JP2009081122A - Method of manufacturing organic el device sealed with gas barrier film and organic el device sealed with gas barrier film - Google Patents

Method of manufacturing organic el device sealed with gas barrier film and organic el device sealed with gas barrier film Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To maintain gas barrier properties of an organic EL device when formed and after time has passed. <P>SOLUTION: In a method of manufacturing the organic EL device having a substrate, a pair of electrodes disposed on the substrate and an organic compound layer disposed between the electrodes, and sealed with a gas barrier film having a base material film and a gas barrier layer formed on the base material film, the gas barrier film is disposed on the electrodes to position the base material film of the gas barrier film on side faces of the electrodes. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ガスバリアフィルムで封止された有機EL素子の製造方法、ガスバリアフィルムで封止された有機EL素子および有機EL素子を封止する方法に関する。   The present invention relates to a method for producing an organic EL element sealed with a gas barrier film, an organic EL element sealed with a gas barrier film, and a method for sealing the organic EL element.

従来から、プラスチック基材等のフィルム基材の表面に酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化珪素等の金属酸化物の薄膜を形成したガスバリアフィルムが、水蒸気や酸素等の各種ガスの遮断を必要とする物品の包装用途や、食品や工業用品および医薬品等の変質を防止するための包装用途に広く用いられている。また、包装用途以外にも液晶表示素子、太陽電池、有機EL素子の基板等で使用されている。   Conventionally, a gas barrier film in which a thin film of a metal oxide such as aluminum oxide, magnesium oxide, or silicon oxide is formed on the surface of a film substrate such as a plastic substrate requires an interruption of various gases such as water vapor and oxygen It is widely used in packaging applications for preventing the deterioration of foods, industrial products and pharmaceuticals. Moreover, it is used with the board | substrate of a liquid crystal display element, a solar cell, an organic EL element other than the packaging use.

一方、特許文献1には、プラスチックフィルムの少なくとも片面に、ガスバリア層、保護コート層の順に積層した積層フィルムが開示されている。さらに、該積層フィルム上に、電極膜を設け液晶表示パネルやタッチパネル等のパネル基板として用いることが開示されている。   On the other hand, Patent Document 1 discloses a laminated film in which a gas barrier layer and a protective coat layer are laminated in this order on at least one surface of a plastic film. Furthermore, it is disclosed that an electrode film is provided on the laminated film and used as a panel substrate such as a liquid crystal display panel or a touch panel.

特開2002−174809号公報JP 2002-174809 A

ここで、特許文献1に記載の積層フィルムを有機EL素子の封止フィルムとして用いようとすると、有機EL素子形成の過程でガスバリア層の破壊が起きることが分かった。本発明者らがさらに検討したところ、この原因は、特許文献1に記載の積層フィルムに保護コート層を設けていることにあることが分かった。すなわち、保護コート層は、ガスバリアフィルムの保護や強化のためには、設けることが好ましいが、該保護コート層のハードコート性が有機EL素子形成の過程で、ガスバリア層を破壊することが分かった。
本発明は、上記問題点を解決することを課題とするものであって、有機EL素子を、ガスバリアフィルムを用いて適切に封止することを目的とし、かつ、ガスバリアフィルムで封止された有機EL素子の形成時およびその後の経時でもガスバリア性を維持することを課題とする。
Here, when it was going to use the laminated | multilayer film of patent document 1 as a sealing film of an organic EL element, it turned out that destruction of a gas barrier layer occurs in the process of organic EL element formation. Further examination by the present inventors has revealed that this cause is that a protective coating layer is provided on the laminated film described in Patent Document 1. That is, the protective coat layer is preferably provided for protecting and strengthening the gas barrier film, but it has been found that the hard coat property of the protective coat layer destroys the gas barrier layer in the process of forming the organic EL element. .
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and aims to appropriately seal an organic EL element using a gas barrier film, and an organic material sealed with a gas barrier film. It is an object to maintain gas barrier properties at the time of formation of an EL element and thereafter.

上記課題のもと、発明者が鋭意検討した結果、有機EL素子の電極上に、ガスバリアフィルムを設けて有機EL素子を封止する場合、驚くべきことに、ガスバリア層が基材フィルムの電極側面の裏面に位置するように設けることにより、上記課題を解決しうることを見出した。本発明は、上記知見に基づき成し遂げられたものであり、具体的には以下の手段により達成された。
(1)基板と、該基板上に設けられた一対の電極と、該電極の間に設けられた有機化合物層とを有する有機EL素子が、基材フィルムと、該基材フィルム上に設けられたガスバリア層とを有するガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法であって、前記ガスバリアフィルムを、電極上に、該ガスバリアフィルムの基材フィルムが電極側面に位置するように設けることを特徴とするガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。
(2)さらに、基板上および/またはガスバリア層上に、保護層を設けることを含む、(1)に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。
(3)有機EL素子にガスバリアフィルムを設けた後に、ガスバリア層上であって、基材フィルムとは反対側に保護層を設けることを特徴とする、(1)または(2)に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。
(4)有機EL素子にガスバリアフィルムを設ける前に、ガスバリア層上であって、基材フィルムとは反対側に保護層を設けることを特徴とする、(1)または(2)に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。
(5)保護層は、高分子フィルムを、接着剤を介して貼り合わせることにより設けることを特徴とする、(2)〜(4)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。
(6)保護層は、アクリレートまたはメタクリレートを塗布または蒸着することにより設けることを特徴とする、(2)〜(4)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。
(7)ガスバリア層の基材フィルムから遠い側の最外層が有機層である、(1)〜(6)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。
(8)(1)〜(7)のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法を用いて製造した、ガスバリアフィルムで封止された有機EL素子。
(9)基板と、該基板上に設けられた一対の電極と、該電極の間に設けられた有機化合物層とを有する有機EL素子と、該有機EL素子を封止するための、基材フィルムと、該基材フィルム上に設けられたガスバリア層とを有するガスバリアフィルムとを有し、該ガスバリアフィルムが、電極上に、該ガスバリアフィルムの基材フィルムが電極側面に位置するように設けられていることを特徴とする、ガスバリアフィルムで封止された有機EL素子。
(10)ガスバリア層上であって、基材フィルムとは反対側に保護層が設けられている、(9)に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子。
(11)基板と、該基板上に設けられた一対の電極と、該電極の間に設けられた有機化合物層とを有する有機EL素子を、基材フィルムと、該基材フィルム上に設けられたガスバリア層とを有するガスバリアフィルムで封止する方法であって、前記ガスバリアフィルムを、電極上に、該ガスバリアフィルムの基材フィルムが電極側面に位置するように設けることを特徴とする、ガスバリアフィルムで有機EL素子を封止する方法。
(12)ガスバリア層上であって、基材フィルムとは反対側に保護層が設けられている、(11)に記載のガスバリアフィルムで有機EL素子を封止する方法。
As a result of intensive studies by the inventors based on the above problems, surprisingly, when an organic EL element is sealed by providing a gas barrier film on the electrode of the organic EL element, the gas barrier layer is surprisingly provided on the electrode side surface of the base film. It has been found that the above-mentioned problem can be solved by providing it so as to be positioned on the back surface. The present invention has been accomplished based on the above findings, and specifically has been achieved by the following means.
(1) An organic EL element having a substrate, a pair of electrodes provided on the substrate, and an organic compound layer provided between the electrodes is provided on the base film and the base film. A method for producing an organic EL device sealed with a gas barrier film having a gas barrier layer, wherein the gas barrier film is provided on an electrode so that the base film of the gas barrier film is located on a side surface of the electrode. A method for producing an organic EL device sealed with a gas barrier film.
(2) A method for producing an organic EL device sealed with the gas barrier film according to (1), further comprising providing a protective layer on the substrate and / or the gas barrier layer.
(3) The gas barrier according to (1) or (2), wherein after the gas barrier film is provided on the organic EL element, a protective layer is provided on the gas barrier layer on the side opposite to the base film. A method for producing an organic EL device sealed with a film.
(4) The gas barrier according to (1) or (2), wherein a protective layer is provided on the gas barrier layer on the side opposite to the base film before providing the gas barrier film on the organic EL element. A method for producing an organic EL device sealed with a film.
(5) The protective layer is sealed with the gas barrier film according to any one of (2) to (4), wherein the polymer film is provided by bonding the polymer film through an adhesive. A method for producing an organic EL device.
(6) The protective layer is provided by applying or vapor-depositing acrylate or methacrylate. The organic EL element sealed with the gas barrier film according to any one of (2) to (4), How to manufacture.
(7) The method of manufacturing the organic EL element sealed with the gas barrier film according to any one of (1) to (6), wherein the outermost layer on the side farther from the base film of the gas barrier layer is an organic layer. .
(8) An organic EL device sealed with a gas barrier film, produced using the method for producing an organic EL device sealed with the gas barrier film according to any one of (1) to (7).
(9) An organic EL element having a substrate, a pair of electrodes provided on the substrate, and an organic compound layer provided between the electrodes, and a base material for sealing the organic EL element A gas barrier film having a film and a gas barrier layer provided on the base film, and the gas barrier film is provided on the electrode so that the base film of the gas barrier film is located on the electrode side surface. An organic EL device sealed with a gas barrier film.
(10) The organic EL element sealed with the gas barrier film according to (9), wherein the protective layer is provided on the gas barrier layer on the side opposite to the base film.
(11) An organic EL element having a substrate, a pair of electrodes provided on the substrate, and an organic compound layer provided between the electrodes is provided on the base film and the base film. A gas barrier film having a gas barrier layer, wherein the gas barrier film is provided on an electrode such that a base film of the gas barrier film is located on a side surface of the electrode. And sealing the organic EL element.
(12) The method of sealing an organic EL element with a gas barrier film according to (11), wherein a protective layer is provided on the gas barrier layer on the side opposite to the base film.

本発明により、ガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を形成する時も、またその後も、ガスバリア性を良好に維持することができ、さらに、有機EL素子の劣化を低減させることが可能になる。特に、基板および/またはガスバリアフィルムの保護層として、高いハードコート性を有する材料を用いても、ガスバリア層が破壊されることが無いので、高い有用性が見込まれる。   According to the present invention, when forming an organic EL element sealed with a gas barrier film, and thereafter, it is possible to maintain good gas barrier properties and to further reduce deterioration of the organic EL element. . In particular, even when a material having a high hard coat property is used as the protective layer of the substrate and / or the gas barrier film, the gas barrier layer is not destroyed, and thus high utility is expected.

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。尚、本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。また、本明細書における有機EL素子とは、有機エレクトロルミネッセンス素子のことをいう。   Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail. In the present specification, “to” is used to mean that the numerical values described before and after it are included as a lower limit value and an upper limit value. Moreover, the organic EL element in this specification means an organic electroluminescence element.

まず、本発明におけるガスバリアフィルムで封止された有機EL素子の実施形態の一例について、図1に従って説明する。尚、図1は本発明におけるガスバリアフィルムで封止された有機EL素子の実施形態の一例を示したものであるが、本発明がこれに限定されるものではない。
図1中、1は有機EL素子を、2はガスバリアフィルムを、3は保護層をそれぞれ示している。
ここで、有機EL素子1は、基板11と、該基板上に設けられた一対の電極12と、電極の間に設けられた有機化合物層13とを有する。有機EL素子は、後述するように、他の構成層や構成フィルムを含んでいてもよい。そして、本構成では、さらに、封止剤14によって、有機EL素子を封止している。
そして、有機EL素子1の電極12上には、ガスバリアフィルム2が設けられている。ここで、「電極上」とは、電極の表面に直接に設けられている場合、および、他の構成層や構成フィルムを介して設けられている場合の両方を含む趣旨である。ガスバリアフィルム2は、基材フィルム21と、基材フィルム上に設けられたガスバリア層22とを有し、基材フィルム21が電極側面に位置するように設けられている。このような構成とすることにより、ガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を形成する時も、またその後の経時でもガスバリア性を良好に維持することができ、さらに、有機EL素子の劣化を低減させることが可能になる。尚、本発明におけるガスバリアフィルムは、後述するとおり、基材フィルム21とガスバリアフィルム以外の構成層および構成フィルムを含んでいてもよい。また、ガスバリア層は、一層のみから構成されていても、多層から構成されていてもよく、好ましくは多層から構成される。
First, an example of an embodiment of an organic EL element sealed with a gas barrier film in the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 shows an example of an embodiment of an organic EL element sealed with a gas barrier film in the present invention, but the present invention is not limited to this.
In FIG. 1, 1 indicates an organic EL element, 2 indicates a gas barrier film, and 3 indicates a protective layer.
Here, the organic EL element 1 includes a substrate 11, a pair of electrodes 12 provided on the substrate, and an organic compound layer 13 provided between the electrodes. The organic EL element may include other constituent layers and constituent films as will be described later. In this configuration, the organic EL element is further sealed with the sealant 14.
A gas barrier film 2 is provided on the electrode 12 of the organic EL element 1. Here, “on the electrode” means to include both the case of being provided directly on the surface of the electrode and the case of being provided via another constituent layer or constituent film. The gas barrier film 2 includes a base film 21 and a gas barrier layer 22 provided on the base film, and is provided so that the base film 21 is located on the electrode side surface. By adopting such a configuration, it is possible to maintain good gas barrier properties even when an organic EL element sealed with a gas barrier film is formed or over time, and to further reduce deterioration of the organic EL element. It becomes possible to make it. In addition, the gas barrier film in this invention may contain the structural layer and structural film other than the base film 21 and a gas barrier film so that it may mention later. Further, the gas barrier layer may be composed of only one layer or may be composed of multiple layers, and is preferably composed of multiple layers.

