JP2009092564A - 検水の濃縮方法及び濃縮装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検水を透水性半透膜を介して高浸透圧物質と接触させ、該検水中の水を高浸透圧物質側へ透過させることにより分析対象物質を濃縮し、該検水と接触した高浸透圧物質を別の濃縮手段を用いて濃縮し、濃縮された高浸透圧物質を検水の濃縮に循環使用する。検水濃縮用の透水性半透膜装置1と、高浸透圧物質貯留タンク2と高浸透圧物質濃縮用の透水性半透膜装置3とで構成される検水の濃縮装置。
【選択図】図1
Description
本発明の検水の濃縮方法及び装置は、半導体産業、電力・原子力産業、医薬産業、その他の産業分野において、分析対象物質を極微量に含む検水、例えば超純水の連続分析に有用である。
本発明はまた、この検水の濃縮方法及び濃縮装置を利用した超純水製造方法及び装置に関する。
本発明はまた、この検水の濃縮方法及び濃縮装置を利用して超純水を濃縮した後、その水質を分析し、この結果に基いて効率的な超純水の製造を行う方法と装置を提供することを目的とする。
本発明の検水の濃縮方法及び装置は、半導体産業、電力・原子力産業、医薬産業、その他の産業分野において、分析対象物質を極微量に含む検水、例えば超純水の連続分析に有用である。
本発明の検水の濃縮方法は、検水を透水性半透膜を介して高浸透圧物質と接触させ、該検水中の水を高浸透圧物質側へ透過させることにより分析対象物質を濃縮する検水濃縮工程と、該検水と接触した高浸透圧物質を検水濃縮手段とは別の濃縮手段を用いて濃縮する高浸透圧物質濃縮工程と、濃縮された高浸透圧物質を前記検水濃縮工程に循環する高浸透圧物質循環工程とを備えるものであり、また、本発明の検水の濃縮装置は、検水を透水性半透膜を介して高浸透圧物質と接触させ、該検水中の水を高浸透圧物質側へ透過させることにより分析対象物質を濃縮する検水濃縮手段と、該検水と接触した高浸透圧物質を濃縮する該検水濃縮手段とは別の高浸透圧物質濃縮手段と、濃縮された高浸透圧物質を前記検水濃縮手段に循環する高浸透圧物質循環手段とを備えるものである。
この検水の濃縮装置では、透水性半透膜装置1の濃縮側に検水を導入すると共に、配管15より透過側に高浸透圧物質を導入し、検水と高浸透圧物質とを透水性半透膜1Aを介して接触させて、検水側から高浸透圧物質側へ水を透過させ、分析対象物質が濃縮された検水を配管16より取出す。この濃縮された検水は、水質分析のための自動分析装置等へ送給される。
水で希釈された高浸透圧物質は、ポンプ等の駆動圧による逆浸透操作により高浸透圧物質に含まれる水が透水性半透膜3Aを透過し、この透過水は配管14を経て系外へ排出される。水が透過することにより濃縮された高浸透圧物質は、配管15より検水濃縮用の透水性半透膜装置1に循環される。
本発明において、濃縮対象となる検水としては特に制限はないが、一般的には、分析対象物質の含有濃度が低く、水質分析のためには濃縮を要するものであり、最も代表的なものとしては、半導体工場等で使用される超純水が挙げられる。
検水の濃縮手段としての透水性半透膜は、検水を分析対象物質濃度が高められた濃縮水と、水又は、分析対象物質濃度が低減された水とに分離するものであり、特に制限はないが、検水が半導体工場等にて使用される超純水の場合、水質管理項目としては、抵抗率、微粒子、生菌、TOC(全有機炭素)、溶存酸素、シリカ、カチオンイオン、アニオンイオン、重金属等が挙げられることから、検水の濃縮に用いる透水性半透膜としては、逆浸透膜が好ましく、逆浸透膜を用いることにより、検水中のNa、K、Fe、Ni、Cr、Mn、Al、Ca、Mg、B、Cu、Zn、Si等のカチオンや重金属類、Cl、SO4、NO3、NO2、PO4、F等のアニオン、シリカや有機酸等のイオン化した有機物、さらにアルコール類、尿素等の非イオン状の有機物やコロイド成分等の濃縮も可能であり、検水中の分析対象物質を、相変化を伴わない濃縮手段にて形態変化をさせることなく、またコンタミネーションが殆どない状態にて濃縮が可能となる。
高浸透圧物質としては、各種塩類をはじめ、ショ糖、異性化糖、水飴、プルラン、果糖、ブドウ糖、マンニトール、ソルビトール、マルゲトールなどの糖類、マンナン質、アルギン酸ソーダ、カラギーナン等の天然高分子、メチルセルロース、ポリアクリル酸ソーダ、グリセリン、プロピレングリコール、ポリエチレングリコール等の合成物ないし合成高分子を用いることができる。これらは1種を単独で用いても良く、2種以上を混合して用いても良いが、液状のものが好適であり、また、検水濃縮手段としての透水性半透膜や、高浸透圧物質濃縮手段としての透水性半透膜を透過しないものを適宜選択使用することが好ましい。
