JP2009087496A - 半導体記憶装置およびその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】リフレッシュビジーレイトが小さく、データ保持時の消費電流が低く、さらに、小型化に優れた半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、半導体層内に設けられたソース層、ドレイン層、ボディ領域と、ボディ領域の第1の面上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、第1のゲート絶縁膜を介して第1の面に設けられた第1のゲート電極と、ボディ領域の第2の面に設けられた第2のゲート絶縁膜と、第2のゲート絶縁膜を介して第2の面に設けられた第2のゲート電極とを備え、リフレッシュ動作時に、ソース層の電位を基準として互いに逆極性の電圧を第1および第2のゲート電極に印加することによって、ドレイン/ソースからボディ領域へ第1の電流を流し、かつ、ボディ領域から第2のゲート電極へ第2の電流を流し、リフレッシュ動作の1周期内における第1の電流に基づく電荷の量と第2の電流に基づく電荷の量とがほぼ等しくなる平衡状態へメモリセルを遷移させる。
【選択図】図3
【解決手段】半導体記憶装置は、半導体層内に設けられたソース層、ドレイン層、ボディ領域と、ボディ領域の第1の面上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、第1のゲート絶縁膜を介して第1の面に設けられた第1のゲート電極と、ボディ領域の第2の面に設けられた第2のゲート絶縁膜と、第2のゲート絶縁膜を介して第2の面に設けられた第2のゲート電極とを備え、リフレッシュ動作時に、ソース層の電位を基準として互いに逆極性の電圧を第1および第2のゲート電極に印加することによって、ドレイン/ソースからボディ領域へ第1の電流を流し、かつ、ボディ領域から第2のゲート電極へ第2の電流を流し、リフレッシュ動作の1周期内における第1の電流に基づく電荷の量と第2の電流に基づく電荷の量とがほぼ等しくなる平衡状態へメモリセルを遷移させる。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体記憶装置および半導体記憶装置の駆動方法に係わり、例えば、例えば、電界効果トランジスタのフローティングボディに多数キャリアを蓄積することで情報を記憶するFBC(Floating Body Cell)メモリに関する。
近年、1T(Transistor)−1C(Capacitor)型のDRAMに代わるメモリと期待されている半導体記憶装置として、FBCメモリ装置がある。FBCメモリ装置は、SOI(Silicon On Insulator)基板上にフローティングボディ(以下、ボディともいう)を備えたFET(Field Effect Transistor)を形成し、このボディに蓄積されている多数キャリアの数の多少によってデータ“1”またはデータ“0”を記憶する。例えば、N型FETからなるFBCにおいて、ボディに蓄積されているホール数が多い状態をデータ“1”とし、それが少ない状態をデータ“0”とする。データ“0”を格納するメモリセルを“0”セルと呼び、データ“1”を格納するメモリセルを“1”セルと呼ぶ。
FBCは、従来型のDRAMよりも小型化に優れている。しかし、電荷を蓄えるボディの静電容量は、従来型のDRAMのキャパシタの静電容量よりも小さい。このため、FBCのボディからのリーク電流は、DRAMのキャパシタからのリーク電流よりも小さいにもかかわらず、データ保持時間に関してFBCはDRAMのそれよりも短い。従って、リフレッシュ動作を頻繁に実行しなければならない。その結果、通常の読出し/書込みが禁止される時間の割合(リフレッシュビジーレイト)が大きくなり、さらに、データを保持するために必要な電流が従来型のDRAMに比べて大きくなるという問題が生じる。特に、携帯機器では、消費電流が大きいことは重大な問題となる。
また、FBCメモリは、メモリセルに電流を流してデータを書き込むため、電流駆動用のドライバのサイズを大きくする必要がある。よって、メモリセル自体は小さいにもかかわらず、メモリ全体のサイズ(チップサイズ)はそれほど小さくならない。即ち、メモリセルがチップに占める割合(セル占有率(cell efficiency))が小さい。
上記問題に対処するために、ブロックリフレッシュが提案されている(非特許文献1、特許文献1および特許文献2)。ブロックリフレッシュは、インパクトイオン化で“1”セルのみに正孔を供給し、次にチャージポンピング現象を利用して“0”セルおよび“1”セルの両方から正孔を引き抜く方法である。チャージポンピング現象は、シリコン基板とゲート絶縁膜の界面に存在する界面準位(surface state)にトラップされた電子とボディ内の正孔とが再結合する結果、正孔がボディから引き抜かれる現象である。従って、界面準位の密度が重要である。界面準位の密度は、一般に、1010cm‐2程度である。よって、例えば、0.1μm×0.1μmの面積を有するチャンネルに対して平均約1個の界面準位が存在することになる。つまり、界面準位の無いメモリセルが、かなりの高い確率で存在する。このように界面準位の無いメモリセルにとっては、ブロックリフレッシュ方式は有効ではなく、実用的な方法とは言えない。
P.Fazan, S.Okhonin and M.Nagoga, "A new block refresh concept for SOI floating body memories"IEEE Int. SOI Conference, pp.15-16, Sept., 2003. 米国特許第6, 982, 918号明細書
米国特許第7, 170, 807号明細書
P.Fazan, S.Okhonin and M.Nagoga, "A new block refresh concept for SOI floating body memories"IEEE Int. SOI Conference, pp.15-16, Sept., 2003.
リフレッシュビジーレイトが小さく、データ保持時の消費電流が低く、さらに、小型化に優れた半導体記憶装置を提供する。
本発明に係る実施形態に従った半導体記憶装置は、半導体層と、前記半導体層内に設けられたソース層およびドレイン層と、前記ソース層と前記ドレイン層との間の前記半導体層に設けられ、論理データを記憶するために電荷を蓄積し、あるいは、電荷を放出する電気的に浮遊状態のボディ領域と、前記ボディ領域の第1の面上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、前記第1のゲート絶縁膜を介して前記第1の面に設けられた第1のゲート電極と、前記第1の面とは異なる前記ボディ領域の第2の面に設けられた第2のゲート絶縁膜と、前記第2のゲート絶縁膜を介して前記第2の面に設けられた第2のゲート電極と、前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を駆動するドライバと、前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルから論理データを読み出し、あるいは、論理データを書き込むセンスアンプとを備え、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として互いに逆極性の電圧を前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極に印加することによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へ第1の電流を流し、かつ、前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へ第2の電流を流し、前記リフレッシュ動作の1周期内に流れる前記第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に流れる前記第2の電流に基づく電荷の量とがほぼ等しくなる平衡状態へ前記メモリセルを遷移させることを特徴とする。
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として互いに逆極性の電圧を前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極に印加することによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へ第1の電流を流し、かつ、前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へ第2の電流を流し、前記リフレッシュ動作の1周期内に流れる前記第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に流れる前記第2の電流に基づく電荷の量とがほぼ等しくなる平衡状態へ前記メモリセルを遷移させることを特徴とする。
本発明に係る他の実施形態に従った半導体記憶装置は、半導体層と、前記半導体層内に設けられたソース層およびドレイン層と、前記ソース層と前記ドレイン層との間の前記半導体層に設けられ、論理データを記憶するために電荷を蓄積し、あるいは、電荷を放出する電気的に浮遊状態のボディ領域と、前記ボディ領域の第1の面上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、前記第1のゲート絶縁膜を介して前記第1の面に設けられた第1のゲート電極と、前記第1の面とは異なる前記ボディ領域の第2の面に設けられた第2のゲート絶縁膜と、前記第2のゲート絶縁膜を介して前記第2の面に設けられた第2のゲート電極と、前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を駆動するドライバと、前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルから論理データを読み出し、あるいは、論理データを書き込むセンスアンプとを備え、
前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へトンネル電流が常時流れるように、前記第2のゲート電極の電位は、一定の電位に固定されており、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として前記第2のゲート電極の電圧に対して逆極性の電圧を前記第1のゲート電極に印加することによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へ第1の電流を流し、
前記リフレッシュ動作の1周期内に流れる前記第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へ流出する第2の電流に基づく電荷の量とがほぼ等しくなる平衡状態へ前記メモリセルを遷移させることを特徴とする。
前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へトンネル電流が常時流れるように、前記第2のゲート電極の電位は、一定の電位に固定されており、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として前記第2のゲート電極の電圧に対して逆極性の電圧を前記第1のゲート電極に印加することによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へ第1の電流を流し、