本実施形態では、さらに、ガスバリア層22上であって、基材フィルムとは反対側に保護層3を設けている。ここで、「ガスバリア層上」とは、ガスバリア層の表面に直接に設けられている場合、および、他の構成層や構成フィルムを介して設けられている場合の両方を含む趣旨である。このように、保護層を設けることによって、有機EL素子の外側に向いたガスバリア層を良好に維持できるという効果が得られる。特に、保護層に、高いハードコート性の物質を用いたハードコート層を容易に用いることができる利点がある。このようなハードコート層を設けると、傷つきにくいという利点がある。
保護層は、有機EL素子をガスバリアフィルムで封止した後に設けても良いし、封止する前に設けても良い。保護層を、有機EL素子をガスバリアフィルムで封止した後に設けるとより高いハードコート性の化合物を選択できるという利点がある。一方、保護層を、有機EL素子をガスバリアフィルムで封止する前に設けると有機EL素子の形成時にガスバリアフィルムのガスバリア層を保護できるという利点がある。また、保護層は、基板上に設けても良い。
以下、本発明におけるガスバリアフィルムで封止された有機EL素子について、さらに詳細に説明する。
In the present embodiment, the protective layer 3 is further provided on the gas barrier layer 22 on the side opposite to the base film. Here, “on the gas barrier layer” means to include both the case where it is provided directly on the surface of the gas barrier layer and the case where it is provided via another constituent layer or constituent film. Thus, by providing a protective layer, the effect that the gas barrier layer which faced the outer side of the organic EL element can be favorably maintained is obtained. In particular, there is an advantage that a hard coat layer using a highly hard coat substance can be easily used for the protective layer. Providing such a hard coat layer has the advantage that it is not easily damaged.
The protective layer may be provided after sealing the organic EL element with a gas barrier film, or may be provided before sealing. When the protective layer is provided after the organic EL element is sealed with the gas barrier film, there is an advantage that a compound having a higher hard coat property can be selected. On the other hand, when the protective layer is provided before the organic EL element is sealed with the gas barrier film, there is an advantage that the gas barrier layer of the gas barrier film can be protected during the formation of the organic EL element. The protective layer may be provided on the substrate.
Hereinafter, the organic EL element sealed with the gas barrier film in the present invention will be described in more detail.

(ガスバリアフィルム)
ガスバリアフィルムは大気中の酸素、水分を遮断する機能を有するフィルムである。本発明におけるガスバリアフィルムは、少なくとも1つの有機領域と無機領域もしくは少なくとも1層の無機層からなるガスバリア層を有し、好ましくは、少なくとも1層の有機層と、少なくとも1層の無機層が積層したものである。有機層と無機層は、通常交互に積層している。各層を構成する組成が膜厚方向に有機領域と無機領域が連続的に変化するいわゆる傾斜材料層であってもよい。前記傾斜材料の例としては、キムらによる論文「Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. 23 p971−977(2005 American Vacuum Society) ジャーナル オブ バキューム サイエンス アンド テクノロジー A 第23巻 971頁〜977ページ(20005年刊、アメリカ真空学会)」に記載の材料や、米国公開特許2004−46497号明細書に開示してあるように有機層と無機層が界面を持たない連続的な層等が挙げられる。以降、簡略化のため、有機層と有機領域は「有機層」として、無機層と無機領域は無機層として記述する。
ガスバリア層は、少なくとも一層の無機層を有し、少なくとも一層の無機層および少なくとも一層の有機層を有することが好ましく、無機層と有機層が交互に積層する構造であることがより好ましい。本発明におけるガスバリアフィルムは、無機層および有機層の積層順はいずれを先に形成してもよい。基材フィルムとの密着性の観点から基材フィルム上に無機層、有機層の順に積層することが好ましい。特に、本発明では、ガスバリア層の基材フィルムから遠い側の最外層が、有機層であることが好ましい。このような層構成とすることにより、高いガスバリア性のフィルムを得ることができるという利点がある。
また、上記無機層または有機層の上に、さらに無機層または有機層を交互に1回ずつ以上繰り返し積層すれば、ガスバリア性能をより高めることができ好ましい。
なお、本明細書において「少なくとも1層の無機層と少なくとも1層の有機層とを交互に有する」には、1層の無機層と1層の有機層とからなる2層の構造のものも含まれる。
カスバリアフィルムを構成する層数に関しては特に制限はないが、典型的には2層〜30層が好ましく、3層〜20層がさらに好ましい。なお、バリア層はプラスチックフィルムの片面にのみ設けられていてもよいし、両面に設けられていてもよい。
ガスバリア層は、少なくとも一層の無機層を有し、少なくとも一層の無機層および少なくとも一層の有機層を有することが好ましく、無機層と有機層が交互に積層する構造であることがより好ましい。本発明におけるガスバリアフィルムは、無機層および有機層の積層順はいずれを先に形成してもよい。基材フィルムとの密着性の観点から基材フィルム上に無機層、有機層の順に積層することが好ましい。特に、本発明では、ガスバリア層の基材フィルムから遠い側の最外層が、有機層であることが好ましい。このような層構成とすることにより、高いガスバリア性のフィルムを得ることができるという利点がある。
また、上記無機層または有機層の上に、さらに無機層または有機層を交互に1回ずつ以上繰り返し積層すれば、ガスバリア性能をより高めることができ好ましい。
なお、本明細書において「少なくとも1層の無機層と少なくとも1層の有機層とを交互に有する」には、1層の無機層と1層の有機層とからなる2層の構造のものも含まれる。
カスバリアフィルムを構成する層数に関しては特に制限はないが、典型的には2層〜30層が好ましく、3層〜20層がさらに好ましい。なお、バリア層はプラスチックフィルムの片面にのみ設けられていてもよいし、両面に設けられていてもよい。
(Gas barrier film)
The gas barrier film is a film having a function of blocking oxygen and moisture in the atmosphere. The gas barrier film in the present invention has a gas barrier layer composed of at least one organic region and an inorganic region or at least one inorganic layer, and preferably, at least one organic layer and at least one inorganic layer are laminated. Is. Organic layers and inorganic layers are usually laminated alternately. The composition constituting each layer may be a so-called gradient material layer in which an organic region and an inorganic region continuously change in the film thickness direction. Examples of the gradient materials include a paper by Kim et al. “Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. 23 p971-977 (2005 American Vacuum Society) Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. , American Vacuum Society) ”, or a continuous layer in which the organic layer and the inorganic layer do not have an interface as disclosed in US Published Patent Application No. 2004-46497. Hereinafter, for simplification, the organic layer and the organic region are described as “organic layers”, and the inorganic layer and the inorganic region are described as inorganic layers.
The gas barrier layer has at least one inorganic layer, preferably has at least one inorganic layer and at least one organic layer, and more preferably has a structure in which inorganic layers and organic layers are alternately laminated. In the gas barrier film of the present invention, any of the lamination order of the inorganic layer and the organic layer may be formed first. From the viewpoint of adhesion to the base film, it is preferable to laminate the inorganic layer and the organic layer in this order on the base film. In particular, in the present invention, the outermost layer on the side farther from the base film of the gas barrier layer is preferably an organic layer. With such a layer structure, there is an advantage that a film having a high gas barrier property can be obtained.
Further, it is preferable that the inorganic layer or the organic layer is alternately and repeatedly laminated on the inorganic layer or the organic layer one or more times, so that the gas barrier performance can be further improved.
In the present specification, “having at least one inorganic layer and at least one organic layer alternately” includes a two-layer structure including one inorganic layer and one organic layer. included.
Although there is no restriction | limiting in particular regarding the number of layers which comprises a cas barrier film, Typically 2-30 layers are preferable, and 3-20 layers are more preferable. In addition, the barrier layer may be provided only on one side of the plastic film, or may be provided on both sides.
The gas barrier layer has at least one inorganic layer, preferably has at least one inorganic layer and at least one organic layer, and more preferably has a structure in which inorganic layers and organic layers are alternately laminated. In the gas barrier film of the present invention, any of the lamination order of the inorganic layer and the organic layer may be formed first. From the viewpoint of adhesion to the base film, it is preferable to laminate the inorganic layer and the organic layer in this order on the base film. In particular, in the present invention, the outermost layer on the side farther from the base film of the gas barrier layer is preferably an organic layer. With such a layer structure, there is an advantage that a film having a high gas barrier property can be obtained.
Further, it is preferable that the inorganic layer or the organic layer is alternately and repeatedly laminated on the inorganic layer or the organic layer one or more times, so that the gas barrier performance can be further improved.
In the present specification, “having at least one inorganic layer and at least one organic layer alternately” includes a two-layer structure including one inorganic layer and one organic layer. included.
Although there is no restriction | limiting in particular regarding the number of layers which comprises a cas barrier film, Typically 2-30 layers are preferable, and 3-20 layers are more preferable. In addition, the barrier layer may be provided only on one side of the plastic film, or may be provided on both sides.

(基材フィルム)
本発明におけるガスバリアフィルムは、通常、基材フィルムとして、プラスチックフィルムを用いる。用いられるプラスチックフィルムは、有機層、無機層等の積層体を保持できるフィルムであれば材質、厚み等に特に制限はなく、使用目的等に応じて適宜選択することができる。前記プラスチックフィルムとしては、具体的には、金属支持体(アルミニウム、銅、ステンレス等)ポリエステル樹脂、メタクリル樹脂、メタクリル酸−マレイン酸共重合体、ポリスチレン樹脂、透明フッ素樹脂、ポリイミド、フッ素化ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、セルロースアシレート樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリカーボネート樹脂、脂環式ポリオレフィン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリスルホン樹脂、シクロオレフィルンコポリマー、フルオレン環変性ポリカーボネート樹脂、脂環変性ポリカーボネート樹脂、フルオレン環変性ポリエステル樹脂、アクリロイル化合物などの熱可塑性樹脂が挙げられる。
(Base film)
The gas barrier film in the present invention usually uses a plastic film as the base film. The plastic film to be used is not particularly limited in material, thickness and the like as long as it can hold a laminate such as an organic layer and an inorganic layer, and can be appropriately selected according to the purpose of use. Specifically, as the plastic film, metal support (aluminum, copper, stainless steel, etc.) polyester resin, methacrylic resin, methacrylic acid-maleic acid copolymer, polystyrene resin, transparent fluororesin, polyimide, fluorinated polyimide resin , Polyamide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, cellulose acylate resin, polyurethane resin, polyetheretherketone resin, polycarbonate resin, alicyclic polyolefin resin, polyarylate resin, polyethersulfone resin, polysulfone resin, cycloolefin Examples thereof include thermoplastic resins such as filn copolymers, fluorene ring-modified polycarbonate resins, alicyclic ring-modified polycarbonate resins, fluorene ring-modified polyester resins, and acryloyl compounds.

本発明のガスバリアフィルムは、耐熱性を有する素材からなることが好ましい。具体的には、ガラス転移温度(Tg)が100℃以上および/または線熱膨張係数が40ppm/℃以下で耐熱性の高い透明な素材からなることが好ましい。Tgや線膨張係数は、添加剤などによって調整することができる。このような熱可塑性樹脂として、例えば、ポリエチレンナフタレート(PEN:120℃)、ポリカーボネート(PC:140℃)、脂環式ポリオレフィン(例えば日本ゼオン(株)製 ゼオノア1600:160℃)、ポリアリレート(PAr:210℃)、ポリエーテルスルホン(PES:220℃)、ポリスルホン(PSF:190℃)、シクロオレフィンコポリマー(COC:特開2001−150584号公報の化合物:162℃)、ポリイミド(例えば三菱ガス化学(株)ネオプリム:260℃)、フルオレン環変性ポリカーボネート(BCF−PC:特開2000−227603号公報の化合物:225℃)、脂環変性ポリカーボネート(IP−PC:特開2000−227603号公報の化合物:205℃)、アクリロイル化合物(特開2002−80616号公報の化合物:300℃以上)が挙げられる(括弧内はTgを示す)。特に、透明性を求める場合には脂環式ポレオレフィン等を使用するのが好ましい。   The gas barrier film of the present invention is preferably made of a heat-resistant material. Specifically, it is preferable that the glass transition temperature (Tg) is 100 ° C. or higher and / or the linear thermal expansion coefficient is 40 ppm / ° C. or lower and is made of a transparent material having high heat resistance. Tg and a linear expansion coefficient can be adjusted with an additive. As such a thermoplastic resin, for example, polyethylene naphthalate (PEN: 120 ° C.), polycarbonate (PC: 140 ° C.), alicyclic polyolefin (for example, ZEONOR 1600: 160 ° C. manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.), polyarylate ( PAr: 210 ° C., polyethersulfone (PES: 220 ° C.), polysulfone (PSF: 190 ° C.), cycloolefin copolymer (COC: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-150584 compound: 162 ° C.), polyimide (for example, Mitsubishi Gas Chemical) Neoprim: 260 ° C.), fluorene ring-modified polycarbonate (BCF-PC: compound of JP 2000-227603 A: 225 ° C.), alicyclic modified polycarbonate (IP-PC: compound of JP 2000-227603 A) : 205 ° C), acryloyl compound (Compound described in JP-A 2002-80616: 300 ° C. or more) (the parenthesized data are Tg). In particular, when transparency is required, it is preferable to use an alicyclic polyolefin or the like.

