JP2009102701A - Method for manufacturing porous sintered body of titanium and apparatus for manufacturing porous sintered body of titanium - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a porous sintered body of titanium, which can efficiently provide the porous sintered body of titanium of high quality at a low cost. <P>SOLUTION: This manufacturing method comprises: a slurry production step S1 which mixes an organic binder, a foaming agent, a plasticizer, water and a surface-active agent as needed, with at least one of a titanium powder and a titanium hydride powder to produce slurry; a forming step S2 which applies the slurry on a first support to form a formed article; a foaming step S3 which produces a formed and foamed article by heating, drying and foaming the formed article; a degreasing step S4 which heats and degreases the formed and foamed article that has been separated from the first support and mounted on a second support; a first sintering step S5 which produces a primary sintered body having electroconductivity by heating the degreased, formed and foamed article in a non-oxidative atmosphere; and a second sintering step S7 which produces the porous sintered body of titanium by sintering the primary sintered body in a non-oxidative atmosphere at a temperature higher than that in the first sintering step. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は、光触媒の保持材、オゾン発生器の給電電極、人工骨材および燃料電池用電極等に使用される多孔質チタン焼結体の製造方法および多孔質チタン焼結体の製造装置に関するものである。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing a porous titanium sintered body and an apparatus for producing a porous titanium sintered body used for a photocatalyst holding material, an ozone generator feeding electrode, an artificial bone material, a fuel cell electrode, and the like. It is.

前述の多孔質チタン焼結体としては、例えば特許文献1に記載されているように、スポンジ状の3次元網目構造を有するとともに気孔率が50容量%以上とされたものが提供されている。これらの多孔質チタン焼結体は、純度98質量%以上のチタン、6質量%のアルミニウムおよび4質量%のバナジウムを含むチタン合金(Ti−6Al−4V)、10%質量%のバナジウム、2質量%の鉄および3質量%のアルミニウムを含むチタン合金(Ti−10V−2Fe−3Al)等で構成されており、優れた耐食性を有している。   As the above-mentioned porous titanium sintered body, for example, as described in Patent Document 1, one having a sponge-like three-dimensional network structure and a porosity of 50% by volume or more is provided. These porous titanium sintered bodies are composed of titanium alloy (Ti-6Al-4V) containing 10% by mass of vanadium, 2% by mass of titanium having a purity of 98% by mass or more, 6% by mass of aluminum, and 4% by mass of vanadium. % Of iron and 3% by mass of a titanium alloy (Ti-10V-2Fe-3Al) containing 3% by weight of aluminum, and has excellent corrosion resistance.

このような多孔質チタン焼結体を製造する方法としては、例えば特許文献2および特許文献3に開示されているように、チタンまたはチタン合金粉末や水素化チタン粉末等に、有機バインダー、発泡剤、可塑剤、水及び界面活性剤を混合してスラリーを用いたものが提案されている。
ドクターブレード等の塗布装置によって、前記スラリーを支持フィルム上に塗布することによりシート状の成形体を成形し、この成形体を加熱乾燥することにより発泡剤が発泡して3次元網目構造となった網目部分にチタン粉末が位置した発泡成形体を作製する。この発泡成形体を支持フィルムから分離して、支持プレートの上に載置し、脱脂、焼結することにより、チタン粉末が結合してスポンジ状の3次元網目構造を有する多孔質チタン焼結体が製造される。
As a method for producing such a porous titanium sintered body, for example, as disclosed in Patent Document 2 and Patent Document 3, titanium or titanium alloy powder, titanium hydride powder, etc., an organic binder, a foaming agent are used. A slurry using a plasticizer, water and a surfactant mixed has been proposed.
By applying the slurry onto a support film with a coating device such as a doctor blade, a sheet-like molded body was formed, and by heating and drying the molded body, the foaming agent foamed to form a three-dimensional network structure. A foamed molded article having titanium powder positioned in the mesh portion is produced. Porous titanium sintered body having a sponge-like three-dimensional network structure by separating titanium foam from the support film, placing it on the support plate, degreasing and sintering Is manufactured.

脱脂工程では、支持プレート上に載置された発泡成形体を、例えば5×10−2Pa程度の真空雰囲気あるいは水素雰囲気とされた脱脂炉内に装入し、例えば550℃×5時間の加熱・保持を行う。これにより、発泡成形体に含まれる脂分(有機バインダー等)が揮発して除去される。 In the degreasing step, the foamed molded body placed on the support plate is placed in a degreasing furnace having a vacuum atmosphere or a hydrogen atmosphere of, for example, about 5 × 10 −2 Pa, and heated at, for example, 550 ° C. × 5 hours. -Hold. Thereby, the fat (organic binder etc.) contained in a foaming molding volatilizes and is removed.

また、焼結工程では、脱脂された発泡成形体を支持プレート上に載置した状態で、例えば5×10−3Pa程度の真空雰囲気の焼結炉内に装入し、例えば1200℃×5時間の加熱・保持を行う。この焼結工程では、高温で長時間保持されるため、炉内に極僅かな酸素が混入しても酸化してしまうおそれがある。そこで、発泡成形体をチタン箔で包むことにより、チタン箔を優先的に酸化させることで発泡成形体の酸化を防止している。 In the sintering process, the degreased foamed molded product is placed on a support plate and placed in a sintering furnace in a vacuum atmosphere of, for example, about 5 × 10 −3 Pa, for example, 1200 ° C. × 5 Heat and hold for hours. In this sintering process, since it is kept at a high temperature for a long time, there is a possibility that even if very little oxygen is mixed in the furnace, it is oxidized. Therefore, the foamed molded body is wrapped with titanium foil, whereby the titanium foil is preferentially oxidized to prevent the foamed molded body from being oxidized.

ここで、前述の脱脂炉および焼結炉としては、主に抵抗加熱炉が使用されている。また、チタンは反応性に富む元素であるので、加熱時における支持プレートとチタンとの反応を抑制するために、ジルコニア製の支持プレートの上に発泡成形体を載置している。
特開2006−138005号公報 特開2004−043976号公報 特開2007−046089号公報
Here, a resistance heating furnace is mainly used as the above-described degreasing furnace and sintering furnace. Since titanium is an element rich in reactivity, a foamed molded body is placed on a support plate made of zirconia in order to suppress the reaction between the support plate and titanium during heating.
JP 2006-138005 A JP 2004-043976 A JP 2007-046089 A

ところで、従来の多孔質チタン焼結体の製造方法においては、焼結炉として主に抵抗加熱炉が使用されているため、発泡成形体を焼結温度(1200℃)にまで加熱するのに多くの時間を要していた。また、焼結炉内には、発泡成形体を支持するジルコニア製の支持プレートも装入されるため、加熱にさらに時間を要していた。このため、焼結工程が律速となって効率良く多孔質チタン焼結体を製造することができなかった。また、エネルギー効率が悪く、製造コストが高くなるといった問題があった。
また、焼結温度(約1200℃)にまで加熱するため、高温に対応した専用炉を用いる必要があった。
さらに、長時間にわたって炉内で高温に保持することになるため、炉内に混入した酸素によってチタンが酸化し、製出される多孔質チタン焼結体の品質の低下を招くおそれがあった。
By the way, in the conventional method for producing a porous titanium sintered body, a resistance heating furnace is mainly used as a sintering furnace, so that it is often used to heat a foamed molded body to a sintering temperature (1200 ° C.). Took time. Further, since a support plate made of zirconia that supports the foamed molded product is also inserted into the sintering furnace, it takes more time for heating. For this reason, the sintering process was rate-determined, and a porous titanium sintered body could not be produced efficiently. Moreover, there existed a problem that energy efficiency was bad and manufacturing cost became high.
Moreover, in order to heat to sintering temperature (about 1200 degreeC), it was necessary to use the exclusive furnace corresponding to high temperature.
Furthermore, since it is kept at a high temperature in the furnace for a long time, there is a possibility that titanium is oxidized by oxygen mixed in the furnace and the quality of the produced porous titanium sintered body is deteriorated.

