JP2009093984A - 有機el表示装置およびその製造方法 - Google Patents
有機el表示装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009093984A JP2009093984A JP2007265346A JP2007265346A JP2009093984A JP 2009093984 A JP2009093984 A JP 2009093984A JP 2007265346 A JP2007265346 A JP 2007265346A JP 2007265346 A JP2007265346 A JP 2007265346A JP 2009093984 A JP2009093984 A JP 2009093984A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- laser beam
- element substrate
- layer
- display device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】レーザ光源40から出射したレーザビーム41はダイクロイックミラー42を通過して、ガルバノミラー43によって反射し、放物線ミラー50に入射する。ガルバノミラー43は放物線ミラー50の焦点に設置されているので、放物線ミラー50を反射したレーザビーム41は真空チャンバ60のガラス窓61を通過して、真空チャンバ60内に設置された、有機EL材料が設置された材料板30に直角に入射する。材料板30に設置された有機EL材料はレーザビーム41によって加熱され、蒸発して、素子基板10に転写される。レーザビーム41は材料板30に常に直角に入射するので、有機EL材料の精度の良い転写が可能になる。
【選択図】図3
Description
一方、本実施例の問題点は、レーザマスク80から材料板30あるいは素子基板10までの距離が長いために、マスクと素子基板10の合わせ精度である。しかし、本実施例では、レーザビーム41がレーザマスク80に対して直角に入射するので、中央以外では蒸着物が斜め方向からシャドーマスクに入射する、蒸着方式に比べて制御が容易である。つまり、素子基板10とレーザマスク80が離れている不利点は、レーザビーム41がレーザマスク80、材料板30、素子基板10等に垂直に入射することによって相殺することが出来る。したがって、本実施例は有機EL材料を素子基板10に転写する有力な方法である。
Claims (8)
- 有機EL層による画素が複数形成されることによって表示領域が形成される素子基板を有する有機EL表示装置の製造方法であって、
前記素子基板の前記画素は、有機EL材料を有する材料板を前記素子基板に近接して配置し、前記材料板にレーザビームを照射することによって前記有機EL材料を前記素子基板に転写することによって形成され、
前記レーザビームは、レーザ光源から出射し、ダイクロイックミラーを通過し、ガルバノミラーによって反射され、放物線ミラーによって反射し、
前記ガルバノミラーは前記放物線ミラーの焦点に存在しており、前記レーザビームは前記ガルバノミラーによって走査され、前記レーザビームは前記材料板に、前記レーザビームが照射される全域において垂直に入射することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 前記材料板と前記素子基板は真空チャンバ内に存在しており、前記レーザビームは前記真空チャンバのガラス窓を通して前記材料板に照射されることを特徴とする請求項1に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記レーザビームは前記ガルバノミラーによって間欠的に走査されることを特徴とする請求項1に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 有機EL材料を有する材料板を画素が形成される素子基板に近接して配置し、レーザビームによって前記有機EL材料を前記素子基板に転写する有機EL表示装置の製造装置であって、
前記レーザビームは、レーザ光源から出射し、ダイクロイックミラーを通過し、ガルバノミラーによって反射され、放物線ミラーによって反射し、
前記ガルバノミラーは前記放物線ミラーの焦点に存在しており、前記ガルバノミラーによって前記レーザビームが走査されることを特徴とする有機EL表示装置の製造装置。 - 前記材料板と前記素子基板は真空チャンバ内に設置され、前記レーザビームは前記真空チャンバのガラス窓を通して前記材料板に照射されることを特徴とする請求項4に記載の有機EL表示装置の製造装置。
- 前記レーザビームは前記ガルバノミラーによって間欠的に走査されることを特徴とする請求項4に記載の有機EL表示装置の製造装置。
- 有機EL層による画素が複数形成されることによって表示領域が形成される素子基板を有する有機EL表示装置であって、
前記素子基板の前記画素は、有機EL材料を有する材料板を前記素子基板に近接して配置し、前記材料板にガルバノミラーを介してレーザビームを照射することによって、前記有機EL材料を前記素子基板に転写することによって形成され、
前記画素の有機EL層のサイズは画面中央と画面周辺とにおいて、15%以内で一致していることを特徴とする有機EL表示装置。 - 前記画素の有機EL層の厚さは、画面中央と画面周辺とにおいて、15%以内で一致していることを特徴とする請求項7に記載の有機EL表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007265346A JP2009093984A (ja) | 2007-10-11 | 2007-10-11 | 有機el表示装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007265346A JP2009093984A (ja) | 2007-10-11 | 2007-10-11 | 有機el表示装置およびその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010227163A Division JP2011003558A (ja) | 2010-10-07 | 2010-10-07 | 表示装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009093984A true JP2009093984A (ja) | 2009-04-30 |
Family
ID=40665766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007265346A Pending JP2009093984A (ja) | 2007-10-11 | 2007-10-11 | 有機el表示装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009093984A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011165647A (ja) * | 2010-02-11 | 2011-08-25 | Samsung Mobile Display Co Ltd | レーザ熱転写用マスク、及びこれを利用した有機電界発光表示装置の製造方法 |
JP2013016480A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-24 | Samsung Display Co Ltd | レーザー熱転写装置及びこれを用いた有機発光表示装置の製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5026983A (en) * | 1988-09-30 | 1991-06-25 | Meyn B.V. | Method and apparatus for examining food products by means of irradiation |
JPH06114950A (ja) * | 1992-10-01 | 1994-04-26 | Shiimetsuto Kk | 光硬化造形装置 |
JP2000056283A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-25 | Hamamatsu Photonics Kk | 液晶パネルの画素欠陥修正装置 |
JP2000180759A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-30 | Samsung Electronics Co Ltd | 投射装置 |
JP2002222694A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Sharp Corp | レーザー加工装置及びそれを用いた有機エレクトロルミネッセンス表示パネル |
JP2003245789A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-02 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工ヘッド |
JP2003257641A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-12 | Sharp Corp | 有機led素子の製造方法及び製造装置 |
JP2005118847A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-05-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 光学装置及びレーザ照射装置 |