前記リフレッシュ動作の1周期内に流れる前記第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へ流出する第2の電流に基づく電荷の量とがほぼ等しくなる平衡状態へ前記メモリセルを遷移させることを特徴とする。
本発明に係る実施形態に従った半導体記憶装置の駆動方法は、半導体層と、前記半導体層内に設けられたソース層およびドレイン層と、前記ソース層と前記ドレイン層との間の前記半導体層に設けられ、論理データを記憶するために電荷を蓄積し、あるいは、電荷を放出する電気的に浮遊状態のボディ領域と、前記ボディ領域の第1の面上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、前記第1のゲート絶縁膜を介して前記第1の面上に設けられた第1のゲート電極と、前記第1の面とは異なる前記ボディ領域の第2の面上に設けられた第2のゲート絶縁膜と、前記第2のゲート絶縁膜を介して前記第2の面上に設けられた第2のゲート電極と、前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を駆動するドライバと、前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルから論理データを読み出し、あるいは、論理データを書き込むセンスアンプとを備えた半導体記憶装置の駆動方法であって、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として互いに逆極性の電圧を前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極に印加することによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へインパクトイオン化電流を流し、かつ、前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へトンネル電流を流し、前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域へ流れ込む第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域から流れ出す第2の電流に基づく電荷の量とをほぼ等しくすることを具備する。
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として互いに逆極性の電圧を前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極に印加することによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へインパクトイオン化電流を流し、かつ、前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へトンネル電流を流し、前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域へ流れ込む第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域から流れ出す第2の電流に基づく電荷の量とをほぼ等しくすることを具備する。
本発明に係る他の実施形態に従った半導体記憶装置の駆動方法は、半導体層と、前記半導体層内に設けられたソース層およびドレイン層と、前記ソース層と前記ドレイン層との間の前記半導体層に設けられ、論理データを記憶するために電荷を蓄積し、あるいは、電荷を放出する電気的に浮遊状態のボディ領域と、前記ボディ領域の第1の面上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、前記第1のゲート絶縁膜を介して前記第1の面上に設けられた第1のゲート電極と、前記第1の面とは異なる前記ボディ領域の第2の面上に設けられた第2のゲート絶縁膜と、前記第2のゲート絶縁膜を介して前記第2の面上に設けられた第2のゲート電極と、前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を駆動するドライバと、前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルから論理データを読み出し、あるいは、論理データを書き込むセンスアンプとを備えた半導体記憶装置の駆動方法であって、
前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へトンネル電流が常時流れるように、前記第2のゲート電極の電位は、一定に固定されており、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として前記第2のゲート電極の電位に対して逆極性の電位へ前記第1のゲート電極の電位を遷移させることによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へインパクトイオン化電流を流し、
前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域へ流れ込む第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域から流れ出す第2の電流に基づく電荷の量とをほぼ等しくすることを具備する。
前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へトンネル電流が常時流れるように、前記第2のゲート電極の電位は、一定に固定されており、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として前記第2のゲート電極の電位に対して逆極性の電位へ前記第1のゲート電極の電位を遷移させることによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へインパクトイオン化電流を流し、
前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域へ流れ込む第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域から流れ出す第2の電流に基づく電荷の量とをほぼ等しくすることを具備する。
本発明による半導体記憶装置は、リフレッシュビジーレイトが小さく、データ保持時の消費電流が低く、さらに、小型化に優れている。
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
(第1の実施形態)
図1は、本発明に係る第1の実施形態に従ったFBCメモリ装置の構成の一例を示す図である。FBCメモリ装置は、メモリセルMCと、フロントワード線FWLL0〜FWLLn、FWLR0〜FWLRn(以下、FWLともいう)と、バックワード線BWLL,BWLR(以下、BWLともいう)と、ビット線BLL0〜BLLm、BLR0〜BLRm(以下、BLともいう)と、センスアンプS/Aと、ロウデコーダRDと、WLドライバWLDと、カラムデコーダCDと、CSLドライバCSLDとを備えている。
図1は、本発明に係る第1の実施形態に従ったFBCメモリ装置の構成の一例を示す図である。FBCメモリ装置は、メモリセルMCと、フロントワード線FWLL0〜FWLLn、FWLR0〜FWLRn(以下、FWLともいう)と、バックワード線BWLL,BWLR(以下、BWLともいう)と、ビット線BLL0〜BLLm、BLR0〜BLRm(以下、BLともいう)と、センスアンプS/Aと、ロウデコーダRDと、WLドライバWLDと、カラムデコーダCDと、CSLドライバCSLDとを備えている。
メモリセルMCは、マトリクス状に二次元配列され、メモリセルアレイMCAL、MCAR(以下、MCAともいう)を構成している。フロントワード線FWLは、ロウ(row)方向に延伸し、メモリセルMCのフロントゲート(第1のゲート電極)としての機能を兼ね備える。フロントワード線FWLは、センスアンプS/Aの左右に(n+1)本ずつ設けられている。バックワード線BWLは、フロントワード線FWLと同様にロウ方向に延伸し、メモリセルMCのバックゲート(第2のゲート電極)としての機能を兼ね備える。バックワード線BWLも、フロントワード線FWLと同様に、センスアンプS/Aの左右に(n+1)本ずつ設けられている。ビット線BLは、カラム方向に延伸し、メモリセルMCのソースまたはドレインに接続されている。ビット線BLは、センスアンプS/Aの左右に(m+1)本ずつ設けられている。フロントワード線FWLとビット線BLとは、互いに直交しており、その各交点にメモリセルMCが設けられている。これは、クロスポイント型セルと呼ばれている。尚、ロウ方向とカラム方向とは互いに入れ替えても差し支えない。
データの読出し/書込み動作において、センスアンプS/Aの両側に接続されたビット線対BLL、BLRのうち一方がメモリセルMCのデータを伝達し、他方が基準電流Irefを流す。基準電流Irefは、“0”セルに流れる電流と“1”セルに流れる電流とのほぼ中間の電流である。基準電流Irefを生成するために、ダミーセル、ダミーワード線、平均化回路、および、ダミーセル書込み回路などが必要となるが、ここでは省略されている。センスアンプS/Aは一方のビット線BLを介して電流をメモリセルMCへ流す。これにより、メモリセルMCのデータに応じた電流がセンスアンプS/A内のセンスノードを流れる。センスノードを流れる電流が基準電流Irefよりも高いか、低いかによって、センスアンプS/Aはデータの論理値“1”または“0”を識別する。この動作方式は、1セル/ビット(シングルセル)方式と呼ばれる。
代替的に、データの読出し/書込み動作において、センスアンプS/Aの両側に接続されたビット線対BLL、BLRのうち一方のデータを他方のデータの基準データとし、他方のデータを一方のデータの基準データとしてもよい。この場合、ビット線対BLLおよびBLRに接続された2つの選択メモリセルは、互いに相補データ(データ“1”とデータ“0”)を格納していなければならない。即ち、2つのメモリセルが1ビットを格納するので、この動作方式は、2セル/ビット(ツインセル)方式と呼ばれる。本実施形態は、シングルセルおよびツインセルの両方式に適用することができる。また、本実施形態は、その他の動作方式にも適用できる。
ロウデコーダRDは、複数のフロントワード線FWLのうち特定のフロントワード線を選択するためにロウアドレスをデコードする。WLドライバWLDは、選択フロントワード線に電圧を印加することによって、この選択フロントワード線を活性化させる。また、ロウデコーダRDは、複数のバックワード線BWLのうち特定のバックワード線を選択するためにロウアドレスをデコードする。WLドライバWLDは、選択バックワード線に電圧を印加することによって、この選択バックワード線を活性化させる。