本発明のガスバリアフィルムを偏光板と組み合わせて使用する場合、ガスバリアフィルムのバリア性積層体がセルの内側に向くようにし、最も内側に(素子に隣接して)配置することが好ましい。このとき偏光板よりセルの内側にガスバリアフィルムが配置されることになるため、ガスバリアフィルムのレターデーション値が重要になる。このような態様でのガスバリアフィルムの使用形態は、レターデーション値が10nm以下の基材フィルムを用いたガスバリアフィルムと円偏光板(1/4波長板+(1/2波長板)+直線偏光板)を積層して使用するか、あるいは1/4波長板として使用可能な、レターデーション値が100nm〜180nmの基材フィルムを用いたガスバリアフィルムに直線偏光板を組み合わせて用いるのが好ましい。   When the gas barrier film of the present invention is used in combination with a polarizing plate, it is preferable that the barrier laminate of the gas barrier film faces the inside of the cell and is arranged on the innermost side (adjacent to the element). At this time, since the gas barrier film is disposed inside the cell from the polarizing plate, the retardation value of the gas barrier film is important. The usage form of the gas barrier film in such an embodiment includes a gas barrier film using a base film having a retardation value of 10 nm or less and a circularly polarizing plate (1/4 wavelength plate + (1/2 wavelength plate) + linearly polarizing plate. ) Or a linear barrier plate combined with a gas barrier film using a base film having a retardation value of 100 nm to 180 nm, which can be used as a quarter wavelength plate.

レターデーションが10nm以下の基材フィルムとしてはセルローストリアセテート(富士フイルム(株):富士タック)、ポリカーボネート(帝人化成(株):ピュアエース、(株)カネカ:エルメック)、シクロオレフィンポリマー(JSR(株):アートン、日本ゼオン(株):ゼオノア)、シクロオレフィンコポリマー(三井化学(株):アペル(ペレット)、ポリプラスチック(株):トパス(ペレット))ポリアリレート(ユニチカ(株):U100(ペレット))、透明ポリイミド(三菱ガス化学(株):ネオプリム)等を挙げることができる。
また1/4波長板としては、上記のフィルムを適宜延伸することで所望のレターデーション値に調整したフィルムを用いることができる。
As a base film having a retardation of 10 nm or less, cellulose triacetate (Fuji Film Co., Ltd .: Fuji Tac), polycarbonate (Teijin Chemicals Co., Ltd .: Pure Ace, Kaneka: Elmec Co., Ltd.), cycloolefin polymer (JSR Co., Ltd.) ): Arton, Nippon Zeon Co., Ltd .: Zeonoa), cycloolefin copolymer (Mitsui Chemicals Co., Ltd .: Appel (pellet), Polyplastic Co., Ltd .: Topas (pellet)) Polyarylate (Unitika Co., Ltd.): U100 (pellet) )), Transparent polyimide (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd .: Neoprim) and the like.
Moreover, as a quarter wavelength plate, the film adjusted to the desired retardation value by extending | stretching said film suitably can be used.

本発明におけるガスバリアフィルムは有機EL素子の封止に利用されることから、プラスチックフィルムは透明であること、すなわち、光線透過率が通常80%以上、好ましくは85%以上、さらに好ましくは90%以上である。光線透過率は、JIS−K7105に記載された方法、すなわち積分球式光線透過率測定装置を用いて全光線透過率および散乱光量を測定し、全光線透過率から拡散透過率を引いて算出することができる。
本発明のガスバリアフィルムに用いられるプラスチックフィルムの厚みは、特に制限がないが、典型的には1〜800μmであり、好ましくは10〜200μmである。これらのプラスチックフィルムは、透明導電層、プライマー層等の機能層を有していても良い。機能層については、特開2006−289627号公報の段落番号0036〜0038に詳しく記載されている。これら以外の機能層の例としてはマット剤層、保護層、帯電防止層、平滑化層、密着改良層、遮光層、反射防止層、ハードコート層、応力緩和層、防曇層、防汚層、被印刷層、易接着層等が挙げられる。
Since the gas barrier film in the present invention is used for sealing an organic EL device, the plastic film is transparent, that is, the light transmittance is usually 80% or more, preferably 85% or more, more preferably 90% or more. It is. The light transmittance is calculated by measuring the total light transmittance and the amount of scattered light using the method described in JIS-K7105, that is, an integrating sphere light transmittance measuring device, and subtracting the diffuse transmittance from the total light transmittance. be able to.
Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of the plastic film used for the gas barrier film of this invention, Typically, it is 1-800 micrometers, Preferably it is 10-200 micrometers. These plastic films may have functional layers such as a transparent conductive layer and a primer layer. The functional layer is described in detail in paragraph numbers 0036 to 0038 of JP-A-2006-289627. Examples of functional layers other than these include matting agent layers, protective layers, antistatic layers, smoothing layers, adhesion improving layers, light shielding layers, antireflection layers, hard coat layers, stress relaxation layers, antifogging layers, and antifouling layers. , Printing layer, easy adhesion layer and the like.

(無機層)
無機層は無機物で構成されガスバリア性を有すれば特に制限はない。無機物としては、典型的には、ホウ素、マグネシウム、アルミニウム、珪素、チタン、亜鉛、スズの酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、水素化物等が挙げられる。これらは純物質でもよいし、複数組成からなる混合物や傾斜材料層でもよい。これらのうち、アルミニウムの酸化物、窒化物若しくは酸窒化物、または珪素の酸化物、窒化物若しくは酸窒化物が好ましい。ガスバリアフィルムを構成する各無機層の厚みに関しては特に限定されないが、典型的には1層あたり5nm〜500nmの範囲内であることが好ましく、さらに好ましくは1層あたり10nm〜200nmである。
(Inorganic layer)
The inorganic layer is not particularly limited as long as it is composed of an inorganic material and has a gas barrier property. Typically, the inorganic substance includes boron, magnesium, aluminum, silicon, titanium, zinc, tin oxide, nitride, oxynitride, carbide, hydride, and the like. These may be pure substances, or may be a mixture of multiple compositions or a gradient material layer. Of these, aluminum oxide, nitride or oxynitride, or silicon oxide, nitride or oxynitride is preferable. Although it does not specifically limit regarding the thickness of each inorganic layer which comprises a gas barrier film, Typically, it is preferable to exist in the range of 5 nm-500 nm per layer, More preferably, it is 10 nm-200 nm per layer.

無機層の形成方法としては、目的の薄膜を形成できる方法であればいかなる方法でも用いることができる。例えば、ゾル−ゲル法、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、プラズマCVD法などが適しており、具体的には特許登録第3400324号公報、特開2002−322561号公報、特開2002−361774号公報記載の形成方法を採用することができる。
特に、珪素の化合物を成膜する場合、誘導結合プラズマCVD、電子サイクロトロン共鳴条件に設定したマイクロ波と磁場を印加したプラズマを用いたPVDまたはCVDのいずれかの形成方法を採用するのが好ましく、誘導結合プラズマCVDによる形成方法を採用するのが最も好ましい。誘導結合プラズマCVDや電子サイクロトロン共鳴条件に設定したマイクロ波と磁場を印加したプラズマとを用いたCVD(ECR−CVD)は、例えば、化学工学会、CVDハンドブック、p.284(1991)に記載の方法にて実施することができる。また、電子サイクロトロン共鳴条件に設定したマイクロ波と磁場を印加したプラズマとを用いたPVD(ECR−PVD)は、例えば、小野他、Jpn.J.Appl.Phys.23、No.8、L534(1984)に記載の方法にて実施することができる。前記CVDを用いる場合の原料としては、珪素供給源としてシラン等のガスソースや、ヘキサメチルジシラザン等の液体ソースを用いることができる。
As a method for forming the inorganic layer, any method can be used as long as the target thin film can be formed. For example, a sol-gel method, a sputtering method, a vacuum deposition method, an ion plating method, a plasma CVD method, and the like are suitable. Specifically, Japanese Patent Registration No. 3400324, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-322561, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-2002. The formation method described in JP-A-361774 can be employed.
In particular, when a silicon compound is formed, it is preferable to employ any one of inductively coupled plasma CVD, PVD or CVD using a microwave and a magnetic field-applied plasma set to electron cyclotron resonance conditions, Most preferably, a formation method by inductively coupled plasma CVD is employed. CVD (ECR-CVD) using microwaves set to inductively coupled plasma CVD or electron cyclotron resonance conditions and plasma applied with a magnetic field is described in, for example, Chemical Society of Japan, CVD Handbook, p. 284 (1991). It can be implemented by the method. PVD (ECR-PVD) using microwaves set to electron cyclotron resonance conditions and plasma applied with a magnetic field is, for example, Ono et al., Jpn. J. Appl. Phys. 23, No. 8, L534 ( 1984). As a raw material when using the CVD, a gas source such as silane or a liquid source such as hexamethyldisilazane can be used as a silicon supply source.

(有機層)
本発明におけるガスバリア層は有機層を有することが好ましい。有機層は、上記の無機物からなる無機層の脆性およびバリア性を向上させるために、これと隣接して1層以上設けられる。
(Organic layer)
The gas barrier layer in the present invention preferably has an organic layer. In order to improve the brittleness and barrier property of the inorganic layer made of the above-mentioned inorganic substance, one or more organic layers are provided adjacent to the organic layer.

有機層は、(1)ゾルゲル法を用いて作成した無機酸化物層を利用する方法、(2)有機物を塗布または蒸着で積層下した後、紫外線または電子線で硬化させる方法等を用いて形成することができる。また、(1)および(2)は、組み合わせて使用しても良く、例えば、樹脂フィルム上に(1)の方法で薄膜を形成した後、無機酸化物層を作成し、その後(2)の方法で薄膜を形成しても良い。以下においてこれらの方法を順に説明する。   The organic layer is formed using (1) a method using an inorganic oxide layer prepared by a sol-gel method, (2) a method in which an organic substance is laminated by coating or vapor deposition, and then cured by ultraviolet rays or an electron beam. can do. In addition, (1) and (2) may be used in combination. For example, after forming a thin film on the resin film by the method (1), an inorganic oxide layer is formed, and then (2) A thin film may be formed by a method. Hereinafter, these methods will be described in order.

(1)ゾルゲル法
ゾル−ゲル法は、好ましくは溶液中、または塗膜中で金属アルコキシドを加水分解、縮重合させて、緻密な薄膜を得るものである。このとき、樹脂を併用して有機−無機ハイブリッド材料にしても良い。
(1) Sol-gel method The sol-gel method is a method in which a metal alkoxide is preferably hydrolyzed and polycondensed in a solution or in a coating film to obtain a dense thin film. At this time, an organic-inorganic hybrid material may be used in combination with a resin.

ゾル−ゲル法に用いる金属アルコキシドとしては、アルコキシシランおよび/またはアルコキシシラン以外の金属アルコキシドを挙げることができる。アルコキシシラン以外の金属アルコキシドとしては、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキシド、アルミニウムアルコキシド等が好ましい。   Examples of the metal alkoxide used in the sol-gel method include alkoxysilane and / or metal alkoxide other than alkoxysilane. As the metal alkoxide other than alkoxysilane, zirconium alkoxide, titanium alkoxide, aluminum alkoxide and the like are preferable.