JP2006309994A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Sony Corp | 転写用基板および転写方法ならびに表示装置の製造方法 |
-
2007
- 2007-10-11 JP JP2007265346A patent/JP2009093984A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5026983A (en) * | 1988-09-30 | 1991-06-25 | Meyn B.V. | Method and apparatus for examining food products by means of irradiation |
JPH06114950A (ja) * | 1992-10-01 | 1994-04-26 | Shiimetsuto Kk | 光硬化造形装置 |
JP2000056283A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-25 | Hamamatsu Photonics Kk | 液晶パネルの画素欠陥修正装置 |
JP2000180759A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-30 | Samsung Electronics Co Ltd | 投射装置 |
JP2002222694A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Sharp Corp | レーザー加工装置及びそれを用いた有機エレクトロルミネッセンス表示パネル |
JP2003245789A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-02 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工ヘッド |
JP2003257641A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-12 | Sharp Corp | 有機led素子の製造方法及び製造装置 |
JP2005118847A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-05-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 光学装置及びレーザ照射装置 |
JP2006309994A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Sony Corp | 転写用基板および転写方法ならびに表示装置の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011165647A (ja) * | 2010-02-11 | 2011-08-25 | Samsung Mobile Display Co Ltd | レーザ熱転写用マスク、及びこれを利用した有機電界発光表示装置の製造方法 |
US8785081B2 (en) | 2010-02-11 | 2014-07-22 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask for laser induced thermal imaging and method of fabricating organic electro-luminescence display device using the same |
JP2013016480A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-24 | Samsung Display Co Ltd | レーザー熱転写装置及びこれを用いた有機発光表示装置の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11826855B2 (en) | Deposition mask, mask member for deposition mask, method of manufacturing deposition mask, and method of manufacturing organic EL display apparatus | |
US9276212B2 (en) | Method of cutting flexible display device and method of fabricating flexible display device using the same | |
US8292684B2 (en) | Method of manufacturing flat panel display device | |
US20170278913A1 (en) | Array substrate and manufacturing method thereof and organic light-emitting display apparatus | |
US6284307B1 (en) | Color organic EL display and fabrication method thereof | |
US7545403B2 (en) | Optical system having image direction modulator and LITI apparatus including the system | |
US20150001495A1 (en) | Donor substrate for transfer and manufacturing method of organic light emitting diode display | |
US10644256B2 (en) | Organic electroluminescent display device and method for producing same | |
JP2006293353A (ja) | 平板表示装置及びその製造方法 | |
US8848749B2 (en) | Light radiating device and method of fabricating organic light emitting diode display device using the same | |
TW201134594A (en) | Laser beam irradiation apparatus for substrate sealing, substrate sealing method, and method of manufacturing organic light emitting display device using the same | |
WO2019130417A1 (ja) | 有機elデバイスおよびその製造方法 | |
WO2019008705A1 (ja) | 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 | |
US9515296B2 (en) | Deposition device including laser mask and deposition method using the same | |
KR20160030002A (ko) | 도너마스크 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 | |
KR102015845B1 (ko) | 레이저 조사장치 및 이를 이용한 유기발광소자 제조방법 | |
JP2009093984A (ja) | 有機el表示装置およびその製造方法 | |
JP2006244944A (ja) | 有機el装置の製造方法、蒸着ボート | |
JP2011003558A (ja) | 表示装置の製造方法 | |
US20120040292A1 (en) | Transfer method, transfer apparatus, and method of manufacturing organic light emitting element | |
US20220181583A1 (en) | Display device and method of providing the same | |
KR100989130B1 (ko) | 레이저 조사 장치 및 그를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조 방법 | |
US8785081B2 (en) | Mask for laser induced thermal imaging and method of fabricating organic electro-luminescence display device using the same | |
KR20160032342A (ko) | 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 | |
US20140290847A1 (en) | Optical system and substrate sealing method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101007 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110218 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120425 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120724 |