カラムデコーダCDは、複数のカラムのうち特定のカラムを選択するためにカラムアドレスをデコードする。CSLドライバCSLDは、選択されたカラム選択線CSLへ電位を印加することによって、DQバッファ(図示せず)へセンスアンプS/Aからデータを読み出す。電圧の極性とは、接地電位やソース電位を基準とした場合、その基準電位から正方向の電圧または負方向の電圧を示す。データの極性とは、相補的なデータ “1”またはデータ“0”を示す。
図2は、メモリセルMCの構造の一例を示す断面図である。メモリセルMCは、支持基板10、BOX層20およびSOI層30を含むSOI基板上に設けられている。SOI層30内に、ソース60およびドレイン40が設けられている。フローティングボディ50は、ソース60とドレイン40との間のSOI層30に形成される。ボディ50は、ソース60およびドレイン40とは逆導電型の半導体である。本実施形態では、メモリセルMCはN型FETである。ボディ50は、ソース60、ドレイン40、BOX層20、第1のゲート絶縁膜71、第2のゲート絶縁膜72およびSTI(Shallow Trench Isolation)(図示せず)によって、その一部または全部が囲まれることによって電気的に浮遊状態である。FBCメモリは、ボディ50内の多数キャリアの数によって論理データ(バイナリデータ)を記憶することができる。
第1のゲート絶縁膜71は、ボディ50の上面に設けられており、第2のゲート絶縁膜72は、上面とは反対側のボディ50の底面に設けられている。フロントワード線(第1のゲート電極)FWLは、第1のゲート絶縁膜71を介してボディ50の上面に設けられている。バックワード線(第2のゲート電極)BWLは、第2のゲート絶縁膜72を介してボディ50の底面に設けられている。本実施形態では、バックワード線BWLは、BOX層20中に埋め込まれるようにして設けられている。第2のゲート絶縁膜72の膜厚は、第1のゲート絶縁膜71の膜厚と同程度かそれよりも薄い。第2のゲート絶縁膜72の膜厚は、ボディ50とバックワード線BWLとの間にダイレクトトンネル電流が流れる程度の厚みである。例えば、第2のゲート絶縁膜72の膜厚は、3nm以下である。尚、第2のゲート絶縁膜72の膜厚が第1のゲート絶縁膜71の膜厚と等しい場合、後述するFin型FBCにおいて、第1および第2のゲート絶縁膜71および72を同時に形成することができる(図9および図10参照)。従って、第2のゲート絶縁膜72の膜厚を第1のゲート絶縁膜71の膜厚と等しくすることによって、Fin型FBCメモリの製造が容易となるというメリットがある。
メモリセルMCにデータを書き込む方法の一例を以下に説明する。データ“1”をメモリセルMCに書き込むためには、メモリセルMCを飽和状態で動作させる。例えば、フロントワード線FWLを1.5Vにバイアスし、ビット線BLを1.5Vにバイアスする。ソースはグランドGND(0V)である。バックワード線BWLの電圧は、例えば、−0.5Vに固定されている。これにより、ドレイン近傍においてインパクトイオン化が生じ、電子−ホール対が大量に発生する。インパクトイオン化により生じた電子は、ドレインに流れ、ホールはポテンシャルの低いボディに蓄えられる。インパクトイオン化でホールが発生するときに流れる電流と、ボディ−ソース間のpn接合におけるフォワード電流が釣り合ったときに、ボディ電圧は平衡状態に達する。このボディ電圧は、約0.7Vである。
データ“0”を書き込むときには、ビット線BLを負の電圧に低下させる。例えば、ビット線BLの電位を−1.5Vに低下させる。この動作により、ボディ50−ドレイン40間のpn接合が大きく順方向にバイアスされる。ボディ50に蓄積されていたホールはドレイン40へ排出され、データ“0”がメモリセルMCに記憶される。
メモリセルMCからデータを読み出す方法の一例を以下に説明する。データの読出し動作では、フロントワード線FWLをデータ書込み時と同様に活性にするが、ビット線BLをデータ“1”の書込み時と比べて低く設定する。例えば、フロントワード線FWLを1.5Vとし、ビット線BLを0.2Vにする。これによりメモリセルMCを線形領域で動作させる。バックワード線BWLの電圧は、例えば、−0.5Vに固定されている。“0”セルと“1”セルとは、ボディ50に蓄積されたホール数の違いにより、メモリセルMCの閾値電圧において相違する。この閾値電圧の差を検知することによって、データ“1”とデータ“0”とを識別する。読出し時にビット線BLを低電圧にする理由は、ビット線BLの電圧を高くしてメモリセルMCを飽和状態にバイアスしてしまうと、データ“0”を読み出す場合にインパクトイオン化により“0”セルが “1”セルに変化してしまう危険性があるからである。
リフレッシュ動作とは、“1”セルおよび“0”セルの劣化したデータを回復させる動作である。より詳細には、リフレッシュ動作は、“1”セルにホールを補充し、尚且つ、“0”セルからホールを引き抜く動作である。リフレッシュ動作により、データ“1”とデータ“0”との信号差がデータ書込み時のそれとほぼ同等に回復される。
従来のリフレッシュでは、センスアンプがメモリセルMCのデータを一旦読み出しかつ該データと同一論理データをメモリセルMCへ書き戻す。しかし、本実施形態によるリフレッシュでは、センスアンプはメモリセルMCのデータを読み出さない。本実施形態によるリフレッシュでは、データ読出しを行うことなく、“0”セルおよび“1”セルの両方に対して適切な同一フロントワード線電位VFWL、適切な同一バックワード線電位VBWLおよび適切な同一ビット線電位VBLを印加することによって、“0”セルおよび“1”セルのボディ電位差を利用して“0”セルおよび“1”セルの両方を同時に自律的にリフレッシュする。このようなリフレッシュを“自律リフレッシュ(autonomous refresh)”という。フロントワード線電位VFWL、バックワード線電位VBWLおよびビット線電位VBLの満たすべき条件は後述する。
図3は、本実施形態による自律リフレッシュを示す概念図である。本実施形態では、フロントワード線FWLおよびバックワード線BWLの各電圧を独立に制御する。フロントワード線FWLの電圧を制御することによって、フロント側のチャネル部でインパクトイオン化を生じさせる。インパクトイオン化電流がドレイン40からボディ50へ流れることによってボディ50にホールが蓄積される。これと同時に、バックワード線BWLの電圧を制御することによって、トンネル電流をボディ50からバックワード線BWLへ流す。トンネル電流がボディ50からバックワード線BWLへ流れることによってボディ50内のホールがバックワード線BWLへ放出される。トンネル電流のボディ50からの流出は、バックワード線BWLからボディ50への電子注入と換言してもよい。
インパクトイオン化電流およびトンネル電流は、図5に示すように1つの不安定な平衡点の両側に2つの安定な平衡状態を有する。インパクトイオン化電流およびトンネル電流を全メモリセルMCに同時に流すことによって、メモリセルMCは、2つの安定な平衡状態のいずれかに収束する。従って、一方をデータ“1”とし、他方をデータ“0”とすれば、“0”セルおよび“1”セルのデータ劣化が不安定な平衡点を超えない限りにおいて、インパクトイオン化電流およびトンネル電流を全メモリセルMCに同時に流すことによって、全メモリセルMCを自律的にリフレッシュすることができる。
図4は、本実施形態による自律リフレッシュ動作(以下単に、リフレッシュともいう)を示すタイミング図である。横軸が時間を示し、縦軸が電圧を示す。図4では、フロントワード線FWL、バックワード線BWL、ビット線BLおよびボディ電位Body1およびBody0を示している。Body1は、“1”セルのボディ電位を示し、Body0は、“0”セルのボディ電位を示す。また、図4は、外部からのデータを書き込み、あるいは、外部へデータを読み出す動作が実行されないデータ保持モード(待機状態)における自律リフレッシュ動作を示している。ソース線SLの電位は、例えば、接地電位(0V)に固定されている。
データ保持モードでは、外部からのアクセスがない。しかし、pn接合部でのリーク電流、GIDL(Gate Induced Drain Leakage)等の電流により、“1”セルと“0”セルとの信号差は、次第に低下(劣化)していく。従って、データ保持モードであっても、周期的にリフレッシュ動作を実行する必要がある。つまり、データ保持モードは、データ保持期間(データ保持状態)とリフレッシュ期間(リフレッシュ動作)とに分けることができる。リフレッシュ動作を開始してから次のリフレッシュ動作を開始するまでの期間をリフレッシュ周期(リフレッシュ動作の周期)または1サイクルという。
時点t0において、FBCメモリは、データ保持状態からリフレッシュ動作へ遷移する。t1において、フロントワード線FWLの電位をデータ保持レベルVFWL_holdからソース線SLの電位(接地電位)よりも高い高レベル電位VFWL_refへ上昇させる。これと同時に、バックワード線BWLの電位をデータ保持レベルVBWL_holdからソース線SLの電位(接地電位)よりも低い低レベル電位VBWL_refへ低下させる。即ち、ソース電位を基準として互いに逆極性の電圧がフロントワード線FWLおよびバックワード線BWLのそれぞれに印加される。
t2において、ビット線BLの電位を、データ保持レベル(ソース線SLの電位と同じく接地電位)からフロントワード線FWLの電位と同じ極性の高レベル電位VBL_refへ上昇させる。フロントワード線FWLおよびビット線BLがともに高レベル電位になるので、メモリセルMCのボディ50の上面側チャネルが飽和領域になり、インパクトイオン化がドレイン近傍において生じる。インパクトイオン化により電子−ホール対が大量に発生する。インパクトイオン化により生じた電子は、ドレインに流れ、ホールはポテンシャルの低いボディ50に蓄えられる。
一方、バックワード線BWLの電圧VBWL_refは、ボディ電位よりもかなり低いため、図2に示す第2のゲート絶縁膜72に大きな電界がかかる。この電界によって、ゲートダイレクトトンネリングにより、電子がバックワード線BWLからボディ50へ注入される。この電子がボディ50内のホールと再結合することによって、ボディ50内の正孔が消滅する(排出される)。換言すると、ゲートダイレクトトンネリングにより、トンネル電流がボディ50からバックワード線BWLへ流れ出るといってもよい。
図5は、本実施形態によるFBCメモリのボディ電位とボディ電流との関係を示すグラフである。ボディ電流は、ボディ50へ流れ込む総電流Iinとボディ50から流出する総電流Ioutとの差である。本実施形態では、ボディ電流は、<(Iin−Iout)NET>としている。
ここで、図5の曲線は、ボディ電流がボディ電位Vb0、VbcおよびVb1において平衡(Iin=Iout)であることを示している。ボディ電位VbodyがVb0よりも小さい場合、Iin>Ioutであるので、ボディ電位Vbodyは上昇し、Vb0に接近する。ボディ電位VbodyがVb0とVbcとの間に存在する場合、Iin<Ioutであるので、ボディ電位Vbodyは低下し、Vb0に接近する。ボディ電位VbodyがVbcとVb1との間に存在する場合、Iin>Ioutであるので、ボディ電位Vbodyは上昇し、Vb1に接近する。ボディ電位VbodyがVb1よりも大きい場合、Iin<Ioutであるので、ボディ電位Vbodyは低下し、Vb1に接近する。このように、ボディ電位VbodyがVb0またはVb1のいずれか一方に収束するように、ボディ電流は、ボディ50内のホール数を自律的に調節する。従って、Vb0およびVb1は、ボディ電位の安定な平衡点と呼ぶ。