この発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、効率良く低コストで、高品質の多孔質チタン焼結体を提供することが可能な多孔質チタン焼結体の製造方法および多孔質チタン焼結体の製造装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and is a method for producing a porous titanium sintered body and a porous structure capable of providing a high-quality porous titanium sintered body efficiently and at low cost. It aims at providing the manufacturing apparatus of a quality titanium sintered compact.

このような課題を解決して、前記目的を達成するために、本発明の多孔質チタン焼結体の製造方法は、チタン粉末および水素化チタン粉末の少なくとも一方に、有機バインダー、発泡剤、可塑剤、水および必要に応じて界面活性剤を混合してスラリーを作製するスラリー作製工程と、前記スラリーを第1の支持体上に塗布して成形体とする成形工程と、 前記成形体を加熱乾燥して発泡させることによって発泡成形体を作製する発泡工程と、 前記第1の支持体から分離して第2の支持体上に載置した前記発泡成形体を加熱して脱脂する脱脂工程と、脱脂された前記発泡成形体を非酸化雰囲気で加熱して、導電性を有する1次焼結体を作製する第1焼結工程と、前記1次焼結体を非酸化雰囲気で前記第1焼結工程よりも高い温度で焼結して多孔質チタン焼結体を製出する第2焼結工程と、を備えていることを特徴としている。   In order to solve such problems and achieve the above object, the method for producing a porous titanium sintered body according to the present invention includes an organic binder, a foaming agent, a plasticizer on at least one of titanium powder and titanium hydride powder. A slurry preparation step of preparing a slurry by mixing an agent, water and, if necessary, a surfactant, a molding step of applying the slurry on a first support, and heating the molded body A foaming step of producing a foamed molded article by drying and foaming; a degreasing process of heating and degreasing the foamed molded article separated from the first support and placed on the second support; The degreased foamed molded body is heated in a non-oxidizing atmosphere to produce a conductive primary sintered body, and the primary sintered body is subjected to the first oxidizing step in a non-oxidizing atmosphere. Sintered and porous at a higher temperature than the sintering process And a second sintering step for producing a sintered titanium sintered body.

このような構成とされた本発明の多孔質チタン焼結体の製造方法においては、脱脂工程によって脱脂された発泡成形体を非酸化雰囲気で加熱して焼結し、導電性を有する1次焼結体を作製する第1焼結工程と、1次焼結体をさらに高温で焼結する第2焼結工程とを有しているので、第1焼結工程における加熱温度を低く抑えることができる。詳述すると、第1焼結工程においては、発泡成形体を焼結炉内で800℃から1000℃で1分から30分保持することで、導電性を有する1次焼結体を得ることができるのである。したがって、第1焼結工程は汎用の炉を用いることが可能となり、さらに高温となる第2焼結工程のみを専用炉で行うことで生産効率を大幅に向上させることが可能となる。   In the method for producing a porous titanium sintered body of the present invention having such a configuration, the foamed body degreased by the degreasing step is heated and sintered in a non-oxidizing atmosphere, and has a primary firing having conductivity. Since it has the 1st sintering process which produces a ligature, and the 2nd sintering process which sinters a primary sintered compact at still higher temperature, it can restrain heating temperature in the 1st sintering process low. it can. More specifically, in the first sintering step, the foamed molded body is held in a sintering furnace at 800 ° C. to 1000 ° C. for 1 to 30 minutes to obtain a primary sintered body having conductivity. It is. Therefore, it is possible to use a general-purpose furnace for the first sintering step, and it is possible to greatly improve the production efficiency by performing only the second sintering step at a high temperature in the dedicated furnace.

また、1次焼結体が導電性を有しているので、1次焼結体をさらに高温で焼結する第2焼結工程においては、1次焼結体に電流を通電させて自己発熱させることが可能となる。このように自己発熱させた場合には、短時間で高温にまで加熱することができる。具体的には、自己発熱による第2焼結工程では、1200℃で数分程度の保持により、多孔質チタン焼結体を得ることができる。したがって、従来と比較して大幅に焼結時間を短縮することができる。
なお、脱脂工程、第1焼結工程、第2焼結工程においては、加熱対象物(発泡成形体または1次焼結体)を間欠的に搬送して加熱してもよいし、加熱対象物(発泡成形体または1次焼結体)を走行させながら加熱してもよい。
In addition, since the primary sintered body has conductivity, in the second sintering step in which the primary sintered body is sintered at a higher temperature, current is passed through the primary sintered body to generate heat. It becomes possible to make it. When self-heating is performed in this way, it can be heated to a high temperature in a short time. Specifically, in the second sintering step by self-heating, a porous titanium sintered body can be obtained by holding at 1200 ° C. for about several minutes. Therefore, the sintering time can be greatly shortened as compared with the conventional case.
In addition, in a degreasing process, a 1st sintering process, and a 2nd sintering process, a heating target object (foaming molding or primary sintered body) may be conveyed intermittently and heated, or a heating target object You may heat, making a (foaming molded object or a primary sintered compact) run.

ここで、前記第1焼結工程と前記第2焼結工程との間に、前記1次焼結体を前記第2の支持体から分離する分離工程を設けてもよい。
導電性を有する程度にまで焼結された1次焼結体においては、粉末同士が一定の強度で結合しているので、第2の支持体から分離しても崩壊することがない。よって、第2焼結工程において、1次焼結体のみを加熱することが可能となり、さらに効率良く多孔質チタン焼結体を製出することができる。
Here, a separation step of separating the primary sintered body from the second support may be provided between the first sintering step and the second sintering step.
In the primary sintered body sintered to such a degree as to have conductivity, the powders are bonded with a certain strength, so that they do not collapse even when separated from the second support. Therefore, in the second sintering step, only the primary sintered body can be heated, and a porous titanium sintered body can be produced more efficiently.

また、前記第2焼結工程を、誘導加熱によって前記1次焼結体に誘導電流を発生させて自己発熱させる構成としてもよい。
この場合、誘導加熱によって1次焼結体に誘導電流(渦電流)を発生させて自己発熱させるので、1次焼結体を非接触の状態で加熱することができる。また、短時間で1次焼結体を高温(例えば1200℃)にまで加熱することができる。
Further, the second sintering step may be configured to generate an induced current in the primary sintered body by induction heating to cause self-heating.
In this case, an induction current (eddy current) is generated in the primary sintered body by induction heating to cause self-heating, so that the primary sintered body can be heated in a non-contact state. Further, the primary sintered body can be heated to a high temperature (eg, 1200 ° C.) in a short time.

また、前記第2焼結工程を、前記1次焼結体に電流を通電して自己発熱させるように構成してもよい。
この場合、1次焼結体に通電することによって自己発熱させるので、1次焼結体を短時間で高温(例えば1200℃)にまで加熱することができる。
Moreover, you may comprise the said 2nd sintering process so that an electric current may be sent to the said primary sintered compact and self-heating may be carried out.
In this case, since the primary sintered body is self-heated by energization, the primary sintered body can be heated to a high temperature (for example, 1200 ° C.) in a short time.

さらに、前記成形工程において、長尺の前記第1の支持体の上に前記スラリーを塗布して長尺シート状成形体を成形し、前記発泡工程において、前記長尺シート状成形体を加熱乾燥することにより発泡させて長尺シート状発泡成形体を作製し、この長尺シート状発泡成形体に対して、前記脱脂工程、前記第1焼結工程および前記第2焼結工程を連続して行うように構成としてもよい。
この場合、長尺シート状成形体に対して脱脂工程、第1焼結工程、第2焼結工程を連続して行うので、多孔質チタン焼結体の生産効率を大幅に向上させることができる。
Furthermore, in the forming step, the slurry is applied on the long first support to form a long sheet-like formed body, and in the foaming step, the long sheet-like formed body is heated and dried. To produce a long sheet-like foamed molded body, and continuously perform the degreasing step, the first sintering step, and the second sintering step for the long sheet-like foamed molded body. It is good also as a structure to perform.
In this case, since the degreasing step, the first sintering step, and the second sintering step are continuously performed on the long sheet-shaped molded body, the production efficiency of the porous titanium sintered body can be greatly improved. .