ゾル−ゲル反応時に併用するポリマーは、水素結合形成基を有していることが好ましい。水素結合形成基を有する樹脂の例としては、ヒドロキシル基を有するポリマーとその誘導体(ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、エチレン−ビニルアルコール共重合体、フェノール樹脂、メチロールメラミン等とその誘導体);カルボキシル基を有するポリマーとその誘導体(ポリ(メタ)アクリル酸、無水マレイン酸、イタコン酸等の重合性不飽和酸の単位を含む単独または共重合体と、これらのポリマーのエステル化物(酢酸ビニル等のビニルエステル、メタクリル酸メチル等の(メタ)アクリル酸エステル等の単位を含む単独または共重合体)等);エーテル結合を有するポリマー(ポリアルキレンオキサイド、ポリオキシアルキレングリコール、ポリビニルエーテル、珪素樹脂等);アミド結合を有するポリマー(>N(COR)−結合(式中、Rは水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基を示す)を有するポリオキサゾリンやポリアルキレンイミンのN−アシル化物);>NC(O)−結合を有するポリビニルピロリドンとその誘導体;ウレタン結合を有するポリウレタン;尿素結合を有するポリマー等を挙げることができる。   The polymer used in combination during the sol-gel reaction preferably has a hydrogen bond forming group. Examples of resins having hydrogen bond-forming groups include hydroxyl group-containing polymers and derivatives thereof (polyvinyl alcohol, polyvinyl acetal, ethylene-vinyl alcohol copolymers, phenol resins, methylol melamine, and derivatives thereof); carboxyl groups Polymers and derivatives thereof (mono or copolymers containing units of polymerizable unsaturated acids such as poly (meth) acrylic acid, maleic anhydride, itaconic acid, and esterified products of these polymers (vinyl esters such as vinyl acetate, Homo- or copolymers containing units such as (meth) acrylic acid esters such as methyl methacrylate)); polymers having an ether bond (polyalkylene oxide, polyoxyalkylene glycol, polyvinyl ether, silicon resin, etc.); amide bond Having a polymer (> N COR) -bond (wherein R represents a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent) N- of polyoxazoline or polyalkyleneimine Acylated product);> polyvinylpyrrolidone having a NC (O) -bond and derivatives thereof; polyurethane having a urethane bond; polymer having a urea bond, and the like.

また、ゾル−ゲル反応時にモノマーを併用し、ゾル−ゲル反応時、またはその後に重合させて有機−無機ハイブリッド材料を作成することもできる。   Alternatively, an organic-inorganic hybrid material can be prepared by using a monomer in combination during the sol-gel reaction and polymerizing the monomer during or after the sol-gel reaction.

ゾル−ゲル反応時には、水、および有機溶媒中で金属アルコキシドを加水分解、および縮重合させるが、この時、触媒を用いることが好ましい。加水分解の触媒としては、一般に酸(有機または無機酸)が用いられる。
酸の使用量は、金属アルコキシド(アルコキシシランおよび他の金属アルコキシドを含有する場合には、アルコキシシラン+他の金属アルコキシド)1モル当たり、0.0001〜0.05モルであり、好ましくは0.001〜0.01モルである。加水分解後、無機塩基やアミンなどの塩基性化合物を添加して溶液のpHを中性付近にし、縮重合を促進しても良い。
During the sol-gel reaction, the metal alkoxide is hydrolyzed and polycondensed in water and an organic solvent. At this time, it is preferable to use a catalyst. As the hydrolysis catalyst, an acid (organic or inorganic acid) is generally used.
The amount of the acid used is 0.0001 to 0.05 mol per 1 mol of metal alkoxide (alkoxysilane and other metal alkoxide in the case of containing alkoxysilane and other metal alkoxide), and preferably is 0.00. 001-0.01 mol. After hydrolysis, a basic compound such as an inorganic base or an amine may be added to bring the pH of the solution to near neutrality to promote condensation polymerization.

また、中心金属にAl、Ti、Zrを有する金属キレート化合物、スズの化合物等の有機金属化合物、有機酸のアルカリ金属塩等の金属塩類など、他のゾル−ゲル触媒も併用することができる。
ゾルゲル触媒の組成物中の割合は、ゾル液の原料であるアルコキシシランに対し、好ましくは0.01〜50質量%、より好ましくは0.1〜50質量%、さらに好ましくは0.5〜10質量%である。
In addition, other sol-gel catalysts such as metal chelate compounds having Al, Ti, and Zr as the central metal, organometallic compounds such as tin compounds, and metal salts such as alkali metal salts of organic acids can be used in combination.
The proportion of the sol-gel catalyst in the composition is preferably 0.01 to 50% by mass, more preferably 0.1 to 50% by mass, and still more preferably 0.5 to 10%, based on the alkoxysilane that is the raw material of the sol liquid. % By mass.

次に、ゾル−ゲル反応に用いられる溶媒について述べる。溶媒はゾル液中の各成分を均一に混合させ、組成物の固形分調整をすると同時に、種々の塗布方法に適用できるようにし、組成物の分散安定性および保存安定性を向上させるものである。これらの溶媒は上記目的の果たせるものであれば特に限定されない。これらの溶媒の好ましい例として、例えば水、および水と混和性の高い有機溶媒が挙げられる。   Next, the solvent used for the sol-gel reaction will be described. The solvent uniformly mixes each component in the sol liquid, adjusts the solid content of the composition, and at the same time allows it to be applied to various coating methods to improve the dispersion stability and storage stability of the composition. . These solvents are not particularly limited as long as they can fulfill the above purpose. Preferable examples of these solvents include water and organic solvents that are highly miscible with water.

ゾル−ゲル反応の速度を調節する目的で、多座配位可能な有機化合物を添加して、金属アルコキシドを安定化しても良い。多座配位可能な有機化合物の例としては、β−ジケトンおよび/またはβ−ケトエステル類、およびアルカノールアミンが挙げられる。
このβ−ジケトン類および/またはβ−ケトエステル類の具体例としては、アセチルアセトン、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、アセト酢酸−n−プロピル、アセト酢酸−i−プロピル、アセト酢酸−n−ブチル、アセト酢酸−sec−ブチル、アセト酢酸−tert−ブチル、2,4−ヘキサン−ジオン、2,4−ヘプタン−ジオン、3,5−ヘプタン−ジオン、2,4−オクタン−ジオン、2,4−ノナン−ジオン、5−メチル−ヘキサン−ジオンなどを挙げることができる。これらのうち、アセト酢酸エチルおよびアセチルアセトンが好ましく、特にアセチルアセトンが好ましい。これらのβ−ジケトン類および/またはβ−ケトエステル類は、1種単独でまたは2種以上を混合して使用することもできる。
これらの多座配位可能な化合物は、ゾル−ゲル触媒として前記の金属キレート化合物を用いた場合、その反応速度を調節する目的にも用いることができる。
For the purpose of adjusting the speed of the sol-gel reaction, an organic compound capable of multidentate coordination may be added to stabilize the metal alkoxide. Examples of organic compounds capable of multidentate coordination include β-diketones and / or β-ketoesters, and alkanolamines.
Specific examples of the β-diketones and / or β-ketoesters include acetylacetone, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, acetoacetate-n-propyl, acetoacetate-i-propyl, acetoacetate-n-butyl, acetoacetate. Acetic acid-sec-butyl, acetoacetic acid-tert-butyl, 2,4-hexane-dione, 2,4-heptane-dione, 3,5-heptane-dione, 2,4-octane-dione, 2,4-nonane -Dione, 5-methyl-hexane-dione and the like can be mentioned. Of these, ethyl acetoacetate and acetylacetone are preferred, and acetylacetone is particularly preferred. These β-diketones and / or β-ketoesters may be used alone or in combination of two or more.
These compounds capable of multidentate coordination can also be used for the purpose of adjusting the reaction rate when the metal chelate compound is used as a sol-gel catalyst.

次にゾル−ゲル反応組成物を塗設する方法について述べる。ゾル液はカーテンフローコート、ディップコート、スピンコート、ロールコート等の塗布法によって、透明フィルム上に薄膜を形成することができる。この場合、加水分解のタイミングは製造工程中の如何なる時期であっても構わない。例えば、予め必要な組成の液を加水分解部分縮合して目的のゾル液を調製し、それを塗布−乾燥する方法、必要な組成の液を調製し塗布と同時に加水分解部分縮合させながら乾燥する方法、塗布−一次乾燥後、加水分解に必要な水含有液を重ねて塗布し加水分解させる方法等を好適に採用できる。また、塗布方法としては、様々な形態をとることが可能であるが、生産性を重視する場合には多段の吐出口を有するスライドギーサー上で下層塗布液と上層塗布液のそれぞれが必要な塗布量になる様に吐出流量を調整し、形成した多層流を連続的に支持体に乗せ、乾燥させる方法(同時重層法)が好適に用いられる。   Next, a method for coating the sol-gel reaction composition will be described. The sol solution can form a thin film on the transparent film by a coating method such as curtain flow coating, dip coating, spin coating or roll coating. In this case, the hydrolysis may be performed at any time during the production process. For example, a solution of a required composition is hydrolyzed and partially condensed to prepare a desired sol solution, which is applied and dried, and a solution of the required composition is prepared and dried while hydrolyzing and partially condensing simultaneously. Method, application-After primary drying, a method of applying a water-containing liquid necessary for hydrolysis repeatedly and applying hydrolysis can be suitably employed. In addition, the coating method can take various forms. However, when productivity is important, each of the lower layer coating solution and the upper layer coating solution is required on a slide Geyser having a multistage discharge port. A method (simultaneous multi-layer method) is preferably used in which the discharge flow rate is adjusted so that the coating amount is obtained, and the formed multilayer flow is continuously placed on a support and dried.

塗設後の乾燥温度は好ましくは150〜350℃、より好ましくは150〜250℃、さらに好ましくは150〜200℃である。   The drying temperature after coating is preferably 150 to 350 ° C, more preferably 150 to 250 ° C, and still more preferably 150 to 200 ° C.

塗布、乾燥後のフィルムをさらに緻密にするため、エネルギー線の照射を行っても良い。その照射線種に特に制限はないが、支持体の変形や変性に対する影響を勘案し、紫外線、電子線あるいはマイクロ波の照射を特に好ましく用いることができる。照射強度は30mJ/cm2 〜500mJ/cm2 であり、特に好ましくは50mJ/cm2 〜400mJ/cm2 である。照射温度は室温から支持体の変形温度の間を制限無く採用することが可能であり、好ましくは30℃〜150℃、特に好ましくは50℃〜130℃である。 In order to make the film after coating and drying more dense, irradiation with energy rays may be performed. Although there is no restriction | limiting in particular in the kind of irradiation radiation, In consideration of the influence with respect to a deformation | transformation and modification | denaturation of a support body, irradiation of an ultraviolet-ray, an electron beam, or a microwave can be used especially preferable. The irradiation intensity is 30mJ / cm 2 ~500mJ / cm 2 , particularly preferably 50mJ / cm 2 ~400mJ / cm 2 . The irradiation temperature can be employed without limitation between room temperature and the deformation temperature of the support, and is preferably 30 ° C to 150 ° C, particularly preferably 50 ° C to 130 ° C.

(2)有機物を塗布または蒸着で積層した後、紫外線または電子線で硬化させる方法
モノマーを架橋させて得られた高分子を主成分とする有機層を形成する方法について説明する。この方法で用いるモノマーとしては、紫外線あるいは電子線で架橋できる基を含有していれば特に限定は無いが、アクリロイル基またはメタクリロイル基、オキセタン基を有するモノマーを用いることが好ましい。例えば、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン(メタ)アクリレート、エチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレートなどのうち、2官能以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基を有するモノマーを架橋させて得られる高分子を主成分とすることが好ましい。これらの2官能以上のアクリロイル基またはメタクリロイル基を有するモノマーは2種類以上を混合して用いても、また1官能の(メタ)アクリレートを混合して用いてもよい。
また、オキセタン基を有するモノマーとしては、特開2002−356607号公報の一般式(3)〜(6)に記載されている構造を有するモノマーを使うことが好ましい。この場合、これらを任意に混合しても良い。
(2) Method of Laminating Organic Material by Application or Vapor Deposition and then Curing with Ultraviolet Ray or Electron Beam A method of forming an organic layer mainly composed of a polymer obtained by crosslinking monomers is described. The monomer used in this method is not particularly limited as long as it contains a group that can be cross-linked by ultraviolet rays or an electron beam, but it is preferable to use a monomer having an acryloyl group, a methacryloyl group, or an oxetane group. For example, epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, isocyanuric acid (meth) acrylate, pentaerythritol (meth) acrylate, trimethylolpropane (meth) acrylate, ethylene glycol (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, etc. Among these, it is preferable that a polymer obtained by crosslinking a monomer having a bifunctional or higher functional acryloyl group or methacryloyl group as a main component. These monomers having a bifunctional or higher functional acryloyl group or methacryloyl group may be used as a mixture of two or more kinds, or as a mixture of monofunctional (meth) acrylates.
Moreover, as a monomer which has oxetane group, it is preferable to use the monomer which has a structure described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-356607 General formula (3)-(6). In this case, you may mix these arbitrarily.

