JP2009092680A - 回折格子及びこれを用いた分光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 小型で駆動部の少ない回折格子及びこれを用いた分光装置を実現する。
【解決手段】 入射光を複数回分散して迷光を減少させた分散光を出射する回折格子において、入射光を分散させる格子が一方の面に形成された基板と、この基板の格子が形成された面に一方の面が密着して固定されたプリズムと、長手方向が格子の形成方向に平行になるようにプリズムの他方の面に形成された長方形のミラーと、プリズムの他方の面であってミラーの長辺に接すると共に格子の形成方向に垂直な方向にそれぞれ形成された2つの光吸収膜とを設ける。
【選択図】 図1
【解決手段】 入射光を複数回分散して迷光を減少させた分散光を出射する回折格子において、入射光を分散させる格子が一方の面に形成された基板と、この基板の格子が形成された面に一方の面が密着して固定されたプリズムと、長手方向が格子の形成方向に平行になるようにプリズムの他方の面に形成された長方形のミラーと、プリズムの他方の面であってミラーの長辺に接すると共に格子の形成方向に垂直な方向にそれぞれ形成された2つの光吸収膜とを設ける。
【選択図】 図1
Description
本発明は、入射光を複数回分散して迷光を減少させた分散光を出射する回折格子及びこれを用いた分光装置に関し、特に小型で駆動部の少ない回折格子及びこれを用いた分光装置に関する。
従来の入射光を複数回分散して迷光を減少させた分散光を出射する回折格子及びこれを用いた分光装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
図4は従来の分光装置を用いた分析システムの一例を示す構成ブロック図である。図4において、1はキセノンランプや重水素ランプ等の光を出射する光源、2及び3は回折格子等で入射光を分光して出力する分光器、4は分析対象の試料が充填等された試料セル、5は入射光を検出する光電子増倍管やフォトダイオード等の光検出器である。
光源1からの出射光は分光器2に入射され、分光器2からの出射光は分光器3に入射される。また、分光器3からの出射光は試料セル4に入射され、試料セル4の透過光は光検出器5に入射される。
ここで、図4に示す従来例の動作を説明する。図4中”LG01”に示す光源1の出射光は、第1の分光手段である分光器2で分光されて図4中”LG02”に示す分散光として出射される。
図4中”LG02”に示す分光器2の出射光(分散光)には迷光が含まれているので、当該出射光(分散光)は第2の分光手段である分光器3において更に分光されて図4中”LG03”に示す加分散光として出射される。
図4中”LG03”に示す2つの分光手段(或いは、ダブルモノクロメータ)で順次分光された出射光(加分散光)に含まれる迷光は、図4中”LG02”に示す1つの分光器2で分光された出射光(分散光)に含まれる迷光と比較して少なくなる。
このような、図4中”LG03”に示す迷光が少ない出射光(加分散光)を試料セル4に照射させ、図4中”LG04”に示す透過光の強度を光検出器5で検出することにより、試料セル4の充填等されている試料の光学的な分析を行なう。
この結果、光源からの出射光を2つの分光手段(或いは、ダブルモノクロメータ)によって順次分光することにより得られる迷光の少ない出射光(加分散光)を試料セル4に照射させ、その透過光の強度を光検出器5で検出することにより、より正確な分光分析を行なうことができる。
しかし、図4に示す従来例では、分光手段が2つ必要となると共に、十分な光伝播距離を確保する必要性等に起因して、分析システム(或いは、2つの分光手段で構成される分光装置自身)の規模が大きくなってしまうと言った問題点がった。
また、2つの分光手段を使用する場合、分光手段の回折格子等の分散素子を駆動するための駆動系が2系統必要となると共に2つの駆動系の連携動作も必要となり、駆動系の制御が非常に煩雑になると言った問題点があった。
従って本発明が解決しようとする課題は、小型で駆動部の少ない回折格子及びこれを用いた分光装置を実現することにある。
従って本発明が解決しようとする課題は、小型で駆動部の少ない回折格子及びこれを用いた分光装置を実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
入射光を複数回分散して迷光を減少させた分散光を出射する回折格子において、