一方、一旦、ボディ電位VbodyがVbcからずれると、ボディ電位Vbodyは、Vb0またはVb1へと移動してしまう。従って、Vbcは不安定な平衡点である。
例えば、“0”セルのボディ電位をVb0とし、“1”セルのボディ電位をVb1とする。この場合、“0”セルおよび“1”セルが不安定な平衡点Vbcを超えるような大きな劣化を受けていなければ、“0”セルおよび“1”セルのボディ電位がそれぞれVb0およびVb1からずれたとしても、ボディ電流を流すだけで、“0”セルおよび“1”セルのボディ電位をそれぞれVb0およびVb1に戻すことができる。即ち、“0”セルおよび“1”セルのデータが劣化した場合、インパクトイオン化電流およびトンネル電流を流すことによって、“0”セルおよび“1”セルの両方を同時に自律リフレッシュすることができる。このとき、フロントワード線FWLおよびバックワード線BWLの各電圧は、ロウごとに変更する必要は無く、全ロウにおいて同じ電位(VFWL_refおよびVBWL_ref)でよい。尚且つビット線BLの電圧は、カラムごとに変更する必要は無く、全カラムにおいて同じ電位(VBL_ref)でよい。
本実施形態による自律リフレッシュは、全ロウにおいてフロントワード線FWLの電圧をほぼ等しくし、全ロウにおいてバックワード線BWLの電圧を等しくし、かつ、全カラムにおいてビット線BLの電圧をほぼ等しくした状態のもとで “0”セルおよび“1”セルの両方を同時に自律的にリフレッシュすることができる。これにより、センスアンプにデータを読み出す必要が無くなり、同一のビット線BLに接続された複数のメモリセルを同時にリフレッシュすることができる。つまり、自律リフレッシュは、メモリセルアレイ内の全メモリセルに対して同時に一括して実行可能である。
次にボディ電流について説明する。ボディ電流は式1のように表すことができる。
<(Iin−Iout) NET>=<(Iin1−Iout1) NET>+<(Iin2−Iout2) NET> (式1)
<(Iin−Iout) NET>は、ボディ50に流入する総電流Iinとボディ50から流出する総電流Ioutとの差の時間平均を示す。データ保持モードにおいて、1サイクルτREFは、図4に示すように自律リフレッシュ期間τ1とデータ保持期間τ2とに分けることができる。自律リフレッシュ期間τ1において、ボディ50に流入する電流Iinとボディ50から流出する電流Ioutとの差を<(Iin1−Iout1) NET>と表す。データ保持期間τ2において、ボディ50に流入する電流Iinとボディ50から流出する電流Ioutとの差を<(Iin2−Iout2) NET>と表す。
<(Iin−Iout) NET>=<(Iin1−Iout1) NET>+<(Iin2−Iout2) NET> (式1)
<(Iin−Iout) NET>は、ボディ50に流入する総電流Iinとボディ50から流出する総電流Ioutとの差の時間平均を示す。データ保持モードにおいて、1サイクルτREFは、図4に示すように自律リフレッシュ期間τ1とデータ保持期間τ2とに分けることができる。自律リフレッシュ期間τ1において、ボディ50に流入する電流Iinとボディ50から流出する電流Ioutとの差を<(Iin1−Iout1) NET>と表す。データ保持期間τ2において、ボディ50に流入する電流Iinとボディ50から流出する電流Ioutとの差を<(Iin2−Iout2) NET>と表す。
<(Iin1−Iout1) NET>は、主にインパクトイオン化およびゲートダイレクトトンネリングによってボディ50に出入りする電流を、自律リフレッシュ期間τ1の全期間に亘って平均した値である。<(Iin1−Iout1) NET>は、式2のように表すことができる。
<(Iin1−Iout1) NET>=(Iii1+IGIDL1+IPN1+Idt1+ICP)×τ1/τRFE (式2)
ここで、Iii1は、インパクトイオン化により生じる正孔電流(インパクトイオン化電流)である。IGIDL1はGIDLによる正孔電流である。IPN1は、ボディ−ソース間またはボディ−ドレイン間のPN接合に流れる電流である。Idt1は、第2のゲート絶縁膜72を通って流れるダイレクトトンネリング電流(トンネル電流)である。ICPは、フロントワード線FWLの電圧を低下させたときに生じるチャージポンピング現象による電流(チャージポンピング電流)である。チャージポンピング現象は、ボディ50と第1のゲート絶縁膜71との界面に存在する界面準位(surface state)にトラップされた電子とボディ内の正孔とが再結合する結果、正孔がボディ50から引き抜かれる現象である。チャージポンピング電流は、図4のt3〜t4の期間に生じる。τ1/τREFは、1サイクル中の自律リフレッシュ期間の割合である。
<(Iin1−Iout1) NET>=(Iii1+IGIDL1+IPN1+Idt1+ICP)×τ1/τRFE (式2)
ここで、Iii1は、インパクトイオン化により生じる正孔電流(インパクトイオン化電流)である。IGIDL1はGIDLによる正孔電流である。IPN1は、ボディ−ソース間またはボディ−ドレイン間のPN接合に流れる電流である。Idt1は、第2のゲート絶縁膜72を通って流れるダイレクトトンネリング電流(トンネル電流)である。ICPは、フロントワード線FWLの電圧を低下させたときに生じるチャージポンピング現象による電流(チャージポンピング電流)である。チャージポンピング現象は、ボディ50と第1のゲート絶縁膜71との界面に存在する界面準位(surface state)にトラップされた電子とボディ内の正孔とが再結合する結果、正孔がボディ50から引き抜かれる現象である。チャージポンピング電流は、図4のt3〜t4の期間に生じる。τ1/τREFは、1サイクル中の自律リフレッシュ期間の割合である。
式2において、+(プラス)は、ボディ50へホール(電流)が流入することを意味し、−(マイナス)は、ボディ50からホール(電流)が流出することを意味する。従って、インパクトイオン化電流Iii1は正値であり、トンネル電流Idt1およびチャージポンピング電流ICPは負値である。IGIDL1は、正値である。IPN1は、ドレイン40、ボディ50、ソース60のそれぞれの電位によって正値または負値になり得る。例えば、ボディ電位Vbodyがソース電位およびドレイン電位よりも低い場合には、IPN1は正値となり、逆の場合にはそれらは負値になると考えられる。その他、ボディ50に出入りする電流があれば、それを、式2の左辺のカッコ内に加えてよい。自律リフレッシュ期間τ1におけるこれらの電流の総和平均が、<(Iin1−Iout1) NET>である。尚、自律リフレッシュ期間では、インパクトイオン化電流Iii1およびトンネル電流Idt1が大きく、ボディ電流の主成分となる。
<(Iin2−Iout2) NET>は、インパクトイオン化およびゲートダイレクトトンネリングによってボディ50に出入りするデータ保持期間τ2に流れる電流を、全期間に亘って平均した値である。<(Iin2−Iout2) NET>は、式3のように表すことができる。
<(Iin2−Iout2) NET>=(Iii2+IGIDL2+IPN2+Idt2)×τ2/τRFE (式3)
データ保持期間τ2において、ワード線FWLおよびBWLは一定値を維持するので、チャージポンピング電流ICPは流れない。ここで、Iii2は、データ保持期間τ2におけるインパクトイオン化電流である。IGIDL2はデータ保持期間τ2におけるGIDLによる正孔電流である。IPN2は、データ保持期間τ2においてPN接合に流れる電流である。Idt2は、データ保持期間τ2におけるトンネル電流である。τ2/τREFは、1サイクル中のデータ保持期間の割合である。
<(Iin2−Iout2) NET>=(Iii2+IGIDL2+IPN2+Idt2)×τ2/τRFE (式3)
データ保持期間τ2において、ワード線FWLおよびBWLは一定値を維持するので、チャージポンピング電流ICPは流れない。ここで、Iii2は、データ保持期間τ2におけるインパクトイオン化電流である。IGIDL2はデータ保持期間τ2におけるGIDLによる正孔電流である。IPN2は、データ保持期間τ2においてPN接合に流れる電流である。Idt2は、データ保持期間τ2におけるトンネル電流である。τ2/τREFは、1サイクル中のデータ保持期間の割合である。
実際には、データ保持期間におけるインパクトイオン化電流Iii2およびトンネル電流Idt2は、自律リフレッシュ期間におけるインパクトイオン化電流Iii1およびトンネル電流Idt1に比べて非常に小さい。また、IGIDL1、IPN1、ICP、IGIDL2、IPN2もまた、インパクトイオン化電流Iii1およびトンネル電流Idt1に比べて非常に小さい。Iii2、Idt2およびIGIDL2は、ほぼゼロである。従って、データ保持モードにおけるボディ電流の主成分は、インパクトイオン化電流Iii1およびトンネル電流Idt1であるといってよい。即ち、式1の<(Iin−Iout) NET>は、インパクトイオン化電流Iii1およびトンネル電流Idt1によってほぼ決定される。
尚、自律リフレッシュ期間τ1およびデータ保持期間τ2では、フロントワード線FWL、バックワード線BWL、ビット線BLのノード電位が異なる。従って、フロントワード線FWL、バックワード線BWL、ビット線BLのそれぞれのノードとボディ50との容量結合によって、自律リフレッシュ期間τ1からデータ保持期間τ2へ移行したとき、あるいは、データ保持期間τ2から自律リフレッシュ期間τ1へ移行したときに、ボディ電位Vbodyがシフトする場合がある。このときのボディ電位Vbodyのシフト量をΔVbodyとする。ΔVbodyは、上記ノードとボディ50との容量結合に起因するものであり、ボディ50内のホール数によるボディ電位の変化とは異なる。従って、自律リフレッシュ期間τ1からデータ保持期間τ2へ移行するとき、あるいは、データ保持期間τ2から自律リフレッシュ期間τ1へ移行するときに、ボディ電位VbodyをΔVbodyだけシフトさせる必要がある。
そこで、図5に示す曲線を得るためには、自律リフレッシュ期間におけるボディ電流<(Iin−Iout) NET>とボディ電圧Vbodyとの関係を示す曲線、または、データ保持期間におけるボディ電流<(Iin−Iout) NET>とボディ電圧Vbodyとの関係を示す曲線のいずれか一方をΔVbodyだけシフトさせてから両者を足し合わせる必要がある。例えば、自律リフレッシュからデータ保持状態へ移行したときにボディ電位がΔVbody(正値)だけ変化する場合、データ保持期間の曲線を−ΔVbodyだけ平行移動させ、平行移動後のデータ保持期間の曲線と自律リフレッシュ期間の曲線とを足し合わせることによって図5に示す曲線が得られる。つまり、式1の<(Iin−Iout) NET>は、<(Iin1−Iout1) NET>とVbodyを−ΔVbodyだけ平行移動させたときの<(Iin2−Iout2) NET>との和である。このときの図4に示す横軸は、自律リフレッシュ期間におけるボディ電位となる。勿論、データ保持期間の曲線を固定したまま、自律リフレッシュ期間の曲線を+ΔVbodyだけ平行移動させてもよい。尚、図5に示す曲線は、式1の<(Iin−Iout) NET>を示す。