本発明のにおいて好ましくはラジカル重合性化合物および/またはエーテル基を官能基に有するカチオン重合性化合物の重合物から構成された有機層である。
(重合性化合物)
本発明で用いる重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を末端または側鎖に有する化合物、および/または、エポキシまたはオキセタンを末端または側鎖に有する化合物である。これらのうち、エチレン性不飽和結合を末端または側鎖に有する化合物が好ましい。エチレン性不飽和結合を末端または側鎖に有する化合物の例としては、(メタ)アクリレート系化合物(アクリレートとメタクリレートをあわせて(メタ)アクリレートと表記する)、アクリルアミド系化合物、スチレン系化合物、無水マレイン酸等が挙げられる。
In the present invention, the organic layer is preferably composed of a polymer of a radical polymerizable compound and / or a cationic polymerizable compound having an ether group as a functional group.
(Polymerizable compound)
The polymerizable compound used in the present invention is a compound having an ethylenically unsaturated bond at the terminal or side chain and / or a compound having epoxy or oxetane at the terminal or side chain. Of these, compounds having an ethylenically unsaturated bond at the terminal or side chain are preferred. Examples of compounds having an ethylenically unsaturated bond at the terminal or side chain include (meth) acrylate compounds (acrylates and methacrylates are collectively referred to as (meth) acrylates), acrylamide compounds, styrene compounds, and anhydrous maleic compounds. An acid etc. are mentioned.

(メタ)アクリレート系化合物としては、(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレートやポリエステル(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート等が好ましい。
スチレン系化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、4−メチルスチレン、ジビニルベンゼン、4−ヒドロキシスチレン、4−カルボキシスチレン等が好ましい。
As the (meth) acrylate compound, (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate and the like are preferable.
As the styrene compound, styrene, α-methylstyrene, 4-methylstyrene, divinylbenzene, 4-hydroxystyrene, 4-carboxystyrene and the like are preferable.

以下に、(メタ)アクリレート系化合物の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

Figure 2009081122
Although the specific example of a (meth) acrylate type compound is shown below, this invention is not limited to these.
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(有機層の形成方法)
有機層の形成方法としては、特に定めるものではないが、例えば、溶液塗布法や真空成膜法により形成することができる。溶液塗布法としては、例えば、ディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、スライドコート法、或いは、米国特許第2681294号明細書に記載のホッパ−を使用するエクストル−ジョンコート法により塗布することができる。真空成膜法としては、特に制限はないが、蒸着、プラズマCVD等の成膜方法が好ましい。本発明においてはポリマーを溶液塗布しても良いし、特開2000−323273号公報、特開2004−25732号公報に開示されているような無機物を含有するハイブリッドコーティング法を用いてもよい。
(Formation method of organic layer)
A method for forming the organic layer is not particularly defined, but for example, it can be formed by a solution coating method or a vacuum film forming method. Examples of the solution coating method include a dip coating method, an air knife coating method, a curtain coating method, a roller coating method, a wire bar coating method, a gravure coating method, a slide coating method, or a method described in US Pat. No. 2,681,294. It can apply | coat by the extrusion coat method which uses a hopper. Although there is no restriction | limiting in particular as a vacuum film-forming method, Film-forming methods, such as vapor deposition and plasma CVD, are preferable. In the present invention, a polymer may be applied by solution, or a hybrid coating method containing an inorganic substance as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2000-323273 and 2004-25732 may be used.

また、ディスプレイ用途に要求される耐熱性、耐溶剤性の観点から、特に架橋度が高く、ガラス転移温度が200℃以上である、イソシアヌル酸アクリレート、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレートを主成分とすることがさらに好ましい。有機層厚みについては特に限定されないが、10nm〜5000nmが好ましく、さらに好ましくは、10〜2000nmであり、最も好ましくは10nm〜5000nmである。有機層の厚みが薄すぎると、厚みの均一性を得ることが困難となるため、無機層の構造欠陥を効率よく有機層で埋めることができずに、バリア性の向上は見られなくなることがある。逆に有機層の厚みが厚すぎると、曲げ等の外力により有機層がクラックを発生し易くなるためバリア性が低下してしまう不具合が発生することがある。   In addition, from the viewpoint of heat resistance and solvent resistance required for display applications, it is mainly composed of isocyanuric acid acrylate, epoxy acrylate, urethane acrylate having a high degree of crosslinking and a glass transition temperature of 200 ° C. or higher. Further preferred. Although it does not specifically limit about organic layer thickness, 10 nm-5000 nm are preferable, More preferably, it is 10-2000 nm, Most preferably, it is 10 nm-5000 nm. If the thickness of the organic layer is too thin, it will be difficult to obtain thickness uniformity, so that structural defects in the inorganic layer cannot be efficiently filled with the organic layer, and improvement in barrier properties may not be seen. is there. Conversely, if the organic layer is too thick, the organic layer is likely to crack due to an external force such as bending, which may cause a problem that the barrier property is lowered.

(保護層)
本発明で用いる保護層は、本発明の趣旨を逸脱しないものであれば、広範な範囲から選択でき、例えば本発明では特に、高分子フィルムを接着剤で貼りつけたもの、および、アクリレートまたはメタクリレートを塗布または蒸着して設けたものが好ましい。
ここで、高分子フィルムとしては、ガスバリアフィルムに用いる基材フィルムと同様の樹脂フィルムや公知の保護フィルムが挙げられる。また、接着剤としては、公知のものを採用でき、熱可塑性の接着剤が好ましい。このように高分子フィルムを接着剤により貼りつけることにより、簡便に保護層を設けることができるという利点がある。
一方、アクリレートまたはメタクリレートを塗布または蒸着する場合の塗布方法としては、例えばスプレーコート、バーコート等の方法が挙げられ、蒸着方法としては、フラッシュ蒸着法が挙げられる。このようにアクリレートまたはメタクリレートを塗布または蒸着することにより、より薄い保護層を設けることができるという利点がある。
さらに、本発明の保護層には、添加剤として、無機の微粒子などを含めてもよい。
(Protective layer)
The protective layer used in the present invention can be selected from a wide range as long as it does not depart from the gist of the present invention. For example, in the present invention, particularly, a polymer film attached with an adhesive, and acrylate or methacrylate Those provided by coating or vapor deposition are preferred.
Here, as a polymer film, the same resin film as a base film used for a gas barrier film, and a well-known protective film are mentioned. Moreover, as an adhesive agent, a well-known thing can be employ | adopted and a thermoplastic adhesive agent is preferable. Thus, there exists an advantage that a protective layer can be provided simply by sticking a polymer film with an adhesive agent.
On the other hand, examples of the application method when applying or vapor-depositing acrylate or methacrylate include methods such as spray coating and bar coating, and examples of the vapor deposition method include flash vapor deposition. Thus, there exists an advantage that a thinner protective layer can be provided by apply | coating or vapor-depositing an acrylate or a methacrylate.
Furthermore, the protective layer of the present invention may contain inorganic fine particles as additives.

本発明におけるガスバリアフィルムは、上記の無機層、有機層および保護層以外に、各種の機能層を設けてもよい。   The gas barrier film in the present invention may be provided with various functional layers in addition to the inorganic layer, the organic layer, and the protective layer.

本発明におけるガスバリアフィルムは、23℃、相対湿度90%における酸素透過率が0〜0.02ml/m2・day・atmであることが適当であり、0〜0.01ml/m2・day・atmであることが好ましく、0〜0.005ml/m2・day・atmであることさらに好ましい。23℃、相対湿度90%における酸素透過率が0.02ml/m2・day・atm以下であれば、酸素による有機EL素子の劣化を実質的になくすことができるため好ましい。 In the gas barrier film of the present invention, 23 ° C., an oxygen permeability at 90% relative humidity is suitably to be 0~0.02ml / m 2 · day · atm , 0~0.01ml / m 2 · day · It is preferably atm, more preferably 0 to 0.005 ml / m 2 · day · atm. It is preferable that the oxygen permeability at 23 ° C. and relative humidity 90% is 0.02 ml / m 2 · day · atm or less because deterioration of the organic EL element due to oxygen can be substantially eliminated.

また、本発明におけるガスバリアフィルムは、23℃、相対湿度100%における水蒸気透過率は、0〜0.02g/m2・dayであることが適当であり、0〜0.01g/m2・dayであることが好ましく、0〜0.005g/m2・dayであることがさらに好ましい。 In addition, the gas barrier film in the present invention suitably has a water vapor transmission rate of 0 to 0.02 g / m 2 · day at 23 ° C. and 100% relative humidity, and 0 to 0.01 g / m 2 · day. It is preferable that it is 0 to 0.005 g / m 2 · day.

<有機EL素子>
有機EL素子としては、基板上に、一対の電極(陰極と陽極)を有し、両電極の間に有機発光層(以下、単に「発光層」と称する場合がある。)を含む有機化合物層を有する。発光素子の性質上、陽極および陰極のうち少なくとも一方の電極は、透明であることが好ましい。
<Organic EL device>
As an organic EL element, an organic compound layer having a pair of electrodes (a cathode and an anode) on a substrate and including an organic light emitting layer (hereinafter sometimes simply referred to as “light emitting layer”) between the electrodes. Have In view of the properties of the light emitting element, at least one of the anode and the cathode is preferably transparent.

本発明における有機化合物層の積層の態様としては、陽極側から、正孔輸送層、発光層、電子輸送層の順に積層されている態様が好ましい。さらに、正孔輸送層と発光層との間、または、発光層と電子輸送層との間には、電荷ブロック層等を有していてもよい。陽極と正孔輸送層との間に、正孔注入層を有してもよく、陰極と電子輸送層との間には、電子注入層を有してもよい。また、発光層としては一層だけでもよく、また、第一発光層、第二発光層、第三発光層等に発光層を分割してもよい。さらに、各層は複数の二次層に分かれていてもよい。   As an aspect of lamination of the organic compound layer in the present invention, an aspect in which a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer are laminated in this order from the anode side is preferable. Furthermore, a charge blocking layer or the like may be provided between the hole transport layer and the light-emitting layer, or between the light-emitting layer and the electron transport layer. A hole injection layer may be provided between the anode and the hole transport layer, and an electron injection layer may be provided between the cathode and the electron transport layer. Further, the light emitting layer may be a single layer, or the light emitting layer may be divided into a first light emitting layer, a second light emitting layer, a third light emitting layer, and the like. Furthermore, each layer may be divided into a plurality of secondary layers.

次に、有機EL素子を構成する各要素について、詳細に説明する。   Next, each element which comprises an organic EL element is demonstrated in detail.

(基板)
本発明における有機EL素子に用いられる基板は、公知の有機EL素子に用いられる基板が広く採用できる。基板は、樹脂フィルムであってもよいし、ガスバリアフィルムであってもよい。特開2004−136466号公報、特開2004−148566号公報、特開2005−246716号公報、特開2005−262529号公報等に記載のガスバリアフィルムも好ましく用いることができる。
(substrate)
The board | substrate used for the well-known organic EL element can employ | adopt widely as a board | substrate used for the organic EL element in this invention. The substrate may be a resin film or a gas barrier film. The gas barrier films described in JP-A No. 2004-136466, JP-A No. 2004-148666, JP-A No. 2005-246716, JP-A No. 2005-262529, and the like can also be preferably used.

本発明で用いる基板の厚みは、特に規定されないが30μm〜700μmが好ましく、より好ましくは40μm〜200μm、さらに好ましくは50μm〜150μmである。さらにいずれの場合もヘイズは3%以下が好ましく、より好ましくは2%以下、さらに好ましくは1%以下、全光透過率は70%以上が好ましく、より好ましくは80%以上、さらに好ましくは90%以上である。   Although the thickness of the board | substrate used by this invention is not prescribed | regulated in particular, 30 micrometers-700 micrometers are preferable, More preferably, they are 40 micrometers-200 micrometers, More preferably, they are 50 micrometers-150 micrometers. Further, in any case, the haze is preferably 3% or less, more preferably 2% or less, further preferably 1% or less, and the total light transmittance is preferably 70% or more, more preferably 80% or more, and further preferably 90%. That's it.

(陽極)
陽極は、通常、有機化合物層に正孔を供給する電極としての機能を有していればよく、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。上述のごとく、陽極は、通常透明陽極として設けられる。透明陽極については、沢田豊監修「透明電極膜の新展開」シーエムシー刊(1999)に詳述がある。基板として耐熱性の低いプラスチック基材を用いる場合は、ITOまたはIZOを使用し、150℃以下の低温で成膜した透明陽極が好ましい。
(anode)
The anode usually has a function as an electrode for supplying holes to the organic compound layer, and there is no particular limitation on the shape, structure, size, etc., depending on the use and purpose of the light-emitting element. , Can be appropriately selected from known electrode materials. As described above, the anode is usually provided as a transparent anode. The transparent anode is described in detail in Yutaka Sawada's “New Development of Transparent Electrode Film” published by CMC (1999). When using a plastic substrate with low heat resistance as the substrate, ITO or IZO is used, and a transparent anode formed at a low temperature of 150 ° C. or lower is preferable.

(陰極)
陰極は、通常、有機化合物層に電子を注入する電極としての機能を有していればよく、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。
(cathode)
The cathode usually has a function as an electrode for injecting electrons into the organic compound layer, and there is no particular limitation on the shape, structure, size, etc., depending on the use and purpose of the light-emitting element, It can select suitably from well-known electrode materials.