上述のような高浸透圧物質を濃縮する手段としては特に制限はないが、検水の濃縮と同様、高浸透圧物質を気散ないし形態変化させることがないことから、透水性半透膜を用いることが好ましい。高浸透圧物質の濃縮に用いる透水性半透膜としては、検水の濃縮に用いる透水性半透膜と同様、逆浸透膜が好適に用いられるが、その他、ビニロンフィルム、セロハン、コロジオン膜、ナイロンフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム等を用いることもできる。
前述の如く、濃縮された検水の水質分析装置としては、検水が半導体工場等にて使用される超純水の場合、抵抗率、微粒子、生菌、TOC(全有機炭素)、溶存酸素、シリカ、カチオンイオン、アニオンイオン、重金属等の分析装置が挙げられる。
本発明の超純水の製造方法は、製造された超純水を本発明の検水の濃縮方法により濃縮し、濃縮された超純水の水質を分析し、この分析結果に基いて超純水の製造条件を制御するものであり、本発明の超純水の製造装置は、超純水製造手段と、この超純水製造手段で製造された超純水を濃縮する本発明の検水の濃縮装置と、濃縮された超純水の水質を分析する水質分析手段と、この分析結果に基いて、超純水製造手段の運転を管理する運転管理手段とを備えるものである。
図1に示す検水の濃縮装置により、超純水の連続濃縮を行った。
超純水には濃縮操作の状態を確認するため微量金属(ナトリウム、カルシウム、アルミニウム、鉄、ニッケル、銅、亜鉛)を供給濃度5ng/Lとなるように添加した。高浸透圧物質としてはブドウ糖を用い5重量%水溶液を調製して用いた。超純水濃縮用の透水性半透膜装置及び高浸透圧物質濃縮用の透水性半透膜装置には、いずれもポリアミド系逆浸透膜(ES−20、日東電工社製)を用いた。
なお、ブドウ糖水溶液の濃度管理は、ブドウ糖水溶液の総液量を監視し、総液量が一定となるよう制御することで一定条件を維持した。
また、高浸透圧物質として用いたブドウ糖溶液は、超純水の濃縮により一時的に希釈されるものの、高浸透圧物質濃縮用の逆浸透膜装置にて、総液量一定となるように制御することで再濃縮でき、循環利用が可能であった。
2 高浸透圧物質貯留タンク
3 高浸透圧物質濃縮用の透水性半透膜装置
Claims (6)
- 検水を透水性半透膜を介して高浸透圧物質と接触させ、該検水中の水を高浸透圧物質側へ透過させることにより分析対象物質を濃縮する検水濃縮工程と、該検水と接触した高浸透圧物質を検水濃縮手段とは別の濃縮手段を用いて濃縮する高浸透圧物質濃縮工程と、濃縮された高浸透圧物質を前記検水濃縮工程に循環する高浸透圧物質循環工程とを備えることを特徴とする検水の濃縮方法。
- 請求項1において、前記別の濃縮手段が透水性半透膜を含むことを特徴とする検水の濃縮方法。
- 検水を透水性半透膜を介して高浸透圧物質と接触させ、該検水中の水を高浸透圧物質側へ透過させることにより分析対象物質を濃縮する検水濃縮手段と、該検水と接触した高浸透圧物質を濃縮する該検水濃縮手段とは別の高浸透圧物質濃縮手段と、濃縮された高浸透圧物質を前記検水濃縮手段に循環する高浸透圧物質循環手段とを備えることを特徴とする検水の濃縮装置。
- 請求項3において、前記高浸透圧物質濃縮手段が透水性半透膜を含むことを特徴とする検水の濃縮装置。
- 超純水を製造する方法において、製造された超純水の水質を分析し、この分析結果に基いて超純水の製造条件を制御する方法であって、請求項1又は2に記載の検水の濃縮方法により、検水としての超純水を濃縮し、濃縮された超純水の水質を分析することを特徴とする超純水製造方法。
- 超純水の製造手段と、製造された超純水の水質を分析する水質分析手段と、該水質分析手段の分析結果に基いて、前記超純水製造手段の運転を管理する運転管理手段とを備える超純水製造装置において、請求項3又は4に記載の検水の濃縮装置を備え、該検水の濃縮装置で検水としての超純水を濃縮し、濃縮された超純水の水質を前記水質分析手段で分析するようにしたことを特徴とする超純水の製造装置。
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