図5に示すように、<(Iin−Iout) NET>は、異なる3つのボディ電位Vb0、Vbc、Vb1においてゼロとなる。ボディ電位Vb0、Vbc、Vb1は、ボディ50に流入する電流量(ホール数)とボディ50から流出する電流量(ホール数)とがほぼ等しいので、平衡点 (stationary point)である。しかし、上述したとおり、Vbcは、不安定な平衡点である。なぜならば、ノイズ等の影響によりボディ電位VbodyがVbcから微小電位だけずれた場合、そのずれは増幅されるため、ボディ電位Vbodyは、Vbcから離れる方向へ変化するからである。逆に、Vb0およびVb1は、安定な平衡点である。なぜなら、ボディ電位VbodyがVb0またはVb1からずれたとしても、Vbcを超えない限りにおいてボディ電位Vbodyは、Vb0またはVb1へ収束するからである。即ち、安定な平衡点Vb0およびVb1は、データの極性(0または1)を示すために用いることができ、不安定な平衡点Vbcは、データ“0”とデータ“1”との境界点として用いることができる。
安定な平衡点Vb0およびVb1をデータ“0”およびデータ“1”として用いれば、等しいフロントワード線電圧VFWL_ref、等しいバックワード線電圧VBWL_refおよび等しいビット線電圧VBLを全メモリセルに同時に印加することによって、データ“0”およびデータ“1”を安定な平衡点Vb0およびVb1へ回復させることができる。即ち、メモリセルアレイの全メモリセルを自律的にリフレッシュすることができる。ただし、“0”セルおよび“1”セルの劣化が激しく、ボディ電位Vbodyが不安定な平衡点Vbcを超えてしまった場合には、メモリセルMCのデータの極性が逆転してしまう。従って、“1”セルおよび“0”セルのボディ電位Vbodyが劣化により不安定な平衡点Vbcを超える前に、“1”セルおよび“0”セルに自律リフレッシュ動作を実行する必要がある。
本実施形態によるFBCメモリは、自律リフレッシュによってメモリセルMCの各データ状態を自律的に回復させることができる。従って、センスアンプS/Aは、メモリセルMCのデータを読み出し、このデータをもとのメモリセルMCへリストアする、という従来のリフレッシュ動作を実行する必要がない。センスアンプS/Aがデータを読み出す必要がないので、或るカラムのビット線に接続された複数のメモリセルMCを同時にリフレッシュすることができる。さらに、自律リフレッシュは、全ロウにおいてフロントワード線FWLの電圧をほぼ等しくし、全ロウにおいてバックワード線BWLの電圧をほぼ等しくし、かつ、全カラムにおいてビット線BLの電圧をほぼ等しくした状態のもとで “0”セルおよび“1”セルの両方を同時にリフレッシュすることができる。従って、自律リフレッシュは、メモリセルアレイ内の全メモリセルを同時にリフレッシュすることができる。
本実施形態による自律リフレッシュは、一度にリフレッシュできるメモリセル数が従来のリフレッシュに比べて飛躍的に増やすことができる。このため、ビット線BLの充電に必要な電流を大幅に削減することができると共に、リフレッシュビジー率を大幅に低下させることができる(図15参照)。また、図16および図17のように、センスアンプS/Aの数を減らすことができるので、チップサイズを削減することができる。即ち、本実施形態によるFBCメモリは、リフレッシュビジーレイトが小さく、データ保持時の消費電流が低く、さらに、小型化に優れている。
本実施形態において、フロントワード線FWLの機能(動作)とバックワード線BWLの機能(動作)とを入れ替えても、自律リフレッシュ動作を実行することができる。
本実施形態において、自律リフレッシュは、メモリセルアレイ全体に同時に実行してもよい。しかし、同時に活性化されるフロントワード線FWLの数、バックワード線BWLの数、および、ビット線BLの数を制限してもよい。即ち、メモリセルアレイを部分的に(ブロックごとに)リフレッシュしてもよい。メモリセルブロックは、マトリクス状に配列されたメモリセルアレイを複数の部分に分割した複数のメモリセルのまとまりである。
(第2の実施形態)
図6は、本発明に係る第2の実施形態に従ったFBCメモリ装置の構成の一例を示す図である。第2の実施形態は、バックワード線BWLがメモリセルアレイMCAL、MCARの全体に共有されている点で第1の実施形態と異なる。第2の実施形態によるBWLコントローラは、メモリセルアレイMCAL、MCAR全体のバックワード線BWLを一括して制御する。第2の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の構成と同様でよい。このように、バックワード線BWLは、メモリセルアレイごとに共有化されてもよい。これにより、第2の実施形態は、第1の実施形態と同様に、メモリセルアレイ全体を同時に自律リフレッシュすることができる。従って、第2の実施形態は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、第2の実施形態では、メモリセルアレイごとにバックワード線BWLを制御すれば足りるので、BWLコントローラの構成が簡素化される。ただし、第2の実施形態は、メモリセルアレイを部分的に自律リフレッシュすることはできない。
図6は、本発明に係る第2の実施形態に従ったFBCメモリ装置の構成の一例を示す図である。第2の実施形態は、バックワード線BWLがメモリセルアレイMCAL、MCARの全体に共有されている点で第1の実施形態と異なる。第2の実施形態によるBWLコントローラは、メモリセルアレイMCAL、MCAR全体のバックワード線BWLを一括して制御する。第2の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の構成と同様でよい。このように、バックワード線BWLは、メモリセルアレイごとに共有化されてもよい。これにより、第2の実施形態は、第1の実施形態と同様に、メモリセルアレイ全体を同時に自律リフレッシュすることができる。従って、第2の実施形態は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、第2の実施形態では、メモリセルアレイごとにバックワード線BWLを制御すれば足りるので、BWLコントローラの構成が簡素化される。ただし、第2の実施形態は、メモリセルアレイを部分的に自律リフレッシュすることはできない。
図7は、第2の実施形態に従ったメモリセルMCの断面図である。図2に示すバックワード線BWLは、フロントワード線FWLに対応して各ロウに設けられていた。しかし、第2の実施形態では、バックワード線BWLは、メモリセルアレイ全体に共通に設けられている。第2の実施形態によるメモリセルMCのその他の構成は、第1の実施形態によるメモリセルMCの構成と同様でよい。
図8は、第2の実施形態に従った別のメモリセルMCの断面図である。図8に示すメモリセルMCでは、シリコン基板10がバックワード線BWLを兼ねている点で図7に示すメモリセルMCと異なる。図8に示すメモリセルMCのその他の構成は、図7に示すメモリセルMCの構成と同様でよい。必要に応じて、シリコン基板10と埋込み絶縁膜12との界面近傍に不純物原子を導入することによって、シリコン基板10内のバックワード線BWLの抵抗を低下させてもよい。
バックワード線BWLは、メモリセルアレイ内の部分的なブロックごとに設けられてもよい。これにより、BWLコントローラの構成が簡素化されるとともに、メモリセルアレイを部分的に自律リフレッシュすることができる。
(第3の実施形態)
図9および図10は、本発明に係る第3の実施形態に従ったFBCメモリの構成を示す斜視図である。第3の実施形態は、Fin型FETをメモリセルMCとして用いている。第1および第2の実施形態では、メモリセルMCは平面型FETであり、フロントワード線FWLおよびバックワード線BWLは、それぞれボディ50の上面および底面に面していた。これに対し、第3の実施形態では、フロントワード線FWLおよびバックワード線BWLは、それぞれボディ50の側面に面している。これに伴い、第1のゲート絶縁膜および第2のゲート絶縁膜(図示せず)は、それぞれフロントワード線FWLとボディ50との間、および、バックワード線BWLとボディ50との間に設けられている。
図9および図10は、本発明に係る第3の実施形態に従ったFBCメモリの構成を示す斜視図である。第3の実施形態は、Fin型FETをメモリセルMCとして用いている。第1および第2の実施形態では、メモリセルMCは平面型FETであり、フロントワード線FWLおよびバックワード線BWLは、それぞれボディ50の上面および底面に面していた。これに対し、第3の実施形態では、フロントワード線FWLおよびバックワード線BWLは、それぞれボディ50の側面に面している。これに伴い、第1のゲート絶縁膜および第2のゲート絶縁膜(図示せず)は、それぞれフロントワード線FWLとボディ50との間、および、バックワード線BWLとボディ50との間に設けられている。
図9に示すFBCメモリは、ソース線SLおよびビット線BLが同一方向(カラム方向)へ延伸しており、フロントワード線FWLおよびバックワード線BWLがカラム方向に対して直交するロウ方向へ延伸している。ソース線SLは、第1メタル層(下層メタル)M1で形成される。フロントワード線FWLおよびバックワード線BWLは第2メタル層(中間メタル層)M2で形成される。ビット線BLは、第3メタル層(上層メタル)M3で形成される。ソース線SL、フロントワード線FWL、バックワード線BWLおよびビット線BLは、例えば、銅、アルミニウム、タングステン等の金属からなる。
図10に示すFBCメモリは、ソース線SLおよびフロントワード線FWLが同一方向(ロウ方向)へ延伸しており、ビット線BLおよびバックワード線BWLがロウ方向に対して直交するカラム方向へ延伸している。ソース線SLは、第1メタル層(下層メタル)M1で形成される。ビット線BLおよびバックワード線BWLは第2メタル層(中間メタル層)M2で形成される。フロントワード線FWLは、第3メタル層(上層メタル)M3で形成される。
第3の実施形態のその他の構成および動作は、第1の実施形態の構成および動作と同様でよい。自律リフレッシュ動作は、Fin型FETをメモリセルMCとして用いたFBCメモリに対しても実行することができる。従って、第3の実施形態は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
このようなFin型FBCの場合、第2のゲート絶縁膜の膜厚が第1のゲート絶縁膜の膜厚とほぼ等しいことが好ましい。これにより、第1および第2のゲート絶縁膜を同時に形成することができるので、FBCメモリの製造が容易となるというメリットがあるからである。
(第4の実施形態)
図11は、本発明に係る第4の実施形態に従ったFBCメモリの動作を示すタイミング図である。第4の実施形態によるFBCメモリの構成は、第1〜第3の実施形態のいずれかのFBCメモリの構成と同様でよい。
図11は、本発明に係る第4の実施形態に従ったFBCメモリの動作を示すタイミング図である。第4の実施形態によるFBCメモリの構成は、第1〜第3の実施形態のいずれかのFBCメモリの構成と同様でよい。