本発明の多孔質チタン焼結体の製造装置は、チタン粉末および水素化チタン粉末の少なくとも一方に、有機バインダー、発泡剤、可塑剤、水および必要に応じて界面活性剤を混合して得られたスラリーを用いた多孔質チタン焼結体の製造装置であって、前記スラリーを第1の支持体上に塗布して成形体を成形する塗布部と、前記成形体を加熱乾燥して発泡させて発泡成形体を得る発泡処理部と、前記第1の支持体から分離して第2の支持体上に載置された前記発泡成形体を加熱して脱脂する脱脂炉と、脱脂された前記発泡成形体を非酸化雰囲気で加熱し、導電性を有する1次焼結体を作製する第1焼結炉と、前記1次焼結体を非酸化雰囲気で前記第1焼結工程よりも高い温度で焼結して多孔質チタン焼結体を製出する第2焼結炉と、を備えていることを特徴としている。
この構成の多孔質チタン焼結体の製造装置によれば、前述の多孔質チタン焼結体の製造方法を好適に実施することが可能となる。
The apparatus for producing a porous titanium sintered body of the present invention is obtained by mixing at least one of titanium powder and titanium hydride powder with an organic binder, a foaming agent, a plasticizer, water and, if necessary, a surfactant. For producing a porous titanium sintered body using the slurry, an application part for applying the slurry onto a first support and forming a formed body, and heating and drying the formed body to cause foaming. To obtain a foamed molded product, a degreasing furnace for heating and degreasing the foamed molded product separated from the first support and placed on the second support, and the degreased said A first sintering furnace for producing a primary sintered body having conductivity by heating the foamed molded body in a non-oxidizing atmosphere, and the primary sintered body being higher in the non-oxidizing atmosphere than the first sintering step. A second sintering furnace for producing a porous titanium sintered body by sintering at a temperature, It is characterized in Rukoto.
According to the manufacturing apparatus for a porous titanium sintered body having this configuration, the above-described method for manufacturing a porous titanium sintered body can be suitably implemented.

ここで、前記第1焼結炉と前記第2焼結炉との間に、前記第2の支持体と前記1次焼結体とを分離する分離手段を備えてもよい。
この場合、第1焼結炉で作製された1次焼結体と第2の支持体とを分離手段によって分離し、1次焼結体のみを第2焼結炉内に装入できるので、さらに効率良く1次焼結体を加熱することができる。
Here, a separation means for separating the second support and the primary sintered body may be provided between the first sintering furnace and the second sintering furnace.
In this case, the primary sintered body produced in the first sintering furnace and the second support can be separated by the separating means, and only the primary sintered body can be charged into the second sintering furnace. Furthermore, the primary sintered body can be heated efficiently.

また、第2焼結炉を、誘導加熱機構により前記1次焼結体に渦電流を発生させて自己発熱させる構成としてもよい。
あるいは、第2焼結炉を、1次焼結体に接触される接触端子部と該接触端子部を介して前記1次焼結体に電流を通電する通電機構とを備えたものとしてもよい。
このように第2焼結炉を構成することにより、1次焼結体を確実に、かつ、効率良く加熱して高品質の多孔質チタン焼結体を得ることが可能となる。
Further, the second sintering furnace may be configured to generate eddy current in the primary sintered body by an induction heating mechanism to generate heat.
Alternatively, the second sintering furnace may include a contact terminal portion that is brought into contact with the primary sintered body and an energization mechanism that energizes the primary sintered body through the contact terminal portion. .
By configuring the second sintering furnace in this way, the primary sintered body can be reliably and efficiently heated to obtain a high-quality porous titanium sintered body.

さらに、前記第1焼結炉と前記第2焼結炉とが炉体を共有しており、該炉体に、脱脂された前記発泡成形体を非酸化雰囲気で加熱して導電性を有する1次焼結体を作製する第1加熱手段と、前記1次焼結体に電流を通電して自己発熱させる第2加熱手段とを設けてもよい。
この場合、1つの炉体内において、第1加熱手段によって1次焼結体を作製するとともに第2加熱手段によって1次焼結体を高温で焼結することが可能となり、1つの炉体であっても、焼結時間を大幅に短縮することができる。
Further, the first sintering furnace and the second sintering furnace share a furnace body, and the furnace body is electrically conductive by heating the degreased foamed molded body in a non-oxidizing atmosphere. You may provide the 1st heating means which produces a secondary sintered compact, and the 2nd heating means which supplies an electric current to the said primary sintered compact, and makes it self-heat.
In this case, it becomes possible to produce a primary sintered body by the first heating means in one furnace body and to sinter the primary sintered body at a high temperature by the second heating means. However, the sintering time can be greatly shortened.

本発明によれば、効率良く低コストで、高品質の多孔質チタン焼結体を提供することが可能な多孔質チタン焼結体の製造方法および多孔質チタン焼結体の製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the porous titanium sintered compact and the manufacturing method of a porous titanium sintered compact which can provide a high quality porous titanium sintered compact at low cost efficiently are provided. be able to.

以下に、本発明の実施形態について添付した図面を参照して説明する。図1〜図3に本発明の第1の実施形態である多孔質チタン焼結体の製造方法および多孔質チタン焼結体の製造装置を示す。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. 1 to 3 show a porous titanium sintered body manufacturing method and a porous titanium sintered body manufacturing apparatus according to the first embodiment of the present invention.

図2に示す多孔質チタン焼結体製造装置10は、発泡性のスラリー21を作製するスラリー作製部11と、このスラリー21を、例えば表面処理を施したPET樹脂からなるキャリアシート20A上に塗布してシート状の成形体22を成形する成形部12と、シート状の成形体22を発泡させて発泡成形体23を作製する発泡室13と、キャリアシート20Aから分離されてジルコニア製の支持プレート20Bに載置された発泡成形体23を加熱して脂分を除去する脱脂炉14と、脱脂された発泡成形体23を加熱焼結して1次焼結体24を作製する第1焼結炉15と、1次焼結体24を第1焼結炉15よりも高い温度で焼結して多孔質チタン焼結体を製出する第2焼結炉16と、を備えている。   A porous titanium sintered body manufacturing apparatus 10 shown in FIG. 2 applies a slurry preparation unit 11 for producing a foamable slurry 21 and a carrier sheet 20A made of, for example, a PET resin subjected to surface treatment. Then, the molding part 12 for molding the sheet-shaped molded body 22, the foaming chamber 13 for producing the foamed molded body 23 by foaming the sheet-shaped molded body 22, and the support plate made of zirconia separated from the carrier sheet 20A A degreasing furnace 14 that heats the foamed molded body 23 placed on 20B to remove fat, and a first sintered body 24 that heat-sinters the degreased foamed molded body 23 to produce a primary sintered body 24. A furnace 15 and a second sintering furnace 16 for producing a porous titanium sintered body by sintering the primary sintered body 24 at a temperature higher than that of the first sintering furnace 15 are provided.

ここで、第1焼結炉15と第2焼結炉16との間には、1次焼結体24を冷却する冷却部17と、1次焼結体24と支持プレート20Bとを分離する分離機構18とが設けられており、第2焼結炉16には、搬送ローラ16Aによって1次焼結体24のみが装入されるように構成されている。また、本実施形態では、脱脂炉14、第1焼結炉15および冷却部17とが連続して配置され、同一のベルトコンベア19(搬送機構)によって発泡成形体23および1次焼結体24が支持プレート20Bとともに搬送されるように構成されている。   Here, between the 1st sintering furnace 15 and the 2nd sintering furnace 16, the cooling part 17 which cools the primary sintered compact 24, the primary sintered compact 24, and the support plate 20B are isolate | separated. A separation mechanism 18 is provided, and the second sintering furnace 16 is configured such that only the primary sintered body 24 is charged by the conveying roller 16A. Moreover, in this embodiment, the degreasing furnace 14, the 1st sintering furnace 15, and the cooling part 17 are arrange | positioned continuously, and the foaming molding 23 and the primary sintered compact 24 are carried out by the same belt conveyor 19 (conveyance mechanism). Is configured to be conveyed together with the support plate 20B.