陰極を構成する材料としては、例えば、金属、合金、金属酸化物、電気伝導性化合物、これらの混合物などが挙げられる。具体例としては2属金属(たとえばMg、Ca等)、金、銀、鉛、アルミニウム、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−銀合金、インジウム、イッテルビウム等の希土類金属などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいが、安定性と電子注入性とを両立させる観点からは、2種以上を好適に併用することができる。   Examples of the material constituting the cathode include metals, alloys, metal oxides, electrically conductive compounds, and mixtures thereof. Specific examples include Group 2 metals (eg, Mg, Ca, etc.), gold, silver, lead, aluminum, lithium-aluminum alloys, magnesium-silver alloys, rare earth metals such as indium, ytterbium, and the like. These may be used alone, but two or more can be suitably used in combination from the viewpoint of achieving both stability and electron injection.

これらの中でも、陰極を構成する材料としては、アルミニウムを主体とする材料が好ましい。
アルミニウムを主体とする材料とは、アルミニウム単独、アルミニウムと0.01〜10質量%のアルカリ金属または2属金属との合金(例えば、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金など)をいう。なお、陰極の材料については、特開平2−15595号公報、特開平5−121172号公報に詳述されている。また、陰極と前記有機化合物層との間に、アルカリ金属または2属金属のフッ化物、酸化物等による誘電体層を0.1〜5nmの厚みで挿入してもよい。この誘電体層は、一種の電子注入層と見ることもできる。
Among these, as a material constituting the cathode, a material mainly composed of aluminum is preferable.
The material mainly composed of aluminum refers to aluminum alone or an alloy of aluminum and 0.01 to 10% by mass of an alkali metal or a Group 2 metal (for example, lithium-aluminum alloy, magnesium-aluminum alloy, etc.). The cathode material is described in detail in JP-A-2-15595 and JP-A-5-121172. Further, a dielectric layer made of a fluoride or oxide of an alkali metal or a Group 2 metal may be inserted between the cathode and the organic compound layer with a thickness of 0.1 to 5 nm. This dielectric layer can also be regarded as a kind of electron injection layer.

陰極の厚みは、陰極を構成する材料により適宜選択することができ、一概に規定することはできないが、通常10nm〜5μm程度であり、50nm〜1μmが好ましい。
また、陰極は、透明であってもよいし、不透明であってもよい。なお、透明な陰極は、陰極の材料を1〜10nmの厚さに薄く成膜し、さらにITOやIZO等の透明な導電性材料を積層することにより形成することができる。
The thickness of the cathode can be appropriately selected depending on the material constituting the cathode and cannot be generally defined, but is usually about 10 nm to 5 μm, and preferably 50 nm to 1 μm.
Further, the cathode may be transparent or opaque. The transparent cathode can be formed by depositing a thin cathode material to a thickness of 1 to 10 nm and further laminating a transparent conductive material such as ITO or IZO.

(発光層)
有機EL素子は、発光層を含む少なくとも一層の有機化合物層を有しており、有機発光層以外の他の有機化合物層としては、前述したごとく、正孔輸送層、電子輸送層、電荷ブロック層、正孔注入層、電子注入層等の各層が挙げられる。
(Light emitting layer)
The organic EL element has at least one organic compound layer including a light emitting layer, and as the organic compound layer other than the organic light emitting layer, as described above, a hole transport layer, an electron transport layer, a charge blocking layer , Hole injection layer, electron injection layer and the like.

−有機発光層−
有機発光層は、電界印加時に、陽極、正孔注入層、または正孔輸送層から正孔を受け取り、陰極、電子注入層、または電子輸送層から電子を受け取り、正孔と電子との再結合の場を提供して発光させる機能を有する層である。発光層は、発光材料のみで構成されていてもよく、ホスト材料と発光材料の混合層とした構成でもよい。発光材料は蛍光発光材料でも燐光発光材料であってもよく、ドーパントは1種であっても2種以上であってもよい。ホスト材料は電荷輸送材料であることが好ましい。ホスト材料は1種であっても2種以上であってもよく、例えば、電子輸送性のホスト材料とホール輸送性のホスト材料とを混合した構成が挙げられる。さらに、発光層中に電荷輸送性を有さず、発光しない材料を含んでいてもよい。また、発光層は1層であっても2層以上であってもよく、それぞれの層が異なる発光色で発光してもよい。
-Organic light emitting layer-
The organic light-emitting layer receives holes from the anode, the hole injection layer, or the hole transport layer when an electric field is applied, and receives electrons from the cathode, the electron injection layer, or the electron transport layer, and recombines the holes and electrons. It is a layer having a function of providing light and emitting light. The light emitting layer may be composed of only the light emitting material, or may be a mixed layer of the host material and the light emitting material. The light emitting material may be a fluorescent light emitting material or a phosphorescent light emitting material, and the dopant may be one type or two or more types. The host material is preferably a charge transport material. The host material may be one kind or two or more kinds, and examples thereof include a configuration in which an electron transporting host material and a hole transporting host material are mixed. Furthermore, the light emitting layer may include a material that does not have charge transporting properties and does not emit light. Further, the light emitting layer may be a single layer or two or more layers, and each layer may emit light in different emission colors.

前記蛍光発光材料の例としては、例えば、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、スチリルベンゼン誘導体、ポリフェニル誘導体、ジフェニルブタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、ナフタルイミド誘導体、クマリン誘導体、縮合芳香族化合物、ペリノン誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキサジン誘導体、アルダジン誘導体、ピラリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、ビススチリルアントラセン誘導体、キナクリドン誘導体、ピロロピリジン誘導体、チアジアゾロピリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、スチリルアミン誘導体、ジケトピロロピロール誘導体、芳香族ジメチリディン化合物、8−キノリノール誘導体の金属錯体やピロメテン誘導体の金属錯体に代表される各種金属錯体等、ポリチオフェン、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン等のポリマー化合物、有機シラン誘導体などの化合物等が挙げられる。   Examples of the fluorescent light-emitting material include, for example, benzoxazole derivatives, benzimidazole derivatives, benzothiazole derivatives, styrylbenzene derivatives, polyphenyl derivatives, diphenylbutadiene derivatives, tetraphenylbutadiene derivatives, naphthalimide derivatives, coumarin derivatives, condensed aromatics. Compound, perinone derivative, oxadiazole derivative, oxazine derivative, aldazine derivative, pyralidine derivative, cyclopentadiene derivative, bisstyrylanthracene derivative, quinacridone derivative, pyrrolopyridine derivative, thiadiazolopyridine derivative, cyclopentadiene derivative, styrylamine derivative, di Typical examples include ketopyrrolopyrrole derivatives, aromatic dimethylidin compounds, metal complexes of 8-quinolinol derivatives and metal complexes of pyromethene derivatives. Various metal complexes are, polythiophene, polyphenylene, polyphenylene vinylene polymer compounds include compounds such as organic silane derivatives.

前記燐光発光材料は、例えば、遷移金属原子またはランタノイド原子を含む錯体が挙げられる。
前記遷移金属原子としては、特に限定されないが、好ましくは、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、および白金が挙げられ、より好ましくは、レニウム、イリジウム、および白金である。
前記ランタノイド原子としては、ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ユーロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテシウムが挙げられる。これらのランタノイド原子の中でも、ネオジム、ユーロピウム、およびガドリニウムが好ましい。
Examples of the phosphorescent material include a complex containing a transition metal atom or a lanthanoid atom.
Although it does not specifically limit as said transition metal atom, Preferably, ruthenium, rhodium, palladium, tungsten, rhenium, osmium, iridium, and platinum are mentioned, More preferably, they are rhenium, iridium, and platinum.
Examples of the lanthanoid atom include lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, samarium, europium, gadolinium, terbium, dysprosium, holmium, erbium, thulium, ytterbium, and lutetium. Among these lanthanoid atoms, neodymium, europium, and gadolinium are preferable.

錯体の配位子としては、例えば、G.Wilkinson等著,Comprehensive Coordination Chemistry, Pergamon Press社1987年発行、H.Yersin著,「Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds」 Springer−Verlag社1987年発行、山本明夫著「有機金属化学−基礎と応用−」裳華房社1982年発行等に記載の配位子などが挙げられる。   Examples of the ligand of the complex include G. Wilkinson et al., Comprehensive Coordination Chemistry, Pergamon Press, 1987, H. Yersin, “Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds,” Springer-Verlag, 1987, Akio Yamamoto. Examples of the ligands described in the book “Organic Metal Chemistry-Fundamentals and Applications-” published in 1982 by Hankabosha.

また、発光層に含有されるホスト材料としては、例えば、カルバゾール骨格を有するもの、ジアリールアミン骨格を有するもの、ピリジン骨格を有するもの、ピラジン骨格を有するもの、トリアジン骨格を有するものおよびアリールシラン骨格を有するものや、後述の正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層の項で例示されている材料が挙げられる。   Examples of the host material contained in the light emitting layer include those having a carbazole skeleton, those having a diarylamine skeleton, those having a pyridine skeleton, those having a pyrazine skeleton, those having a triazine skeleton, and those having an arylsilane skeleton. And materials exemplified in the sections of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer described later.

−正孔注入層、正孔輸送層−
正孔注入層、正孔輸送層は、陽極または陽極側から正孔を受け取り陰極側に輸送する機能を有する層である。正孔注入層、正孔輸送層は、具体的には、カルバゾール誘導体、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、芳香族ジメチリディン系化合物、ポルフィリン系化合物、有機シラン誘導体、カーボン、等を含有する層であることが好ましい。
-Hole injection layer, hole transport layer-
The hole injection layer and the hole transport layer are layers having a function of receiving holes from the anode or the anode side and transporting them to the cathode side. Specifically, the hole injection layer and the hole transport layer are carbazole derivatives, triazole derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamines. Derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, silazane derivatives, aromatic tertiary amine compounds, styrylamine compounds, aromatic dimethylidin compounds, porphyrin compounds, organosilane derivatives, carbon , Etc. are preferable.

−電子注入層、電子輸送層−
電子注入層、電子輸送層は、陰極または陰極側から電子を受け取り陽極側に輸送する機能を有する層である。電子注入層、電子輸送層は、具体的には、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、フルオレノン誘導体、アントラキノジメタン誘導体、アントロン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド誘導体、フルオレニリデンメタン誘導体、ジスチリルピラジン誘導体、ナフタレン、ペリレン等の芳香環テトラカルボン酸無水物、フタロシアニン誘導体、8−キノリノール誘導体の金属錯体やメタルフタロシアニン、ベンゾオキサゾールやベンゾチアゾールを配位子とする金属錯体に代表される各種金属錯体、有機シラン誘導体、等を含有する層であることが好ましい。
-Electron injection layer, electron transport layer-
The electron injection layer and the electron transport layer are layers having a function of receiving electrons from the cathode or the cathode side and transporting them to the anode side. Specifically, the electron injection layer and the electron transport layer are triazole derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, fluorenone derivatives, anthraquinodimethane derivatives, anthrone derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, Carbodiimide derivatives, fluorenylidenemethane derivatives, distyrylpyrazine derivatives, aromatic tetracarboxylic anhydrides such as naphthalene and perylene, phthalocyanine derivatives, metal complexes of 8-quinolinol derivatives, metal phthalocyanines, benzoxazoles and benzothiazoles as ligands It is preferably a layer containing various metal complexes typified by metal complexes, organosilane derivatives, and the like.

−正孔ブロック層−
正孔ブロック層は、陽極側から発光層に輸送された正孔が、陰極側に通りぬけることを防止する機能を有する層である。本発明において、発光層と陰極側で隣接する有機化合物層として、正孔ブロック層を設けることができる。また、電子輸送層・電子注入層が正孔ブロック層の機能を兼ねていてもよい。
正孔ブロック層を構成する有機化合物の例としては、BAlq等のアルミニウム錯体、トリアゾール誘導体、BCP等のフェナントロリン誘導体、等が挙げられる。
また、陰極側から発光層に輸送された電子が陽極側に通りぬけることを防止する機能を有する層を、発光層と陽極側で隣接する位置に設けることもできる。正孔輸送層・正孔注入層がこの機能を兼ねていてもよい。
-Hole blocking layer-
The hole blocking layer is a layer having a function of preventing holes transported from the anode side to the light emitting layer from passing through to the cathode side. In the present invention, a hole blocking layer can be provided as an organic compound layer adjacent to the light emitting layer on the cathode side. In addition, the electron transport layer / electron injection layer may also function as a hole blocking layer.
Examples of the organic compound constituting the hole blocking layer include aluminum complexes such as BAlq, triazole derivatives, phenanthroline derivatives such as BCP, and the like.
In addition, a layer having a function of preventing electrons transported from the cathode side to the light emitting layer from passing through to the anode side can be provided at a position adjacent to the light emitting layer on the anode side. The hole transport layer / hole injection layer may also serve this function.

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below.