入射光を分散させる格子が一方の面に形成された基板と、この基板の前記格子が形成された面に一方の面が密着して固定されたプリズムと、長手方向が前記格子の形成方向に平行になるように前記プリズムの他方の面に形成された長方形のミラーと、前記プリズムの他方の面であって前記ミラーの長辺に接すると共に前記格子の形成方向に垂直な方向にそれぞれ形成された2つの光吸収膜とを備えたことにより、単一の回折格子を用いて加分散光を出射させることができるので、小型化が可能になる。
入射光を複数回分散して迷光を減少させた分散光を出射する回折格子において、
入射光を分散させる格子が一方の面に形成された基板と、この基板の前記格子が形成された面に一方の面が密着して固定されたプリズムと、長手方向が前記格子の形成方向に平行になるように前記プリズムの他方の面に形成された長方形のミラーと、前記プリズムの他方の面であって前記ミラーの長辺に接すると共に前記格子の形成方向に垂直な方向にそれぞれ形成された2つの光吸収膜とを備えたことにより、単一の回折格子を用いて加分散光を出射させることができるので、小型化が可能になる。
請求項2記載の発明は、
入射光を複数回分散して迷光を減少させた分散光を出射する回折格子において、
入射光を分散させる格子が一方の面に形成された基板と、この基板の前記格子が形成された面に一方の面が密着して固定されたプリズムと、長手方向が前記格子の形成方向に平行になるように前記プリズムの他方の面にそれぞれ形成された長方形の2つのミラーと、前記プリズムの他方の面であって前記2つのミラーの一方の長辺にそれぞれ接すると共に前記2つのミラーの間に形成された第1の光吸収膜と、前記プリズムの他方の面であって前記2つミラーの他方の長辺に接すると共に前記格子の形成方向に垂直な方向にそれぞれ形成された第2及び第3の光吸収膜とを備えたことにより、単一の回折格子を用いて加分散光を出射させることができるので、小型化が可能になる。
入射光を複数回分散して迷光を減少させた分散光を出射する回折格子において、
入射光を分散させる格子が一方の面に形成された基板と、この基板の前記格子が形成された面に一方の面が密着して固定されたプリズムと、長手方向が前記格子の形成方向に平行になるように前記プリズムの他方の面にそれぞれ形成された長方形の2つのミラーと、前記プリズムの他方の面であって前記2つのミラーの一方の長辺にそれぞれ接すると共に前記2つのミラーの間に形成された第1の光吸収膜と、前記プリズムの他方の面であって前記2つミラーの他方の長辺に接すると共に前記格子の形成方向に垂直な方向にそれぞれ形成された第2及び第3の光吸収膜とを備えたことにより、単一の回折格子を用いて加分散光を出射させることができるので、小型化が可能になる。
請求項3記載の発明は、
請求項1若しくは請求項2記載の発明である回折格子を、
前記格子の形成方向に垂直な方向に移動させて入射光の入射位置を変化させて特定の波長の出射光を出射させることにより、駆動部を少なくすることが可能になる。
請求項1若しくは請求項2記載の発明である回折格子を、
前記格子の形成方向に垂直な方向に移動させて入射光の入射位置を変化させて特定の波長の出射光を出射させることにより、駆動部を少なくすることが可能になる。
請求項4記載の発明は、
請求項1若しくは請求項2記載の発明である回折格子を、
入射光の入射位置を中心に回転させ入射角を変化させて特定の波長の出射光を出射させることにより、駆動部を少なくすることが可能になる。
請求項1若しくは請求項2記載の発明である回折格子を、
入射光の入射位置を中心に回転させ入射角を変化させて特定の波長の出射光を出射させることにより、駆動部を少なくすることが可能になる。
本発明によれば次のような効果がある。
請求項1の発明によれば、基板の格子面に密着するようにプリズムの一方の面を固定し、プリズムの他方の面に長手方向が格子の形成方向に平行になるように長方形のミラーを形成し、ミラーの長辺に接すると共に格子の形成方向に垂直な方向に2つの光吸収膜をそれぞれ形成することにより、単一の回折格子を用いて加分散光を出射させることができるので、小型化が可能になる。
請求項1の発明によれば、基板の格子面に密着するようにプリズムの一方の面を固定し、プリズムの他方の面に長手方向が格子の形成方向に平行になるように長方形のミラーを形成し、ミラーの長辺に接すると共に格子の形成方向に垂直な方向に2つの光吸収膜をそれぞれ形成することにより、単一の回折格子を用いて加分散光を出射させることができるので、小型化が可能になる。