脱脂炉14は、揮発除去された脂分(ガス)を炉体の外部へと排出する排出機構14Aを備えており、脱脂炉14の炉内は5×10−2Paの真空雰囲気または水素雰囲気とされている。
また、第1焼結炉15は、抵抗加熱炉とされており、第1焼結炉15の炉内は5×10−3Paの真空雰囲気とされている。
The degreasing furnace 14 includes a discharge mechanism 14A for discharging the volatilized and removed fat (gas) to the outside of the furnace body, and the inside of the degreasing furnace 14 has a vacuum atmosphere or hydrogen atmosphere of 5 × 10 −2 Pa. It is said that.
The first sintering furnace 15 is a resistance heating furnace, and the inside of the first sintering furnace 15 is a vacuum atmosphere of 5 × 10 −3 Pa.

第2焼結炉16は、本実施形態では図3および図4に示すように、誘導加熱炉とされている。搬送ローラ16Aの間に螺旋状をなす誘導加熱コイル16Bが配設されており、この誘導加熱コイル16Bの内周部を1次焼結体24が通過するように構成されている。また、第2焼結炉16の前後にはガス置換室16D、16Eが設けられており、第2焼結炉16内は不活性ガス雰囲気(本実施形態ではArガス雰囲気)とされている。   In the present embodiment, the second sintering furnace 16 is an induction heating furnace as shown in FIGS. A spiral induction heating coil 16B is disposed between the conveying rollers 16A, and the primary sintered body 24 is configured to pass through the inner peripheral portion of the induction heating coil 16B. Gas replacement chambers 16D and 16E are provided before and after the second sintering furnace 16, and the inside of the second sintering furnace 16 is an inert gas atmosphere (Ar gas atmosphere in this embodiment).

次に、この多孔質チタン焼結体製造装置10を用いた多孔質チタン焼結体の製造方法について図1に示すフローチャートを参照して各工程ごとに説明する。   Next, a method for manufacturing a porous titanium sintered body using the porous titanium sintered body manufacturing apparatus 10 will be described for each step with reference to the flowchart shown in FIG.

(スラリー作製工程S1)
スラリー作製部11では、チタン粉末、水素化チタン粉末、またはこれらの混合粉末に、有機バインダー、発泡剤、可塑剤、水及び必要に応じて界面活性剤を混合して発泡性のスラリー21を作製する。
本実施形態では、原料粉末として、平均粒径5〜30μmの水素化チタン粉末と、水素化チタン粉末を脱水素処理することにより得られた平均粒径10〜30μmの純チタン粉末の混合粉末を使用した。
(Slurry production process S1)
In the slurry preparation part 11, an organic binder, a foaming agent, a plasticizer, water, and surfactant are mixed with titanium powder, titanium hydride powder, or these mixed powders, and the foamable slurry 21 is produced. To do.
In this embodiment, a mixed powder of titanium hydride powder having an average particle diameter of 5 to 30 μm and pure titanium powder having an average particle diameter of 10 to 30 μm obtained by dehydrogenating the titanium hydride powder is used as a raw material powder. used.

上記の混合粉末を結合させる有機バインダーとして、水溶性のメチルセルロースまたはポリビニルアルコールを使用した。発泡剤として、ネオペンタン、ヘキサンおよびペプタンを使用した。可塑剤として、グリセリンおよびエチレングリコールを使用した。界面活性剤として、アルキルベンゼンスルホン酸塩を使用した。
これらの原料を、混合粉末:5〜80質量%、有機バインダー:0.05〜10質量%、発泡剤:0.05〜10質量%、可塑剤:0.1〜15質量%、界面活性剤:0.05 〜5質量%、水:残部、の比率で混合して、スラリー21を作製した。
Water-soluble methylcellulose or polyvinyl alcohol was used as an organic binder to which the above mixed powder was bound. Neopentane, hexane and peptane were used as blowing agents. Glycerin and ethylene glycol were used as plasticizers. Alkylbenzene sulfonate was used as the surfactant.
These raw materials are mixed powder: 5 to 80% by mass, organic binder: 0.05 to 10% by mass, foaming agent: 0.05 to 10% by mass, plasticizer: 0.1 to 15% by mass, surfactant. The slurry 21 was prepared by mixing at a ratio of 0.05 to 5% by mass and water: the balance.

(成形工程S2)
成形部12では、ドクターブレード12A(塗布装置)により、キャリアシート20Aの上にスラリー21を塗布して、幅200mm、長さ200mm、厚さ5mmのシート状の成形体22を成形した。
(Molding step S2)
In the shaping | molding part 12, the slurry 21 was apply | coated on the carrier sheet 20A with the doctor blade 12A (coating apparatus), and the sheet-like molded object 22 of width 200mm, length 200mm, and thickness 5mm was shape | molded.

(発泡工程S3)
発泡室13では、シート状の成形体22をキャリアシート20Aごと温度70℃、湿度90%で1時間保持し、80℃の温風を1時間送風して温風乾燥させる。この発泡工程S3によって、スラリー21中の発泡剤が発泡して、3次元網目構造を有するとともにこの網目構造の骨格部分にチタン粉末が位置した発泡成形体23が作製される。
(Foaming step S3)
In the foaming chamber 13, the sheet-like molded body 22 is held together with the carrier sheet 20 </ b> A at a temperature of 70 ° C. and a humidity of 90% for 1 hour, and warm air at 80 ° C. is blown for 1 hour and dried. By this foaming step S3, the foaming agent in the slurry 21 is foamed to produce a foamed molded body 23 having a three-dimensional network structure and having titanium powder positioned in the skeleton portion of the network structure.

(脱脂工程S4)
前述の発泡成形体23は、キャリアシート20Aから分離されるとともにジルコニア製の支持プレート20Bの上に載置され、ベルトコンベア19によって脱脂炉14内に装入される。脱脂炉14においては、発泡成形体23を、5×10−2Paの真空雰囲気中に550℃で5時間保持する。これにより、発泡成形体23に含まれる脂分(有機バインダー等)が揮発除去される。この状態の発泡成形体23においては、チタン粉末同士は結合しておらず、導電性を有していない。なお、ジルコニア製の支持プレート20Bを使用することによって発泡成形体23中のチタンと支持プレート20Bとの反応を防止している。
(Degreasing step S4)
The foamed molded body 23 is separated from the carrier sheet 20 </ b> A and placed on a support plate 20 </ b> B made of zirconia, and is loaded into the degreasing furnace 14 by the belt conveyor 19. In the degreasing furnace 14, the foamed molded body 23 is held at 550 ° C. for 5 hours in a vacuum atmosphere of 5 × 10 −2 Pa. Thereby, the fat (organic binder etc.) contained in the foaming molding 23 is volatilized and removed. In the foamed molded body 23 in this state, the titanium powders are not bonded to each other and have no electrical conductivity. In addition, reaction of the titanium in the foaming molding 23 and the support plate 20B is prevented by using the support plate 20B made from zirconia.

(第1焼結工程S5)
脱脂された発泡成形体23は、ベルトコンベア19によって第1焼結炉15内に支持プレート20Bとともに装入される。第1焼結炉15においては、脱脂された発泡成形体23を、5×10−3Paの真空雰囲気中で800〜1000℃で1〜30分保持する。これにより、3次元網目構造の骨格部分に位置するチタン粉末同士が結合することによって、導電性を有する1次焼結体24が作製される。
(First sintering step S5)
The degreased foamed molded body 23 is inserted into the first sintering furnace 15 together with the support plate 20B by the belt conveyor 19. In the 1st sintering furnace 15, the degreased foaming molding 23 is hold | maintained at 800-1000 degreeC for 1 to 30 minutes in a 5 * 10 < -3 > Pa vacuum atmosphere. Thereby, the titanium powder located in the frame | skeleton part of a three-dimensional network structure couple | bonds together, and the primary sintered compact 24 which has electroconductivity is produced.

(冷却・分離工程S6)
第1焼結炉15で加熱焼結されて作製した1次焼結体24は、冷却部17によって冷却されるとともに、分離機構18によって支持プレート20Bから分離される。ここで、導電性を有する程度にまで焼結された1次焼結体24においては、チタン粉末同士が一定の強度で結合しているので、支持プレート20Bから分離しても崩壊することがなく、取り扱うことが可能となる。
(Cooling / separation step S6)
The primary sintered body 24 produced by heating and sintering in the first sintering furnace 15 is cooled by the cooling unit 17 and separated from the support plate 20 </ b> B by the separation mechanism 18. Here, in the primary sintered body 24 that has been sintered to the extent that it has conductivity, the titanium powders are bonded to each other with a certain strength, so that they do not collapse even when separated from the support plate 20B. Can be handled.