[実施例1] ガスバリアフィルムの作製と評価
基材フィルム上に無機層と有機層を設けたガスバリアフィルム(試料No.101〜104)を下記の手順にしたがって作製した。各ガスバリアフィルムの構造の詳細は表1に記載されるとおりである。基材フィルムには、厚み100μmのPEN(帝人デュポン(株)製、Q65A)フィルムを用いた。
Example 1 Production and Evaluation of Gas Barrier Film A gas barrier film (Sample Nos. 101 to 104) in which an inorganic layer and an organic layer were provided on a base film was produced according to the following procedure. Details of the structure of each gas barrier film are as shown in Table 1. A PEN (manufactured by Teijin DuPont Co., Ltd., Q65A) film having a thickness of 100 μm was used as the base film.

[1]無機層(X)の形成
リアクティブスパッタリング装置を用いて、酸化アルミニウムの無機層を形成した。以下に具体的な成膜条件を示す。
リアクティブスパッタリング装置の真空チャンバーを、油回転ポンプとターボ分子ポンプとで到達圧力5×10-4Paまで減圧した。次にプラズマガスとしてアルゴンを導入し、プラズマ電源から電力2000Wを印加した。チャンバー内に高純度の酸素ガスを導入し、成膜圧力を0.3Paになるように調整して一定時間成膜し、酸化アルミニウムの無機層を形成した。得られた酸化アルミニウム膜は、膜厚が40nmで、膜密度が3.01g/cm3であった。
[1] Formation of inorganic layer (X) An inorganic layer of aluminum oxide was formed using a reactive sputtering apparatus. Specific film forming conditions are shown below.
The vacuum chamber of the reactive sputtering apparatus was depressurized to an ultimate pressure of 5 × 10 −4 Pa with an oil rotary pump and a turbo molecular pump. Next, argon was introduced as a plasma gas, and power of 2000 W was applied from a plasma power source. A high-purity oxygen gas was introduced into the chamber, the film formation pressure was adjusted to 0.3 Pa, and the film was formed for a certain period of time to form an aluminum oxide inorganic layer. The obtained aluminum oxide film had a thickness of 40 nm and a film density of 3.01 g / cm 3 .

[2]有機層(Y、Z)の形成
有機層は、常圧下での溶剤塗布による成膜方法(有機層Y)と、減圧下でフラッシュ蒸着法による成膜方法(有機層Z)の二通りを用いて行った。以下に具体的な成膜内容を示す。
[2−1]常圧下での溶剤塗布による成膜(有機層Y)
光重合性アクリレートとしてトリプロピレングリコールジアクリレート(TPGDA:ダイセル・サイテック製)9g、および光重合開始剤(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製、イルガキュア907)0.1gを、メチルエチルケトン190gに溶解させて塗布液とした。この塗布液を、ワイヤーバーを用いて基材フィルムに塗布し、酸素濃度0.1%以下の窒素パージ下で160W/cmの空冷メタルハライドランプ(アイグラフィックス(株)製)を用いて、照度350mW/cm2、照射量500mJ/cm2の紫外線を照射して有機層Yを形成した。膜厚は、約500nmであった。
[2] Formation of Organic Layer (Y, Z) The organic layer is divided into a film formation method (organic layer Y) by solvent coating under normal pressure and a film formation method (organic layer Z) by flash vapor deposition under reduced pressure. Done using the street. Specific film formation contents are shown below.
[2-1] Film formation by solvent application under normal pressure (organic layer Y)
As a photopolymerizable acrylate, 9 g of tripropylene glycol diacrylate (TPGDA: manufactured by Daicel Cytec) and 0.1 g of a photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, Irgacure 907) were dissolved in 190 g of methyl ethyl ketone, did. This coating solution is applied to a base film using a wire bar, and an irradiance is applied using an air-cooled metal halide lamp (manufactured by Eye Graphics Co., Ltd.) of 160 W / cm under a nitrogen purge with an oxygen concentration of 0.1% or less. The organic layer Y was formed by irradiating ultraviolet rays at 350 mW / cm 2 and an irradiation amount of 500 mJ / cm 2 . The film thickness was about 500 nm.

[2−2]減圧下でフラッシュ蒸着法による成膜(有機層Z)
光重合性アクリレートとしてブチルエチルプロパンジオールジアクリレート(BEPGA:共栄社化学製)9.7g、および光重合開始剤(Lamberti spa製、EZACURE−TZT)0.3gを混合し蒸着液とした。この蒸着液を、真空チャンバーの内圧が3Paの条件でフラッシュ蒸着法により基板に蒸着した。続いて同じ真空度の条件で、照射量2J/cm2の紫外線を照射して有機層Zを形成した。膜厚は、約1200nmであった。有機層Zの形成には、有機無機積層成膜装置Guardian200(ヴァイテックス・システムズ社製)を用いて実施した。
[2-2] Film formation by flash evaporation under reduced pressure (organic layer Z)
As a photopolymerizable acrylate, 9.7 g of butylethylpropanediol diacrylate (BEPGA: manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) and a photopolymerization initiator (manufactured by Lamberti spa, 0.3 g of EZACURE-TZT) were mixed to obtain a vapor deposition solution. This vapor deposition solution was vapor-deposited on the substrate by a flash vapor deposition method under the condition that the internal pressure of the vacuum chamber was 3 Pa. Then the conditions of the same degree of vacuum, thereby forming an organic layer Z and an irradiation dose of 2J / cm 2. The film thickness was about 1200 nm. The organic layer Z was formed using an organic / inorganic laminated film forming apparatus Guardian 200 (manufactured by Vytex Systems).

[3]ガスバリアフィルムの作製
ガスバリアフィルムは、基材フィルムに上記の無機層と有機層を表1に記載された各試料の構成に従って順次形成することで作製した。また作製の方法は、次の三通りで行った。
[3−1]溶剤塗布による有機層形成と減圧下での無機層形成を繰り返す方法(積層A)
基材フィルム上に有機層と無機層を交互に積層した。有機層の上に無機層を積層する時は、溶剤塗布で有機層を成膜した後に真空チャンバーに入れて減圧し、真空度が10-3Pa以下の状態で一定時間保持してから無機層を成膜した。また無機層の上に有機層を積層する時は、無機層を成膜後直ちに、溶剤塗布で有機層を成膜した。
[3−2]減圧下で有機層と無機層を一貫成膜する方法(積層B)
上述の有機無機積層成膜装置Guardian200を用い、有機層と無機層を積層した。この装置は、有機層および無機層とも減圧環境下で成膜を行い、且つ有機層と無機層の成膜チャンバーが連結しているので、減圧環境下で連続成膜することが可能である。そのため、ガスバリア層が完成するまで大気に開放されることがない。
[3−3]第一層のみ溶剤塗布で有機層を、残る層を減圧下で一貫成膜する方法(積層C)
基板上に溶剤塗布法で第1の有機層を形成した。続いて第1の有機層を有する基材フィルムを真空チャンバーに入れて減圧し、真空度が10-3Pa以下の状態で一定時間保持した後に、無機層と有機層を交互に成膜した。
[3] Production of gas barrier film The gas barrier film was produced by sequentially forming the inorganic layer and the organic layer on the base film according to the constitution of each sample described in Table 1. The production method was performed in the following three ways.
[3-1] Method of repeating organic layer formation by solvent coating and inorganic layer formation under reduced pressure (Lamination A)
Organic layers and inorganic layers were alternately laminated on the base film. When laminating an inorganic layer on top of an organic layer, the organic layer is formed by solvent application, and then placed in a vacuum chamber and depressurized, and after maintaining for a certain time in a state where the degree of vacuum is 10 −3 Pa or less, the inorganic layer Was deposited. When the organic layer was laminated on the inorganic layer, the organic layer was formed by solvent coating immediately after the inorganic layer was formed.
[3-2] Method for consistently forming an organic layer and an inorganic layer under reduced pressure (Lamination B)
The organic layer and the inorganic layer were laminated | stacked using the above-mentioned organic inorganic laminated film-forming apparatus Guardian200. In this apparatus, both the organic layer and the inorganic layer are formed in a reduced pressure environment, and the organic and inorganic layer forming chambers are connected. Therefore, it is possible to continuously form the film in a reduced pressure environment. Therefore, it is not released to the atmosphere until the gas barrier layer is completed.
[3-3] Method of forming an organic layer by solvent coating only on the first layer, and forming the remaining layer in a consistent manner under reduced pressure (Lamination C)
A first organic layer was formed on the substrate by a solvent coating method. Subsequently, the base film having the first organic layer was put in a vacuum chamber and the pressure was reduced, and the inorganic film and the organic layer were alternately formed after maintaining the degree of vacuum at 10 −3 Pa or less for a certain time.

[4]保護層(P1)の成膜
上記で作製したガスバリアフィルムは、必要によりガスバリア層の最外面に保護層を成膜した。保護層の成膜内容を、以下に具体的に示す。
光重合性アクリレートとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA:新中村化学工業製)9g、および光重合開始剤(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製、イルガキュア907)0.1gを、メチルエチルケトン190gに溶解させて塗布液とした。この塗布液を、ワイヤーバーを用いて可撓性支持基板に塗布し、酸素濃度0.1%以下の窒素パージ下で160W/cmの空冷メタルハライドランプ(アイグラフィックス(株)製)を用いて、照度350mW/cm2、照射量1000mJ/cm2の紫外線を照射して保護層P1を形成した。膜厚は、約1000nmであった。
[4] Film Formation of Protective Layer (P1) In the gas barrier film prepared above, a protective layer was formed on the outermost surface of the gas barrier layer as necessary. The film formation contents of the protective layer are specifically shown below.
As a photopolymerizable acrylate, 9 g of dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA: manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and 0.1 g of a photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, Irgacure 907) are dissolved in 190 g of methyl ethyl ketone and applied as a coating solution. It was. This coating solution is applied to a flexible support substrate using a wire bar, and a 160 W / cm air-cooled metal halide lamp (manufactured by Eye Graphics Co., Ltd.) under a nitrogen purge with an oxygen concentration of 0.1% or less. The protective layer P1 was formed by irradiating ultraviolet rays having an illuminance of 350 mW / cm 2 and an irradiation amount of 1000 mJ / cm 2 . The film thickness was about 1000 nm.

[5]ガスバリアフィルムの物性評価
下記装置を用いてガスバリアフィルムの諸物性を評価した。
[層構成(膜厚)]
日立(株)製、走査型電子顕微鏡「S−900型」でフィルムサンプルの超薄切片を観察して測定した。
[5] Physical property evaluation of gas barrier film Various physical properties of the gas barrier film were evaluated using the following apparatus.
[Layer structure (film thickness)]
The ultra-thin section of the film sample was observed and measured with a scanning electron microscope “S-900 type” manufactured by Hitachi, Ltd.

[水蒸気透過率(g/m2/day)]
MOCON社製、「PERMATRAN−W3/31」(条件:40℃・相対湿度90%)を用いて測定した。また、前記MOCON装置の測定限界である0.01g/m2/day以下の値は、次の方法を用いて補完した。まず、ガスバリアフィルム上に直に金属Caを蒸着し、蒸着Caが内側になるよう該フィルムとガラス基板を市販の有機EL用封止材で封止して測定試料を作成した。次に該測定試料を前記の温湿度条件に保持し、ガスバリアフィルム上の金属Caの光学濃度変化(水酸化あるいは酸化により金属光沢が減少)から水蒸気透過率を求めた。
[Water vapor transmission rate (g / m 2 / day)]
It was measured using “PERMATRAN-W3 / 31” (condition: 40 ° C., relative humidity 90%) manufactured by MOCON. Moreover, the value below 0.01 g / m < 2 > / day which is the measurement limit of the said MOCON apparatus was supplemented using the following method. First, metal Ca was vapor-deposited directly on the gas barrier film, and the measurement sample was prepared by sealing the film and the glass substrate with a commercially available organic EL sealing material so that the vapor-deposited Ca was inside. Next, the measurement sample was kept under the above temperature and humidity conditions, and the water vapor transmission rate was determined from the change in optical density of the metal Ca on the gas barrier film (the metal gloss decreased due to hydroxylation or oxidation).

[X線反射率測定(無機層の膜密度)]
Siウエハーに無機層を成膜した評価用サンプルを用い、理学電気製ATX−Gを用いて測定した。測定結果から無機層薄膜の膜密度を算出した。
[Measurement of X-ray reflectivity (film density of inorganic layer)]
Measurement was performed using an ATX-G manufactured by Rigaku Corporation using an evaluation sample in which an inorganic layer was formed on a Si wafer. The film density of the inorganic layer thin film was calculated from the measurement results.

