JP2009092580A - 周期構造測定方法及びその方法を用いた周期構造測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース部上の周期構造体10の表面に、構造体10の周期のオーダーの波長の光を入射し、前記周期構造体10からの反射光強度の波長依存性である反射スペクトルの測定値を測定し、前記周期構造部の深さ(d)、デューティ比(f)、および前記ベース部の厚さ分布(Dmax、Dmin)を仮定して反射スペクトルの計算値を算出し、前記反射スペクトルの測定値と前記反射スペクトルの計算値との差分の二乗和を算出し、該算出した差分の二乗和が予め定められた許容範囲内になったときの前記反射スペクトルの計算値を算出する際に仮定した前記周期構造部の深さ(d)、デューティ比(f)、および前記ベース部の厚さ分布(Dmax、Dmin)を出力する。
【選択図】図3
Description
Dk=Dmin+(Dmax−Dmin)(2k−1)/(2N) ・・・(1)
によって求めることとする。すなわち、単位領域内でのベース部の傾斜についてまでは考慮しないこととする。
f=w/Λ ・・・(2)
によって定義する。
Claims (8)
- 周期構造部と、該周期構造部と同じ材料で形成されるベース部と、からなる周期構造体の表面に測定光を入射し、前記周期構造体からの回折光に基づいて形状を測定する周期構造測定方法であって、
周期構造体の周期のオーダーの波長を有する測定光を前記周期構造体に対して入射し、
前記周期構造体からの回折光強度の波長依存性であるスペクトルの測定値を測定し、
前記周期構造部の深さ、デューティ比、および前記ベース部の厚さ分布を仮定してスペクトルの計算値を算出し、
前記スペクトルの測定値と前記スペクトルの計算値との誤差を算出し、
該算出した誤差が予め定められた許容範囲内になったときの前記スペクトルの計算値を算出する際に仮定した前記周期構造部の深さ、デューティ比、および前記ベース部の厚さ分布を出力することを特徴とする周期構造測定方法。 - 前記スペクトルの計算値を算出する際には、
前記周期構造体の測定エリアを複数の領域に分割し、分割された領域毎のベース部の厚さに基づいて、領域毎のスペクトルの計算値を算出し、
前記領域毎のスペクトルの計算値を平均することによって、前記周期構造体の測定エリアの全領域のスペクトルの計算値を算出することを特徴とする請求項1に記載の周期構造測定方法。 - 前記領域毎のスペクトルの計算値を平均する際には単純平均を用いることを特徴とする請求項2に記載の周期構造測定方法。
- 前記領域毎のスペクトルの計算値を平均する際には加重平均を用いることを特徴とする請求項2に記載の周期構造測定方法。
- スペクトルの計算値はRCWA法によって算出することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の周期構造測定方法。
- 該算出した誤差が予め定められた許容範囲内になったと判定するための手法として遺伝的アルゴリズムを用いたことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の周期構造測定方法。
- 該算出した誤差が予め定められた許容範囲内になったと判定するための手法として共役傾斜法を用いたことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の周期構造測定方法。
- 請求項1乃至請求項7のいずれかの周期構造測定方法を用いることを特徴とする周期構造測定装置。
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JP2006226994A (ja) * | 2004-12-30 | 2006-08-31 | Accent Optical Technologies Inc | 特性シグナチャのマッチングによる光波散乱計測方法 |
JP2007523488A (ja) * | 2004-02-23 | 2007-08-16 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 光波散乱測定データに基づいてプロセスパラメータ値を決定する方法 |
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