JP2009097414A - 圧電ポンプおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内径がポンプ室の内径よりも大きく開口した開口61を備え、四隅に切り込み65およびスリット66によるバネ構造を有する張力板60を、前記開口径が小さくなるように、治具70にしまりばめする。張力板60が治具70に取り付けられている状態で、張力板60にダイヤフラム構造体50のダイヤフラム51を貼り付ける。治具70から張力板60とともに前記ダイヤフラム構造体50を取り外す。これにより、ダイヤフラムの中央部から周辺方向へ張力が掛かった張力板付きダイヤフラム構造体を得る。
【選択図】図10
Description
(1)ポンプ本体と、外周部がポンプ本体に対して固定され、ダイヤフラムおよび圧電素子を有するダイヤフラム構造体と、前記ポンプ本体と前記ダイヤフラムとでポンプ室を構成し、前記圧電素子を駆動することにより前記ダイヤフラムを屈曲変形させる圧電ポンプにおいて、
前記ダイヤフラム構造体は、前記ダイヤフラムに対して、当該ダイヤフラムの中央部から周辺方向への引っ張り応力を掛ける張力板を備えたことを特徴とする。
前記張力板は、開口部と、当該開口部の内径を拡縮する方向に作用するバネ部と、を有し、当該張力板が前記ダイヤフラムに貼り付けて構成する。
これにより、枠体は張力板による張力で拡がろうとし、すなわち張力板による張力をブロックすることがないため、ダイヤフラムに対して所定の張力を効果的に与えることができる。
前記ダイヤフラム構造体は、前記ダイヤフラムに対して当該ダイヤフラムの中央部から周辺方向への引っ張り応力を掛ける張力板を備え、
前記ダイヤフラムと対向するポンプ室天板と、
前記ダイヤフラムの中心部と対向する前記ポンプ室天板の部位に形成され、ポンプ室の内部と外部とを連通する第1の開口部と、
前記ポンプ室天板を間にしてポンプ室と反対側に、ポンプ室天板と間隔をあけて設けられた天板と、
前記第1開口部と対向する天板の部位に形成された第2の開口部と、
前記ポンプ室天板と前記天板との間に形成され、一端がポンプ室の外部に連通され、他端が前記第1開口部および第2開口部に接続された流入通路とを備えることを特徴とする。
この構成により、流量および応力がさらに高まる。
内径がポンプ室の内径よりも大きく開口し、四隅にバネ構造を有する張力板を、前記開口径が小さくなるように、治具にしまりばめする工程と、
前記張力板が前記治具に取り付けられている状態で、前記張力板に前記ダイヤフラム構造体の前記ダイヤフラムを貼り付ける工程と、
前記治具から前記張力板とともに前記ダイヤフラム構造体を取り外して、前記張力板付きのダイヤフラム構造体を得る工程と、
前記張力板付きダイヤフラム構造体と、前記ポンプ室本体とを接合し、ポンプ室を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。
図2(A)は、同実施形態の圧電ポンプ100の断面図である。また、図2(B)は、圧電ポンプ100による流体の流れを説明する図である。ここでは、電子機器の空冷用途の圧電ポンプの構成例を示している。
圧電ポンプ100は、天板10、流路板20、ポンプ室天板30、枠体40、ダイヤフラム51、中間板53、圧電体素子54、および張力板60を備える。ダイヤフラム51は洋白(銅・亜鉛・ニッケル合金)で構成している。張力板60はベリリウム銅で構成している。枠体40は、EPDM(エチレン・プロピレン・ジエンゴム)からなり、ポンプ室内径は16mm、ポンプ室高さは0.07mmである。
同図(A)は、圧電体素子への交番電圧の非印加時の主要部を示している。このとき、ダイヤフラム51はほぼ平坦である。
同図(B)は、交番電圧の1/4周期経過時の主要部を示している。このとき、ダイヤフラム51は下に凸に屈曲するのでダイヤフラム51とポンプ室天板30の開口穴31との距離が大きくなるので、開口穴31を介してポンプ室41内に流入通路22から気体が吸い込まれる。
図10は、ダイヤフラム構造体に対する張力板の取り付け手順を示す図である。
図10(A)は張力板の平面図、10図(B)は張力板を嵌め込む治具の平面図である。治具70には張力板60を嵌め込む装着部71を備えている。この装着部71の前後左右の幅は張力板60の左右上下の幅より所定の寸法だけ予め狭く形成している。
このようにして、引っ張り応力が加えられたダイヤフラム構造体50を得る。
投入電圧:16.4kHz、±60V〜±90Vの矩形波電圧
ダイヤフラム:厚み0.08mmの洋白板
中間板:厚み0.2mm、直径12.7mmのSUS板
圧電素子:厚み0.2mm、直径12.7mmのPZT板
ポンプ室:高さ0.07mm、直径16mm
天板:厚さ0.3mm、開口穴径0.6mm
張力板:厚さ0.8mm、内径約16.0mm(治具嵌め込み前16.4mm)
ポンプ室天板:厚さ0.8mm、開口穴径2.0mm
上記条件で圧電ポンプを駆動したところ、無負荷流量:0.6L/minを得ることができた。その結果、大流量の圧電ポンプが得られることが確かめられた。
11…開口穴
20…流路板
21…流路中央室
22…流体通路
30…ポンプ室天板