第4の実施形態では、バックワード線BWLの電位VBWLが、一定の負電位に固定されている。これにより、トンネル電流Idtが常時ボディ50からバックワード線BWLへ流れ出ている。従って、“0”セルのリフレッシュ動作は、常時実行されていると言ってよい。例えば、第4の実施形態のメモリセル構造として第1の実施形態によるメモリセルと同じ構造を採用した場合、電位VBWLは、図4に示すVBWL_refよりも絶対値として小さく(浅く)、VBWL_holdよりも絶対値として大きく設定することが好ましい。よって、トンネル電流Idtは、少しずつ連続して(コンスタントに)ボディ50から流れ出ている。第4の実施形態における1サイクルのトンネル電流Idtの総量は、第1の実施形態におけるそれと同じでよい。これにより、第4の実施形態においてボディ電流とボディ電位との関係は、図5に示す関係と同様にすることができる。
一方、ビット線BLおよびフロントワード線FWLの動作は、第1の実施形態のそれと同様である。従って、インパクトイオン化電流は、第1の実施形態と同様に間欠的にボディ50に流れる。即ち、第4の実施形態における“1”セルのリフレッシュ動作は、第1の実施形態のそれと同様である。例えば、第4の実施形態のメモリセル構造として第1の実施形態によるメモリセルと同じ構造を採用した場合、図11に示すVFWL_offおよびVFWL_onは、図4に示すVFWL_holdおよびVFWL_holdに等しくてよく、VBL_onは、VBL_refに等しくてよい。
このように、第4の実施形態では、“0”セルリフレッシュが常時実行されており、“1”セルリフレッシュが周期的に実行される。“1”セルを回復させるリフレッシュ動作期間τ1において、バックワード線BLWの電位は、ソース電位VSL(例えば、接地電位)を基準として、フロントワード線FWLの電位VFWL_onに対して逆極性の電位(負電位)に固定されている。このようにバックワード線BWLの電位を固定しても、第4の実施形態は、図5に示すボディ電流とボディ電位との関係が得られるので、第1の実施形態と同様に自律リフレッシュ動作を実行することができる。さらに、第4の実施形態では、バックワード線BWLの電位が一定であるので、データ保持期間とリフレッシュ期間との間のボディ電位の変化が、第1の実施形態のそれよりも小さい。
図12は、第4の実施形態によるFBCメモリのボディ電流とボディ電位との関係を示すシミュレーション結果である。このシミュレーションで用いたメモリセルMCは、次のような構成を有する。ゲート長が75nm、ゲート幅が70nm、フロントゲート絶縁膜の厚みが2.2nm、ボディ50の厚み(フロントゲート絶縁膜からバックゲート絶縁膜までの距離)が21nm、バックゲート絶縁膜の厚みが2.2nmである。また、バックワード線BWLの電位VBWLは−1.4V、“1”セルのリフレッシュ時のフロントワード線の電圧VFWL_onは0.1V、“1”セルリフレッシュ時以外のフロントワード線の電圧VFWL_offは−1.4V、“1”セルのリフレッシュ時のビット線電圧VBL_onは1.5V、“1”セルリフレッシュ時以外のビット線電圧VBL_offは0Vである。また、“1”セルのリフレッシュ期間τ1は、10nsであり、リフレッシュ動作の1サイクルの期間τrefは100μsである。このとき、図12に示すように、ボディ電流<(Iin−Iout) NET>は、1つの不安定な平衡点Vbcの両側に存在する2つの安定な平衡点Vb0およびVb1を有する。
(第5の実施形態)
上記実施形態では、2つの状態を周期的に繰り返すことによって自律リフレッシュを実行していた。例えば、第1の実施形態では、データ保持状態と自律リフレッシュ動作とを繰り返して実行する。第4の実施形態では、“0”セルリフレッシュを常時実行し、“1”セルリフレッシュを繰り返し実行する。しかし、自律リフレッシュは、3つ以上の状態を周期的に繰り返しても実行することができる。即ち、1サイクルの期間中に、複数のリフレッシュ動作を繰り返してよい。さらに、各リフレッシュ動作では、ワード線BWL、FWL、ビット線BLの各ノード電位を変化させてもよい。これは、1サイクルの期間中にボディに流入する電流量とボディから流出する総電流量との差<(Iin−Iout) NET>が図5に示す関係を示せば充分であるからである。
上記実施形態では、2つの状態を周期的に繰り返すことによって自律リフレッシュを実行していた。例えば、第1の実施形態では、データ保持状態と自律リフレッシュ動作とを繰り返して実行する。第4の実施形態では、“0”セルリフレッシュを常時実行し、“1”セルリフレッシュを繰り返し実行する。しかし、自律リフレッシュは、3つ以上の状態を周期的に繰り返しても実行することができる。即ち、1サイクルの期間中に、複数のリフレッシュ動作を繰り返してよい。さらに、各リフレッシュ動作では、ワード線BWL、FWL、ビット線BLの各ノード電位を変化させてもよい。これは、1サイクルの期間中にボディに流入する電流量とボディから流出する総電流量との差<(Iin−Iout) NET>が図5に示す関係を示せば充分であるからである。
1サイクルにn個の状態が繰り返されるものとした場合、ボディ電流は式4のように表される。以下、各状態は、ノード電位状態と呼ぶ。
ここで、Ibody(i,j) (Vbody+ΔVbody(i))は、状態iにおいてボディに正味に流れ込むj番目の電流成分(ボディに流れ込む電流の極性をプラス、ボディから流れ出る電流の極性をマイナスとする)を示す。Ibody(i,j)は(Vbody+ΔVbody(i))の関数であり、ノード電位状態の遷移に伴うボディ電位のシフト分ΔVbody(i)を補正するために、ΔVbody(i)がVbodyに加算されている。ここで、ΔVbody(i)は、Vbody(0)を基準として、Vbody(0)から各ノード電位状態におけるVbody(i)までのシフト量である(式6参照)。尚、Vbody(0)は、Vbody(i)の何れかと一致していてもよい。
ΔVbody(i)= Vbody(i) −Vbody(0) (式6)
尚、
ΔVbody(i)= Vbody(i) −Vbody(0) (式6)
尚、
(アクティブモードでの自律リフレッシュ動作)
データ保持モード以外のアクティブモードでは、外部にデータを読み出し、あるいは、外部からのデータを書き込むために、不定期にメモリセルMCにアクセスする必要が生じる。しかし、データ読出し/書込み動作では、センスアンプS/Aは、メモリセルMCのデータを一旦読み出して、このデータをメモリセルMCに書き戻すという従来のリフレッシュ動作を実行する。従って、データ読出し/書込み直後、メモリセルMCは、安定な平衡点Vb0またはVb1へ回復している。従って、メモリセルMCにアクセスが頻繁に入る状態であっても、自律リフレッシュは、データ保持モードにおけるサイクルと同じ周期τREFで実行すればよい。
データ保持モード以外のアクティブモードでは、外部にデータを読み出し、あるいは、外部からのデータを書き込むために、不定期にメモリセルMCにアクセスする必要が生じる。しかし、データ読出し/書込み動作では、センスアンプS/Aは、メモリセルMCのデータを一旦読み出して、このデータをメモリセルMCに書き戻すという従来のリフレッシュ動作を実行する。従って、データ読出し/書込み直後、メモリセルMCは、安定な平衡点Vb0またはVb1へ回復している。従って、メモリセルMCにアクセスが頻繁に入る状態であっても、自律リフレッシュは、データ保持モードにおけるサイクルと同じ周期τREFで実行すればよい。
本来、データ読出し/書込みのためのアクセスが期間τREF以上入らない場合に、メモリセルMCのデータ劣化が問題となる。従って、頻繁にアクセスがメモリセルMCに入る状況においては、自律リフレッシュは、データ保持モード時と同じように機能する。
しかし、データ読出し/書込みのためのアクセスがかなり頻繁に入る場合、メモリセルMCへのディスターブがボディ電流<(Iin−Iout)(i) NET>の電流成分間のバランスを崩してしまう場合がある。このような場合には、電流成分の中のディスターブで変動する成分(例えば、IPN、IGIDL)が無視できるように(相対的に小さくなるように)、自律リフレッシュの動作電圧(ノード電位)を変えることが有効となる。
図13は、アクティブモードおよびデータ保持モードにおけるフロントワード線FWL、BWLおよびビット線BLの動作を示すタイミング図である。例えば、図13に示すように、アクティブモードにおけるバックワード線電圧VBWLを、データ保持モードにおけるそれよりも低く(深く)する。即ち、アクティブモードにおけるバックワード線電圧VBWLは、データ保持モードにおけるそれよりもソース電位VSL(接地電位)から離す。これにより、アクティブモードにおけるトンネル電流を、データ保持モードにおけるトンネル電流よりも大きくする。
尚、データ保持モードにおけるバックワード線電圧VBWLを、アクティブモードにおけるそれに適合させても自律リフレッシュの機能自体に問題は生じない。しかし、トンネル電流の増大に伴い、データ保持モードにおけるインパクトイオン化電流も増大させる必要が生じる。このため、メモリセルMCに流すDC電流が増加するので、データ保持モードにおける電流削減効果が薄れてしまう。従って、データ保持モードにおけるバックワード線電圧VBWLは、アクティブモードのそれよりも低い方が好ましく、自律リフレッシュ動作に足りる程度で充分である。
また、図13に示すように、アクティブモードにおけるフロントワード線電位VFWL_onおよびビット線電位VBL_onを、データ保持モードにおけるそれらよりも上げる。即ち、アクティブモードにおけるフロントワード線電位VFWL_onおよびビット線電位VBL_onは、データ保持モードにおけるそれらよりもソース電位VSLから離す。これにより、アクティブモードにおけるインパクトイオン化電流もデータ保持モードにおけるそれよりも増大させる。
アクティブモード時にはデータ保持モードに比べ、トンネル電流およびインパクトイオン化電流以外の非主成分の電流が増加するので、主成分としてのトンネル電流およびインパクトイオン化電流も増加させる必要がある。このとき、メモリセルMCに流すDC電流も増えるが、アクティブモードでは本来、大きな平均電流が流れている。このため、トンネル電流およびインパクトイオン化電流の増分は無視できる。つまり、消費電流はほとんど増大しない。しかし、データ保持モード時では、低いデータ保持電流を実現する必要があるので、トンネル電流およびインパクトイオン化電流の増大は許されない。つまり、消費電流の増大が顕著になる。従って、データ保持モードにおけるトンネル電流およびインパクトイオン化電流は、アクティブモードのそれよりも低い方が好ましい。
自律リフレッシュ時に、同時に活性化するワード線FWL、BWLの数および同時に活性化するビット線BLの数は任意である。例えば、従来のリフレッシュ動作のように1本のワード線FWL、BWLおよび全ビット線BLを活性化させて、活性化されたワード線FWL、BWLに接続された全メモリセルMCを同時にリフレッシュしてもよい。この場合、データ保持モードにおける消費電流は、従来と同様である。
全ワード線FWL、BWLおよび1本のビット線BLを活性化させて、活性化されたビット線BLに接続された全メモリセルMCを同時にリフレッシュしてもよい。この場合、データ保持モードにおける消費電流は、ワード線FWLまたはBWLの数2n、ワード線FWL、BWLの容量CWL、ワード線FWL、BWLの駆動振幅ΔVWL、ビット線の数2m、ビット線の容量CBL、ビット線の駆動振幅ΔVBLに依存する。データ保持モードにおける消費電流は、従来よりも減少する場合も、増加する場合もあり得る。