(第2焼結工程S7)
支持プレート20Bから分離された1次焼結体24は、搬送ローラ16Aの上に載置されて第2焼結炉内16へと装入される。第2焼結炉16においては、1次焼結体24が誘導加熱コイル16Bの内周側へと配置され、誘導加熱コイル16Bに通電することで1次焼結体16に誘導電流(渦電流)を発生させ、ジュール熱によって1次焼結体24を自己発熱させる。こうして1次焼結体24を加熱し、Arガス雰囲気中で1200℃、1〜5分保持することにより、3次元網目構造の骨格部分に位置するチタン粉末同士が強固に結合し、多孔質チタン焼結体が製出される。
(Second sintering step S7)
The primary sintered body 24 separated from the support plate 20B is placed on the conveying roller 16A and is loaded into the second sintering furnace 16. In the second sintering furnace 16, the primary sintered body 24 is disposed on the inner peripheral side of the induction heating coil 16 </ b> B, and an induction current (eddy current) is passed through the primary sintered body 16 by energizing the induction heating coil 16 </ b> B. ) And the primary sintered body 24 is self-heated by Joule heat. In this way, the primary sintered body 24 is heated and held in an Ar gas atmosphere at 1200 ° C. for 1 to 5 minutes, whereby the titanium powders located in the skeleton portion of the three-dimensional network structure are strongly bonded to each other, and porous titanium A sintered body is produced.

このような構成とされた本実施形態である多孔質チタン焼結体の製造方法および多孔質チタン焼結体製造装置10によれば、脱脂された発泡成形体23を、真空雰囲気で加熱焼結して導電性を有する1次焼結体24を作製する第1焼結工程S5と、1次焼結体24を第1焼結工程S5よりも高温で焼結する第2焼結工程S7とを有しているので、第1焼結工程S5における加熱温度を800〜1000℃と低くし、かつ、保持時間を1〜30分と短くすることが可能となる。また、第2焼結工程S7においては、誘導加熱炉である第2焼結炉16を使用しているので、1次焼結体24に誘導電流(渦電流)を発生させて自己発熱させることで短時間で1200℃程度の高温まで加熱することができる。このように第1焼結工程S5と第2焼結工程S7とを分けることにより、大幅に焼結時間を短縮することが可能となる。また、短時間で焼結を行うことができるので、炉内に混入した酸素とチタンとの反応を抑えることができ、高品質の多孔質チタン焼結体を製出することができる。   According to the method for manufacturing a porous titanium sintered body and the porous titanium sintered body manufacturing apparatus 10 according to the present embodiment configured as described above, the degreased foamed molded body 23 is heated and sintered in a vacuum atmosphere. A first sintering step S5 for producing a primary sintered body 24 having conductivity, and a second sintering step S7 for sintering the primary sintered body 24 at a higher temperature than the first sintering step S5. Therefore, the heating temperature in the first sintering step S5 can be lowered to 800 to 1000 ° C., and the holding time can be shortened to 1 to 30 minutes. In the second sintering step S7, since the second sintering furnace 16 which is an induction heating furnace is used, an induction current (eddy current) is generated in the primary sintered body 24 to cause self-heating. And can be heated to a high temperature of about 1200 ° C. in a short time. Thus, by separating the first sintering step S5 and the second sintering step S7, the sintering time can be greatly shortened. Moreover, since sintering can be performed in a short time, the reaction between oxygen and titanium mixed in the furnace can be suppressed, and a high-quality porous titanium sintered body can be produced.

なお、第2焼結工程S7の処理時間が第1焼結工程S5の処理時間よりも短時間であることから、第1焼結工程S5において複数の発泡成形体23を焼結して1次焼結体24を作製することにより、1次焼結体24を連続して第2焼結工程S7(第2焼結炉16)に送り込むことが可能となり、さらなる効率化を図ることができる。
また、前述のように第2焼結炉16が誘導加熱炉とされているので、1次焼結体24を非接触の状態で加熱することができる。よって、1次焼結体24を搬送しながら加熱することも容易に行うことができる。
In addition, since the processing time of the second sintering step S7 is shorter than the processing time of the first sintering step S5, the plurality of foamed molded bodies 23 are sintered in the first sintering step S5 to be primary. By producing the sintered body 24, the primary sintered body 24 can be continuously fed into the second sintering step S7 (second sintering furnace 16), and further efficiency can be improved.
Further, since the second sintering furnace 16 is an induction heating furnace as described above, the primary sintered body 24 can be heated in a non-contact state. Therefore, the primary sintered body 24 can be easily heated while being conveyed.

さらに、本実施形態では、第1焼結炉15と第2焼結炉16との間に、1次焼結体24を冷却する冷却部17と1次焼結体24と支持プレート20Bとを分離する分離機構18とが設けられており、第2焼結炉16内には1次焼結体24のみが装入される構成とされているので、第2焼結炉16では、1次焼結体24のみを加熱すればよく、さらに効率良く多孔質チタン焼結体を製出することが可能となる。   Further, in the present embodiment, the cooling unit 17 that cools the primary sintered body 24, the primary sintered body 24, and the support plate 20B are provided between the first sintering furnace 15 and the second sintering furnace 16. A separation mechanism 18 for separation is provided, and only the primary sintered body 24 is inserted into the second sintering furnace 16. It is only necessary to heat the sintered body 24, and it becomes possible to produce a porous titanium sintered body more efficiently.

次に、本発明の第2の実施形態である多孔質チタン焼結体の製造方法および多孔質チタン焼結体の製造装置について図5および図6を用いて説明する。この第2の実施形態である多孔質チタン焼結体製造装置は、第2焼結炉36の加熱方式が第1の実施形態である多孔質チタン焼結体製造装置10と異なっている。   Next, a porous titanium sintered body manufacturing method and a porous titanium sintered body manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. The porous titanium sintered body manufacturing apparatus according to the second embodiment is different from the porous titanium sintered body manufacturing apparatus 10 according to the first embodiment in the heating method of the second sintering furnace 36.

詳述すると、図6に示すように、第2焼結炉36は、搬送ローラ36Aと、炉内の1次焼結体24に接続される接続端子部36Bと、この接続端子部36Bを介して1次焼結体24に通電を行う通電機構36Cと、を備えている。本実施形態では、一部の搬送ローラ36Aに対向する位置に接続端子部36Bが設けられており、搬送ローラ36Aと接続端子部36Bとで1次焼結体24を挟持するように構成されている。   More specifically, as shown in FIG. 6, the second sintering furnace 36 includes a conveying roller 36A, a connection terminal part 36B connected to the primary sintered body 24 in the furnace, and the connection terminal part 36B. And an energization mechanism 36C for energizing the primary sintered body 24. In the present embodiment, the connection terminal portion 36B is provided at a position facing a part of the conveyance rollers 36A, and the primary sintered body 24 is sandwiched between the conveyance roller 36A and the connection terminal portion 36B. Yes.

このような構成とされた第2の実施形態である多孔質チタン焼結体の製造方法および多孔質チタン焼結体製造装置によれば、1次焼結体24に接触端子部36Bを接触させて通電することができるので、1次焼結体24に確実に電流を流して自己発熱させることができる。また、通電する際の電圧を調整することで加熱速度等を簡単に調整することができる。
なお、1次焼結体24は、焼結によって収縮変形することになるが、この収縮変形に伴って接続端子部36Bが追従するように構成してもよい。あるいは、接続端子部36Bおよび通電機構36Cを、1次焼結体24の搬送方向に複数設置し、1次焼結体24を移動させながら加熱してもよい。このとき、1次焼結体24の収縮変形に併せて搬送ローラ36Aの回転数を調整することになる。
According to the porous titanium sintered body manufacturing method and the porous titanium sintered body manufacturing apparatus according to the second embodiment configured as described above, the contact terminal portion 36B is brought into contact with the primary sintered body 24. Therefore, it is possible to cause a current to flow through the primary sintered body 24 and to generate heat by itself. Further, the heating rate and the like can be easily adjusted by adjusting the voltage at the time of energization.
The primary sintered body 24 is contracted and deformed by sintering. However, the connecting terminal portion 36B may follow the contracted deformation. Alternatively, a plurality of connection terminal portions 36 </ b> B and energization mechanisms 36 </ b> C may be installed in the conveying direction of the primary sintered body 24 and heated while moving the primary sintered body 24. At this time, the rotational speed of the conveying roller 36A is adjusted in accordance with the contraction deformation of the primary sintered body 24.