31…開口穴
32…流入穴
40…枠体
41…ポンプ室
42…流入穴
50…ダイヤフラム構造体
51…ダイヤフラム
52…流入穴
53,73…中間板
54…圧電体素子
55,65…切り込み
56,66…スリット
60…張力板
61…開口(圧電体素子収容室)
62…流入穴
70…治具
71…装着部
100…圧電ポンプ
Claims (6)
- ポンプ本体と、外周部がポンプ本体に対して固定され、ダイヤフラムおよび圧電素子を有するダイヤフラム構造体と、前記ポンプ本体と前記ダイヤフラムとでポンプ室を構成し、前記圧電素子を駆動することにより前記ダイヤフラムを屈曲変形させる圧電ポンプにおいて、
前記ダイヤフラム構造体は、前記ダイヤフラムに対して、当該ダイヤフラムの中央部から周辺方向への引っ張り応力を掛ける張力板を備えたことを特徴とする圧電ポンプ。 - 前記ポンプ本体は、前記ダイヤフラムに対向するポンプ室天板と、前記ダイヤフラムと前記ポンプ室天板との間に挟まれて空間を形成する枠体と、を備え、
前記張力板は、開口部と、当該開口部の内径を拡縮する方向に作用するバネ部と、を有し、当該張力板が前記ダイヤフラムに貼り付けられている、請求項1に記載の圧電ポンプ。 - 前記枠体は、エラストマーの成型体である請求項2に記載の圧電ポンプ。
- ポンプ本体と、外周部がポンプ本体に対して固定され、ダイヤフラムおよび圧電素子を有するダイヤフラム構造体と、前記ポンプ本体と前記ダイヤフラムとでポンプ室を構成し、前記圧電素子を駆動することにより前記ダイヤフラムを屈曲変形させる圧電ポンプにおいて、
前記ダイヤフラム構造体は、前記ダイヤフラムに対して当該ダイヤフラムの中央部から周辺方向への引っ張り応力を掛ける張力板を備え、
前記ダイヤフラムと対向するポンプ室天板と、
前記ダイヤフラムの中心部と対向する前記ポンプ室天板の部位に形成され、ポンプ室の内部と外部とを連通する第1の開口部と、
前記ポンプ室天板を間にしてポンプ室と反対側に、ポンプ室天板と間隔をあけて設けられた天板と、
前記第1開口部と対向する天板の部位に形成された第2の開口部と、
前記ポンプ室天板と前記天板との間に形成され、一端がポンプ室の外部に連通され、他端が前記第1開口部および第2開口部に接続された流入通路とを備えることを特徴とする圧電ポンプ。 - 前記ダイヤフラムの共振周波数は、前記張力板による前記ダイヤフラムに与えられる張力によって、前記圧電素子の固有振動周波数に近似するものである請求項1〜4のいずれかに記載の圧電ポンプ。
- ポンプ本体と、外周部がポンプ本体に対して固定され、ダイヤフラムおよび圧電素子を有するダイヤフラム構造体と、前記ポンプ本体と前記ダイヤフラムとでポンプ室を構成し、前記圧電素子を駆動することにより前記ダイヤフラムを屈曲変形させる圧電ポンプの製造方法であって、
内径がポンプ室の内径よりも大きく開口し、四隅にバネ構造を有する張力板を、前記開口径が小さくなるように、治具にしまりばめする工程と、
前記張力板が前記治具に取り付けられている状態で、前記張力板に前記ダイヤフラム構造体の前記ダイヤフラムを貼り付ける工程と、
前記治具から前記張力板とともに前記ダイヤフラム構造体を取り外して、前記張力板付きのダイヤフラム構造体を得る工程と、
前記張力板付きダイヤフラム構造体と、前記ポンプ室本体とを接合し、ポンプ室を形成する工程と、を備えたことを特徴とする圧電ポンプの製造方法。
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JP2007269330A JP4957504B2 (ja) | 2007-10-16 | 2007-10-16 | 圧電ポンプおよびその製造方法 |
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ID=40700657
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102900658A (zh) * | 2012-10-16 | 2013-01-30 | 南京航空航天大学 | 一种多锥型腔无阀压电泵 |
CN109424519A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 研能科技股份有限公司 | 微机电的流体控制装置 |
US10883487B2 (en) | 2017-08-31 | 2021-01-05 | Microjet Technology Co., Ltd. | Micro-electromechanical fluid control device |
WO2023132250A1 (ja) * | 2022-01-07 | 2023-07-13 | オムロンヘルスケア株式会社 | ポンプの構造体 |
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- 2007-10-16 JP JP2007269330A patent/JP4957504B2/ja active Active
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