全ワード線FWL、BWLおよび全ビット線BLを活性化させて、メモリセルアレイ内の全メモリセルMCを同時にリフレッシュしてもよい。この場合、データ保持モードにおける消費電流は、従来よりも低下する。また、この場合、周辺回路の動作に必要な電流も小さくすることができる。
図14は、同時に活性化されるワード線FWL、BWLの本数とデータ保持モードにおける電流との関係を示すグラフである。横軸が、リフレッシュ時に同時に活性化されるワード線FWL、BWLの本数を示し、縦軸は、2メガビットのメモリセルアレイMCAを32×16ユニット(2Mb×32×16)備えた1ギガビットのFBCメモリのデータ保持モードにおける電流を示す。データ保持モードにおける電流は、1ギガビットのFBCメモリを自律リフレッシュするために必要とされる電流である。
一例として、フロントワード線FWLの容量CWLが300fF、フロントワード線FWLの電圧振幅ΔVWLが1.5V、ビット線BLの容量が100fF、ビット線BLの電圧振幅ΔVBLが1.5V、リフレッシュ動作に関係する周辺回路の充電容量CPERIが200pF、周辺回路の電圧振幅ΔVPERIが1.8Vであると仮定する。バックワード線BWLの電位は一定とする。ワーストセルのリテンション時間TRETを1msとする。また、リフレッシュのサイクル時間τrefを50nsと仮定する。
16個の64MbitのメモリセルMCは、64Mbit単位に、同時並行してリフレッシュされる。64Mbitメモリ内では、ロウデコーダRDを共有する2個の2Mbitのメモリセルアレイ毎にリフレッシュを実行する。リフレッシュ時に“1”セルに流れるDC電流を0.2μAとし、“1”セルをリフレッシュする時間τ1を20nsと仮定した。このメモリセルに流れるDC電流がデータ保持モードにおける電流に与える影響は、メモリセルのリテンション時間(例えば、1ms)に依存し、同時に活性化するワード線およびビット線の本数には依らない。“1”セルおよび“0”セルが半数ずつ存在するとした場合、データ保持モードにおいて1ギガビットのFBCメモリに流れるDC電流の平均値は、4.29mAとなる。
図14は、2Mbitメモリセルアレイにおいて同時に活性化されるワード線数に対する1Gbitメモリのデータ保持モードにおける消費電流を示したグラフである。同時に活性化されるビット線数が512本、1024本、2048本、4096本のそれぞれの場合について、1Gbitメモリのデータ保持モードにおける消費電流が曲線L1〜L4で示されている。
従来のリフレッシュ動作では、1本のワード線を活性化させるとともに、4096本のビット線に接続されたメモリセルを活性化していた。この場合、データ保持モードにおける電流は、200mAを超える。一方、上記実施形態による自律リフレッシュ動作では、512本のワード線を活性化させるとともに、4096本のビット線に接続されたメモリセルを活性化する。即ち、自律リフレッシュ動作では、2Mbitメモリセルアレイの全メモリセルを同時にリフレッシュする。この場合、データ保持モードにおける電流は、約5.0mAとなる。つまり、自律リフレッシュ動作によるデータ保持モード時の消費電流は、従来のリフレッシュのそれに比べて約1/40になる。
尚、同時に活性化されるワード線数およびビット線数に依存せず、メモリセルの集積度に依存するオフセット電流がある。このオフセット電流は、メモリセルのDC電流によるものである。従って、本実施形態では、1Gbit分のメモリセルのDC電流として、約4.29mAがオフセット電流となる。従って、データ保持モードにおける消費電流をさらに低下させるためには、オフセット電流を低下させる必要がある。オフセット電流を低下させるためには、DC電流を低下させるか、あるいは、フリフレッシュに必要な期間τ1(図14では20ns)を短くすればよい。
図15は、同時に活性化されるフロントワード線FWLの本数とリフレッシュのビジー率との関係を示すグラフである。横軸が、リフレッシュ時に同時に活性化されるフロントワード線FWLの本数を示し、縦軸は、リフレッシュビジー率を示す。リフレッシュビジー率は、データ保持モードにおいて、1サイクル期間τrefに対する自律リフレッシュ期間τ1が占める時間的な比率を意味する。例えば、リフレッシュビジー率が100%とは、データ保持状態において常時リフレッシュ動作が必要な状態である。従って、データを保持することができる限りにおいて、リフレッシュビジー率は低いほど良いと言える。
リフレッシュ動作において同時に活性化されるフロントワード線FWLの数が1である場合、全カラムのビット線BL(4096本)を同時に活性化したとしても、リフレッシュビジー率は約50%にもなる。
従来のリフレッシュ動作では、同時に活性化されるワード線は、1本のみでなければならなかった。この場合、全カラムのビット線BL(4096本)を同時に活性化したとしても、リフレッシュビジー率は約50%よりも低くすることができない。
本実施形態による自律リフレッシュ動作は、複数のワード線を同時に活性化させることができる。例えば、リフレッシュ動作において同時に活性化されるフロントワード線FWLの数が512であり、かつ、リフレッシュ動作において同時に活性化されるビット線BLの数が4096である場合(メモリセルアレイ内の全メモリセルを同時にリフレッシュする場合)、リフレッシュビジー率は約0.1%に低下させることができる。
(第6の実施形態)
図16は、本発明に係る第6の実施形態に従ったFBCメモリの構成の一例を示す図である。第6の実施形態では、センスアンプS/Aがm本(m≧2)のビット線BLごとに設けられている。ビット線セレクタBLSがセンスアンプS/Aとm本のビット線BLとの間に設けられている。ビット線セレクタBLSは、データ読出し/書込み動作において、m本のビット線BLから特定のビット線BLを選択してセンスアンプS/Aに接続するように構成されている。一方、リフレッシュ動作では、ビット線セレクタBLSは、m本のビット線BLを全てセンスアンプS/Aに接続することができる。これにより、第6の実施形態によるFBCメモリは、第1の実施形態と同様に自律リフレッシュ動作を実行することができる。
図16は、本発明に係る第6の実施形態に従ったFBCメモリの構成の一例を示す図である。第6の実施形態では、センスアンプS/Aがm本(m≧2)のビット線BLごとに設けられている。ビット線セレクタBLSがセンスアンプS/Aとm本のビット線BLとの間に設けられている。ビット線セレクタBLSは、データ読出し/書込み動作において、m本のビット線BLから特定のビット線BLを選択してセンスアンプS/Aに接続するように構成されている。一方、リフレッシュ動作では、ビット線セレクタBLSは、m本のビット線BLを全てセンスアンプS/Aに接続することができる。これにより、第6の実施形態によるFBCメモリは、第1の実施形態と同様に自律リフレッシュ動作を実行することができる。
第6の実施形態では、センスアンプS/Aがm本のビット線ごとに設けられているので、メモリセル以外の周辺回路の面積を低減させることができる。即ち、メモリチップに対するセル占有率が向上する。これにより、FBCメモリのチップサイズを小さくすることができる。
(第7の実施形態)
図17は、本発明に係る第7の実施形態に従ったFBCメモリの構成の一例を示す図である。尚、図17では、フロントワード線FWLおよびバックワード線BWLを簡略化して表示している。第7の実施形態では、ビット線がローカルビット線LBLLk,i、LBLRk,i(kは1〜N、iは1〜M)(以下、単にLBLともいう)と、グローバルビット線GBLLi、GBLRi(以下、単にGBLともいう)とに分けられている。各ローカルビット線LBLは、或るカラムのメモリセルMCのうちいくつかのメモリセルに接続されている。図17では、(N+1)個のメモリセルMCが1つのローカルビット線LBLに接続されている。グローバルビット線GBLは、複数のローカルビット線に対応して設けられており、センスアンプS/Aに接続されている。
図17は、本発明に係る第7の実施形態に従ったFBCメモリの構成の一例を示す図である。尚、図17では、フロントワード線FWLおよびバックワード線BWLを簡略化して表示している。第7の実施形態では、ビット線がローカルビット線LBLLk,i、LBLRk,i(kは1〜N、iは1〜M)(以下、単にLBLともいう)と、グローバルビット線GBLLi、GBLRi(以下、単にGBLともいう)とに分けられている。各ローカルビット線LBLは、或るカラムのメモリセルMCのうちいくつかのメモリセルに接続されている。図17では、(N+1)個のメモリセルMCが1つのローカルビット線LBLに接続されている。グローバルビット線GBLは、複数のローカルビット線に対応して設けられており、センスアンプS/Aに接続されている。
ビット線スイッチBSWがローカルビット線LBLとグローバルビット線GBLとの間に接続されている。グローバルビット線GBLは、ビット線スイッチBSWによって特定のローカルビット線LBLに選択的に接続され得る。
図17に示す階層型ビット線構成によれば、ローカルビット線LBLごとにセンスアンプS/Aを設ける必要がなく、センスアンプS/Aの個数を減少させることができる。例えば、図17の具体例では、グローバルビット線GBLがセンスアンプS/Aの左右に接続されており、それぞれのグローバルビット線GBLは4本のローカルビット線LBL(計8本のローカルビット線)に接続されている。よって、本実施形態におけるセンスアンプS/Aの個数は、ローカルビット線LBLごとにセンスアンプS/Aを設けた場合の個数の1/8となる。
このような階層型ビット線構成において従来のリフレッシュ動作を実行した場合、一度にリフレッシュできるメモリセル数は1/8に減る。このため、リフレッシュのサイクル数(全メモリセルセルをリフレッシュするために必要なリフレッシュサイクル数)が大きくなり、リフレッシュビジー率が大きくなってしまう。
これに対し、本実施形態による自律リフレッシュを用いた場合、センスアンプ数とは無関係にメモリセルアレイ全体のメモリセルを同時にリフレッシュすることができる。従って、自律リフレッシュによれば、階層型ビット線構成を採用するFBCメモリであっても、リフレッシュビジー率を上昇させることなく、全メモリセルをリフレッシュすることができる。さらに、階層型ビット線構成を採用することによって、センスアンプS/A数を減少させることができるので、メモリ装置全体のサイズを小さくすることができる。
上記実施形態において、フロントワード線FWLの機能(動作)とバックワード線BWLの機能(動作)とを入れ替えても、自律リフレッシュ動作を実行することができる。
上記実施形態において、メモリセルMCは、p型FETであってもよい。この場合には、メモリセルMCは、電子を蓄積し、あるいは、電子を放出することによってデータを格納する。また、この場合、フロントワード線FWL、バックワード線BWL、ビット線BLの各電位の極性を逆にすればよい。
上記実施形態において、ソース電位は、接地電位としたが、ソース電位は、接地電位以外の電位に設定されてもよい。この場合、フロントワード線FWL、バックワード線BWL、およびビット線BLの各電位の極性は、ソース電位を基準とする。
MC…メモリセル
FWL…フロントワード線
BWL…バックワード線
BL…ビット線
S/A…センスアンプ
WLD…WLドライバ
CSLD…CSLドライバ
10…半導体基板
20…BOX層
40…ドレイン
50…ボディ
60…ソース
71…第1のゲート絶縁膜