次に、本発明の第3の実施形態である多孔質チタン焼結体の製造方法および多孔質チタン焼結体の製造装置について図7および図8を用いて説明する。
この第3の実施形態である多孔質チタン焼結体製造装置40においては、第1焼結炉45及び第2焼結炉46が共通の炉体を有しており、この炉体には、1次焼結工程S25を行うための抵抗加熱機構(図示なし)と2次焼結工程S27を行う誘導加熱機構(図示なし)が備えられている。
また、スラリー21をシート状に成形する成形部42および発泡室43が、脱脂炉44、第1焼結炉45および第2焼結炉46(炉体)と連続的に配置されている。
Next, a porous titanium sintered body manufacturing method and a porous titanium sintered body manufacturing apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the porous titanium sintered body manufacturing apparatus 40 according to the third embodiment, the first sintering furnace 45 and the second sintering furnace 46 have a common furnace body. A resistance heating mechanism (not shown) for performing the primary sintering step S25 and an induction heating mechanism (not shown) for performing the secondary sintering step S27 are provided.
Moreover, the molding part 42 and the foaming chamber 43 which shape | mold the slurry 21 in a sheet form are arrange | positioned continuously with the degreasing furnace 44, the 1st sintering furnace 45, and the 2nd sintering furnace 46 (furnace body).

この多孔質チタン焼結体製造装置40では、成形部42において、キャリアシート上にドクターブレード(塗布装置)を用いて長尺シート状成形体を成形する。この長尺シート状成形体を発泡室43内に連続的に装入して長尺シート状発泡成形体を作製する。この長尺シート状発泡成形体をキャリアシートから分離して、表面にジルコニアまたはイットリアのコーティングが施された長尺のカーボンプレートの上に載置する。そして、カーボンプレート上に載置された長尺シート状発泡成形体を連続的に脱脂炉44、第1焼結炉45および第2焼結炉46をなす共通の炉体内に装入し、脱脂工程S24、第1焼結工程S25および第2焼結工程S27を連続して行う。   In this porous titanium sintered body manufacturing apparatus 40, a long sheet-like molded body is formed on a carrier sheet using a doctor blade (coating apparatus) in the forming section 42. This long sheet-shaped molded body is continuously charged into the foaming chamber 43 to produce a long sheet-shaped foamed molded body. This long sheet-like foamed molded article is separated from the carrier sheet and placed on a long carbon plate having a surface coated with zirconia or yttria. Then, the long sheet-like foamed molded body placed on the carbon plate is continuously charged into a common furnace body constituting the degreasing furnace 44, the first sintering furnace 45, and the second sintering furnace 46, and degreased. Process S24, 1st sintering process S25, and 2nd sintering process S27 are performed continuously.

このような構成とされた第3の実施形態である多孔質チタン焼結体の製造方法および多孔質チタン焼結体製造装置40によれば、連続的に長尺の多孔質チタン焼結体が製出されることになり、生産効率を大幅に向上させることができる。また、第1焼結炉45及び第2焼結炉46が共通の炉体を有しているので、1つの炉体内において、第1加熱手段によって1次焼結体24を作製するとともに第2加熱手段によって1次焼結体24を高温で焼結して多孔質チタン焼結体を製出することができる。   According to the method for manufacturing a porous titanium sintered body and the porous titanium sintered body manufacturing apparatus 40 according to the third embodiment having such a configuration, a long porous titanium sintered body is continuously formed. As a result, production efficiency can be greatly improved. In addition, since the first sintering furnace 45 and the second sintering furnace 46 have a common furnace body, the first sintered body 24 is produced by the first heating means in one furnace body, and the second The primary sintered body 24 can be sintered at a high temperature by heating means to produce a porous titanium sintered body.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、その発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、原料粉末として、平均粒径5〜30μmの水素化チタン粉末と、水素化チタン粉末を脱水素処理することにより得られた平均粒径10〜30μmの純チタン粉末の混合粉末を使用したものとして説明したが、これに限定されることはなく、他のチタン粉末を使用することができる。
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to this, It can change suitably in the range which does not deviate from the technical idea of the invention.
For example, a mixed powder of titanium hydride powder having an average particle size of 5 to 30 μm and pure titanium powder having an average particle size of 10 to 30 μm obtained by dehydrogenation of the titanium hydride powder is used as the raw material powder. However, the present invention is not limited to this, and other titanium powders can be used.

また、有機バインダーとして水溶性のメチルセルロースまたはポリビニルアルコールを、発泡剤としてネオペンタン、ヘキサンおよびペプタンを、可塑剤としてグリセリンおよびエチレングリコールを、界面活性剤としてアルキルベンゼンスルホン酸塩を使用したものとして説明したが、これに限定されることはなく、他の有機バインダー、発泡剤、可塑剤、界面活性剤を用いてもよい。   In addition, water-soluble methylcellulose or polyvinyl alcohol was used as the organic binder, neopentane, hexane and peptane were used as the blowing agent, glycerin and ethylene glycol were used as the plasticizer, and alkylbenzene sulfonate was used as the surfactant. It is not limited to this, You may use another organic binder, a foaming agent, a plasticizer, and surfactant.

さらに、第2の実施形態においては、接続端子部と搬送ローラとで1次焼結体を挟持する構成としたもので説明したが、これに限定されることはなく、プローブ状の接続端子部を1次焼結体に接触させてもよいし、搬送ローラの一部を接続端子部として用いてもよい。
また、製出される多孔質チタン焼結体のサイズは限定されることはなく、適宜設定することができる。
In the second embodiment, the primary sintered body is sandwiched between the connection terminal portion and the conveying roller. However, the configuration is not limited to this, and the probe-like connection terminal portion is not limited thereto. May be brought into contact with the primary sintered body, or a part of the transport roller may be used as the connection terminal portion.
Moreover, the size of the porous titanium sintered body produced is not limited and can be set as appropriate.

本発明の第1の実施形態である多孔質チタン焼結体の製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the porous titanium sintered compact which is the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態である多孔質チタン焼結体製造装置を示す概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing which shows the porous titanium sintered compact manufacturing apparatus which is the 1st Embodiment of this invention. 図2に示す多孔質チタン焼結体製造装置に備えられた第2焼結炉の説明図である。It is explanatory drawing of the 2nd sintering furnace with which the porous titanium sintered compact manufacturing apparatus shown in FIG. 2 was equipped. 図3に示す第2焼結炉の側面説明図である。It is side surface explanatory drawing of the 2nd sintering furnace shown in FIG. 本発明の第2の実施形態である多孔質チタン焼結体の製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the porous titanium sintered compact which is the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態である多孔質チタン焼結体製造装置に備えられた第2焼結炉の説明図である。It is explanatory drawing of the 2nd sintering furnace with which the porous titanium sintered compact manufacturing apparatus which is the 2nd Embodiment of this invention was equipped. 本発明の第3の実施形態である多孔質チタン焼結体の製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the porous titanium sintered compact which is the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態である多孔質チタン焼結体製造装置を示す概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing which shows the porous titanium sintered compact manufacturing apparatus which is the 3rd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

S1、S11、S21 スラリー作製工程
S2、S12、S22 成形工程
S3、S13、S23 発泡工程
S4、S14、S24 脱脂工程
S5、S15、S25 第1焼結工程
S7、S17、S27 第2焼結工程
10、40 多孔質チタン焼結体製造装置
11 スラリー作製部
12、42 成形部
13、43 発泡室(発泡処理部)
14、44 脱脂炉
15、45 第1焼結炉
16、36、46 第2焼結炉
16B 誘導加熱コイル(誘導加熱機構)
36B 接続端子部
36C 通電機構
18 分離機構
20A キャリアシート(第1の支持体)
20B 支持プレート(第2の支持体)
S1, S11, S21 Slurry preparation step S2, S12, S22 Molding step S3, S13, S23 Foaming step S4, S14, S24 Degreasing step S5, S15, S25 First sintering step S7, S17, S27 Second sintering step 10 , 40 Porous titanium sintered body production apparatus 11 Slurry preparation part 12, 42 Molding part 13, 43 Foaming chamber (foaming treatment part)
14, 44 Degreasing furnace 15, 45 First sintering furnace 16, 36, 46 Second sintering furnace 16B Induction heating coil (induction heating mechanism)
36B Connection terminal portion 36C Energization mechanism 18 Separation mechanism 20A Carrier sheet (first support)
20B Support plate (second support)