Figure 2009081122
Figure 2009081122

[実施例2] 有機EL素子の作製と評価
[1]有機EL素子の基板の作製
ITO膜を有する導電性のガラス基板(表面抵抗値10Ω/□)を2−プロパノールで洗浄した後、10分間UV−オゾン処理を行った。この基板(陽極)上に真空蒸着法にて以下の有機化合物層を順次蒸着した。
(第1正孔輸送層)
銅フタロシアニン:膜厚10nm
(第2正孔輸送層)
N,N’−ジフェニル−N,N’−ジナフチルベンジジン:膜厚40nm
(発光層兼電子輸送層)
トリス(8−ヒドロキシキノリナト)アルミニウム:膜厚60nm
最後にフッ化リチウムを1nm、金属アルミニウムを100nm順次蒸着して陰極とし、その上に厚さ5μm窒化珪素膜を平行平板CVD法によって付け、有機EL素子を作成した。
[Example 2] Production and evaluation of organic EL element [1] Production of substrate of organic EL element A conductive glass substrate having an ITO film (surface resistance value 10Ω / □) was washed with 2-propanol for 10 minutes. UV-ozone treatment was performed. The following organic compound layers were sequentially deposited on this substrate (anode) by vacuum deposition.
(First hole transport layer)
Copper phthalocyanine: film thickness 10nm
(Second hole transport layer)
N, N′-diphenyl-N, N′-dinaphthylbenzidine: film thickness 40 nm
(Light emitting layer and electron transport layer)
Tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum: film thickness 60nm
Finally, 1 nm of lithium fluoride and 100 nm of metal aluminum were sequentially deposited to form a cathode, and a 5 μm thick silicon nitride film was formed thereon by a parallel plate CVD method to produce an organic EL device.

[2]ガスバリアフィルムの洗浄と乾燥
実施例1で作製したガスバリアフィルム(試料No.101〜104)は、有機EL素子と貼り合わせを行う前に、以下の洗浄工程或いは洗浄工程および乾燥工程を実施した。
まず、ガスバリアフィルムを、弱粘着シート(EC−310:スミロン製、粘着力0.8N/20mm対ガラス板)と貼り合わせ剥離し、表面の異物を除去した。次にガスバリアフィルムを入れた真空チャンバーに酸素ガスを導入して真空度を約6Paに調整し、RF電力20WのRFプラズマ装置(RFX−500:アドバンスドエナジー製)で2分間処理して、プラズマ処理によるガスバリアフィルム表面の付着有機物の除去を行った。続いてガスバリアフィルムを10-2Pa以下の条件を保持しながら、80℃1時間以上の加熱乾燥を行った。
[2] Cleaning and drying of gas barrier film The gas barrier film (sample Nos. 101 to 104) produced in Example 1 was subjected to the following cleaning process or cleaning process and drying process before being bonded to the organic EL element. did.
First, the gas barrier film was bonded to and peeled from a weak pressure-sensitive adhesive sheet (EC-310: manufactured by Sumilon Co., Ltd., adhesive strength 0.8 N / 20 mm vs glass plate) to remove foreign matter on the surface. Next, oxygen gas is introduced into the vacuum chamber containing the gas barrier film, the degree of vacuum is adjusted to about 6 Pa, and the plasma treatment is performed for 2 minutes with an RF plasma apparatus (RFX-500: manufactured by Advanced Energy) with an RF power of 20 W. The organic substances adhering to the surface of the gas barrier film were removed. Subsequently, the gas barrier film was heated and dried at 80 ° C. for 1 hour or more while maintaining the condition of 10 −2 Pa or less.

[3]有機EL素子上へのガスバリアフィルムの設置
熱硬化型の接着剤(エポテック310、ダイゾーニチモリ(株))を用いて、上記のガスバリアフィルムのガスバリア層のある面あるいはガスバリア層と反対側の面と有機EL素子を貼り合せ、65℃で3時間加熱して接着剤を硬化させた。このようにして封止された有機EL素子(試料No.201〜214)を各20素子ずつ作製した。
[3] Installation of gas barrier film on organic EL element Using a thermosetting adhesive (Epotec 310, Daizonitomoly Co., Ltd.), the surface of the gas barrier film on the side having the gas barrier layer or the opposite side of the gas barrier layer The surface and the organic EL element were bonded together and heated at 65 ° C. for 3 hours to cure the adhesive. 20 organic EL elements (Sample Nos. 201 to 214) sealed in this way were produced.

[4]保護部材(保護フィルムあるいは保護層)の設置
有機EL素子に貼り合わせたガスバリアフィルムの表面(有機EL素子と貼り合わせていない面)に必要により、保護フィルム(H)あるいは保護層(P2)を順次設置した。以下に具体的な内容を示す。
[4−1]保護フィルム(H)の貼り合わせ
ガスバリアフィルムの表面に接着剤層を介して厚み25μmのPET(東レ製、ルミラーT−60)フィルムあるいは、該PETに予め保護層(P1)を塗布したフィルムを貼り合わせた。
[4−2]保護層(P2)の成膜
ガスバリアフィルムの表面に、上述の保護層(P1)を成膜して保護層(P2)とした。
[4] Installation of protective member (protective film or protective layer) If necessary, the protective film (H) or protective layer (P2) on the surface of the gas barrier film bonded to the organic EL element (the surface not bonded to the organic EL element) ) Were installed sequentially. Specific contents are shown below.
[4-1] Bonding of Protective Film (H) A 25 μm thick PET (Toray, Lumirror T-60) film or a protective layer (P1) is previously applied to the surface of the gas barrier film via an adhesive layer. The applied film was bonded.
[4-2] Formation of Protective Layer (P2) The protective layer (P1) described above was formed on the surface of the gas barrier film to form a protective layer (P2).

[5]有機EL素子発光面状の評価
作成直後の有機EL素子(試料No.201〜214)をソースメジャーユニット(SMU2400型、Keithley社製)を用いて7Vの電圧を印加して発光させた。顕微鏡を用いて発光面状を観察したところ、いずれの素子もダークスポットの無い均一な発光を与えることが確認された。
次に各素子を60℃・相対湿度90%の暗い室内に24時間静置した後、発光面状を観察した。直径300μmよりも大きいダークスポットが観察された素子の比率を故障率と定義し、各素子の故障率を表2に示した。また有機EL素子とガスバリアフィルムとの接着性の評価を同じく表2に示した。
また、基材フィルムをPENフィルムから、東レ社からルミラーT60の商品名で市販されている二軸延伸ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(厚み:100μm)に変えた以外は試料No.101と同様な方法で付与したバリアフィルムをそれぞれ作製したところ、基材フィルムにかかわらず同等の性能のバリアフィルムを得ることができた。
この基材フィルムを変更したバリアフィルムを用いて同様に試料No.202と同様な有機EL素子を作成したところ、基材フィルムにかかわらず同等の性能の素子を得ることができた。
[5] Evaluation of organic EL element light emitting surface condition An organic EL element (sample Nos. 201 to 214) immediately after preparation was made to emit light by applying a voltage of 7 V using a source measure unit (SMU2400 type, manufactured by Keithley). . When the surface of the light emitting surface was observed using a microscope, it was confirmed that all the elements gave uniform light emission without dark spots.
Next, each element was allowed to stand in a dark room at 60 ° C. and 90% relative humidity for 24 hours, and then the light emitting surface state was observed. The ratio of elements in which dark spots larger than 300 μm in diameter were observed was defined as a failure rate, and the failure rates of the respective elements are shown in Table 2. Table 2 also shows the evaluation of adhesion between the organic EL element and the gas barrier film.
Sample No. was changed except that the base film was changed from a PEN film to a biaxially stretched polyethylene terephthalate (PET) film (thickness: 100 μm) marketed by Toray Industries under the trade name Lumirror T60. When barrier films provided in the same manner as in 101 were prepared, barrier films having equivalent performance could be obtained regardless of the base film.
Similarly, using the barrier film obtained by changing the base film, sample No. When an organic EL element similar to that of 202 was prepared, an element having the same performance could be obtained regardless of the base film.

Figure 2009081122
Figure 2009081122

本願発明におけるガスバリアフィルムで封止された有機EL素子の概略図の一例を示す。An example of the schematic diagram of the organic EL element sealed with the gas barrier film in this invention is shown.

符号の説明Explanation of symbols

1 有機EL素子
11 基板
12 電極
13 有機化合物層
14 封止剤
2 ガスバリアフィルム
21 基材フィルム
22 ガスバリア層
3 保護層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic EL element 11 Board | substrate 12 Electrode 13 Organic compound layer 14 Sealant 2 Gas barrier film 21 Base film 22 Gas barrier layer 3 Protective layer

Claims (12)

基板と、該基板上に設けられた一対の電極と、該電極の間に設けられた有機化合物層とを有する有機EL素子が、基材フィルムと、該基材フィルム上に設けられたガスバリア層とを有するガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法であって、前記ガスバリアフィルムを、電極上に、該ガスバリアフィルムの基材フィルムが電極側面に位置するように設けることを特徴とするガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。 An organic EL element having a substrate, a pair of electrodes provided on the substrate, and an organic compound layer provided between the electrodes is a base film, and a gas barrier layer provided on the base film A method for producing an organic EL device sealed with a gas barrier film comprising: the gas barrier film is provided on an electrode such that a base film of the gas barrier film is positioned on a side surface of the electrode. A method for producing an organic EL device sealed with a gas barrier film. さらに、基板上および/またはガスバリア層上に、保護層を設けることを含む、請求項1に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。 Furthermore, the method of manufacturing the organic EL element sealed with the gas barrier film of Claim 1 including providing a protective layer on a board | substrate and / or a gas barrier layer. 有機EL素子にガスバリアフィルムを設けた後に、ガスバリア層上であって、基材フィルムとは反対側に保護層を設けることを特徴とする、請求項1または2に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。 The organic EL element is sealed with the gas barrier film according to claim 1, wherein a protective layer is provided on the gas barrier layer on the side opposite to the base film after providing the gas barrier film. A method for manufacturing an organic EL element. 有機EL素子にガスバリアフィルムを設ける前に、ガスバリア層上であって、基材フィルムとは反対側に保護層を設けることを特徴とする、請求項1または2に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。 Before providing a gas barrier film in an organic EL element, it is sealed with the gas barrier film according to claim 1 or 2, wherein a protective layer is provided on the gas barrier layer opposite to the base film. A method for manufacturing an organic EL element. 保護層は、高分子フィルムを、接着剤を介して貼り合わせることにより設けることを特徴とする、請求項2〜4のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。 5. The organic EL device sealed with a gas barrier film according to claim 2, wherein the protective layer is provided by bonding a polymer film through an adhesive. how to. 保護層は、アクリレートまたはメタクリレートを塗布または蒸着することにより設けることを特徴とする、請求項2〜4のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。 The method for producing an organic EL element sealed with a gas barrier film according to any one of claims 2 to 4, wherein the protective layer is provided by applying or vapor-depositing acrylate or methacrylate. ガスバリア層の基材フィルムから遠い側の最外層が有機層である、請求項1〜6のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法。 The method of manufacturing the organic EL element sealed with the gas barrier film of any one of Claims 1-6 whose outermost layer on the side far from the base film of a gas barrier layer is an organic layer. 請求項1〜7のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子を製造する方法を用いて製造した、ガスバリアフィルムで封止された有機EL素子。 The organic EL element sealed with the gas barrier film manufactured using the method of manufacturing the organic EL element sealed with the gas barrier film of any one of Claims 1-7. 基板と、該基板上に設けられた一対の電極と、該電極の間に設けられた有機化合物層とを有する有機EL素子と、該有機EL素子を封止するための、基材フィルムと、該基材フィルム上に設けられたガスバリア層とを有するガスバリアフィルムとを有し、該ガスバリアフィルムが、電極上に、該ガスバリアフィルムの基材フィルムが電極側面に位置するように設けられていることを特徴とする、ガスバリアフィルムで封止された有機EL素子。 An organic EL element having a substrate, a pair of electrodes provided on the substrate, an organic compound layer provided between the electrodes, and a base film for sealing the organic EL element; A gas barrier film having a gas barrier layer provided on the base film, and the gas barrier film is provided on the electrode so that the base film of the gas barrier film is located on the side surface of the electrode. An organic EL element sealed with a gas barrier film. ガスバリア層上であって、基材フィルムとは反対側に保護層が設けられている、請求項9に記載のガスバリアフィルムで封止された有機EL素子。 The organic EL element sealed with the gas barrier film according to claim 9, wherein a protective layer is provided on the gas barrier layer on the side opposite to the base film. 基板と、該基板上に設けられた一対の電極と、該電極の間に設けられた有機化合物層とを有する有機EL素子を、基材フィルムと、該基材フィルム上に設けられたガスバリア層とを有するガスバリアフィルムで封止する方法であって、前記ガスバリアフィルムを、電極上に、該ガスバリアフィルムの基材フィルムが電極側面に位置するように設けることを特徴とする、ガスバリアフィルムで有機EL素子を封止する方法。 An organic EL device having a substrate, a pair of electrodes provided on the substrate, and an organic compound layer provided between the electrodes, a base film, and a gas barrier layer provided on the base film The gas barrier film is provided on the electrode so that the base film of the gas barrier film is located on the side surface of the electrode. A method for sealing an element. ガスバリア層上であって、基材フィルムとは反対側に保護層が設けられている、請求項11に記載のガスバリアフィルムで有機EL素子を封止する方法。 The method of sealing an organic EL element with a gas barrier film according to claim 11, wherein a protective layer is provided on the gas barrier layer on the side opposite to the base film.
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