72…第2のゲート絶縁膜
FWL…フロントワード線
BWL…バックワード線
BL…ビット線
S/A…センスアンプ
WLD…WLドライバ
CSLD…CSLドライバ
10…半導体基板
20…BOX層
40…ドレイン
50…ボディ
60…ソース
71…第1のゲート絶縁膜
72…第2のゲート絶縁膜
Claims (11)
- 半導体層と、
前記半導体層内に設けられたソース層およびドレイン層と、
前記ソース層と前記ドレイン層との間の前記半導体層に設けられ、論理データを記憶するために電荷を蓄積し、あるいは、電荷を放出する電気的に浮遊状態のボディ領域と、
前記ボディ領域の第1の面上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、
前記第1のゲート絶縁膜を介して前記第1の面に設けられた第1のゲート電極と、
前記第1の面とは異なる前記ボディ領域の第2の面に設けられた第2のゲート絶縁膜と、
前記第2のゲート絶縁膜を介して前記第2の面に設けられた第2のゲート電極と、
前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を駆動するドライバと、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルから論理データを読み出し、あるいは、論理データを書き込むセンスアンプとを備え、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として互いに逆極性の電圧を前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極に印加することによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へ第1の電流を流し、かつ、前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へ第2の電流を流し、前記リフレッシュ動作の1周期内に流れる前記第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に流れる前記第2の電流に基づく電荷の量とがほぼ等しくなる平衡状態へ前記メモリセルを遷移させることを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1の電流に基づく電荷の量および前記第2の電流に基づく電荷の量は2つの安定な平衡点および1つの不安定な平衡点を含み、
前記2つの安定な平衡点に対応する前記ボディ領域の電位は、1つの不安定な平衡点に対応する前記ボディ領域の電位の両側に存在し、
前記2つの安定な平衡状態のうち一方がデータ“0”を格納する前記メモリセルの平衡状態であり、他方がデータ“1”を格納する前記メモリセルの平衡状態であることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 半導体層と、
前記半導体層内に設けられたソース層およびドレイン層と、
前記ソース層と前記ドレイン層との間の前記半導体層に設けられ、論理データを記憶するために電荷を蓄積し、あるいは、電荷を放出する電気的に浮遊状態のボディ領域と、
前記ボディ領域の第1の面上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、
前記第1のゲート絶縁膜を介して前記第1の面に設けられた第1のゲート電極と、
前記第1の面とは異なる前記ボディ領域の第2の面に設けられた第2のゲート絶縁膜と、
前記第2のゲート絶縁膜を介して前記第2の面に設けられた第2のゲート電極と、
前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を駆動するドライバと、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルから論理データを読み出し、あるいは、論理データを書き込むセンスアンプとを備え、
前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へトンネル電流が常時流れるように、前記第2のゲート電極の電位は、一定の電位に固定されており、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として前記第2のゲート電極の電圧に対して逆極性の電圧を前記第1のゲート電極に印加することによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へ第1の電流を流し、
前記リフレッシュ動作の1周期内に流れる前記第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へ流れる第2の電流に基づく電荷の量とがほぼ等しくなる平衡状態へ前記メモリセルを遷移させることを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記リフレッシュ動作時において、前記ドレイン層には、前記ソース層の電位を基準として前記第1のゲート電極と同じ極性の電位が印加されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の半導体記憶装置。
- 前記リフレッシュ動作を実行する際に、前記ソース層の電位を基準として互いに逆極性の電圧を前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極に印加することによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へインパクトイオン化電流を流し、かつ、前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へトンネル電流を流すことを特徴とする請求項1または請求項3に記載の半導体記憶装置。
- 外部からのデータを書き込み、あるいは、外部へデータを読み出す動作が実行されるアクティブモードの前記リフレッシュ動作における前記第1および第2の電流は、外部からのデータを書き込み、あるいは、外部へデータを読み出す動作が実行されないデータ保持モードの前記リフレッシュ動作における前記第1および第2の電流よりもそれぞれ大きいことを特徴とする請求項1、請求項3または請求項5に記載の半導体記憶装置。
- 前記ドレイン層に接続されたビット線をさらに備え、
同一の前記ビット線に接続された複数の前記メモリセルに対して前記リフレッシュ動作を同時に実行することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリセルのドレインに接続されたローカルビット線と、
複数の前記ローカルビット線に対応して設けられ前記センスアンプに接続されたグローバルビット線と、
前記ローカルビット線と前記グローバルビット線との間に設けられたスイッチング素子とをさらに備えたことを特徴とする請求項1または請求項3記載の半導体記憶装置。 - 半導体層と、前記半導体層内に設けられたソース層およびドレイン層と、前記ソース層と前記ドレイン層との間の前記半導体層に設けられ、論理データを記憶するために電荷を蓄積し、あるいは、電荷を放出する電気的に浮遊状態のボディ領域と、前記ボディ領域の第1の面上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、前記第1のゲート絶縁膜を介して前記第1の面上に設けられた第1のゲート電極と、前記第1の面とは異なる前記ボディ領域の第2の面上に設けられた第2のゲート絶縁膜と、前記第2のゲート絶縁膜を介して前記第2の面上に設けられた第2のゲート電極と、前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を駆動するドライバと、前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルから論理データを読み出し、あるいは、論理データを書き込むセンスアンプとを備えた半導体記憶装置の駆動方法であって、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として互いに逆極性の電圧を前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極に印加することによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へインパクトイオン化電流を流し、かつ、前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へトンネル電流を流し、前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域へ流れ込む第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域から流れ出す第2の電流に基づく電荷の量とをほぼ等しくすることを具備した半導体記憶装置の駆動方法。 - 半導体層と、前記半導体層内に設けられたソース層およびドレイン層と、前記ソース層と前記ドレイン層との間の前記半導体層に設けられ、論理データを記憶するために電荷を蓄積し、あるいは、電荷を放出する電気的に浮遊状態のボディ領域と、前記ボディ領域の第1の面上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、前記第1のゲート絶縁膜を介して前記第1の面上に設けられた第1のゲート電極と、前記第1の面とは異なる前記ボディ領域の第2の面上に設けられた第2のゲート絶縁膜と、前記第2のゲート絶縁膜を介して前記第2の面上に設けられた第2のゲート電極と、前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極を駆動するドライバと、前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルから論理データを読み出し、あるいは、論理データを書き込むセンスアンプとを備えた半導体記憶装置の駆動方法であって、
前記ボディ領域から前記第2のゲート電極へトンネル電流が常時流れるように、前記第2のゲート電極の電位は、一定に固定されており、
前記ソース層、前記ドレイン層および前記ボディ領域を含むメモリセルの論理データの劣化を回復させるリフレッシュ動作を周期的に実行する際に、前記ソース層の電位を基準として前記第2のゲート電極の電位に対して逆極性の電位へ前記第1のゲート電極の電位を遷移させることによって、前記ドレイン層または前記ソース層から前記ボディ領域へインパクトイオン化電流を流し、
前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域へ流れ込む第1の電流に基づく電荷の量と前記リフレッシュ動作の1周期内に前記ボディ領域から流れ出す第2の電流に基づく電荷の量とをほぼ等しくすることを具備した半導体記憶装置の駆動方法。 - 前記ドレイン層に接続されたビット線をさらに備え、
同一の前記ビット線に接続された複数の前記メモリセルに対して前記リフレッシュ動作を同時に実行することを特徴とする請求項9または請求項10のいずれかに記載の半導体記憶装置の駆動方法。
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