また、請求項2の発明によれば、基板の格子面に密着するようにプリズムの一方の面を固定し、プリズムの他方の面に長手方向が格子の形成方向に平行になるように長方形のミラーを2つ形成し、2つのミラーの間であって各ミラーの一方の長辺に接するように光吸収膜を形成し、ミラーの他方の長辺に接すると共に格子の形成方向に垂直な方向に2つの光吸収膜をそれぞれ形成することにより、単一の回折格子を用いて加分散光を出射させることができるので、小型化が可能になる。
また、請求項3の発明によれば、回折格子を格子の形成方向に垂直な方向に移動させて入射光の入射位置を変化させて特定の波長の出射光を出射させることにより、駆動部を少なくすることが可能になる。
また、請求項4の発明によれば、入射光の入射位置を中心に回折格子を回転させ入射角を変化させて特定の波長の出射光を出射させることにより、駆動部を少なくすることが可能になる。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明に係る回折格子の一実施例を示す断面図である。
図1において、6は格子が形成された面(以下、格子面と呼ぶ。)への入射光を分散させる基板、7は入射光を屈折させ伝播させるプリズム、8は入射光を反射させるミラー、9及び10は入射光を吸収する光吸収膜である。また、6,7,8,9及び10は回折格子を構成している。
但し、図1中”GD11”に示す格子は図面に対して垂直方向に形成されているものとする。
図1中"GD11”示す格子が形成された基板6の格子面に密着するようにプリズム7の一面が接着剤等により固定され、プリズム7であって密着する格子面とは反対の面に、長手方向が当該格子の形成方向に平行になるように長方形のミラー8が形成される。
また、プリズム7のミラー8が形成された面上であって、長方形であるミラー8の長辺に接すると共に基板6の格子の形成方向に垂直な方向に光吸収膜9及び10がそれぞれ形成される。
ここで、図1に示す実施例の動作を説明する。入射光は、プリズム7の表面で屈折してプリズム7内に入射し、プリズム7内を伝播して基板6の格子面に到達する。
例えば、図1中”IL11”に示す入射光(但し、実際に、入射光は幅を有する平行光であって矢印はその中心線を示すものとする。)は、プリズム7の表面で屈折してプリズム7内に入射し、図1中”RL11”に示すようにプリズム7内を伝播して基板6の格子面に到達する。
基板6の格子面に到達した光は、基板6の格子面で反射され、波長毎に分散され複数の分散光としてプリズム7内を伝播して、プリズム7であって密着する格子面とは反対の面に形成されたミラー8、光吸収膜9及び10に到達する。
例えば、図1中”RL11”に示す屈折光は、基板6の格子面で反射され、図1中”DL11”,”DL12”及び”DL13”に示す分散光としてプリズム7内を伝播して、プリズム7であって密着する格子面とは反対の面に形成された光吸収膜9、ミラー8及び光吸収膜10にそれぞれ到達する。
光吸収膜9及び10に到達した分散光は吸収されてしまうものの、ミラー8に到達した分散光は反射され、再び、プリズム7内を伝播して基板6の格子面に到達する。
例えば、図1中”RL12”に示すように反射光はプリズム7内を伝播して基板6の格子面に到達する。
そして、基板6の格子面に到達したミラー8における反射光は、基板6の格子面で反射され、波長毎に分散され複数の分散光としてプリズム7内を伝播して、プリズム7であって密着する格子面とは反対の面に到達し、プリズム7の表面で屈折して出射光として出射される。
例えば、図1中”RL12”に示す反射光は、基板6の格子面で反射され、図1中”DL14”,”DL15”及び”DL16”に示す分散光としてプリズム7内を伝播して、プリズム7であって密着する格子面とは反対の面に到達し、プリズム7の表面でそれぞれ屈折して図1中”OL11”に示す出射光としてそれぞれ出射される。
すなわち、図1に示す実施例では、ミラー8における反射光が、再度分散されて出射光(加分散光)として出射することになる。特に、長方形のミラー8は長手方向が基板6の格子の形成方向に平行になるように形成されているので、特定の波長領域を限定的に反射することになるのでスリットしての機能も兼ねることになる。
そして、特定の波長の出射光(加分散光)を出射させる場合には、分光装置を基板6の格子の形成方向に垂直な方向に移動させて入射光の入射位置を変化させる、或いは、入射光の入射位置を中心に分光装置を回転させ入射角を変化させる。
特定の波長の出射光(加分散光)を出射させる方法を図2を用いてより詳細に説明する。図2は特定の波長の出射光(加分散光)を出射させる方法を説明する説明図である。
先ず、第1に、入射位置を変化させる方法では、入射角”θin”を一定にし、分光装置を基板6の格子の形成方向に垂直な方向に移動させることにより、入射光の入射位置”A”からミラーまでの距離”Q”を変化させる。