Claims (10)

チタン粉末および水素化チタン粉末の少なくとも一方に、有機バインダー、発泡剤、可塑剤、水および必要に応じて界面活性剤を混合してスラリーを作製するスラリー作製工程と、
前記スラリーを第1の支持体上に塗布して成形体とする成形工程と、
前記成形体を加熱乾燥して発泡させることによって発泡成形体を作製する発泡工程と、
前記第1の支持体から分離して第2の支持体上に載置した前記発泡成形体を加熱して脱脂する脱脂工程と、
脱脂された前記発泡成形体を非酸化雰囲気で加熱して、導電性を有する1次焼結体を作製する第1焼結工程と、
前記1次焼結体を非酸化雰囲気で前記第1焼結工程よりも高い温度で焼結して多孔質チタン焼結体を製出する第2焼結工程と、
を備えていることを特徴とする多孔質チタン焼結体の製造方法。
A slurry preparation step of preparing a slurry by mixing an organic binder, a foaming agent, a plasticizer, water and, if necessary, a surfactant with at least one of titanium powder and titanium hydride powder;
A molding step of applying the slurry on a first support to form a molded body;
A foaming step of producing a foamed molded product by heating and drying the molded product;
A degreasing step of heating and degreasing the foamed molded article separated from the first support and placed on the second support;
A first sintering step of heating the degreased foamed molded body in a non-oxidizing atmosphere to produce a primary sintered body having conductivity;
A second sintering step of producing a porous titanium sintered body by sintering the primary sintered body in a non-oxidizing atmosphere at a temperature higher than that of the first sintering step;
A method for producing a porous titanium sintered body comprising:
前記第1焼結工程と前記第2焼結工程との間に、前記1次焼結体を前記第2の支持体から分離する分離工程を備えていることを特徴とする請求項1に記載の多孔質チタン焼結体の製造方法。   The separation step of separating the primary sintered body from the second support body is provided between the first sintering step and the second sintering step. Method for producing a porous titanium sintered body. 前記第2焼結工程は、誘導加熱によって前記1次焼結体を自己発熱させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の多孔質チタン焼結体の製造方法。   The method for producing a porous titanium sintered body according to claim 1, wherein the second sintering step causes the primary sintered body to self-heat by induction heating. 前記第2焼結工程は、通電加熱によって前記1次焼結体を自己発熱させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の多孔質チタン焼結体の製造方法。   The method for producing a porous titanium sintered body according to claim 1 or 2, wherein in the second sintering step, the primary sintered body is self-heated by electric heating. 前記成形工程において、長尺の前記第1の支持体の上に前記スラリーを塗布して長尺シート状成形体を成形し、
前記発泡工程において、前記長尺シート状成形体を加熱乾燥することにより発泡させて長尺シート状発泡成形体を作製し、
該長尺シート状発泡成形体に対して、前記脱脂工程、前記第1焼結工程および前記第2焼結工程を連続して行うことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の多孔質チタン焼結体の製造方法。
In the forming step, the slurry is applied onto the long first support to form a long sheet-like formed body,
In the foaming step, the long sheet-shaped molded body is foamed by heating and drying to produce a long sheet-shaped foamed molded body,
5. The method according to claim 1, wherein the degreasing step, the first sintering step, and the second sintering step are continuously performed on the long sheet-like foamed molded body. The manufacturing method of the porous titanium sintered compact as described in a term.
チタン粉末および水素化チタン粉末の少なくとも一方に、有機バインダー、発泡剤、可塑剤、水および必要に応じて界面活性剤を混合して得られたスラリーを用いた多孔質チタン焼結体の製造装置であって、
前記スラリーを第1の支持体上に塗布して成形体を成形する塗布部と、
前記成形体を加熱乾燥して発泡させて発泡成形体を得る発泡処理部と、
前記第1の支持体から分離して第2の支持体上に載置された前記発泡成形体を加熱して脱脂する脱脂炉と、
脱脂された前記発泡成形体を非酸化雰囲気で加熱し、導電性を有する1次焼結体を作製する第1焼結炉と、
前記1次焼結体を非酸化雰囲気で前記第1焼結工程よりも高い温度で焼結して多孔質チタン焼結体を製出する第2焼結炉と、
を備えていることを特徴とする多孔質チタン焼結体の製造装置。
An apparatus for producing a porous titanium sintered body using a slurry obtained by mixing an organic binder, a foaming agent, a plasticizer, water and, if necessary, a surfactant with at least one of titanium powder and titanium hydride powder Because
An application part for applying the slurry onto a first support to form a molded body;
A foaming treatment section for drying and foaming the molded body to obtain a foamed molded body;
A degreasing furnace for heating and degreasing the foamed molded article separated from the first support and placed on the second support;
A first sintering furnace for heating the degreased foamed molded body in a non-oxidizing atmosphere to produce a primary sintered body having conductivity;
A second sintering furnace for producing a porous titanium sintered body by sintering the primary sintered body in a non-oxidizing atmosphere at a temperature higher than that of the first sintering step;
An apparatus for producing a porous titanium sintered body comprising:
前記第1焼結炉と前記第2焼結炉との間に、前記第2の支持体と前記1次焼結体とを分離する分離機構を備えていることを特徴とする請求項6に記載の多孔質チタン焼結体の製造装置。   The separation mechanism for separating the second support and the primary sintered body is provided between the first sintering furnace and the second sintering furnace. The manufacturing apparatus of the porous titanium sintered compact of description. 前記第2焼結炉は、誘導加熱機構を備えていることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の多孔質チタン焼結体の製造装置。   The said 2nd sintering furnace is provided with the induction heating mechanism, The manufacturing apparatus of the porous titanium sintered compact of Claim 6 or Claim 7 characterized by the above-mentioned. 前記第2焼結炉は、前記1次焼結体に接触される接触端子部と、該接触端子部を介して前記1次焼結体に電流を通電する通電機構とを備えていることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の多孔質チタン焼結体の製造装置。   The second sintering furnace includes a contact terminal portion that is in contact with the primary sintered body, and an energization mechanism that energizes the primary sintered body through the contact terminal portion. The manufacturing apparatus of the porous titanium sintered compact of Claim 6 or Claim 7 characterized by the above-mentioned. 前記第1焼結炉と前記第2焼結炉とは共通の炉体を有し、該炉体には、脱脂された前記発泡成形体を非酸化雰囲気で加熱して導電性を有する1次焼結体を作製する第1加熱手段と、前記1次焼結体を自己発熱させる第2加熱手段とが設けられていることを特徴とする請求項6に記載の多孔質チタン焼結体の製造装置。   The first sintering furnace and the second sintering furnace have a common furnace body, and in the furnace body, the degreased foamed molded body is heated in a non-oxidizing atmosphere to have a primary property. The porous titanium sintered body according to claim 6, wherein a first heating means for producing a sintered body and a second heating means for self-heating the primary sintered body are provided. Manufacturing equipment.
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Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010261073A (en) * 2009-05-07 2010-11-18 Mitsubishi Materials Corp Method for manufacturing metal-sintered body and energization sintering apparatus
JP2010275336A (en) * 2009-05-26 2010-12-09 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology Process for preparing polyvinyl alcohol-based foam utilizing freeze-gelling of polyvinyl alcohol
WO2017171510A1 (en) * 2016-04-01 2017-10-05 주식회사 엘지화학 Method for producing metal foam
WO2017171511A1 (en) * 2016-04-01 2017-10-05 주식회사 엘지화학 Method for producing metal foam
KR20170113413A (en) * 2016-04-01 2017-10-12 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
WO2018101712A1 (en) * 2016-11-30 2018-06-07 주식회사 엘지화학 Method for producing metal foam
WO2018101714A1 (en) * 2016-11-30 2018-06-07 주식회사 엘지화학 Method for producing metal foam
WO2018101715A1 (en) * 2016-11-30 2018-06-07 주식회사 엘지화학 Method for manufacturing metal foam
KR20180125902A (en) * 2017-05-16 2018-11-26 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
CN109070225A (en) * 2016-04-01 2018-12-21 株式会社Lg化学 Method for manufacturing metal foam
WO2019009668A1 (en) * 2017-07-06 2019-01-10 주식회사 엘지화학 Method for preparing metal foam
CN109789489A (en) * 2016-10-14 2019-05-21 株式会社Lg化学 Method for manufacturing metal alloy foam
CN109789488A (en) * 2016-10-14 2019-05-21 株式会社Lg化学 Method for manufacturing metal foam
CN110014650A (en) * 2017-11-30 2019-07-16 精工爱普生株式会社 The manufacturing method of three-D moulding object
KR20200036381A (en) * 2018-09-28 2020-04-07 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
WO2022026332A1 (en) 2020-07-27 2022-02-03 Ohmium International, Inc. Porous electrolyzer gas diffusion layer and method of making thereof
WO2023145374A1 (en) 2022-01-31 2023-08-03 東邦チタニウム株式会社 Titanium porous body, and titanium porous body manufacturing method

