように、微細気泡発生装置より発生させた微細気泡を無数介在させたエッチング液をエッチング槽の底部から挿入させ、エッチング槽の上部から循環ホースを通じてエッチング液を循環させるようにしてエッチング処理することにより、アルミニウム箔の単位面積当たりの静電容量を高めることができる。   As is clear from (Table 1), an etching solution containing innumerable fine bubbles generated from the fine bubble generator is inserted from the bottom of the etching tank, and the etching liquid is circulated through the circulation hose from the top of the etching tank. By carrying out the etching process, the electrostatic capacity per unit area of the aluminum foil can be increased.

なお、前記実施例1では微細気泡発生装置より発生させた微細気泡を介在させたエッチング液をエッチング槽の底部から挿入させたが、エッチング槽の側面部に下部から挿入させても同じ効果を奏することは言うまでもない。   In the first embodiment, the etchant containing the fine bubbles generated by the fine bubble generator is inserted from the bottom of the etching tank. However, the same effect can be obtained by inserting the etching liquid into the side surface of the etching tank from the bottom. Needless to say.

また、微細気泡発生装置を各エッチング槽に設けたが、最初のエッチング槽によるエッチング処理は比較的ピットの長さが短いので、微細気泡発生装置を設けなくても比較例1よりも高い静電容量を得ることができる。また、エッチング減量の60%以上のエッチング処理を行うエッチング槽に設けることにより、比較例1よりも高い静電容量を得ることができる。   In addition, although the fine bubble generating device is provided in each etching tank, the etching process in the first etching tank has a relatively short pit length, so that even if the fine bubble generating device is not provided, the electrostatic capacity higher than that of Comparative Example 1 is provided. Capacity can be obtained. Moreover, a higher electrostatic capacity than Comparative Example 1 can be obtained by providing an etching tank that performs an etching process of 60% or more of the etching weight loss.

また、前記実施例1では交流電源を用いた低圧用の交流エッチング処理について述べたが、中高圧用の直流エッチング処理についても、微細気泡発生装置より発生させた微細気泡を介在させたエッチング液を用いてエッチング処理を施すことにより、高い静電容量を得ることができる。   In the first embodiment, the low-pressure AC etching process using an AC power source has been described. However, for the medium- and high-pressure DC etching process, an etching solution in which fine bubbles generated from the fine bubble generator are interposed is used. A high electrostatic capacity can be obtained by performing an etching process.

本発明は過剰なエッチングを抑制し、単位面積当たりの静電容量の高い電解コンデンサ用電極箔の製造装置を提供するものであり、電子機器の小型化に有用である。   The present invention provides an apparatus for producing an electrode foil for an electrolytic capacitor that suppresses excessive etching and has a high capacitance per unit area, and is useful for downsizing electronic equipment.

本発明の実施の形態1における電解コンデンサ用電極箔の製造装置の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the manufacturing apparatus of the electrode foil for electrolytic capacitors in Embodiment 1 of this invention 同実施例2の微細気泡発生装置の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the microbubble generator of the Example 2 従来の電解コンデンサ用電極箔の製造装置の構成を示す断面図Sectional drawing which shows the structure of the manufacturing apparatus of the conventional electrode foil for electrolytic capacitors

符号の説明Explanation of symbols

11 アルミニウム箔
12 エッチング槽
13 エッチング液
14a,14b 一対の電極板
15a,15b 走行ローラ
16 槽内ローラ
17 交流電源
18 微細気泡発生装置
19 循環ホース
20 コンプレッサー
21 水洗槽
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Aluminum foil 12 Etching tank 13 Etching liquid 14a, 14b A pair of electrode plates 15a, 15b Traveling roller 16 In-tank roller 17 AC power supply 18 Fine bubble generator 19 Circulation hose 20 Compressor 21 Flush tank

Claims (4)

一対の電極を配設してエッチング液が充填されたエッチング槽を複数配設し、前記一対の電極に電圧印加して帯状のアルミニウム箔を走行させることにより、アルミニウム箔をエッチング処理する電解コンデンサ用電極箔の製造装置において、
前記複数のエッチング槽にエッチング液を循環させる循環パイプを配置し、エッチング液中に微細気泡を混合させる微細気泡発生装置を前記循環パイプの一部に介設した電解コンデンサ用電極箔の製造装置。
For electrolytic capacitors in which a pair of electrodes are arranged and a plurality of etching tanks filled with an etching solution are provided, and a voltage is applied to the pair of electrodes to run a strip-shaped aluminum foil, thereby etching the aluminum foil. In electrode foil manufacturing equipment,
An apparatus for producing an electrode foil for an electrolytic capacitor, in which a circulation pipe for circulating an etching solution is arranged in the plurality of etching tanks, and a fine bubble generating device for mixing fine bubbles in the etching solution is interposed in a part of the circulation pipe.
前記微細気泡発生装置がエッチング液を循環させるポンプと、気体を供給する供給口を備え、旋回流により微細気泡を発生させたものである請求項1に記載の電解コンデンサ用電極箔の製造装置。 The apparatus for producing an electrode foil for an electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the fine bubble generating device includes a pump for circulating the etching solution and a supply port for supplying gas, and generates fine bubbles by a swirling flow. 前記微細気泡が50μm以下の気泡である請求項1に記載の電解コンデンサ用電極箔の製造装置。 The apparatus for producing an electrode foil for an electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the fine bubbles are bubbles of 50 μm or less. 一対の電極の間に微細気泡発生装置から発生した微細気泡を送給するようにした請求項1に記載の電解コンデンサ用電極箔の製造装置。 The apparatus for producing an electrode foil for an electrolytic capacitor according to claim 1, wherein fine bubbles generated from the fine bubble generator are fed between the pair of electrodes.
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