距離”Q”は、分散光のそれぞれの波長によって異なるので、距離”Q”を変化させながら出射光(加分散光)を出射させればスペクトルを得ることができる。
例えば、回折格子の1mm当たりの溝本数が”100本”、プリズムの高さ”h=15mm”、入射角”θin=60度”、測定波長範囲”400〜1200nm”とすると、距離”Q”を”19.80mm〜18.53mm”の間で移動させれば良い。
この場合、ミラーから出射位置”B”までの距離”R”が”18.50mm〜16.02mm”の間で変化し、出射角”θout”は”51.82度〜43.57度”の間で変化する。
また、第2に、入射角を変化させる方法では、図2中”A”点を回転中心とし、距離”Q”を一定にすることにより、等価的に入射角”θin”が変化することになるので、格子面での回折角も変化して、ミラーで反射される分散光の波長も変化してスペクトルを得ることができる。
例えば、回折格子の1mm当たりの溝本数が”100本”、プリズムの高さ”h=15mm”、距離”Q”が”15mm”、測定波長範囲”400〜1200nm”とすると、入射角度”θin”を”45.0度〜18.3度”の間で回転させれば良い。
この場合、ミラーから出射位置”B”までの距離”R”が”13.94mm〜12.84mm”の間で変化し、出射角”θout”は”38.84度〜34.91度”の間で変化する。
この結果、基板の格子面に密着するようにプリズムの一方の面を固定し、プリズムの他方の面に長手方向が格子の形成方向に平行になるように長方形のミラーを形成し、ミラーの長辺に接すると共に格子の形成方向に垂直な方向に2つの光吸収膜をそれぞれ形成することにより、単一の回折格子を用いて加分散光を出射させることができるので、小型化が可能になる。
また、回折格子を格子の形成方向に垂直な方向に移動させて入射光の入射位置を変化させる、或いは、入射光の入射位置を中心に回折格子を回転させ入射角を変化させることにより、スペクトルを得ることができるので、駆動部を少なくすることが可能になる。
なお、図1に示す実施例では、単一の回折格子で2回の分散をおこなっているが、回折格子で3回以上の分散を行なわせても構わない。
図3は本発明に係る回折格子の他の実施例を示す断面図である。図3において、11は格子面への入射光を分散させる基板、12は入射光を屈折させ伝播させるプリズム、13及び14は入射光を反射させるミラー、15,16及び17は入射光を吸収する光吸収膜である。また、11,12,13,14,15,16及び17は回折格子を構成している。
但し、図3中”GD31”に示す格子は図面に対して垂直方向に形成されているものとする。
図3中"GD31”示す格子が形成された基板11の格子面に密着するようにプリズム12の一面が接着剤等により固定され、プリズム12であって密着する格子面とは反対の面に、長手方向が当該格子の形成方向に平行になるように長方形のミラー13及び14が格子の形成方向に垂直な方向に間隔をあけて形成される。
また、プリズム12のミラー13及び14が形成された面上であって、長方形であるミラー13及び14の一方の長辺にそれぞれ接すると共にミラー13及び14の間に光吸収層16が形成される。
また、長方形であるミラー13の他方の長辺に接すると共に基板11の格子の形成方向に垂直な方向に光吸収膜15が形成され、長方形であるミラー14の他方の長辺に接すると共に基板11の格子の形成方向に垂直な方向に光吸収膜17が形成される。
ここで、図3に示す実施例の動作を説明する。但し、基本的には図1に示す実施例と同様であるのでその部分の説明は適宜省略する。
図3中”IL31”に示す入射光は、プリズム12の表面で屈折してプリズム12内に入射し、プリズム12内を伝播して基板11の格子面に到達する。
基板11の格子面に到達した光は、基板11の格子面で反射され、波長毎に分散され複数の分散光としてプリズム12内を伝播して、プリズム12であって密着する格子面とは反対の面に形成されたミラー13、光吸収膜15及び16に到達する。
光吸収膜15及び16に到達した分散光は吸収されてしまうものの、ミラー13に到達した分散光は反射され、再び、プリズム12内を伝播して基板11の格子面に到達する。
そして、基板11の格子面に到達したミラー13における反射光は、基板11の格子面で反射され、波長毎に分散され複数の分散光としてプリズム12内を伝播して、プリズム12であって密着する格子面とは反対の面に形成されたミラー14、光吸収膜16及び17に到達する。