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101876283B1 (en) * 2016-09-09 2018-07-10 주식회사 쎄타텍 Method of high strength aluminum alloy component and connecting rod using the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS616284A (en) * 1984-06-21 1986-01-11 Taiho Kogyo Co Ltd Method and device for producing copper-lead bearing material
JPS63219505A (en) * 1987-03-06 1988-09-13 Nippon Yakin Kogyo Co Ltd Continuous sintering apparatus for green compact belt
JP2005290482A (en) * 2004-03-31 2005-10-20 Mitsubishi Materials Corp Composite porous body and its manufacturing method
JP2007107091A (en) * 2005-09-16 2007-04-26 Mitsubishi Materials Corp Porous titanium having small contact resistance and method for producing the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS616284A (en) * 1984-06-21 1986-01-11 Taiho Kogyo Co Ltd Method and device for producing copper-lead bearing material
JPS63219505A (en) * 1987-03-06 1988-09-13 Nippon Yakin Kogyo Co Ltd Continuous sintering apparatus for green compact belt
JP2005290482A (en) * 2004-03-31 2005-10-20 Mitsubishi Materials Corp Composite porous body and its manufacturing method
JP2007107091A (en) * 2005-09-16 2007-04-26 Mitsubishi Materials Corp Porous titanium having small contact resistance and method for producing the same

Cited By (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010261073A (en) * 2009-05-07 2010-11-18 Mitsubishi Materials Corp Method for manufacturing metal-sintered body and energization sintering apparatus
JP2010275336A (en) * 2009-05-26 2010-12-09 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology Process for preparing polyvinyl alcohol-based foam utilizing freeze-gelling of polyvinyl alcohol
KR102056098B1 (en) * 2016-04-01 2019-12-17 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
WO2017171511A1 (en) * 2016-04-01 2017-10-05 주식회사 엘지화학 Method for producing metal foam
KR20170113413A (en) * 2016-04-01 2017-10-12 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
US11298745B2 (en) * 2016-04-01 2022-04-12 Lg Chem, Ltd. Method for manufacturing metal foam
JP2019511635A (en) * 2016-04-01 2019-04-25 エルジー・ケム・リミテッド Method of manufacturing metal foam
KR102040462B1 (en) * 2016-04-01 2019-11-05 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
US11141786B2 (en) * 2016-04-01 2021-10-12 Lg Chem, Ltd. Method for manufacturing metal foam
CN108883470A (en) * 2016-04-01 2018-11-23 株式会社Lg化学 The method for manufacturing metal foam
WO2017171510A1 (en) * 2016-04-01 2017-10-05 주식회사 엘지화학 Method for producing metal foam
CN109070225A (en) * 2016-04-01 2018-12-21 株式会社Lg化学 Method for manufacturing metal foam
US11951544B2 (en) 2016-10-14 2024-04-09 Lg Chem, Ltd. Method for manufacturing metal alloy foam
CN109789488A (en) * 2016-10-14 2019-05-21 株式会社Lg化学 Method for manufacturing metal foam
CN109789489A (en) * 2016-10-14 2019-05-21 株式会社Lg化学 Method for manufacturing metal alloy foam
KR20180062171A (en) * 2016-11-30 2018-06-08 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
JP2020501026A (en) * 2016-11-30 2020-01-16 エルジー・ケム・リミテッド Manufacturing method of metal foam
KR20180062172A (en) * 2016-11-30 2018-06-08 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
CN109982797A (en) * 2016-11-30 2019-07-05 株式会社Lg化学 Method for manufacturing metal foam
CN109982795A (en) * 2016-11-30 2019-07-05 株式会社Lg化学 Method for manufacturing metal foam
CN109982796A (en) * 2016-11-30 2019-07-05 株式会社Lg化学 Method for manufacturing metal foam
KR20180062170A (en) * 2016-11-30 2018-06-08 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
WO2018101715A1 (en) * 2016-11-30 2018-06-07 주식회사 엘지화학 Method for manufacturing metal foam
WO2018101714A1 (en) * 2016-11-30 2018-06-07 주식회사 엘지화학 Method for producing metal foam
US11980942B2 (en) 2016-11-30 2024-05-14 Lg Chem, Ltd. Method for manufacturing metal foam
US11780006B2 (en) 2016-11-30 2023-10-10 Lg Chem, Ltd. Method for manufacturing metal foam
JP2020509155A (en) * 2016-11-30 2020-03-26 エルジー・ケム・リミテッド Manufacturing method of metal foam
US11628495B2 (en) 2016-11-30 2023-04-18 Lg Chem, Ltd. Method for manufacturing metal foam
WO2018101712A1 (en) * 2016-11-30 2018-06-07 주식회사 엘지화학 Method for producing metal foam
KR102166464B1 (en) * 2016-11-30 2020-10-16 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
CN109982797B (en) * 2016-11-30 2020-12-04 株式会社Lg化学 Method for producing metal foam
KR102218856B1 (en) * 2016-11-30 2021-02-23 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
KR102218854B1 (en) * 2016-11-30 2021-02-23 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
KR20180125902A (en) * 2017-05-16 2018-11-26 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
US12097562B2 (en) * 2017-05-16 2024-09-24 Lg Chem, Ltd. Preparation method for metal foam
KR102267505B1 (en) 2017-05-16 2021-06-22 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
US11358219B2 (en) * 2017-07-06 2022-06-14 Lg Chem, Ltd. Preparation method for metal foam
CN110785249B (en) * 2017-07-06 2022-03-01 株式会社Lg化学 Method for producing metal foam
JP2020524220A (en) * 2017-07-06 2020-08-13 エルジー・ケム・リミテッド Metal foam manufacturing method
CN110785249A (en) * 2017-07-06 2020-02-11 株式会社Lg化学 Method for producing metal foam
WO2019009668A1 (en) * 2017-07-06 2019-01-10 주식회사 엘지화학 Method for preparing metal foam
CN110014650B (en) * 2017-11-30 2021-10-08 精工爱普生株式会社 Method for manufacturing three-dimensional shaped object
CN110014650A (en) * 2017-11-30 2019-07-16 精工爱普生株式会社 The manufacturing method of three-D moulding object
KR102372455B1 (en) 2018-09-28 2022-03-10 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
KR20200036381A (en) * 2018-09-28 2020-04-07 주식회사 엘지화학 Preparation method for metal foam
WO2022026332A1 (en) 2020-07-27 2022-02-03 Ohmium International, Inc. Porous electrolyzer gas diffusion layer and method of making thereof
WO2023145374A1 (en) 2022-01-31 2023-08-03 東邦チタニウム株式会社 Titanium porous body, and titanium porous body manufacturing method
KR20240090713A (en) 2022-01-31 2024-06-21 도호 티타늄 가부시키가이샤 Titanium porous body and method for producing the titanium porous body

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