光吸収膜16及び17に到達した分散光は吸収されてしまうものの、ミラー14に到達した分散光は反射され、再び、プリズム12内を伝播して基板11の格子面に到達する。
さらに、基板11の格子面に到達したミラー14における反射光は、基板11の格子面で反射され、波長毎に分散され複数の分散光としてプリズム12内を伝播して、プリズム12であって密着する格子面とは反対の面に到達し、プリズム12の表面で屈折して図3中”OL31”に示すように出射光として出射される。
すなわち、図3に示す実施例では、ミラー13における反射光に2回目の分散を行い、更に、ミラー14の反射光に3回目の分散を行なって出射光(加分散光)として出射することになる。
特に、長方形のミラー13及び14は長手方向が基板11の格子の形成方向に平行になるように形成されているので、特定の波長領域を限定的に反射することになるのでスリットしての機能も兼ねることになる。
この結果、基板の格子面に密着するようにプリズムの一方の面を固定し、プリズムの他方の面に長手方向が格子の形成方向に平行になるように長方形のミラーを2つ形成し、2つのミラーの間であって各ミラーの一方の長辺に接するように光吸収膜を形成し、ミラーの他方の長辺に接すると共に格子の形成方向に垂直な方向に2つの光吸収膜をそれぞれ形成することにより、単一の回折格子を用いて加分散光を出射させることができるので、小型化が可能になる。
また、回折格子を格子の形成方向に垂直な方向に移動させて入射光の入射位置を変化させる、或いは、入射光の入射位置を中心に回折格子を回転させ入射角を変化させることにより、スペクトルを得ることができるので、駆動部を少なくすることが可能になる。
また、図1及び図3に示す実施例では、駆動部に関しては、当業者が容易に想到可能な機構或いは構成であれば良い。
1 光源
2,3 分光器
4 試料セル
5 光検出器
6,11 基板
7,12 プリズム
8,13,14 ミラー
9,10,15,16,17 光吸収膜
2,3 分光器
4 試料セル
5 光検出器
6,11 基板
7,12 プリズム
8,13,14 ミラー
9,10,15,16,17 光吸収膜
Claims (4)
- 入射光を複数回分散して迷光を減少させた分散光を出射する回折格子において、
入射光を分散させる格子が一方の面に形成された基板と、
この基板の前記格子が形成された面に一方の面が密着して固定されたプリズムと、
長手方向が前記格子の形成方向に平行になるように前記プリズムの他方の面に形成された長方形のミラーと、
前記プリズムの他方の面であって前記ミラーの長辺に接すると共に前記格子の形成方向に垂直な方向にそれぞれ形成された2つの光吸収膜と
を備えたことを特徴とする回折格子。 - 入射光を複数回分散して迷光を減少させた分散光を出射する回折格子において、
入射光を分散させる格子が一方の面に形成された基板と、
この基板の前記格子が形成された面に一方の面が密着して固定されたプリズムと、
長手方向が前記格子の形成方向に平行になるように前記プリズムの他方の面にそれぞれ形成された長方形の2つのミラーと、
前記プリズムの他方の面であって前記2つのミラーの一方の長辺にそれぞれ接すると共に前記2つのミラーの間に形成された第1の光吸収膜と、
前記プリズムの他方の面であって前記2つミラーの他方の長辺に接すると共に前記格子の形成方向に垂直な方向にそれぞれ形成された第2及び第3の光吸収膜と
を備えたことを特徴とする回折格子。 - 請求項1若しくは請求項2記載の回折格子を、
前記格子の形成方向に垂直な方向に移動させて入射光の入射位置を変化させて特定の波長の出射光を出射させることを特徴とする分光装置。 - 請求項1若しくは請求項2記載の回折格子を、
入射光の入射位置を中心に回転させ入射角を変化させて特定の波長の出射光を出射させることを特徴とする分光装置。
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JP2015094728A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-18 | オリンパス株式会社 | 分光装置、及び、それを備えた共焦点走査型顕微鏡 |
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2007
- 2007-10-03 JP JP2007260023A patent/JP2009092680A/ja active Pending
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